CN101263302A - 非对称双隔膜泵 - Google Patents

非对称双隔膜泵 Download PDF

Info

Publication number
CN101263302A
CN101263302A CNA2006800330429A CN200680033042A CN101263302A CN 101263302 A CN101263302 A CN 101263302A CN A2006800330429 A CNA2006800330429 A CN A2006800330429A CN 200680033042 A CN200680033042 A CN 200680033042A CN 101263302 A CN101263302 A CN 101263302A
Authority
CN
China
Prior art keywords
barrier film
micropump
chamber
port
angle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CNA2006800330429A
Other languages
English (en)
Inventor
E·I·卡布斯
T·-Y·王
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Honeywell International Inc
Original Assignee
Honeywell International Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Honeywell International Inc filed Critical Honeywell International Inc
Publication of CN101263302A publication Critical patent/CN101263302A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04—Pumps having electric drive
    • F04B43/043—Micropumps

Abstract

一种非对称微泵，可适于提供微泵的入端口和出端口之间的更大的流体压缩、以及由于更高的促动频率引起的增大的流率。在某些情况下，可将非对称双隔膜微泵包含在组件中以提供期望的增大的压力蓄积、改善的抽吸量或者两者均有。

Description

非对称双隔膜泵
技术领域
本发明大体涉及泵，更具体地说涉及双隔膜泵(dual diaphragmpump)。
背景
现代的消费者、工业、商业、航天和军事系统经常依靠可靠的泵来用于流体控制。对于一些应用，例如在一些仪表、感应和/或控制应用中，小型泵系统经常是称心如意的。尽管微泵技术已经取得一些重要的进展，但仍需要具有改善的工作特性的微泵。
概要
本发明大体涉及泵，更具体地说涉及双隔膜泵。在某些情况下，本发明可提供泵的入端口和出端口间的更大的流体压缩，以及如果期望的话，还提供由于更高的促动频率引起的增大的流率。
在本发明的一个说明性实施方案中，提供了包括具有腔室中线、第一表面和第二表面的泵腔室的微泵。第一表面包括以与腔室中线成第一锐角延伸的第一部分。第二表面包括以与腔室中线成第二锐角延伸的第二部分。在某些情况下，第二角度小于第一角度，以及在某些情况下第二角度可以为0或者甚至为负。微泵包括布置在腔室中的第一隔膜和第二隔膜。第一隔膜和第二隔膜均具有布置在其中的至少一个孔。
在某些情况下，第一隔膜适于被静电促动向第一表面和/或第二表面，并且第二隔膜适于被静电促动向第二表面和/或第一表面。在某些情况下，第一隔膜和第二隔膜适于通过弹性回复力返到腔室中线附近的位置，但在所有的实施方案中这不是必需的。当相互接近地安置第一隔膜和第二隔膜时，布置在第一隔膜中的至少一个孔不对齐于布置在第二隔膜中的至少一个孔。
在某些情况下，第一表面包括第一端口。第一隔膜适于被静电促动到邻近第一表面的位置以封闭或者大致封闭第一端口。同样地，第二表面包括第二端口，并且第二隔膜适于被静电促动到邻近第二表面的位置以封闭或大致封闭第二端口。
在某些情况下，第一隔膜和第二隔膜是适合的，这样可被静电独立地促动它们。例如，第一隔膜是适合的，以至于其可被静电独立地促动到邻近第一表面的位置，这样第一隔膜封闭或大致封闭第一端口，或者第一隔膜邻近第二表面。同样地，第二隔膜是适合的，以至于其可被静电独立地促动进邻近第二表面的位置，这样第二隔膜封闭或大致封闭第二端口，或者第二隔膜邻近第一表面。在某些情况下，可提供这样微泵的垂直和/或水平堆叠以增加抽吸压缩或容量，以及在某些情况下以提高期望的可靠性。
本发明的上述概要不是想描述本发明的各个公开的实施方案或每个实施方案。下文的图、详细描述和实施例更具体地解释了这些实施方案。
附图简述
结合附图考虑下文本发明的各个实施方案的详细描述，可更充分地理解本发明，其中：
图1是根据本发明的实施方案的微泵腔室的分解截面图；
图2是根据本发明的实施方案的非对称双隔膜微泵的分解截面图；
图3是根据本发明的实施方案的非对称双隔膜微泵的分解截面图；
图4至图9示意性地说明了图2中的微泵的工作原理；
图10是根据本发明的实施方案的采用两个非对称双隔膜微泵的垂直堆叠微泵阵列的截面图；
图11是根据本发明的实施方案的采用三个非对称双隔膜微泵的垂直堆叠微泵阵列的截面图；以及
图12是根据本发明的实施方案的大量平行微泵阵列的图例说明。
由于本发明可适于各种修改和备选形状，在附图中通过实施例的方式示出的其细节并将详细地描述。然而，应知不想将本发明限制到描述的特定实施方案。相反，是想覆盖在本发明的实质和范围之内的所有修改、等同方案以及备选方案。
