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Brevets

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Numéro de publicationCN1906751 A
Type de publicationDemande
Numéro de demandeCN 200480041101
Numéro PCTPCT/US2004/043912
Date de publication31 janv. 2007
Date de dépôt30 déc. 2004
Date de priorité30 janv. 2004
Autre référence de publicationCN1906751B, US7217649, US8017516, US20050106848, US20070190771, WO2005076349A1
Numéro de publication200480041101.8, CN 1906751 A, CN 1906751A, CN 200480041101, CN-A-1906751, CN1906751 A, CN1906751A, CN200480041101, CN200480041101.8, PCT/2004/43912, PCT/US/2004/043912, PCT/US/2004/43912, PCT/US/4/043912, PCT/US/4/43912, PCT/US2004/043912, PCT/US2004/43912, PCT/US2004043912, PCT/US200443912, PCT/US4/043912, PCT/US4/43912, PCT/US4043912, PCT/US443912
InventeursA·D·贝利三世, S·P·娄荷凯
Déposant兰姆研究有限公司
Exporter la citationBiBTeX, EndNote, RefMan
Liens externes:  SIPO, Espacenet
用于无应力导体去除的系统和方法
CN 1906751 A
Description  disponible en Chinois
Revendications(21)  disponible en Chinois
Classifications
Classification internationaleH01L21/3213, H01L21/461, H01J37/32, H01L23/52, H01L21/00, H01L29/40, H01L29/24, H01L21/44, H01L21/302, H01L23/48, H01L33/00, H01L21/4763, H01L21/321, H01L21/311, H01L21/768
Classification coopérativeH01L21/6708, H01L21/32135, H01L21/67051, H01L21/76819, H01J37/32522, H01L21/67034, H01L21/7684, H01L21/32115, H01L21/31116, H01J2237/022, H01L21/32136
Classification européenneH01J37/32O4H, H01L21/67S2D4D, H01L21/67S2D8W4, H01L21/67S2D4W4, H01L21/311B2B, H01L21/768C2, H01L21/3213C4, H01L21/3213C4B, H01L21/321P, H01L21/768B4
Événements juridiques
DateCodeÉvénementDescription
31 janv. 2007C06Publication
18 avr. 2007C10Request of examination as to substance
29 sept. 2010C14Granted