DE10030481A1 - Halbleiter-Fabrikautomatisierungssystem und Verfahren zur Bearbeitung eines Postens von Halbleiterwafern in einer vollautomatischen oder halbautomatischen Betriebsart - Google Patents
Halbleiter-Fabrikautomatisierungssystem und Verfahren zur Bearbeitung eines Postens von Halbleiterwafern in einer vollautomatischen oder halbautomatischen BetriebsartInfo
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Abstract
Ein Verfahren zur Bearbeitung eines Postens von Halbleiterwafern in einem Halbleiter-Fabrikautomatisierungssystem (FA-System), wobei der Posten als eine vorbestimmte Anzahl an Halbleiterwafern definiert ist, umfaßt folgende Schritte: a) Festlegung, ob ein erstes Prozeßgerät, das in einer ersten Betriebsart betreibbar ist, eine Jobdatei entsprechend dem Posten an Halbleiterwafern aufweist, wobei die Jobdatei Daten repräsentiert, die für einen Halbleiterprozeß erforderlich sind; b) wenn das erste Prozeßgerät, das in der ersten Betriebsart betreibbar ist, die Jobdatei aufweist, Bearbeitung des Postens der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem ersten Prozeßgerät; c) wenn das erste Prozeßgerät, das in der ersten Betriebsart betreibbar ist, nicht die Jobdatei aufweist, Bereitstellung der Jobdatei für ein zweites Prozeßgerät, das in einer zweiten Betriebsart betreibbar ist; und d) Bearbeitung des Postens der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem zweiten Prozeßgerät. Das Verfahren kann effektiv einen Posten an Halbleiterwafern in einer vollautomatischen Betriebsart oder einer halbautomatischen Betriebsart bearbeiten.
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein
Halbleiter-Fabrikautomatisierungssystem (nachstehend als
FA-System bezeichnet), und insbesondere ein
Halbleiter-FA-System und ein Verfahren zur Bearbeitung eines
Postens von Halbleiterwafern in einer vollautomatischen
Betriebsart oder einer halbautomatischen Betriebsart.
Im allgemeinen enthält ein herkömmliches Halbleiter-FA-System
zumindest eine Zelle. Die Zelle weist mehrere
Halbleiterherstellungsabteilungen auf. Eine der
Halbleiterherstellungsabteilungen enthält Prozeßgeräte,
Aufbewahrungseinrichtungen und ein automatisches
Führungsfahrzeug (nachstehend als AGV bezeichnet). Ein
Prozeßgerät bearbeitet einen Posten von Halbleiterwafern,
damit Halbleitergeräte erhalten werden. Die Prozeßgeräte
umfassen ein Ätzgerät, ein Ofengerät, ein
Photolithographiegerät, ein Überlagerungsgerät und
dergleichen. Eine Aufbewahrungseinrichtung bewahrt zeitweilig
eine Halbleiterwaferkassette auf, die von einer
Halbleiterherstellungsabteilung zu einer anderen
Halbleiterherstellungsabteilung transportiert werden soll,
sowie die Halbleiterwaferkassette, die in dem Prozeßgerät
bearbeitet wird. Die Halbleiterwaferkassette ist ein
Behälter, der mehrere Halbleiterwafer aufnehmen kann.
Weiterhin wird das herkömmliche Halbleiter-FA-Gerät in einer
Betriebsart verwendet, wobei die Betriebsart eine
halbautomatische Betriebsart und eine vollautomatische
Betriebsart umfaßt. Daher benötigt das herkömmliche
Halbleiter-FA-System dringend ein Schema, welches den Posten
der Halbleiterwafer effektiv in der vollautomatischen
Betriebsart oder der halbautomatischen Betriebsart bearbeiten
kann.
Ein Ziel der vorliegenden Erfindung besteht daher in der
Bereitstellung eines Halbleiter-FA-Systems und eines
Verfahrens, welche effektiv einen Posten von Halbleiterwafern
in einer vollautomatischen Betriebsart oder einer
halbautomatischen Betriebsart bearbeiten können.
Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung besteht daher in
der Bereitstellung eines computerlesbaren Mediums, welches
Programmbefehle speichert, wobei die Programmbefehle auf
einem Computer vorhanden sind, um ein Verfahren
durchzuführen, welches effektiv einen Posten von
Halbleiterwafern in einer vollautomatischen Betriebsart oder
einer halbautomatischen Betriebsart bearbeiten kann.