详细描述
应参照附图阅读下文的描述，其中以同样的方式对不同附图中的类似元件编号。不必成比例的附图描述了选定的实施方案并且不想限制本发明的范围。尽管说明了用于各种元件的结构、尺寸以及材质的实施例，但是本领域的那些技术人员将意识到所提供的许多实施例具有可被利用的适宜备选方案。
图1是包括上截面12和下截面14的微泵腔室10的分解图。在下面的描述中，上和下的指定是任意的并且是仅为了易于讨论。在某些情况下，如果从上或从下方观看，微泵腔室10为圆形。当然也可以设想其它形状。
腔室中线16可看作在上截面12和下截面14之间延伸。“腔室中线”这一用语不想暗示其恰巧在腔室的中间延伸，而且意指其仅仅将腔室分成两部分。应注意到为了清晰，已经充分夸大了图1中的元件之间的间距。当相互靠近地安置上截面12和下截面14时，在图1中示出的说明性实施方案中，可看到腔室中线16横断上截面12和下截面14的交界处。
上截面12具有包括与腔室中线16成锐角α的部分20的表面18。类似地，下截面14具有包括与腔室中线16成锐角β的部分24的表面22。在某些情况下，角度β可小于角度α。在某些情况下，角度β可至少小于角度α约0.25度。
角度α可如期望的大小以实现期望的抽吸特征并且可为约45度。在某些特定情况下，角度α例如可在约0.5度至约5度的范围内，而角度β可在约0度至约4.75度的范围内。在某些情况下，角度β可小于约2.0度并且在某些情况下，如在图3中说明的，其可等于约0，或者如果期望的话甚至为负。
可注意到将角度β设定小于角度α可减小微泵腔室10中的工作量或者总空间(例如，在上截面12和下截面14之间)。然而，在某些情况下，减小相对于角度α的角度β可改善一些工作参数。例如，通过减小相对于角度α的角度β，可增加抽吸频率。另外，减小相对于角度α的角度β有助于增加跨越微泵腔室10达到的压差。
在说明性的实施方案中，上截面12包括端口26，而下截面14包括端口28。应注意到虽然微泵腔室10不是对称分布在腔室中线16的相对两侧(例如，上截面12不对称于下截面14)，但在一些实施方案中微泵腔室10在左右方向上是对称的。换句话说，在图1的说明性实施方案中，上截面12的右侧部分(没有标号)是上截面12的左侧部分(具有标号)的镜像，但这不是必需的。类似地，下截面14的右侧部分是下截面14的左侧部分的镜像，但这也不是必需的。
在某些情况下，包括上截面12和下截面14的微泵腔室10可以为任意适宜的半刚性或刚性材质，例如塑料、陶瓷、硅等。例如在一些实施方案中，微泵腔室10可通过模制例如ULTEMTM(可从马萨诸塞州的匹兹菲尔德市的General Electric Company获得)、CELAZOLETM(可从新泽西州的萨米特市的Hoechst-CelaneseCorporation获得)、KETRONTM(可从宾夕法尼亚州的里丁市的PolymerCorporation获得)的高温塑料或者用一些其它适宜材质构建。
图2是采用微泵腔室10(图1)的微泵30的分解图。已从该图中去除了腔室中线16(图1)以更好地说明上隔膜32和下隔膜34。在该说明性实施方案中，上隔膜32包括一个或多个上孔36而下隔膜34包括一个或多个下孔38。如在图2中所见，上孔36横向偏离于下孔38。
在某些情况下，上孔36可在上隔膜32中围绕具有第一半径的圆对齐，而下孔38可在下隔膜34中围绕具有不同于第一半径的第二半径的圆对齐，这些半径都具有共同的中心点。在该配置方案中，上孔36不对齐于下孔38，并且当使上隔膜32和下隔膜34直接相互邻近(例如，相互接触)时，上隔膜32封闭或者大致封闭下孔38并且下隔膜34可封闭或者大致封闭上孔36。
在某些情况下，用来制造上隔膜32和下隔膜34的材质可具有弹性、回弹性、柔性或者其它弹性体特性，但是在所有实施方案中这不是必需的。在某些情况下，上隔膜32和下隔膜34可用一般适合的材质制造。例如，上隔膜32和下隔膜34可用例如KAPTONTM(可从特拉华州的威尔明顿市的E.I.du Pont de Nemours&Co.获得)、KALADEXTM(可从特拉华州的威尔明顿市的ICI Films获得)、MYLARTM(可从特拉华州的威尔明顿市的E.I.du Pont de Nemours&Co.获得)、ULTEMTM(可从马萨诸塞州的匹兹菲尔德市的General ElectricCompany获得)的聚合体或者期望的任意其它适宜的材质制造。
如对于图4至图9将更详细地讨论的，上隔膜32和下隔膜34可被静电促动穿过各个位置。上隔膜32可被静电促动到使上隔膜靠近表面18的位置，以使上隔膜封闭或者大致封闭端口26。同样地，下隔膜34可被静电促动到使下隔膜靠近表面22的位置，以使下隔膜封闭或者大致封闭端口28。在某些情况下，上隔膜32和下隔膜34可被静电独立地促动。例如，上隔膜32和下隔膜34可向相反方向和/或同一方向移动。在某些情况下，上隔膜32或下隔膜34的其中之一可被静电移动，而另一个保持静止。
为了使上隔膜32和下隔膜34可被静电促动，应意识到上隔膜32、下隔膜34、表面18和表面22各包括相应的电极。电极可使用任意适宜的技术、通过任意适宜的材质形成。通过在合适的电极之间施加电压，上隔膜32和下隔膜34通过静电力可如期望地移动。在某些情况下，每个电极(没有说明)可包括一个或多个绝缘层，位于每个电极之上或者之下，以助于防止电极之间的电短路，特别是在相应的构件相互接合时。
图3是包括如对图2所讨论的上截面12和下截面42的微泵40的分解图。上隔膜32和下隔膜34如上文讨论地运行和被构建。在该说明性实施方案中，角度β示出约为0度，这样下截面42包括使其至少大致平行于腔室中线16(图1)的表面44。在某些情况下，下隔膜34不需被静电朝表面44拖下，因为弹性回复力可提供该功能。然而，在一些实施方案中，下隔膜34被静电朝表面44拖下。
