Recherche Images Maps Play YouTube Actualités Gmail Drive Plus »
Connexion
Les utilisateurs de lecteurs d'écran peuvent cliquer sur ce lien pour activer le mode d'accessibilité. Celui-ci propose les mêmes fonctionnalités principales, mais il est optimisé pour votre lecteur d'écran.

Brevets

  1. Recherche avancée dans les brevets
Numéro de publicationCN1802726 A
Type de publicationDemande
Numéro de demandeCN 200480015978
Numéro PCTPCT/JP2004/008595
Date de publication12 juil. 2006
Date de dépôt18 juin 2004
Date de priorité19 juin 2003
Autre référence de publicationCN100459036C, CN101436003A, CN101436003B, DE602004024782D1, EP1635382A1, EP1635382A4, EP1635382B1, EP2216685A2, EP2216685A3, EP2216685B1, EP2275869A2, EP2275869A3, EP2275869B1, EP2278401A2, EP2278401A3, EP2278401B1, US7321419, US7486385, US7812925, US7969557, US8018575, US8027027, US8319941, US8436978, US8436979, US8692976, US8705001, US8717537, US8724085, US8767177, US8830445, US9001307, US9019473, US9025129, US9274437, US9551943, US20060114445, US20060132739, US20060132740, US20070064214, US20070211234, US20080002166, US20090190112, US20110025996, US20110025997, US20120008111, US20120200837, US20130215403, US20130229637, US20130250257, US20140211176, US20140211177, US20140293252, US20150198897, US20160202617, US20170123326, WO2004114380A1
Numéro de publication200480015978.X, CN 1802726 A, CN 1802726A, CN 200480015978, CN-A-1802726, CN1802726 A, CN1802726A, CN200480015978, CN200480015978.X, PCT/2004/8595, PCT/JP/2004/008595, PCT/JP/2004/08595, PCT/JP/4/008595, PCT/JP/4/08595, PCT/JP2004/008595, PCT/JP2004/08595, PCT/JP2004008595, PCT/JP200408595, PCT/JP4/008595, PCT/JP4/08595, PCT/JP4008595, PCT/JP408595
Inventeurs蛯原明光
Déposant株式会社尼康
Exporter la citationBiBTeX, EndNote, RefMan
Liens externes:  SIPO, Espacenet
曝光装置及器件制造方法
CN 1802726 A
Description  disponible en Chinois
Revendications(33)  disponible en Chinois
Référencé par
Brevet citant Date de dépôt Date de publication Déposant Titre
US775583915 déc. 200413 juil. 2010Carl Zeiss Smt AgMicrolithography projection objective with crystal lens
US778253812 nov. 200824 août 2010Carl Zeiss Smt AgProjection objective having a high aperture and a planar end surface
Classifications
Classification internationaleG03F7/20, H01L21/027
Classification coopérativeG03F7/70333, G03F7/70341, G03F7/70725, G03F7/70225, G03F7/70758, Y10T29/49826, G03F7/70733, G03F7/70325, G03F7/70816, G03F7/70716, B82Y10/00
Classification européenneB82Y10/00, G03F7/70N6, G03F7/70F22, G03F7/70P2B, G03F7/70F24, G03F7/70N4
Événements juridiques
DateCodeÉvénementDescription
12 juil. 2006C06Publication
6 sept. 2006C10Entry into substantive examination
4 févr. 2009C14Grant of patent or utility model