DE10025261A1 - Flüssigkristallanzeige und Verfahren zum Herstellen derselben - Google Patents
Flüssigkristallanzeige und Verfahren zum Herstellen derselbenInfo
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Abstract
Flüssigkristallanzeige und Verfahren zum Herstellen derselben, die bzw. das vermag, die Adhäsion zwischen einem Dichtmittel und einer unteren Platte in einem Feld mit einem hohen Aperturverhältnis, auf welches Feld eine organische Schutzschicht aufgebracht ist, zu verstärken. Die organische Schutzschicht und eine Gateisolierungsschicht sind so strukturiert, daß das Dichtmittel in direktem Kontakt mit einem Substrat steht. Entsprechend wird die organische Schutzschicht oder die Gateisolierungsschicht in dem mit dem Dichtmittel beschichteten Bereich teilweise oder vollständig entfernt, so daß das Dichtmittel in direkten Kontakt mit der Gateisolierungsschicht oder dem unteren Glas gebracht wird, wodurch die Adhäsion zwischen dem Dichtmittel und der unteren Platte verstärkt ist.
Description
Die Erfindung schafft eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung,
und insbesondere eine Flüssigkristallanzeige, die zu einer
verstärkenden Adhäsion zwischen der oberen und der unteren
Platte eines Felds mit einem hohen Aperturverhältnis, auf wel
ches Feld eine organische Schutzschicht aufgetragen ist, fähig
ist, und ein Verfahren zum Herstellen derselben.
Allgemein wird bei einer Flüssigkristallanzeige (LCD) die
Lichtdurchlässigkeit gemäß Videosignalen durch in einem Matrix
muster angeordnete Flüssigkristallzellen gesteuert, so dass ein
den Videosignalen entsprechendes Bild auf einem Flüssigkri
stallfeld angezeigt wird. Zu diesem Zweck weist die LCD ein
Flüssigkristallfeld mit Aktivmatrix-artig angeordneten Flüssig
kristallzellen und integrierte Ansteuerschaltungen (ICs) zum
Ansteuern der Flüssigkristallzellen auf. Die ICs sind üblicher
weise in Chipform hergestellt und werden im Fall eines Tape
Automated Bonding (TAB)-Systems auf einem Tape Carrier Package
montiert, oder im Fall eines Chip-auf-Glas (COG)-Systems auf
der Oberfläche des Flüssigkristallfelds montiert. Im Fall eines
TAB-Systems sind die Ansteuer-ICs mittels des TCP mit einer auf
dem Flüssigkristallfeld vorgesehenen Kontaktierungsfläche elek
trisch gekoppelt.
Fig. 1 zeigt eine Draufsicht auf ein Flüssigkristallfeld 2,
das eine Struktur mit einer unteren Platte 4 und einer gegen
überliegenden und daran haftenden oberen Platte 6 aufweist. In
Bezug auf Fig. 1 weist das Flüssigkristallfeld 2 einen Bild
anzeigeteil 8 mit in einem Matrixmuster angeordneten Flüssig
kristallzellen, Gatekontaktierungsflächen 12 und Datenkontak
tierungsflächen 14 auf, die mit Gateleitungen bzw. Datenleitun
gen des Bildanzeigeteils 8 verbunden sind. Im Bildanzeigeteil 8
kreuzen sich die Datenleitungen, an denen Videosignale anliegen
und Gateleitungen, an denen ein Abtastsignal, d. h. ein Gatesi
gnal an der unteren Platte 4 anliegt. An den Kreuzungen sind
Dünnschichttransistoren (TFTs) zum Schalten der Flüssigkristall
zellen und mit den Dünnschichttransistoren verbundene Pixelele
troden zum Ansteuern der Flüssigkristallzellen vorgesehen. An
der oberen Platte 6 sind Farbfilter vorgesehen, die mittels
einer schwarzen Matrix und einer gemeinsamen transparenten
Elektrode, die einen Gegenpart zur Pixelelektrode darstellt,
für jeden Bereich gesondert schichtartig aufgetragen sind. Die
untere Platte 4 und die obere Platte 6, die die oben beschrie
bene Konfiguration aufweisen, sind durch einen Spacer (Spacer =
Abstandsstück) voneinander getrennt und weisen innerhalb des
selben einen Zellspalt auf. Der Zellspalt ist mit einem Flüs
sigkristallmaterial gefüllt. Die untere Platte 4 haftet mittels
eines auf die Dichtung 10, die außerhalb des Bildanzeigeteils 8
angeordnet ist, schichtartig aufgetragenen Dichtmittels an der
oberen Platte 6. Die Gatekontaktierungsflächen 12 und die Da
tenkontaktierungsflächen 14 sind an dem Rand der unteren Platte
4 angeordnet, der nicht mit der oberen Platte 6 überlappt. Von
den Gatekontaktierungsflächen 12 werden von den Gate-Ansteuer-
ICs angelegte Gatesignale an die Gateleitungen des Bildanzeige
teils 8 angelegt. Von den Datenkontaktierungsflächen 14 werden
von den Daten-Ansteuer-ICs angelegte Videosignale an die Daten
leitungen des Bildanzeigeteils 8 angelegt.
Die untere Platte 4 ist vollständig mit einer Schutzschicht zum
Schutz der Metallelektroden und der Dünnschichttransistoren
(TFTs) beschichtet. In jedem Zellbereich sind die Pixelelek
troden auf der Schutzschicht ausgebildet. Als Schutzschicht
wurde üblicherweise ein anorganisches Material, z. B. SiNx oder
SiOx, verwendet. Da die anorganische Schutzschicht eine hohe
Dielektrizitätskonstante aufweist und mittels einer Gasphasen
abscheidungs-Technik ausgebildet wird, hat diese Schicht den
Nachteil, dass es schwierig ist, ihre Höhe bzw. Dicke zu erhö
hen. Entsprechend muss zwischen den Pixelelektroden und den
Datenleitungen, zwischen denen die anorganische Schicht ange
ordnet ist, ein konstanter horizontaler Abstand von z. B. 3 µm
bis 5 µm beibehalten werden, so dass durch parasitäre Kapazitä
ten verursachte Kopplungseffekte minimiert sind. Folglich wird
die Größe der Pixelelektroden, die einen Einfluss auf das Aper
turverhältnis der Flüssigkristallzelle hat, verringert, so dass
man ein niedriges Aperturverhältnis erhält. Um dieses Problem
zu lösen, wurde kürzlich als Schutzschicht ein organisches
Material mit einer relativ niedrigen Dielektrizitätskonstante
verwendet. Da diese organische Schutzschicht eine niedrige Die
lektrizitätskonstante von ungefähr 2,7 aufweist und mittels
eines Spin-Coating-Verfahrens (Aufschleuder-Technik) ausgebil
det wird, hat sie den Vorteil, dass sie zu einer gewünschten
Höhe oder Dicke ausgebildet werden kann. Solch eine organische
Schutzschicht minimiert den Kapazitätswert der parasitären
Kapazität, so dass die Pixelelektrode mit den Datenleitungen
überlappen kann, ohne dass dazwischen ein horizontaler Abstand
verbleibt. In Folge ist die Größe der Pixelelektroden erhöht,
so dass das Aperturverhältnis verbessert ist.
Wenn die untere und die obere Platte der Flüssigkristallanzeige
mit einem so hohen Aperturverhältnis mittels eines Dichtmittels
aneinandergeklebt werden, hat das Dichtmittel üblicherweise
Kontakt mit der organischen Schutzschicht der unteren Platte.
Jedoch hat die organische Schutzschicht bezüglich eines Dicht
mittels wie z. B. Epoxid-Harz schwache Hafteigenschaften. Auch
hat die organische Schutzschicht schwache Hafteigenschaften be
züglich einer im unteren Teil derselben angeordneten Gateiso
lierungsschicht. Dadurch wird, wenn die Stärke der organischen
Schutzschicht selbst schwach ist, oder wenn die Haftung zwi
schen der organischen Schutzschicht und dem Dichtmittel oder
der Gateisolierungsschicht schwach ist, bereits durch einen
unbedeutenden Schlag auf den schwach haftenden Teil bewirkt,
dass Sprünge oder Risse auftreten oder Schichten sich vonein
andet trennen. Folglich tritt das Problem auf, dass Flüssigkri
stall durch einen schwach haftenden Teil zwischen dem Dicht
mittel und der Gateisolierungsschicht des unteren und des obe
ren Teils der organischen Schutzschicht hindurchleckt. Im Fol
genden wird das Problem bei herkömmlichen Flüssigkristallanzei
gen anhand der Zeichnung im Detail beschrieben.
