CN1055158C - 测压装置 - Google Patents
测压装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1055158C CN1055158C CN94119306.3A CN94119306A CN1055158C CN 1055158 C CN1055158 C CN 1055158C CN 94119306 A CN94119306 A CN 94119306A CN 1055158 C CN1055158 C CN 1055158C
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- groove
- insulating material
- pedestal
- bearing
- diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/142—Multiple part housings
- G01L19/143—Two part housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0061—Electrical connection means
- G01L19/0084—Electrical connection means to the outside of the housing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
- G01L19/0645—Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/148—Details about the circuit board integration, e.g. integrated with the diaphragm surface or encapsulation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
Abstract
测压装置包括：一个压力传感器，它有一个支座和一个膜片；一个绝缘材料基座，其中有接线和注油接管，一个金属件，在一个横截面中有中心槽，在一个背对横截面的横截面中有中心槽，还有一个连接槽与槽的孔，在横截面的边缘与基座密封连接；一个带孔的薄膜，此薄膜尽可以接近电阻应变片地装在槽中并与线路零点连接；一个装入槽中并与槽的边缘闭合的隔膜，以及一个装在槽中和孔中的加油装置。
Description
本发明涉及带压力传感器的测压装置，压力传感器有一个支座和一个配属的其上贴有电阻应变片的膜片。
一段时间以来，本发明人已在交通运输中使用了一种测压装置，它包括：
—一个压力传感器，它有一个支座和一个配属的其上覆有电阻
应变片的膜片，
—一个绝缘材料制的基座，上面有接线和一根注油接管，
—支座固定在此绝缘材料基座上，以及
—电阻应变片与这些接线电连接，
—一个金属件，它在第一横截面中有第一中心槽，在背对第一
模截面的第二横截面中有第二中心槽，以及有一个将第一个
槽和第二槽连通的孔，
—在上述第一横截面的边缘与绝缘材料的基座密封连接，以及
—上述第一槽装入支座和膜片，且与此槽不接触，
—一个装入第二槽中并与槽边闭合的金属隔膜，以及
—装在槽和孔中的加油装置。
这种公开领先使用的测压装置还需要作进一步的改进，使之能抗电磁辐射的干扰和因加油引起的充电影响，并具有良好的长期稳定性。
因此，为达到此目的，在本发明的测压装置中包括：
—一个压力传感器，它有一个支座和一个配属的其上覆有电阻
应变片的膜片，
—一个绝缘材料制的基座，上面有接线和一根注油接管，
—支座固定在此绝缘材料基座上，以及
—电阻应变片与这些接线电连接，
—一个金属件，它在第一横截面中有第一中心槽，在背对第一
横截面的第二横截面中有第二中心槽，以及有一个将第一槽
和第二槽连通的孔，
—在上述第一横截面的边缘与绝缘材料的基座密封连接，以及
—上述第一槽中装入支座和膜片，并与此槽不接触，
—一个带孔的导电薄膜，
—此薄膜尽可能接近电阻应变片地装入第一槽中，薄膜复盖着
电阻应变片但不与之接触，薄膜与线路零点连接，
—一个装入第二槽并与槽的边缘闭合的金属隔膜，以及
—一个装在槽和孔中的加油装置。
按本发明的最佳改进设计，设有一根穿过绝缘材料的基座和穿过支座不透油的贯通测压管。
按另一种最佳改进设计，设有一个在基座一侧外壳状金属件的延长段。
这些改进设计还可作如下改进，即，沿延长段的内侧设另一个导电薄膜，它与线路零点连接。
下面借助于附图进一步说明本发明，附图示意表示了本发明实施例，在这些附图中，相同的零件用同样的符号表示。
图1表示测压装置在对压力传感器的功能起重要作用的部分
透视分解图；
图2一个制成的测压装置的剖视图；以及
图3按图2所示测压装置改进设计的剖视图。
图1表示了一种按本发明的测压装置中对压力传感器功能起重要作用的部分透视分解图。压力传感器包括一个膜片10和一个支座12，膜片10在底衬10’中央，底衬10’上在图的下方设有一个槽，所以膜片10成为底衬10’的一个较薄的中心区。膜片10上覆有电阻应变片11，它通过导带与设在膜片边缘的接线片连接。
膜片10例如用玻璃或硅制成。电阻应变片11由多晶硅即所谓多硅制成，在玻璃膜片的情况下则直接沉积，而在硅膜片的情况下则沉积在其上面存在的SiO2层上。支座12例如用玻璃或硅制成。
