CN101303596B - 工厂自动化系统 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种工厂自动化系统，其用以实现一半导体制造厂的跨不同自动物料处理系统的晶片传输，包括一物料管制系统主机、一桥接器与一中央制造执行系统。该物料管制系统主机可与一第一物料管制系统以及一第二物料管制系统相互通讯，并且该物料管制系统主机包括传送型态以及制造执行系统与自动物料处理系统映射。该桥接器连接于该第一与第二自动物料处理系统，其令晶片可在该第一与第二自动物料处理系统间传送。该中央制造执行系统，其与该物料管制系统主机相互通讯且用以控制该物料管制系统主机。

Description

工厂自动化系统 
技术领域
本发明涉及一种半导体制造系统，且特别涉及一种工厂自动化系统，其用以实现一半导体制造厂的跨不同自动物料处理系统的晶片传输。 
背景技术
半导体装置的制造包括在一特定顺序与通常在一特定周期时间内利用多种高科技生产与度量机台来执行一连串工艺步骤所产生的效能。在晶片制造设备中的晶片逻辑系统的主要功能在正确的时间将晶片传送给每一机台，并且追踪整个工艺中的晶片的位置与状态。自动物料管理系统(AutomatedMaterial Handling System，简称为AMHS)使用于晶片制造厂中，其以较人工方式操作更有效率、更一致且更安全的方式来施行自动制造流程。制造程序通常会导致在单一制造厂与/或制造厂间的跨厂传输内的跨层(Cross-floor)与跨工作阶段(Cross-phase)的需求。 
当要传送包含晶片的晶片载具(例如，晶片传送盒(Front Opening UnifiedPod，简称为FOUP))时，制造执行系统(Manufacturing Execution System，简称为MES)决定该晶片载具应传送到制造厂中的哪个目的地。一旦决定目的地后，该制造执行系统发送一传送要求给物料管制系统(Material ControlSystem，简称为MCS)，其利用一路由搜寻引擎计算详细的传送路由，并接着通知一传送管理者(Transfer Manager)依序执行传送操作。然而，典型的制造执行系统与物料管制系统受限于单一制造厂，且无法处理跨制造厂与/或跨自动物料管理系统的传送要求。一制造厂中的制造执行系统与物料管制系统通常无法与另一独立制造厂的自动物料管理系统相互沟通。因此，不同的制造厂可能具有不同的自动物料管理系统厂商与通讯协定。 
虽然现有的系统与方法一般已能满足其预期的目的，但却无法满足所有需求。 
发明内容
基于上述目的，本发明实施例公开了一种工厂自动化系统，其用以实现一半导体制造厂的跨不同自动物料处理系统的晶片传输，包括一物料管制系统主机、一桥接器与一中央制造执行系统。该物料管制系统主机可与一第一物料管制系统以及一第二物料管制系统相互通讯，并且该物料管制系统主机包括传送型态以及制造执行系统与自动物料处理系统映射，其中该传送型态表示用以在该第一物料管制系统的第一位置与该第二物料管制系统的第二位置间传送晶片传送盒的有效路径以及该制造执行系统与自动物料处理系统映射用在路由规划与评估，其中该第一物料管制系统可与一第一供应商的一第一自动物料处理系统相互通讯，而该第二物料管制系统可与一第二供应商的一第二自动物料处理系统相互通讯。该桥接器连接于该第一与第二自动物料处理系统，其令晶片可在该第一与第二自动物料处理系统间传送。该中央制造执行系统与该物料管制系统主机相互通讯且用以控制该物料管制系统主机。其中，该物料管制系统主机包括一传输分派器，该传输分派器发送多个路由信号给该第一与第二物料管制系统，以控制该第一与第二自动物料处理系统以及该桥接器的跨厂晶片传送。 
本发明实施例还公开了一种实现在一半导体制造厂的跨不同自动物料处理系统的晶片传输的一工厂自动化系统的处理方法。定义连结一第一自动物料处理系统与一第二自动物料处理系统的一桥接器。选择该第一自动物料处理系统中的一晶片并传送至该第二自动物料处理系统，其中该晶片位于一第一位置。在该第二自动物料处理系统中选择一第二位置以作为该晶片的终点。选择在该第一位置与该第二位置间传送该晶片的一路由，其中该路由包括至少一部分的该桥接器。借由该第一自动物料处理系统将该晶片自该第一位置传送至该桥接器，且该第二自动物料处理系统将该晶片自该桥接器传送至该第二位置。 
本发明实施例还公开了一种工厂自动化系统，其用以实现一半导体制造厂的跨不同自动物料处理系统的晶片传输，包括一第一物料管制系统与一联结的第一自动物料处理系统、一第二物料管制系统与一联结的第二自动物料处理系统、一第三物料管制系统与一联结的第三自动物料处理系统、一第一桥接器、一第二桥接器与一统一控制单元。该第一桥接器连接至该第一与第二自动物料处理系统，其令一晶片传送盒可在该第一与第二自动物料处理系统间传递。该第二桥接器连接至该第二与第三自动物料处理系统，其令一晶片传送盒可在该第二与第三自动物料处理系统间传递。该统一控制单元与该 第一、第二与第三物料管制系统相互通讯且协调在该第一、第二与第三自动物料处理系统间传送所述多个晶片传送盒。 
附图说明
图1显示本发明实施例的用以实现跨厂晶片传输的工厂自动化系统的架构示意图。 
图2显示本发明另一实施例的用以实现跨厂晶片传输的工厂自动化系统的架构示意图。 
图3显示本发明实施例的使用图1、图2的工厂自动化系统的MCS Master的架构示意图。 
图4显示本发明实施例的包括一厂自动化系统与多个工厂的其中一部分制造设备的架构示意图。 
图5显示本发明实施例的跨厂传输系统的示意图。 
图6显示本发明另一实施例的跨厂传输系统的示意图。 
图7显示本发明实施例的一跨厂传输系统与一跨厂晶片传输程序的示意图。 
图8显示在图7的制造厂间传送晶片的方法步骤流程图。 
图9显示本发明另一实施例的一跨厂传输系统与一跨厂晶片传输程序的示意图。 
图10显示在图9的制造厂间传送晶片的方法步骤流程图。 
图11显示本发明实施例的在多个制造厂间传送晶片的方法步骤流程图。 
并且，上述附图中的附图标记说明如下： 
100～工厂自动化系统 
102、104、106～制造厂 
108、114、120～制造执行系统 
110、116、122～物料管制系统 
112、118、124～自动物料管理系统 
126～统一控制单元 
128～物料管制系统主机 
130～中央制造执行系统 
132、134、136～解译器 
138～桥接器设定 
140～传送型态 
142～制造执行系统与自动物料处理系统映射 
144～跨自动物料处理系统控制单元 
146～交易派工器 
148～设备 
150～晶片传送盒 
152、158～桥接器 
154、156～片段 
160、180、182、184～悬吊式搬运梭 
162、164、166、168、186、188、196、198～桥接点 
170～制造厂102与104间的传送 
172～制造厂104与106间的传送 
174～制造厂106与104间的传送 
176～制造厂104与102间的传送 
190、200～缓冲仓储 
192、194、202、204～单元节点 
206～制造厂102与104间的传送 
208～制造厂104与106间的传送 
210～制造厂106与制造厂104间的传送 
212～制造厂104与102间的传送 
214、216、218～主物料控制系统 
220、222～位置 
252..282～流程步骤 
302..328～流程步骤 
400～节点 
402～微处理器 
404～输入装置 
406～存储装置 
408～视频控制器 
410～系统存储器 
412～总线 
414～显示装置 
416～通讯装置 
具体实施方式
为了让本发明的目的、特征、及优点能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合图1至图11，做详细说明。本发明说明书提供不同的实施例来说明本发明不同实施方式的技术特征。其中，实施例中的各元件的配置为说明之用，并非用以限制本发明。且实施例中附图标记的部分重复，是为了简化说明，并非意指不同实施例之间的关联性。 
