CA1289357C - Installation flexible automatisee de traitement thermochimique rapide - Google Patents

Installation flexible automatisee de traitement thermochimique rapide

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CA1289357C
CA1289357C CA000529017A CA529017A CA1289357C CA 1289357 C CA1289357 C CA 1289357C CA 000529017 A CA000529017 A CA 000529017A CA 529017 A CA529017 A CA 529017A CA 1289357 C CA1289357 C CA 1289357C
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Denis Lebeaupin
Jean Bourel
Olivier Schwebel
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Stein Heurtey SA
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    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
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    • C23C16/54Apparatus specially adapted for continuous coating
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/568Transferring the substrates through a series of coating stations
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    • C23C8/00Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/36Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding

Abstract

Installation automatisée de traitement thermochimique rapide de pièces,notamment pour l'industrie mécanique, caractérisée en ce qu'elle comporte : un sas de transfert (10) des pièces sous atmosphère contrôlée ; une pluralité de modules de traitement de pièces (12-26), tels que, notamment, modules de préchauffage, modules de traitement thermochimique, module de trempe, tous ces modules étant connectés audit sas de transfert ; un sas de chargement (32) ; un sas de déchargement, et un robot de manipulation des pièces, disposé dans ledit sas de transfert pour assurer les transferts successifs des pièces à traiter aux différents modules.

Description

INSTAlLATION FLEXIBLE AUTOMATISEE
DE TRAITE~IENT THE~IOCHIIIIQUE RAPIDE

...... .
~35` La présente invention est relative à une installation flexible de traitement thermochimique rapide.

On sait que, en vue d'augmenter la dureté et la résistance à la fatigue des pièces utilisées dans l'industrie mécanique, on fait subir à celles-ci un traitement thermochimique qui consiste à enrichir la matière de ces pièces avec des espèces chimiques choisies, par exemple du carbone ou de l'azote, puis à les refroidir selon des cycles connus.

Les installations actuellement utilisées pour effectuer ce type de traitement sont généralement réalisées sous la forme de lignes continues v~i ou de fours à charge. Dans ces installations, on effectue le chauffage et le traitement thermochimique dans une même chambre, la trempe étant faite par immersion dans un bac relié au four par un sas. Les pièces à
traiter sont disposées sur des plateaux, dans des paniers ou sur des tapis, qui représentent couramment 50 % de la charge totale du four.
:
Les installations connues présentent notamment les contraintes et in-convénients suivants :
1 - dispersion de la qualité des pièces traitées, du fait de la dif-ficulté d'obtenir une bonne homogénéité de température et de dis-tribution du gaz actif dans la charge ;

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3L~13935~
2 - longueur des cycles, pour les enrichissements de falble épais-seur, liée à l'emploi de moyens conventionnels de chauffage, convection-rayonnement, et à la recherche d'un minimum d'homo-généité ;
3 - risques, en cas d'incident de fonctionnement, de voir rebuté
la charge ou le contenu entier du four, selon le cas ;
4 - risques d'explosion importante, liés à la dimension des fours, aux atmosphères utilisées et aux bacs de trempe ;
5 - coût d'exploitation grevé, d'une part, par la surconsommation nécessaire au chauffage conjoint des paniers, plateaux ou tapis, et à la masse des réfractaires des fours, et~ d'autre part, par le renouvellement cyclique de ces matériels de conditionnement fabriqués en alliages nobles ;
6 - manque de flexibilité des installations, les fours étant dimen-sionnés pour les charges les plus lourdes et les plus volumi-neuses, et étant donc surcapacitaires et mal adaptés à des charges différentes du point de vue thermique et aérodynamique ;
7 - difficulté, dans le cas des lignes.continues, de diminuer la dispersion de qualité et la longueur des cycles, les pièces en : 25 préchauffage et celles au stade de la diffusion cohabitant dans la même enceinte.

