CN1453075A - 膜体形成装置、镜片的制造方法、彩色滤光片的制造方法以及有机el装置的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种膜体形成装置、镜片的制造方法、彩色滤光片的制造方法以及有机EL装置的制造方法。在工件表面形成膜体的膜体形成装置中，在工件和导入了功能液的功能液滴喷头之间进行相对扫描，使功能液从上述工件的边缘部溢出地对工件进行液滴喷吐。该装置包括接收从上述功能液滴喷头喷出的、从上述工件溢出的上述功能液的桶状容器部件、通过管道连接在上述桶状容器部件的下流端的、贮存从上述桶状容器部件排出的功能液的废功能液贮留部件。

Description

膜体形成装置、镜片的制造方法、彩色滤光片的制造方法 以及有机EL装置的制造方法

技术领域

本发明涉及一种采用功能液滴喷头在工件表面上形成功能材料的膜体(薄膜)的膜体形成装置、镜片的制造方法、彩色滤光片的制造方法以及有机EL装置的制造方法。

背景技术

作为现有技术的功能液滴喷头，可以举出喷墨打印机等喷墨装置中的喷墨头。喷墨头由于可以将微小墨滴高精度喷出成圆点状，因而可以期待在各种部件制造领域中应用喷墨技术，作为其一例，可以在膜体形成装置中应用。膜体形成装置，从功能液滴喷头向工件喷出包含树脂等功能材料的功能液，在工件上形成功能材料的膜体。

在这样的膜体形成装置中，为了在工件表面的整个区域形成均匀的功能材料的膜体(薄膜)，需要从工件的边缘部使功能液多少溢出一些那样进行喷吐。这时，虽然溢出的功能液优选采用功能液吸收部件吸收，但在作为功能液的膜体形成装置中，由于喷出大量的功能液，吸收材料将无法吸收功能液，可以想象需要频繁更换吸收材料。为此，采用吸收材料的膜体形成装置的维护性比较差，效率不高。

发明内容

为此，本发明的目的在于提供一种可以将膜体形成至到达工件的边缘部、并且维护性好的膜体形成装置、镜片的制造方法、彩色滤光片的制造方法以及有机EL装置的制造方法。

本发明提供一种膜体形成装置，由通过在工件和导入了功能液的功能液滴喷头之间进行相对扫描越过工件边缘喷吐功能液滴的第1装置、接收越过工件边缘喷出的功能液的第2装置、贮存从上述第2装置排出的废功能液的第3装置构成。

又，本发明提供一种膜体形成装置，是在工件表面上形成膜体的膜体形状装置，由通过在工件和导入了功能液的功能液滴喷头之间越过工件边缘进行相对扫描第1装置、在上述第1装置进行扫描的期间从上述功能液滴喷头选择性喷吐功能液滴的第2装置、接收越过工件边缘喷出的功能液的第3装置、贮存从上述第3装置排出的废功能液的第4装置构成。

又，本发明，是一种通过伴着导入了功能液的功能液滴喷头的扫描、使功能液溢出到工件的边缘部地对工件进行液滴喷吐、在工件表面上形成膜体的膜体形成装置，其特征在于：包括接收从功能液滴喷头喷出的、从工件溢出的功能液的桶状容器部件、通过配管连接在桶状容器部件的下流端、贮存从桶状容器部件排出的功能液的废功能液贮留部件。

依据该构成，利用桶状容器部件，由于从工件溢出的功能液不会污染装置内部，即使在工件的边缘部也可以和工件中央部同样进行功能液的喷吐，进行功能液涂敷。其结果，可以不会遗漏在工件表面整体上均匀喷吐功能液，使在工件表面上形成的膜体的厚度均匀。又，桶状容器部件滴下的功能液可以流入到废功能液贮留部件中。然后，功能液在废功能液贮留部件中贮存，当废功能液贮留部件中的功能液处于满液状态时，只要更换废功能液贮留部件，或者将贮存的功能液废弃即可，容易并且可以有效进行维护作业。进一步，由于从工件溢出的功能液集中贮存在废功能液贮留部件中，贮存在废功能液贮留部件中的功能液可以再利用。此外，由于从工件边缘部溢出那样进行功能液的喷吐，并且从工件边缘部溢出的功能液由桶状容器部件接收，只要工件位于桶状容器部件的内侧，可以对工件整体进行适当的功能液的涂敷，不需要严格对工件的载置位置进行定位。因此，不需要严格对工件的载置位置进行定位的定位装置，可以简化装置，并且可以减少工件定位所需要的时间，提高生产效率。

