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Brevets

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Numéro de publicationCN1774667 A
Type de publicationDemande
Numéro de demandeCN 200480010389
Numéro PCTPCT/US2004/011287
Date de publication17 mai 2006
Date de dépôt12 avr. 2004
Date de priorité17 avr. 2003
Autre référence de publicationEP1614000A2, EP1614000A4, EP1614000B1, US7414794, US7570431, US8018657, US8094379, US8599488, US8810915, US8953250, US9086636, US20060017900, US20070076303, US20090262322, US20090317751, US20120075609, US20140055762, US20140320833, US20150109595, WO2004095135A2, WO2004095135A3
Numéro de publication200480010389.2, CN 1774667 A, CN 1774667A, CN 200480010389, CN-A-1774667, CN1774667 A, CN1774667A, CN200480010389, CN200480010389.2, PCT/2004/11287, PCT/US/2004/011287, PCT/US/2004/11287, PCT/US/4/011287, PCT/US/4/11287, PCT/US2004/011287, PCT/US2004/11287, PCT/US2004011287, PCT/US200411287, PCT/US4/011287, PCT/US4/11287, PCT/US4011287, PCT/US411287
InventeursW·T·诺瓦克
Déposant株式会社尼康
Exporter la citationBiBTeX, EndNote, RefMan
Liens externes:  SIPO, Espacenet
用在浸没式平版印刷方法中自动聚焦部件的光学配置
CN 1774667 A
Description  disponible en Chinois
Revendications(40)  disponible en Chinois
Référencé par
Brevet citant Date de dépôt Date de publication Déposant Titre
CN101140426B31 août 20079 juin 2010Asml荷兰有限公司光刻设备和器件制造方法
Classifications
Classification internationaleG03F9/00, G03F7/20, G03B27/34
Classification coopérativeG03F7/2041, G03F7/70641, G03F9/7026, G03F9/7034, G03F7/70958, G03F7/70341, G03F7/70258
Classification européenneG03F7/70F24, G03F9/70B6L, G03F9/70B6F, G03F7/70L10F, G03F7/70P10B, G03F7/20F
Événements juridiques
DateCodeÉvénementDescription
17 mai 2006C06Publication
12 juil. 2006C10Entry into substantive examination
24 mars 2010C02Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)