绝缘材料基座13中设有接线2、3、4、5、6、7、8和一个加油接管1，在将油注入后将此接管密闭，可参见图2和3中的堵头1’。此外，绝缘材料的基座13设计为如同由半导体技术中已知的所谓“70-8”外壳的基座那样。
若测压装置设计为压差传感器，则在绝缘材料基座13中还设有一根测压管9，并在支座12中设中心孔14，测压管9在此孔中延伸。
支座12固定在绝缘材料基座13的中央。由阻应变片11与绝缘材料基座13中的接线2至8，例如借助于热压粘结线电连接。
底衬10’与支座12例如沿两者的周边密封固定，以构成一个腔室，所以膜片10可在压力作用下弯曲，从而在电阻应变片中引起电阻发生变化。
在从支座12所在侧伸出绝缘材料基座13的接线2至8上，借助于和它们相配的孔2’、3’、4’、5’、6’、7’、8’，装上一个绝缘材料件15，它有一个与支座12相应的中心孔16。
在如图2所示已制成的测压装置剖视图中，可看到一个金属件17，它有一个从外部的第一横截面19起向内延伸的第一中心槽18。在第一横截面19的边缘，第一横截面19与绝缘材料基座13密封连接。
在一个背对第一横截面19的第二横截面20中，设第二中心槽21，与第一槽18相比，此第二槽21很浅。这两个槽18、21用一在金属件17中的孔互相连通。
支座12带着底衬10’、膜片10和绝缘材料件15应这样装在第一槽18中，即它们与槽18的内壁不接触。
在第一槽18中，尽可能接近电阻应变片11地安装一个带中心孔24的导电薄膜23，而且，薄膜23应设置成虽然至少覆盖住电阻应变片11，但尤其要覆盖住整个底衬10’和膜片10，然而并不与这些构件接触。
薄膜23与底衬10’上的电接头一起，与线路零点(也就是例如天地电位)相连接。实现这一点例如可以通过将薄膜23与绝缘材料件15上属于接线4，5，8的金属表面4”，5”，8”导电地粘结起来(见图1)，然后，在测压装置的具件使用地点，再将这些接线与当地的线路零点连接起来。
一个金属的隔膜25装入第二槽21中，并在它的边缘与此槽密封连接。在两个槽20、21和孔22中，借助于注油接管构成一个加油装置，这一装置用作将隔膜25外部存在的压力通向膜片的压力传递机构。
虽然如同领先使用的结构那样，由于按本发明的结构在薄膜23中有上面提到的孔24，使注入的油复盖着电阻应变片11，但是产生了没有想到并出人意外的效果，即，不仅电磁辐射干扰受到了抑制，而且由于加油装置的特性使之成为非常良好的电绝缘体，并在最大程度上避免了因充电引起的对与压力有关的电阻应变片电阻改变的影响。
图3表示了对图2所示结构改进设计，所表示的同样为剖视图。金属件17设有一个在基座一侧的外壳装延长段17’，其中安放有一个与电阻应变片11相连的线路极26，线路权26上有补偿线路，尤其是温度补偿线路。
在本发明的最佳改进设计中，沿延长段17’还设有另一个导电薄膜23’，如图薄膜23那样，薄膜23’与线路零点连接。
Claims (4)
1.测压装置，包括：
—一个压力传感器，它有一个支座(12)和一个配属的其上覆有电阻应变片(11)的膜片(10)，
—一个绝缘材料基座(13)，其中有接线(2，3，4，5，6，7，8)和一根注油接管(1)，
—支座固定在此绝缘材料基座上，以及
—电阻应变片与这些接线电连接，
—一个金属件(17)，它在第一横截面(19)中有第一中心槽(18)，在背对第一横截面的第二横截面(20)中有第二中心槽(21)，以及，有一个连接第一槽与第二槽的孔(22)，
—在上述第一横截面的边缘与绝缘材料的基座密封连接，以及
—上述第一槽中装入支座和膜片，它们与此槽不接触，
—一个带孔(24)的导电薄膜(23)，
—薄膜尽可能接近电阻应变片地装入第一槽中，薄膜覆盖着电阻应变片，但与它不接触，薄膜还与线路零点连接，
—一个装入第二槽中并与槽的边缘闭合的金属隔膜(25)，以及
—一个装在槽和孔中的加油装置。
2.按照权利要求1所述之测压装置，有一根穿过绝缘材料基座(13)和穿过支座(12)不透油的贯通测压管(9)。
3.按照权利要求1或2所述之测压装置，有一个在基座一侧外壳状的金属件(17)的延长段(17’)。
4.按照权利要求3所述之测压装置，有另一个导电薄膜(23’)，它沿延长段(17’)内侧设置，并与线路零点连接。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP93810874.3 | 1993-12-14 | ||
| EP93810874A EP0658754B1 (de) | 1993-12-14 | 1993-12-14 | Druckmessanordnung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1109971A CN1109971A (zh) | 1995-10-11 |
| CN1055158C true CN1055158C (zh) | 2000-08-02 |
Family
ID=8215088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN94119306.3A Expired - Lifetime CN1055158C (zh) | 1993-12-14 | 1994-12-13 | 测压装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5551303A (zh) |
| EP (1) | EP0658754B1 (zh) |
| JP (1) | JPH08110278A (zh) |