本发明实施例公开了一种工厂自动化系统以及实现工厂自动化系统的处理方法。 
一半导体制造厂可能包括多个制造厂。在执行工艺时，晶片可能在多个制造厂间传送以执行多道不同的工艺。″跨厂传送″是将一晶片载具(或，晶片传送盒)自一制造厂传送至另一制造厂。″跨自动物料管理系统传送″是将一晶片载具(或，晶片传送盒)自一自动物料管理系统传送至另一自动物料管理系统，而不管自动物料管理系统是否为在单一制造厂或不同制造厂的系统。因此，在某些实施例中，制造厂指″超级大厂(Gigafab)″。″跨层传送任务(Cross-floor Transfer Job)″为将一晶片载具(或，晶片传送盒)自一楼层传送至另一楼层。″跨工作阶段传送任务(Cross-phase Transfer Job)″是将一晶片载具(或，晶片传送盒)自一工作阶段传送至另一工作阶段。 
制造厂中的每一工作阶段包括多个工作区(Bay)，而工作区包括工艺机台或设备。在每一工作区内的设备可借由一工艺区间(Intrabay)悬吊式物料搬运(Overhead Transport，OHT)系统相互连接，而工作区可借由一工艺区内(Interbay)悬吊式物料搬运系统相互连接。对于本领域普通技术人员而言，工艺区间悬吊式物料搬运系统与工艺区间悬吊式物料搬运系统包括悬吊式轨道，其中轨道上的悬吊式搬运车通常经由缓冲仓储(Stocker)将包含多个晶片批量的晶片传送盒传送至工作区的设备且自其它工作区的设备传送来。除了或代替悬吊式物料搬运系统，每个制造厂包括一工艺区间与/或工艺区内悬吊式搬运梭(Overhead Shuttle，简称为OHS)。每一制造厂还包括一跨层传送系统(Cross-floor Transportation System)。跨层传送系统可包括举 片机(Lifter)与/或其它实现晶片传送盒的跨层传送的机制。 
图1显示本发明实施例的用以实现跨厂晶片传输的工厂自动化系统100的架构示意图。 
本发明实施例的工厂自动化系统100包括一制造厂102、一制造厂104与一制造厂106。制造厂102包括一制造执行系统108、一物料管制系统110与一自动物料管理系统112。制造厂104包括一制造执行系统114、一物料管制系统116与一自动物料管理系统118。制造厂106包括一制造执行系统120、一物料管制系统122与一自动物料管理系统124。需了解，制造执行系统107、114与120、物料管制系统110、116与122以及自动物料管理系统112、118与124包括多个公知的元件。举例来说，但并非用以限制，自动物料管理系统112、118与124的每一个包括多个控制模块，例如，一标线缓冲仓储控制器(Reticule Stocker Controller)、一缓冲仓储控制器(StockerController)、一悬吊式缓冲控制器(Overhead Buffer Controller)、一工艺区间悬吊式物料搬运系统控制器(Interbay OHS Controller)、一工艺区间悬吊式物料搬运系统控制器(Intrabay OHS Controller)与/或一举片机控制器(Lifter Controller)。在其它实施例中，自动物料管理系统112、118与124可能包括额外、较少且不同的控制模块。工厂自动化系统100也包括一统一控制单元126。统一控制单元126用以促进与/或辨识在制造厂102、104与106中或之间的晶片传送。统一控制单元126用以与制造厂102、104与106的每一个相互沟通。因此，统一控制单元126可作为一服务器，用以接收与提供信息与/或指令给每一制造厂。统一控制单元126也可作为制造厂间的沟通链结，使得每一制造厂的制造执行系统、物料管制系统与/或其它系统可直接与另一制造厂的系统沟通。统一控制单元126包括硬件、软件或两者的结合。在某些实施例中，统一控制单元126为独立于每一制造厂的制造执行系统、物料管制系统与其它系统的控制单元。在某些实施例中，统一控制单元126为一元件或至少一制造厂中的一部分。在某些实施例中，统一控制单元126与制造厂102、104与106间的沟通借由公共物件请求代理架构(CommonObject Request Broker Architecture，简称为CORBA)来达成。此外，统一控制单元126的元件间的沟通与制造厂102、104与106的元件间的沟通可利用公共物件请求代理架构来达成。然而，在其它实施例中可使用其它通讯协 定与/或中间软件(Middleware)。 
在本发明实施例中，统一控制单元126包括一物料管制系统主机(Master)128。物料管制系统主机128用以管理以及分别与制造厂102、104与106的物料管制系统110、116与122沟通。特别的是，物料管制系统主机128用以与每一物料管制系统110、116与122沟通，使得跨自动物料处理系统的晶片传输可借由发送适当的传输要求信号给物料管制系统110、116与122，以在跨不同自动物料处理系统112、118与124间进行同步。基于该目的，物料管制系统主机128可与一数据库沟通，或者与包含相关于映射至每一制造厂的制造执行系统及自动物料处理系统、每一制造厂的有效传输模式以及桥接器设定与制造厂间的有效传输模式的信息以及(或)与每一制造厂与多个制造厂间相关的其它信息的多个数据库沟通。 
统一控制单元126用以同步物料管制系统110、116与122以及(或)不同制造厂102、104与106的自动物料处理系统112、118与124，以促进晶片在不同制造厂间的移动。基于该考虑，令统一控制单元126促进一晶片批量在不同厂商间的自动物料处理系统间的移动，使其具有异质(Heterogeneous)自动物料处理系统整合的功能。异质自动物料处理系统整合的优点在于其除了可在相同厂商的自动物料处理系统间施行跨自动物料处理系统运输外，还可在不同厂商的自动物料处理系统间施行跨自动物料处理系统运输。举例来说，异质自动物料处理系统整合令半导体制造厂的每一制造厂可以很弹性的选择一自动物料处理系统厂商或其它不同厂商的传输系统，且不限制仅能选择单一厂商。同样的，自动化跨自动物料处理系统传输一般来说可节省人力，且当制造厂或自动化跨自动物料处理系统因为某些原因而效能降低或无法操作，可提供不同的生产程序。因此，即使其中一制造厂或自动物料处理系统无法正常运作，仍可继续执行工艺。统一控制单元126可增加自动物料处理系统而超过单一制造厂的规模而可执行整个制造程序，包括超级大厂(Gigafab)的应用。同样的，统一控制单元126可用来定义与维护制造执行系统与自动物料处理系统的跨多个制造厂与(或)自动物料处理系统的关系。 
图2显示本发明另一实施例的用以实现跨厂晶片传输的工厂自动化系统101的架构示意图。在数个观点中，系统101与前述的系统100相当雷同。 系统101包括制造厂102、104与106。制造厂102包括一制造执行系统108、一物料管制系统110与一自动物料管理系统112。制造厂104包括一制造执行系统114、一物料管制系统116与一自动物料管理系统118。制造厂106包括一制造执行系统120、一物料管制系统122与一自动物料管理系统124。系统101也包括一统一控制单元126。统一控制单元126用以促进与/或辨识在制造厂102、104与106中或之间的晶片传送。在本发明实施例中，统一控制单元126包括一物料管制系统主机(Master)128与一中央制造执行系统130。物料管制系统主机128用以分别管理制造厂102、104与106的物料管制系统110、116与122。中央制造执行系统130用以与物料管制系统主机128以及每一制造厂102、104与106的制造执行系统108、114与120沟通。中央制造执行系统130用以定义与维护制造执行系统与自动物料处理系统以及制造厂102、104与106间或其中的关系。因此，在某些实施例中，中央制造执行系统130提供跨制造厂102、104与106的制造执行系统与自动物料处理系统的架构，用以选择适当的传输路径以在制造厂间传送晶片批量。 
