CN105264112A - 界定剂量环围温度及压力蒸气沉积系统 - Google Patents

Abstract

一种用以传送在液体化学品中的有效成份至一化学蒸气沉积系统的封闭化学品导入系统，包括含有一界定剂量的液体化学品的一坚固、无水分筒匣。该筒匣是放在特别构形成收纳该筒匣的一安装槽孔上。在启动该系统后，一第一线性机械致动器确实地保持该筒匣在该槽孔中，同时附加在一第二线性机械致动器上的一抽取矛由底部刺穿该筒匣，抽取该液体化学品且将它传送至一蒸发室。该蒸发室蒸发该液体化学品且传送含有该有效成份的蒸气至该化学蒸气沉积系统。该化学蒸气沉积系统可包括一处理腔室，一输送器，用以在该腔室内提供分开处理隔室的一压缩清洁空气系统，一加湿系统，一化学蒸气系统，及用以中和有害副产物的一中和系统。

Description

界定剂量环围温度及压力蒸气沉积系统

技术领域

相关申请案

本申请案与2013年4月24日提交的申请序号为61/815,649，标题为“界定剂量环围温度及压力蒸气沉积系统”的美国临时申请案有关，本申请且要求以该申请案为其优先权。该申请且以其全部内容引入本文作为参考。

本发明是有关于用以导入有效化学成份至一自动化学蒸气沉积系统的一处理腔室且通过一化学蒸气沉积在有机与无机基材上产生保护薄膜及涂层的装置及方法。

背景技术

许多以玻璃为主的消费产品，例如饮料容器、食物容器、太阳眼镜镜片、汽车挡风玻璃及车窗，需要保护涂层以避免因粗率撞击产生的刮伤、污渍及破裂。用以在例如玻璃、以二氧化硅为主的玻璃及甚至以金属氧化物为主的钢的基材上产生保护薄膜及涂层的各种技术在所属技术领域中是已知的。这些现有技术中的某些技术包括手动地手动施加有效化学成份及通过化学蒸气沉积程序自动地施加。

手动施加有效成份在一基材上通常是通过手动地或使用一手持机器喷洒化学溶液在该基材的一表面上。虽然手动施加可产生一有效涂层，但是该施加是缓慢的、劳力密集的，产生安全问题，且大体积应用的扩充性不佳。此外，在基材上产生薄膜或涂层时使用的有效成份经常需要高挥发及可燃有机溶剂以便在施加程序中提供协助，因为当以其纯形态施加在基材上时，该等有效成份通常不会提供一有效涂层。在手动地手动施加时，化学溶液会溢出，过度喷洒在该基材的表面，破坏工作表面及地板，且产生一危险的工作环境。例如，与该等有效成份一起使用的有机溶剂会蒸发进入周围空气且对实施该手动施加的技术人员产生一健康危害。由于这些风险，实施该手动施加的技术人员必须穿上个人防护装备以避免吸入蒸气。而且，在手动施加时通常会发生的化学品溢出增加释放大量有害化学品至环境的风险，破坏设备及备品，且易在工作场所产生火灾及滑落伤害。

为解决伴随手动施加化学溶液产生的释放有害溶剂蒸气的问题，在现有技术中，某些技术使用通过完全在一抽取室内实施手动施加来局限溶剂烟雾的一蒸气抽取系统。但是，在该抽取室内实施该手动施加减少可扩充性，增加技术人员对个人保护装备的需要，且在该抽取系统中实施的安全措施失效时，大幅增加对该技术人员的个人伤害的风险。

某些前述问题可通过在所属技术领域中现有的自动化学蒸气沉积程序克服。该等化学蒸气沉积程序大幅减少与施加有效成份在该等基材上有关的人力，且，因此，减少人工成本及危害技术人员及环境的风险。但是，许多在所属技术领域中已知的化学蒸气沉积程序必须在真空腔室内在真空下施加该等有效成份在该等基材上。因为对可在真空腔室内使用化学蒸气沉积程序的基材的最大实体尺寸有某些限制，故真空腔室在抽空化学蒸气方面通常是缓慢的且容量是有限的。因此，虽然人工成本及释放有害蒸气的风险减少，但是真空腔室的尺寸限制仍未解决可扩充性问题，且事实上，大幅减少产能。

又，用以在基材上产生薄膜的其他现有化学蒸气沉积技术教示在环围压力且不使用真空腔室实施该化学蒸气沉积，这解决了可扩充性、人工成本及蒸气释放的问题。该等技术通常是在一房间大小的施加腔室中实施，且该等施加腔室在整个蒸气沉积程序中均保持在环围压力。这些房间大小的腔室具有可以最小人力需求施加大量有效成份的好处。该腔室的操作者可将大量大基材加载该腔室且在非常短的时间内以有效成份施加薄膜涂层至每一暴露表面。通常，该操作会在一小时内完成。但是，这种腔室的操作者必须小心测量该等正确有效成份的精确量，在操作该腔室时手动地将它们注入一化学品导入系统且在该程序中的一非常特定时间实施某些步骤。当如此做时，因为这些有效成份经常是可燃的且储存玻璃瓶中，故该操作者必须穿上个人保护装备以避免吸入有毒烟雾及保护不受化学品溢出伤害。玻璃瓶的易碎性与该等有效成份的毒性的组合在该等瓶子掉落或该等内容物溢出时具有一明显危险性。此外，在该等化学蒸气沉积程序中使用该等有效成份通常对空气敏感。因此，当开启该等瓶时，该操作者必须施加例如氮的一惰性气体包覆层，以减少由于暴露于空气造成的该等有效成份的分解速度。这种腔室的大部份使用者没有必要的设备来提供一氮包覆层。此外，即使在使用一氮包覆层时，当操作该等腔室时亦无法避免某些空气暴露。

发明内容

在此所述的实施本发明的一目前化学品导入系统解决在上述现有技术中遭遇的问题。例如，该目前化学品导入系统可并联或串联地使用多数系统以容许大规模化学蒸气沉积程序。此外，该目前化学品导入系统通过免除在该程序时暴露于有害蒸气、避免由于掉落及打破含有有效成份的一现有玻璃原料瓶而化学品溢出的风险、防止有害化学蒸气释放至环境、及减少由于使用错误剂量或错误种类的化学品产生人为错误造成的程序失效，增加实施一化学蒸气沉积的安全性。此外，由于不再需要连续监测该程序及在适当时间实施某些步骤，故在此所述的该目前化学品导入系统明显地增加操作者的生产力。

在另一方面，实施在此所述的本发明的一连续、输送化学蒸气沉积系统有助于在零释放有害蒸气的情形下完全自动化、大规模薄膜涂布任一似玻璃产品。在一较佳实施例中，在此所述的化学蒸气沉积系统可连续地操作24小时以便可不中断地在线生产。此外，由于各特定产品会需要，故该输送化学蒸气沉积的较佳实施例可通过调整其宽度及/或长度轻易地修改且适用于任一种产品线，因此提供一独特适用性及弹性以达成任何制造需求。

如在以下进一步细节中所示，该目前系统的较佳实施例使用含有精确剂量的有效成份的各种筒匣尺寸及形状，且该等有效成份配合例如玻璃容器、饮料容器(例如，酒瓶、啤酒瓶、汽水瓶等)、食物容器、太阳眼镜镜片、汽车挡风玻璃及车窗、或任一种消费性产品的基材的一特定处理的需要。

该目前化学蒸气沉积系统的一商业应用的一例是气泡酒瓶的贴标。气泡酒瓶，由于其固有性质，传统上是在一生产在线在某低温下填充。接着，该温度必须增加以便可在各瓶上贴标。在一大规模生产中，该温度是通过将该等瓶于生产时在线浸在一水池中且加热该水一段时间来增加，直到该等标签可适当地黏在该等玻璃瓶上为止。在一小规模生产中，该等瓶必须由该生产线取下，浸在加热的水中，放在室温下数天来冷却，接着拿回到该生产线以便贴标。这吃力的程序减慢生产速度，增加瓶破裂的可能性且需要大工作空间。

该化学蒸气沉积的目前实施例让气泡酒瓶可涂布特殊成份，该等特殊成份让标签可在不需要该瓶浸在一大水池中的情形下，在干的情形下固定在该等瓶上。因此当前系统有助于节省能源、人力及成本，且减少使用水。

该目前化学蒸气沉积系统的商业应用的其他例子可包括，但不限于，防滴涂层(例如在红酒瓶上)、耐刮及撞击涂层、及在饮料瓶内表面上涂层(例如香槟酒瓶的内侧涂层)的应用。

本发明提供用以在一全自动化学蒸气沉积系统中导入包含在完全密封且无水分的筒匣中的精确剂量的有效化学成份至一基材的装置及方法。又，本发明亦提供通过在一输送型系统中连续施加化学蒸气沉积，在有机及无机基材上产生保护薄膜及涂层的装置及方法。

在一方面，提供一种用以以一薄膜层涂布一基材的用于一化学蒸气沉积程序的自动液体化学品导入系统。该化学品导入系统可包含一筒匣插入总成，一液体化学品抽取总成，及一蒸发总成。提供一种可程序逻辑控制器(PLC)以同时地控制该化学品导入系统及一化学蒸气沉积系统。

提供一种包含用于该化学蒸气沉积的一精确量的有效成份的特别设计筒匣。该筒匣可包含含有该所需液体化学品的一无水分小瓶，用以密封该小瓶的开口的一再密封隔膜，用以固定该再密封隔膜的一小瓶盖，及具有一中空腔室的一厚筒匣外壳以便将该小瓶确实地放在该外壳内。由于在一特定化学蒸气沉积程序中可使用不同种类的化学品，故可使用用于特定化学品的具有特定形状的各种筒匣外壳以协助区别该等筒匣的内容物且避免人为错误。较佳地，该等筒匣是由该等有效成份的供货商准备。因此，该等筒匣不需要该化学蒸气沉积系统的一操作者手动地测量正确有效成份的量，将该等有效成份手动地注意该化学品导入系统中，及在特定时间实施特定步骤。

该筒匣插入总成宜形成该化学品导入系统的最上方组件。依据一较佳实施例，该筒匣插入总成包含一筒匣托盘，且该筒匣托盘具有特别设计成以一配合形状收纳该筒匣的一底部的一安装槽孔。在该筒匣托盘上方，设置可以一垂直方向移动的一上线性机械致动器。在一较佳实施例中，该上线性机械致动器可更包含用以在抽取该等有效化学品时确实地保持该筒匣于定位的一扣持夹。在另一实施例中，该上线性机械致动器可更包含一透明围阻盖。在包括该透明围阻盖的一实施例中，一惰性气体线，例如一氮线，供应惰性气体至该筒匣插入总成以便在该系统运转时将环围水分排除在外。在各实施例中，上线性机械致动器可通过该PLC自动地操作或通过手手动地操作。

