CN1691846A - 有机el装置的制造方法、有机el装置以及电子设备 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种有机EL装置的制造方法，是在对置的电极间形成有有机功能层而构成的有机EL装置的制造方法，包括：形成用于将一方电极隔离为带状的多个隔离器的工序；在所述多个隔离器彼此之间，由蒸镀法形成电极膜的工序；和在所述多个隔离器彼此之间的由所述蒸镀法形成的电极膜上进一步配置电极材料的工序。

Description

有机EL装置的制造方法、有机EL装置以及电子设备
技术领域
本发明涉及有机EL装置的制造方法、有机EL装置以及电子设备。
本申请对于2004年4月21日提出的日本专利申请第2004-125402号主张优先权，此处引用其内容。
背景技术
近年，在笔记本式电脑、携带电话机、电子记事本等的电子设备中，作为显示信息的装置提出了包括与像素对应的有机电致发光(以下，称为有机EL)元件的有机EL装置等的显示装置。
作为这样的有机EL装置的一例有无源矩阵型(单纯矩阵型)的有机EL装置。一般地，此无源矩阵型的有机EL装置包括：在基板上形成的、在规定方向上带状延伸的多个第1电极、在与该第1电极垂直的方向上以带状配置的多个第2电极、在第1电极和第2电极的交叉区，被第1电极和第2电极上下夹住的有机功能层。此有机功能层包括在第1电极以及第2电极流经了电流的情况下发光的发光层，无源矩阵型的有机EL装置构成为包括多个与1个像素对应的包括发光层的有机功能层的结构。
但是，这样的无源矩阵型的有机EL装置的第2电极一般是由真空蒸镀法形成的。根据此真空蒸镀法，例如如特开平11-87063号公报所示，在形成第2电极的各个范围彼此之间以规定的厚度设置隔离器，通过从相对于基板面的垂直方向或者倾斜方向使第2电极材料蒸镀来隔离各个第2电极。
在具有带状的电极构造的显示装置中，在电极的延伸方向上容易产生电压下降，这样的电压下降会带来图像质量的不均匀。特别是，如果将显示装置的画面大型化，由于在一个电极上流经的电流量增大，上述的倾向增强。
发明内容
本发明因为是鉴于上述问题点而进行的发明，所以目的在于提供一种抑制在电极上的电压下降，能优选适用于基板的大型化的有机EL装置的制造方法。
为了达到上述目的，关于本发明的有机EL装置的制造方法是在对置的电极间形成有有机功能层而构成的有机EL装置的制造方法，包括：形成用于将一方电极隔离为带状的多个隔离器的工序；在所述多个隔离器彼此之间，由蒸镀法形成电极膜的工序；和在所述多个隔离器彼此之间的由所述蒸镀法形成的电极膜上进一步配置电极材料的工序。
还有，此处所说的蒸镀法包括真空蒸镀法、溅射法、CVD法(化学蒸镀法)。
此处，所述电极材料例如是金属分散系印墨。
根据这样的有机EL装置的制造方法，通过在多个隔离器彼此之间的由蒸镀法形成的电极膜上进一步配置电极材料，能使电极成为厚膜。
电极材料如果是金属分散系印墨，则可以同时配置大量的材料。
通过使上述电极成为厚膜，由此制造方法制造的有机EL装置能抑制电极上的电压下降、实现图像质量的均匀化。因此，此制造方法也优选适用于基板的大型化。
另外，因为在由蒸镀法形成的电极膜上配置电极材料，所以电极材料中所包含的液体成分对有机功能层带来的损害通过电极膜的覆盖被避免。
在上述的制造方法中，可以在所述多个隔离器彼此之间进行所述电极材料的配置，使得对相邻的2个隔离器的双方不接触。
虽然利用蒸镀法在隔离器上也可能形成电极膜，但通过进行用于实现厚膜的电极材料的配置，使得对相邻的2个隔离器的双方不接触，能够防止介由隔离器的电极彼此之间的短路。
另外，在上述的制造方法中，也可以在所述多个隔离器彼此之间进行所述电极材料的配置，使得对相邻的2个隔离器中的一方接触并对另一方不接触。
虽然利用蒸镀法在隔离器上也可能形成电极膜，但通过进行用于实现厚膜的电极材料的配置，使得对相邻的2个隔离器中的一方接触并对另一方不接触，能够防止介由隔离器的电极彼此之间的短路。另外此种情况下，与进行材料配置使对双方都不接触的情况相比，材料配置的精度低也是可以的，另外也能适用于相邻的2个隔离器的间隙窄的情况。
在上述的制造方法中，也可以通过液滴喷吐法进行所述电极材料的配置。
液滴喷吐法可以同时进行大量的材料配置，另外也容易控制其配置量和配置位置。