Fig. 2 zeigt eine vergrößerte Ansicht eines Teils einer von
der Dichtung aus Fig. 1 durchkreuzten Datenzuführung. Die
Datenzuführung 16 in Fig. 2 stellt ein Verbindungsstück zwi
schen der Datenkontaktierungsfläche 14 und der Datenleitung des
Bildanzeigeteils dar und ist zusammen mit der Datenkontaktie
rungsfläche 14 und der Datenleitung ausgebildet. Im unteren
Bereich der Datenzuführung 16 erstreckt sich ein Halbleitermu
ster 18 in die Datenkontaktierungsfläche 14. Die mit einem
Dichtmittel überzogene Dichtung 10 ist in einer Richtung an
geordnet, die die Datenzuführung 16 kreuzt. Mittels der Daten
kontaktierungsfläche 14 wird durch ein in der organischen
Schutzschicht definiertes Kontaktloch hindurch eine auf der
organischen Schutzschicht ausgebildete transparente Schicht 17
kontaktiert. Die transparente Schicht 17 dient zum Schutz der
als Metallelektrode ausgebildeten Datenkontaktierungsfläche und
zum Verhindern einer Oxidation der Metallelektrode, während die
für einen TAB-Prozess erforderliche Wiederholung einer TCP-
Adhäsion durchgeführt wird.
Fig. 3A zeigt die Dichtung 10 aus Fig. 2 im entlang der Linie
A-A' genommenen Schnitt, und Fig. 3B zeigt die Dichtung 10 im
entlang der Line B-B' genommenen Schnitt. In Fig. 3A und 3B
hat die untere Platte 4 eine solche Struktur, dass eine Gate
isolierungsschicht 22, ein Halbleitermuster 18 und eine Daten
zuführung 16 sequentiell auf ein unteres Glas 20 aufgetragen
werden und dasselbe vollständig mit einer organischen Schutz
schicht 24 beschichtet wird. In Fig. 3B wurde in die rechte
Seite eines Dichtmittels 11 ein Flüssigkristall 32 des Bild
anzeigeteils injiziert. Die obere Platte 6 hat eine solche
Struktur, dass auf einem oberen Glas 30 ein Farbfilter und eine
schwarze Matrix 26 ausgebildet sind, und das obere Glas 30
vollständig mit einer gemeinsamen transparenten Elektrode be
schichtet ist. Die untere Platte 4 ist mittels des Dichtmittels
11 an die obere Platte 6 geklebt. In diesem Fall haftet das
Dichtmittel 11 an der organischen Schutzschicht 24, wodurch
eine schwache Haftung gegeben ist. Außerdem hat die organische
Schutzschicht 24 eine schwache Haftung zur Gateisolierungs
schicht 22 in deren unterem Bereich. Es besteht das Problem,
dass, wenn die Adhäsion zwischen der organischen Schutzschicht
24 und dem Dichtmittel 11 oder der Gateisolierungsschicht 22
schwach ist, bereits durch einen unbedeutenden Schlag Risse
oder Sprünge erzeugt werden, so dass Flüssigkristall heraus
leckt.
Fig. 4 zeigt eine vergrößerte Ansicht eines Teils einer von
der Dichtung aus Fig. 1 durchkreuzten Gatezuführung. Die Gate
zuführung 34 in Fig. 4 bildet ein Verbindungsstück zwischen
der Gatekontaktierungsfläche 12 und der Gateleitung des Bild
anzeigeteils und ist zusammen mit der Gatekontaktierungsfläche
12 und der Gateleitung ausgebildet. Von der Gatekontaktierungs
fläche 12 wird durch ein mittels der Gateisolierungsschicht und
der organischen Schutzschicht ausgebildetes Kontaktloch 19 hin
durch eine auf der organischen Schutzschicht ausgebildete
transparente Schicht 17 kontaktiert. Die transparente Schicht
17 dient zum Schutz einer als Gatekontaktierungsfläche dienen
den Metallelektrode. Die mit einem Dichtmittel überzogene Dich
tung 10 ist in eine Richtung angeordnet, die die Gatezuführung
34 kreuzt.
Fig. 5A zeigt die die Dichtung 10 aus Fig. 4 im entlang der
Linie A-A' genommenen Schnitt, und Fig. 5B zeigt die Dichtung
10 im entlang der Linie B-B' genommenen Schnitt. In Fig. 5A
und 5B hat die untere Platte 4 eine solche Struktur, dass auf
einem unteren Glas 20 sequentiell die Gatezuführung 34 und eine
Gateisolierungsschicht 22 aufgebracht werden, und das untere
Glas 20 vollständig mit einer organischen Schutzschicht 24
überzogen wird. Die obere Platte 6 hat eine solche Struktur,
dass auf einem oberen Glas 30 ein Farbfilter und eine schwarze
Matrix 26 ausgebildet sind, und das obere Glas 30 vollständig
mit einer gemeinsamen transparenten Elektrode überzogen ist.
Die untere Platte 4 haftet mittels des Dichtmittels 11 an der
oberen Platte 6. In diesem Fall haftet das Dichtmittel 11 an
der organischen Schutzschicht 24, wodurch eine schwache Haftung
gegeben ist. Außerdem hat die organische Schutzschicht 24 eine
schwache Haftung gegenüber der Gateisolierungsschicht 22 in
deren unterem Bereich. Es besteht das Problem, dass, wenn die
Haftung zwischen der organischen Schutzschicht 24 und dem
Dichtmittel 11 oder der Gateisolierungsschicht 22 schwach ist,
bereits durch unbedeutende Schläge Risse oder Sprünge verur
sacht werden, so dass Flüssigkristallmaterial herausleckt.
Da bei einer Flüssigkristallanzeige mit einem hohen Apertur
verhältnis, auf die ein herkömmlicher organischer Schutzschicht
aufgetragen ist, die Hafteigenschaften zwischen der organischen
Schutzschicht und dem Dichtmittel oder der Gateisolierungs
schicht schwach sind, besteht folglich das Problem, dass durch
einen schwachen äußeren Schlag leicht ein Sprung oder Riss
erzeugt wird, und somit Flüssigkristall durch den Sprung oder
Riss hindurchleckt.
Entsprechend ist die Erfindung auf eine Flüssigkristallanzeige
und ein Verfahren zum Herstellen derselben gerichtet, wobei im
Wesentlichen eines oder mehrere der Probleme aufgrund der Ein
schränkungen und Nachteile des Stands der Technik beseitigt
werden.
Es ist ein Ziel der Erfindung, eine Flüssigkristallanzeigevor
richtung mit einer solchen Struktur bereitzustellen, durch die
die Adhäsion zwischen einem Dichtmittel und einer unteren Plat
te in einer Flüssigkristallanzeige mit einem hohen Aperturver
hältnis, auf die eine organische Schutzschicht aufgebracht ist,
verstärkt ist.
Ein weiteres Ziel der Erfindung ist es, ein Verfahren zum Her
stellen einer Flüssigkristallanzeige bereitzustellen, wobei die
Adhäsion zwischen einem Dichtmittel und einer unteren Platte in
einer Flüssigkristallanzeige mit einem hohen Aperturverhältnis,
auf die eine organische Schutzschicht aufgebracht ist, ver
stärkt ist.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung werden in der fol
genden Beschreibung ausgeführt und werden teils aus der Be
schreibung ersichtlich oder können aus der Durchführung der
Erfindung gelernt werden. Die Ziele und weiteren Vorteile der
Erfindung werden anhand der in der schriftlichen Beschreibung
und den Ansprüchen sowie in der Zeichnung speziell herausge
stellten Struktur verwirklicht und erzielt.
Um diese und weitere Vorteile gemäß dem Zweck der Erfindung zu
erzielen, weist, wie die Ausführungsformen und die ausführliche
Beschreibung zeigen, eine Flüssigkristallanzeige gemäß einem
Aspekt der Erfindung eine organische Schutzschicht und eine
Gateisolierungsschicht auf, die in solcher Weise strukturiert
sind, dass ein Dichtmittel in direkten Kontakt mit einem Sub
strat gelangt.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung weist eine Flüssig
kristallanzeige eine organische Schutzschicht auf, die in sol
cher Weise strukturiert ist, dass ein Dichtmittel in direkten
Kontakt mit einer Gateisolierungsschicht gelangt.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung weist ein Verfahren
zum Herstellen einer Flüssigkristallanzeige ein derartiges
Strukturieren einer organischen Schutzschicht und einer Gate
isolierungsschicht in einem mit einem Dichtmittel beschichteten
Bereich auf, dass das Dichtmittel in direkten Kontakt mit einem
Substrat gelangt.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung weist ein Verfahren
zum Herstellen einer Flüssigkristallanzeige den Schritt eines
derartigen Strukturierens einer organischen Schutzschicht in
einem mit einem Dichtmittel beschichteten Bereich auf, dass das
Dichtmittel in direkten Kontakt mit einer Gateisolierungs
schicht gelangt.
In der Zeichnung sind Ausführungsformen der Erfindung veran
schaulicht, und in der folgenden Beschreibung sind anhand der
Zeichnung die Grundsätze der Erfindung erklärt.