在另一方面，该筒匣托盘可包含多数安装槽孔，多数透明围阻盖及多数惰性气体线以便同时地使用多数化学品。该液体化学品抽取总成宜形成该化学品导入系统的中间组件且位与该化学品导入系统下方。较佳地，它包含可以一垂直方向移动的一下线性机械致动器，附接在该下线性机械致动器上的一抽取矛，覆盖该抽取矛的一有脊套筒，及用以收集抽取的液体化学品的一化学品收集块。该下机械致动器可通过该PLC自动地操作或通过手手动地操作。该有脊套筒提供围阻保护以确保没有来自该等有效成份的有害蒸气逸出且在该化学品抽取时没有周围水分进入。在另一实施例中，可设置覆盖该有脊套筒的一波纹管作为另一烟雾围阻层。在一方面，一第二惰性气体线与该抽取矛连接以协助使用惰性气体压力由该筒匣完全抽取该液体化学品。在另一方面，可设置多数液体化学品抽取总成以便同时抽取多数筒匣。

该蒸发总成宜形成该化学品导入系统的最下方部份且设置在该液体化学品抽取总成下方。它可包含一蒸发腔室，与该化学品收集块连接且由该化学品抽取总成传送抽取的化学品至该蒸发腔室的一化学品液体入口，一压缩空气源及由该蒸发腔室传送有效化学蒸气至该化学蒸气沉积系统的一处理腔室的一化学蒸气出口。在一方面，可设置多数蒸发总成以便隔离及蒸发多数独立或组合的液体化学品且传送得到的蒸气至该处理腔室。

依据较佳实施例，该自动液体化学品导入系统由将该筒匣放在该安装槽孔上开始，其中该筒匣的再密封隔膜侧是面向下。因为该安装槽孔是设计成具有只可收纳具有一配合形状的筒匣的一特定形状，故该构态确使该筒匣适当地放在该安装槽孔中且使用正确种类的有效成份。一欲处理的基材是放置在该化学蒸气沉积系统的处理腔室中。

在该筒匣确实地放在该安装槽孔上后，操作者启动在该PLC上的一自动程序以致动该化学品导入系统及该化学蒸气沉积系统。在一实施例中，在该化学蒸气沉积系统的处理腔室外侧设置一湿度计以便在以该有效成份处理该基材之前先测量周围湿度。在由该湿度计接收湿度数据后，该PLC接着计算一适当运转时间以便依据一预定公式导入湿度至该处理腔室。接着，该PLC接合一增湿器以便依据该预定运转时间将水分注入该化学蒸气沉积系统的处理腔室。在该加湿程序完成后，该PLC接着由该处理腔室抽空周围空气以尽可能地移除空气中的水分，只在该基材上留下用于化学处理的水分。

与启动该化学蒸气沉积系统同时地，该PLC启动在该化学品导入系统上的程序。该上线性机械致动器开始以一向下方向移动以便在准备该化学品抽取程序时让该扣持夹确实地保持该筒匣在该安装槽孔中。在设置该透明围阻盖的一实施例中，该透明围阻盖固定该筒匣在该安装槽孔中且完全封闭该筒匣以防止化学烟雾释出及外侧水分侵入。在该实施例中，在该筒匣被该透明围阻盖完全封闭后，依据一预定时间供应氮气以驱出水分且确保一气密密封。

此外，在一较佳实施例中，设置一压力感测侦测器以侦测及报告对该PLC的一泄漏。如果报告一泄漏，则该PLC将暂停该程序直到该问题解决为止。

在将该筒匣扣持在该安装槽孔中完成后，通过该机械致动器或通过手动设定，且该泄漏侦测程序确定没有泄漏，载运该等有效化学品至该蒸发腔室的一管路系统以由该抽取矛流出的氮冲洗。一旦该氮冲洗完成后，该化学品导入系统接着等待直到该处理腔室的增湿程序完成为止。

一旦该处理腔室的增湿程序完成后，该PLC接着启动该下线性机械致动器以便以一向上方向移动以使该附接的抽取矛上升直到该抽取矛刺穿该筒匣的再密封隔膜为止。该抽取矛包含沿该矛的长度延伸的一垂直沟槽，一中空中央腔，至少一圆周沟槽。较佳地，该抽取矛可包含两圆周沟槽。该矛的垂直沟槽让该液体化学品可向下流向该化学品收集块。该等圆周沟槽在该刺穿点卡掣该再密封隔膜且当该下机械致动器倒退数毫米，它将该再密封隔膜稍微向下拉以形成用以更佳地收集该液体化学品的一漏斗。氮通过该中空中央腔供应至该筒匣小瓶中以便在该小瓶内产生压力且进一步驱动该液体化学品向下通过该垂直沟槽以完成抽取。

该化学品抽取块引导该抽取的液体通过该化学品液体入口至该蒸发腔室。一旦该液体化学品被收集在该蒸发腔室内后，将压缩空气供应至该蒸发腔室中以蒸发该有效成份的液体状态且将其蒸气状态载送至该处理腔室中以进行化学蒸气沉积。在进入该处理腔室后，含有精确剂量的有效成份的蒸气与在该基材的表面上的水分反应以便在该基材的表面上产生一薄膜涂层。该薄膜涂布程序的一例是公开于在此加入作为参考的美国专利第6,245,387号中。依据较佳实施例，该化学蒸气沉积程序是在一环围温度及压力下实施。

在该化学蒸气沉积系统的一实施例中，在该处理腔室内的空气是依据一段预定时间使用一特别设计的风扇及管路系统循环以确保一理想量的空气涡流。在该化学蒸气沉积程序结束后，通过过滤该空气且中和任何空气中的酸的一过滤器的一空气洗涤器抽空任何剩余化学蒸气及空气中的副产物。这空气洗涤器可包含颗粒过滤器及以吸收酸或中和介质填充的一连串托盘。

在另一实施例中，该化学蒸气沉积系统可包括在一全包含管状/圆柱形处理腔室内的一输送、组装线型系统。较佳地，该圆柱形处理腔室可包含一输送带，用以驱动该处理腔室的内部至分开处理隔室的多数空气幕，一水蒸气系统，一化学蒸气系统，用以抽空未反应的有效成份及酸性副产物的一真空系统，及与该真空系统连接以便在该载送空气释放至环境前，抽空及中和未反应的有效成份及酸性副产物的一中和系统。该水蒸气系统可更包含沿该输送带的长度放置在该输送带的长度上方的多数水蒸气入口。类似地，该化学蒸气系统可更包含沿该输送带的长度放置在该输送带的长度上方的多数化学蒸气入口。该等多数水蒸气入口及该等多数化学蒸气入口是依据所需涂布程序以一交错方式组配。该真空系统可更包含沿该输送带的长度放在该输送带的长度下方的多数真空通道。该中和系统可包含一中和溶剂贮器，放在该输送带下方的一蒸气导管，在该蒸气导管内的多数中和溶剂入口，及将中和溶剂由该溶剂贮器抽出至该等溶剂入口的一泵。或者，该中和系统可包含一空气洗涤器，且该空气洗涤器更包含一颗粒过滤器及以吸收酸或中和介质填充的一连串托盘。

如上所述，该圆柱形处理腔室的内部被该等多数空气幕分成多数隔室以防止水分及化学蒸气的交叉污染。在一较佳实施例中，一第一隔室可包含放在一第一对空气幕间的一第一水蒸气入口，一第二隔室可包含放在下一对空气幕间的一第一化学蒸气入口，一第三隔室可包含放在一第三对空气幕间的一第二水蒸气入口，一第三隔室可包含放在一第四对空气幕间的一第二化学蒸气入口，且一第五隔室可包含放在最后一对空气幕间的一压缩空气喷嘴。

依据该较佳实施例，该欲处理的基材是放在该输送带上且移动至该圆柱形处理腔室中用以进行一连串水及化学蒸气处理。当该基材进入该第一隔室时，该第一水蒸气入口在该基材输送通道该处理腔室的隔室时沉积水分在该基材的表面上。接着输送通过该空气幕，只将水分留在该基材的表面上。在这第一隔室的出口的一真空通道移除在边界上的任何水蒸气，确保没有任何水蒸气进入该程序的下一隔室。接着，该基材进入该第二隔室以进行一第一有效成份的一化学蒸气沉积处理。

在该第二隔室中，当该基材被输送通过该处理腔室的第二隔室时，该第一化学蒸气入口沉积该第一有效化学成份的蒸气在该基材上。在该基材上的表面上的水分与该化学蒸气反应以便在该基材的表面上形成一薄膜涂层。在该第一化学蒸气沉积完成后，一第二真空通道抽空该未反应化学成份及酸性副产物进入在该输送带下方的蒸气导管中，确保没有未反应化学成份及酸性副产物通入该处理腔室的下一个隔室。

在进入该第三隔室后，当该基材被输送通过该处理腔室的第三隔室时，一第二水蒸气入口沉积水分在该基材的表面上，为一第二有效化学成份的一第二处理作准备。类似于该第一水分处理，当该基材离开这隔室时，它被输送通过一第三空气幕，只在该基材的表面上留下水分且一第三真空通道抽空空气中的水分进入该蒸气导管中，确保没有水蒸气进入下一个隔室。接着该基材进入该第四隔室以便进行该第二有效成份的一化学蒸气沉积处理。

在该第四隔室中，当该基材被输送通过该第四隔室时，该第二化学蒸气入口沉积该第二有效成份的蒸气在该基材的表面上。在该基材上的表面上的水分与该化学蒸气反应以便在该基材的表面上形成一第二薄膜涂层。在这隔室的出口，一第四真空通道在边界抽空该未反应化学成份及酸性副产物进入在该输送带下方的蒸气导管中，且该基材通过一第五空气幕且继续进入该第五隔室。

在该第五隔室中，当该基材被输送通过该第五隔室时，一压缩空气喷嘴施加高压压缩空气在该基材上以便由该基材移除多余化学品。此外，可设置一第五真空通道以进一步抽空未反应的有效成份及酸性副产物。在该程序完成后，该经处理的基材接着离开该化学蒸气沉积腔室。

应了解的是该输送化学蒸气沉积系统可与用于一界定剂量的筒匣系统一起，或与该筒匣系统无关地使用，以便进行有效成份的一连续施加。亦应了解的是该输送化学蒸气沉积系统可使用二种以上的有效成份，且因此可包含多数加水隔室及多数化学蒸气处理隔室。最后，应了解的是依据这较佳实施例的化学蒸气沉积程序是在周围温度及压力下实施。

在另一方面，提供一种在一封闭化学蒸气沉积系统中自动地导入空气敏感液体化学品至一基材的方法。该方法可包含为一化学蒸气沉积程序提供含有一界定剂量的特定液体化学品的一无水分筒匣；提供一封闭抽取机构以便由该筒匣抽取该液体化学品；及传送在该抽取的液体化学品中的有效成份至该化学蒸气沉积系统的一处理腔室。

为一化学蒸气沉积程序提供含有一界定剂量的特定液体化学品的一无水分筒匣的步骤可更包含依据一预定量时间由一小瓶移除周围水分；分配该界定剂量的液体化学品至该小瓶中在惰性气体包覆层下方；以一再密封隔膜及一盖密封该小瓶；及将该小瓶放在一保护外壳内。

