DE10016530C1 - Test head handling device, has base frame provided with chassis open on side facing handler for fitting around its outside in docking position - Google Patents

Test head handling device, has base frame provided with chassis open on side facing handler for fitting around its outside in docking position

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    • G01R31/2887Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations

Abstract

The handling device (10) has a base frame provided with a chassis (13) mounted on rollers, with displacement of the test head (11) relative to the chassis in a first direction (Y), for docking with a handler (18). The chassis is open on the side facing the handler and fits around the outside of the latter in the docking position. An Independent claim for a method for adjusting a test head relative to a handler is also included.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Handhabungsgerät für einen Testkopf mit einem Untergestell, das einen Rahmen mit Rollen auf­ weist, wobei der Testkopf gegenüber dem Rahmen in einer ersten Richtung Y verschieblich und einem Handler zustellbar ist. Sie betrifft weiter ein Verfahren zum Justieren eines Testkopfs gegenüber einem Handler.The present invention relates to a handling device for a Test head with a base, which is a frame with rollers points, the test head relative to the frame in a first Slidable in direction Y and can be delivered to a handler. It affects a method for adjusting a test head relative to a Handler.

Ein derartiges Handhabungsgerät wird von dem Anmelder unter der Bezeichnung Handler-Manipulator MP 911 vertrieben. Beim Justieren dieses bekannten Handhabungsgeräts wird zunächst der Rahmen ge­ genüber einem Handler festgelegt. Anschließend wird der Testkopf entlang des Rahmens zum Handler verfahren und mit diesem gedockt. Nach dem Docken werden die verschiedenen Einstellmöglichkeiten des Testkopfs gegenüber dem Rahmen verriegelt. Für Wartungsarbeiten wird lediglich die Beweglichkeit des Testkopfs entlang des Rahmens freigegeben, so daß die Dockingposition stets eindeutig reproduzierbar ist. Ein ähnliches Handhabungsgerät und ein ähnliches Verfahren sind auch aus der US 5,818,219 bekannt.Such a handling device is sold by the applicant under the name Handler-Manipulator MP 911 . When adjusting this known handling device, the frame is first set against a handler. The test head is then moved along the frame to the handler and docked with it. After docking, the various adjustment options of the test head are locked against the frame. Only the mobility of the test head along the frame is released for maintenance work, so that the docking position is always clearly reproducible. A similar handling device and a similar method are also known from US 5,818,219.

Problematisch bei den bekannten Handhabungsgeräten ist, daß relativ viel Standfläche benötigt wird. Die Handhabungsgeräte und die Handler werden im allgemeinen in Rein- oder Reinsträumen aufgestellt, in denen die Standfläche sehr teuer ist. Die Verschieblichkeit des Testkopfs ge­ genüber dem Handler ist wegen Wartungsarbeiten erforderlich. Nach Abschluß dieser Arbeiten muß die Position des Testkopfs gegenüber dem Handler eindeutig reproduziert werden. Ist diese Reproduzierbar­ keit nicht gewährleistet, muß der Testkopf nochmals vollständig ausge­ richtet werden, was zu erheblichen Stillstandszeiten führt.The problem with the known handling devices is that relative a lot of floor space is required. The handling devices and the handlers  are generally set up in clean or clean rooms, in which the stand space is very expensive. The displacement of the test head ge towards the handler is required due to maintenance work. To Completion of this work must face the position of the test head clearly reproduced by the handler. Is this reproducible? not guaranteed, the test head must be completely removed again be directed, which leads to considerable downtimes.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine verringerte Standfläche ohne Beeinträchtigung der Handhabbarkeit und Reprodu­ zierbarkeit der Dockingposition bereitzustellen.The object of the present invention is therefore a reduced Footprint without impairing manageability and reproduction dierability of the docking position.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einem Handhabungsgerät der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß der Rahmen an seiner dem Handler zugewandten Seite geöffnet und derart verfahrbar ist, daß er den Handler umgreift.According to the invention, this object is achieved in a handling device type mentioned solved in that the frame on its the hander-facing side is open and can be moved in such a way that he grabs the handler.