这时，桶状容器部件优选其剖面形成为U字形。

依据该构成，由桶状容器部件接收的功能液由于快速流入到桶状容器部件的凹状的底部，桶状容器部件的功能液可以快速向废功能液贮留部件排出。

这时，桶状容器部件优选使工件的周缘部位临其上端开放部，形成为环状。

依据该构成，由于使工件边缘部位临那样环状形成桶状容器部件，与工件的平面形状相吻合，可以节省空间，并且有效接收从工件溢出的功能液。

这时，桶状容器部件优选向下流端具有给定排水斜度。

依据该构成，通过在桶状容器部件上设置的排水斜度，桶状容器部件的功能液可以更加快速向废功能液贮留部件排出。此外，作为排水斜度，优选在1/50～1/100的范围内。

这时，桶状容器部件优选固定在载置工件的工件台上。

依据该构成，伴随功能液滴喷头的液滴喷吐即使工件移动时，始终可以利用桶状容器部件，有效接收从工件溢出的功能液。

这时，优选进一步设置清洗桶状容器部件的槽内的清洗装置。

依据该构成，即使由于所接收的功能液干燥等原因，造成桶状容器部件的槽内污染，也可以用清洗装置进行清洗。为此，干燥后的功能液不会粘附在桶状容器部件的槽内，可以使功能液圆滑流向废功能液贮留部件中。

这时，清洗装置优选具有贮存清洗液并且通过配管连接桶状容器部件的上流端的清洗液贮箱。

依据该构成，可以将清洗桶状容器部件的清洗液贮存在清洗液贮箱中。又，由于清洗液贮箱配置在桶状容器部件的上流端，可以直接向桶状容器部件传送，并且从桶状容器部件的上流端可以有效将清洗液传送给桶状容器部件整体。

这时，优选清洗装置具有清洗液贮箱、和通过配管与清洗液贮箱连接并且配置在桶状容器部件的上部槽内的清洗液射出管，在清洗液射出管上形成有射出清洗液的多个射出孔。

依据该构成，由清洗液射出管将清洗液贮箱的清洗液传送给桶状容器部件，可以从清洗液射出管的射出孔向成为清洗对象的桶状容器部件的槽内射出清洗液。即，可以向桶状容器部件的整体区域供给清洗液，可以良好进行桶状容器部件的清洗。

这时，清洗液射出管优选沿桶状容器部件的上部槽内的外侧周面配置。

依据该构成，由于清洗液射出管沿桶状容器部件的上部槽内的外侧周面配置，可以有效对功能液容易滴下的桶状容器部件的槽内的外侧周面进行清洗。

这时，清洗液射出管的各射出孔优选向桶状容器部件的上部槽内的外侧周面射出清洗液。

依据该构成，由于由清洗液射出管的各射出孔将清洗液向桶状容器部件的上部槽内的外侧周面射出，可以对桶状容器部件接收功能液最易污染的部位的、桶状容器部件外周面的大致整体射出清洗液，可以用清洗液有效清洗功能液。

这时，包括检测废功能液贮留部件的满液状态的功能液满液检测装置、控制功能液滴喷头的喷吐动作的控制装置，控制装置，在功能液满液检测装置检测到废功能液贮留部件处于满液状态时，使功能液滴喷头的喷出动作停止。

依据该构成，由于在功能液满液检测装置检测到废功能液贮留部件处于满液状态时，使功能液滴喷头的喷出动作停止，可以防止贮存在废功能液贮留部件中的废功能液从废功能液贮留部件溢出。此外，优选不是在功能液满液检测装置检测到废功能液贮留部件处于满液状态后立即使功能液滴喷头的喷出动作停止，而是使薄膜形成中途的工件在薄膜形成结束之后才使功能液喷出动作停止。

本发明的镜片的制造方法，是采用上述膜体形成装置、在述工件的镜片表面上形成涂敷膜的镜片的制造方法，优选在功能液滴喷头中导入功能液的透光性涂敷材料，使功能液滴喷头相对于镜片的表面作相对扫描，喷出涂敷材料后形成涂敷膜。

依据该构成，不需采用浸渍法，可以在镜片的表面简单形成涂敷膜。为此，可以抑制在浸渍法中涂敷材料的浪费(使用后废弃)现象。又，可以在镜片表面整个区域形成均匀的涂敷膜(硬膜)。

又，优选镜片是设置在托盘上的2片为1组的眼镜镜片。这样，可以避免操作者和构成装置直接接触眼镜镜片，并且以2片为1组进行销售的眼镜镜片的涂敷，可以完全在相同条件下进行。

本发明的彩色滤光片的制造方法，是使用上述膜体形成装置、制造在工件的基板上排列配置滤光片元件所构成的彩色滤光片的彩色滤光片的制造方法，其特征在于：在形成滤光片元件之后，通过在功能液滴喷头中导入功能液的透光性涂敷材料，使功能液滴喷头相对于基板作相对扫描，喷出涂敷材料，形成覆盖涂敷膜。