Gemäß einer Zielrichtung der vorliegenden Erfindung wird eine
Einrichtung zur Bearbeitung eines Postens von
Halbleiterwafern zur Verfügung gestellt, wobei der Posten als
eine vorbestimmte Anzahl an Halbleiterwafern festgelegt ist,
und vorgesehen sind: eine erste
Halbleiterbearbeitungsvorrichtung, die in einer ersten
Betriebsart betreibbar ist, um den Posten der Halbleiterwafer
entsprechend einer Jobdatei zu bearbeiten, welche Daten
repräsentiert, die für einen Halbleiterprozeß erforderlich
sind; eine zweite Halbleiterbearbeitungsvorrichtung, die in
einer zweiten Betriebsart betreibbar ist, um den Posten der
Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei zu bearbeiten; eine
Festlegungsvorrichtung zur Festlegung, ob die erste
Halbleiterbearbeitungsvorrichtung die Jobdatei aufweist; und
eine Bereitstellungsvorrichtung, um die Jobdatei der zweiten
Halbleiterbearbeitungsvorrichtung zur Verfügung zu stellen,
wenn die erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung nicht die
Jobdatei aufweist.
Gemäß einer weiteren Zielrichtung der vorliegenden Erfindung
wird ein Halbleiterbetriebsautomatisierungssystem (FA-System)
zur Bearbeitung eines Postens von Halbleiterwafern zur
Verfügung gestellt, wobei der Posten als eine vorbestimmte
Anzahl an Halbleiterwafern definiert ist, und vorgesehen
sind: eine erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung, die in
einer ersten Betriebsart betreibbar ist, um den Posten der
Halbleiterwafer entsprechend einer Jobdatei zu bearbeiten,
welche Daten repräsentiert, die für einen Halbleiterprozeß
erforderlich sind; eine zweite
Halbleiterbearbeitungsvorrichtung, die ein einer zweiten
Betriebsart betreibbar ist, um den Posten der Halbleiterwafer
entsprechend der Jobdatei zu bearbeiten; eine
Festlegungsvorrichtung zur Festlegung, ob die erste
Halbleiterbearbeitungsvorrichtung die Jobdatei aufweist; und
eine Bereitstellungsvorrichtung, um die Jobdatei der zweiten
Halbleiterbearbeitungsvorrichtung zur Verfügung zu stellen,
wenn die erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung nicht die
Jobdatei aufweist.
Gemäß einer weiteren Zielrichtung der vorliegenden Erfindung
wird ein Verfahren zur Bearbeitung eines Postens von
Halbleiterwafern in einem Halbleiter-
Fabrikautomatisierungssystem (FA-System) zur Verfügung
gestellt, wobei der Posten als eine vorbestimmte Anzahl an
Halbleiterwafern definiert ist, mit folgenden Schritten:
(a) Feststellung, ob ein erstes Prozeßgerät, das in einer
ersten Betriebsart betreibbar ist, eine Jobdatei entsprechend
dem Posten der Halbleiterwafer aufweist, wobei die Jobdatei
Daten repräsentiert, die für einen Halbleiterprozeß
erforderlich sind; (b) wenn das erste Prozeßgerät, das in der
ersten Betriebsart betreibbar ist, die Jobdatei aufweist,
Bearbeitung des Postens der Halbleiterwafer entsprechend der
Jobdatei in dem ersten Prozeßgerät; (c) wenn das erste
Prozeßgerät, welches in der ersten Betriebsart betreibbar
ist, nicht die Jobdatei aufweist, Bereitstellung der Jobdatei
bei einem zweiten Prozeßgerät, das in einer zweiten
Betriebsart betreibbar ist; und (d) Bearbeitung des Postens
der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem zweiten
Prozeßgerät.
Gemäß einer weiteren Zielrichtung der vorliegenden Erfindung
wird ein computerlesbares Medium zur Verfügung gestellt,
welches Programmbefehle speichert, wobei die Programmbefehle
auf einem Computer vorgesehen sind, um ein Verfahren zur
Bearbeitung eines Postens von Halbleiterwafern in einem
Halbleiter-Fabrikautomatisierungssystem (FA-System)
durchzuführen, wobei der Posten als eine vorbestimmte Anzahl
an Halbleiterwafern definiert ist, mit folgenden Schritten:
(a) Festlegung, ob ein erstes Prozeßgerät, das in einer
ersten Betriebsart betreibbar ist, eine Jobdatei entsprechend
dem Posten an Halbleiterwafern aufweist, wobei die Jobdatei
Daten repräsentiert, die für einen Halbleiterprozeß
erforderlich sind; (b) wenn das erste Prozeßgerät, das in der
ersten Betriebsart betreibbar ist, die Jobdatei aufweist,
Bearbeitung des Postens der Halbleiterwafer entsprechend der
Jobdatei in dem ersten Prozeßgerät; (c) wenn das erste
Prozeßgerät, das in der ersten Betriebsart betreibbar ist,
nicht die Jobdatei aufweist, Bereitstellung der Jobdatei bei
einem zweiten Prozeßgerät, das in einer zweiten Betriebsart
betreibbar ist; und (d) Bearbeitung des Postens der
Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem zweiten
Prozeßgerät.
