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Brevets

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Numéro de publicationCN1249531 A
Type de publicationDemande
Numéro de demandeCN 99122021
Date de publication5 avr. 2000
Date de dépôt3 sept. 1999
Date de priorité4 sept. 1998
Autre référence de publicationEP0996145A2, EP0996145A3, US6143629
Numéro de publication99122021.8, CN 1249531 A, CN 1249531A, CN 99122021, CN-A-1249531, CN1249531 A, CN1249531A, CN99122021, CN99122021.8
Inventeurs佐藤信彦
Déposant佳能株式会社
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Liens externes:  SIPO, Espacenet
半导体衬底的制造工艺
CN 1249531 A
Description  disponible en Chinois
Revendications(29)  disponible en Chinois
Référencé par
Brevet citant Date de dépôt Date de publication Déposant Titre
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Classifications
Classification internationaleH01L21/762, H01L21/3063, H01L21/205, H01L21/20
Classification coopérativeH01L21/02381, H01L21/02532, H01L21/0262, H01L21/02661, H01L21/3063, H01L21/76262, H01L21/02513, H01L21/0245
Classification européenneH01L21/762D10
Événements juridiques
DateCodeÉvénementDescription
8 mars 2000C10Request of examination as to substance
5 avr. 2000C06Publication
7 sept. 2005C02Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)