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Brevets

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Numéro de publicationCN1878888 A
Type de publicationDemande
Numéro de demandeCN 200580000427
Numéro PCTPCT/US2005/018313
Date de publication13 déc. 2006
Date de dépôt24 mai 2005
Date de priorité4 juin 2004
Autre référence de publicationCN1878888B, US7776396, US8298614, US8545972, US20050271893, US20050271900, US20080026146, US20080081151, US20100304132, US20110052808
Numéro de publication200580000427.0, CN 1878888 A, CN 1878888A, CN 200580000427, CN-A-1878888, CN1878888 A, CN1878888A, CN200580000427, CN200580000427.0, PCT/2005/18313, PCT/US/2005/018313, PCT/US/2005/18313, PCT/US/5/018313, PCT/US/5/18313, PCT/US2005/018313, PCT/US2005/18313, PCT/US2005018313, PCT/US200518313, PCT/US5/018313, PCT/US5/18313, PCT/US5018313, PCT/US518313
Inventeurs博里斯·科布兰, 杰弗里·D·晴恩, 罗马尔德·诺瓦客, 理查德·C·伊
Déposant应用微型构造公司
Exporter la citationBiBTeX, EndNote, RefMan
Liens externes:  SIPO, Espacenet
由氧化物层粘附的多层涂层的受控气相沉积
CN 1878888 A
Description  disponible en Chinois
Revendications(55)  disponible en Chinois
Référencé par
Brevet citant Date de dépôt Date de publication Déposant Titre
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CN102776486A *7 août 201214 nov. 2012中国科学院半导体研究所BiFeO<sub>3</sub>薄膜的原子层沉积方法
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Classifications
Classification internationaleB05D7/24, B05D7/00, B32B9/00, C23C16/56, B32B15/04, B05D3/14, B21D39/00, C23C16/448, C23C16/455, H01L21/316, C23C16/02, C23C16/40, C23C16/00
Classification coopérativeY10T428/31663, Y10T428/31667, Y10T428/12618, Y10T428/24, Y10T428/12632, Y10T428/265, Y10T428/261, Y10T428/24355, Y10T428/24975, Y10T428/24967, C23C16/455, C23C16/448, C23C16/401, C23C16/45557, B05D1/185, B05D1/60, C23C16/0227, C03C23/006, C23C16/0245, C23C16/4485, C03C17/42, B05D3/142, B82Y30/00, C23C16/402, C23C16/0272, C23C16/56, B05D7/52, B05D7/56, B82Y40/00, B05D3/145
Classification européenneB82Y30/00, C23C16/56, C23C16/40B, C23C16/02H, B05D1/60, C23C16/02D4, C23C16/455G, C23C16/448D, C03C23/00B22, C03C17/42, B05D1/18C, C23C16/455, C23C16/448, B82Y40/00, C23C16/02D, C23C16/40B2
Événements juridiques
DateCodeÉvénementDescription
13 déc. 2006C06Publication
7 févr. 2007C10Request of examination as to substance
27 oct. 2010C14Granted