Die voranstehenden und weitere Ziele und Merkmale der
vorliegenden Erfindung werden aus der nachstehenden
Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform im Zusammenhang
mit den beigefügten Zeichnungen deutlich. Es zeigt:
Fig. 1 ein Blockschaltbild eines Halbleiter-FA-Systems zur
Bearbeitung eines Postens von Halbleiterwafern in
einer halbautomatischen Betriebsart oder einer
vollautomatischen Betriebsart gemäß der
vorliegenden Erfindung;
Fig. 2 ein Blockschaltbild mit einer Darstellung eines
Zellenmanagementservers (CMS), der in Fig. 1
gezeigt ist; und
Fig. 3 ein Flußdiagramm zur Erläuterung eines Verfahrens
zur Bearbeitung eines Postens von Halbleiterwafern
in einer halbautomatischen Betriebsart oder einer
vollautomatischen Betriebsart gemäß der
vorliegenden Erfindung.
In Fig. 1 ist ein Blockschaltbild gezeigt, welches ein
Halbleiter-FA-System zur Bearbeitung eines Postens von
Halbleiterwafern in einer halbautomatischen Betriebsart oder
einer vollautomatischen Betriebsart gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt. Wie dargestellt weist das
Halbleiter-FA-System zumindest eine Zelle auf, die mit einer
vorbestimmten Anzahl, beispielsweise 4, an
Halbleiterherstellungsabteilungen versehen ist. Eine
Halbleiterherstellungsabteilung 400 ist in einer Zelle
enthalten. Eine Halbleiterherstellungsabteilung 400 ist mit
EQs 204, Aufbewahrungseinrichtungen 216 und einem AGV 214
versehen. Das EQ 204 bearbeitet Halbleiterwafer, um
Halbleitergeräte zu erhalten. Das EQ 204 weist beispielsweise
ein Ätzgerät auf, ein Photolithographiegerät, ein
Überlagerungsgerät, ein Ofengerät, ein Gerät zur
physikalischen Dampfablagerung (PVD), ein Sputtergerät und
dergleichen. Eine Aufbewahrungseinrichtung 216 speichert
temporär eine Anzahl an Halbleiterwaferkassetten. Jede der
Halbleiterwaferkassetten weist eine vorbestimmte Anzahl an
Halbleiterwafern auf, die als Posten bezeichnet wird. Die
Halbleiterwaferkassetten werden selektiv zu dem EQ 204 unter
Verwendung des AGV 214 transportiert. Die
Halbleiterwaferkassette, die in der Aufbewahrungseinrichtung
216 aufbewahrt ist, wird einer anderen
Halbleiterherstellungsabteilung 400 zugeführt.
Ein Prozeßgeräteserver (nachstehend als EQS bezeichnet) 202
ist mit einer gemeinsamen Kommunikationsleitung 500
gekoppelt, beispielsweise Ethernet™, das von der Xerox
Corporation geliefert wird. Eine AGV-Steuerung (nachstehend
als AGVC bezeichnet) 212 steuert das AGV 214.
Das Halbleiter-FA-System weist weiterhin einen
Zellenmanagementabschnitt 100 auf, eine Echtzeitdatenbank
300, die mit dem Zellenmanagementabschnitt 100 verbünden ist,
eine Temporärspeichereinheit 310, einen
Vorgeschichtemanagementabschnitt 312, der mit der
Temporärspeichereinheit 310 verbunden ist, und eine
Vorgeschichtendatenbank 314, die mit dem
Vorgeschichtemanagementabschnitt 312 verbunden ist. Der
Zellenmanagementabschnitt 100, der
Vorgeschichtemanagementabschnitt 312 und die
Vorgeschichtedatenbank 314 sind jeweils mit der gemeinsamen
Kommunikationsleitung 500 zur gegenseitigen Kommunikation
verbunden.
Der Zellenmanagementabschnitt 100 weist einen
Zellenmanagementserver (nachstehend als CMS bezeichnet) 206
auf, einen Benutzerschnittstellenserver (OIS) 201 und einen
Datensammelserver (DGS) 207. Der DGS 207 speichert
Prozeßdaten, welche zu dem Posten gehören, in der
Echtzeitdatenbank 300.