另外，优选由所述蒸镀法形成的电极膜由表面能量低的金属材料形成。
由此，能谋求电极材料的配置精度的提高。
接着，本发明的有机EL装置是在对置的电极间形成有有机功能层而构成的有机EL装置，一方的电极被多个隔离器隔离为带状而且是由多层膜构成的层叠构造构成的。
根据这样的有机EL装置，通过形成为带状的电极由多层膜构成的层叠构造构成，能实现厚膜化。因此，能抑制电极上的电压下降，谋求图像质量的均匀化，优选适用于基板的大型化。
此处，所述多层膜也可以包括由蒸镀法形成的第1膜、和在所述多个隔离器彼此之间的所述第1膜上形成为带状的第2膜。
另外，所述第2膜优选是用液滴喷吐法形成的膜。
通过在由蒸镀法形成的第1膜上是形成为带状的第2膜的结构，能确实实现带状电极的厚膜化。
进一步，通过利用液滴喷吐法形成电极，可以提高电极材料的配置精度，另外，能以低成本而且容易达到电极的厚膜化。
在上述的有机EL装置中，通过所述第2膜在所述多个隔离器彼此之间形成为对相邻的2个隔离器的双方不接触状态，成为确实防止介由隔离器的电极彼此之间的短路的膜。
另外，通过所述第2膜在所述多个隔离器彼此之间形成为对相邻的2个隔离器中的一方接触并对另一方不接触状态，也能成为确实防止介由隔离器的电极彼此之间的短路的膜。
接着，关于本发明的电子设备作为显示机构具有上述的有机EL装置。作为本发明的电子设备，例如能够列举出笔记本式电脑、携带电话机、电子记事本、手表、文字处理机等的信息处理装置等。通过在这样的电子设备的显示部中采用有关本发明的有机EL装置，可以得到抑制电极中电压下降的结果，能够提供具有实现了均匀的图像质量的显示部的电子设备。
附图说明
图1是本发明的有机EL装置的俯视图。
图2是本发明的有机EL装置的内部构成图。
图3是在图1中的I-I’矢向图。
图4A以及图4B是用于说明有机EL装置的制造方法的说明图。
图5A以及图5B是用于说明有机EL装置的制造方法的说明图。
图6A以及图6B是用于说明有机EL装置的制造方法的说明图。
图7A以及图7B是用于说明有机EL装置的制造方法的说明图。
图8A以及图8B是用于说明有机EL装置的制造方法的说明图。
图9A以及图9B是用于说明有机EL装置的制造方法的说明图。
图10A以及图10B是用于说明有机EL装置的制造方法的说明图。
图11A以及图11b是用于说明有机EL装置的制造方法的说明图。
图12A以及图12B是用于说明有机EL装置的制造方法的说明图。
图13是用于说明有机EL装置的制造方法的说明图。
图14是用于说明有机EL装置的制造方法的说明图。
图15是用于说明本发明的第2实施方式的说明图。
图16是用于说明本发明的第3实施方式的说明图。
图17是用于说明图16的有机EL装置的制造方法的说明图。
图18是用于说明图16的有机EL装置的制造方法的说明图。
图19是用于说明本发明的第4实施方式的说明图。
图20是表示本发明的电子设备的实施方式的立体图。
图中：1-有机EL装置，2-基板，3-第1电极，4-阴极隔离器(隔离器)，4d-最上面，5-第2电极，5a-第1膜(蒸镀膜、电极膜)，5b-第2膜，6-有机功能层，7-密封部，8-连接端子，9-绝缘膜，10-围堰层，10a-开口部，A-发光区域，B-阴极隔离器形成区域。
优选的实施方式
以下，参照附图，对于关于本发明的有机EL装置以及其制造方法和电子设备的一种实施方式进行说明。还有，在参照的各个图中，存在为了达到在图中能识别的大小而进行的缩放比例因各层和各构件而不同的情况。
(第1实施方式)
图1～图3是模式地表示了有关本实施方式的无源矩阵型的有机EL(电致发光)显示装置的模式图。图1是俯视图，图2是有机EL装置1的内部构成图，图3是图1的I-I’的矢向图。如这些图所示，本有机EL装置1以：基板2上在规定方向延伸为长条状(带状)的多个第1电极(阳极)3；在相对第1电极的延伸方向垂直的方向延伸的多个阴极隔离器(隔离器)4；在阴极隔离器4的下方设置的围堰层10；在阴极隔离器4彼此之间形成的第2电极(阴极)5；在第1电极3与第2电极5的交叉区域(发光区域)A被第1电极3以及第2电极5上下夹住的有机功能层6；用于密封第1电极3、阴极隔离器4、第2电极5以及有机功能层6等的密封部7作为主要构成要素。