: Ces contraintes et inconvénients, et le fait que de telles installa-tionsi doivent être conduites par un personnel spécialisé, font qu'il i n~est pas facilement envisageable de les intégrer dans des lignes d'usi-~ nage de fabrication de grande série de pièces mécaniques.

: L'invention concerne, en conséquence, une installation consue de ma-nière à ne pas présenter les inconvénients des installations connues, spécifiés ci-dessus.

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La présente invention vise une installation automatisée de traitement thermochimique de pièces, comprenant:

(a) un sas de transfert pour exposer lesdites pièces à une 05 atmosphère contrôlée;

(b) une pluralité de modules de traitement connectés audit sas de transfert, ladite pluralité de modules de traitement comprenant des moyens de traitement thermochimique desdites pièces, chacun desdits modules de traitement étant monté à l'extérieur dudit sas de transfert de façon à assurer un transfert direct desdites pièces entre chacune desdits modules par l'intermédiaire dudit sas de transfert;
(c) un poste de chargement pour charger lesdites pièces dans ledit sas de transfert;

(d) un poste de déchargement pour décharger lesdites pièces dudit sas de transfert;

(e) un robot de manipulation-dlsposé à l'intérieur dudit sas de transfert pour transférer successivement lesdites pièces d'un desdits modules à un autre desdits modules à
travers ledit sas de transfert.

On comprend que, selon l'invention, chacune des étapes d'un cycle de traitement thermochimique des pièces est exécutée dans l'un desdits modules de traitement, dont les caractéristiques peuvent être optimisees en fonction de son rôle spécifique dans le cycle, par exemple:

- transfert thermique, avec adaptation aux modes de -: . ~ .. :. ::

12~g35~

-3a-transfert;
- transfert de masse ou trempe.

Le cycle complet comporte des étapes de durées 05 differentes, du fait des cinétiques en jeu (vitesses ,de diffusion d'espèces chimiques différentes des vitesses de diffusion de la chaleur au travers de la surace), l'étape la plus courte du cycle (étape de base) determinant la capacité dlun module. Selon l'invention, pour chaque étape successive du traitement, le nombre de modules est, en nombre entier, proportionnel au rapport du temps de l'étape considérée sur le temps de l'étape de base.
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De préférence, selon l'invention, le~ pièce~ qui arrivent en continu d'une ligne de fabrication sont empilées en colonnes, sur lesquelles elles peuvent être séparées par des intercalaires, et elles sont délivées, à l'aide d'un robot, au poste correspondant du sas de chargement, où une coupole vient coiffer la colonne pour l'enfermer de façon étanche, la colonne de pièces étant ensuite transférée au prenier module de traitement, par exemple le mKdule de préchauffage, par l'intenn~diaire du sas de transfert et du moyen de manipulation des pièces.
De préférence, le sas de transfert peut etre une chambre de section circulaire sur le pourtour de laquelle sont répartis les différents mo-dules, ou une chambre de section rectangulaire le long de laquelle sont disposés ]es modules, la disposition étant fonction de l'implantation et de la prévision du travail.
D'autres caractéristiques et avantages de cette invention ressortiront de la description faite ci-après en référence aux dessins annexés, qui en illustrent deux exemples de réalisation dépourvus de tout caractère limitatif. Sur les dessins :
- la Figure 1 est une vue en élévation et en coupe verticale d'un pre-mier exemple de réalisation d'une installation selon cette invention, comportant un sas de transfert de section circulaire ;

- la Figure 2 est une vue en plan de la Figure 1 ;

- la Figure 3 est une vue partielle représentant le poste de chargement/
déchargement de l'installation des Figures 1 et 2 ;

- la Figure 4 est une vue de détail illustrant, en coupe verticale, le module de préchauffage de l'installation ;

- la Figure 5 est une vue en élévation latérale et arrachement partiel d'un second exemple de réalisation d'une installation confor~e à l'in-vention, comportant un sas de transfert de section rectangulaire ;