提供一封闭抽取机构以便由该筒匣抽取该液体化学品的步骤可更包含提供一安装槽孔，且该安装槽孔是组配成收纳配合该安装槽孔的该筒匣；提供一上线性机械致动器，该上线性机械致动器是在该安装槽孔上方且可以一垂直方向移动以便在液体化学品抽取时固定该筒匣；提供一抽取矛，该抽取矛是附接在一下线性机械致动器上，且该下线性机械致动器是在该安装槽孔下方且可以一垂直方向移动以便由该筒匣抽取液体化学品；及提供一化学品收集块以收集该抽取的液体化学品。

传送在该抽取的液体化学品中的有效成份至该化学蒸气沉积系统的一处理腔室的步骤可更包含提供一蒸发腔室以便由该化学品收集块收纳该液体化学品；依据一预定量时间将压缩空气抽至该液体化学品上方以便蒸发该液体化学品；及通过进一步施加压缩空气压力至该蒸发腔室，通过一出口传送呈一蒸气状态的有效成份至该处理腔室。

在另一方面，一种在一封闭化学蒸气沉积系统中自动地导入空气敏感液体化学品至一基材的方法包含为一化学蒸气沉积程序提供含有一界定剂量的特定液体化学品的一无水分筒匣；提供组配成收纳该筒匣的一安装槽孔；在启动该系统时确实地保持该筒匣在该安装槽孔中；在一封闭环境中由该筒匣抽取液体化学品；及传送包含在该液体化学品中的有效成份至一化学蒸气系统的一处理腔室。

为一化学蒸气沉积程序提供含有一界定剂量的特定液体化学品的一无水分筒匣的步骤可更包含依据一预定量时间由一小瓶移除周围水分；分配该界定剂量的液体化学品至该小瓶中在惰性气体包覆层下方；以一再密封隔膜及一盖密封该小瓶；及将该小瓶放在一保护外壳内。

提供组配成收纳该筒匣的一安装槽孔可更包含提供一安装槽孔，且该安装槽孔具有配合该筒匣的底部的一形状。

在启动该系统时确实地保持该筒匣在该安装槽孔中的步骤可包含提供一上线性机械致动器，且该上线性机械致动器可以垂直方向移动以便在启动该系统时确实地保持该筒匣在该安装槽孔中。在一实施例中，这步骤可更包含提供附接在该上线性机械致动器上的一扣持夹。在另一实施例中，这步骤可更包含提供一透明围阻盖，且该透明围阻盖是附接在该上线性机械致动器上且完全封闭该筒匣。此外，这步骤可使用一PLC自动地或通过手手动地实施。在一封闭环境中由该筒匣抽取液体化学品的步骤可包含提供一抽取矛，该抽取矛是附接在一下线性机械致动器上，且该下线性机械致动器是在该安装槽孔下方且可以一垂直方向移动，其中该下机械致动器使该矛上升以便在启动该系统时刺穿该筒匣且抽出该液体化学品，且其中该抽取矛供应氮压力至该筒匣中；及提供一化学品抽取块以便收集该液体化学品。

传送包含在该抽取的液体化学品中的有效成份至该化学蒸气沉积系统的一处理腔室的步骤可更包含提供一蒸发隔室，且该蒸发隔室是组配成蒸发由该筒匣抽取的液体化学品至一蒸气状态且载送在该蒸气中的有效成份至一化学蒸气沉积系统的一处理腔室。

在另一方面，提供一种准备含有空气敏感的液体化学品的一无水分筒匣供在一化学蒸气沉积系统中使用的方法。该方法可包含依据一预定量时间由一小瓶移除周围水分；分配该界定剂量的液体化学品至该小瓶中在惰性气体包覆层下方；以一再密封隔膜及一盖密封该小瓶；及将该小瓶放在一保护外壳内。

依据一预定量时间由一小瓶移除周围水分的步骤可更包含依据一预定量时间以一氮气冲洗该小瓶。在另一实施例中，依据一预定量时间由一小瓶移除周围水分的步骤可更包含依据一预定量时间施加真空压力至该小瓶及以氮气填充该小瓶。

将该小瓶放在一保护外壳内的步骤可更包含提供该保护外壳一形状，且该形状是组配成可嵌入一自动化学品导入系统的一安装槽孔中。

在另一方面，提供一种通过化学蒸气沉积在有机及无机基材上产生保护薄膜的方法。该方法可包含提供包含一输送器、一水分处理系统、一化学蒸气沉积系统、一压缩清洁空气系统及一蒸气中和系统的一输送处理腔室；使用该压缩清洁空气系统在该处理腔室内分开该水分处理系统及该化学蒸气沉积以防止在水分与有效化学成份间的交叉污染；将一基材放在一输送器上以便让该基材进行一连串水分及化学蒸气处理；及在释放该载送空气至开放空气前，通过抽空未反应的化学成份及化学副产物至该蒸气中和系统，中和任何未反应的化学成份及化学副产物。

提供包含一输送器、一水分处理系统、一化学蒸气沉积系统、一压缩清洁空气系统及一蒸气中和系统的一输送处理腔室的步骤更包含将该水分处理系统沿该输送器放在该输送器上方，其中该水分处理系统包括多数水蒸气入口。这步骤亦可包含将该化学蒸气沉积系统沿该输送器放在该输送器上方，其中该化学蒸气沉积系统包括多数化学蒸气入口。

使用该压缩清洁空气系统在该处理腔室内分开该水分处理系统及该化学蒸气沉积以防止在水分与有效化学成份间的交叉污染可更包含提供一中央清洁空气源；提供与该清洁空气源连接的一主空气导管；及提供与该主空气导管连接，沿该输送器的长度放在该输送器的长度上方的多数空气幕以便使用一空气幕分开一水分处理隔室及一化学蒸气隔室。

在释放该载送空气至开放空气前，通过抽空未反应的有效成份及化学副产物至该蒸气中和系统，中和任何未反应的有效成份及化学副产物的步骤可更包含在各隔室的边界在该输送器下方提供多数真空通道以抽空该等未反应有效成份及副产物至一蒸气导管；提供含有一中和剂的一溶剂贮器；在该蒸气导管中提供多数中和溶剂入口；及提供一溶剂泵以将该中和剂由该溶剂贮器抽出且传送该中和剂至该等多数溶剂入口以便在释放该等蒸气的前中和在该蒸气导管内的有害蒸气。或者，这步骤可包含提供一空气洗涤器，该空气洗涤器包含一颗粒过滤器及以吸收酸或中和介质填充的一连串托盘。

附图说明

图1是一自动化学品导入系统的一较佳实施例的主视图，且其门关闭。

图2是该自动化学品导入系统的较佳实施例的主视图，且其门开启。

图3是该化学品导入系统的一筒匣的一较佳实施例的立体图。

图4A与4B是该化学品导入系统的一筒匣的一第二较佳实施例的立体图。

图5是该化学品导入系统的一筒匣插入总成及一液体抽取总成的较佳实施例的主视图。

图6A是该化学品导入系统的筒匣插入总成及液体抽取总成的较佳实施例的立体图。

图6B是该化学品导入系统的筒匣插入总成及液体抽取总成的其他较佳实施例的立体图。

图7是该筒匣插入总成的一筒匣托盘的一较佳实施例的立体图。

图8是该筒匣插入总成的一筒匣托盘的一第二较佳实施例的立体图。

图9是该化学品导入系统的一氮线及一压缩空气线的较佳实施例的主视图。

图10是该液体抽取总成的一抽取矛的一较佳实施例的立体、放大图。

图11是该液体抽取总成的一化学品收集块的一较佳实施例的立体图。

图12是该化学品导入系统的一蒸发总成的一较佳实施例的主视图。

图13A与13B是该化学品导入系统启动前及后该筒匣插入总成的较佳实施例的前视图。

图14A与14B是该化学品导入系统启动前及后该筒匣插入总成的较佳实施例的立体图。

图14C与14D是该化学品导入系统启动前及后该筒匣插入总成的其他较佳实施例的立体图。

图15A与15B是该化学品导入系统启动前及后该抽取总成的较佳实施例的立体图。

图16是一化学品导入系统的另一实施例的立体图。

图17是一输送化学蒸气沉积系统的一较佳实施例的侧视图。

图18是该输送化学蒸气沉积系统的较佳实施例的立体图。

图19是在一封闭化学蒸气沉积系统中导入空气敏感液体化学品至一基材的一较佳方法的图。

图20是准备含有空气敏感的液体化学品的一无水分筒匣供在一化学蒸气沉积系统中使用的一较佳方法的图。

图21是在一封闭化学蒸气沉积系统中自动地导入空气敏感液体化学品至一基材的另一较佳方法的图。

图22是通过化学蒸气沉积在有机及无机基材上产生保护薄膜的一较佳方法的图。

以下本发明及其各种实施例可藉助于说明所示实施例的以下详细说明而更佳地了解。可特别了解的是所示实施例是作为例子提出且不如最后界定在权利要求般地作为本发明的限制。

主要组件符号说明：

10、10d化学品导入系统12控制面板隔室

14液体化学品传送隔室16控制面板隔室门

18触控屏幕PLC控制模块20筒匣隔室

22蒸发隔室24筒匣隔室门

26蒸发隔室门26d蒸发腔室盖

28筒匣插入总成28-2第二筒匣插入总成

30惰性气体(氮)计量阀31压缩空气计量阀

32抽取总成32-2第二抽取总成

34、34d蒸发总成34-2第二蒸发总成

36、36b、36-2安装槽孔40、40b、40d筒匣

42小瓶41b液体化学品

42b、42d小瓶44、44b障壁

46小瓶盖46d内盖

48、48b外壳48d筒匣外壳

50中空腔室51螺纹部份

52壁厚度53运送及处理盖

53d外盖56筒匣托盘

57扣持夹58围阻盖

60上线性机械致动器62上线性机械致动器轨道

64主氮线66主压缩空气线

68、68b围阻盖槽孔线68、68b围阻盖槽孔

72抽取矛74有脊套筒

76波纹管78下线性机械致动器轨道

80下线性机械致动器82中央腔

84垂直沟槽86圆周沟槽

88化学品收集块90液体收集腔室

92氮线94液体入口

96、96d蒸发腔室100压缩空气源

100d压缩空气源(线)102蒸气出口

102d出口104压缩空气阀

106蒸气压力阀120基材(瓶)

200化学蒸气沉积系统208压缩清洁空气系统

210处理腔室212主空气导管

214中央空气源216空气幕

216-2第二空气幕216-3第三空气幕

216-4第四空气幕216-5第五空气幕

216-6第六空气幕；最后空气幕218水蒸气系统

220化学蒸气系统222真空系统

224中和系统226水蒸气入口

226-2第二水蒸气入口228化学蒸气入口

228-2第二化学蒸气入口232压缩空气喷嘴

234输送带236、238机械手臂

240中和溶剂贮器242贮器泵

246真空通道；第一真空通道246-2第二真空通道

246-3第三真空通道246-4第四真空通道

248溶剂入口248-9真空通道

250第一隔室260第二隔室

270第三隔室274导管开口

280第四隔室；蒸气导管290第五隔室

300方法310步骤

320步骤330步骤

400方法410步骤

420步骤430步骤

440步骤500方法

510步骤520步骤

530步骤540步骤

550步骤600方法

610步骤620步骤

630步骤640步骤

具体实施方式

以下本发明及其各种实施例可藉助于说明所示实施例的以下详细说明而更佳地了解。可特别了解的是所示实施例是作为例子提出且不如最后界定在权利要求般地作为本发明的限制。

在图1中，一自动液体化学品导入系统，或简称为一化学品导入系统的一较佳实施例是以一符号10表示。在此，显示该化学品导入系统10的一外主视图。如图1所示，该化学品导入系统10宜包含两隔室、一控制面板隔室12及一液体化学品传送隔室14。该控制面板隔室12收容一电气控制器、一可程序逻辑控制器(PLC)、及同时控制该化学品导入系统10及一化学蒸气沉积系统(未图标)的操作的各种电气与计算机布线。该液体化学品传送隔室14收容多数自动机构，且该等自动机构实施包含在密封筒匣40(在稍后图中显示)内的液体化学品的抽取、该液体化学品的蒸发、及将含有有效成份的蒸气传送至该化学蒸气沉积系统以进行一基材的一蒸气沉积处理。