In der Zeichnung zeigt:
Fig. 1 eine Draufsicht auf ein herkömmliches Flüssigkri
stallfeld;
Fig. 2 eine vergrößerte Draufsicht auf einen Teilbereich
der die Dichtung aus Fig. 1 kreuzenden Datenzuführung;
Fig. 3A eine Ansicht der Dichtung im entlang der Linie A-
A' in Fig. 2 genommenen vertikalen Schnitt;
Fig. 3B eine Ansicht der Dichtung im entlang der Linie B-
B' in Fig. 2 genommenen vertikalen Schnitt;
Fig. 4 eine vergrößerte Draufsicht auf einen Teilbereich
der Gatezuführung, der die Dichtung aus Fig. 1 kreuzt;
Fig. 5A eine Ansicht der Dichtung im entlang der Linie A-
A' in Fig. 4 genommenen Schnitt;
Fig. 5B eine Ansicht der Dichtung im entlang der Linie B-
B' in Fig. 4 genommenen Schnitt;
Fig. 6 eine teilweise vergrößerte Draufsicht auf eine
Datenzuführung einer Flüssigkristallanzeige gemäß einer ersten
Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 7 eine Ansicht der unteren Platte und der Dichtung
im entlang der Linie A-A' in Fig. 6 genommenen Schnitt;
Fig. 8 eine teilweise vergrößerte Draufsicht einer Gate
zuführung einer Flüssigkristallanzeige gemäß einer ersten Aus
führungsform der Erfindung;
Fig. 9 eine teilweise vergrößerte Draufsicht einer Daten
zuführung einer Flüssigkristallanzeige gemäß einer zweiten
Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 10 eine Ansicht der unteren Platte und der Dichtung
im entlang der Linie A-A' in Fig. 9 genommenen Schnitt;
Fig. 11 eine teilweise vergrößerte Draufsicht einer Gate
zuführung einer Flüssigkristallanzeige gemäß einer zweiten Aus
führungsform der Erfindung;
Fig. 12 eine teilweise vergrößerte Draufsicht einer Da
tenzuführung einer Flüssigkristallanzeige gemäß einer dritten
Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 13 eine Ansicht der unteren Platte und der Dichtung
im entlang der Linie A-A' in Fig. 12 genommenen Schnitt;
Fig. 14 eine teilweise vergrößerte Draufsicht einer Da
tenzuführung einer Flüssigkristallanzeige gemäß einer vierten
Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 15 eine Ansicht der unteren Platte und der Dichtung
im entlang der Linie A-A' in Fig. 14 genommenen Schnitt;
Fig. 16 eine teilweise vergrößerte Draufsicht einer Da
tenzuführung einer Flüssigkristallanzeige gemäß einer fünften
Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 17A und Fig. 17B Ansichten der unteren Platte und
der Dichtung im entlang der Linie A-A' bzw. B-B' in Fig. 15
genommenen Schnitt;
Fig. 18 eine teilweise vergrößerte Draufsicht einer Gate
zuführung einer Flüssigkristallanzeige gemäß einer sechsten
Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 19 eine Ansicht der unteren Platte und der Dichtung
im entlang der Linie A-A' in Fig. 18 genommenen Schnitt;
Fig. 20 eine teilweise vergrößerte Draufsicht einer Da
tenzuführung einer Flüssigkristallanzeige gemäß einer sechsten
Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 21 eine Ansicht der unteren Platte und der Dichtung
im entlang der Linie A-A' in Fig. 20 genommenen Schnitt;
Fig. 22 eine teilweise vergrößerte Draufsicht einer Gate
zuführung einer Flüssigkristallanzeige gemäß einer siebten Aus
führungsform der Erfindung;
Fig. 23 eine Ansicht der unteren Platte und der Dichtung
im entlang der Linie A-A' in Fig. 22 genommenen Schnitt;
Fig. 24 eine teilweise vergrößerte Draufsicht einer Da
tenzuführung einer Flüssigkristallanzeige gemäß einer siebten
Ausführungsform der Erfindung; und
Fig. 25 eine Ansicht der unteren Platte und der Dichtung
im entlang der Linie A-A' in Fig. 24 genommenen Schnitt.
Im Folgenden wird eingehend Bezug auf die bevorzugte Ausfüh
rungsform der Erfindung genommen, wobei in der Zeichnung Bei
spiele der bevorzugten Ausführungsform veranschaulicht sind.
Fig. 6 zeigt eine teilweise vergrößerte Ansicht einer Daten
zuführung einer Flüssigkristallanzeige gemäß einer ersten Aus
führungsform der Erfindung. In Fig. 6 ist die Datenzuführung
16 zusammen mit einer Datenkontaktierungsfläche 14 und einer
Datenleitung eines Bildanzeigeteils ausgebildet. Die Datenkon
taktierungsfläche 14 ist durch ein in einer organischen Schutz
schicht definiertes Kontaktloch 19 hindurch mit einer trans
parenten Schicht 17 elektrisch gekoppelt. Im unteren Bereich
der Datenzuführung 16 erstreckt sich ein Halbleitermuster 18 in
die Datenkontaktierungsfläche 14. Eine mit einem Dichtmittel
beschichtete Dichtung 10 ist in eine Richtung angeordnet, die
die Datenzuführung 16 kreuzt. Die organische Schutzschicht und
die Gateisolierungsschicht, die zwischen den Datenzuführungen
16 an der Dichtung 10 angeordnet sind, sind durch ein Trocken
ätzverfahren unter Verwendung eines Maskenmusters strukturiert,
so dass eine Anzahl von Löchern 40 ausgebildet ist, wodurch es
erlaubt ist, dass das Dichtmittel teilweise, durch die Löcher
40 hindurch, direkten Kontakt mit einem unteren Glas hat. Ins
besondere erstrecken sich die Löcher 40 bis außerhalb der Dich
tung 10, wodurch verhindert wird, dass während des schichtarti
gen Aufbringens des Dichtmittels Blasenbildung auftritt.
Fig. 7 zeigt die untere Platte im Schnitt entlang der Linie
A-A' in Fig. 6, durch die Dichtung 10 und das definierte Loch
40 hindurch. Ein Verfahren zum Herstellen einer Datenzuführung
gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung wird im Fol
genden in Bezug auf Fig. 6 und Fig. 7 beschrieben. Auf der
gesamten Oberfläche eines unteren Glases 20 wird eine Gateiso
lierungsschicht 22 ausgebildet. Nachdem auf der Gateisolie
rungsschicht 22 sequentiell das Halbleitermuster 18 und die
Datenzuführung 16 ausgebildet worden sind, wird auf der gesam
ten Oberfläche derselben Schicht 22 eine organische Schutz
schicht 24 ausgebildet. Dann werden an einer mit einem Dicht
mittel 11 zu beschichtenden Stelle die organische Schutzschicht
24 und die Gateisolierungsschicht 22 sequentiell so struktu
riert, dass die Löcher 40 ausgebildet werden. In diesem Fall
ist ein Ende des Lochs 40 außerhalb der Dichtung 10 angeordnet.
Anschließend wird die Dichtung 10 mit dem Dichtmittel 11 be
schichtet, so dass die obere Platte und die untere Platte an
einandergeklebt werden. In diesem Fall besteht teilweise direk
ter Kontakt zwischen dem Dichtmittel 11 und dem unteren Glas 20
durch das Loch 40 hindurch, wodurch die Adhäsion zwischen dem
Dichtmittel 11 und der unteren Platte verstärkt ist.
Fig. 8 zeigt eine teilweise vergrößerte Ansicht einer Gatezu
führung der Flüssigkristallanzeige gemäß einer ersten Ausfüh
rungsform der Erfindung. In Fig. 8 ist die Gatezuführung 34
zusammen mit der Gatekontaktierungsfläche 12 und einer Gatelei
tung eines Bildanzeigeteils ausgebildet. Die Gatekontaktie
rungsfläche 12 ist durch ein durch die Gateisolierungsschicht
und die organischen Schutzschicht hindurch ausgebildetes Kon
taktloch 19 hindurch mit einer transparenten Elektrode 17 elek
trisch gekoppelt. Eine mit einem Dichtmittel überzogene Dich
tung 10 ist in einer Richtung angeordnet, die die Gatezuführung
34 kreuzt. Die organische Schutzschicht und die Gateisolie
rungsschicht, die zwischen den Gatezuführungen 34 an der Dich
tung 10 angeordnet sind, sind so strukturiert, dass, ähnlich
wie es oben für die Datenzuführungen beschrieben wurde, eine
Anzahl von Löchern 40 ausgebildet ist, wodurch es erlaubt ist,
dass ein Dichtmittel teilweise, durch die Löcher 40 hindurch,
in direktem Kontakt mit einem unteren Glas steht. Insbesondere
erstrecken sich die Löcher 40 bis außerhalb der Dichtung 10, so
dass verhindert wird, dass während des schichtartigen Auftra
gens des Dichtmittels Blasen erzeugt werden.
In Fig. 8 ist, ähnlich wie in Fig. 7, die untere Platte im
entlang der Linie A-A' genommenen Schnitt durch die Dichtung 10
mit dem definierten Loch 40 gezeigt. Im Folgenden wird anhand
der Fig. 7 und 8 ein Verfahren zum Herstellen einer Gatezu
führung gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung be
schrieben. Auf dem unteren Glas wird die Gatezuführung 34 aus
gebildet, und auf der gesamten Oberfläche desselben wird eine
Gateisolierungsschicht 22 ausgebildet. Nachdem auf der gesamten
Oberfläche der Gateisolierungsschicht 22 die organische Schutz
schicht 24 ausgebildet worden ist, werden die organische
Schutzschicht 24 und die Gateisolierungsschicht 22 an einer mit
einem Dichtmittel 11 zu beschichtenden Stelle unter Verwendung
eines Maskenmusters mittels eines Trockenätzverfahrens sequen
tiell derart strukturiert, dass die Löcher 40 ausgebildet wer
den. In diesem Fall ist ein Ende des Lochs 40 außerhalb der
Dichtung 10 angeordnet. Anschließend wird die Dichtung 10 mit
dem Dichtmittel 11 beschichtet, so dass die obere Platte und
die untere Platte aneinandergeklebt werden. In diesem Fall
besteht teilweise direkter Kontakt zwischen dem Dichtmittel 11
und dem unteren Glas 20 durch die Löcher 40 hindurch, wodurch
die Adhäsion zwischen dem Dichtmittel 11 und der unteren Platte
verstärkt ist.