- la Figure 6 est une coupe de La Fig. 5 par un plan vertical transversal.
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~2~3~i;'7 En se référant aux Figures 1 et 2, on voit que l'installation selon l'invention comprend essentiellement les éléments suivants :

- un sas de transfert 10, qui, dans cet exemple de réallsation, se présente sous la forme d'une enceinte de section circulaire ;

- une pluralité de modules de traitement des pièces, comprenant par exemple des modules de préchauffage 12, 14, des moduies de cémenta-tion/diffusion 16 à 26, et un module de trempe sous atmosphère con-ln tralée 28, tous ces modules étant montés sur la paroi supérieure du sas de transfert et étant connectés à ce sas ;

- un moyen de manipulation 30, placé dans le sas de transfert 10 et conçu de façon à assurer le transfert des pièces à traiter entre les différents modules ;

- un poste de chargement/déchargement 34 des pièces, avec son sas 32 et sa coupole mobile 42 ; et, - un robot d'alimentation 36 pour amener les pièces à l'installation.

Les pièces, qui arrivent en continu d'une ligne de fabrication, sont empilées en colonne C, sur laquelle ellès peuvent être séparées par des ! intercalaires. Les colonnes C de pièces peuvent ~etre amenées à l'ins-~t,. ..
tallation à l'aide d'un convoyeur 38, à partir duquel elles sont re-prises par le robot d'alimentation 36, qui délivre successivement chaque colonne C au poste de chargement 34. Ce poste de chargement 34 se composel par exemple, d'une potence 40, pouvant se déplacer verti-calement le long d'une tige 44, et qui porte la coupole mobile 42.
Cette coupole 42 vient coiffer la colonne de pièces C, afin de l'enfer-mer de façon étanche. L'enceinte délimitée par la coupole est ensuite mise sous une atmosphère et une pression identiques à celles régnant dans le sas de transfert 10, le volume réduit de cette enceinte per-mettant une purge rapide.
Le moyen de manipulation~ ou robot de manipulation 30, assure ensuite ,.~ . .

.

~21~3~35'7 le transfert de la colonne C successivement aux diférents modules de traltement, par l'intermédiaire du sas de transfert 10.
-Ce sas de transfert est constitué par une enceinte dont la paroi in-terne possède une faible émissivité~ afin de minimiser les échanges par rayonnement thermique, lors des transferts des colonnes de pièces. Xl est mis sous atmosphère neutre, afin de minimiser les risques d'oxyda-tion, d'explosion, et/ou sous basse pression pour réduire les échanges par convection.
Le robot de manipulation 30, placé dans le sas de transfert lO, se pré-sente sous la forme d'un bras 46, pouvant tourner autour d'une colonne centrale 48, le long de laquelle il peut en outre se déplacer. Ce bras ........
`~ 46 porte à son extrémité un plateau 49, sur lequel repose le support 50 de la colonne de pièces C, ce support étant conçu de manière à assurer l'étanchéité de chaque module de traitement par rapport au sas de trans-fert 10.
' La colonne de pièces C ayant été amenée au module de préchauffage 12, celui-ci, fermé de fason étanche, est alors rempli de gaz à la pression désirée. Dans cet exemple de réalisation, on utilise un chauffage par inducteurs 52, qui offre l'avantage de la rapidité. On peut cependant utiliser tout au~re moyen de préchauffage ou traitement. Dès que la ,~ température de traitement a été atteinte, le module 12 est purgé à la pression et à l'atmosphère identiques à celles du sas de transfert lO, - et la colonne C est transférée au module suivant.

Dans cet exemple de réalisation non limitatif, on a prévu deux modules de préchauffage 12, 14, afin d'obtenir une meilleure homogénéité : dans le premier module 12, on effectue un préchauffage en-dessous du point de Curie, et, dans le second module 14, on effectue un préchauffage à
une température supérieure au point de Curie. Les fréquences d'alimen-tation des inducteurs 52 sont choisies de manière à obtenir le mode de chauffage visé : soit un chauffage localisé aux surfaces à enrichir, soit un chauffage dans la masse. Les fréquences d'alimentation, et la nécessité de scinder le chauffage en deux étapes (donc de prévoir deux .