该控制面板隔室12是被一控制面板隔室门16关闭。该控制面板隔室门16在其外部更包含一触控屏幕PLC控制模块18以便让一操作者可设定一所需程序或控制该化学品导入系统10及该化学蒸气沉积系统的操作的某些变量，例如温度、惰性气体压力、运转时间等。

如图1与2所示，该液体化学品传送隔室14宜包含一顶筒匣隔室20及一底蒸发隔室，或简称为一蒸发隔室22。该顶筒匣隔室20被一筒匣隔室门24关闭且该蒸发隔室22被一蒸发隔室门26关闭。该筒匣隔室门24让使用者可在不必开启整个液体化学品传送隔室14，且产生一有害蒸气释放的风险的情形下轻易地替换内侧密封筒匣40。在一实施例中，该筒匣隔室门24可包含透明玻璃使得操作者可看见该筒匣隔室20的内部。

图2显示依据一较佳实施例的液体化学品传送隔室14内部的大致概观。如图所示，该筒匣隔室20大致收容一筒匣插入总成28、一惰性气体(例如氮)计量阀30及一压缩空气计量阀31。依据一较佳实施例，该筒匣隔室20可收容多数筒匣插入总成28以便在相同操作时可使用含有不同液体化学品的多数筒匣40。只通过举例且不作为一限制，图2显示一第二筒匣插入总成28-2，其中类似结构的组件是由后接“-2”的相同符号表示。较佳地，该筒匣插入总成28形成该化学品导入系统10的最上方组件。应了解的是在目前系统10中亦可使用二以上筒匣插入总成28。

该蒸发隔室22大致收容一抽取总成32及一蒸发总成34。如在此所示，该抽取总成32宜形成该化学品导入系统10的中间组件，设置在该筒匣插入总成28下方且在该蒸发总成34上方。依据一较佳实施例，该蒸发隔室22可收容多数抽取总成32及多数蒸发总成34以便在相同操作时可使用各种液体化学品。只通过举例且不作为一限制，图2显示一第二抽取总成32-2及一第二蒸发总成34-2，其中类似结构的组件是由后接“-2”的相同符号表示。如图2所示，应了解的是该第一筒匣插入总成28是与该第一抽取总成32及该第一蒸发总成34连接，该第二筒匣插入总成28-2是与该第二抽取总成32-2及该第二蒸发总成34-2连接等，这将在以下更详细地说明。应了解的是在目前系统10中亦可使用二以上抽取总成32及二以上蒸发总成34。

图3显示特别设计成可与该化学品导入系统10一起使用的该筒匣40的一较佳实施例。如在此所示，该筒匣40包含在此简称为一障壁44的一再密封隔膜或其他可接受障壁，一内盖46，及一外壳48。在这实施例中，该外壳48是显示为具有一形状。该外壳48更包含一中空腔室50及一壁厚度52。在一较佳实施例中，该筒匣40可通过将该小瓶42放在该中空腔室50内组合。在另一实施例中，可设置一外壳底盖以防止该小瓶42滑出该中空腔室50，但容许穿刺通达该障壁44。虽然该小瓶42及该外壳48可由任何适当有机及无机材料构成，但是该小瓶42宜由玻璃构成且该外壳48宜由例如膨胀性聚丙烯的硬、耐用的模制聚合物或其他适合化学惰性聚合物构成。

该筒匣40包含用于该化学沉积程序的一界定剂量的特定液体化学品。较佳地，该筒匣40是由该等有效成份的供货商准备以避免该化学蒸气沉积系统的操作者需要手动地测量该正确有效成份的量及将该有效成份手动地注入化学蒸气沉积系统。

由于该等有效成份对周围水分的空气敏感性，需要特别准备该筒匣40以免除空气及水分在该小瓶42内。依据一较佳实施例，该筒匣40是通过先以惰性气体彻底地冲洗该小瓶42以便由该小瓶42的内部排出空气及环围水蒸气。虽然可使用任一惰性气体，但是氮是较佳的。作为一例子且不作为一限制，先以一隔膜密封该小瓶42，将一氮线导入该小瓶42中，且提供让周围空气及水分可逸出该小瓶42的一出口。接着让该氮源可供应一段时间直到在该小瓶42内的周围空气以该惰性氮气彻底地取代。或者，在另一实施例中，可密封该小瓶42且可施加真空压力一段时间以便由该小瓶42的内部抽空周围空气及水分。接着，在该小瓶42的内部完全“干燥”水分后，将氮导入该小瓶42以完全填充该小瓶42的内部。

在该小瓶42的内部充满氮气且没有周围空气后，接着依据一界定剂量精确地测量该液体化学品且分配至该小瓶42中在一氮包覆层下方。在分配该液体化学品在氮下方后，以该障壁44密封该小瓶42，且接着以该内盖46固定该障壁44。作为一例且不作为一限制，该内盖46可包含一螺纹或一扣合金属或硬塑料。如上所述，接着将该小瓶42放在该中空腔室50内，且该中空腔室50系设计成将该小瓶42紧密地嵌合在该外壳48内。

依据另一实施例，该外壳48可更包含靠近该中空腔室50的开口的一螺纹部份51。设置一运送及处理盖53作为在运送及转移该筒匣40时该小瓶42的另一保护。

该筒匣40的特殊构造提供防止蒸气释放、危险化学品溢出，及由于在现有技术中遭遇的周围水分造成的有效成份快速劣化的一坚固保护。例如，该中空腔室50及该壁厚度52可包含柔软，但是结实、耐用且防漏的材料，例如膨胀性聚丙烯发泡体，或任何其他适当材料。依据预备测试，该外壳48的硬外表面及该壁厚度52让该筒匣40可在不会打破该小瓶42或溢出该化学内容物的情形下承受一至少六英呎的未受保护掉落。因此，依据该较佳实施例的该筒匣40的构造增加在一基材的蒸气沉积程序中操作者的安全性，减少最大保护装备的需要，及提供制备、运送及处理在一蒸气沉积程序中用以涂布基材的液体化学品的一更安全、更容易且更符合经济效益的方法。

由于可在一特殊化学蒸气沉积程序中使用不同种类的化学品，故可为特定化学品使用具有特定形状的各种筒匣外壳48以协助区别该等筒匣的内容物。图4A与4B显示该筒匣40b的另一较佳实施例，其中类似结构的组件是由后接“b”的相同符号表示。图4A显示该筒匣40b面向下且图4B显示该筒匣40b面向上。在这实施例中，该筒匣40b包含含有液体化学品41b的一小瓶42b及一筒匣外壳48b。该小瓶42b可包含一障壁44b。如在此所示，在这第二较佳实施例中，该外壳48b宜具有一矩形而非一圆柱形。但是，应了解的是该筒匣40可为任何几何形状。

图5至10更详细地显示依据一较佳实施例的该筒匣插入总成28及该抽取总成32。如图6A所示，该筒匣插入总成28可更包含具有一安装槽孔36的一筒匣托盘56及位于该安装槽孔36上方的一上线性机械致动器60，且该上线性机械致动器60可以一垂直方向沿一上线性机械致动器轨道62移动。依据一较佳实施例，该上线性机械致动器60可更包含一扣持夹57。该安装槽孔36具有设计成可收纳该筒匣40的一配合底部的一形状。较佳地，该安装槽孔36可更包含一安装槽孔O环以便在操作该化学品导入系统10期间在该筒匣40放在该安装槽孔36中时提供另外的密封。

在另一实施例中，一围阻盖58可附接在该上线性机械致动器60上用以另外地保护防止蒸气逸出及水分侵入。如图6B所示，该围阻盖58可呈圆柱形。在设置该围阻盖58的实施例中，该筒匣托盘56可更包含一围阻盖槽孔68，且该围阻盖槽孔68具有配合该围阻盖58的一底部的一形状。为使化学蒸气围阻及对周围水分的密封优化，可设置一围阻盖槽孔O环。如图7所示，在设置该围阻盖58的实施例中，该安装槽孔36及该围阻盖槽孔68显示为与该筒匣40及该围阻盖58的圆柱形第一较佳实施例配合的同心圆。但是，应了解的是该安装槽孔36及该围阻盖槽孔68可为具有配合所使用的该筒匣40及该围阻盖58的一特殊形状的一共同中心的任何形状(例如同心正方形、同心矩形等)。例如，如果使用上述该筒匣40b的第二较佳实施例，则一安装槽孔36b及一围阻盖槽孔68b可为同心正方形。

在一实施例中，该上线性机械致动器60可通过该PLC自动地操作。在另一实施例中，该上线性机械致动器60可手动地操作。

此外，如图8所示，在一蒸气沉积程序中使用至少两种化学品且该等化学品是包含在至少两不同种类的筒匣40中的一实施例中，该筒匣托盘56可包含各种形状的多数安装槽孔36及多数围阻盖槽孔68。作为一例且不作为一限制，图8显示该圆柱形筒匣40是安装在该圆形安装槽孔36上且该筒匣40是安装在一第二安装槽孔36-2上。为一特定种类化学品使用一特殊形状筒匣40只可被一配合安装槽孔36收纳的一特定种类筒匣40有助于操作者区别一种液体化学品与另一种液体化学品，且因此减少人为错误。

在图9中，供应氮至整个化学品导入系统10的一主氮线64及供应压缩空气至该蒸发总成34的一主压缩空气线66是设置在该筒匣插入总成28上方。在一较佳实施例中，该主氮线64的流动是通过该氮计量阀30调节。该氮计量阀30控制氮压力且将氮源进一步分成多数供应氮至多数筒匣插入总成28及多数抽取总成32的多数氮副线。类似地，该主压缩空气线66是通过该压缩空气计量阀31调节，且该压缩空气计量阀31控制压缩空气压力且将压缩空气源分成多数蒸发总成34。图9亦显示多数蒸气出口102，且该等蒸气出口102将含有有效成份的化学蒸气传送至在以下更详细地说明的该化学蒸气沉积系统的一处理腔室。

请参阅图5至7及10至11，该抽取总成32宜包含可以一垂直方向沿一下线性机械致动器轨道78移动的一下线性机械致动器80，附接在该下线性机械致动器80上的一抽取矛72，覆盖该抽取矛72的一有脊套筒74及用以收集抽取的液体化学品的一化学品收集块88。依据一实施例，可通过该PLC自动地操作该下线性机械致动器80。在另一实施例中，可手动地操作该下线性机械致动器80。该抽取矛72可在该有脊套筒74内垂直地移动。该有脊套筒74提供一封围保护以确保在该抽取程序中没有有害蒸气由该等有效成份逸出。在另一实施例中，可进一步设置一波纹管76以覆盖该有脊套筒74且增加加一层烟雾围阻体。