Fig. 9 zeigt eine teilweise vergrößerte Ansicht einer Daten
zuführung einer Flüssigkristallanzeige gemäß einer zweiten
Ausführungsform der Erfindung. In Fig. 9 sind die Datenzufüh
rung 44 und eine Datenkontaktierungsfläche 42 simultan ausge
bildet worden, wobei während des Ausbildens der Gateleitung das
gleiche Material als Gateleitung verwendet wurde. Die Datenzu
führung 44 ist mittels einer in einem Kontaktloch 43 definier
ten transparenten Elektrode 45 mit einer in einer anderen
Schicht ausgebildeten Datenleitung 50 elektrisch gekoppelt. Mit
anderen Worten ist die auf einer Gateisolierungsschicht ausge
bildete Datenleitung 50 mittels der in dem Kontaktloch 19 defi
nierten transparenten Elektrode 17 mit der im unteren Bereich
der Gateisolierungsschicht ausgebildeten Datenzuführung 44
elektrisch gekoppelt. Auf der Datenzuführung 44 ist ein die
Dichtung 10 kreuzendes Halbleitermuster 46 angeordnet. Die
Gateisolierungsschicht wird, mit Ausnahme einer organischen
Schutzschicht der Dichtung 10 und eines mit dem Halbleitermu
ster 46 ausgebildeten Teilbereichs, geätzt, so dass das Dicht
mittel an das Halbleitermuster 46 und das untere Glas geklebt
wird. In diesem Fall ist, da der Bereich in dem das Dichtmittel
an dem unteren Glas klebt, vergrößert ist, die Adhäsion zwi
schen dem Dichtmittel und der unteren Platte verstärkt. Ins
besondere werden die organische Schutzschicht und die Gateiso
lierungsschicht in einem Bereich 48 geätzt, dessen Breite grö
ßer gewählt wird als die Breite der Dichtung 10, wodurch ver
hindert wird, dass beim schichtartigen Aufbringen des Dicht
mittels Blasen erzeugt werden.
Fig. 10 zeigt die untere Platte und die Dichtung 10 im entlang
der Linie A-A' in Fig. 9 genommenen Schnitt durch die Dichtung
10. Im Folgenden wird in Bezug auf Fig. 10 ein Verfahren zum
Herstellen einer Datenzuführung gemäß einer zweiten Ausfüh
rungsform der Erfindung beschrieben. Nachdem die Datenzuführung
44 auf dem unteren Glas 20 ausgebildet worden ist, wird das
untere Glas 20 vollständig mit der Gateisolierungsschicht 22
beschichtet. Dann wird die Gateisolierungsschicht 22, mit Aus
nahme eines mit der organischen Schutzschicht der Dichtung und
dem Halbleitermuster 46 ausgebildeten Teilbereichs, mittels
eines Maskenmusters geätzt. In diesem Fall ist die Breite des
Bereichs 48, in dem der organische Schutzschicht und der Gate
isolierungsschicht geätzt werden, so eingestellt, dass sie grö
ßer ist als die Breite der Dichtung 10. Das Halbleitermuster 46
wirkt während des Ätzens der Gateisolierungsschicht als Ätz-
Stopp, so dass die darunterliegende Gateisolierungsschicht 22
und die Datenzuführung 44 geschützt sind. Zu diesem Zweck wird
bei dem Halbleitermuster 46 eine Breite gewählt, die größer ist
als die der Datenzuführung 44. Dann wird die Dichtung 10 mit
einem Dichtmittel 11 beschichtet, so dass die obere Platte und
die untere Platte aneinandergeklebt werden. In diesem Fall hat
das Dichtmittel 11 Kontakt mit dem unteren Glas 20 und dem
Halbleitermuster 46, so dass die Adhäsion zwischen dem Dicht
mittel 11 und der unteren Platte verstärkt ist.
Fig. 11 zeigt eine teilweise vergrößerte Ansicht einer Gatezu
führung der Flüssigkristallanzeige gemäß einer zweiten Ausfüh
rungsform der Erfindung. In Fig. 11 ist die Gatezuführung 34
zusammen mit einer Gatekontaktierungsfläche 12 und einer Gate
leitung eines Bildanzeigeteils ausgebildet. Die Gatekontaktie
rungsfläche 12 ist durch ein durch die Gateisolierungsschicht
und die organische Schutzschicht hindurch ausgebildetes Kon
taktloch 19 hindurch mit einer transparenten Elektrode 17 elek
trisch gekoppelt. Auf der Gatezuführung 34 ist ein die Dichtung
10 kreuzendes Halbleitermuster 46 zum Schutz der Gatezuführung
34 ausgebildet. Die Gateisolierungsschicht wird, mit Ausnahme
einer an der Dichtung 10 angeordneten Schutzschicht und eines
mit dem Halbleitermuster 46 ausgebildeten Teilbereichs, geätzt,
so dass das Dichtmittel an das Halbleitermuster 46 und das
untere Glas geklebt wird. In diesem Fall ist, da der Bereich,
in dem das Dichtmittel an dem unteren Glas klebt, vergrößert
ist, die Adhäsion zwischen dem Dichtmittel und der unteren
Platte verstärkt. Insbesondere ist die Breite des Bereichs 48,
in dem die organische Schutzschicht und die Gateisolierungs
schicht geätzt werden, größer gewählt als die Breite der Dich
tung 10, wodurch verhindert wird, dass während des schichtarti
gen Aufbringens des Dichtmittels Blasen erzeugt werden. Ein
Schnitt durch die untere Platte und die Dichtung 10 entlang der
Linie A-A' in Fig. 11, durch die Dichtung hindurch, hat die
gleiche Struktur wie der in Fig. 10, falls die Datenzuführun
gen durch die Gatezuführungen ersetzt werden.
Fig. 12 zeigt eine teilweise vergrößerte Ansicht einer Daten
zuführung einer Flüssigkristallanzeige gemäß einer dritten
Ausführungsform der Erfindung. In Fig. 12 sind eine Datenkon
taktierungsfläche 14 und eine Datenzuführung 16 simultan mit
einer Datenleitung eines Bildanzeigeteils ausgebildet. Die
Datenzuführung 16 ist durch ein durch eine organische Schutz
schicht hindurch ausgebildetes Kontaktloch 19 hindurch mit
einer transparenten Elektrode 17 elektrisch gekoppelt. Unter
der Datenzuführung 16 ist ein Halbleitermuster 18 ausgebildet.
Ein an der Dichtung 10 in dem Halbleitermuster 18 ausgebildeter
Teilbereich 18a wirkt als Ätz-Stopp-Vorrichtung während des
Ätzens der Gateisolierungsschicht, wodurch verhindert wird,
dass die Gateisolierungsschicht unter dem Halbleitermuster 18a
unterhöhlt wird. Zu diesem Zweck ist die Breite des Halbleiter
musters 18a an der Dichtung 10 breiter gewählt als in anderen
Teilbereichen desselben. Die Gateisolierungsschicht mit Aus
nahme der organischen Schutzschicht in der Dichtung 10 und des
Halbleitermusters 18a werden geätzt. Im oberen Bereich der
Datenzuführung 16 ist eine transparente Elektrode 47 zum Schutz
der Datenzuführung 16 angeordnet. Die transparente Elektrode 47
hat eine stärkere Adhäsion bezüglich des Dichtmittels 11 als
die Datenzuführung 16. Entsprechend ist, da das Dichtmittel 11
direkten Kontakt mit der transparenten Elektrode 47 und dem
unteren Glas hat, die Adhäsion zwischen dem Dichtmittel 11 und
der unteren Platte zusätzlich verstärkt. Insbesondere ist die
Breite des geätzten Bereichs 48 so eingestellt, dass sie größer
ist als die der Dichtung 10, wodurch verhindert wird, dass
während des schichtartigen Auftragens des Dichtmittels Blasen
erzeugt werden.
Fig. 13 zeigt die untere Platte und die Dichtung 10, die die
Datenzuführung 16 kreuzt, im entlang der Linie A-A' in Fig. 12
genommenen Schnitt durch die Dichtung 10 hindurch. Im Folgenden
wird in Bezug auf Fig. 13 ein Verfahren zum Herstellen einer
Datenzuführung gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfin
dung beschrieben. Ein mit der Gateleitung versehenes unteres
Glas 20 wird vollständig mit einer Gateisolierungsschicht 22
beschichtet. Ein Halbleitermuster 18a in der Dichtung 10 wirkt
als ein Ätz-Stopp bei einem späteren Ätz-Schritt, bei dem die
Gateisolierungsschicht 22 geätzt wird. Die Breite des Halblei
termusters 18a wird so eingestellt, dass sie breiter ist als
die des anderen Teilbereichs, so dass verhindert wird, dass die
darunterliegende Gateisolierungsschicht 22 unterhöhlt wird.