还有，在图2中，B表示在基板2上作为形成阴极隔离器4的范围的阴极隔离器形成区域，在此阴极隔离器形成区域B的一端Ba的附近，如图所示，以被各阴极隔离器4夹住的方式、而且在比阴极隔离器4的两端更靠近基板的中心形成多个连接部8a。还有，连接部8a成为连接端子8的一部分，与第2电极5直接相连。另外，阴极隔离器形成区域B是基板2上的形成多个阴极隔离器4的区域，更详细地说，是存在阴极隔离器4以及阴极隔离器4之间间隔的全部区域。
另外，第1电极以及连接端子8延伸使得第1电极3的一端3a以及连接端子8的一端8b位于密封部7的外部，在第1电极3的一端3a上连接了包括移位寄存器、电平移位器、视频线以及模拟开关的数据侧驱动电路100，在连接端子8的一端8b上连接了包括移位寄存器以及电平移位器的扫描侧驱动电路101。
如图3所示，有机功能层6是在被夹在互相面对配置的第1电极3和第2电极5之间的状态下配置的，包括在第1电极3以及第2电极5中流经电流的情况下发出规定波长的光的发光层61。有机EL装置1通过以矩阵状具有多个发光区域A来具有作为显示装置的功能，其中发光区域A形成包括这样的发光层61的有机功能层。还有，在有关本实施方式的有机EL装置1中，基板2以及第1电极3具有透光性，构成为使从发光层61发出的光从基板2一侧射出。另外，有机功能层6如图所示，被收容在由围堰层10、第1电极3以及第2电极5包围的空间内。因此，能防止从外部进入的水和空气等使有机功能层6恶化。
作为具有透光性的基板2的材料，例如能列举出玻璃、石英、树脂(塑料、塑料膜)等，特别是，适宜采用便宜的钠玻璃基板。第1电极3例如由铟锡氧化物(ITO)和铟锌氧化物(IZO)等的金属氧化物构成的透光性的导电材料形成，被设定为长条状(带状)的形状，而且各自空出规定间隔来形成多个第1电极3。此第1电极3实现对有机功能层6注入空穴的功能。连接端子8由具有导电性的金属材料形成，被设定为矩形形状，而且如图所示，配置为使其端部8c位于阴极隔离器4彼此间的间隙。
在形成此第1电极3以及连接端子8的基板2上，形成由硅氧化膜(SiO2)构成的绝缘膜9。然后，此绝缘膜9被图案化为使发光区域A的第1电极3、第1电极3的端部3a附近、连接部8a以及连接端子8的端部8b附近露出。还有，绝缘膜9被图案化使连接部8a位于与阴极隔离器4的端部4a(阴极隔离器形成区域B的一端Ba)相比更靠近基板2的中心。
以覆盖连接部8a的方式将围堰层10形成在绝缘膜9上的阴极隔离器形成区域B内。此围堰层10由丙烯树脂、聚酰亚胺树脂等的耐热性、耐溶剂性优良的有机材料形成，在与发光区域A对应的位置形成开口部10a。另外，围堰层10的厚度被设定为比阴极隔离器4的厚度还要薄而且比有机功能层6的厚度还要厚。
在围堰层10上形成的阴极隔离器4由聚酰亚胺等的感光性树脂形成，例如，以6μm的厚度设定宽度方向的断面为倒圆锥形状，而且以各自空出规定间隔来形成多个阴极隔离器4。另外，如图所示，阴极隔离器4形成为使阴极隔离器4上方的宽度方向的端部4b位于围堰层10的开口部10a的边缘部外侧。还有，阴极隔离器4例如是在由光刻技术形成阴极隔离器4时不对围堰层10进行蚀刻的方式由与围堰层10不同的材料构成的。
有机功能层6是将空穴注入/传输层62、发光层61以及电子注入/传输层63层叠的层叠体，被收容在围堰层10的开口部10a内。空穴注入/传输层62例如由聚乙烯二羟基噻吩等的聚噻酚衍生物和聚苯乙烯磺酸等的混合物形成。此空穴注入/传输层62具有在发光层61中注入空穴并且在空穴注入/传输层62的内部传输空穴的功能。
发光层61有发出红色(R)光的红色发光层61a、发出绿色(G)光的绿色发光层61b以及发出蓝色(B)光的蓝色发光层61c的3种，镶嵌配置有各发光层61a～61c。作为发光层61的材料例如能采用蒽和芘、8-羟基喹啉铝、二苯乙烯蒽衍生物、四苯基丁二烯衍生物、香豆素衍生物、噁二唑衍生物、二苯乙烯苯衍生物、吡咯并吡啶衍生物、紫环酮(perinone)衍生物、环戊二烯衍生物、噻二唑并吡啶衍生物、或者在这些低分子材料中掺杂红荧烯、喹吖酮衍生物、吩噁嗪酮衍生物、DCM、DCJ、紫环酮(perinone)、紫苏烯衍生物、香豆素衍生物、苯并二茚衍生物等使用。
电子注入/传输层63具有在发光层6 1注入电子的功能并且有在电子注入/传输层63内部传输电子的功能。作为此电子注入/传输层63，例如能适合采用羟基喹啉锂和氟化锂或者bathophen cesium等。另外，也能采用功函数为4eV以下的金属，例如Mg、Ca、Ba、Sr、Li、Na、Rb、Cs、Yb、Sm等。