如图10所示，该抽取矛72宜更包含一中央腔82，一垂直沟槽84，及至少一圆周沟槽86。该中央腔82让氮可在该抽取程序时供应至该小瓶42中。该垂直沟槽84让抽取的液体可向下流出至下方的化学品收集块88。该圆周沟槽86在抽取时在该刺穿点卡掣该障壁44。在操作时，在开始刺穿该障壁44后，该下机械致动器以一向下方向倒退数毫米。因此，该圆周沟槽86将该障壁44稍微向下拉以形成一漏斗以便最佳地收集在该筒匣40中的化学品。在一实施例中，该抽取矛72可包含两圆周沟槽86。

图11显示依据一较佳实施例的化学品收集块88。该化学品收集块88更包含一液体收集腔室90，一氮线92及将抽取的化学品引导至该蒸发总成34的一液体入口94。该氮线92供应氮压力至该小瓶42中以协助该液体抽取。较佳地，该液体收集腔室90具有一倒锥形以确保由该筒匣40完全收集抽取的液体化学品。

图12显示该蒸发总成34的一较佳实施例。在此，该蒸发总成34更包含一蒸发腔室96，一压缩空气源100，将有效化学蒸气由该蒸发腔室96传送至该化学蒸气沉积系统的处理腔室的该蒸气出口102，用以调节进入该蒸发腔室96的压缩空气压力流的一压缩空气阀104，及用以调节由该蒸发腔室96至该处理腔室的化学蒸气流的一蒸气压力阀106。抽取的液体化学品是由该液体收集腔室90通过该液体入口94传送至该蒸发腔室96。在一方面，可设置多数蒸发总成34以便让多数液体化学品蒸发且同时将得到的蒸气传送至该处理腔室。作为一例且不作为一限制，图12显示一第二蒸发总成34-2，其中类似结构的组件是由后接“-2”的相同符号表示。

在已更详细说明该化学品导入系统10的各种组件后，以下可通过参照以下说明及图13至15更了解该化学品导入系统10的操作的较佳原理。图13A与13B显示在启动该化学品导入系统10前与后，该筒匣插入总成28的前视图。图14A至14D显示在启动该化学品导入系统10前与后，该筒匣插入总成28的立体图。图15A与15B显示在启动该化学品导入系统10前与后，该抽取总成32的立体图。

在启动该化学品导入系统10前，在该障壁44面向下的情形下，该筒匣40插入在该液体化学品传送隔室14内的配合安装槽孔36中。在该筒匣40适当地插入该安装槽孔36后，操作者接着关闭该筒匣隔室门24且通过使用该触控屏幕PLC控制模块18启动该化学品导入系统10及该化学蒸气沉积系统。该PLC提供该操作者依据一默认自动程序或一手动程序通过控制例如步骤运转时间等的某些参数运转该等系统的选项。

该化学蒸气沉积程序需要该基材的表面包含一有效量的水分以便与该等有效成份反应以形成一薄膜涂层。因此，依据一较佳实施例，该化学蒸气沉积系统及该化学品导入系统10是同时启动。首先，将一欲涂布的基材放在该化学蒸气沉积系统的处理腔室中。可设置一湿度计以便在以该有效成份处理该基材前，先测量周围湿度。在由该湿度计接收湿度数据后，该PLC接着计算一适当运转时间以便依据一预定公式加入湿度至该处理腔室。接着，该PLC接合一增湿器以便依据该预定运转时间将水分注入该处理腔室。在该加湿步骤完成后，该PLC接着由该处理腔室抽空周围空气以尽可能地移除空气中的水分，只在该基材上留下用于进一步化学处理的水分。

与启动该化学蒸气沉积系统同时地，该PLC启动在该化学品导入系统10上的程序。如图14A与14B所示，该上线性机械致动器60开始沿该上线性机械致动器轨道62以一向下方向移动以便在该化学品抽取程序时让该扣持夹57确实地保持该筒匣40在该安装槽孔36中。在设置该透明围阻盖58的一实施例中，如图14C与14d所示，在该化学品抽取程序中该透明围阻盖58确实地保持该筒匣40在该安装槽孔36中且提供防止水分进入及化学烟雾释出的一气密密封。

依据一较佳实施例，该筒匣插入总成28可更包括用以侦测空气泄漏的一压力传感器。如果该压力传感器侦测到泄露，则该压力传感器将回报该泄露予控制系统。如果该泄露在该系统的操作周边外，则该PLC将使该上线性机械致动器60稍微退后且再使它以一向下方向移动以便重新放置该筒匣40。该压力传感器将再使用以决定任一泄漏。如果没有发现泄漏，则该程序将继续。如果发现一泄漏，则该程序将停止且将在该触控屏幕PLC控制模块18显示一错误码。又，在使用该围阻盖58的实施例中，依据一预定时间将氮供应至该透明围阻盖58以进一步驱出水分且确保一气密密封。一旦这步骤完成后，该化学品导入系统10将等待直到该化学蒸气沉积系统的处理腔室中的增湿步骤完成为止。

在该处理腔室的增湿程序完成后，此时该化学品导入系统10系、准备好可实施由该筒匣40抽取该液体化学品。在如由该湿度计读数及一预定公式所决定地进行增湿该适当时间后，该PLC接着启动该下线性机械致动器80以便沿该下线性机械致动器轨道78以一向上方向移动且使该附接的抽取矛72上升直到该抽取矛刺穿该筒匣40的再密封隔膜44为止。一旦该抽取矛72已完全刺穿该障壁44后，通过该抽取矛72的中央腔82供应惰性气体，最好是氮。重力与氮压力的组合迫使在该小瓶42内的液体化学品通过该垂直沟槽84向下流出至在该化学品收集块88内的该液体收集腔室90。在这抽取程序中，该有脊套筒74提供一围阻系统以防止该液体化学品及其蒸气的释出。在另一实施例中，可进一步设置该波纹管76以覆盖该有脊套筒74。如上所述及图10中所示，该抽取矛72的圆周沟槽86卡掣该障壁44的刺穿点且稍微下拉该障壁44以形成一漏斗以便确保完全收集该液体化学品。

该化学品收集块88引导该抽取的化学品及其蒸气通过该液体入口94至该蒸发腔室96。一旦该液体化学品被收集在该蒸发腔室96内后，抽吸压缩空气通过该化学品以蒸发该液体且将该等蒸气载送至该化学蒸气沉积系统的处理腔室中。进入该蒸发腔室96的压缩空气流系通过该压缩空气阀104及该压缩空气计量阀31调节。由该蒸发腔室96进入该化学蒸气沉积系统的处理腔室的化学蒸气流是通过该蒸气压力阀106控制。

图16显示用于在不需要该筒匣插入总成28及该抽取总成32的一基材上一化学沉积程序的一化学品导入系统10d的另一实施例。在这另一实施例中，包含用于该化学沉积程序的一界定剂量的有效成份的一密封筒匣40d可包含一无水分小瓶42d，用以密封该小瓶42d的开口的一低透射内盖46d，一筒匣外壳48d及用以密封该筒匣外壳48d的一外盖53d。在一实施例中，该内盖46d及该运送及处理盖53可具有螺纹。将该所需有效成份分配至该小瓶42d中，接着将该小瓶42d放在该筒匣外壳48d内。该筒匣40d可依据上述较佳实施例制备以确保其内部没有周围水分。

在这实施例中，提供包含一蒸发腔室96d、一蒸发腔室盖26d、一压缩空气源100d及一化学蒸气出口102d的一蒸发总成34d。在一实施例中，该蒸发腔室96d可呈圆柱形，其中其开口的外部具有螺纹以配合该蒸发腔室盖26d的内螺纹而达成一气密密封。但是，应了解的是该蒸发腔室96d可使用任何几何形状。

该化学品导入系统10d在开始时由该筒匣40d移除该外盖53d及该内盖46d以暴露该液体化学品，移除该蒸发腔室盖26d，且将该筒匣40d放在该蒸发腔室96d内。接着，以该蒸发腔室盖26d再密封包含该开启筒匣40d的蒸发腔室96d。接着通过该压缩空气源线100d供应压缩空气至该蒸发腔室96d中以蒸发该液体化学品且将含有该等有效成份的蒸气通过该出口102d送入该化学蒸气沉积系统的处理腔室中。

由该化学品导入系统10，或该化学品导入系统10d，该等化学蒸气进入该化学蒸气沉积系统的处理腔室。依据一较佳实施例，在进入该处理腔室后，在该等蒸气中的有效成份与在该基材上的水分或在该基材内的元素(例如，在玻璃内的二氧化硅、在钢内的金属氧化物或预施加在该基材上的二氧化硅)反应以便在该基材上产生一薄膜涂层。在一实施例中，在该处理腔室内的空气系依据一预定时间使用一特别设计的风扇及管路系统循环以确保一理想量的空气涡流以使该蒸气沉积程序优化。在该蒸气沉积程序完成后，通过过滤该空气且中和任何空气中的酸的一过滤器的一空气洗涤器抽空任何剩余化学蒸气及空气中的副产物。在一方面，该空气洗涤器可包含颗粒过滤器及以一吸收酸或中和介质填充的一连串托盘。由该空气洗涤器得到的输出是不含有害元素的一pH中性空气。

图17与18显示以一符号200表示的该化学蒸气沉积系统的一实施例的侧视图及立体图，且该化学蒸气沉积系统包括在一全包含腔室内的一输送、组装线型系统。该输送线可包括，但不限于，一输送带、一篮、一载体或任何适当在线加工机构。该化学蒸气沉积系统200可与上述化学品导入系统10一起，或独立地使用。在一起使用该化学蒸气沉积系统200与该化学品导入系统10的实施例中，使用用于一预定期间的一单次操作的包含在等筒匣40中的界定剂量有效成份。另一方面，在不一起使用该化学蒸气沉积系统200与该化学品导入系统10的实施例中，可手动地导入该等有效成份。应了解的是依据任一实施例的化学蒸气沉积程序是在周围温度及压力下连续地实施。

如图17与18所示，该化学蒸气沉积系统200宜包含一输送带234，一处理腔室210，一压缩清洁空气系统208，一水蒸气系统218，一化学蒸气系统220，用以抽空未反应有效成份及酸性副产物的一真空系统222，及与该真空系统222连接以便在该载送空气释出至环境前收纳及中和该等酸性副产物的一中和系统224。在一实施例中，该处理腔室210可呈圆柱形。

该压缩清洁空气系统208可更包含一中央空气源214，一主空气导管212及多数空气幕216，其中类似结构的组件是由后接例如“-2”，“-3”，“-4”等连续数字的相同符号表示。

该水蒸气系统218可更包含多数水蒸气入口226，其中类似结构的组件是由后接例如“-2”，“-3”，“-4”等连续数字的相同符号表示。该水蒸气系统218宜沿该输送带234放在该输送带234上方且在该处理腔室210内。