Nachdem die Datenzuführung 16 zusammen mit der Datenleitung und
der Datenkontaktierungsfläche auf dem Halbleitermuster 18a
ausgebildet worden ist, wird dieselbe vollständig mit einer
organischen Schutzschicht beschichtet. Dann wird die Gateiso
lierungsschicht 22 mit Ausnahme der organischen Schutzschicht
in der Dichtung 10 und des Halbleitermusters 18a unter Verwen
dung eines Maskenmusters geätzt. Anschließend wird, nachdem die
transparente Elektrode 47 so ausgebildet worden ist, dass sie
die Datenzuführung 16, das Halbleitermuster 18a und die Gatei
solierungsschicht 22 umschließt, die Dichtung 10 mit dem Dicht
mittel 11 beschichtet, so dass die untere Platte und die obere
Platte aneinandergeklebt werden. Entsprechend klebt das Dicht
mittel 11 an dem unteren Glas 20 und der transparenten Elek
trode 47, wodurch die Adhäsion zwischen dem Dichtmittel 11 und
der unteren Platte verstärkt ist.
Fig. 14 zeigt eine vergrößerte Ansicht einer Datenzuführung in
einer Flüssigkristallanzeige gemäß einer vierten Ausführungs
form der Erfindung. Fig. 15 zeigt die untere Platte und die
Dichtung 10 im entlang der Linie A-A' in Fig. 14 genommenen
Schnitt durch die Dichtung 10 hindurch. In Bezug auf Fig. 14
und Fig. 15 sind zwischen Datenzuführungen 16, die die Dich
tung 10 kreuzen, eine Anzahl von Löchern 52 derart in einer
organischen Schutzschicht 24 und einer Gateisolierungsschicht
22 definiert, dass ein Dichtmittel 11 durch die Anzahl von
Löchern 52 in direkten Kontakt mit dem unteren Glas 20 gelangt,
wodurch die gegenseitige Adhäsion zwischen ihnen verstärkt ist.
Die Datenzuführung 16 ist zusammen mit der Datenkontaktierungs
fläche und den Datenleitungen auf dem mit der Gateisolierungs
schicht 22 versehenen unteren Glas 20 ausgebildet. Im unteren
Teilbereich der Datenzuführung 16 ist ein Halbleitermuster 18
ausgebildet. Die mit der Datenzuführung 16 ausgebildete untere
Platte wird vollständig mit der organischen Schutzschicht 24
beschichtet. Die Anzahl von Löchern 52 werden durch ein Struk
turieren der organischen Schutzschicht 24 und der Gateisolie
rungsschicht 22 zwischen den die Dichtung 10 kreuzenden Daten
zuführungen 16 ausgebildet. Entsprechend kommt ein Dichtmittel
22, wenn es auf die organische Schutzschicht 24 schichtartig
aufgetragen wird, durch die Löcher 52 hindurch in direkten
Kontakt mit dem unteren Glas 20, so dass die Adhäsion zwischen
ihnen verstärkt ist. In ähnlicher Weise werden in der organi
schen Schutzschicht und in der Gateisolierungsschicht zwischen
die Dichtung 10 kreuzenden Gatezuführungen eine Anzahl von
Löchern 52 definiert, so dass die Adhäsion zwischen dem Dicht
mittel 11 und der unteren Platte verstärkt ist.
Fig. 16 zeigt eine vergrößerte Ansicht einer Datenzuführung in
einer Flüssigkristallanzeige gemäß einer fünften Ausführungs
form der Erfindung. Fig. 17A und 17B zeigen die unter Platte
und die Dichtung 10 im entlang der Linie A-A' bzw. der Linie B-
B' in Fig. 16 genommenen Schnitt durch die Dichtung 10 hin
durch. In Bezug auf Fig. 16 und Fig. 17A und 17B wird in
der organischen Schutzschicht 24 und in der Gateisolierungs
schicht 22 in einer eine Datenzuführung 16 kreuzenden Richtung
ein linienförmiges Loch 54 derart definiert, dass das Dicht
mittel 11 durch das linienförmige Loch hindurch in direkten
Kontakt mit dem unteren Glas 20 kommt, so dass die gegenseitige
Adhäsion verstärkt ist. Die Datenzuführung 16 ist zusammen mit
der Datenkontaktierungsfläche und den Datenleitungen auf dem
mit der Gateisolierungsschicht 22 versehenen unteren Glas 20
ausgebildet. Im unteren Teilbereich der Datenzuführung 16 ist
ein Halbleitermuster 18 ausgebildet. Die mit der Datenzuführung
16 ausgebildete untere Platte ist vollständig mit der organi
schen Schutzschicht 24 beschichtet. Das linienförmige Loch 54
ist durch ein Strukturieren der organischen Schutzschicht 24
und der Gateisolierungsschicht 22 in eine die Datenzuführung 16
kreuzende Richtung ausgebildet. Entsprechend steht ein schicht
artig aufgetragenes Dichtmittel 11 durch die linienförmigen
Löcher 54 hindurch in direktem Kontakt mit dem unteren Glas 20,
so dass die Adhäsion zwischen dem Dichtmittel 11 und der unte
ren Platte verstärkt ist. In ähnlicher Weise ist in der organi
schen Schutzschicht und der Gateisolierungsschicht, zwischen
die Dichtung 10 kreuzenden Gatezuführungen, ein linienförmiges
Loch 54 definiert, so dass die Adhäsion zwischen dem Dichtmit
tel 11 und der unteren Platte verstärkt ist.
Fig. 18 zeigt eine vergrößerte Ansicht eines Teilbereichs
einer Gatezuführung einer Flüssigkristallanzeige gemäß einer
sechsten Ausführungsform der Erfindung. In Fig. 18 ist die
Gatezuführung 34 mit einer Gatekontaktierungsfläche 12 und
einer Gateleitung integriert ausgebildet. Die Gatekontaktie
rungsfläche 12 ist durch ein durch eine Gateisolierungsschicht
und eine organische Schutzschicht hindurch ausgebildetes Kon
taktloch 19 hindurch mit einer transparenten Elektrode 17 elek
trisch gekoppelt. In einem Dichtungsbereich 10 ist eine organi
scher Schutzschicht in einer die Gatezuführung 34 kreuzenden
Richtung ausgebildet, wodurch das Dichtmittel vollständig oder
teilweise mit der im unteren Teilbereich der organischen
Schutzschicht angeordneten Gateisolierungsschicht in Kontakt
ist. Insbesondere ist ein Bereich, in dem die organische
Schutzschicht entfernt worden ist, wie die in Fig. 18 gezeig
ten drei Bereiche, d. h. der erste bis dritte Bereich, D1 bis
D3, in solcher Weise angeordnet, dass jede Seite oder eine
Seite desselben jenseits der Linienbreite der Dichtung 10 an
geordnet ist. In diesem Fall wird, wie in Fig. 19 gezeigt ist,
Luft durch einen Raum zwischen dem Dichtmittel 11 und der orga
nischen Schutzschicht 24 heraus entleert, wodurch verhindert
wird, dass beim schichtartigen Auftragen des Dichtmittels Bla
sen erzeugt werden. Wenn der Bereich, in dem die organische
Schutzschicht entfernt worden ist, so gewählt ist, dass er
breiter ist als die Linienbreite der Dichtung 10, wie der in
Fig. 18 gezeigte erste geätzte Bereich D1, hat das gesamte
Dichtmittel Kontakt mit der Gateisolierungsschicht. Wenn es so
eingerichtet ist, dass eine Seite des Bereichs, in dem die
organische Schutzschicht entfernt worden ist, jenseits der
Dichtung 10 liegt, wie beim zweiten und dritten geätzten Be
reich D2 und D3, hat das Dichtmittel teilweise Kontakt mit der
Gateisolierungsschicht.
Fig. 19 zeigt die untere Platte und die Dichtung 10 im entlang
der Linie A-A' in Fig. 18 gezeigten Schnitt durch die Dichtung
10 hindurch. Im Folgenden wird in Bezug auf Fig. 19 ein Ver
fahren zum Herstellen der Gatezuführung gemäß der Erfindung
beschrieben. Auf dem unteren Glas 20 wird die Gatezuführung 34
ausgebildet, und auf der gesamten Oberfläche des unteren Glases
20 wird eine Gateisolierungsschicht 22 ausgebildet. Nachdem auf
der gesamten Oberfläche der Gateisolierungsschicht 22 eine
organische Schutzschicht 24 ausgebildet worden ist, wird die
organische Schutzschicht 24 an einer mit dem Dichtmittel 11 zu
beschichtenden Stelle unter Verwendung eines Maskenmusters ge
ätzt. In diesem Fall wird jede oder eine Seite des geätzten
Bereichs in der organischen Schutzschicht 24 jenseits der Li
nienbreite einer mit dem Dichtmittel beschichteten Dichtung
angeordnet. Dann wird die Dichtung 10 mit dem Dichtmittel 11
beschichtet, um die untere Platte und die obere Platte zusam
menzukleben. In diesem Fall hat die aus einem anorganischen
Material gefertigte Gateisolierungsschicht 22 Kontakt mit dem
Dichtmittel 11, wodurch die Adhäsion zwischen dem Dichtmittel
11 und der unteren Platte verstärkt ist.