第2电极5是由多层膜的层叠构造构成。具体说，第2电极5包括由蒸镀法形成的第1膜5a、和在第1膜5a上形成的作为用于进行厚膜化的辅助电极的第2膜5b而构成。此处，第1膜5a可以是透过层、反射层、包括透过层和反射层的层中的任何一个，第2膜5b在第1膜5a为透过层时由反射层构成、而在第1膜5a为透过层之外的层时由任意层构成。另外，第2膜5b如后面所述，利用液滴喷吐法形成。
作为第1膜5a的材料，例如除了Al、Mg、Au、Ag、Ca之外，还能列举出ITO、IZO、氟化锂LiF等。作为在第1膜5a中包括透过层和反射层的层叠构造，例如能列举出Ca和Al的层叠膜(Ca/Al；透过层/反射层)和Mg/Ag、Ca/Ag、Ba/Ag、M/Ag(其中，M至少是稀土元素的一种，优选是Ce、Yb、Sm、Er、Y、La、Gd(钆)、Dy(镝)、Nd(钕)之中的至少一种元素)等。另外，也可以在发光层一侧设置由LiF形成的膜(例如，LiF/Ca/Al)。还有，当使阴极为层叠构造的情况下，在接近发光层一侧，优选形成功函数小的材料。
还有，第1膜5a在能够防止由热带来的发光层的损伤这点，优选用真空蒸镀法形成，但也可以采用溅射法、CVD法等其它的方法形成。另外，在本例中，使此第1膜5a形成为覆盖围堰层10的开口部10a。
另一方面，在多个阴极隔离器4彼此之间第2膜5b形成在上述第1膜5a上，并且以对相邻的2个阴极隔离器4的双方不接触状态来形成第2膜5b。此处，由蒸镀法形成第1膜5a时，在阴极隔离器4的最上面4d上也形成与第1膜5a相同材质的蒸镀膜，但通过使第2膜5b对相邻的2个阴极隔离器4的双方形成为不接触状态，成为确实能够防止介由阴极隔离器4的第2膜5b彼此之间的短路的膜。对于第2膜5b的形成材料后面详细叙述。另外，也可以在第2膜5b上根据需要设置由SiO、SiO2、SiN等形成的防止氧化用的保护层。
密封部7由在基板2上涂敷的密封树脂7a、密封罐(密封构件)7b构成。密封树脂7a是使基板2与密封罐7b粘接的粘接剂，例如通过微分配器等在基板2的周围涂敷为环状。此密封树脂7a由热硬化树脂或者紫外线硬化树脂等构成，特别是优选由作为热硬化树脂的1种的环氧树脂构成。另外，此密封树脂7a采用不容易通过氧和水分的材料，通过防止从基板2和密封罐7b之间向密封罐7b内部侵入水或者氧，来防止第2电极5或者发光层61的氧化。
密封罐7b在其内侧设置了容纳第1电极3、有机功能层6以及第2电极5等的凹部7b1，经由密封树脂7a与基板2接合。还有，在密封罐7b的内侧，根据需要可以在阴极隔离器形成区域B的外侧设置能够吸收或者除去氧或水分的吸收构件。作为此吸收构件，例如适合采用Li、Na、Rb、Cs等的碱金属、Be、Mg、Ca、Sr、Ba等的碱土金属、碱土金属的氧化物、碱金属或者碱土金属的氢氧化物等。碱土金属的氧化物通过和水反应变化为氢氧化物，作为脱水材料发挥作用。因为碱金属和碱土金属与氧反应变化为氢氧化物并且与水反应变化为氧化物，因此不仅作为脱水材料而且还作为脱氧材料发挥作用。由此，能防止有机功能层6等的氧化，能提高装置的可靠性。
接着，参照附图说明本实施方式的有机EL装置1的制造方法。本实施方式的有机EL装置1的制造方法例如包括(1)第1电极形成工序、(2)绝缘膜形成工序、(3)围堰层形成工序、(4)阴极隔离器形成工序、(5)等离子处理工序、(6)空穴注入/传输层形成工序、(7)发光层形成工序、(8)电子注入/传输层形成工序、(9)第2电极形成工序以及(10)密封工序构成。还有，制造方法并非限定于这些，根据需要也存在删除或者追加其它工序的情况。
(1)第1电极形成工序
第1电极形成工序是在基板2上形成多个在规定方向延伸为长条形状(带状)的第1电极3的工序。在此第1电极形成工序中，如图4A以及图4B所示，通过溅射法在基板2上形成多个由ITO和IZO等的金属氧化物构成的第1电极3。由此，以规定的间隔形成多个长条状的第1电极3，其形成为一个端部3a(图4a中的上方)到达基板2的端部2a。还有，在第1电极形成工序中，还形成连接端子8。此连接端子8如图所示形成为一个端部8b到达基板2的端部2b，另一个端部8c与围堰形成区域B的端部Ba相比更靠近基板2的中心。
(2)绝缘膜形成工序