类似地，该化学蒸气系统220可更包含沿该输送带234的长度放在该输送带234的长度上方且在该处理腔室210内的多数化学蒸气入口228，其中类似结构的组件是由后接例如“-2”，“-3”，“-4”等连续数字的相同符号表示。该等多数水蒸气入口226及该等化学蒸气入口228可组配成依据将在以下更详细所述的所需涂布程序，通过该等多数空气幕216以一交错的方式分开。

该真空系统222可更包含多数真空信道246，其中类似结构的组件是由后接例如“-2”，“-3”，“-4”等连续数字的相同符号表示。在一较佳实施例中，该等真空通道246是沿该输送带234的长度放在该输送带234的长度下方，且进一步与该中和系统224连接。该中和系统224可包含一中和溶剂贮器240，与该等多数真空通道246连接的一蒸气导管280，在该蒸气导管280内的多数溶剂入口248，及由该中和溶剂贮器240由出该中和溶剂且将它传送至该等碱性溶剂入口248的一贮器泵242。在另一实施例中，该中和系统224可包含一空气洗涤器，且该空气洗涤器进一步包含颗粒过滤器及以一吸收酸或中和介质填充的一连串托盘(未图示)。

如图17与18所示，该处理腔室210的内部被沿该输送带234放在该输送带234上方的该等多数空气幕216分成多数隔室，以防止在水分与化学蒸气间的交叉污染。依据一较佳实施例，压缩清洁空气是通过该主空气导管212由该中央空气源214供应且分配至该等多数空气幕216。各空气幕216形成防止蒸气在该处理腔室210内由一区域移动至另一区域的一障壁。如图所示，一第一隔室250可包含放在一空气幕216与一第二空气幕216-2间的一第一水蒸气入口226，一第二隔室260可包含放在该第二空气幕216-2与一第三空气幕216-3间的一第一化学蒸气入口228，一第三隔室270可包含放在该第三空气幕216-3与一第四空气幕216-4间的一第二水蒸气入口226-2，一第四隔室280可包含放在该第四空气幕216-4与一第五空气幕216-5间的一第二化学蒸气入口228-2，且一第五隔室290可包含放在该第五空气幕216-5与一第六空气幕216-6间的一压缩空气喷嘴232。

在已更详细说明该输送化学蒸气沉积系统200的各种组件后，以下提供一种用以在一封闭化学蒸气沉积系统中在一基材上产生薄膜涂层的较佳方法。简言的，依据一较佳实施例，将一欲处理的基材放在该输送带234上且在该处理腔室210内沿一连串水及化学蒸气沉积处理移动。该处理腔室210包含多数隔室。在一第一隔室中，先以水分处理该欲处理的基材。接着，将该基材继续移动至将有效成份的蒸气施加在该基材上的另一隔室。当使用多数有效成份时，该基材可移动通过多数水分隔室及多数化学蒸气隔室。在该化学蒸气沉积程序完成且该基材涂布所需薄膜涂层后，该基材离开该处理腔室210。同时，依据较等较佳实施例，在该载送空气中的任何未反应化学品及酸性副产物在释放至环境前均被中和。

图17与18显示一种用以在一封闭化学蒸气沉积系统中在一基材上产生薄膜涂层的较佳方法。依据该较佳实施例，将一欲处理的基材120放在该输送带234上，通过一对机械手臂236与238确实地固持，且移入该处理腔室210以进行一连串水及化学蒸气处理。在图17与18中，该基材的一例显示为一饮料瓶。当该基材120进入该第一隔室250时，该第一水蒸气入口226在该瓶120通过该第一隔室250时沉积水分在该瓶120的表面上。在该水分沉积完成后，一第一真空通道246在该第一隔室250的边界将空气中的水分抽入该第四隔室280且只在该基材120的表面上留下水分。接着，该基材120通过一空气幕216-2，且进入该第二隔室260以进行一第一有效成份的化学蒸气沉积处理。

在进入该第二隔室260后，该第一化学蒸气入口228依据一预定时间沉积该第一有效化学成份的蒸气在该基材120上。在该基材120的表面上的水分与该化学蒸气反应以便在该基材120的表面上形成一薄膜涂层。当输送该基材120通过该第二隔室260时，该第一化学蒸气沉积完成且一第二真空通道246-2在该第二隔室260的边界将所有未反应的化学成份及酸性副产物抽入在该输送带234下方的蒸气导管280。接着输送该基材120通过一第三空气幕216-3。

该基材120进入该第三隔室270，其中一第二水蒸气入口226-2依据一预定时间沉积水分在该基材的表面上，为一第二有效化学成份的一第二处理作准备。类似于该第一水分处理，在该第三隔室270的边界，一第三真空通道246-3将空气中的水分抽入该蒸气导管280且只在该基材120的表面上留下水分。接着该基材120通过一第四空气幕216-4且进入该第四隔室280以进行该第二有效成份的第二化学蒸气沉积处理。

在该第四隔室280中，该第二化学蒸气入口228-2沉积该第二有效成份的蒸气在该基材120的表面上。在该基材120上的表面上的水分与该化学蒸气反应以便在该基材120的表面上形成一第二薄膜涂层。当该基材120被输送通过该第四隔室280时，该第二化学蒸气沉积完成且一第第四真空通道246-4在该第四隔室280的边界将所有未反应的化学成份及酸性副产物抽入在该输送带下方的蒸气导管280。该基材120通过一第五空气幕216-5且继续进入该第五隔室290。

在进入该第五隔室290后，该压缩空气喷嘴232施加高压压缩空气在该基材120上且当该基材120被输送通过该隔室290时通过一真空通道248-9将副产物抽入该蒸气导管280以便由该基材的表面移除多余的化学品。在该程序完成后，该经处理的基材120接着通过一最后空气幕216-6且离开该圆柱形化学蒸气沉积腔室。

应了解的是该化学蒸气沉积系统200可使用二种以上的有效成份，且因此可包含多数加水隔室及多数化学蒸气处理隔室。

在该载送空气释放在开放环境前，由依据该系统200的化学蒸气沉积程序产生的所有未反应的化学品及酸性副产物在该中和系统224中均被中和。在一实施例中，例如碱性溶液的中和剂是储存在该溶剂贮器240中。在该化学蒸气沉积程序中，所有未反应的化学品及酸性副产物均通过该等真空通道246进入在该输送带234下方的蒸气导管280。接着该贮器泵242由该溶剂贮器240抽出该碱性溶液且通过该等多数溶剂入口248将该碱性溶液传送至该蒸气导管280以便在该蒸气导管280内中和该等酸性副产物及未反应化学品。在该等蒸气被完全中和后，通过该导管开口274释放无害的蒸气至开放空气中。

在另一实施例中，所有未反应的化学品及酸性副产物通过过滤该空气且中和任何空气中的酸的一空气洗涤器。在一方面，该空气洗涤器包含一颗粒过滤器及以吸收酸或中和介质填充的一连串托盘。来自该基材的得到输出系不含有害元素的一pH中性空气。

图19显示一种用以在一封闭化学蒸气沉积系统中导入空气敏感液体化学品至一基材的较佳方法300。该方法300可包含：一步骤310，为一化学蒸气沉积程序提供含有一界定剂量的特定液体化学品的一无水分筒匣；一步骤320，提供一封闭抽取机构以便由该筒匣抽取该液体化学品；及一步骤330，传送在该抽取的液体化学品中的有效成份至该化学蒸气沉积系统的一处理腔室。

为一化学蒸气沉积程序提供含有一界定剂量的特定液体化学品的一无水分筒匣的步骤310可更包含依据一预定量时间由一小瓶移除周围水分；分配该界定剂量的液体化学品至该小瓶中在惰性气体包覆层下方；以一再密封隔膜及一盖密封该小瓶；及将该小瓶放在一保护外壳内。

在一较佳实施例中，依据一预定量时间由一小瓶移除周围水分的步骤可包含依据一预定量时间以一氮气冲洗该小瓶以便以氮气由该小瓶的内部取代周围空气。或者，这步骤可通过施加真空压力至该小管一段时间且接着以氮气冲洗该小管。

分配该界定剂量的液体化学品至该小瓶中在惰性气体包覆层下方的步骤可包含维持该小管的内部在氮气冲洗下；测量欲在该化学蒸气沉积中使用的液体化学品的一精确量；及在氮气冲洗下将测量的液体化学品剂量分配至该小管中。

将该小瓶放在一保护外壳内的步骤可更包含提供该保护外壳具有确实地嵌合该小管的一中空腔室及组配成可嵌入一自动化学品导入系统的一安装槽孔中的一外形。在一较佳实施例中，该保护外壳可包括一圆柱形外形。在另一较佳实施例中，该保护外壳可包括一矩柱形外形。应了解的是该保护外壳不限于所述实施例且可使用配合一特殊安装槽孔的任何几何形状。在另一实施例中，靠近该中空腔室的该外壳的一外部可具有螺纹以便让具有内螺纹的一配合盖在运送及处理时得到另外的保护。

提供一封闭抽取机构以便由该筒匣抽取该液体化学品的步骤320可更包含在一化学品导入系统上提供一安装槽孔，且该安装槽孔组配成收纳具有一特殊形状的一筒匣，并且该特殊形状配合该安装槽孔；在该安装槽孔上方提供一筒匣固定机构，该筒匣固定机构可以一垂直方向移动以便在液体化学品抽取时固定该筒匣；提供一抽取矛，该抽取矛是附接在一下线性机械致动器上，且该下线性机械致动器是在该安装槽孔下方且可以一垂直方向移动以便由该筒匣抽取液体化学品；及提供一化学品收集块以收集该抽取的液体化学品。在另一实施例中，可设置一有脊套筒以封闭该抽取矛。在又一实施例中，可设置一波纹管以封闭该有脊套筒。

较佳地，该筒匣固定机构可包含一扣持夹。在另一实施例中，该筒匣固定机构可包含一透明围阻盖。又，该筒匣固定机构可通过一PLC自动地操作或手动地操作。依据一较佳方法，该步骤320更包含将该筒匣面向下地放在该化学品导入系统的配合安装槽孔上。当致动该系统时，该筒匣固定机构系组配成固定该筒匣，为该液体化学品抽取作准备。在该筒匣固定机构包含该透明围阻盖以完全封闭该筒匣的实施例中，提供一氮源以便在该筒匣封闭后冲洗该围阻盖内部的水分。

该步骤320更包含致动该下线性机械致动器以一向上方向移动以使该抽取矛上升且以该抽取矛刺穿该筒匣。施通过该抽取矛施加氮压力至该筒匣中以协助该液体化学品向下流出该矛且被收集在该化学品收集块中。

蒸发及传送在该抽取的液体化学品中的有效成份至该化学蒸气沉积系统的一处理腔室的步骤330可更包含提供一蒸发腔室以便由该化学品收集块收纳该液体化学品；依据一预定时间将压缩空气抽至该液体化学品上方以便蒸发该液体化学品；及通过进一步施加压缩空气压力至该蒸发腔室，通过一出口传送呈一蒸气状态的有效成份至该处理腔室。