Fig. 20 zeigt eine teilweise vergrößerte Ansicht der Daten
zuführung einer Flüssigkristallanzeige gemäß einer sechsten
Ausführungsform der Erfindung. In Fig. 20 ist die Datenzufüh
rung 16 mit einer Datenkontaktierungsfläche 14 und einer Daten
leitung integriert ausgebildet. Die Datenkontaktierungsfläche
14 ist durch ein in der organischen Schutzschicht ausgebildetes
Kontaktloch 19 hindurch mit einer transparenten Elektrode 17
elektrisch gekoppelt. In einem Dichtungsbereich 10 ist in eine
die Datenzuführung 16 kreuzende Richtung eine organische
Schutzschicht ausgebildet, wodurch ein Dichtmittel vollständig
oder teilweise mit der Gateisolierungsschicht in Kontakt ge
bracht ist. In diesem Fall ist ferner im oberen Teilbereich der
Datenzuführung 16 eine transparente Elektrode 56 vorgesehen,
welche die Datenzuführung 16 schützt und eine gute Adhäsion
bezüglich des Dichtmittels aufweist. Damit verhindert wird,
dass während des schichtartigen Auftragens des Dichtmittels
Blasen erzeugt werden, ist der Bereich, in dem die organische
Schutzschicht entfernt ist, so gewählt, dass jede Seite oder
eine Seite desselben jenseits der Linienbreite der Dichtung 10
angeordnet ist, wie bei den in Fig. 20 gezeigten ersten bis
dritten Bereichen D1 bis D3.
Fig. 21 zeigt die untere Platte und die Dichtung 10 im entlang
der Linie A-A' in Fig. 20 gezeigten Schnitt. Im Folgenden wird
in Bezug auf Fig. 20 ein Verfahren zum Herstellen der Daten
zuführung gemäß der Erfindung beschrieben. Auf der gesamten
Oberfläche eines unteren Glases 20 wird eine Gateisolierungs
schicht 22 ausgebildet. Nachdem die Datenzuführung 16 auf der
Gateisolierungsschicht 22 ausgebildet worden ist, wird auf der
gesamten Oberfläche derselben eine organische Schutzschicht 24
ausgebildet. Dann wird an einer mit einem Dichtmittel 11 zu
beschichtenden Stelle die organische Schutzschicht 24 unter
Verwendung eines Maskenmusters geätzt. In diesem Fall ist jede
Seite oder eine Seite des geätzten Bereichs in der organischen
Schutzschicht 24 jenseits der Linienbreite einer mit dem Dicht
mittel beschichteten Dichtung angeordnet. Anschließend wird in
einem durch ein Ätzen der organischen Schutzschicht freigeleg
ten oberen Teilbereich der Datenzuführung 16 eine transparente
Elektrode 56 ausgebildet. Dann wird die Dichtung 10 mit dem
Dichtmittel 11 beschichtet, so dass die untere Platte und die
obere Platte zusammengeklebt werden. In diesem Fall hat das
Dichtmittel 11 Kontakt mit der Gateisolierungsschicht 22 und
der transparenten Elektrode 56, wodurch die Adhäsion zwischen
dem Dichtmittel 11 und der unteren Platte verstärkt ist.
Fig. 22 zeigt eine vergrößerte Ansicht eines Teilbereichs
einer Gatezuführung einer Flüssigkristallanzeige gemäß einer
siebten Ausführungsform der Erfindung. In Fig. 22 ist eine in
eine die Gatezuführung 34 kreuzende Richtung vorgesehene orga
nische Schutzschicht in einem Dichtungsbereich 10 teilweise
entfernt, wodurch es erlaubt ist, dass ein Dichtmittel mit
einer im unteren Teil der organischen Schutzschicht angeord
neten Gateisolierungsschicht teilweise Kontakt hat. In diesem
Fall sind in der organischen Schutzschicht zwischen den Gatezu
führungen 34 parallel zu den Gatezuführungen 34 ausgerichtete
linienförmige Löcher 58, 60 und 62 definiert. Insbesondere
erstreckt sich, damit Blasenbildung während des schichtartigen
Auftragens des Dichtmittels verhindert wird, jedes Ende oder
ein Ende des linearen Lochs bis jenseits der Dichtung 10. Noch
genauer erstreckt sich jedes Ende des linienförmigen Lochs bis
jenseits der Dichtung 10, wie bei dem ersten linienförmigen
Loch 58, oder es erstreckt sich ein Ende des linienförmigen
Lochs bis jenseits der Dichtung 10, wie bei dem zweiten oder
dritten linienförmigen Loch 60 oder 62.
Fig. 23 zeigt die untere Platte und die Dichtung 10 im entlang
einer horizontalen Linie A-A' in Fig. 22 genommenen vertikalen
Schnitt durch die Dichtung 10. Im Folgenden wird in Bezug auf
Fig. 23 ein Verfahren zum Herstellen der Gatezuführung gemäß
der Erfindung beschrieben. Auf dem unteren Glas 20 wird die
Gatezuführung 34 ausgebildet, und auf der gesamten Oberfläche
desselben wird eine Gateisolierungsschicht 22 ausgebildet.
Nachdem auf der gesamten Oberfläche der Gateisolierungsschicht
22 eine organische Schutzschicht 24 ausgebildet worden ist,
wird die organische Schutzschicht 24 an einer mit einem Dicht
mittel 11 zu beschichtenden Stelle unter Verwendung eines Mas
kenmusters teilsweise geätzt. Mit anderen Worten werden in der
organischen Schutzschicht 24 zwischen den Gatezuführungen 34
die linienförmigen Löcher 58, 60 und 62 definiert. In diesem
Fall ist jede Seite oder eine Seite der linienförmigen Löcher
58, 60 und 62 jenseits der Dichtung 10 angeordnet. Dann wird
die Dichtung 10 mit dem Dichtmittel 11 beschichtet, so dass die
untere Platte und die obere Platte zusammengeklebt werden.
Entsprechend hat das Dichtmittel 11 teilweise Kontakt mit der
Gateisolierungsschicht 22, wodurch die Adhäsion zwischen dem
Dichtmittel 11 und der unteren Platte verstärkt ist.
Fig. 24 zeigt eine teilweise vergrößerte Ansicht einer Daten
zuführung einer Flüssigkristallanzeige gemäß einer siebten
Ausführungsform der Erfindung. In Fig. 24 ist eine in eine die
Datenzuführung 16 kreuzende Richtung vorgesehene organische
Schutzschicht in einem Dichtungsbereich 10 teilweise entfernt,
wodurch es erlaubt ist, dass das Dichtmittel eine im unteren
Teil der organischen Schutzschicht angeordnete Gateisolierungs
schicht teilweise berührt. In diesem Fall sind in der organi
schen Schutzschicht zwischen den Datenzuführungen 16 parallel
zu den Datenzuführungen 16 ausgerichtete linienförmige Löcher
58, 60 und 62 definiert. Insbesondere erstreckt sich, damit
Blasenbildung während des schichtartigen Aufbringens des Dicht
mittels verhindert wird, jedes Ende oder ein Ende des linearen
Lochs bis jenseits der Dichtung 10. Noch genauer erstreckt sich
jedes Ende des linienförmigen Lochs bis jenseits der Dichtung
10, wie bei dem ersten linienförmigen Loch 58, oder es er
streckt sich ein Ende des linienförmigen Lochs bis jenseits der
Dichtung 10, wie bei dem zweiten oder dritten linienförmigen
Loch 60 oder 62.
Fig. 25 zeigt die untere Platte und die Dichtung 10 in einem
entlang der Linie A-A' in Fig. 24 genommenen Schnitt durch die
Dichtung 10. Im folgenden wird in Bezug auf Fig. 25 ein Ver
fahren zum Herstellen der Datenzuführung gemäß der Erfindung
beschrieben. Auf der gesamten Oberfläche eines unteren Glases
20 wird eine Gateisolierungsschicht 22 ausgebildet. Nachdem die
Datenzuführung 16 auf der Gateisolierungsschicht 22 ausgebildet
worden ist, wird auf der gesamten Oberfläche derselben eine
organische Schutzschicht 24 ausgebildet. Dann wird die organi
sche Schutzschicht 24 an einer mit einem Dichtmittel 11 zu be
schichtenden Stelle unter Verwendung eines Maskenmusters ge
ätzt. Mit anderen Worten wird in der organischen Schutzschicht
24 zwischen den Datenzuführungen 16 ein linienförmiges Loch
ausgebildet. In diesem Fall erstreckt sich jede Seite oder eine
Seite der linienförmigen Löcher 58, 60 und 62 bis jenseits der
Dichtung 10. Dann wird die Dichtung 10 mit dem Dichtmittel 11
beschichtet, so dass die untere Platte und die obere Platte
zusammengeklebt werden. In diesem Fall hat das Dichtmittel 11
teilweise Kontakt mit der Gateisolierungsschicht 22, wodurch
die Adhäsion zwischen dem Dichtmittel 11 und der unteren Platte
verstärkt ist.
