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Brevets

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Numéro de publicationCN100459036 C
Type de publicationOctroi
Numéro de demandeCN 200480015978
Numéro PCTPCT/JP2004/008595
Date de publication4 févr. 2009
Date de dépôt18 juin 2004
Date de priorité19 juin 2003
Autre référence de publicationCN1802726A, CN101436003A, CN101436003B, DE602004024782D1, EP1635382A1, EP1635382A4, EP1635382B1, EP2216685A2, EP2216685A3, EP2216685B1, EP2275869A2, EP2275869A3, EP2275869B1, EP2278401A2, EP2278401A3, EP2278401B1, US7321419, US7486385, US7812925, US7969557, US8018575, US8027027, US8319941, US8436978, US8436979, US8692976, US8705001, US8717537, US8724085, US8767177, US8830445, US9001307, US9019473, US9025129, US9274437, US9551943, US9810995, US20060114445, US20060132739, US20060132740, US20070064214, US20070211234, US20080002166, US20090190112, US20110025996, US20110025997, US20120008111, US20120200837, US20130215403, US20130229637, US20130250257, US20140211176, US20140211177, US20140293252, US20150198897, US20160202617, US20170123326, WO2004114380A1
Numéro de publication200480015978.X, CN 100459036 C, CN 100459036C, CN 200480015978, CN-C-100459036, CN100459036 C, CN100459036C, CN200480015978, CN200480015978.X, PCT/2004/8595, PCT/JP/2004/008595, PCT/JP/2004/08595, PCT/JP/4/008595, PCT/JP/4/08595, PCT/JP2004/008595, PCT/JP2004/08595, PCT/JP2004008595, PCT/JP200408595, PCT/JP4/008595, PCT/JP4/08595, PCT/JP4008595, PCT/JP408595
Inventeurs蛯原明光
Déposant株式会社尼康
Exporter la citationBiBTeX, EndNote, RefMan
Liens externes:  SIPO, Espacenet
曝光装置及器件制造方法
CN 100459036 C
Description  disponible en Chinois
Revendications(26)  disponible en Chinois
Citations de brevets
Brevet cité Date de dépôt Date de publication Déposant Titre
US512125614 mars 19919 juin 1992The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior UniversityLithography system employing a solid immersion lens
WO02/091078A1 Titre non disponible
WO2099/49504A1 Titre non disponible
Classifications
Classification internationaleH01L21/027, G03F7/20
Classification coopérativeG03F7/70333, G03F7/70758, G03F7/70225, G03F7/70341, G03F7/70725, Y10T29/49826, G03F7/70733, G03F7/70325, B82Y10/00, G03F7/70816, G03F7/70716
Classification européenneB82Y10/00, G03F7/70N6, G03F7/70F22, G03F7/70P2B, G03F7/70F24, G03F7/70N4
Événements juridiques
DateCodeÉvénementDescription
12 juil. 2006C06Publication
6 sept. 2006C10Entry into substantive examination
4 févr. 2009C14Grant of patent or utility model