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3S~

modules), sont déterminées par des essais préliminaires. Chaque module de préchauffage peut être équipé d'une distribution de gaz, afin de procéder à une réduction des oxydes superficiels et/ou à un dégrais-sage des pièces, au cours de ce préchauffage.
Le préchauffage en une ou deux étapes étant terminé, le robot de mani-pulation 30 transfère ensuite la colonne C au module en attente de traitement thermochimique 16 à 26. Celui-ci est étanche, et il est mis sous pression appropriée du gaz choisi.
Dans chacun des modules de traitement thermochimique 16-26, l'enri-chissement des pièces est obtenu par circulation du gaz, les pièces étant maintenues à la température désirée. En fin de phase d'enrichis-sement, l'atmosphère du module est purgée et remplacée par celle né-cessaire à la diffusion. En fin de diffusion, l'atmosphère du moduleest purgée et remplacée par une atmosphère identique, en pression et composition, à celle du sas de transfert 10, de manière que le robot de manipulation 30 puisse transporter la colonne de pièces au module suivant.
Le traitement thermochimique peut être effectué, au choix, sous des pressions de valeurs réduites, quelques millibars absolus, à des pres-sions supérieures à la pression atmosphérique, quelques bars absolus, par exemple.
; Dans les deux cas, les distributions de gaz peuvent etre déterminées à
partir d'essais, en fonction de la pression, du type de pièces à trai-ter et de la hauteur des colonnes de pièces.

Les concentrations de gaz d'apport sont fixées à partir d'expériences corrélées selon des équations d'échanges thermique et massique prenant en compte l'aérodynamique de la chambre, la cinétique de réaction du gaz et les paramètres thermodynamiques d'équilibre.

Cet enrichissement de la pièce peut être effectué de manière continue, la proportion de gaz d'apport étant régulée par un automate program-~' , :. ~. . ' ' ~, .

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: ~ , mable. La quantité de gaz d'apport est une fonction du temps, déter-minée comme précisé ci-dessus.

Pour améliorer le renouvellement des espèces réactives, il est pos-sible de travailler en alimentant le module de gaz d'apport par bouf-fées. La fréquence de ces bouffées est déterminée par des expériences, et corrélée en fonction des différents paramètres : nature du gaz, concentration, volume, température, dimension de la chambre. Il est possible d'opérer un traitement ionique, les pièces étant alors à la cathode et l'enceinte à l'anode.

La diffusion de l'espèce chimique dans les pièces s'opère dans le meme ".~ module, de préférence sous vide, ou, éventuellement, sous atmosphère ' ~ neutre ou atmosphère régulée de gaz d'apport.
A la fin du traitement thermochimique, le robot de manipulation 30 transporte la colonne de pièces au module de trempe 28. La trempe des pièces peut etre effectuée par convection de gaz froid, brouillard, ou impact de jet liquide, ou solution hybride de ces trois moyens, le fluide de trempe circulant dans le module. Les paramètres qui règlent l'échange, à savoir :

- la nature du gaz, sa température, sa vitesse dans le module et sa distribution ;
`` 25 - la nature du brouillard, sa vitesse de passage, les dimensions et proportions des gouttelettes ;

~` - la grosseur des gouttes, la distance entre les buses d'éjection et les pièces, ` sont déterminés expérimentalement.

Dans le cas d'un échange mettant en jeu un liquide plus ou moins dis-persé, lors de la dernière partie du refroidissement, le module et ses ~- périphériques sont séchés en utilisant les calories cédées par les pièces à refroidir.
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3~i7 Le module peut être pourvu d'une enceinte à double paroi ; celle-ci est parcourue par un liquide réfrigérant qui permet de refroidir les pièces par rayonnement, ce qui est rendu possible grâce à la disposi-tion en colonne des pièces.