绝缘膜形成工序如图5A以及图5B所示，是在基板2、第1电极3以及连接端子8上形成被图案化为露出发光区域A的第1电极3、第1电极3的端部3a附近、连接部8a以及连接端子8的端部8b附近的绝缘膜9的工序。
在此绝缘膜形成工序中，以四乙氧基硅烷和氧气等作为原料，通过等离子CVD法形成绝缘膜9。还有，绝缘膜9被图案化为使连接部8a与阴极隔离器形成区域B的端部Ba相比更靠近基板2的中心。
(3)围堰层形成工序
围堰层形成工序如图6A以及图6B所示，是在阴极隔离器形成区域B上形成围堰层10的工序，该围堰层10不覆盖连接部8a且在与发光区域A对应的位置上形成开口部10a。在此围堰层形成工序中，在上述形成了第1电极3以及绝缘膜9的基板上，以有机功能层6的厚度以上且阴极隔离器4的厚度以下涂敷丙烯树脂、聚酰亚胺树脂等具有耐热性、耐溶剂性的感光型材料(有机材料)，通过光刻技术在与发光区域A对应的位置形成开口部10a。
(4)阴极隔离器形成工序
阴极隔离器形成工序如图7A以及图7B所示，是在与第1电极3的延伸方向垂直的方向上，以规定间隔形成多个延伸为带状的阴极隔离器4的工序。在此阴极隔离器形成工序中，首先，在基板2上，通过旋转涂敷等，以规定厚度涂敷聚酰亚胺等的感光性树脂。然后，通过用光刻技术蚀刻该以规定厚度涂敷的聚酰亚胺等的感光性树脂，在阴极隔离器形成区域B上形成多个宽度方向的剖面被设定为倒圆锥形状的阴极隔离器4。还有，这样的阴极隔离器4形成为使连接部8a位于阴极隔离器4之间，另外，阴极隔离器4还形成为使阴极隔离器4的宽度方向的端部4b与围堰层10的端部10c(边缘部)相比更靠近发光区域A的外侧。
(5)等离子处理工序
等离子处理工序是以对第1电极3的表面进行激活处理、和进一步对围堰层10以及阴极隔离器4的表面进行表面处理为目的而进行的。具体说，首先通过进行O2等离子处理，进行露出的第1电极3(ITO)上的清洗、进一步进行功函数的调整，并且对围堰层10的表面、露出的第1电极3的表面以及阴极隔离器4的表面进行亲液处理。接着，通过进行CF4等离子处理，对围堰层10以及阴极隔离器4的表面进行疏液处理。
(6)空穴注入/传输层形成工序
空穴注入/传输层形成工序是在露出的第1电极3上，即围堰层10的开口部10a内，利用液滴喷吐法形成空穴注入/传输层62的工序。在此空穴注入/传输层形成工序中，例如，通过采用喷墨装置，在第1电极3上喷吐空穴注入/传输层材料。其后，通过进行干燥处理以及热处理，在第1电极3上，形成如图8A以及图8B所示的空穴注入/传输层62。
此喷墨装置是从喷头所具有的喷嘴中喷吐控制了平均每1滴的液体量的材料，并且使喷嘴与基板相面对，再通过使喷嘴和基板2相对移动，在喷吐面上喷吐材料的装置。此时，围堰层10的表面由于由上述的等离子处理工序进行了疏液处理，因此假设即使从喷嘴喷吐的材料附着在围堰层的表面上等，材料也能确实进入围堰层10的开口部10a内。
(7)发光层形成工序
发光层形成工序如图9A和图9B以及图10A和图10B所示，是在第1电极3上形成的空穴注入/传输层62上，形成由低分子材料构成的发光层61的工序。在此发光层形成工序中，首先，在和蓝色发光区域Ac对应的围堰层10的开口部10a内，例如，通过采用了喷墨装置的液滴喷吐法喷吐蓝色发光层材料，形成如图9A以及图9B所示的蓝色发光层61c。接着，通过在和红色发光区域Aa对应的围堰层10的开口部10a内喷吐红色发光层材料，形成红色发光层61a，通过在和绿色发光区域Aa对应的围堰层10的开口部10a内喷吐绿色发光层材料，形成绿色发光层61b(参照图10A以及图10B)。
(8)电子注入/传输层形成工序
电子注入/传输层形成工序，如图11A以及图11B所示，是在发光层61上形成电子注入/传输层63的工序。此电子注入/传输层形成工序例如，由采用了喷墨装置的液滴喷吐法在发光层61上喷吐电子注入/传输层材料，形成电子注入/传输层63。还有，空穴注入/传输层形成工序、发光层形成工序以及电子注入/传输层形成工序合在一起的工序是有机功能层形成工序。
这样，作为空穴注入/传输层62、发光层61以及电子注入/传输层63的层叠体的有机功能层6是通过由液滴喷吐法在形成围堰层10的开口部10a内喷吐其材料形成的，因此，可以防止有机功能层6沿着阴极隔离器4的侧面部分隆起。
(9)第2电极形成工序