图4至图9是示出采用微泵30(图2)的说明性抽吸循环的概略横截面。特别是，这些图说明了抽吸次序，其中入口在底部而出口在顶部。由于说明性的微泵是完全可逆的，相反的配置方案是同样合适的。如前文引用的，在一些说明性实施方案中，上隔膜32和下隔膜34可被静电在各个位置之间促动。当它们移动时，可认为上隔膜32和下隔膜34限定了上体积48、下体积50和中体积52。
应注意到在图4至图9中为了清晰，已经夸大了各个构件之间的间距。在某些情况下，如在图4、5和6中示出的，当上隔膜32和下隔膜34一致移动时，它们实际上会物理接触。
上体积48形成在表面18的部分20与上隔膜32之间，下体积50形成在下隔膜34与表面22的部分24之间，而中体积52形成在上隔膜32与下隔膜34之间。应意识到在特定的抽吸循环阶段，取决于上隔膜32和下隔膜34的相对位置，一个或多个上体积48、下体积50和中体积52可基本消失(例如，变成0或者大致为0)。
在图4中，上隔膜32和下隔膜34均可被静电拖下，从而封闭端口28。在这刻，假定流体(例如，气体或液体)包含在上体积48中，而上隔膜32和下隔膜34的位置基本除去了下体积50和中体积52。如所看到的，为了在每次循环期间产生期望的封闭，上孔36和下孔38没有相互对齐或者没有与端口26或端口28其中之一对齐。
图5说明了泵程的启始，同时向顶部静电拖动上隔膜32和下隔膜34，这样将包含在上体积48中的流体推进端口26。在该说明性实施方案中，这可通过在表面18的部分20和上隔膜32和/或下隔膜34上的电极提供合适的电压实现。在某些情况下，弹性回复力可补充上隔膜32和下隔膜34的移动以达到在图5中示出的位置，或者弹性回复力可被专有使用。图6说明了泵程的完成，其中上隔膜32和下隔膜34均被静电拖动向上以封闭端口26。在这刻，所有在上体积48中的流体都被推出并且排进端口26中。在这同一泵程中，新流体通过端口28被吸进下体积50中。
在图7中，上隔膜32保持与端口26的封闭关系，而下隔膜34被静电/或弹力拖动向下，从而导致下体积50中的流体通过下隔膜34中的下孔38转移进中腔室52中。图8说明了上隔膜32保持封闭端口26的位置时被静电完全拖动向下以封闭端口28的下隔膜34的定位。最终，图9说明了上隔膜32向下朝隔膜34移动的中点，其中流体从中体积52被拖向上体积48。最后，向下拖动上隔膜32直到其如在图4中示出的邻近下隔膜34，这样完成了该次泵循环。可以重复上面描述的抽吸循环以将更多的流体从端口28抽吸到端口26中。
在一些说明性实施方案中，例如微泵30或微泵40的微泵可被组装成微泵阵列。通过串行地排列微泵30或微泵40，例如、第一微泵30或微泵40的输出可被提供到第二微泵30或微泵40的输入。这可可在微泵组件上建立的更大的压力蓄积。通过平行地排列微泵30或微泵40，可获得更大抽吸量。在某些情况下，两个或多个微泵30或微泵40可串行地排列，并然后平行地排列多个微泵30或微泵40串以提供二维抽吸阵列，其可提供提高的压力差以及更大的抽吸量。图10至图14示出一些说明性微泵阵列的特定实施例。
图10说明了包括上微泵56和下微泵58的微泵阵列54。应注意到上和下的指定是任意的，所以微泵阵列54可颠倒。在该说明性实施方案，可构建上微泵56和下微泵58，并且其可如对微泵40(图3)前文所讨论地运行。上微泵56包括入口60和出口62。下微泵58包括入口64和出口66，而入口与上微泵56的出口62流通连接。
如对上隔膜32和下隔膜34(图2和图3)前文所讨论的，上微泵56包括上隔膜68和下隔膜70。类似地，下微泵58包括上隔膜72和下隔膜74。上隔膜68包括若干孔76，并且下隔膜包括与上隔膜68的孔76不对齐的若干其它孔78。类似地，上隔膜72包括若干孔80，而下隔膜74包括若干不对齐的孔82。
在工作期间，如对图3前文讨论的，流体进入入口60并被抽吸到出口62中。流体然后进入入口64中并被抽吸到出口66中。在入口60和出口62之间的流体压力增加了，并且在入口64和出口66的流体压力也增加了。跨过泵阵列的总压力差是这些流体压力增加量的总和。
图11说明了包括上微泵86、中微泵88和下微泵90的微泵阵列84。上微泵86具有入口92和出口94。中微泵88具有入口96和出口98，其中入口96与上微泵86的出口94流通连接。下微泵90具有入口100和出口102，其中入口100与中微泵88的出口98流通连接。上微泵86、中微泵88和下微泵90的构建和运行可以类似于对图10所描述的，这样在本文中不再详细讨论。
在工作期间，如对图10前文讨论的，流体进入入口92并且被抽吸进出口94中。流体然后进入入口96中并且被抽吸进出口98中。流体然后进入入口100并且被抽吸进出口102中。如所讨论的，当流体流经每个上微泵86、中微泵88和下微泵90时，流体压力增加了。可设想可按类似的方式堆叠任意多个微泵以达到期望的压力增加量。
图12说明了包括串行排列的多个泵(例如、图3中的微泵40)的微泵阵列144，其具有平行排列两个或多个泵串。在该说明性实施方案中，微泵阵列144包括第一微泵串146、第二微泵串148、第三至最后微泵串150以及最后一个微泵串152。每个第一微泵串146、第二微泵串148、第三至最后微泵串150、最后一个微泵串152以及每个中微泵串(没有示出)如对微泵阵列130(图11)所讨论地运行。通过平行置放多个微泵串(或阵列)，流体抽吸容量可增加。而且，通过平行置放多个微泵，可增加抽吸系统的可靠性，因为如果一个或多个泵单元不运行，其它的泵单元可补偿和/或可激活其它未使用(冗余的)的微泵。
本发明不应理解为限制到上述的特定实施例，而应理解为覆盖如在附属权项中规定的本发明的所有方面。浏览完本说明后，本领域的那些技术人员可清晰地理解可应用本发明的各种修改、等同工艺以及多个结构。