Wie oben beschrieben worden ist, werden bei der erfindungsgemä
ßen Flüssigkristallanzeige und dem erfindungsgemäßen Verfahren
zum Herstellen derselben eine organische Schutzschicht und eine
Gateisolierungsschicht in einem mit einem Dichtmittel beschich
teten Bereich teilweise oder vollständig derart entfernt, dass
das Dichtmittel direkt mit einem Glassubstrat in Berührung
kommt, wodurch die Adhäsion zwischen dem Dichtmittel und der
unteren Platte verstärkt ist. Außerdem wird in einem mit einem
Dichtmittel beschichteten Bereich eine organische Schutzschicht
teilweise oder vollständig entfernt, so daß das Dichtmittel
Kontakt mit der Gateisolierungsschicht hat, wodurch die Adhä
sion zwischen dem Dichtmittel und der unteren Platte verstärkt
ist. Entsprechend wird mittels der Flüssigkristallanzeige mit
hohem Aperturverhältnis, auf die die organische Schutzschicht
aufgetragen ist, verhindert, dass ein durch externe Stöße ver
ursachtes Herauslecken von Flüssigkristall aufgrund einer ge
schwächten Adhäsion zwischen dem Dichtmittel und der organi
schen Schutzschicht oder zwischen der organischen Schutzschicht
und der Gateisolierungsschicht auftritt.
Claims (38)
1. Flüssigkristallanzeige mit:
einem Substrat;
einer Elektrodenleitung;
einer Elektrodenkontaktierungsfläche (14, 42, 12);
einer die Elektrodenleitung und die Elektrodenkontaktie rungsfläche (14, 42, 12) koppelnden Elektrodenzuführung (16, 44, 34);
einem die Elektrodenzuführung (16, 44, 34) zwischen der Elektrodenleitung und der Elektrodenkontaktierungsfläche (14, 42, 12) kreuzenden Dichtmittel (11); und
einer organischen Schutzschicht (24) und einer Gateisolie rungsschicht (22), die auf dem Substrat ausgebildet sind und so strukturiert sind, daß das Dichtmittel (11) direkten Kontakt mit dem Substrat hat.
einem Substrat;
einer Elektrodenleitung;
einer Elektrodenkontaktierungsfläche (14, 42, 12);
einer die Elektrodenleitung und die Elektrodenkontaktie rungsfläche (14, 42, 12) koppelnden Elektrodenzuführung (16, 44, 34);
einem die Elektrodenzuführung (16, 44, 34) zwischen der Elektrodenleitung und der Elektrodenkontaktierungsfläche (14, 42, 12) kreuzenden Dichtmittel (11); und
einer organischen Schutzschicht (24) und einer Gateisolie rungsschicht (22), die auf dem Substrat ausgebildet sind und so strukturiert sind, daß das Dichtmittel (11) direkten Kontakt mit dem Substrat hat.
2. Flüssigkristallanzeige nach Anspruch 1, weiter aufweisend:
eine zweite Elektrodenleitung;
eine zweite Elektrodenkontaktierungsfläche (12, 14, 42);
eine zweite, die zweite Elektrodenleitung und die zweite Elektrodenkontaktierungsfläche (12, 14, 42) koppelnde Elektro denzuführung (34, 16, 44),
wobei in der organischen Schutzschicht (24) und in der Gateisolierungsschicht (22) zwischen den Elektrodenzuführungen (34, 16) zumindest ein Loch (40) definiert ist.
eine zweite Elektrodenleitung;
eine zweite Elektrodenkontaktierungsfläche (12, 14, 42);
eine zweite, die zweite Elektrodenleitung und die zweite Elektrodenkontaktierungsfläche (12, 14, 42) koppelnde Elektro denzuführung (34, 16, 44),
wobei in der organischen Schutzschicht (24) und in der Gateisolierungsschicht (22) zwischen den Elektrodenzuführungen (34, 16) zumindest ein Loch (40) definiert ist.
3. Flüssigkristallanzeige nach Anspruch 2, wobei sich das
Loch (40) bis jenseits des mit dem Dichtmittel (11) beschichte
ten Bereichs erstreckt.
4. Flüssigkristallanzeige nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
wobei die organische Schutzschicht (24) und die Gateisolie
rungsschicht (22) in einer sich entlang einer Richtung, in
welcher das Dichtmittel (11) ausgebildet ist, erstreckenden
durchgängigen Furche geätzt sind.
5. Flüssigkristallanzeige nach Anspruch 4, wobei die organi
sche Schutzschicht (24) und die Gateisolierungsschicht (22)
breiter geätzt sind als der mit dem Dichtmittel (11) beschich
tete Bereich, so daß die Breite der Furche senkrecht zu der
Richtung, in der das Dichtmittel (11) ausgebildet ist, größer
ist als die Breite des Bereichs, in dem das Dichtmittel (11)
ausgebildet ist.
6. Flüssigkristallanzeige nach Anspruch 4, weiter aufweisend:
eine Schutzschicht zum Verhindern, daß die Elektrodenzu führung (16, 44, 34) direkten Kontakt mit dem Dichtmittel (11) hat.
eine Schutzschicht zum Verhindern, daß die Elektrodenzu führung (16, 44, 34) direkten Kontakt mit dem Dichtmittel (11) hat.
7. Flüssigkristallanzeige nach Anspruch 6, wobei die Elektro
denzuführung (16, 44, 34) eine Gatezuführung (34) ist, und die
weiter eine aus dem gleichen Elektrodenmaterial wie die Gatezu
führung (34) gefertigte Datenzuführung (16, 44) aufweist, und
wobei die Schutzschicht ein auf der Gateisolierungsschicht (22)
ausgebildetes Halbleitermuster (18, 46) ist.
8. Flüssigkristallanzeige nach Anspruch 6, wobei die Elek
trodenzuführung (16, 44, 34) eine Datenzuführung (16) ist und
die Schutzschicht eine zum Umschließen der Datenzuführung (16),
eines Halbleitermusters (18) und der Gateisolierungsschicht
(22) schichtartig aufgetragene transparente Elektrode (47) ist.
9. Flüssigkristallanzeige nach Anspruch 8, wobei die Breite
des Halbleitermusters (18) größer ist als die Breite der Daten
zuführung (16).
10. Flüssigkristallanzeige mit:
einem Substrat;
einer Elektrodenleitung;
einer Elektrodenkontaktierungsfläche (14, 42, 12);
einer die Elektrodenleitung und die Elektrodenkontaktie rungsfläche (14, 42, 12) koppelnden Elektrodenzuführung (16, 44, 34);
einem die Elektrodenzuführung (16, 44, 34) zwischen der Elektrodenleitung und der Elektrodenkontaktierungsfläche (14, 42, 12) kreuzenden Dichtmittel (11); und
einer organischen Schutzschicht (24) und einer Gateisolie rungsschicht (22), die auf dem Substrat ausgebildet sind, wobei die organische Schutzschicht (24) so strukturiert ist, daß das Dichtmittel (11) direkten Kontakt mit der Gateisolierungs schicht (22) hat.
einem Substrat;
einer Elektrodenleitung;
einer Elektrodenkontaktierungsfläche (14, 42, 12);
einer die Elektrodenleitung und die Elektrodenkontaktie rungsfläche (14, 42, 12) koppelnden Elektrodenzuführung (16, 44, 34);
einem die Elektrodenzuführung (16, 44, 34) zwischen der Elektrodenleitung und der Elektrodenkontaktierungsfläche (14, 42, 12) kreuzenden Dichtmittel (11); und
einer organischen Schutzschicht (24) und einer Gateisolie rungsschicht (22), die auf dem Substrat ausgebildet sind, wobei die organische Schutzschicht (24) so strukturiert ist, daß das Dichtmittel (11) direkten Kontakt mit der Gateisolierungs schicht (22) hat.
11. Flüssigkristallanzeige nach Anspruch 10, wobei die organi
sche Schutzschicht (24) einen Bereich (48) aufweist, der so
geätzt ist, daß das Dichtmittel (11) vollständig mit der Gate
isolierungsschicht (22) Kontakt hat.
12. Flüssigkristallanzeige nach Anspruch 11, wobei die Elek
trodenzuführung (16, 44, 34) eine Datenzuführung (44) ist, und
die weiter eine Schutzschicht zum Schutz der Datenzuführung
(44) aufweist.
13. Flüssigkristallanzeige nach Anspruch 12, wobei die Schutz
schicht eine transparente Elektrode (46) ist.
14. Flüssigkristallanzeige nach einem der Ansprüche 11 bis 13,
wobei der geätzte Bereich (48) in der organischen Schutzschicht
(24) so eingestellt ist, daß er breiter ist als der mit dem
Dichtmittel (11) beschichtete Bereich.