同样，有机EL装置的制造方法，是使用上述膜体形成装置、在工件的基板上配置包含EL发光层的像素的有机EL装置的制造方法，其特征在于：在形成EL发光层之后，通过在功能液滴喷头中导入功能液的液状电极材料，使功能液滴喷头相对于上述基板作相对扫描，选择性喷出液状电极材料，形成对向电极膜。

依据这些构成，通过将上述膜体形成装置，在彩色滤光片的制造方法、有机EL(Electro-Luminescence)装置的制造方法中适用，可以有效形成其覆盖涂敷膜和对向电极膜。

附图说明

图1表示适用了本发明的膜体形成装置的有关实施方案的液滴喷出装置的基本构成的示意图。

图2表示有关实施方案的液滴喷出装置的废功能液贮留部件周围的纵剖面图。

图3表示有关实施方案的液滴喷出装置的废功能液贮留部件的外观立体图。

图4表示本发明第2实施方案的液滴喷出装置的的基本构成的示意图。

图5表示托盘的说明图，5A表示托盘的外观立体图，5B表示在托盘上设置了工件时的A-A剖面图。

图6表示废功能液贮留部件周围的示意图，6A表示本发明第3实施方案的废功能液贮留部件周围的示意图，6B表示本发明第4实施方案的废功能液贮留部件周围的示意图，6C表示本发明第3实施方案的废功能液贮留部件周围的示意剖面图。

图7表示实施方案的彩色滤光片的制造方法以及所制造的液晶显示装置的剖面图。

图8表示实施方案的制造方法以及所制造的有机EL装置的剖面图。

图中：1-液滴喷出装置、2-功能液喷出装置、3-载置装置、4-废功能液贮留部件、5-清洗装置、6-控制器、11-喷头单元、21-功能液滴喷头、32-工件台、33-θ台、34-吸附台、41-功能液容器、43-废功能液贮箱、44-排出管、51-排出口、53-连接口、61-清洗液贮箱、62-清洗液射出管、65-清洗液供给管、71-托盘、400-彩色滤光片、422-覆盖涂敷层、466-基板、500-有机EL装置、501-基板、503-对向电极、W-工件(眼镜镜片)。

具体实施方式

以下参照附图说明本发明的一实施方案。本实施方案是在制造眼镜镜片的液滴喷出装置中适用本发明的膜体形成装置的情况，例如，为了在眼镜镜片上涂敷UV遮挡剂或者防雾剂的膜体，从导入了功能液的功能液滴喷头象称为功能液喷出对象的眼镜镜片(工件)上喷吐功能液，由功能材料的膜涂敷(硬涂)工件。此外，成为工件W的眼镜镜片，平面视图为直径10cm的圆形，在涂敷功能材料之后，切割成给定的形状。

图1表示有关实施方案的液滴喷出装置的基本构成的示意图。如图1所示，该液滴喷出装置1包括为了将功能液喷吐到成为功能液喷吐对象的工件W的功能液喷出装置2、为了将工件W设置在装置上的载置装置3、贮留从工件溢出的功能液的废功能液贮留部件4、后述的将废功能液贮留部件(装置)4的功能液引起的污物清洗的清洗装置5。然后，各装置分别连接在控制器6上，控制器6使各装置相互之间关联进行控制。

又，图中虽然未画出，该液滴喷出装置1还设置有对工件W进行图像识别的工件识别相机、喷头单元11(喷嘴23)进行图像识别的头识别相机、各种指示灯等的附属装置，这些也与控制器连接。

该液滴喷出装置1，通过对设置在载置装置3上的工件W，使功能液喷出装置2的喷头单元11一边扫描，一边向工件W的表面喷出含有功能材料的功能液，在工件W的表面上形成功能材料的膜体，由功能材料覆盖工件W。然后，在该液滴喷出装置1中，为了用功能材料均匀覆盖工件W的表面，喷头单元11对于工件W的任何部分都均喷出功能液，即即使针对工件W的边缘部，也和工件W的中央部同样喷出功能液。然后，如果这样在工件W的边缘部也和工件W的中央部同样喷出功能液，从工件W多少会溢出一些功能液，为此设置了接收并贮留所溢出的功能液的废功能液贮留部件4。又，由于可以使功能液从工件W溢出那样进行喷出，因此不需要对工件W的载置位置进行严密定位。

功能液喷出装置2，如图1所示，包括搭载功能液滴喷头21的喷头单元11、吊挂喷头单元11进行支撑的主滑架13、通过载置装置3使工件W在主扫描方向(X轴方向)上移动、并且使喷头单元11在副扫描方向(Y轴方向)上自由移动的XY移动机构14。

喷头单元11由多个功能液滴喷头21、搭载该喷头的子滑架12所构成。功能液滴喷头21由具有喷头基板和功能液导入部的子滑架安装部(图中未画出)和具有喷吐功能液的喷嘴23的喷头本体所构成。然后，在喷头本体的喷嘴面24上形成分别由多个喷嘴23构成的2列的喷嘴列，使该喷嘴面24向下方凸出，将功能液滴喷头21安装(固定)在子滑架12上。