Der CMS 206 stellt fest, ob das EQ 204, beispielsweise ein
Überlagerungsgerät, das in der vollautomatischen Betriebsart
betreibbar ist, eine Jobdatei entsprechend den Posten an
Halbleiterwafern aufweist, wobei die Jobdatei Daten
repräsentiert, die für einen Halbleiterprozeß erforderlich
sind. Die Jobdatei enthält Identifizierungsinformation für
einen Halbleiterprozeß und eine ausführbare Datei zum
Ausführen des Halbleiterprozesses. Das Überlagerungsgerät
bildet ein vorbestimmtes Muster einer Maske auf jeden
Halbleiterwafer ab. Wenn das EQ 204, welches in der
vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, die Jobdatei
entsprechend dem Posten der Halbleiterwafer aufweist, ordnet
der CMS 206 den Halbleiterprozeß dem EQ 204 zu, das in der
vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist. Der CMS 206
schickt einen Transportbefehl an das AGV 214, so daß der
Posten der Halbleiterwafer zu dem EQ 204 transportiert werden
kann, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar
ist. Das AGV 214 transportiert in Reaktion auf den
Transportbefehl den Posten an Halbleiterwafern zu dem EQ 204,
das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist. Das
EQ 204, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar
ist, bearbeitet den Posten der Halbleiterwafer entsprechend
der Jobdatei. Das EQ 204, das in der vollautomatischen
Betriebsart betreibbar ist, bildet daher das vorbestimmte
Muster der Maske auf jeden Halbleiterwafer entsprechend der
Jobdatei ab.
Wenn das EQ 204, beispielsweise das Überlagerungsgerät, das
in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, nicht
die Jobdatei entsprechend dem Posten der Halbleiterwafer
aufweist, stellt der CMS 204 die Jobdatei dem EQ 204 zur
Verfügung, das in der halbautomatischen Betriebsart
betreibbar ist. Der CMS 206 ordnet den Halbleiterprozeß dem
EQ 204 zu, das in der halbautomatischen Betriebsart
betreibbar ist. Der CMS 206 schickt den Transportbefehl an
das AGV 214, so daß der Posten der Halbleiterwafer zum EQ 204
transportiert werden kann, das in der halbautomatischen
Betriebsart betreibbar ist. Das AGV 214 transportiert in
Reaktion auf den Transportbefehl den Posten der
Halbleiterwafer zu dem EQ 204, das in der halbautomatischen
Betriebsart betreibbar ist. Das EQ 204, das in der
halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist, bearbeitet den
Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei. Daher
bildet das EQ 204, das in der halbautomatischen Betriebsart
betreibbar ist, das vorbestimmte Muster der Maske auf jeden
Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei ab.
In Fig. 2 ist ein Blockschaltbild dargestellt, welches einen
in Fig. 1 dargestellten Zellenmanagementserver (CMS) zeigt.
Wie dargestellt weist der CMS 206 einen Festlegungsblock 602
auf, einen Bereitstellungsblock 604, einen Zuordnungsblock
608 sowie einen Befehlsblock 610. Der Festlegungsblock 602
legt fest, ob das EQ 204, das in der vollautomatischen
Betriebsart betreibbar ist, eine Jobdatei entsprechend dem
Posten an Halbleiterwafern aufweist, wobei die Jobdatei,
welche für einen Halbleiterprozeß erforderliche Daten
repräsentiert, Identifizierungsinformation in Bezug auf den
Halbleiterprozeß sowie eine ausführbare Datei zur Ausführung
des Halbleiterprozesses aufweist.
Wenn das EQ 204, das in der vollautomatischen Betriebsart
betreibbar ist, die Jobdatei entsprechend dem Posten an
Halbleiterwafern aufweist, ordnet der Zuordnungsblock 608
einen Halbleiterprozeß dem EQ 204 zu, das in der
vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist. Dann schickt
der Befehlsblock 610 einen Transportbefehl an das AGV 214, so
daß der Posten an Halbleiterwafern zu dem EQ 204
transportiert werden kann, welche in der vollautomatischen
Betriebsart betreibbar ist.
Wenn das EQ 204, das in der vollautomatischen Betriebsart
betreibbar ist, nicht die Jobdatei entsprechend dem Posten an
Halbleiterwafern aufweist, stellt der Bereitstellungsblock
604 die Jobdatei dem EQ 204 zur Verfügung, welches in der
halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist. Dann ordnet der
Zuordnungsblock 608 den Halbleiterprozeß dem EQ 204 zu, das
in der halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist. Der
Befehlsblock 610 schickt den Transportbefehl an das AGV 214,
so daß der Posten der Halbleiterwafer zum EQ 204
transportiert werden kann, das in der halbautomatischen
Betriebsart betreibbar ist.