15. Flüssigkristallanzeige nach einem der Ansprüche 10 bis 14,
wobei die organische Schutzschicht (24) einen geätzten Bereich
(48) aufweist, der so ausgebildet ist, daß das Dichtmittel (11)
teilweise mit der Gateisolierungsschicht (22) Kontakt hat.
16. Flüssigkristallanzeige nach Anspruch 15, wobei der geätzte
Bereich (48) die Form einer sich entlang der Richtung, in der
das Dichtmittel (11) ausgebildet ist, erstreckenden Furche
aufweist, wobei ein Ende des geätzten Bereichs (48) sich bis
jenseits des mit dem Dichtmittel (11) beschichteten Bereichs
erstreckt.
17. Flüssigkristallanzeige nach Anspruch 15, weiter aufwei
send:
eine zweite Elektrodenleitung;
eine zweite Elektrodenkontaktierungsfläche;
eine zweite, die zweite Elektrodenleitung und die zweite Elektrodenkontaktierungsfläche koppelnde Elektrodenzuführung,
wobei der geätzte Bereich (48) in der organischen Schutz schicht (24) zwischen den Elektrodenzuführungen ausgebildet ist.
eine zweite Elektrodenleitung;
eine zweite Elektrodenkontaktierungsfläche;
eine zweite, die zweite Elektrodenleitung und die zweite Elektrodenkontaktierungsfläche koppelnde Elektrodenzuführung,
wobei der geätzte Bereich (48) in der organischen Schutz schicht (24) zwischen den Elektrodenzuführungen ausgebildet ist.
18. Flüssigkristallanzeige nach Anspruch 17, wobei jedes Ende
des geätzten Bereichs (48) in der organischen Schutzschicht
(24) sich bis jenseits des mit dem Dichtmittel (11) beschichte
ten Bereichs erstreckt.
19. Flüssigkristallanzeige nach Anspruch 17, wobei ein Ende
des geätzten Bereichs (48) in der organischen Schutzschicht
sich bis jenseits des mit dem Dichtmittel (11) beschichteten
Bereichs erstreckt.
20. Verfahren zum Herstellen einer Flüssigkristallanzeige mit
einem Substrat, einer Elektrodenleitung, einer Elektrodenkon
taktierungsfläche, einer die Elektrodenleitung und die Elek
trodenkontaktierungsfläche koppelnden Elektrodenzuführung,
einem die Elektrodenzuführung zwischen der Elektrodenleitung
und der Elektrodenkontaktierungsfläche kreuzenden Dichtmittel
und einer organischen Schutzschicht (24) und einer Gateisolie
rungsschicht (22), die auf dem Substrat ausgebildet sind, wobei
bei dem Verfahren:
die organische Schutzschicht (24) und die Gateisolierungs schicht (22) in einem mit dem Dichtmittel (11) beschichteten Bereich so strukturiert werden, daß das Dichtmittel (11) di rekten Kontakt mit dem Substrat hat.
die organische Schutzschicht (24) und die Gateisolierungs schicht (22) in einem mit dem Dichtmittel (11) beschichteten Bereich so strukturiert werden, daß das Dichtmittel (11) di rekten Kontakt mit dem Substrat hat.
21. Verfahren nach Anspruch 20, wobei die Flüssigkristallan
zeige weiter eine zweite Elektrodenleitung, eine zweite Elek
trodenkontaktierungsfläche und eine zweite, die zweite Elektro
denleitung und die zweite Elektrodenkontaktierungsfläche kop
pelnde Elektrodenzuführung aufweist, und wobei beim Strukturie
ren der organischen Schutzschicht (24) und der Gateisolierungs
schicht (22) in der organischen Schutzschicht (24) und in der
Gateisolierungsschicht (22) zwischen den Elektrodenzuführungen
zumindest ein Loch definiert wird.
22. Verfahren nach Anspruch 21, wobei sich das Loch bis jen
seits des mit dem Dichtmittel (11) beschichteten Bereichs er
streckt.
23. Verfahren nach einem Ansprüche 20 bis 22, wobei beim
Strukturieren eine Furche in der organischen Schutzschicht (24)
und der Gateisolierungsschicht (22) vorgesehen wird, wobei sich
die Furche entlang einer Richtung erstreckt, in der das Dicht
mittel ausgebildet ist.
24. Verfahren nach Anspruch 23, wobei die organische Schutz
schicht (24) und die Gateisolierungsschicht (22) breiter geätzt
werden als der mit dem Dichtmittel (11) beschichtete Bereich.
25. Verfahren nach Anspruch 23, bei dem weiter eine Schutz
schicht zum Verhindern, daß die Elektrodenzuführung direkten
Kontakt mit dem Dichtmittel (11) hat, ausgebildet wird.
26. Verfahren nach Anspruch 25, wobei die Elektrodenzuführung
eine Gatezuführung ist, und wobei die Flüssigkristallanzeige
vorrichtung weiter eine aus dem gleichen Elektrodenmaterial wie
die Gatezuführung gefertigte Datenzuführung aufweist, und wobei
beim Strukturieren der Schutzschicht ein auf der Gateisolie
rungsschicht ausgebildetes Halbleitermuster geliefert wird.
27. Verfahren nach Anspruch 25, wobei, wenn die Elektrodenzu
führung eine Datenzuführung ist, beim Ausbilden der Schutz
schicht eine transparente Elektrode schichtartig so aufgebracht
wird, daß sie die Datenzuführung, ein Halbleitermuster und die
Gateisolierungsschicht umschließt.
28. Verfahren nach Anspruch 27, wobei die Breite des Halblei
termusters größer ist als die Breite der Datenzuführung.
29. Verfahren zum Herstellen einer Flüssigkristallanzeige mit
einem Substrat, einer Elektrodenleitung, einer Elektrodenkon
taktierungsfläche, einer die Elektrodenleitung und die Elek
trodenkontaktierungsfläche koppelnden Elektrodenzuführung,
einem die Elektrodenzuführung zwischen der Elektrodenleitung
und der Elektrodenkontaktierungsfläche kreuzenden Dichtmittel
und einer organischen Schutzschicht (24) und einer Gateisolie
rungsschicht (22), die auf dem Substrat ausgebildet sind, wobei
bei dem Verfahren:
die organische Schutzschicht (24) in einem mit dem Dicht mittel (11) beschichteten Bereich so strukturiert wird, daß das Dichtmittel (11) direkten Kontakt mit der Gateisolierungs schicht (22) hat.
die organische Schutzschicht (24) in einem mit dem Dicht mittel (11) beschichteten Bereich so strukturiert wird, daß das Dichtmittel (11) direkten Kontakt mit der Gateisolierungs schicht (22) hat.
30. Verfahren nach Anspruch 29, wobei beim Strukturieren der
organischen Schutzschicht (24) ein geätzter Bereich in der
organischen Schutzschicht (24) so geätzt wird, daß das Dicht
mittel (11) vollständig in Kontakt mit der Gatiesolierungs
schicht (22) ist.
31. Verfahren nach Anspruch 30, wobei die Elektrodenzuführung
eine Datenzuführung ist, und bei dem weiter:
eine Schutzschicht zum Schutz der Datenzuführung ausgebil det wird.
eine Schutzschicht zum Schutz der Datenzuführung ausgebil det wird.
32. Verfahren nach Anspruch 31, wobei die Schutzschicht eine
transparente Elektrode ist.
33. Verfahren nach Anspruch 30, wobei der geätzte Bereich in
der organischen Schutzschicht (24) eine größere Breite hat als
der mit dem Dichtmittel (11) beschichtete Bereich.
34. Verfahren nach Anspruch 29, wobei beim Ausbilden der orga
nischen Schutzschicht (24) ein geätzter Bereich in der orga
nischen Schutzschicht (24) so geätzt wird, daß das Dichtmittel
(11) teilweise in Kontakt mit der Gateisolierungsschicht (22)
ist.
35. Verfahren nach Anspruch 34, wobei der geätzte Bereich in
der organischen Schutzschicht (24) die Form einer sich entlang
der Richtung, in der das Dichtmittel (11) ausgebildet ist,
erstreckenden Furche aufweist, wobei sich ein Ende des geätzten
Bereichs (48) bis jenseits des mit dem Dichtmittel (11) be
schichteten Bereichs erstreckt.
36. Verfahren nach Anspruch 34, wobei die Flüssigkristallan
zeige weiter eine zweite Elektrodenleitung, eine zweite Elek
trodenkontaktierungsfläche und eine zweite, die zweite Elek
trodenleitung und die zweite Elektrodenkontaktierungsfläche
koppelnde Elektrodenzuführung aufweist, und wobei der geätzte
Bereich (48) in der organischen Schutzschicht (24) zwischen den
Elektrodenzuführungen ausgebildet ist.
37. Verfahren nach Anspruch 36, wobei jedes Ende des geätzten
Bereichs in der organischen Schutzschicht (24) sich bis jen
seits des mit dem Dichtmittel (11) beschichteten Bereichs er
streckt.
38. Verfahren nach Anspruch 36, wobei ein Ende des geätzten
Bereichs in der organischen Schutzschicht (24) sich bis jen
seits des mit dem Dichtmittel (11) beschichteten Bereichs er
streckt.
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