在子滑架12上，为安装功能液滴喷头21，设置了2列安装开口(图中未画出)，每列有6个安装开口。即，在每列的安装开口上分别安装6个功能液滴喷头21，在子滑架12上供给安装12个功能液滴喷头21。此外，安装开口定位各功能液滴喷头21的安装位置，为了在确保对工件W有足够的涂敷密度的情况下配置各功能液滴喷头21，相对于主扫描方向倾斜给定角度后形成各安装开口。此外，功能液滴喷头12的个数和配置可以是任意的，根据工件W的种类，按照实际情况进行设定。例如，功能液滴喷头21也可以配置成锯齿状或者阶梯状。

主滑架13由吊挂支撑喷头单元11的滑架本体(图中未画出)、支撑滑架本体同时在后述的Y轴台16上在副扫描方向(Y轴方向)上可以自由滑动被支撑的喷头支架(图中未画出)所构成。滑架本体可以在θ轴方向上自由转动，通过使滑架本体在θ方向上转动，可以将在θ方向上喷头本体的喷嘴面24的位置调整到适当位置上。此外，θ轴方向的调整可以根据喷头识别相机(图中未画出)的识别图像进行。

XY移动机构14由支撑载置工件W的载置装置的X轴台15、与X轴台15垂直同时通过喷头支架支撑喷头单元11的Y轴台16所构成。XY移动机构14，为了在工件W的表面上适当喷出功能液，与功能液滴喷头21的驱动同步，使喷头单元11以及工件W交互移动。即，在该液滴喷出装置1中，重复进行由X轴台15在主扫描方向(X轴方向)使工件W的移动、和由Y轴台16在副扫描方向(Y轴方向)使喷头单元11的移动，当工件W在主扫描方向上移动时喷出功能液，在工件W表面的整个区域上形成功能材料的膜体。

此外，在本实施方案中，虽然是使工件W在主扫描方向移动，而使喷头单元11在副扫描方向上移动，只要是使喷头单元11相对于工件W相对扫描的构成即可，也可以使喷头单元11在主扫描方向上移动。又，也可以使工件W固定，使喷头单元11在主扫描方向以及副扫描方向上移动。

以下说明载置装置3。如图2所示，载置装置3包括固定在X轴台15上的基板31、在该基板31上支撑成为一体的为进行工件W在θ轴方向上的校正的θ台33、和为设置工件W的吸附台34。即，有θ台33以及吸附台34构成工件台32。基板31支撑θ台33并可以在θ轴方向上自由转动，同时通过θ台33支撑吸附台34。θ台33根据工件识别相机(图中未画出)的识别图像，可以使通过吸附台34设置的工件W在θ轴方向上转动，这样，可以进行θ轴方向的校正，将工件W相当于喷头单元11设置在适当的位置上。在吸附台34上形成多个吸引孔35，从吸引孔35吸引工件W，将工件W吸附固定在吸附台34上。

此外，使θ台33的水平面比工件W小一圈，吸附台34的水平面可以与工件W相同大小，或者比工件W小一圈，这样，从工件W溢出的功能液不会污染工件台32。此外，在本实施方案中图中示出的虽然是直方体状的工件台32，也可以采用圆柱状的工件台32。

以下参照图2以及图3说明成为本发明主要部分的废功能液贮留部件4。废功能液贮留部件4由接收从工件W溢出的功能液的功能液容器41、支撑功能液容器41的多个支撑支架42、为贮留从功能液容器41排出的功能液的废功能液贮箱43、连接功能液容器41和废功能液贮箱43的排出管44。

功能液容器41形成为剖面大致为U字形的桶状，其外周面上部向内侧弯折。然后，为了有效接收从工件W溢出的功能液，功能液容器41，与工件W的平面形状相吻合，形成为环状。又，功能液容器41在底部具有为排出功能液的排出口51，在排出口51上安装为连接排出管44的排出口接具52。又，在功能液容器41外周面的上端部上设置为连接后述的清洗液放出管62和清洗液供给管65的连接口53。

如图2所示，支撑支架42固定在载置装置3的θ台33的侧面上，使形成为环状的功能液容器41始终位临所设置的工件W的周缘部，即使工件W的周缘部与功能液容器41的一部分重合那样，支撑功能液容器41。然后，多个支撑支架42在θ台33的外周方向上均匀配置。又，支撑支架42，为了将由功能液容器41所接收的功能液以及来自后述的清洗装置5的清洗液能尽快排出，可以使功能液容器41向排出口51向下倾斜。该下排水斜度优选在1/50到1/100之间。