Claims (20)

1.一种微泵，包括：
具有腔室中线的腔室；
第一表面，其包括以与所述腔室中线成第一锐角延伸的第一部分；
与所述第一表面相对的第二表面，所述第二表面包括以与所述腔室中线成第二锐角延伸的第二部分；
布置在所述腔室内的第一隔膜，至少一个第一孔被布置在所述第一隔膜内；以及
布置在所述腔室内的第二隔膜，至少一个第二孔被布置在所述第二隔膜内；
其中所述第二角度小于所述第一角度。
2.如权利要求1所述的微泵，其特征在于，所述第一隔膜和第二隔膜中的每一个适于在接近所述第一表面的位置和接近所述第二表面的位置之间被静电促动。
3.如权利要求1所述的微泵，其特征在于，当使所述第一隔膜和第二隔膜相互邻近时，布置在所述第一隔膜内的所述至少一个第一孔与布置在所述第二隔膜中的所述至少一个第二孔不对齐。
4.如权利要求1所述的微泵，其特征在于，所述第一表面还包括第一端口，并且所述第一隔膜适于被静电促动到所述第一隔膜封闭所述第一端口的位置。
5.如权利要求1所述的微泵，其特征在于，所述第二表面还包括第二端口，并且所述第二隔膜适于被静电促动到所述第二隔膜封闭所述第二端口的位置。
6.如权利要求1所述的微泵，其特征在于，所述第二角度至少小于所述第一角度约0.25度。
7.如权利要求1所述的微泵，其特征在于，所述第一角度在约0.5度至约5.0度的范围内。
8.如权利要求1所述的微泵，其特征在于，所述第二角度小于约4.75度。
9.如权利要求1所述的微泵，其特征在于，所述第二表面至少大致与所述腔室中线平行。
10.一种微泵，包括：
微泵腔室，其具有下部第一表面和不平行的上部第二表面、布置在所述下部第一表面内的第一端口以及布置在所述上部第二表面内的第二端口；以及
双隔膜，其布置在所述微泵腔室内，所述双隔膜包括具有至少一个第一孔的第一隔膜和具有至少一个第二孔的第二隔膜，其中当使所述第一隔膜邻近于所述第二隔膜时，所述至少一个第二孔中没有一个与所述至少一个第一孔中的任意一个对齐，并且其中当所述第一隔膜未激活并且静止时，微泵腔室的所述第一下表面平行或大致平行于所述第一隔膜而延伸。
11.如权利要求10所述的微泵，其特征在于，所述第一隔膜和所述第二隔膜适于在所述微泵腔室内被静电独立地促动。
12.如权利要求11所述的微泵，其特征在于，所述第一隔膜适于被静电促动到所述第一隔膜封闭所述第一端口的位置。
13.如权利要求11所述的微泵，其特征在于，所述第二隔膜适于被静电促动到所述第二隔膜封闭所述第二端口的位置。
14.一种垂直堆叠微泵阵列，包括：
第一双隔膜腔室，包括：
具有第一入端口的第一成角度的上表面；
具有第一出端口的相对的第一成角度的下表面，其中所述第一成角度的上表面以与所述相对的第一成角度的下表面不同的相对角度定位；以及
包括第一上隔膜和第一下隔膜的第一双隔膜；以及
第二双隔膜腔室，包括：
具有第二入端口的第二成角度的上表面；
具有第二出端口的相对的第二成角度的下表面，其中所述第二成角度的上表面以不同于所述相对的第二成角度的下表面的相对角度定位；以及
包括第二上隔膜和第二下隔膜的第二双隔膜；
其中所述第二入端口与所述第一出端口流通连接。
15.如权利要求14所述的垂直堆叠微泵阵列，其特征在于，所述第一双隔膜包括具有上部第一组孔的第一上隔膜和具有不与所述上部第一组孔对齐的下部第一组孔的第一下隔膜。
16.如权利要求14所述的垂直堆叠微泵阵列，其特征在于，所述第二双隔膜包括具有上部第二组孔的第二上隔膜和具有不与所述上部第二组孔对齐的下部第二组孔的第二下隔膜。
17.如权利要求14所述的垂直堆叠微泵阵列，还包括：
第三双隔膜腔室，包括：
具有第三入端口的第三成角度的上表面；
具有第三出端口的相对的第三成角度的下表面，其中所述第三成角度的上表面以不同于所述相对的第三成角度的下表面的相对角度定位；以及
包括第三上隔膜和第三下隔膜的第三双隔膜；
其中，所述第三入端口与所述第二出端口流通连接。
18.如权利要求14所述的垂直堆叠微泵阵列，其特征在于，所述第一双隔膜腔室包括腔室中线，并且所述第一成角度的上表面以相对于所述腔室中线的第一角度而定位，且所述相对的第一成角度的下表面以相对于所述腔室中线的第二角度而定位，其中所述第一角度不同于所述第二角度。
19.如权利要求18所述的垂直堆叠微泵阵列，其特征在于，所述第二角度为0或大致为0。
20.如权利要求14所述的垂直堆叠微泵阵列，其特征在于，还包括以平行关系定位的另一垂直堆叠微泵。
CNA2006800330429A 2005-07-14 2006-07-10 非对称双隔膜泵 Pending CN101263302A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/160,907 2005-07-14
US11/160,907 US7517201B2 (en) 2005-07-14 2005-07-14 Asymmetric dual diaphragm pump

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN101263302A true CN101263302A (zh) 2008-09-10