系统101也包括设置在统一控制单元126与制造厂102间的一解译器132、设置在统一控制单元126与制造厂104间的一解译器134以及设置在统一控制单元126与制造厂106间的一解译器136。由于物料管制系统110、116与122以及制造厂102、104与106的自动物料处理系统112、118与124可来自不同的制造商或厂商，系统101以不同协定与不同厂商相互沟通。因此，本发明实施例的系统包括解译器132、134与136。″解译器″与″转译器″可替换使用，以关联至可转换第一协定或通讯语言为第二协定或通讯语言的一应用程序。解译器132、134与136转换统一控制单元126的信号为制造执行系统、物料管制系统与(或)自动物料管理系统适用的通讯语。基于该考虑，信号解译器可跨多个制造执行系统、物料管制系统与(或)自动物料管理系统来使用，其中该系统会使用与其相同的通讯语言。因此，系统101可包含适用于每一协定或通讯语言的一解译器，用以在使用不同协定的系统间共享使用。解译器132、134与136可以软件、硬件或两者的结合来实现。此外，解译器132、134与136统一控制单元126的一元件、一制造厂的一元件、一独立单元与(或)上述组合。 
图3显示本发明实施例的使用于系统100与101的物料管制系统主机 128的架构示意图。如上文所述，物料管制系统主机128包括桥接器设定、传送型态(Pattern)140、制造执行系统与自动物料处理系统映射142、一跨自动物料处理系统控制单元144以及一交易派工器146。举例来说，一或多个桥接器设定138、传送型态140以及制造执行系统与自动物料处理系统映射142可存储在可被物料管制系统主机128存取的一数据库中。因此，物料管制系统主机128可与数据库进行沟通而非存储或维护桥接器设定138、传送型态140以及制造执行系统与自动物料处理系统映射142本身。另一方面，在其它实施例中，物料管制系统主机128可存储与(或)维护桥接器设定138、传送型态140以及(或)制造执行系统与自动物料处理系统映射142本身。 
桥接器设定138表示自动物料处理系统与(或)制造厂间的连结。在部分实施例中，统一控制单元126定义自动物料处理系统与(或)制造厂间的桥接器。因此，该桥接器可为一硬件或一连串的硬件元件，例如，缓冲仓储、运输装置(Conveyor)、悬吊系统与(或)上述组合。另一方面，该桥接器可为悬吊式物料搬运或悬吊式搬运梭内的一定义位置。该桥接器为一现有系统内的一定义点，其可视为一虚拟点。该桥接器作为自动物料处理系统间的连结，使得晶片传送盒或晶片批量的桥接器控制权可自其中一自动物料处理系统转给另一自动物料处理系统。因此，在某些实施例中，该桥接器为一区域，其中二个或多个自动物料处理系统可一起运作。如此一来，晶片传送盒在每一桥接器位置可借由将其控制权自其中一自动物料处理系统转给另一自动物料处理系统，以执行跨多自动物料处理系统传送。将其中一自动物料处理系统连结至另一自动物料处理系统的一桥接器可提供单向或双向连结。也就是说，该桥接器可促进将一晶片传送盒传自第一自动物料处理系统传送至第二自动物料处理系统、自第二自动物料处理系统传送至第一自动物料处理系统或二者间相互传送。由上可知该桥接器用以单向传送，而另一额外的桥接器可连结二个自动物料处理系统，使得晶片传送盒可由二个方向在自动物料处理系统间传送。在部分实施例中，桥接器可将二个以上的自动物料处理系统相互连结。 
传送型态140表示用以在第一自动物料处理系统的第一位置与第二自动物料处理系统的第二位置间传送晶片传送盒的有效路径。在部分实施例中，该传送型态可为动态产生，且可根据系数来更新，该系数包括静态与动态运 输条件、批量信息、批量优先权、有效路由、路由距离、维护排程与(或)其它要素。制造执行系统与自动物料处理系统映射142提供与个别制造厂与自动物料处理系统内的有效路由相关的静态信息，其可加以结合以形成跨制造执行系统与自动物料处理系统的一总体映射(Global Mapping)。因此，制造执行系统与自动物料处理系统映射142可包括在制造厂与自动物料处理系统中的不同机台与设备的位置，其可用在路由规划与评估中。在下述的实施例中会描述位置间的单一路由，但其主要用于说明而非用以限制本发明。更确切的说，要完整考虑在自动物料处理系统间用以自第一位置传送晶片传送盒至第二位置的多个路由。因此，系统100与101可包括路由选择的装置与方法，如U.S.Patent Application Ser.No.11/695,988，filed April 3，2007中所述，其所公开的技术适用于跨自动物料处理系统传送。此外，系统100与101可包括一整合传送控制系统，如U.S.Provisional Patent Application Ser.No.11/458,554，filed July 19，2006中所述。 
跨自动物料处理系统控制单元144与交易派工器146用以提供传送要求信号给每一物料管制系统。因此，自动物料处理系统间的晶片传送盒的传送可能会因为包括单一自动物料处理系统内的传送的子路由而失败。在部分实施例中，该传送可能会因为包括单一自动物料处理系统内的传送与跨桥接器的传送的子路由而失败。多个子路由可链结在一起而产生完整的传送路由。在部分实施例中，传送型态140基于子路由的有效组合以达到所欲的传送目的。因此，跨自动物料处理系统控制单元144与交易派工器146可用来同步多个自动物料处理系统，以促进晶片的传送。在部分实施例中，跨自动物料处理系统控制单元144可提供一跨自动物料处理系统传送要求，其用以表示一选择的传送路由。交易派工器146令与该跨自动物料处理系统传送要求相关的对应子路由传送要求与各别的自动物料处理系统沟通并执行。在部分实施例中，交易派工器146经由适合该独立自动物料处理系统的一解译器发送该传送要求。在其它实施例中，交易派工器146本身可作为一解译器。 
当系统100、101已公开元件的特定组合，需了解系统100、101具有较少或较多的元件，其对本领域的技术人员而言应是显而易见的。此外，有些不同的元件功能可结合而成为单一元件，且(或)单一元件的功能可分割为多个元件。在其它实施例中，系统100、101可包括额外的制造厂与(或) 自动物料处理系统以与统一控制单元126沟通。跨制造厂与(或)跨自动物料处理系统传输可以与前述相关于制造厂102、104与106类似的方法提供额外的制造厂与(或)自动物料处理系统。此外，在部分实施例中，系统100、101仅适用于二个制造厂或自动物料处理系统。 
图4显示本发明实施例的包括一厂自动化系统与多个工厂的其中一部分制造设备的架构示意图。特别的是，图4说明使用了制造厂102、104与106的系统100、101的外观。因此，在该图中使用了相同的元件符号，但并非用以限制本发明。 
如图所示，图4包括一制造厂102、一制造厂104与一制造厂106。制造厂102包括一制造执行系统108、一物料管制系统110与一自动物料管理系统112。制造厂104包括一制造执行系统114、一物料管制系统116与一自动物料管理系统118。制造厂106包括一制造执行系统120、一物料管制系统122与一自动物料管理系统124。统一控制单元126用以促进与/或辨识在制造厂102、104与106中或之间的晶片传送。特别的是，统一控制单元126用以促进自动物料处理系统112、118与124的设备148间的晶片批量的传送，设备148包括工艺机台、缓冲仓储与其它设备。在本实施例中，晶片批量经由晶片传送盒150在设备148间传送。 
桥接器152连结制造厂102与制造厂104且特别的是，连结自动物料处理系统112与118。桥接器152包括一片段(Section)154与一片段156，片段154用以将晶片传送盒自制造厂102传送至制造厂104，而片段156用以将晶片传送盒自制造厂104传送至制造厂102。同样的，桥接器158连结制造厂104与制造厂106且特别的是，连结自动物料处理系统118与124。桥接器158在外观上与桥接器152相当类似，其包括用以将晶片传送盒自制造厂104传送至制造厂106的一片段，以及用以将晶片传送盒自制造厂106传送至制造厂104的一片段。然而，在本实施例中，桥接器158也包括如上所述的设备148。在部分实施例中，设备148为一缓冲仓储，其用以暂时持有一晶片传送盒。自动物料处理系统118与124的其中可放置一晶片传送盒在该缓冲仓储，使得其它自动物料处理系统可取得该晶片传送盒，并且继续执行传送操作。在其它实施例中，设备148非为一缓冲仓储，但为其它工艺机台与(或)存储装置。 