Bei dem erfindungsgemäßen Handhabungsgerät wird zunächst wie üb­ lich der Rahmen gegenüber dem Handler positioniert. Anschließend wird der Testkopf gegenüber dem Rahmen in die Dockingposition am Handler verfahren. Nach dem Andocken wird der Rahmen weiter auf den Handler zu verfahren und umgreift diesen. Die im Betrieb erforder­ liche Standfläche wird daher wesentlich verringert. Gleichzeitig ist die gewünschte Reproduzierbarkeit noch gegeben. Zum Entfernen des Testkopfs wird zunächst der Rahmen vom Handler weg verfahren und gegenüber dem Boden fixiert. Anschließend kann der Testkopf ohne weiteres vom Handler entfernt und anschließend exakt reproduzierbar wieder in die Dockingposition verbracht werden. In the handling device according to the invention is first as usual The frame is positioned opposite the handler. Subsequently the test head is placed in the docking position opposite the frame Handler proceed. After docking, the frame will continue to open to move the handler and grips it. The required in operation Liche footprint is therefore significantly reduced. At the same time it is desired reproducibility is still given. To remove the Test head, the frame is first moved away from the handler and fixed against the floor. The test head can then be used without further removed from the handler and then exactly reproducible be returned to the docking position.  

Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den abhängigen Ansprüchen hervor.Advantageous refinements and developments of the invention go from the dependent claims.

Vorteilhaft ist der Rahmen mit höhenverstellbaren Stützfüßen verse­ hen. Diese Stützfüße ermöglichen eine Entlastung der Rollen und gleichzeitig ein eindeutiges Fixieren der Position des Rahmens gegen­ über dem Fußboden oder einer anderen Abstützfläche.The frame with height-adjustable support feet is advantageous verse hen. These support feet allow a relief of the roles and at the same time a clear fixation of the position of the frame against above the floor or other support surface.

In vorteilhafter Ausgestaltung ist der Testkopf an einer Halterung des Untergestells höhenverstellbar und drehbar geführt, wobei die Halte­ rung gegenüber dem Rahmen in der ersten Richtung Y verschieblich ist. Über die Halterung kann der Testkopf in einer Reihe von Freiheits­ graden feinjustiert werden. Ein extrem hochgenaues Ausrichten des Rahmens gegenüber dem Handler ist daher nicht erforderlich.In an advantageous embodiment, the test head is on a holder of the Underframe height adjustable and rotatably guided, the holding tion relative to the frame in the first direction Y is. Using the bracket, the test head can be used in a range of freedom degrees can be fine-adjusted. An extremely highly precise alignment of the Framework towards the handler is therefore not necessary.

Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung ist der Testkopf gegenüber der Halterung arretierbar. Nach dem Andocken des Testkopfs an den Handler wird der Testkopf gegenüber der Halterung arretiert. Als einzi­ ge Bewegungsmöglichkeit bleibt das Verschieben der Halterung gegen­ über dem Rahmen. Die Dockingposition ist somit eindeutig reproduzier­ bar.According to an advantageous development, the test head is opposite the bracket can be locked. After docking the test head to the Handler the test head is locked against the holder. As the only one The possibility of moving the holder remains against over the frame. The docking position is thus clearly reproduced bar.

Vorteilhaft ist die Halterung gegenüber dem Rahmen arretierbar. Ein unbeabsichtigtes Verschieben zwischen Halterung und Rahmen wird jedoch ausgeschlossen.The holder can advantageously be locked relative to the frame. On unintentional moving between bracket and frame however excluded.

Nach einer vorteilhaften Ausgestaltung ist der Testkopf mit mindestens zwei Stiften zum Bereitstellen einer eindeutigen Position gegenüber dem Handler versehen. Die Stifte greifen beim Andocken an den Handler in zugehörige Ausnehmungen des Handlers ein und richten den Testkopf automatisch in der gewünschten Dockingposition aus.According to an advantageous embodiment, the test head is at least two pens to provide a unique position the handler. The pins grip the when docking  Set the handler in the corresponding recesses of the handler and set it up Test head automatically in the desired docking position.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird zuerst ein Rahmen, der zum Justieren eines Testkopfs gegenüber einem Handler, insbesondere unter Verwendung des vorstehend beschriebenen Handhabungsgeräts, bezüglich des Handlers positioniert, anschließend die Halterung zu­ sammen mit dem Testkopf entlang des Rahmens zum Handler verfah­ ren und der Testkopf an den Handler angedockt.In the method according to the invention, first a frame that for adjusting a test head relative to a handler, in particular using the handling device described above, positioned with respect to the handler, then the bracket closed together with the test head along the frame to the handler and the test head docked to the handler.