En fin de trempe, le module ~i8 est purgé, mis sous une atmosphère identique à celle du sas 10, et la colonne est reprise par le robot de manipulation 30 pour être transférée au module de chargement/
déchargement 32, d'où elle est évacuée par le robot de déchargement 36 et le convoyeur d'évacuation 38'.

Dans la variante représentée sur les Figures 5 et 6, on retrouve les mêmes éléments constitutifs que ceux de l'installation décrite ci~
dessus, la différence essentielle étant que le sas de transfert 10' est constitué d'une enceinte à section rectangulaire, sur le sommet de laquelle sont alignés les différents modules.

Dans cette variante, le robot de manipulation 30', qui assure le trans-fert des colonnes de pièces entre les différents modules 12-28, depuis le module de chargement32jusqu'au module de déchargement 32', se pré-sente sous la forme d'un bras 54, coulissant le long de colonnes verti-cales 56, portées par un chariot vertical 58 se déplaçant transversale-ment tout le long du sas 10', grâce aux voies de roulement 60, 60', les autres éléments de ce robot étant identiques à ceux du robot manipula-teur 30 décrit ci-dessus.
. . .
On conçoit que, dans une installation selon cette invention, chaque module ou série de modules est adapté, en taille et géométrie, au type des pièces à traiter, un changement de type de pièces, hors d'une cer-taine tolérance, ne nécessitant qu'un simple changement de modules.
Ceci apporte en particulier les avantages suivants :
.: ' .
~ - flexibilité vis à vis de la production , : `
- l'adaptation des modules aux pièces entralne une amélioration de la qualité, par une meilleure homogénéité de température ;

'.- ` , ~ ' .:!
~Z~3~357 -, 10 ;- - obtention d'une meilleure distribution des gaz ;

- le traitement par lots en colonnes permet l'emploi de l'induction !' en tant que moyen de chauffage, ce qui n'est pas possible dans les fours conventionnels ;

- en cas d'incident, seule une fraction de la production est pertur-bée, et non la charge entière de l'installation ;

- les risques d'explosion sont supprimés par rapport aux installa-, tions conventionnelles, puisque :
. .
. . l'amélioration de l'aérodynamique de l'ensemble charge-module ~ permet une utilisation efficace des trempes au gaz et/ou brouil-lard, et rend donc la trempe à l'huile moins nécessaire ;

..
- . d'autre part, le fractionnement des charges diminue les volumes de gaz explosif ; ces volumes se circonscrivent, en effet, aux espaces laissés libres dans les modules de traitement thermochi-. 20 mique, volume entre les pièces et les parois ;

. le fractionnement par lots permet la mise en oeuvre des techniques ri dites basse pression, qui réduisent encore les risques d'explosion ;
~ ., i, ~ 25 - l'amélioration des vitesses de refroidissement en utilisant He ou , H2, utilisation rendue possible par les dimensions réduites de l.a .~; chambre ;
. j .
~` - les coûts d'exploitation sont diminués par rapport aux installations conventionnelles, puisque les supports des colonnes ont un poids re-latif très inférieur à celui des plateaux ou paniers, dans les ins-.~
tallations ordinaires ;
v ! - ces coûts sont diminués, puisque il n'y a plus à chauffer une . 35 chambre de grande dimension avec ses réfractaires ;

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" .' ~, ' ' ~2~35'7 - ces couts sont diminués, puisque la géométrie de l'installation suit au mieux la géométrie des pièces, et évite la surcapacité de celle-ci;

- toutes les pièces traitées dans une même enceinte ont le même "vécu", ce qui évite les problèmes de gestion d'atmosphère.

Il demeure bien entendu que cette invention n'est pas limitée aux exemples de réalisation décrits et/ou représentés, mais qu'elle en englobe toutes les variantes. C'est ainsi qu'en particulier, on peut envisager d'autres géométries et dispositions, en ce qui concerne l'ins-tallation automatisée objet de cette invention, notamment, les modules de traitement des pièces peuvent être mobiles sur un carrousel, l'ali-mentation étant fixe.