图5显示本发明实施例的跨厂传输系统的示意图。特别的是，图5显示在制造厂102、104与106间的跨自动物料处理系统传送的可能传送系统。如图5所示，悬吊式搬运梭160连结制造厂102、104与106至另一制造厂。悬吊式搬运梭160包括桥接点162、164、166与168，桥接点162用以自制造厂102传送至制造厂104，桥接点164用以自制造厂104传送至制造厂106，桥接点166用以自制造厂106传送至制造厂104，而桥接点168用以自制造厂104传送至制造厂102。桥接点162、164、166与168可为悬吊式搬运梭160的委任点，其中一晶片传送盒的控制权可自其中一自动物料处理系统转给另一自动物料处理系统。桥接点162、164、166与168可为悬吊式搬运梭160内的虚拟点。也就是说，桥接点162、164、166与168不需要任何额外的架构、结构或设备以被新增或连结至悬吊式搬运梭160来作为制造厂间的桥接器。在其它实施例中，桥接点162、164、166与(或)168包括额外的架构、结构或设备以连结至悬吊式搬运梭160。 
如上所述，在本实施例中，桥接点162、164、166与168为单向传送。也就是说，每一桥接点162、164、166与168在制造厂间传送时，仅在单向上可促进传送。因此，制造厂102与104间的传送(以箭头170表示)可借由制造厂102的自动物料处理系统来完成，其中制造厂102的自动物料处理系统承载一晶片传送盒至桥接点162，然后制造厂104的自动物料处理系统自桥接点162取得该晶片传送盒。桥接点162在制造厂102的自动物料处理系统中可视为传送点AS1EQ2。桥接点162在制造厂104的自动物料处理系统中可视为传送点BS1EQ1。同样的，制造厂104与106间的传送(以箭头172表示)可借由制造厂104的自动物料处理系统来完成，其中制造厂104的自动物料处理系统承载一晶片传送盒至桥接点166，然后制造厂106的自动物料处理系统自桥接点166取得该晶片传送盒。桥接点166在制造厂104的自动物料处理系统中可视为传送点BS1EQ2。桥接点166在制造厂106的自动物料处理系统中可视为传送点CS1EQ1。 
此外，制造厂106与104间的传送(以箭头174表示)可借由制造厂106的自动物料处理系统来完成，其中制造厂106的自动物料处理系统承载一晶片传送盒至桥接点168，然后制造厂104的自动物料处理系统自桥接点168取得该晶片传送盒。桥接点168在制造厂106的自动物料处理系统中可视为 传送点CS1EQ2。桥接点166在制造厂104的自动物料处理系统中可视为传送点BS1EQ3。同样的，制造厂104与102间的传送(以箭头176表示)可借由制造厂104的自动物料处理系统来完成，其中制造厂104的自动物料处理系统承载一晶片传送盒至桥接点164，然后制造厂102的自动物料处理系统自桥接点164取得该晶片传送盒。桥接点164在制造厂104的自动物料处理系统中可视为传送点BS1EQ4。桥接点164在制造厂102的自动物料处理系统中可视为传送点AS1EQ2。 
图6显示本发明另一实施例的跨厂传输系统的示意图。特别的是，图6显示在制造厂102、104与106间的跨自动物料处理系统传送的可能传送系统。如图6所示，制造厂102包括一悬吊式搬运梭180，制造厂104包括一悬吊式搬运梭182，而制造厂106包括一悬吊式搬运梭184。桥接点186与桥接点188连结制造厂102的悬吊式搬运梭180至一缓冲仓储190。在部分实施例中，缓冲仓储190可为一运输装置(Conveyor)。在其它实施例中，缓冲仓储190可以其它类型的设备来取代。缓冲仓储190经由单元节点192与194连结至制造厂104的悬吊式搬运梭182，如图所示。在部分实施例中，桥接点186与桥接点188、缓冲仓储190以及单元节点192与194可同时作为制造厂102与104的自动物料处理系统间的桥接器。在其它实施例中，缓冲仓储190以及单元节点192与194为制造厂104的一部分。同样的，桥接点196与桥接点198连结制造厂104的悬吊式搬运梭182至一缓冲仓储200。缓冲仓储200经由单元节点202与204连结至制造厂106的悬吊式搬运梭184，如图所示。在部分实施例中，桥接点196与桥接点198、缓冲仓储200以及单元节点202与204可同时作为制造厂104与106的自动物料处理系统间的桥接器。在其它实施例中，缓冲仓储200以及单元节点202与204为制造厂106的一部分。 
制造厂102与104间的传送(以箭头206表示)可借由制造厂102的自动物料处理系统(例如，悬吊式搬运梭180)来完成，其中制造厂102的自动物料处理系统承载一晶片传送盒至桥接点186，其中该晶片传送盒被运送至缓冲仓储190。该晶片传送盒借由制造厂102的自动物料处理系统、制造厂104的自动物料处理系统、独立桥接传送系统(未显示)与(或)上述组合，自桥接点186被运送至缓冲仓储190。接着，该晶片传送盒经由单元节 点192，自缓冲仓储190被运送至制造厂104的自动物料处理系统(例如，悬吊式搬运梭182)。桥接点186在制造厂102的自动物料处理系统中可视为传送点ATXEQ1：P01。桥接点186在制造厂104的自动物料处理系统中可视为传送点BTXSK1：P01(PGV IN)。同样的，制造厂104与106间的传送(以箭头208表示)可借由制造厂104的自动物料处理系统(例如，悬吊式物料搬运182)来完成，其中制造厂104的自动物料处理系统承载一晶片传送盒至桥接点196，其中该晶片传送盒被运送至缓冲仓储200。该晶片传送盒借由制造厂104的自动物料处理系统、制造厂106的自动物料处理系统、独立桥接传送系统(未显示)与(或)上述组合，自桥接点196被运送至缓冲仓储200。接着，该晶片传送盒经由单元节点202，自缓冲仓储200被运送至制造厂106的自动物料处理系统(例如，悬吊式搬运梭184)。桥接点196在制造厂104的自动物料处理系统中可视为传送点BTXEQ1：P01。桥接点196在制造厂106的自动物料处理系统中可视为传送点CTXSK1：P01(PGV IN)。 
此外，制造厂106与制造厂104间的传送(以箭头210表示)可起始于制造厂106的自动物料处理系统(例如，悬吊式搬运梭184)来完成，其中制造厂106的自动物料处理系统经由单元节点204承载一晶片传送盒至缓冲仓储200。经由桥接点198可存取在缓冲仓储200的该晶片传送盒。在部分实施例中，该晶片传送盒借由制造厂106的自动物料处理系统、制造厂104的自动物料处理系统、独立桥接传送系统(未显示)与(或)上述组合，自缓冲仓储200被运送至桥接点198。该晶片传送盒被制造厂104的自动物料处理系统(例如，悬吊式搬运梭182)自缓冲仓储200与(或)桥接点198被传送。桥接点198在制造厂106的自动物料处理系统中可视为传送点CTXSK1：P02(PGV OUT)。桥接点198在制造厂104的自动物料处理系统中可视为传送点BTXEQ1：P02。同样的，制造厂104与102间的传送(以箭头212表示)可借由制造厂104的自动物料处理系统(例如，悬吊式物料搬运182)来完成，其中制造厂104的自动物料处理系统经由单元节点194承载一晶片传送盒至缓冲仓储190。经由桥接点188可存取在缓冲仓储190的该晶片传送盒。在部分实施例中，该晶片传送盒借由制造厂104的自动物料处理系统、制造厂102的自动物料处理系统、独立桥接传送系统(未显示) 与(或)上述组合，自缓冲仓储190被运送至桥接点190。该晶片传送盒被制造厂102的自动物料处理系统(例如，悬吊式搬运梭180)自缓冲仓储200与(或桥接点188)被传送。桥接点188在制造厂104的自动物料处理系统中可视为传送点BTXSK1：P02(PGV OUT)。桥接点188在制造厂104的自动物料处理系统中可视为传送点ATXEQ1：P02。 