Erfindungsgemäß wird nach dem Andocken der Rahmen gegenüber der Halterung auf den Handler zu verfahren. Hierdurch wird eine wesentli­ che Verringerung der Standfläche ohne Beeinträchtigung der Handhab­ barkeit und bei reproduzierbarer Dockingposition erreicht.According to the invention, after the docking, the frame is opposite the To move the bracket to the handler. This is an essential che reduction of the footprint without impairing the handling availability and achieved with a reproducible docking position.

Nachstehend wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert, das in schematischer Weise in der Zeichnung darge­ stellt ist. Dabei zeigt:The invention based on an exemplary embodiment explained in more detail that Darge schematically in the drawing represents is. It shows:

Fig. 1 eine Vorderansicht des erfindungsgemäßen Handhabungs­ geräts mit einem Testkopf; Figure 1 is a front view of the handling device according to the invention with a test head.

Fig. 2 eine Ansicht ähnlich Fig. 1 mit abgesenktem Testkopf; FIG. 2 is a view similar to FIG. 1 with the test head lowered;

Fig. 3 eine Draufsicht auf das erfindungsgemäße Handhabungs­ gerät mit dem Testkopf; Figure 3 is a plan view of the handling device according to the invention with the test head.

Fig. 4 eine Ansicht ähnlich Fig. 1 mit verfahrener Halterung; FIG. 4 is a view similar to FIG. 1 with the holder moved;

Fig. 5 eine Seitenansicht des erfindungsgemäßen Handhabungs­ geräts beim Docking mit einem Handler; und Figure 5 is a side view of the handling device according to the invention when docking with a handler. and

Fig. 6 eine Ansicht ähnlich Fig. 5 mit verfahrenem Rahmen. Fig. 6 is a view similar to FIG. 5 with the frame moved.

In den Fig. 1 und 2 ist ein Handhabungsgerät 10 mit einem aufge­ nommenem Testkopf 11 dargestellt. Das Handhabungsgerät 10 weist ein Untergestell mit einem Rahmen 13 und einer Halterung 16 auf. Der Rahmen 13 ist mit Rollen 14 und höhenverstellbaren Stützfüßen 15 versehen. Die Halterung 16 ermöglicht eine Bewegung des Testkopfs 11 in die beiden Richtungen X, Z sowie eine Drehung um sämtliche Raumachsen gemäß den Pfeilrichtungen 20, 21, 22 (vgl. Fig. 3, Fig. 5). Der Testkopf 11 ist mit drei Stiften 17 zum Ausrichten in der Doc­ kingposition versehen. Fig. 2 zeigt das Handhabungsgerät 10 gemäß Fig. 1 mit abgesenktem Testkopf 11.In Figs. 1 and 2, a handling device 10 is shown with a vapor nommenem test head 11. The handling device 10 has a base frame with a frame 13 and a holder 16 . The frame 13 is provided with rollers 14 and height-adjustable support feet 15 . The holder 16 enables a movement of the test head 11 in the two directions X, Z and a rotation about all spatial axes according to the arrow directions 20 , 21 , 22 (cf. FIG. 3, FIG. 5). The test head 11 is provided with three pins 17 for alignment in the doc king position. FIG. 2 shows the handling device 10 according to FIG. 1 with the test head 11 lowered.

In beiden Figuren stützt sich der Rahmen 13 nicht mehr über die Rollen 14, sondern über die höhenverstellbaren Stützfüße 15 an dem Boden 19 ab.In both figures, the frame 13 is no longer supported on the floor 19 via the rollers 14 , but rather via the height-adjustable support feet 15 .