第2电极形成工序如图12A、图12B、图13以及图14所示，是在相邻的阴极隔离器4彼此之间，形成第2电极5的工序。包括由蒸镀法形成第1膜5a的工序、和由液滴喷吐法在第1膜5a上形成第2电极5的工序。
在第1膜5a的形成工序中，经由与阴极隔离器形成区域B的形状相同形状的具有单一开口部的蒸镀掩模，在阴极隔离器形成区域B的整个面上，从与基板2的面垂直的方向蒸镀第1膜5a的形成材料。此处，如上所述，阴极隔离器4上方的宽度方向的端部4b配置在比围堰层10的开口部10a的边缘部相比更靠近发光区域A的外侧。因此，通过从基板2面的垂直方向蒸镀第1膜5a的形成材料，如图所示，可以使电极膜很容易地形成为覆盖围堰层10的开口部10a。由此，有机功能层6被收容在由围堰层10、第1电极3以及第2电极5(第1膜5a)所包围的空间内。由此，因为能保护有机功能层6不受到从外部侵入的水和空气等的损坏，所以能够防止有机功能层6的恶化，结果，可以得到良好的发光寿命。同样地，通过由第1膜5a(蒸镀膜)覆盖围堰层10的开口部10a，能够避免后面说明的第2膜5b的形成材料中所包含的液体成分(分散液)给有机功能层6带来的损坏。
在第2膜5b的形成工序中，如以下所说明的这样，通过采用了喷墨装置的液滴喷吐法在第1膜5a上配置第2膜5b的形成材料，其后，使此涂敷膜干燥。其后，通过进行烘焙确保第2膜的导电性。另外，进一步当有必要进行厚膜化的情况下，进行烘焙后再次印刷、干燥/烘焙也可以。
喷墨装置如图13所示，是从喷头所具有的喷嘴中喷吐控制了平均每1滴的液体量的电极材料，并且使喷嘴与基板相面对，再通过使喷嘴和基板2相对移动，在基板2上配置电极材料的装置。还有，也可以预先在基板2上设置用于阻止在相邻的阴极隔离器4之间配置的材料向图12A的左右方向流动的隔壁。
此处，围堰层10的表面因为通过上述的等离子处理工序进行了疏液处理，所以从喷嘴喷吐的第2膜5b的形成材料不容易流到围堰层的表面，被良好地配置在第1膜5a上。例如优选相对第2膜5b的形成材料、围堰层10的表面的接触角在60°以上。
还有，关于相对第2膜5b的形成材料的接触角，优选与第1膜5a的表面相比围堰层10的表面高。由此，材料在第1膜5a的表面扩散，而且防止材料向其外(围堰层10)流出。即，能实现材料配置精度的提高。此种情况下，可以是作为第1膜5a的形成材料采用表面能量比较高的材料，也可以实施对第1膜5a的表面赋予亲液化的处理。
作为液滴喷吐方式，能适用利用作为压电体元件的压电元件喷吐印墨的压电方式、加热液体材料并由产生的泡(泡沫)喷吐液体材料的泡沫方式等周知的各种技术。其中，压电方式由于不对液体材料加热，所以具有不会对材料的组成产生影响这样的优点。在本例中，采用上述压电方式。
作为第2电极5的形成材料，采用使导电性微粒子分散到分散剂中的分散液(金属分散系印墨，在本例中是Ag分散印墨)。此处所采用的导电性微粒子除了含有金、银、铜、钯以及镍之中的任意一种的金属微粒子之外，还能使用导电性聚合物或超导体微粒子等。这些导电性微粒子也可以为了使分散性提高而使用在表面涂敷有机物等。作为在导电性微粒子的表面涂敷的涂敷材料，例如能列举出二甲苯、甲苯等的有机溶剂和柠檬酸等。作为含有导电性微粒子的液体的分散剂，因为能分散上述的导电性微粒子，所以只要是不产生凝聚的液体即可而没有特别限定，能列举出酒精类、碳氢系化合物、乙醚系化合物、极性化合物、水等。这些分散剂被管理在室温下的蒸气压力、粘度、分散物质浓度、表面张力等，可以单独、或者作为2种以上的混合物使用。还有，为了调整表面张力，在不使与基板的接触角不恰当减小的范围内，也可以在上述分散液中少量添加氟系、硅系、非离子系等的表面张力调节剂。另外，上述分散液根据需要也可以包含乙醇、乙醚、酯、酮等的有机化合物。
另外，作为使电极材料的涂敷膜干燥(或者烘焙)的技术，能采用在加热炉内(烘焙炉)内配置基板以使涂敷膜加热干燥的炉内烘焙方式、在板(加热板)上搭载基板以通过此板使涂敷膜加热干燥的加热板方式、在能密封的腔室内配置基板并对腔室减压使涂敷膜减压干燥的减压方式等。
由此，如图14所示，在第1膜5a上，第2膜5b形成为对相邻的2个阴极隔离器4不接触状态。这样在第1膜5a上配置了第2膜5b的层叠结构的第2电极5成为实现了厚膜化的构造。特别是，第2膜5b是采用液滴喷吐法进行了材料配置的膜，所以能确实实现厚膜化。
还有，第2膜5b的配置不限定于液滴喷吐法，也可以采用丝网印刷(Screen印刷)法和平板印刷法(Offset印刷)。