废功能液贮箱43，通过排出管(硅胶管)44与功能液容器41管道连接，贮存从工件W溢出的由功能液容器41接收的功能液。又，废功能液贮箱43，当装满功能液时，可以进行更换。此外，在废功能液贮箱43中设置为检测废功能液贮箱43是否处于满液状态的功能液满液检测器54，控制器6控制功能液滴喷头21，不使功能液从废功能液贮箱43溢出。此外，废功能液贮箱43可以采用不锈钢、树脂、玻璃等制成。

排出管44，其一端部连接在功能液容器41的排出口接具52上，另一端部连接在废功能液贮箱43上，将功能液容器41和废功能液贮箱43之间管道连接。在排出管44上设置关闭从功能液容器41相废功能液贮箱43流出功能液的功能液关闭阀55。

清洗装置5，如图2以及图3所示，用于清洗功能液容器41，由贮存溶解功能液的清洗液贮箱61、将清洗液射出到功能液容器41中的清洗液射出管62、将清洗液贮箱61和清洗液射出管61管道连接的清洗液供给管65所构成。此外，在清洗液贮箱61中设置为检测清洗液的液体减少状态的清洗液减液检测器67，可以检测出清洗液贮箱61的液体减少状态。

清洗液射出管62与设置在功能液容器41的外周面上端部上的连接口53连接，同时沿功能液容器41的弯折部分的内侧环状配置。然后，清洗液射出管62，通过连接口53与清洗液供给管65(硅胶管)连接，通过清洗液供给管65与清洗液贮箱61连接。在清洗液射出管62上按照大致等间隔设置多个清洗液射出孔63，各清洗液射出孔63面向功能液容器41的内壁侧，可以将清洗液向功能液容器41的内壁有效射出。

清洗液供给管65，其一端部连接在清洗液贮箱61上，而另一端部连接在功能液容器41的连接口53上，通过连接口53，将清洗液贮箱61和清洗液射出管62管道连接。然后，为了每隔给定时间进行功能液容器41的清洗，清洗液供给管65的上流端上设置与控制器6连接的电磁阀66，每隔给定时间定时控制电磁阀66的开闭。但是，电磁阀66的开闭也可以不是定时控制，而是手动控制。

以上所述的液滴喷出装置1的各装置，由控制器6进行控制，控制器6对液滴喷出装置1整体进行控制，按照给定条件向工件W喷出功能液。

例如，当功能液贮存到废功能液贮箱43处于满液状态时，功能液满液检测器54检测出废功能液贮箱43的满液状态，向控制器6传送满液信号。于是，控制器6使表示废功能液贮箱43处于满液状态的指示灯(图中未画出)点亮，告知废功能液贮箱43处于满液状态。然后，为了不使从废功能液贮箱43溢出功能液，立即，或者在薄膜形成中途的工件W的薄膜形成结束之后，使功能液喷出装置2停止工作。然后，更换处于满液状态的废功能液贮箱43，当没有检测到满液信号时，控制器6使表示废功能液贮箱43处于满液状态的指示灯熄灭，同时重新使功能液喷出装置2工作。此外，在本实施方案中，并不限定于通过用指示灯表示废功能液贮箱43处于满液状态进行报知，也可以采用声音灯进行报知。

又，与此相同，当检测到清洗液贮箱61的清洗液减少到给定量时，根据来自清洗液减液检测器67发出的减液信号，控制器6使清洗液减液指示灯(图中未画出)点亮。

以下参照图4以及图5说明液滴喷出装置的第2实施方案。此外，在以下的说明中，基本上是以不同部分为中心进行说明。在该实施方案中，可以将弯曲的眼镜镜片容易设置在工件台32上，通过托盘71将工件W设置在工件台32上。

如图5A、5B所示，在托盘71上，形成设置工件W的设置部的2个凹部72，可以处理以2片为1组的眼镜镜片，可以对1组2片的工件W进行定位载置(设置)。由于工件W的眼镜镜片在平面视图中为圆形，并且具有弯曲的形状，与此相对应，凹部72的平面视图大致为圆形，同时具有从底面到开口部扩展的倾斜面的形状。又，托盘71的平面视图为长方形，短边的长度比工件W的直径要短，使工件W的边缘部分别从托盘71的四方伸出那样，设置2片工件W。这样，通过采用使工件W从托盘71伸出的构成，可以容易将工件W设置在托盘71上，容易处理所设置的工件W。

此外，在本实施方案中采用的托盘71，虽然可以设置2片成1组的工件W，也可以采用在1个托盘71上只设置1片工件W的构成。又，在本实施方案中，虽然是在从底面向开口部倾斜的凹部72的斜面部上支撑工件W的构成，也可以是在凹部72的底部设置至少3根相同长度的支柱，用支柱定位支撑工件W的构成。