参考图7和图8，其为一晶片批量的跨自动物料处理系统与(或)跨制造厂传输系统与方法的示意图。图7显示本发明实施例的一跨厂传输系统与一跨厂晶片传输程序的示意图。图8显示在图7的制造厂间传送晶片的方法步骤流程图。如图7所示，制造厂102、104与106与图4所述雷同。制造厂102可表示为一主物料控制系统214(Master Material Control System，以下简称为MMCS1 214)，制造厂104可表示为一主物料控制系统216(以下简称为MMCS2 216)，而制造厂106可表示为一主物料控制系统218(以下简称为MMCS3 218)。MMCS1 214、MMCS2 216与MMCS3 218可为统一控制单元216或218的一部分。因此，主物料控制系统214、216与218间的沟通可在单一主物料控制系统内进行。同样的，制造厂内的制造执行系统、主物料控制系统、物料管制系统与(或)自动物料管理系统间的沟通可包括与一外部系统(例如，统一控制单元)的沟通。然而，其要完全考虑制造厂102、104与106的主物料控制系统214、216与218，如图所示。 
参考图7，晶片传送盒150自制造厂102内的位置220传送至制造厂106内的位置222。在一范例中，在位置220与位置222间传送晶片传送盒150的方法250描述于第7、8图中。方法250起始于步骤252，其提供一传送要求并与MMCS1 214沟通。该传送要求可被一统一控制单元、一制造厂的一制造执行系统或一人为要求初始化。该传送要求可为自某一类型设备传送至另一类型设备的一般传送要求。该统一控制单元、该制造执行系统与(或)使用者可选择实际设备位置，其中一个以上的有效设备位置适用于该传送要求。该选择的位置根据许多系数来决定，所述系数包括批量条件、批量优先权、传输条件、有效路由、有效路由长度与(或)其它参数。在本实施例中，根据该传送要求，晶片传送盒150自制造厂102的位置220传送至制造厂106的位置222。 
在步骤254中，MMCS1 214决定一适当路径，以在目前位置220与最 后位置222间传送晶片传送盒150，并且经由该路由与物料管制系统110沟通。MMCS1 214可为统一控制单元的一部分，其决定晶片传送盒150的所有路由，使得MMCS 1214提供该总路由中的一子路由，以在制造厂102内进行传送。也就是说，在部分实施例中，MMCS1 214提供需要的路由指令给制造厂102内的晶片传送盒150。在本实施例中，MMCS1 214提供需要的路由信息，以在制造厂102与104间将晶片传送盒150自位置220传送至桥接器152。当MMCS1 214已决定制造厂102的晶片传送盒150的一适当路由，根据将MMCS1 214与物料管制系统110沟通的对应路由指令继续执行步骤254。如上所述，MMCS1 214与物料管制系统110根据该路由指令的沟通包括使用一解译器来转换一般通讯协定(例如，通用物件请求代理架构(Common Object Request Broker Architecture，简称为CORBA))为与物料管制系统110相关的一厂商指定协定。 
在利用路由指令与物料管制系统110沟通后，在步骤256中，物料管制系统110中继该路由指令至自动物料处理系统112以执行之。在步骤258中，在自动物料处理系统112根据该路由指令传送晶片传送盒150后，根据传送至物料管制系统110的自动物料处理系统信号完成制造厂102内的传送操作。在本实施例中，自动物料处理系统112指示晶片传送盒150已如要求地传送至桥接器152。接着，在步骤260中，物料管制系统110中继完成该传送的通知给MMCS1 214。在步骤262中，MMCS1 214将该通知传送给MMCS2 216。如上所述，MMCS1 214与MMCS2 216可为单一主物料控制系统的一部分。在本实施例中，步骤262可为虚拟与(或)可忽略，因为提供该通知给MMCS1 214的操作也可提供该通知给MMCS2 216。 
在步骤264中，当MMCS2 216接收到该通知，其中晶片传送盒150已传送至桥接器152，则MMCS2 216决定在一适当路径，以在桥接器152的目前位置与最后位置222间传送晶片传送盒150，并且经由该路径与物料管制系统116沟通。MMCS2 216可为统一控制单元的一部分，其可决定晶片传送盒150的所有路径，使得MMCS2 216可提供需要的路由信息，以在制造厂104与106间将晶片传送盒150自桥接器152传送到桥接器158。当MMCS2 216已决定制造厂104内的晶片传送盒150的适当路径，则在步骤264中根据对应路由指令使得MMCS2 216与物料管制系统116沟通。如上 所述，根据路由指令使MMCS2 216与物料管制系统116沟通的操作还包括使用一解译器。 
在步骤S266中，在根据路由指令与物料管制系统116沟通后，物料管制系统116中继该路由指令给自动物料处理系统118以执行之。在步骤S268中，在自动物料处理系统118根据该路由指令传送晶片传送盒150后，根据传送给物料管制系统116的自动物料处理系统信号，完成制造厂104内的传送操作。在本实施例中，自动物料处理系统118指示晶片传送盒150已如要求地传送至桥接器158。接着，在步骤270中，物料管制系统116中继完成该传送的通知给MMCS2 216。在步骤272中，MMCS2 216将该通知传送给MMCS6 218。如上所述，MMCS2 216与MMCS3 218可为单一主物料控制系统的一部分。在本实施例中，步骤272可为虚拟与(或)可忽略，因为提供该通知给MMCS2 216的操作也可提供该通知给MMCS3 218。 
在步骤274中，当MMCS3 218接收到该通知，其中晶片传送盒150已传送至桥接器158，则MMCS3 218决定在一适当路径，以在桥接器158的目前位置与最后位置222间传送晶片传送盒150，并且经由该路径与物料管制系统122沟通。MMCS3 218可为统一控制单元的一部分，其可决定晶片传送盒150的所有路径，使得MMCS3 218提供该总路由中的一子路由，以在制造厂104内进行传送。在本实施例中，MMCS2 216提供需要的路由信息，以将晶片传送盒150自桥接器158传送至位置222。当MMCS3 218已决定制造厂106的晶片传送盒150的一适当路由，根据将MMCS3 218与物料管制系统122沟通的对应路由指令继续执行步骤274。如上所述，根据路由指令使MMCS3 218与物料管制系统122沟通的操作还包括使用一解译器。 
在利用路由指令与物料管制系统122沟通后，在步骤276中，物料管制系统122中继该路由指令至自动物料处理系统124以执行之。在步骤278中，在自动物料处理系统124根据该路由指令传送晶片传送盒150后，根据传送至物料管制系统124的自动物料处理系统信号完成制造厂106内的传送操作。在本实施例中，自动物料处理系统124指示晶片传送盒150已如要求地传送至位置222。接着，在步骤280中，物料管制系统122中继完成该传送的通知给MMCS3 218。在本实施例的步骤282中，MMCS3 218将该通知传送给制造厂106的制造执行系统120。在部分实施例中，制造执行系统120 可与统一控制单元或部分统一控制单元沟通，且特别的是与中央制造执行系统或部分中央制造执行系统沟通。在本实施例中，该中央制造执行系统可与包含MMCS3 218的MMCS沟通。步骤282可为虚拟与(或)可忽略，因为提供该通知给MMCS3 218的操作也可提供该通知给该中央制造执行系统。因此，晶片传送盒150可在不同自动物料处理系统内的位置220与222间传送，且在本实施例中可利用一自动化系统在不同制造厂内传送。 
参考图9和图10，其为一晶片批量的跨自动物料处理系统与(或)跨制造厂传输系统与方法的示意图。特别的是，图9和图10说明在初始传送后修改一传送要求与(或)重新排程一传送要求的方法。修改(或)重新排程一传送要求可能根据系统错误、人为要求有效路由/传输信息的改变与(或)上述组合而发生。图9显示本发明另一实施例的一跨厂传输系统与一跨厂晶片传输程序的示意图。图10显示在图9的制造厂间传送晶片的方法步骤流程图。如图9所示，制造厂102、104与106与图7所述雷同。 