| CN (1) | CN1055158C (zh) |
| CA (1) | CA2137962C (zh) |
| DE (1) | DE59307025D1 (zh) |
| DK (1) | DK0658754T3 (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100381803C (zh) * | 2004-03-12 | 2008-04-16 | 株式会社电装 | 用于接触器阵列的接触结构以及具有此结构的电子装置 |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DK0780674T3 (da) * | 1995-12-22 | 2000-04-03 | Envec Mess Und Regeltechn Gmbh | Trykmåleindretning med skærmelektrode |
| DE59605469D1 (de) * | 1996-12-18 | 2000-07-27 | Wika Alexander Wiegand Gmbh | Membran für einen Druckmittler |
| KR20040024324A (ko) * | 2002-09-13 | 2004-03-20 | 주식회사 케이이씨 | 압력센서 패키지 |
| JP2004294413A (ja) * | 2003-02-12 | 2004-10-21 | Pacific Ind Co Ltd | 圧力センサ、送信機、及びタイヤ状態監視装置 |
| DE102008043175A1 (de) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Relativdrucksensor |
| DE102009028488A1 (de) | 2009-08-12 | 2011-02-17 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Relativdrucksensor |
| JP5833936B2 (ja) * | 2012-01-17 | 2015-12-16 | 株式会社不二工機 | 圧力センサ |
| DE102013110376A1 (de) | 2013-09-19 | 2015-03-19 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Messgerät mit einem Halbleitersensor und einem metallischen Stützkörper |
| CN105319002A (zh) * | 2015-11-27 | 2016-02-10 | 上海立格仪表有限公司 | 一种自然透气压力测量仪器 |
| JP6527193B2 (ja) * | 2017-04-07 | 2019-06-05 | 株式会社鷺宮製作所 | 圧力センサ |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57197435A (en) * | 1981-05-29 | 1982-12-03 | Hitachi Ltd | Semiconductor pressure converter |
| DE3569824D1 (en) * | 1985-09-11 | 1989-06-01 | Kunz Manfred | Pressure sensor |
| JPS63122926A (ja) * | 1986-11-13 | 1988-05-26 | Nippon Denso Co Ltd | 圧電型圧力検出器 |
| JPH01147331A (ja) * | 1987-12-03 | 1989-06-09 | Ngk Insulators Ltd | 圧力検出器 |
| JP2600863B2 (ja) * | 1988-11-22 | 1997-04-16 | 株式会社デンソー | 高圧用半導体式圧力センサの取付け構造 |
| US4970898A (en) * | 1989-09-20 | 1990-11-20 | Rosemount Inc. | Pressure transmitter with flame isolating plug |
| JPH06132545A (ja) * | 1992-10-19 | 1994-05-13 | Mitsubishi Electric Corp | 圧力検出装置 |
-
1993
- 1993-12-14 DE DE59307025T patent/DE59307025D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1993-12-14 EP EP93810874A patent/EP0658754B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1993-12-14 DK DK93810874.3T patent/DK0658754T3/da active
-
1994
