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Brevets

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Numéro de publicationCN101176189 A
Type de publicationDemande
Numéro de demandeCN 200680017063
Numéro PCTPCT/IB2006/050406
Date de publication7 mai 2008
Date de dépôt8 févr. 2006
Date de priorité16 mars 2005
Autre référence de publicationCA2602365A1, CA2602365C, CN101176189B, EP1878043A2, US20080191218, WO2006097858A2, WO2006097858A3
Numéro de publication200680017063.1, CN 101176189 A, CN 101176189A, CN 200680017063, CN-A-101176189, CN101176189 A, CN101176189A, CN200680017063, CN200680017063.1, PCT/2006/50406, PCT/IB/2006/050406, PCT/IB/2006/50406, PCT/IB/6/050406, PCT/IB/6/50406, PCT/IB2006/050406, PCT/IB2006/50406, PCT/IB2006050406, PCT/IB200650406, PCT/IB6/050406, PCT/IB6/50406, PCT/IB6050406, PCT/IB650406
InventeursS·卡勒姆
Déposant土耳其科学和技术研究委员会
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Liens externes:  SIPO, Espacenet
低介电常数隐晶层及纳米结构
CN 101176189 A
Description  disponible en Chinois
Revendications(30)  disponible en Chinois
Classifications
Classification internationaleH01L21/306, H01L21/331, H01L21/336, H01L21/28, H01L21/316, H01L29/06, H01L21/768, H01L21/20, H01L33/16
Classification coopérativeH01L29/51, H01L21/28185, H01L21/312, H01L21/28194, H01L33/16, B82Y30/00, H01L21/30604, H01L21/28264, H01L29/26, H01L21/28211, H01L29/513, H01L2924/0002
Classification européenneB82Y30/00, H01L29/26, H01L21/312, H01L21/28E4, H01L21/28E2C2V, H01L29/51, H01L21/28E2C2D, H01L21/306B
Événements juridiques
DateCodeÉvénementDescription
7 mai 2008C06Publication
2 juil. 2008C10Request of examination as to substance
11 mai 2011C14Granted