另外，在采用了蒸镀法的第1膜5a的形成中，虽然在阴极隔离器4的最上面4d也形成了电极膜(蒸镀膜)，但由于用于实现厚膜化的第2膜5b形成为对相邻的2个阴极隔离器4的双方不接触状态，所以能防止介由阴极隔离器4的第2电极5彼此之间的短路。
(10)密封工序
最后，通过密封树脂7a密封由上述工序形成了第1电极3、有机功能层6以及第2电极5等的基板2和密封罐7b。例如，将由热硬化树脂或者紫外线硬化树脂构成的密封树脂7a涂敷在基板2的周边部分，在密封树脂上配置密封罐7b(参照图3)。密封工序优选在氮、氩、氦等的惰性气体环境中进行。如果在空气中进行，当在第2电极5中产生了气孔等的缺陷的情况下，存在水和氧等从此缺陷部分侵入第2电极5中使第2电极5被氧化的危险，所以不是优选。
此后，通过将在基板2上或者在外部设置的数据侧驱动电路100与第1电极3连接，并将在基板2上或者在外部设置的扫描侧驱动电路101与第2电极5相连，完成本实施方式的有机EL装置1。
根据这样的有机EL装置1，通过第2电极5是由第1膜5a和第2膜5b构成的层叠构造，能实现厚膜化。通过第2电极5的厚膜化，抑制在第2电极5中的电压下降，成为实现了图像质量均匀化的装置。另外，用于实现厚膜化的第2电极5b形成为对相邻的2个阴极隔离器4不接触状态，所以能防止介由阴极隔离器4的第2电极5彼此之间的短路，实现可靠性的提高。
还有，在上述的实施方式中，作为发光层61采用了低分子的材料，但也可以采用高分子材料。还有，作为高分子系的发光层材料能采用(聚)对苯撑乙烯撑衍生物、聚苯撑衍生物、聚芴衍生物、聚乙烯基咔唑、聚噻酚衍生物、紫苏烯系色素、香豆素系色素、碱性蕊香红系色素或者在这些高分子材料中掺杂红荧烯、紫苏烯、9，10-二本基蒽、四苯基丁二烯、尼罗红、香豆素6、喹吖酮等。
(第2实施方式)
接着，对于本有机EL装置的第2实施方式利用图1 5进行说明。
在本实施方式中，如图15所示，第2电极5由第1膜5a、第2膜5b以及第3膜5c构成的层叠结构构成。制造这样的有机EL装置1时，在第2电极5的形成工序中，重复进行在由蒸镀法形成的电极膜(第1膜5a)上通过液滴喷吐法配置电极材料的工序和干燥所配置的电极材料的工序(在本例中，重复2次)。即，在由蒸镀法形成的第1膜5a上，利用液滴喷吐法形成第2膜5b，再在该第2膜5b上利用液滴喷吐法形成第3膜5c。在这样构成的有机EL装置1中，由于与第1实施方式相比，进一步实现第2电极5的厚膜化，所以更能确实抑制第2电极5中的电压下降。
(第3实施方式)
接着，对于本有机EL装置的第3实施方式利用图16至图1 8进行说明。
在本实施方式中，如图16所示，第2电极5由第1膜5a以及第2膜5b构成的层叠结构构成，第1膜5a由蒸镀法形成，第2膜5b由液滴喷吐法形成。进一步，第2膜5b形成为对在多个阴极隔离器4彼此之间的相邻的2个阴极隔离器4中的一方接触而且对另一方不接触的状态。由此，在本实施方式中也是即使在阴极隔离器4的最上面4d上形成电极膜(蒸镀膜)，也能防止介由阴极隔离器4的第2电极5彼此之间的短路。
在制造这样的有机EL装置1的情况下，在第2电极5的形成工序中，如图17以及图18所示，以对相邻的2个阴极隔离器4中的一方接触而且对于另一方不接触的方式，在作为蒸镀膜的第1膜5a上配置用于实现厚膜化的第2膜5b的形成材料L，其后，使此形成材料干燥、成为第2膜5b。此种情况下，和先前的图13所示的以对阴极隔离器4的双方都不接触的方式配置材料的情况相比，降低材料配置的精度也可以，另外，还优选适用于相邻的2个阴极隔离器4的间隙窄的情况。
还有，本例的情况，通过采用Al、Au等表面能量比较低的材料作为蒸镀膜的第1膜5a的形成材料，对第1膜5a的表面赋予疏液性，能实现在第1膜5a上的材料配置的提高。此种情况下，也可以通过等离子处理等进一步提高第1膜5a表面的疏液性。另外，优选例如相对第2膜5b的形成材料的第1膜5a表面的接触角为60°以上。
(第4实施方式)
接着，利用图19对本有机EL装置的第4实施方式进行说明。
如图19所示，本例的有机EL装置11是利用被称为SUFTLA(SurfaceFree Technology by Laser Ablation)(登录商标)的转写技术，接合了布线基板20、有机EL基板(发光元件基板)30的构成。另外，关于上述转写技术，例如在特开平10-125929号公报、特开平10-125930号公报、特开平10-125931号公报等中有记载。