图20显示一种准备含有空气敏感的液体化学品的一无水分筒匣供在一化学蒸气沉积系统中使用的较佳方法400。该方法400可包含：一步骤410，是依据一预定时间由一小瓶移除周围水分；一步骤420，是分配一界定剂量的液体化学品至在惰性气体包覆层下方的小瓶中；一步骤430，是以一障壁及一盖密封该小瓶；及一步骤440，是将该小瓶放在一保护外壳内。

依据一预定时间由一小瓶移除周围水分的步骤410可更包含以氮气冲洗该小瓶一段时间以便以氮由该小管的内部取代该周围空气。或者，这步骤可更包含施加真空压力至该小瓶一段时间及接着以氮气冲洗该小瓶。

分配一界定剂量的液体化学品至该小瓶中在惰性气体包覆层下方的步骤420可更包含维持该小管的内部在氮气冲洗下；测量欲在该化学蒸气沉积中使用的液体化学品的一精确量；及在氮气冲洗下将测量的液体化学品剂量分配至该小管中。

将该小瓶放在一保护外壳内的步骤440可更包含提供该保护外壳具有确实地嵌合该小管的一中空腔室及组配成可嵌入一自动化学品导入系统的一安装槽孔中的一外形。在一较佳实施例中，该保护外壳可包括一圆柱形外形。在另一较佳实施例中，该保护外壳可包括一矩柱形外形。应了解的是该保护外壳不限于所述实施例且可使用配合一特殊安装槽孔的任何几何形状。在另一实施例中，靠近该中空腔室的该外壳的一外部可具有螺纹以便让具有内螺纹的一配合盖在运送及处理时得到另外的保护。

图21显示在一封闭化学蒸气沉积系统中自动地导入空气敏感液体化学品至一基材的另一较佳方法500。该方法500包含：一步骤510，为一化学蒸气沉积程序提供含有一界定剂量的特定液体化学品的一无水分筒匣；一步骤520，提供组配成收纳该筒匣的一安装槽孔；一步骤530，在启动该系统时确实地保持该筒匣在该安装槽孔中；一步骤540，在一封闭环境中由该筒匣抽取液体化学品；及一步骤550，传送包含在该液体化学品中的有效成份至一化学蒸气系统的一处理腔室。

为一化学蒸气沉积程序提供含有一界定剂量的特定液体化学品的一无水分筒匣的步骤510可更包含依据一预定量时间由一小瓶移除周围水分；分配该界定剂量的液体化学品至该小瓶中在惰性气体包覆层下方；以一障壁及一盖密封该小瓶；及将该小瓶放在一保护外壳内。

提供组配成收纳该筒匣的一安装槽孔的步骤520可更包含提供一安装槽孔，且该安装槽孔具有配合该筒匣的底部的一形状。在另一实施例中，该步骤520可更包含提供多数安装槽孔。

在启动该系统时确实地保持该筒匣在该安装槽孔中的步骤530可包含提供一筒匣固定机构，且该筒匣固定机构可以垂直方向移动以便在启动该系统时确实地保持该筒匣在该安装槽孔中。在一实施例中，该筒匣固定机构可更包含一扣持夹。在另一较佳实施例中，可提供一透明围阻盖。在该实施例中，例如氮的一惰性气体可导引至该透明围阻盖以冲洗任何水分。

该步骤530可通过手手动地实施或使用一PLC自动地操作。

在一封闭环境中由该筒匣抽取液体化学品的步骤540可包含提供一抽取矛，该抽取矛附接在可以一垂直方向移动的一下线性机械致动器上，其中该下机械致动器使该矛上升以便在启动该系统时刺穿该筒匣且抽出该液体化学品，且其中该抽取矛供应氮压力至该筒匣中。该下线性机械致动器可通过手手动地移动或通过该PLC自动地移动。此外，该步骤530可更包含提供一化学品抽取块以便收集该液体化学品。在一较佳实施例中，该步骤530可更包含将该抽取矛封闭在一有脊套筒系统内。在另一实施例中，可设置一波纹管以覆盖该有脊套筒系统。

传送包含在该抽取的液体化学品中的有效成份至一化学蒸气沉积系统的一处理腔室的步骤550可更包含提供一蒸发隔室，且该蒸发隔室系组配成蒸发由该筒匣抽取的液体化学品至一蒸气状态且载送在该蒸气中的有效成份至一化学蒸气沉积系统的一处理腔室。

图22显示一种通过化学蒸气沉积在有机及无机基材上产生保护薄膜的较佳方法600。该方法600可包含：一步骤610，提供包含一输送器、一水分处理系统、一化学蒸气沉积系统、一压缩清洁空气系统及一蒸气中和系统的一输送处理腔室；一步骤620，使用该压缩清洁空气系统在该处理腔室内分开该水分处理系统及该化学蒸气沉积以防止在水分与有效化学成份间的交叉污染；一步骤630，将一基材放在一输送器上以便让该基材进行一连串水分及化学蒸气处理；及一步骤640，在释放该载送空气至开放环境前，通过抽空未反应的化学成份及化学副产物至该蒸气中和系统，中和任何未反应的化学成份及化学副产物。

提供包含一输送器、一水分处理系统、一化学蒸气沉积系统、一压缩清洁空气系统及一蒸气中和系统的一输送处理腔室的步骤610更包含将该水分处理系统沿该输送器放在该输送器上方，其中该水分处理系统包括多数水蒸气入口。此外，该步骤610亦可包含将该化学蒸气沉积系统沿该输送器放在该输送器上方，其中该化学蒸气沉积系统包括多数化学蒸气入口。

使用该压缩清洁空气系统在该处理腔室内分开该水分处理系统及该化学蒸气沉积以防止在水分与有效化学成份间的交叉污染的步骤620可更包含提供一中央清洁空气源；提供与该清洁空气源连接的一主空气导管；及提供与该主空气导管连接，沿该输送器的长度放在该输送器的长度上方的多数空气幕以便使用一空气幕分开一水分处理隔室及一化学蒸气隔室。

在释放该载送空气至开放环境前，通过抽空未反应的有效成份及化学副产物至该蒸气中和系统，中和任何未反应的有效成份及化学副产物的步骤640可更包含在该输送器下方提供多数真空通道以抽空该等未反应有效成份及副产物至一蒸气导管；提供含有一中和剂的一溶剂贮器；在该蒸气导管中提供多数中和溶剂入口；及提供一溶剂泵以将该中和剂由该溶剂贮器抽出且传送该中和剂至该等多数溶剂入口以便在释放该等蒸气的前中和在该蒸气导管内的有害蒸气。或者，该步骤640可包含提供一空气洗涤器，且该空气洗涤器更包含一颗粒过滤器及以吸收酸或中和介质填充的一连串托盘。

在不偏离本发明的精神与范畴的情形下，所属技术领域中具有通常知识者可进行许多改变及修改。因此，必须了解的是所示实施例已只为举例而提出且它们不应被视为如通过以下权利要求所界定地限制本发明。例如，虽然事实上一权利要求的组件系以某种组合在以下提出，但是必须特别了解的是本发明包括所公开组件中较少、较多或不同组件的其他组合。

在这说明书中说明本发明及其各种实施例所使用的字不应只以它们一般定义的意义了解，而是通过在这说明书中的特殊定义包括它们呈一单一形式的上位结构、材料或动作。

因此，以下权利要求的字或组件的定义系定义在这说明书中且不只包括以文字提出的组件的组合。在这方面，因此可预期的是在以下权利要求中的组件中的任一组件可做成二或二以上组件的一等效替代物且在一权利要求中的二或二以上组件可取代一单一组件。虽然多数组件可在以上说明为在某些组合中动作且甚至在一开始便如此主张，但是应特别了解的是来自一主张的组合的一或一以上组件可在某些情形下由该组合删去且该主张的组合可有关于一次组合或一次组合的变化。

现在已知或稍后想出的如由所属技术领域中具有通常知识者所见的主张目标物的实质变化可特别地预期为在权利要求的范畴内为等效。因此，目前及以后对所属技术领域中具有通常知识者为习知的明显替代物是定义为在所界定组件的范围内。

因此应了解的是权利要求包括以上特别显示及说明者，观念上等效者，可明显地取代者及具有本发明的主要想法者。

Claims (50)

1.一种用于在一基材上的一化学蒸气沉积程序的化学品导入系统，包含：

一密封筒匣，其含有用于该化学蒸气沉积程序的一界定剂量的液体化学品；

一安装槽孔，组配成收纳该密封筒匣；

一上线性机械致动器，可以一垂直方向移动以便在启动该系统时确实地保持该密封筒匣在该安装槽孔中；

一抽取矛，附接在可以一垂直方向移动的一下线性机械致动器上，其中该下机械致动器在启动该系统时使该矛上升以刺穿该密封筒匣且抽吸该液体化学品；

一化学品收集块，用以收集该液体化学品；及

一蒸发隔室，组配成蒸发由该化学品收集块接收的该液体化学品且载送在该等蒸气中的有效成份至一化学蒸气沉积系统的一处理腔室。

2.如权利要求1所述的化学品导入系统，更包含一氮源及一压缩空气源。

3.如权利要求1所述上线性机械致动器，更包含一扣持夹。

4.如权利要求1所述的化学品导入系统，更包含一可程序逻辑控制器，该可程序逻辑控制器让该化学品导入系统及该化学蒸气沉积系统可同时地操作。

5.如权利要求1所述上线性机械致动器，更包含一透明围阻盖及一氮源。

6.如权利要求1所述的系统，其中该上线性机械致动器及该下线性机械致动器系手动地操作。

7.如权利要求1所述密封筒匣，更包含：

一小管；

一隔膜，系密封该小管的一开口；

一盖，系确实地固定该隔膜在该小管上；及

一外壳，其具有一壁厚度及封闭该小管的一中空腔室。

8.如权利要求6所述密封筒匣，该外壳是一圆柱体。

9.如权利要求1所述抽取矛，更包含一中空腔，一垂直沟槽，及一圆周沟槽。

10.如权利要求1所述抽取矛，其中该抽取矛可在一有脊套筒系统内移动以便在化学品抽取时防止蒸气释出。

11.如权利要求9所述的界定剂量环围温度及压力蒸气沉积系统，其特征在于，所述抽取矛，氮是在化学品抽取时通过该中空腔提供。

12.一种用于在一基材上的一化学蒸气沉积程序的化学品导入系统，包含：

一密封筒匣，其含有用于该化学蒸气沉积程序的一界定剂量的液体化学品；

一安装槽孔，系组配成收纳该密封筒匣；

一透明围阻盖，系附接在一上线性机械致动器且可以一垂直方向移动以便在启动该系统时确实地保持该密封筒匣在该安装槽孔中；

一抽取矛，系附接在可以一垂直方向移动的一下线性机械致动器上，其中该下机械致动器在启动该系统时使该矛上升以刺穿该密封筒匣且抽吸该液体化学品；

一化学品收集块，系用以收集该液体化学品；及

一蒸发隔室，系组配成蒸发由该化学品收集块接收的该液体化学品且载送在该等蒸气中的有效成份至一化学蒸气沉积系统的一处理腔室。

13.如权利要求12所述的系统，该上线性机械致动器及该下线性机械致动器可手动地操作。

14.如权利要求12所述的化学品导入系统，更包含一氮源及一压缩空气源。

15.如权利要求12所述的界定剂量环围温度及压力蒸气沉积系统化学品导入系统，更包含一可程序逻辑控制器，该可程序逻辑控制器让该化学品导入系统及该化学蒸气沉积系统可同时地操作。