本实施方案的载置装置3，虽然是和第1实施方案相同的构成，但不是直接在工件台32(吸附台34)上设置(载置)工件W，而是通过托盘71载置2片工件，在这一点上和第1实施方案不同。又，在第1实施方案中，工件台32(θ台33以及吸附台34)的水平面不使从工件W伸出，而在本实施方案中，采用的是不使工件台32(θ台33以及吸附台34)从载置的托盘71伸出的构成。即，工件台32，其水平面比托盘71的水平面要小。

废功能液贮留部件4虽然也采用和第1实施方案相同的构成，如图4所示，功能液容器41，不是与工件W相吻合，而是与托盘71的平面形状相吻合，形成环状。然后，使功能液容器41的一部分与设置在工件台32(吸附台34)上的托盘71周缘部以及从所设置的托盘71伸出的2片工件W的周缘部重合那样，对功能液容器41进行支撑。因此，即使从工件W溢出那样进行功能液滴喷头21的喷吐驱动，从工件W溢出的功能液会由功能液容器41接收，功能液不会污染装置内部。

又，和第1实施方案同样，在功能液容器41上形成排出口，功能液容器41向排出口51向下倾斜进行支撑。因此，由功能液容器41接收的功能液以及向功能液容器41射出的清洗液可以快速从排出口51排出。此外，当从工件W溢出那样喷吐功能液时，载置工件W的托盘71会被功能液污染，污染后的托盘71，在向工件W的涂敷结束后，用清洗液清洗，然后可以再次使用。

以下，根据图6A～6B说明本发明的第3实施方案。本实施方案和第2实施方案大体相同，第2实施方案是设置1片载置工件W的托盘71，对载置在1片托盘71上的1组工件进行涂敷处理，而在本实施方案中设置多片(3片)托盘71，可以同时对多组(3组)的工件W进行处理，在这一点上不相同。

如图6C所示，载置装置3具有固定在X轴台15上的基板31，在基板31上配置由θ台33以及吸附台34构成的多个(3个)工件台32。各工件台32的水平面为了不使从托盘71伸出，比托盘71要小1圈。

废功能液贮留部件4虽然也采用和第2实施方案相同的构成，本实施方案的功能液容器41，与托盘71的平面形状以及各工件台32的配置相吻合形成。具体讲，如图6A所示，功能液容器41不单只形成为环状，为了也能接收在工件台32和工件台32之间喷出的功能液，包围整个工件台32那样形成。即，在工件台32之间也配置功能液容器41，从工件W溢出的功能液可以全部由功能液容器41接收。

又，功能液容器41，其剖面大致为U字形，同时其上端部双方均向内侧弯折。然后，使固定在工件台32一侧的弯折部分位于设置在工件台32上的托盘71的内侧，用支撑支架42支撑功能液容器41，从工件W溢出的功能液不能达到弯折部。

清洗装置5也采用和第1实施方案以及第2实施方案相同的构成；如图6A所示，清洗液射出管62不仅只配置在功能液容器41的环状部分上，在配置在各工件台32之间的功能液容器41上也配置，在这一点上不同。在功能液容器41的环状部分上和上述实施方案同样配置清洗液射出管62，而在各工件台32之间的功能液容器41上，沿两弯折部内侧配置清洗液射出管62。此外，图中虽然未画出，在本实施方案中，在清洗液射出管62上设置的各清洗液射出孔63也是面向功能液容器41的壁面，可以有效将粘附在功能液容器41上的功能液清洗。

以下说明第4实施方案。本实施方案也和第3实施方案大体相同构成，设置多片(3片)托盘71，可以同时对多组(3组)的工件W进行涂敷处理。在本实施方案中所采用的托盘71，虽然和上述托盘大致相同，但在第2以及第3实施方案中所采用的托盘71，是使工件W从平面视图为长方形的托盘71的四边伸出的构成，而本实施方案的托盘71是使工件W只从1组的长边部分伸出的构成(参见图6B)。

如图6B所示，废功能液贮留部件4的功能液容器41，为了可以接收从托盘71以及工件W溢出的功能液，沿工件W伸出的托盘71的长边部分配置。功能液容器41，由与托盘71的长边部分的长度对应形成的、其剖面大致为U字形的4个桶状部件41a所构成。各桶状部件41a，由支撑支架42沿托盘71的长边部分支撑，倾斜配置。各桶状部件41a，在其下端部的附近的底部上形成排出口51，在上端部上形成为连接清洗液射出管62和清洗液供给管65的连接口53。此外，连接在废功能液贮箱43上的排出管44分支后与各排出口51连接。

清洗装置5的构成也和上述实施方案相同，在各桶状部件41a的连接口53上连接其一端的清洗液射出管62，在连接口53附近分支成2路，沿桶状部件41a的内壁面配置在桶状部件的上端部上。即，在本实施方案的功能液容器41上，配置共计8根清洗液射出管。又，连接在清洗液贮箱61上的清洗液供给管65分支成4路，连接在各连接口53上，将清洗液贮箱61和清洗液射出管62连接。