Die Fig. 3 und 4 zeigen eine Draufsicht auf das erfindungsgemäße Handhabungsgerät 10. Die Halterung 16 ist gegenüber dem Rahmen 13 in Richtung Y verstellbar. Selbstverständlich ist daher auch der Rahmen 13 gegenüber der Halterung 16 in dieser Richtung beweglich. Weiter ist der Rahmen 13 an seiner einem Handler 18 zugewandten Seite geöffnet. Der Rahmen 13 ist daher in der Draufsicht etwa U- förmig ausgebildet. FIGS. 3 and 4 show a plan view of the inventive handling apparatus 10. The bracket 16 is adjustable relative to the frame 13 in the Y direction. Of course, the frame 13 can therefore also be moved in this direction with respect to the holder 16 . The frame 13 is also open on its side facing a handler 18 . The frame 13 is therefore approximately U-shaped in plan view.

Nach dem Andocken des Testkopfs 11 an dem Handler 18 kann daher der Rahmen 13 gegenüber der Halterung 16 auf den Handler 18 zu verfahren werden, so daß die erforderliche Standfläche wesentlich ver­ ringert wird.After docking the test head 11 on the handler 18 , the frame 13 can therefore be moved relative to the holder 16 on the handler 18 , so that the required footprint is significantly reduced ver.

Das Andocken des Testkopfs 11 an den Handler 18 und das Verfahren des Rahmens 13 ist in den Fig. 5 und 6 schematisch dargestellt. Zunächst wird der Rahmen 13 gegenüber dem Handler 18 positioniert. Um ein unbeabsichtigtes Verschieben des Rahmens 13 auszuschließen, werden die Stützfüße 15 abgesenkt und die Rollen 14 angehoben. An­ schließend wird der Testkopf 11 mit der Halterung 16 in Pfeilrichtung Y zum Handler 18 verfahren und an diesem angedockt. Zum Ausrich­ ten in der Dockingposition dienen die Stifte 17. Nach dem Andocken wird der Testkopf 11 gegenüber der Halterung 16 arretiert. Anschlie­ ßend werden die Stützfüße 15 wieder eingefahren, so daß die Rollen 14 auf dem Boden 19 aufsitzen. Der hierbei auftretende Höhenunter­ schied des Rahmens 13 wird von der Halterung 16 ausgeglichen. Da­ nach wird der Rahmen 13 auf den Handler 18 zu verfahren. Ein Verfah­ ren bis zum Ende des Rahmens 13 ist im Regelfall nicht erforderlich, da sich hierdurch auf Grund des über die Halterung 16 überstehenden Testkopfes 11 im Regelfall keine weitere Verringerung der Standfläche erreichen läßt. Nach Abschluß des Verfahrens des Rahmens 13 werden die Stützfüße 15 wieder abgesenkt und somit der Testkopf 11 eindeu­ tig gegenüber dem Handler 18 positioniert.The docking of the test head 11 to the handler 18 and the movement of the frame 13 is shown schematically in FIGS. 5 and 6. First, the frame 13 is positioned opposite the handler 18 . In order to rule out unintentional displacement of the frame 13 , the support feet 15 are lowered and the rollers 14 are raised. At closing, the test head 11 is moved with the holder 16 in the direction of the arrow Y to the handler 18 and docked onto it. The pins 17 are used for aligning in the docking position. After docking, the test head 11 is locked relative to the holder 16 . Subsequently, the support feet 15 are retracted so that the rollers 14 sit on the floor 19 . The resulting difference in height of the frame 13 is compensated for by the bracket 16 . Since after the frame 13 is moved to the handler 18 . A procedural ren up to the end of the frame 13 is generally not necessary, since this can generally achieve no further reduction in the footprint due to the test head 11 protruding from the holder 16 . After completion of the process of the frame 13 , the support feet 15 are lowered again and thus the test head 11 is positioned unambiguously with respect to the handler 18 .

Falls der Testkopf 11 für Wartungsarbeiten vom Handler 18 entfernt werden muß, wird zunächst der Rahmen wieder in die in Fig. 5 ge­ zeigte Position gebracht und anschließend der Testkopf 11 in Richtung Y vom Handler 18 entfernt. Auf Grund der Arretierung des Testkopfs 11 gegenüber der Halterung 16 ist die Dockingposition exakt reprodu­ zierbar. Ein erneutes Ausrichten des Testkopfes 11 gegenüber dem Handler 18 ist nicht erforderlich. Es wird somit die gewünschte Repro­ duzierbarkeit der Dockingposition bei einer wesentlichen Verringerung der Standfläche erreicht.If the test head 11 has to be removed from the handler 18 for maintenance work, the frame is first brought back into the position shown in FIG. 5 and then the test head 11 is removed in the Y direction from the handler 18 . Due to the locking of the test head 11 relative to the holder 16 , the docking position is exactly reproducible. A new alignment of the test head 11 with respect to the handler 18 is not necessary. The desired reproducibility of the docking position is thus achieved with a substantial reduction in the footprint.