Family

ID=37192446

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNA2006800330429A Pending CN101263302A (zh) 2005-07-14 2006-07-10 非对称双隔膜泵

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7517201B2 (zh)
EP (1) EP1902219A1 (zh)
JP (1) JP2009501297A (zh)
CN (1) CN101263302A (zh)
WO (1) WO2007011553A1 (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105526135A (zh) * 2015-12-08 2016-04-27 北京有色金属研究总院 一种反向低驱动电压双侧泵膜无阀静电微泵及其制备方法
CN109139434A (zh) * 2018-10-25 2019-01-04 重庆水泵厂有限责任公司 隔膜泵隔膜非等位挠曲形变控制方法
CN110741161A (zh) * 2017-03-13 2020-01-31 斯蒂芬.A.马什 微型泵系统和处理技术

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7517201B2 (en) * 2005-07-14 2009-04-14 Honeywell International Inc. Asymmetric dual diaphragm pump
US7841385B2 (en) * 2006-06-26 2010-11-30 International Business Machines Corporation Dual-chamber fluid pump for a multi-fluid electronics cooling system and method
US8485793B1 (en) * 2007-09-14 2013-07-16 Aprolase Development Co., Llc Chip scale vacuum pump
DE502008002644D1 (de) * 2008-12-15 2011-03-31 Siemens Ag Schwingmembranlüfter mit gekoppelten Teileinheiten, und Gehäuse mit einem derartigen Schwingmembranlüfter
DE102011015184B4 (de) * 2010-06-02 2013-11-21 Thinxxs Microtechnology Ag Vorrichtung für den Transport kleiner Volumina eines Fluids, insbesondere Mikropumpe oder Mikroventil
KR101275361B1 (ko) * 2011-05-26 2013-06-17 삼성전기주식회사 압전 방식의 냉각 장치
DE102012013681A1 (de) * 2012-07-11 2014-01-16 Pfeiffer Vacuum Gmbh Pumpenmodul, sowie Verdrängerpumpe
DE102013209866B4 (de) * 2013-05-28 2021-11-04 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung mit vorgegebener Fluidverdrängung
WO2016171660A1 (en) * 2015-04-20 2016-10-27 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Pump having freely movable member
WO2016171659A1 (en) 2015-04-20 2016-10-27 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Pump having freely movable member
US10568811B2 (en) 2016-02-22 2020-02-25 R.P. Scherer Technologies, Llc Multiple-fluid injection pump
WO2018027108A1 (en) * 2016-08-05 2018-02-08 Marsh Stephen Alan Micro pressure sensor
TWI602995B (zh) * 2016-09-05 2017-10-21 研能科技股份有限公司 流體控制裝置
TWI613367B (zh) 2016-09-05 2018-02-01 研能科技股份有限公司 流體控制裝置
TWI625468B (zh) 2016-09-05 2018-06-01 研能科技股份有限公司 流體控制裝置
DE102016123790A1 (de) * 2016-12-08 2018-06-14 Makita Corporation Vergaser für einen Verbrennungsmotor eines Arbeitsgerätes
EP3527826B1 (en) * 2018-02-16 2020-07-08 ams AG Pumping structure, particle detector and method for pumping
EP3907006A1 (de) * 2020-05-06 2021-11-10 Kilobaser GmbH Mikrofluidisches ventil