这样，依据第2实施方案到第4实施方案的液滴喷出装置1，由功能液容器41接收从托盘71溢出的功能液，功能液不会污染装置内部。即，喷头单元11可以从位临工件W体前一侧驱动功能液滴喷头21，即使在工件W的边缘部也和工件W中央部同样喷吐功能液，进行功能液的涂敷，不会遗漏，可以对工件W表面整体均匀形成膜体。

本发明的液滴喷出装置1，不仅可以对眼镜镜片进行涂敷，也可以对各种光学镜片进行涂敷，并且也可以适用于各种平板显示器的制造方法等中。在此，以液晶显示装置的制造方法以及有机EL装置的制造方法为例，对采用该液滴喷出装置的制造方法简单进行说明。

图7表示液晶显示装置的剖面图。如该图所示，液晶显示装置(彩色)450，通过在上下偏光板462、467之间组合彩色滤光片400和对向基板466，在这两者之间封入液晶组成物465后构成。又，在彩色滤光片400和对向基板466之间构成取向膜461、464，在一方对向基板466的内侧面上行列状形成TFT(薄膜晶体管)元件(图中未画出)和像素电极463。

彩色滤光片400包括排列成行列状的像素(滤光片元件)，像素与像素之间的边界，由隔壁(堤岸)413所区分。在每个像素中导入红(R)、绿(G)、蓝(B)的任一种液状材料(滤光片材料)。即，彩色滤光片400包括透光性的基板411、遮光性的隔壁413。没有形成(除去了)隔壁413的部分构成上述像素。导入到该像素中的各色液状材料构成成色层421。在隔壁413以及成色层421的上面形成覆盖涂敷层422以及电极层423。

然后，在本实施方案中，在由隔壁413区分形成的像素内，采用液滴喷出方式导入上述R、G、B的各液状材料。即，由功能液滴喷头9(液滴喷出头)，将R、G、B各色的液滴选择性喷吐到每个成色层形成区域。然后，使涂敷的液状材料干燥后，获得成色层421。同样，采用液滴喷出方式，形成覆盖涂敷层422。

本实施方案，在上述成色层421的形成中，可以适当改变功能液滴喷头21的倾斜角度，调整成使各喷嘴23的间距和像素的间距一致，在覆盖涂敷层422的形成中，可以适当改变功能液滴喷头21的倾斜角度，调整其膜厚。

同样，参照图8说明有机EL装置及其制造方法。如该图所示，有机EL装置500，在玻璃基板501上积层电路元件部502，在电路元件部502上积层成为主体的有机EL元件504。又，在有机EL元件504的上侧，存在惰性气体的空间，形成密封用基板505。

有机EL元件504，由无机物堆积层512a和与其重叠的有机物堆积层512b形成堤岸512，由该堤岸512勾画出行列状的像素。然后，在各像素内，从下侧积层像素电极511、R、G、B的发光层510b以及空穴注入/传输层510a，并且整体由多层积层了Ca或者Al等薄膜的对向电极503所覆盖。

然后，在本实施方案中，采用液滴喷出方式，形成R、G、B的发光层510b以及空穴注入/传输层510a。又，在形成了空穴注入/传输层510a之后，同样采用液滴喷出方式，利用Ca或者Al等液状金属材料，形成对向电极503。此外，在替代密封用基板505，用密封性好的树脂密封该部分时，也优选采用液滴喷出方式进行。

在本实施方案中，在发光层510b以及空穴注入/传输层510a的形成中，可以适当改变功能液滴喷头21的倾斜角度，调整成使各喷嘴23的间距和像素的间距一致，在对向电极503的形成中，可以适当改变功能液滴喷头21的倾斜角度，调整其膜厚。

如上所述，依据本发明的膜体形成装置、镜片的制造方法、彩色滤光片的制造方法以及有机EL装置的制造方法，利用桶状容器部件，由于从工件溢出的功能液不会污染装置内部，即使在工件的边缘部也和工件中央部同样进行功能液的喷吐，进行功能液涂敷，不会遗漏，可以在工件表面整体上均匀形成膜体。又，桶状容器部件滴下的功能液贮存在废功能液贮留部件中，当废功能液贮留部件中的功能液处于满液状态时，只要更换废功能液贮留部件，或者将贮存的功能液废弃即可，容易并且可以有效进行维护作业。并且，由于从工件W溢出那样喷吐功能液，不需要严格对工件W的载置位置进行定位，可以简化装置，并且可以减少工件W的定位所需要的时间，提高生产效率。

Claims (20)