布线基板20由多层基板21、在多层基板21上形成的规定形状的布线图案22、和布线图案22相连的电路部(IC)23、驱动有机EL元件31的TFT(开关元件)24、接合TFT24和布线图案22的TFT连接部25、接合有机EL元件31和布线图案22的有机EL连接部26构成。
此处，TFT连接部25是对应TFT24的端子图案而形成的部分，例如，由用无电解电镀处理等形成的凸起(导电性突起部)25a和在凸起25a上配置的接合构件25b构成。
有机EL基板30包括透过发光光的透明基板32、由ITO等的透明金属形成的第1电极(阳极)33、有机功能层(空穴注入/传输层34、发光层35)、第2电极(阴极)36、阴极隔离器37而构成。也可以在发光层35和第2电极36之间形成电子注入/传输层。
进一步，在布线基板20与有机EL基板30之间填充密封胶38，并且设置使有机EL连接部26与阴极36间电气导通的导电性胶39。
在本实施方式中，第2电极36包括由蒸镀法形成的第1膜36a和在第1膜36a上形成的第2膜36b。第2膜36b利用液滴喷吐法形成，另外，第2膜36b形成为对相邻阴极隔离器37的双方都不接触状态。其结果，使第2电极36成为厚膜，并避免第2电极36彼此之间的短路。通过第2电极36成为厚膜，在此有机EL装置11中也能抑制第2电极36中的电压下降，实现了图像质量均匀化的装置。
(第5实施方式)
图20表示本发明的电子设备的一种实施方式。本实施方式的电子设备将先前从图1至图3所示的有机EL装置1作为显示机构搭载。图20是表示了携带电话的一例的立体图，符号1000表示携带电话主体，符号1001表示采用了上述的有机EL装置1的显示部。这样有关本发明的电子设备提供具有显示部的电子设备，其中显示部作为抑制电极中的电压下降的结果、实现了图像质量的均匀化。
以上，边参照附图边对有关本发明的适宜的实施方式进行了说明，但显然本发明不限定于相关例子。只要是本领域技术人员，在权利要求书范围内记载的技术的思想范围内，显然能想到、得到各种变形例或者修正例，这些当然也属于本发明的技术的范围内。

Claims (12)

1、一种有机EL装置的制造方法，是在对置的电极间形成有有机功能层而构成的有机EL装置的制造方法；其特征在于，包括：
形成用于将一方电极隔离为带状的多个隔离器的工序；
在所述多个隔离器彼此之间，由蒸镀法形成电极膜的工序；和
在所述多个隔离器彼此之间的由所述蒸镀法形成的电极膜上进一步配置电极材料的工序。
2、根据权利要求1所述的有机EL装置的制造方法，其特征在于，
所述电极材料是金属分散系印墨。
3、根据权利要求1所述的有机EL装置的制造方法，其特征在于，
在所述多个隔离器彼此之间进行所述电极材料的配置，使得对相邻的2个隔离器的双方不接触。
4、根据权利要求1所述的有机EL装置的制造方法，其特征在于，
在所述多个隔离器彼此之间进行所述电极材料的配置，使得对相邻的2个隔离器中的一方接触并对另一方不接触。
5、根据权利要求1所述的有机EL装置的制造方法，其特征在于，
用液滴喷吐法进行所述电极材料的配置。
6、根据权利要求1所述的有机EL装置的制造方法，其特征在于，
由所述蒸镀法形成的电极膜由表面能量低的金属材料形成。
7、一种有机EL装置，是在对置的电极间形成有有机功能层而构成的有机EL装置；其特征在于，
一方的电极被多个隔离器隔离为带状而且是由多层膜构成的层叠构造构成的。
8、根据权利要求7所述的有机EL装置，其特征在于，
所述多层膜包括由蒸镀法形成的第1膜、和在所述多个隔离器彼此之间的所述第1膜上形成为带状的第2膜。
9、根据权利要求8所述的有机EL装置，其特征在于，
所述第2膜用液滴喷吐法形成。
10、根据权利要求8所述的有机EL装置，其特征在于，
所述第2膜在所述多个隔离器彼此之间形成为对相邻的2个隔离器不接触状态。
11、根据权利要求8所述的有机EL装置，其特征在于，
所述第2膜在所述多个隔离器彼此之间形成为对相邻的2个隔离器中的一方接触并对另一方不接触状态。
12、一种电子设备，其特征在于，
作为显示装置具有权利要求7所述的有机EL装置。
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