参考图7，根据一传送要求令晶片传送盒150自制造厂102内的位置220传送至制造厂106内的位置222。在一范例中，修改在位置220与位置222间传送晶片传送盒150的方法300描述于图9和图10中。方法300起始于步骤302，其提供一传送要求并与MMCS1 214沟通。该传送要求可被一统一控制单元、一制造厂的一制造执行系统或一人为要求初始化。该传送要求可为自某一类型设备传送至另一类型设备的一般传送要求。该统一控制单元、该制造执行系统与(或)使用者可选择实际设备位置，其中一个以上的有效设备位置适用于该传送要求。该选择的位置根据许多系数来决定，该系数包括批量条件、批量优先权、传输条件、有效路由、有效路由长度与(或)其它参数。在本实施例中，根据该传送要求，晶片传送盒150自制造厂102的位置220传送至制造厂106的位置222。 
在步骤304中，MMCS1 214决定一适当路径，以在目前位置220与最后位置222间传送晶片传送盒150，并且经由该路由与物料管制系统110沟通。MMCS1 214可为统一控制单元的一部分，其决定晶片传送盒150的所有路由，使得MMCS1 214提供该总路由中的一子路由，以在制造厂102内进行传送。也就是说，在部分实施例中，MMCS1 214仅提供需要的路由指令给制造厂102内的晶片传送盒150。在本实施例中，MMCS1 214提供需要 的路由信息，以在制造厂102与104间将晶片传送盒150自位置220传送至桥接器152。当MMCS1 214已决定制造厂102的晶片传送盒150的一适当路由，根据将MMCS1 214与物料管制系统110沟通的对应路由指令继续执行步骤254。如上所述，MMCS1 214与物料管制系统110根据该路由指令的沟通包括使用一解译器来转换一般通讯协定(例如，通用物件请求代理架构(CORBA))为与物料管制系统110相关的一厂商指定协定。 
在利用路由指令与物料管制系统110沟通后，在步骤306中，物料管制系统110中继该路由指令至自动物料处理系统112以执行之。在步骤308中，在自动物料处理系统112根据该路由指令传送晶片传送盒150后，根据传送至物料管制系统110的自动物料处理系统信号完成制造厂102内的传送操作。在本实施例中，自动物料处理系统112指示晶片传送盒150已如要求地传送至桥接器152。接着，在步骤310中，物料管制系统110中继完成该传送的通知给MMCS1 214。在步骤312中，MMCS1 214将该通知传送给MMCS2 216。如上所述，MMCS1 214与MMCS2 216可为单一MMCS的一部分。在本实施例中，步骤262可为虚拟与(或)可忽略，因为提供该通知给MMCS1 214的操作也可提供该通知给MMCS2 216。 
在步骤314中，当MMCS2 216接收到该通知，其中晶片传送盒150已传送至桥接器152，则MMCS2 216决定在一适当路径，以在桥接器152的目前位置与最后位置222间传送晶片传送盒150，并且经由该路径与物料管制系统116沟通。MMCS2 216可为统一控制单元的一部分，其可决定晶片传送盒150的所有路由，使得MMCS2 216提供该总路由中的一子路由，以在制造厂104内进行传送。在本实施例中，MMCS2 216可提供需要的路由信息，以在制造厂104与106间将晶片传送盒150自桥接器152传送到桥接器158。当MMCS2 216已决定制造厂104内的晶片传送盒150的适当路径，则在步骤314中根据对应路由指令使得MMCS2 216与物料管制系统116沟通。如上所述，根据路由指令使MMCS2 216与物料管制系统116沟通的操作还包括使用一解译器。在步骤S316中，在根据路由指令与物料管制系统116沟通后，物料管制系统116中继该路由指令给自动物料处理系统118以执行之。在步骤S318中，在自动物料处理系统118根据该路由指令传送晶片传送盒150后，根据传送给物料管制系统116的自动物料处理系统信号， 完成制造厂104内的传送操作。在本实施例中，自动物料处理系统118指示晶片传送盒150已如要求地传送至桥接器158。接着，在步骤320中，物料管制系统116中继完成该传送的通知给MMCS2 216。 
在步骤322中，MMCS2 216提供用以传送晶片传送盒150的修改路由信息。该修改信息根据执行传送时的错误、人为输入、传输条件、设备可利用性与(或)其它条件而产生。在本实施例中，MMCS2 216指示晶片传送盒150应自桥接器158传送至制造厂104的位置323。位置323可为一缓冲仓储或其它设备内的一持有位置(Holding Position)，且(或)位置323可为另一类型的设备。再者，MMCS2 216提供需要的路由信息，用以将晶片传送盒150自桥接器158传送至位置323。当MMCS2 216已决定制造厂104内的晶片传送盒150的适当路径，则在步骤322中根据对应路由指令使得MMCS2 216与物料管制系统116沟通。在步骤S324中，在根据修改路由指令与物料管制系统116沟通后，物料管制系统116中继该修改路由指令给自动物料处理系统118以执行之。在步骤S326中，在自动物料处理系统118根据该路由指令传送晶片传送盒150后，根据传送给物料管制系统116的自动物料处理系统信号，完成制造厂104内的传送操作。在本实施例中，自动物料处理系统118指示晶片传送盒150已如要求地传送至位置323。接着，在步骤328中，物料管制系统116中继完成该传送的通知给MMCS2 216。在部分实施例中，晶片传送盒150根据另一传送要求而晚点自位置323传送至位置222。 
图11显示实施上述方法的节点400的示意图。节点400包括一微处理器402、输入装置404、存储装置406、视频控制器408、系统存储器410、显示装置414以及与一或多个总线412相互连接的通讯装置416。存储装置406可为软盘机、硬盘机、光盘机或任何其它形式的存储装置。此外，存储装置406可接收包含计算机可执行指令的软盘机、硬盘机、光盘机、多功能数字盘片光盘机或任何形式的计算机可读取媒体。此外，通讯装置416可为数据机、网络卡或任何其它令节点可与其它节点沟通的装置。需了解，任何节点表示多个相互连接(是否借由企业内部网络或网际网络)的计算机系统，包括但并不限于个人计算机、大型计算机、个人数字助理与移动电话。 
计算机系统典型上包括至少可执行机器可读取指令的硬件，也包括执行 产生所需结果的操作(典型上为机器可读取指令)的软件。此外，计算机系统可混合硬件与软件，计算机子系统也一样。 
硬件一般包括至少处理器可执行的平台(例如，客户端机器(公知为个人计算机或服务器))以及手持处理装置(例如，智能手机、个人数字助理、或个人运算装置)。此外，硬件包括任何可存储机器可读取指令的实体装置，例如，存储器或其它数据存储装置。其它形式的硬件包括硬件子系统，其包括传送装置(例如，数据机)、数据卡、通讯端口(Port)与端口卡(Port Card)。 
软件包括存储在记忆媒体(例如，随机存取存储器或只读存储器(ReadOnly Memory，ROM))或其它装置(例如，软盘片、闪存或光盘中)中的任何机器码。软件也可包括源码或目标码。此外，软件包含任何可在客户端机器或服务器中执行的指令组。 
软件与硬件的结合可提供更大的功能与效能。在一实施例中，可直接将软件功能与硅芯片结合。此外，需了解计算机系统也包含软件与硬件的结合，且利用软件与硬件的结合可推导出与本发明实施例同等的架构与方法。 
计算机可读取媒体包括被动数据存储媒体，例如，随机存取存储器，也包括半永久性(Semi-permanent)数据存储媒体，例如，光盘。此外，本发明实施例中可内嵌于计算机的随机存取存储器中，以转换一标准计算机为一新的特定运算机器。 
