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Brevets

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Numéro de publicationCA2602365 A1
Type de publicationDemande
Numéro de demandeCA 2602365
Numéro PCTPCT/IB2006/050406
Date de publication21 sept. 2006
Date de dépôt8 févr. 2006
Date de priorité16 mars 2005
Autre référence de publicationCA2602365C, CN101176189A, CN101176189B, EP1878043A2, US20080191218, WO2006097858A2, WO2006097858A3
Numéro de publicationCA 2602365, CA 2602365 A1, CA 2602365A1, CA-A1-2602365, CA2602365 A1, CA2602365A1, PCT/2006/50406, PCT/IB/2006/050406, PCT/IB/2006/50406, PCT/IB/6/050406, PCT/IB/6/50406, PCT/IB2006/050406, PCT/IB2006/50406, PCT/IB2006050406, PCT/IB200650406, PCT/IB6/050406, PCT/IB6/50406, PCT/IB6050406, PCT/IB650406
InventeursSeref Kalem
DéposantTubitak, Seref Kalem
Exporter la citationBiBTeX, EndNote, RefMan
Liens externes:  OPIC, Espacenet
Nanostructures et couches cryptocristallines a faible constante dielectrique
CA 2602365 A1
Description  disponible en Anglais
Revendications(30)  disponible en Anglais
Classifications
Classification internationaleH01L21/306, G06F21/00, H01L21/316, H01L21/20, H01L29/06, H01L21/331, H01L21/768, H01L21/336, H01L21/28, H01L33/16
Classification coopérativeH01L29/51, H01L21/28185, B82Y30/00, H01L29/26, H01L21/28264, H01L21/28194, H01L21/28211, H01L21/312, H01L21/30604, H01L29/513, H01L33/16, H01L2924/0002
Classification européenneB82Y30/00, H01L21/28E4, H01L29/51, H01L29/26, H01L21/312, H01L21/306B, H01L21/28E2C2D, H01L21/28E2C2V
Événements juridiques
DateCodeÉvénementDescription
14 nov. 2008EEERExamination request