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Brevets

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Numéro de publicationCN100375249 C
Type de publicationOctroi
Numéro de demandeCN 200510125252
Date de publication12 mars 2008
Date de dépôt22 nov. 2005
Date de priorité22 nov. 2004
Autre référence de publicationCN1790627A, US7226873, US20060110941
Numéro de publication200510125252.8, CN 100375249 C, CN 100375249C, CN 200510125252, CN-C-100375249, CN100375249 C, CN100375249C, CN200510125252, CN200510125252.8
Inventeurs严永松, 林嘉祥, 林嘉祺, 林宗宪, 陈桂顺
Déposant台湾积体电路制造股份有限公司
Exporter la citationBiBTeX, EndNote, RefMan
Liens externes:  SIPO, Espacenet
填充开口、介层洞开口与沟槽的方法
CN 100375249 C
Description  disponible en Chinois
Revendications(10)  disponible en Chinois
Référencé par
Brevet citant Date de dépôt Date de publication Déposant Titre
CN104517891A *25 févr. 201415 avr. 2015台湾积体电路制造股份有限公司形成沟槽结构的方法
Classifications
Classification internationaleH01L21/31, H01L21/768, H01L21/306, H01L21/00, H01L21/311
Classification coopérativeH01L2924/0002, H01L21/312, H01L23/5329, H01L21/76808
Classification européenneH01L21/768B2D2, H01L21/312
Événements juridiques
DateCodeÉvénementDescription
21 juin 2006C06Publication
23 août 2006C10Request of examination as to substance
12 mars 2008C14Granted