- 1994-12-05 US US08/349,608 patent/US5551303A/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-12-13 CA CA002137962A patent/CA2137962C/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-12-13 CN CN94119306.3A patent/CN1055158C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1994-12-14 JP JP6310980A patent/JPH08110278A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100381803C (zh) * | 2004-03-12 | 2008-04-16 | 株式会社电装 | 用于接触器阵列的接触结构以及具有此结构的电子装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5551303A (en) | 1996-09-03 |
| CN1109971A (zh) | 1995-10-11 |
| DK0658754T3 (da) | 1998-03-02 |
| EP0658754A1 (de) | 1995-06-21 |
| EP0658754B1 (de) | 1997-07-30 |
| JPH08110278A (ja) | 1996-04-30 |
| CA2137962C (en) | 1999-10-05 |
| CA2137962A1 (en) | 1995-06-15 |
| DE59307025D1 (de) | 1997-09-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1055158C (zh) | 测压装置 | |
| US6892582B1 (en) | Semiconductor pressure sensor and pressure sensing device | |
| US6993976B2 (en) | Pressure measuring device | |
| US6837744B2 (en) | Electrical connector for aircraft fuel pumps | |
| CN1112578C (zh) | 压力传感装置,特别是用于汽车技术的压力传感装置 | |
| US20100283087A1 (en) | Electric Component | |
| US20020023500A1 (en) | Pressure sensor having semiconductor sensor chip | |
| CN1279339C (zh) | 绝对压力型压力传感器 | |
| EP0003387A1 (en) | Improved electromechanical pressure transducer | |
| EP1030372A3 (en) | Method of making an IGBT device | |
| TW324843B (en) | Compound electrode stack capacitor | |
| CN1011074B (zh) | 电容压力传感器 | |
| US4307371A (en) | Method and apparatus for covering a foil strain gauge | |
| EP0169241A1 (en) | METHOD FOR FORMING HERMETICALLY SEALED ELECTRICAL THROUGHPUT CONDUCTORS. | |
| EP0834934A4 (en) | NON-WATER ELECTROLYTIC CELL | |
| KR930009017A (ko) | 필드시일드분리구조의 반도체장치 및 그 제조방법 | |
| CN1172949A (zh) | 电容式差压检测器 | |
| WO2001017019A3 (de) | Speicher mit grabenkondensator und auswahltransistor und verfahren zu seiner herstellung | |
| EP0817259A3 (en) | Thin film capacitor with resistance measuring element | |
| EP1041593A2 (en) | Switch gear and power switching apparatus | |
| CN1768256A (zh) | 相对压力测量变送器 | |
| CN1574339A (zh) | 半导体装置 | |
| CN1574466A (zh) | 电连接结构、连接器及电连接系统 | |
| EP3787034A3 (en) | Display device and method for manufacturing the same | |
| CN1474938A (zh) | 压力传感器及其装配方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CX01 | Expiry of patent term |
Expiration termination date: 20141213 Granted publication date: 20000802 |