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Brevets

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Numéro de publicationCN101436003 A
Type de publicationDemande
Numéro de demandeCN 200810184648
Date de publication20 mai 2009
Date de dépôt18 juin 2004
Date de priorité19 juin 2003
Autre référence de publicationCN1802726A, CN100459036C, CN101436003B, DE602004024782D1, EP1635382A1, EP1635382A4, EP1635382B1, EP2216685A2, EP2216685A3, EP2216685B1, EP2275869A2, EP2275869A3, EP2275869B1, EP2278401A2, EP2278401A3, EP2278401B1, US7321419, US7486385, US7812925, US7969557, US8018575, US8027027, US8319941, US8436978, US8436979, US8692976, US8705001, US8717537, US8724085, US8767177, US8830445, US9001307, US9019473, US9025129, US9274437, US9551943, US20060114445, US20060132739, US20060132740, US20070064214, US20070211234, US20080002166, US20090190112, US20110025996, US20110025997, US20120008111, US20120200837, US20130215403, US20130229637, US20130250257, US20140211176, US20140211177, US20140293252, US20150198897, US20160202617, US20170123326, WO2004114380A1
Numéro de publication200810184648.3, CN 101436003 A, CN 101436003A, CN 200810184648, CN-A-101436003, CN101436003 A, CN101436003A, CN200810184648, CN200810184648.3
Inventeurs蛯原明光
Déposant株式会社尼康
Exporter la citationBiBTeX, EndNote, RefMan
Liens externes:  SIPO, Espacenet
曝光装置及器件制造方法
CN 101436003 A
Description  disponible en Chinois
Revendications(28)  disponible en Chinois
Référencé par
Brevet citant Date de dépôt Date de publication Déposant Titre
CN104093259B *20 mars 200911 janv. 2017Asml荷兰有限公司靶材、源、euv光刻设备和使用该设备的器件制造方法
Classifications
Classification internationaleG03F7/20, H01L21/027
Classification coopérativeG03F7/70341, G03F7/70758, G03F7/70725, G03F7/70225, G03F7/70333, Y10T29/49826, G03F7/70733, G03F7/70325, B82Y10/00, G03F7/70716, G03F7/70816
Classification européenneB82Y10/00, G03F7/70P2B, G03F7/70N6, G03F7/70F22, G03F7/70N4, G03F7/70F24
Événements juridiques
DateCodeÉvénementDescription
20 mai 2009C06Publication
15 juil. 2009C10Entry into substantive examination
17 août 2011C14Grant of patent or utility model