Family Cites Families (131)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2403692A (en) * 1944-12-29 1946-07-09 George C Tibbetts Piezoelectric device
US2975307A (en) * 1958-01-02 1961-03-14 Ibm Capacitive prime mover
US3304446A (en) * 1963-12-26 1967-02-14 Union Oil Co Electrostrictive fluid transducer
US3414010A (en) 1965-11-01 1968-12-03 Honeywell Inc Control apparatus
US3381623A (en) * 1966-04-26 1968-05-07 Harold F Elliott Electromagnetic reciprocating fluid pump
CH1494868A4 (zh) * 1968-10-08 1971-03-15 Proctor Ets
US3838946A (en) * 1971-07-12 1974-10-01 Dorr Oliver Inc Air pressure-actuated double-acting diaphragm pump
JPS4829420A (zh) * 1971-08-20 1973-04-19
US3803424A (en) * 1972-05-08 1974-04-09 Physics Int Co Piezoelectric pump system
US3993939A (en) 1975-01-07 1976-11-23 The Bendix Corporation Pressure variable capacitor
GB1530662A (en) 1976-03-01 1978-11-01 Mullard Ltd Peristaltic pump
US4197737A (en) * 1977-05-10 1980-04-15 Applied Devices Corporation Multiple sensing device and sensing devices therefor
US4140936A (en) * 1977-09-01 1979-02-20 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Square and rectangular electroacoustic bender bar transducer
US4360955A (en) 1978-05-08 1982-11-30 Barry Block Method of making a capacitive force transducer
DE3068433D1 (en) 1979-09-10 1984-08-09 Ici Plc Electrostatically actuated valve
IL59942A (en) * 1980-04-28 1986-08-31 D P Lab Ltd Method and device for fluid transfer
DE3108693A1 (de) 1981-03-07 1982-09-23 Walter Ing.(grad.) 7758 Meersburg Holzer Elektromagnetventil, insbesondere fuer hausgeraete
US4381180A (en) * 1981-07-13 1983-04-26 Sell John R Double diaphragm pump with controlling slide valve and adjustable stroke
US4453169A (en) * 1982-04-07 1984-06-05 Exxon Research And Engineering Co. Ink jet apparatus and method
US4651564A (en) 1982-09-30 1987-03-24 Honeywell Inc. Semiconductor device
US4478077A (en) 1982-09-30 1984-10-23 Honeywell Inc. Flow sensor
US4478076A (en) 1982-09-30 1984-10-23 Honeywell Inc. Flow sensor
US4501144A (en) * 1982-09-30 1985-02-26 Honeywell Inc. Flow sensor
DE3320441A1 (de) 1983-06-06 1984-12-06 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Mit fluessigkeitstroepfchen arbeitendes schreibgeraet mit an beiden enden starr mit einer duesenplatte verbundenen stabfoermigen piezoelektrischen wandlern
US4585209A (en) * 1983-10-27 1986-04-29 Harry E. Aine Miniature valve and method of making same
US4581624A (en) * 1984-03-01 1986-04-08 Allied Corporation Microminiature semiconductor valve
DE3515499C2 (de) * 1984-05-01 1994-08-04 Smc Kk Elektropneumatischer Wandler
US4576050A (en) * 1984-08-29 1986-03-18 General Motors Corporation Thermal diffusion fluid flow sensor
US4654546A (en) * 1984-11-20 1987-03-31 Kari Kirjavainen Electromechanical film and procedure for manufacturing same
JPS61173319A (ja) * 1985-01-26 1986-08-05 Shoketsu Kinzoku Kogyo Co Ltd 流体用レギユレ−タ
US4756508A (en) * 1985-02-21 1988-07-12 Ford Motor Company Silicon valve
US4681564A (en) * 1985-10-21 1987-07-21 Landreneau Michael D Catheter assembly having balloon extended flow path
JPH0729414B2 (ja) * 1987-01-22 1995-04-05 株式会社テック 弁素子及びその製造方法
FR2614986B1 (fr) * 1987-05-07 1989-08-18 Otic Fischer & Porter Structure de cellule capacitive pour la mesure des pressions differentielles
JPH01174278A (ja) * 1987-12-28 1989-07-10 Misuzu Erii:Kk インバータ
US4911616A (en) * 1988-01-19 1990-03-27 Laumann Jr Carl W Micro miniature implantable pump
US4938742A (en) * 1988-02-04 1990-07-03 Smits Johannes G Piezoelectric micropump with microvalves
US5065978A (en) 1988-04-27 1991-11-19 Dragerwerk Aktiengesellschaft Valve arrangement of microstructured components
JP2709318B2 (ja) 1988-08-31 1998-02-04 セイコープレシジョン株式会社 液晶パネルおよび液晶パネルを用いた変換装置
CH679555A5 (zh) * 1989-04-11 1992-03-13 Westonbridge Int Ltd
DE3914031C2 (de) * 1989-04-28 1993-10-28 Deutsche Aerospace Mikromechanischer Aktuator
ES2061042T3 (es) * 1989-06-14 1994-12-01 Westonbridge Int Ltd Microbomba perfeccionada.
US5069419A (en) 1989-06-23 1991-12-03 Ic Sensors Inc. Semiconductor microactuator
US6179856B1 (en) * 1989-07-05 2001-01-30 Medtronic Ave, Inc. Coaxial PTCA catheter with anchor joint
DE3925749C1 (zh) * 1989-08-03 1990-10-31 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung Ev, 8000 Muenchen, De
DE3926066A1 (de) * 1989-08-07 1991-02-14 Ibm Deutschland Mikromechanische kompressorkaskade und verfahren zur druckerhoehung bei extrem niedrigem arbeitsdruck
CH681168A5 (en) * 1989-11-10 1993-01-29 Westonbridge Int Ltd Micro-pump for medicinal dosing
JPH03170826A (ja) * 1989-11-29 1991-07-24 Toshiba Corp 容量型圧力センサ
US5171132A (en) 1989-12-27 1992-12-15 Seiko Epson Corporation Two-valve thin plate micropump
US5244537A (en) 1989-12-27 1993-09-14 Honeywell, Inc. Fabrication of an electronic microvalve apparatus
US5082242A (en) * 1989-12-27 1992-01-21 Ulrich Bonne Electronic microvalve apparatus and fabrication
US5180623A (en) * 1989-12-27 1993-01-19 Honeywell Inc. Electronic microvalve apparatus and fabrication
DE4006152A1 (de) * 1990-02-27 1991-08-29 Fraunhofer Ges Forschung Mikrominiaturisierte pumpe
US5096388A (en) * 1990-03-22 1992-03-17 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Microfabricated pump
EP0483469B1 (en) * 1990-10-30 1994-10-12 Hewlett-Packard Company Micropump
US5206557A (en) * 1990-11-27 1993-04-27 Mcnc Microelectromechanical transducer and fabrication method
DE69213340T2 (de) * 1991-05-30 1997-03-27 Hitachi Ltd Ventil und seine Verwendung in einer Vorrichtung hergestellt aus Halbleitermaterial
DE4119955C2 (de) 1991-06-18 2000-05-31 Danfoss As Miniatur-Betätigungselement
JP2821286B2 (ja) 1991-08-06 1998-11-05 山形日本電気株式会社 半導体装置の製造装置
US5176358A (en) * 1991-08-08 1993-01-05 Honeywell Inc. Microstructure gas valve control
DE4143343C2 (de) * 1991-09-11 1994-09-22 Fraunhofer Ges Forschung Mikrominiaturisierte, elektrostatisch betriebene Mikromembranpumpe
US5192197A (en) * 1991-11-27 1993-03-09 Rockwell International Corporation Piezoelectric pump
JPH0678566A (ja) * 1992-08-25 1994-03-18 Kanagawa Kagaku Gijutsu Akad 静電アクチュエータ
US5441597A (en) * 1992-12-01 1995-08-15 Honeywell Inc. Microstructure gas valve control forming method
US5290240A (en) 1993-02-03 1994-03-01 Pharmetrix Corporation Electrochemical controlled dispensing assembly and method for selective and controlled delivery of a dispensing fluid
US5333831A (en) * 1993-02-19 1994-08-02 Hewlett-Packard Company High performance micromachined valve orifice and seat
US5325880A (en) * 1993-04-19 1994-07-05 Tini Alloy Company Shape memory alloy film actuated microvalve
US5642015A (en) * 1993-07-14 1997-06-24 The University Of British Columbia Elastomeric micro electro mechanical systems
WO1995003534A1 (de) * 1993-07-24 1995-02-02 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kapazitive drucksensoren mit hoher linearität
US5526172A (en) * 1993-07-27 1996-06-11 Texas Instruments Incorporated Microminiature, monolithic, variable electrical signal processor and apparatus including same