16.如权利要求12所述抽取矛，更包含一中空腔，一垂直沟槽，及一圆周沟槽。

17.如权利要求12所述抽取矛，其中该抽取矛可在一有脊套筒系统内移动以便在化学品抽取时防止蒸气释出。

18.一种含有用于一蒸气沉积程序的一界定剂量的空气敏感化学品的密封筒匣，包含：

一小管，系以氮包围层冲洗；

一隔膜，系密封该小管的一开口；

一盖，系确实地固定该隔膜在该小管上；及

一外壳，其具有一壁厚度及封闭该小管的一中空腔室。

19.如权利要求18所述的密封筒匣，该外壳具有一形状，且该形状可被一化学品导入系统的一配合安装槽孔收纳。

20.如权利要求18所述的密封筒匣，该外壳更包含一外螺纹底部，且该外螺纹底部配合一运送及处理盖的一内螺纹部份。

21.一种用以在有机及无机基材上产生保护薄膜涂层的化学蒸气沉积系统，包含：

一化学蒸气沉积处理腔室；

一输送器，系可在该处理腔室内移动；

一压缩清洁空气系统，系用以在该处理腔室内提供多数分开的处理隔室；

一水分蒸气系统，系用以在化学蒸气沉积前沉积水分在一基材的一表面上；

一化学蒸气系统，系用以在该基材的该表面上沉积有效成份；及

一化学蒸气中和系统，系用以在将后处理载送空气释放至环境前中和未反应有效成份及酸性副产物。

22.如权利要求21所述的压缩清洁空气系统，更包含：

一中央清洁空气源；

一主空气导管，系与该清洁空气源连接；及

多数空气幕，系与该主空气导管连接，且沿该输送器的长度放在该输送器上方。

23.如权利要求21所述的水分蒸气系统，更包含多数水蒸气入口，且该等水蒸气入口系沿该输送器的长度放在该输送器上方。

24.如权利要求21所述的化学蒸气系统，更包含多数化学蒸气入口，且该等化学蒸气入口系沿该输送器的长度放在该输送器上方。

25.如权利要求21所述的化学蒸气中和系统，更包含：

多数真空通道，系在该输送器下方以便将未反应的有效成份及酸性副产物抽至一蒸气导管；

一溶剂贮器，其含有一中和剂；

多数中和溶剂入口，系放在该蒸气导管中；及

一溶剂泵，系用以由该溶剂贮器抽出该中和剂且将该中和剂传送至该等多数溶剂入口以便在释放该等蒸气前中和在该蒸气导管内的有害蒸气。

26.如权利要求21所述的化学蒸气中和系统，其特征在于，更包含一颗粒过滤器及以吸收酸或中和介质填充的一连串托盘。

27.一种在一封闭化学蒸气沉积系统中自动地导入空气敏感液体化学品至一基材的方法，包含：

提供用于化学蒸气沉积程序的含有一界定剂量的特定液体化学品的一无水分筒匣；

提供一封闭抽取机构以由该筒匣抽取该液体化学品；及

蒸发及传送在该抽取的液体化学品中的有效成份至该化学蒸气沉积系统的一处理腔室。

28.如权利要求27所述的提供用于一化学蒸气沉积程序的含有一界定剂量的特定液体化学品的一无水分筒匣的步骤，更包含：

依据一预定量时间由一小瓶移除周围水分；

分配该界定剂量的液体化学品至该小瓶中在惰性气体包覆层下方；

以一障壁及一盖密封该小瓶；及

将该小瓶放在一保护外壳内。

29.如权利要求28所述的依据一预定量时间由一小瓶移除周围水分的步骤，更包含依据一预定量时间以一氮气冲洗该小瓶。

30.如权利要求28所述的依据一预定量时间由一小瓶移除周围水分的步骤，更包含依据一预定量时间施加真空压力至该小瓶及以氮气填充该小瓶。

31.如权利要求28所述的将该小瓶放在一保护外壳内的步骤，更包含提供该保护外壳一形状，且该形状系组配成可嵌入一自动化学品导入系统的一安装槽孔中。

32.如权利要求27所述的提供一封闭抽取机构以由该筒匣抽取该液体化学品的步骤，更包含：

在一化学品导入系统上提供一安装槽孔，且该安装槽孔系组配成收纳配合该安装槽孔的该筒匣；

在该安装槽孔上方提供一筒匣固定机构，该筒匣固定机构可以一垂直方向移动，以在液体化学品抽取时固定该筒匣；

提供一抽取矛，该抽取矛系附接在一下线性机械致动器上，且该下线性机械致动器系在该安装槽孔下方且可以一垂直方向移动以便由该筒匣抽取液体化学品；

提供一化学品收集块以收集该抽取的液体化学品。

33.如权利要求32所述的提供一筒匣固定机构的步骤，更包含将一扣持夹附接于该筒匣固定机构。

34.如权利要求32所述的提供一筒匣固定机构的步骤，更包含将一透明围阻盖及一氮源附接于该筒匣固定机构。

35.如权利要求32所述的传送在该抽取的液体化学品中的有效成份至该化学蒸气沉积系统的一处理腔室的步骤，更包含：

提供一蒸发隔室以从该化学品收集块接收该液体化学品；

依据一预定量时间将压缩空气抽至该液体化学品上方以蒸发该液体化学品；

通过进一步施加压缩空气压力至该蒸发腔室，通过一出口传送呈一蒸气状态的有效成份至该处理腔室。

36.一种在一封闭化学蒸气沉积系统中自动地导入空气敏感液体化学品至一基材的方法，包含：

提供用于一化学蒸气沉积程序的含有一界定剂量的特定液体化学品的一无水分筒匣；

提供一安装槽孔，且该安装槽孔系组配成收纳该筒匣；

在启动该系统时确实地保持该筒匣在该安装槽孔中；

在一封闭环境中由该筒匣抽取液体化学品；

传送在该液体化学品中的有效成份至一化学蒸气沉积系统的一处理腔室。

37.如权利要求36所述的提供用于一化学蒸气沉积程序的含有一界定剂量的特定液体化学品的一无水分筒匣的步骤，更包含：

依据一预定量时间由一小瓶移除周围水分；

分配该界定剂量的该液体化学品至该小瓶中在惰性气体包覆层下方；

以一障壁及一盖密封该小瓶；及

将该小瓶放在一保护外壳内。

38.如权利要求36所述的在启动该系统时确实地保持该筒匣在该安装槽孔中的步骤，更包含：

提供一筒匣固定机构，该筒匣固定机构可以一垂直方向移动以在启动该系统时及该抽取程序中确实地保持该筒匣。

39.如权利要求36所述的在一封闭环境中由该筒匣抽取液体化学品的步骤，更包含：

提供一抽取矛，该抽取矛系附接在一下线性机械致动器上，且该下线性机械致动器可以一垂直方向移动，其中该下机械致动器使该矛上升以在启动该系统时刺穿该筒匣且抽出该液体化学品，且其中该抽取矛供应氮压力至该筒匣中；及

提供一化学品抽取块以收集该液体化学品。

40.如权利要求36所述的传送在该液体化学品中的有效成份至一化学蒸气沉积系统的一处理腔室的步骤，更包含：

提供一蒸发隔室，且该蒸发隔室系组配成蒸发由该筒匣抽取的液体化学品至一蒸气状态且载送在该蒸气中的有效成份至一化学蒸气沉积系统的一处理腔室。

41.一种准备含有空气敏感的液体化学品的一无水分筒匣供在一化学蒸气沉积系统中使用的方法，包含：

依据一预定量时间由一小瓶移除周围水分；

分配一界定剂量的液体化学品至该小瓶中在惰性气体包覆层下方；

以一再密封隔膜及一盖密封该小瓶；及

将该小瓶放在一保护外壳内。

42.如权利要求41所述的依据一预定量时间由一小瓶移除周围水分的步骤，更包含依据一预定量时间以氮气冲洗该小瓶。

43.如权利要求41所述的依据一预定量时间由一小瓶移除周围水分的步骤，更包含依据一预定量时间施加真空压力至该小瓶及以氮气填充该小瓶。

44.如权利要求41所述的将该小瓶放在一保护外壳内的步骤，更包含提供该保护外壳具有确实地嵌合该小管的一中空腔室及组配成可嵌入一自动化学品导入系统的一安装槽孔中的一外形。

45.一种通过化学蒸气沉积在有机及无机基材上产生保护薄膜的方法，包含：

提供包含一输送器、一水分处理系统、一化学蒸气沉积系统、一压缩清洁空气系统及一蒸气中和系统的一输送处理腔室；

使用该压缩清洁空气系统在该处理腔室内分开该水分处理系统及该化学蒸气沉积以防止在水分与有效化学成份间的交叉污染；

将一基材放在一输送器上以进行该基材的一连串水分及化学蒸气处理；

在释放该载送空气至开放环境前，通过抽空未反应的化学成份及化学副产物至该蒸气中和系统，中和任何未反应的化学成份及化学副产物。

46.如权利要求45所述的提供包含一输送器、一水分处理系统、一化学蒸气沉积系统、一压缩清洁空气系统及一蒸气中和系统的一输送处理腔室的步骤，更包含：

将该水分处理系统沿该输送器放在该输送器上方，其中该水分处理系统包括多数水蒸气入口。

47.如权利要求45所述的提供包含一输送器、一水分处理系统、一化学蒸气沉积系统、一压缩清洁空气系统及一蒸气中和系统的一输送处理腔室的步骤，更包含：

将该化学蒸气沉积系统沿该输送器放在该输送器上方，其中该化学蒸气沉积系统包括多数化学蒸气入口。

48.如权利要求45所述的使用该压缩清洁空气系统在该处理腔室内分开该水分处理系统及该化学蒸气沉积以防止在水分与有效化学成份间的交叉污染的步骤，更包含：

提供一中央清洁空气源；

提供与该清洁空气源连接的一主空气导管；及

提供与该主空气导管连接，沿该输送器的长度放在该输送器上方的多数空气幕，以使用一空气幕分开一水分处理隔室及一化学蒸气隔室。

49.如权利要求45所述的在释放该载送空气至开放环境前，通过抽空未反应的化学成份及化学副产物至该蒸气中和系统，中和任何未反应的化学成份及化学副产物的步骤，更包含：

在该输送器下方提供多数真空通道以抽空该等未反应有效成份及副产物至一蒸气导管；

提供含有一中和剂的一溶剂贮器；

在该蒸气导管中提供多数中和溶剂入口；及

提供一溶剂泵以将该中和剂由该溶剂贮器抽出且传送该中和剂至该等多数溶剂入口以在释放该等蒸气的前中和在该蒸气导管内的有害蒸气。

50.如权利要求45所述的在释放该载送空气至开放环境前，通过抽空未反应的化学成份及化学副产物至该蒸气中和系统，中和任何未反应的化学成份及化学副产物的步骤，更包含提供一颗粒过滤器及以酸吸收或中和介质填充的一连串托盘。