1.一种膜体形成装置，其特征在于：由通过在工件和导入了功能液的功能液滴喷头之间进行相对扫描越过工件边缘喷吐功能液滴的第1装置、接收越过工件边缘喷出的功能液的第2装置和贮存从所述第2装置排出的废功能液的第3装置构成。

2.一种膜体形成装置，是在工件表面上形成膜体的膜体形状装置，其特征在于：由通过在工件和导入了功能液的功能液滴喷头之间越过工件边缘进行相对扫描第1装置、在所述第1装置进行扫描的期间从所述功能液滴喷头选择性喷吐功能液滴的第2装置、接收越过工件边缘喷出的功能液的第3装置和贮存从所述第3装置排出的废功能液的第4装置构成。

3.一种膜体形成装置，是一种通过随着导入了功能液的功能液滴喷头的扫描、使功能液从所述工件的边缘部溢出地对工件进行液滴喷吐、在所述工件表面上形成膜体的膜体形成装置，其特征在于：包括

接收从所述功能液滴喷头喷出的、从所述工件溢出的所述功能液的桶状容器部件、

通过配管连接在所述桶状容器部件的下流端、贮存从所述桶状容器部件排出的功能液的废功能液贮留部件。

4.根据权利要求3所述的膜体形成装置，其特征在于：所述桶状容器部件，其剖面形成为U字形。

5.根据权利要求3所述的膜体形成装置，其特征在于：所述桶状容器部件，使所述工件的周缘部位临其上端开放部，形成为环状。

6.根据权利要求3所述的膜体形成装置，其特征在于：所述桶状容器部件，向下流端具有给定的排水斜度。

7.根据权利要求6所述的膜体形成装置，其特征在于：所述排水斜度大致在1/50到1/100的范围内。

8.根据权利要求3所述的膜体形成装置，其特征在于：所述桶状容器部件被固定在载置所述工件的工件台上。

9.根据权利要求3所述的膜体形成装置，其特征在于：进一步设置清洗所述桶状容器部件的槽内的清洗装置。

10.根据权利要求9所述的膜体形成装置，其特征在于：所述清洗装置具有贮存清洗液并且通过配管连接所述桶状容器部件的上流端的清洗液贮箱。

11.根据权利要求9所述的膜体形成装置，其特征在于：所述清洗装置具有通过配管与所述清洗液贮箱连接并且配置在所述桶状容器部件的上部槽内的清洗液射出管，

在所述清洗液射出管上形成有射出清洗液的多个射出孔。

12.根据权利要求11所述的膜体形成装置，其特征在于：所述清洗液射出管沿所述桶状容器部件的上部槽内的外侧周面配置。

13.根据权利要求11所述的膜体形成装置，其特征在于：所述清洗液射出管的各射出孔向所述桶状容器部件的上部槽内的外侧周面射出所述清洗液。

14.根据权利要求3所述的膜体形成装置，其特征在于：进一步包括检测所述废功能液贮留部件的满液状态的功能液满液检测装置、控制所述功能液滴喷头的喷吐动作的控制装置，

所述控制装置，在所述功能液满液检测装置检测到所述废功能液贮留部件处于满液状态时，使所述功能液滴喷头的喷出动作停止。

15.根据权利要求14所述的膜体形成装置，其特征在于：所述控制装置，在薄膜形成中途时，在薄膜形成结束之后才使功能液喷出动作停止。

16.一种镜片的制造方法，是采用权利要求3所述的膜体形成装置、在所述工件的镜片表面上形成涂敷膜的镜片的制造方法，其特征在于：

通过在所述功能液滴喷头中导入功能液的透光性涂敷材料，使所述功能液滴喷头相对于所述镜片的表面作相对扫描，喷出所述涂敷材料，形成所述涂敷膜。

17.根据权利要求16所述的镜片的制造方法，其特征在于：所述镜片是眼镜镜片。

18.根据权利要求16所述的镜片的制造方法，其特征在于：所述镜片是设置在托盘上的2片为1组的眼镜镜片。

19.一种彩色滤光片的制造方法，是采用权利要求3所述的膜体形成装置、制造通过在所述工件的基板上排列配置滤光片元件而构成的彩色滤光片的彩色滤光片制造方法，其特征在于：

在形成所述滤光片元件之后，通过在所述功能液滴喷头中导入功能液的透光性涂敷材料，使所述功能液滴喷头相对于所述基板作相对扫描，喷出所述涂敷材料，形成所述覆盖涂敷膜。

20.一种有机EL装置的制造方法，是采用权利要求3所述的膜体形成装置、在所述工件的基板上排列配置包含EL发光层的像素的有机EL装置的制造方法，其特征在于：

在形成所述EL发光层之后，通过在所述功能液滴喷头中导入功能液的液状电极材料，使所述功能液滴喷头相对于所述基板作相对扫描，选择性喷出所述液状电极材料，形成对向电极膜。

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