DE69431994T2 (de) 1993-10-04 2003-10-30 Res Int Inc Mikro-bearbeitetes fluidbehandlungsvorrichtung mit filter und regelventiler
JPH07184377A (ja) 1993-10-21 1995-07-21 Mitsubishi Chem Corp 静電アクチュエータ
US5499909A (en) * 1993-11-17 1996-03-19 Aisin Seiki Kabushiki Kaisha Of Kariya Pneumatically driven micro-pump
DE69410487T2 (de) * 1993-12-28 1998-11-05 Westonbridge Int Ltd Mikropumpe
CH689836A5 (fr) * 1994-01-14 1999-12-15 Westonbridge Int Ltd Micropompe.
DE4402119C2 (de) * 1994-01-25 1998-07-23 Karlsruhe Forschzent Verfahren zur Herstellung von Mikromembranpumpen
US5536963A (en) * 1994-05-11 1996-07-16 Regents Of The University Of Minnesota Microdevice with ferroelectric for sensing or applying a force
US5585069A (en) * 1994-11-10 1996-12-17 David Sarnoff Research Center, Inc. Partitioned microelectronic and fluidic device array for clinical diagnostics and chemical synthesis
US6227809B1 (en) * 1995-03-09 2001-05-08 University Of Washington Method for making micropumps
US5571401A (en) 1995-03-27 1996-11-05 California Institute Of Technology Sensor arrays for detecting analytes in fluids
US5788833A (en) * 1995-03-27 1998-08-04 California Institute Of Technology Sensors for detecting analytes in fluids
US5671905A (en) * 1995-06-21 1997-09-30 Hopkins, Jr.; Dean A. Electrochemical actuator and method of making same
US5542821A (en) * 1995-06-28 1996-08-06 Basf Corporation Plate-type diaphragm pump and method of use
US5696662A (en) 1995-08-21 1997-12-09 Honeywell Inc. Electrostatically operated micromechanical capacitor
DE19546570C1 (de) 1995-12-13 1997-03-27 Inst Mikro Und Informationstec Fluidpumpe
US6168395B1 (en) * 1996-02-10 2001-01-02 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. Bistable microactuator with coupled membranes
US5954079A (en) 1996-04-30 1999-09-21 Hewlett-Packard Co. Asymmetrical thermal actuation in a microactuator
US5872627A (en) * 1996-07-30 1999-02-16 Bayer Corporation Method and apparatus for detecting scattered light in an analytical instrument
EP0862051A4 (en) 1996-09-19 1999-12-08 Hokuriku Elect Ind CAPACITIVE PRESSURE CONVERTER
US5971355A (en) 1996-11-27 1999-10-26 Xerox Corporation Microdevice valve structures to fluid control
US5683159A (en) 1997-01-03 1997-11-04 Johnson; Greg P. Hardware mounting rail
US5808205A (en) 1997-04-01 1998-09-15 Rosemount Inc. Eccentric capacitive pressure sensor
US6116863A (en) 1997-05-30 2000-09-12 University Of Cincinnati Electromagnetically driven microactuated device and method of making the same
US5901939A (en) * 1997-10-09 1999-05-11 Honeywell Inc. Buckled actuator with enhanced restoring force
US5836750A (en) 1997-10-09 1998-11-17 Honeywell Inc. Electrostatically actuated mesopump having a plurality of elementary cells
US6106245A (en) * 1997-10-09 2000-08-22 Honeywell Low cost, high pumping rate electrostatically actuated mesopump
US5822170A (en) 1997-10-09 1998-10-13 Honeywell Inc. Hydrophobic coating for reducing humidity effect in electrostatic actuators
US6151967A (en) 1998-03-10 2000-11-28 Horizon Technology Group Wide dynamic range capacitive transducer
US6167761B1 (en) * 1998-03-31 2001-01-02 Hitachi, Ltd. And Hitachi Car Engineering Co., Ltd. Capacitance type pressure sensor with capacitive elements actuated by a diaphragm
DE69922727T2 (de) * 1998-03-31 2005-12-15 Hitachi, Ltd. Kapazitiver Druckwandler
DE19849700C2 (de) * 1998-10-28 2001-06-28 Festo Ag & Co Mikroventilanordnung
US6184607B1 (en) * 1998-12-29 2001-02-06 Honeywell International Inc. Driving strategy for non-parallel arrays of electrostatic actuators sharing a common electrode
US6215221B1 (en) 1998-12-29 2001-04-10 Honeywell International Inc. Electrostatic/pneumatic actuators for active surfaces
US6358021B1 (en) * 1998-12-29 2002-03-19 Honeywell International Inc. Electrostatic actuators for active surfaces
US6211580B1 (en) * 1998-12-29 2001-04-03 Honeywell International Inc. Twin configuration for increased life time in touch mode electrostatic actuators
US6184608B1 (en) * 1998-12-29 2001-02-06 Honeywell International Inc. Polymer microactuator array with macroscopic force and displacement
JP2000255056A (ja) * 1999-03-10 2000-09-19 Seiko Epson Corp インクジェット記録装置の制御方法
JP4539898B2 (ja) * 1999-05-17 2010-09-08 フラウンホッファー−ゲゼルシャフト ツァ フェルダールング デァ アンゲヴァンテン フォアシュンク エー．ファオ マイクロメカニック・ポンプ
US6520753B1 (en) * 1999-06-04 2003-02-18 California Institute Of Technology Planar micropump
US6532834B1 (en) * 1999-08-06 2003-03-18 Setra Systems, Inc. Capacitive pressure sensor having encapsulated resonating components
US6179586B1 (en) * 1999-09-15 2001-01-30 Honeywell International Inc. Dual diaphragm, single chamber mesopump
US6240944B1 (en) * 1999-09-23 2001-06-05 Honeywell International Inc. Addressable valve arrays for proportional pressure or flow control
US6373682B1 (en) * 1999-12-15 2002-04-16 Mcnc Electrostatically controlled variable capacitor
US6530755B2 (en) * 2000-04-07 2003-03-11 Tecan Trading Ag Micropump
US6549275B1 (en) * 2000-08-02 2003-04-15 Honeywell International Inc. Optical detection system for flow cytometry
US7978329B2 (en) * 2000-08-02 2011-07-12 Honeywell International Inc. Portable scattering and fluorescence cytometer
US6837476B2 (en) * 2002-06-19 2005-01-04 Honeywell International Inc. Electrostatically actuated valve
US6568286B1 (en) * 2000-06-02 2003-05-27 Honeywell International Inc. 3D array of integrated cells for the sampling and detection of air bound chemical and biological species
US6597438B1 (en) * 2000-08-02 2003-07-22 Honeywell International Inc. Portable flow cytometry
US6579068B2 (en) * 2000-08-09 2003-06-17 California Institute Of Technology Method of manufacture of a suspended nitride membrane and a microperistaltic pump using the same
US6590267B1 (en) * 2000-09-14 2003-07-08 Mcnc Microelectromechanical flexible membrane electrostatic valve device and related fabrication methods
JP3932302B2 (ja) * 2000-12-27 2007-06-20 独立行政法人産業技術総合研究所 圧力センサ
AU2002311885A1 (en) * 2001-05-03 2002-11-18 Colorado School Of Mines Devices employing colloidal-sized particles
JP4296728B2 (ja) * 2001-07-06 2009-07-15 株式会社デンソー 静電容量型圧力センサおよびその製造方法並びに静電容量型圧力センサに用いるセンサ用構造体
US6536287B2 (en) * 2001-08-16 2003-03-25 Honeywell International, Inc. Simplified capacitance pressure sensor
US6729856B2 (en) * 2001-10-09 2004-05-04 Honeywell International Inc. Electrostatically actuated pump with elastic restoring forces
US6750589B2 (en) * 2002-01-24 2004-06-15 Honeywell International Inc. Method and circuit for the control of large arrays of electrostatic actuators
US6662663B2 (en) * 2002-04-10 2003-12-16 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Pressure sensor with two membranes forming a capacitor
US6991213B2 (en) * 2003-12-30 2006-01-31 Honeywell International Inc. Dual diaphragm valve
US7168675B2 (en) * 2004-12-21 2007-01-30 Honeywell International Inc. Media isolated electrostatically actuated valve
US7517201B2 (en) * 2005-07-14 2009-04-14 Honeywell International Inc. Asymmetric dual diaphragm pump