数据结构为数据组织，其可用于实现本发明。举例来说，数据结构可提供数据组织或可执行码组织。数据信号可跨传输媒体承载，并且存储与传输不同的数据结构，因此，可适用于本发明实施例的传输上。 
本发明系统可实现于任何特定的架构上。举例来说，本发明系统可运作于单一计算机、区域网络、主从式网络、广域网络、网际网络、手持式与其它便携式无线网络以及网络上。 
数据库可为标准或私有数据库软件，例如，Oracle、Microsoft Access、SyBase或DBase II。数据库具有字段、记录、数据或其它数据库元件，其经由数据库指定软件而产生关联。此外，数据可被映射。该映射操作将其中一数据输入关联至另一数据输入。举例来说，在character file(字符文件)中的数据可映射至第二表格中的字段。数据库的实际位置并未受限，且可对数据库进行分配。举例来说，数据库可设在远端服务器中，并且执行于一独立 平台上。此外，数据库可跨网际网络存取。需注意到，实现上可使用一或多个数据库。 
本发明还提供一种记录媒体(例如光盘片、磁盘片与抽取式硬盘等等)，其记录一计算机可读取的权限签核程序，以便执行上述的实现工厂自动化系统的处理方法。在此，存储于记录媒体上的权限签核程序，基本上是由多个程序码片段所组成的(例如建立组织图程序码片段、签核表单程序码片段、设定程序码片段、以及部署程序码片段)，并且这些程序码片段的功能对应到上述方法的步骤与上述系统的功能方块图。 
虽然本发明已以优选实施例公开如上，然而其并非用以限定本发明，任何本领域普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视随附的权利要求所界定的范围为准。 

Claims (8)

1.一种工厂自动化系统，其用以实现一半导体制造厂的跨不同自动物料处理系统的晶片传输，包括：
一物料管制系统主机，其可与一第一物料管制系统以及一第二物料管制系统相互通讯，并且该物料管制系统主机包括传送型态以及制造执行系统与自动物料处理系统映射，其中该传送型态表示用以在该第一物料管制系统的第一位置与该第二物料管制系统的第二位置间传送晶片传送盒的有效路径以及该制造执行系统与自动物料处理系统映射用在路由规划与评估，其中该第一物料管制系统可与一第一供应商的一第一自动物料处理系统相互通讯，而该第二物料管制系统可与一第二供应商的一第二自动物料处理系统相互通讯；
一桥接器，连接于该第一与第二自动物料处理系统，其令晶片可在该第一与第二自动物料处理系统间传送；以及
一中央制造执行系统，其与该物料管制系统主机相互通讯且用以控制该物料管制系统主机；
其中，该物料管制系统主机包括一传输分派器，该传输分派器发送多个路由信号给该第一与第二物料管制系统，以控制该第一与第二自动物料处理系统以及该桥接器的跨厂晶片传送。
2.如权利要求1所述的工厂自动化系统，其中，该桥接器包括至少一缓冲仓储。
3.如权利要求1所述的工厂自动化系统，其中，该桥接器为一悬吊式物料搬运的一部分。
4.如权利要求1所述的工厂自动化系统，其中，该桥接器为一悬吊式搬运梭的一部分。
5.如权利要求1所述的工厂自动化系统，其中，该第一自动物料处理系统为一第一制造厂的一部分，且该第二自动物料处理系统为一第二制造厂的一部分。
6.如权利要求1所述的工厂自动化系统，其中，该第一与第二自动物料处理系统为一第一制造厂的一部分。
7.如权利要求1所述的工厂自动化系统，其还包括：
一第一解译器，其用以将自该传输分派器发送至该第一物料管制系统的所述多个路由信号转译为一第一通讯协定并供该第一自动物料处理系统使用；以及
一第二解译器，其用以将自该传输分派器发送至该第二物料管制系统的所述多个路由信号转译为一第二通讯协定并供该第二自动物料处理系统使用。
8.如权利要求1所述的工厂自动化系统，其中，该中央制造执行系统与联结至该第一物料管制系统的一第一制造执行系统相互通讯，以及与联结至该第二物料管制系统的一第二制造执行系统相互通讯。
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Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI380145B (en) * 2008-07-25 2012-12-21 Inotera Memories Inc A cross-fab control system and a method for using the said system
US8977387B2 (en) * 2009-10-29 2015-03-10 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. System and method for overhead cross-system transportation
TWI412906B (zh) * 2010-04-13 2013-10-21 Univ Nat Cheng Kung 具有虛擬量測功能的製造執行系統與製造系統
CN102254788B (zh) * 2010-05-19 2014-08-20 国立成功大学 具有虚拟测量功能的制造执行系统与制造系统
CN102244664B (zh) * 2011-08-29 2014-04-02 浙江中烟工业有限责任公司 多级安全互联平台的多级互联安全管理中心子系统
CN102629349A (zh) * 2012-01-08 2012-08-08 山西太钢不锈钢股份有限公司 一种sap系统与多mes系统间的物料调拨方法
CN103197614B (zh) * 2012-01-09 2015-10-21 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 基于plc控制的自动物料搬送系统及其控制方法
TWI461872B (zh) * 2012-04-09 2014-11-21 Skymedi Corp 自動化量產方法及其系統
CN104166378B (zh) * 2013-05-17 2017-08-04 上海和辉光电有限公司 Amoled厂物料cim自动管理系统的管理方法
TWI566316B (zh) * 2014-12-22 2017-01-11 力晶科技股份有限公司 晶圓傳送盒搬運方法、橋接儲存器、以及控制裝置
KR102502235B1 (ko) * 2015-07-16 2023-02-21 삼성전자주식회사 물류 모니터링 시스템 및 이의 동작 방법
CN105514113A (zh) * 2015-11-25 2016-04-20 上海新储集成电路有限公司 一种3d非易失性存储器及其制造方法和降低功耗的方法
US10108095B2 (en) 2016-05-31 2018-10-23 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Automated mask storage and retrieval system
US10261109B2 (en) 2017-05-17 2019-04-16 Globalfoundries Inc. Probe card support insert, container, system and method for storing and transporting one or more probe cards
CN107172201A (zh) * 2017-06-28 2017-09-15 武汉华星光电技术有限公司 一种自动派送系统
CN112292644A (zh) 2018-07-12 2021-01-29 应用材料公司 使用基于块的工作流程的约束编程
CN110943012B (zh) * 2019-11-22 2021-05-07 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 制备oled薄膜的打印装置及其打印方法
JP7070595B2 (ja) * 2020-03-19 2022-05-18 トヨタ自動車株式会社 情報処理方法、情報処理装置、及びプログラム
