Recherche Images Maps Play YouTube Actualités Gmail Drive Plus »
Connexion
Les utilisateurs de lecteurs d'écran peuvent cliquer sur ce lien pour activer le mode d'accessibilité. Celui-ci propose les mêmes fonctionnalités principales, mais il est optimisé pour votre lecteur d'écran.

Brevets

  1. Recherche avancée dans les brevets
Numéro de publicationCN101176189 B
Type de publicationOctroi
Numéro de demandeCN 200680017063
Numéro PCTPCT/IB2006/050406
Date de publication11 mai 2011
Date de dépôt8 févr. 2006
Date de priorité16 mars 2005
Autre référence de publicationCA2602365A1, CA2602365C, CN101176189A, EP1878043A2, US20080191218, WO2006097858A2, WO2006097858A3
Numéro de publication200680017063.1, CN 101176189 B, CN 101176189B, CN 200680017063, CN-B-101176189, CN101176189 B, CN101176189B, CN200680017063, CN200680017063.1, PCT/2006/50406, PCT/IB/2006/050406, PCT/IB/2006/50406, PCT/IB/6/050406, PCT/IB/6/50406, PCT/IB2006/050406, PCT/IB2006/50406, PCT/IB2006050406, PCT/IB200650406, PCT/IB6/050406, PCT/IB6/50406, PCT/IB6050406, PCT/IB650406
InventeursS·卡勒姆
Déposant土耳其科学和技术研究委员会
Exporter la citationBiBTeX, EndNote, RefMan
Liens externes:  SIPO, Espacenet
低介电常数隐晶层及纳米结构
CN 101176189 B
Description  disponible en Chinois
Revendications(11)  disponible en Chinois
Citations hors brevets
Référence
1JP昭64-10614A 1989.01.13
2M.Saadoun et al..Vapour-etching-based porous silicon: a new approach.Thin Solid Films405 1-2.2002,30-31.
3R.W.Fathauer et al..Visible luminescence from silicon wafers subjuctedto stainetches.Applied Physics Letters60 8.1992,995-997.
4S.Kalem et al..Possibility of fabricating light-emitting porous silicon from gasphase etchants.Optics Express6 1.2000,7-11.
5S.Kalem.possible low-k solution and other potential applications.European Semiconductor26 7.2004,31-34.
6S.Kalem.Synthesis of ammonium silicon fluoride cryptocrystals onsilicon by dry etching.Applied Surface Science236 1-4.2004,336-341.
Classifications
Classification internationaleH01L33/16, H01L21/768, H01L33/00, H01L21/336, G06F21/00, H01L21/306, H01L21/20, H01L29/06, H01L21/28, H01L21/331, H01L21/316
Classification coopérativeH01L29/51, B82Y30/00, H01L21/30604, H01L29/26, H01L29/513, H01L21/28264, H01L21/28211, H01L21/28185, H01L21/312, H01L21/28194, H01L33/16, H01L2924/0002
Classification européenneH01L21/312, H01L21/28E2C2D, H01L21/306B, B82Y30/00, H01L29/51, H01L21/28E4, H01L29/26, H01L21/28E2C2V
Événements juridiques
DateCodeÉvénementDescription
7 mai 2008C06Publication
2 juil. 2008C10Request of examination as to substance
11 mai 2011C14Granted