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105526135A (zh) * 2015-12-08 2016-04-27 北京有色金属研究总院 一种反向低驱动电压双侧泵膜无阀静电微泵及其制备方法
CN105526135B (zh) * 2015-12-08 2018-02-06 北京有色金属研究总院 一种反向低驱动电压双侧泵膜无阀静电微泵及其制备方法
CN110741161A (zh) * 2017-03-13 2020-01-31 斯蒂芬.A.马什 微型泵系统和处理技术
CN109139434A (zh) * 2018-10-25 2019-01-04 重庆水泵厂有限责任公司 隔膜泵隔膜非等位挠曲形变控制方法
CN109139434B (zh) * 2018-10-25 2024-01-19 重庆水泵厂有限责任公司 隔膜泵隔膜非等位挠曲形变控制方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2009501297A (ja) 2009-01-15
US20070014676A1 (en) 2007-01-18
WO2007011553A1 (en) 2007-01-25
EP1902219A1 (en) 2008-03-26
US7517201B2 (en) 2009-04-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101263302A (zh) 非对称双隔膜泵
JP4873075B2 (ja) 流体移送装置
US5338164A (en) Positive displacement micropump
CN102066819B (zh) 微型阀及阀座构件
CN101550925A (zh) 具有多个双腔体致动结构的流体输送装置
CN101354030B (zh) 具有主动控制能力的微流体泵
JPWO2013084909A1 (ja) 気体制御装置
US20090217994A1 (en) Multi-channel fluid conveying apparatus
US9487387B2 (en) System and methods for actuation using electro-osmosis
Pečar et al. Piezoelectric peristaltic micropump with a single actuator
JP2008509424A5 (zh)
JP2008509424A (ja) 改変型の二重ダイヤフラム式圧力センサ
CN101405527A (zh) 一体化双膜隔膜阀
AU2018236138A1 (en) Micro pump systems and processing techniques
US20150078934A1 (en) Split fluidic diaphragm
US20070071615A1 (en) Diaphragm pump
KR100884893B1 (ko) 마이크로 펌프
EP3033526A1 (en) Microfluidic device with valve
CN102474205B (zh) 高分子执行器和使用该高分子执行器的阀门
JP5974493B2 (ja) 圧電ポンプ、圧電ポンプの製造方法
KR101477116B1 (ko) 전자식 다이어프램 펌프
CN209414118U (zh) 一种双头隔膜泵
CN211852118U (zh) 一种微型压电泵
KR20240043511A (ko) 다이아프램 방식의 마이크로 펌프
CN216518545U (zh) 一种带有立式阀片和采用剖分式泵体结构的压电泵

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Open date: 20080910