CN111627834B (zh) * 2020-04-27 2024-02-06 南通通富微电子有限公司 Da设备实现联机的方法、系统、存储介质及移载机
KR20230077197A (ko) * 2021-11-25 2023-06-01 에스케이온 주식회사 통합 제어 시스템 및 이를 포함하는 자동 반송 시스템
CN116976653B (zh) * 2023-09-25 2023-12-05 成都芯极客科技有限公司 一种基于mes系统的多工厂产能协调方法

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3889355A (en) * 1973-02-05 1975-06-17 Ibm Continuous processing system
US6345259B1 (en) 1993-09-28 2002-02-05 The Dow Chemical Company System and method for integrating business and manufacturing environments
US6345208B1 (en) 1995-08-09 2002-02-05 Fuji Photo Film Co., Ltd. Method of and apparatus for production management
JPH11232324A (ja) 1998-02-16 1999-08-27 Nec Yamagata Ltd 負荷区分型生産管理方式および生産管理方法
US6079927A (en) * 1998-04-22 2000-06-27 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Automated wafer buffer for use with wafer processing equipment
US6240335B1 (en) 1998-12-14 2001-05-29 Palo Alto Technologies, Inc. Distributed control system architecture and method for a material transport system
US6662076B1 (en) 1999-02-10 2003-12-09 Advanced Micro Devices, Inc. Management of move requests from a factory system to an automated material handling system
US6477432B1 (en) 2000-01-11 2002-11-05 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Statistical in-process quality control sampling based on product stability through a systematic operation system and method
US6647316B2 (en) 2001-02-22 2003-11-11 Pri Automation, Inc. Traffic management system and method for materials handling using traffic balancing and traffic density
US20030083947A1 (en) 2001-04-13 2003-05-01 Hoffman George Harry System, method and computer program product for governing a supply chain consortium in a supply chain management framework
JP2003124286A (ja) * 2001-10-18 2003-04-25 Mitsubishi Electric Corp 工程間搬送システムおよび工程間搬送方法
US20030149608A1 (en) 2002-02-06 2003-08-07 Kall Jonathan J. Suite of configurable supply chain infrastructure modules for deploying collaborative e-manufacturing solutions
US6976033B2 (en) 2002-04-10 2005-12-13 Charming Systems Corpration Production cell information system based on activity costs and an architecture therefor
US6705523B1 (en) 2002-09-27 2004-03-16 Honda Of America Mfg. Inc. System and method for delivering supplies to a production line
US7099726B2 (en) 2003-02-04 2006-08-29 Renesas Technology Corp. Production planning system
DE10316103B4 (de) * 2003-04-09 2011-10-20 Daimler Ag Verfahren zur Steuerung der Fertigungsreihenfolge
US20050096775A1 (en) * 2003-10-31 2005-05-05 Yu-Chih Wang Method and system of automatic carrier transfer
US7720557B2 (en) * 2003-11-06 2010-05-18 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for enhanced operation of substrate carrier handlers
US7218983B2 (en) * 2003-11-06 2007-05-15 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for integrating large and small lot electronic device fabrication facilities
US7123975B2 (en) 2004-07-22 2006-10-17 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Manufacturing management system and method
CN100524263C (zh) * 2005-03-31 2009-08-05 三菱电机株式会社 装置驱动模块
US7426421B2 (en) 2005-12-28 2008-09-16 Taiwan Semicondcutor Manufacturing Co., Ltd. Methods and systems for transport system (TS) integration
US7356378B1 (en) 2007-04-03 2008-04-08 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Method and system for smart vehicle route selection

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