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Claims (12)

1. Installation automatisée de traitement thermochimique de pièces, comprenant:

(a) un sas de transfert pour exposer lesdites pièces à
une atmosphère contrôlée;

(b) une pluralité de modules de traitement connectés audit sas de transfert, ladite pluralité de modules de traitement comprenant des moyens de traitement thermochimique desdites pièces, chacun desdits modules de traitement étant monté à l'extérieur dudit sas de transfert de façon à assurer un transfert direct desdites pièces entre chacune desdits modules par l'intermédiaire dudit sas de transfert;

(c) un poste de chargement pour charger lesdites pièces dans ledit sas de transfert;

(d) un poste de déchargement pour décharger lesdites pièces dudit sas de transfert;

(e) un robot de manipulation disposé à l'intérieur dudit sas de transfert pour transférer successivement lesdites pièces d'un desdits modules à un autre desdits modules à travers ledit sas de transfert.
2. Installation selon la revendication 1, dans laquelle ladite pluralité de modules comprend deux modules de préchauffage ayant des moyens pour chauffer lesdites pièces.
3. Installation selon la revendication 1, dans laquelle ladite pluralité de modules comprend des moyens pour tremper lesdites pièces.
4. Installation selon la revendication 1, dans laquelle le sas de transfert est constitué d'une enceinte cylindrique en périphérie de laquelle sont répartis lesdits modules, chacun desdits modules étant en communication avec ledit sas de transfert.
5. Installation selon la revendication 4, comprenant en outre des moyens pour empiler lesdites pièces en colonne.
6. Installation selon la revendication 5, comprenant en outre des moyens pour positionner une coupole qui vient coiffer la colonne audit poste de chargement pour enfermer de façon étanche lesdites pièces, ledit robot de manipulation transférant la colonne de pièces qui se trouve dans ladite coupole dudit poste de chargement à
un premier module par l'intermédiaire du ses de transfert.
7. Installation selon la revendication 6, dans laquelle le robot de manipulation comprend un bras pouvant tourner autour d'une colonne centrale et se déplacer verticalement le long de ladite colonne centrale, ledit bras portant un plateau sur lequel repose la colonne de pièces, ledit plateau assurant une étanchéité de chacun des modules par rapport au sas de transfert lorsque ladite colonne de pièces est complètement insérée dans ledit sas.
8. Installation selon la revendication 1, dans laquelle le sas de transfert est constitué d'une enceinte de section rectangulaire, chacun desdits modules étant disposé le long d'une partie supérieure de ladite enceinte, chacun desdits modules étant en communication avec ledit sas de transfert.
9. Installation selon la revendication 8, comprenant en outre des moyens pour empiler lesdites pièces en colonne.
10. Installation selon la revendication 9, comprenant en outre des moyens pour positionner une coupole qui vient coiffer ladite colonne de pièces audit poste de chargement pour enfermer de façon étanche lesdites pièces, ledit robot de manipulation transférant ladite colonne de pièces qui se trouve dans ladite coupole dudit poste de chargement à un premier module par l'intermédiaire du sas de transfert.
11. Installation selon la revendication 10, dans laquelle le robot de manipulation comprend un bras pouvant coulisser le long de colonnes verticales portées par un chariot vertical qui se déplace transversalement le long du sas de transfert grâce à de voies de roulement disposées dans ledit sas de transfert, ledit bras portant un plateau sur lequel repose la colonne de pièces, ce plateau assurant une étanchéité de chacun desdits modules par rapport au sas de transfert lorsque ladite colonne de pièces est complètement insérée dans ledit sas.
12. Installation selon la revendication 2, dans laquelle un desdits modules de préchauffage peut effectuer un chauffage desdites pièces à une température inférieure à celle du point de curie desdites pièces, et dans laquelle le second desdits modules de préchauffage peut effectuer un chauffage desdites pièces à une température supérieure à celle du point de curie desdites pièces.
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