Claims (7)

1. Handhabungsgerät für einen Testkopf (11) mit einem Unterge­ stell (12), das einen Rahmen (13) mit Rollen (14) aufweist, wo­ bei der Testkopf (11) gegenüber dem Rahmen (13) in einer er­ sten Richtung Y verschieblich und einem Handler (18) zustellbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Rahmen (13) an seiner dem Handler (18) zugewandten Seite geöffnet und derart ver­ fahrbar ist, daß er den Handler (18) umgreift.1. Handling device for a test head ( 11 ) with a Unterge stell ( 12 ) having a frame ( 13 ) with rollers ( 14 ), where in the test head ( 11 ) relative to the frame ( 13 ) in a he direction Y displaceable and a handler ( 18 ) can be delivered, characterized in that the frame ( 13 ) on its side facing the handler ( 18 ) is open and can be moved in such a way that it encompasses the handler ( 18 ). 2. Handhabungsgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Rahmen (13) mit höhenverstellbaren Stützfüßen (15) versehen ist.2. Handling device according to claim 1, characterized in that the frame ( 13 ) with height-adjustable support feet ( 15 ) is provided. 3. Handhabungsgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Testkopf (11) an einer Halterung (16) des Un­ tergestells (12) höhenverstellbar und drehbar geführt ist und die Halterung (16) gegenüber dem Rahmen (13) in der ersten Rich­ tung Y verschieblich ist.3. Handling device according to claim 1 or 2, characterized in that the test head ( 11 ) on a bracket ( 16 ) of the Un subframe ( 12 ) is adjustable and rotatably guided and the bracket ( 16 ) relative to the frame ( 13 ) in the first direction Y is displaceable. 4. Handhabungsgerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Testkopf (11) gegenüber der Halterung (16) arretierbar ist. 4. Handling device according to claim 3, characterized in that the test head ( 11 ) relative to the holder ( 16 ) can be locked. 5. Handhabungsgerät nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Halterung (16) gegenüber dem Rahmen (13) arretierbar ist.5. Handling device according to claim 3 or 4, characterized in that the holder ( 16 ) relative to the frame ( 13 ) can be locked. 6. Handhabungsgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Testkopf (11) mit mindestens zwei Stiften (17) zum Bereitstellen einer eindeutigen Dockingposition gegenüber dem Handler (18) versehen ist.6. Handling device according to one of claims 1 to 5, characterized in that the test head ( 11 ) is provided with at least two pins ( 17 ) for providing a clear docking position relative to the handler ( 18 ). 7. Verfahren zum Justieren eines Testkopfs (11) gegenüber einem Handler (18), insbesondere unter Verwendung eines Handha­ bungsgeräts (10) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wo­ bei zuerst ein Rahmen (13), der den Testkopf (11) über eine Hal­ terung (16) trägt, bezüglich des Handlers (18) positioniert und anschließend die Halterung (16) zusammen mit dem Testkopf (11) entlang des Rahmens (13) zum Handler (18) verfahren und der Testkopf (11) an den Handler (18) angedockt wird, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Andocken der Rahmen (13) ge­ genüber der Halterung (16) auf den Handler (18) zu verfahren wird.7. A method for adjusting a test head ( 11 ) relative to a handler ( 18 ), in particular using a handling device ( 10 ) according to one of the preceding claims, where at first a frame ( 13 ) which the test head ( 11 ) over a Hal tion ( 16 ), positioned with respect to the handler ( 18 ) and then the holder ( 16 ) together with the test head ( 11 ) move along the frame ( 13 ) to the handler ( 18 ) and the test head ( 11 ) to the handler ( 18 ) is docked, characterized in that after docking, the frame ( 13 ) is moved relative to the holder ( 16 ) on the handler ( 18 ).
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