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Brevets

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Numéro de publicationCA2499208 C
Type de publicationOctroi
Numéro de demandeCA 2499208
Numéro PCTPCT/US2003/030016
Date de publication30 juil. 2013
Date de dépôt18 sept. 2003
Date de priorité20 sept. 2002
Autre référence de publicationCA2499208A1, CN1723571A, CN1723571B, EP1540738A2, EP1540738A4, EP1540738B1, US7550794, US8368124, US20040058532, US20090323168, WO2004026757A2, WO2004026757A3
Numéro de publicationCA 2499208, CA 2499208 C, CA 2499208C, CA-C-2499208, CA2499208 C, CA2499208C, PCT/2003/30016, PCT/US/2003/030016, PCT/US/2003/30016, PCT/US/3/030016, PCT/US/3/30016, PCT/US2003/030016, PCT/US2003/30016, PCT/US2003030016, PCT/US200330016, PCT/US3/030016, PCT/US3/30016, PCT/US3030016, PCT/US330016
InventeursMark W. Miles, John Batey, Clarence Chui, Manish Kothari
DéposantIridigm Display Corporation, Mark W. Miles, John Batey, Clarence Chui, Manish Kothari, Qualcomm Mems Technologies, Inc.
Exporter la citationBiBTeX, EndNote, RefMan
Liens externes:  OPIC, Espacenet
Regulation du comportement electromecanique de structures a l'interieur d'un dispositif a systemes microelectromecaniques
CA 2499208 C
Description  disponible en Anglais
Revendications(15)  disponible en Anglais
Classifications
Classification internationaleB81B3/00, B81B7/02, H01L21/00, H01L21/461, H01L21/302, B81C99/00, H01L29/82, B81B
Classification coopérativeB81B3/0035, G02B26/001
Événements juridiques
DateCodeÉvénementDescription
18 sept. 2008EEERExamination request