In Fig. 3 ist ein Flußdiagramm dargestellt, welches ein
Verfahren zur Bearbeitung eines Postens von Halbleiterwafern
in einer halbautomatischen Betriebsart oder einer
vollautomatischen Betriebsart gemäß der vorliegenden
Erfindung erläutert.
Im Schritt S300 stellt der Festlegungsblock 602 des CMS 206
fest, ob das EQ 204, beispielsweise ein Überlagerungsgerät,
das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, eine
Jobdatei entsprechend dem Posten an Halbleiterwafern
aufweist, wobei die Jobdatei Daten repräsentiert, die für
einen Halbleiterprozeß erforderlich sind. Die Jobdatei weist
Identifizierungsinformation in Bezug auf den Halbleiterprozeß
sowie eine ausführbare Datei zur Ausführung des
Halbleiterprozesses auf.
Wenn das EQ 204, das in der vollautomatischen Betriebsart
betreibbar ist, die Jobdatei entsprechend dem Posten an
Halbleiterwafern aufweist, ordnet im Schritt S302 der
Zuordnungsblock 608 des CMS 206 einen Halbleiterprozeß dem EQ
204 zu, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar
ist.
Im Schritt S304 schickt der Befehlsblock 610 des CMS 206
einen Transportbefehl an das AGV 214, so daß der Posten an
Halbleiterwafern zu dem EQ 204 befördert werden kann, das in
der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist.
Im Schritt S306 transportiert das AGV 214 in Reaktion auf den
Transportbefehl den Posten an Halbleiterwafern zu dem EQ 204,
das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist.
Im Schritt S308 bearbeitet das EQ 204, das in der
vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, den Posten an
Halbleiterwafern entsprechend der Jobdatei. Daher setzt das
EQ 204, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar
ist, einen Überlagerungsprozeß bei dem Posten an
Halbleiterwafern entsprechend der Jobdatei ein.
Wenn das EQ 204, beispielsweise das Überlagerungsgerät, das
in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, nicht
die Jobdatei entsprechend dem Posten an Halbleiterwafern
aufweist, stellt im Schritt S310 der Bereitstellungsblock 604
des CMS 206 die Jobdatei dem EQ 204 zur Verfügung, das in der
halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist.
Im Schritt S312 ordnet der Zuordnungsblock 608 des CMS 206
den Halbleiterprozeß dem EQ 204 zu, das in der
halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist.
Im Schritt S314 schickt der Befehlsblock 610 des CMS 206 den
Transportbefehl an das AGV 214, so daß der Posten der
Halbleiterwafer zum EQ 204 befördert werden kann, das in der
halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist.
Im Schritt S316 transportiert das AGV 214 in Reaktion auf den
Transportbefehl den Posten der Halbleiterwafer zu dem EQ 204,
das in der halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist.
Im Schritt S318 bearbeitet das EQ 204, das in der
halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist, den Posten der
Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei. Daher setzt das EQ
204, das in der halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist,
den Überlagerungsprozeß bei dem Posten von Halbleiterwafern
entsprechend der Jobdatei ein.
Obwohl die bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung zum
Zwecke der Erläuterung geschildert wurden, wird Fachleuten
auf diesem Gebiet auffallen, daß verschiedene Modifikationen,
Hinzufügungen und Ersetzungen möglich sind, ohne vom Wesen
und Umfang der Erfindung abzuweichen, wie dies in den
beigefügten Patentansprüchen angegeben ist.
Claims (36)
1. Einrichtung zur Bearbeitung eines Postens von
Halbleiterwafer, wobei der Posten als eine vorbestimmte
Anzahl an Halbleiterwafern definiert ist, und vorgesehen
sind:
eine erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung, die in einer ersten Betriebsart betreibbar ist, um den Posten der Halbleiterwafer entsprechend einer Jobdatei zu bearbeiten, welche Daten repräsentiert, die für einen Halbleiterprozeß erforderlich sind;
eine zweite Halbleiterbearbeitungsvorrichtung, die in einer zweiten Betriebsart betreibbar ist, um den Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei zu bearbeiten;
eine Festlegungsvorrichtung zur Festlegung, ob die erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung die Jobdatei aufweist; und
eine Bereitstellungsvorrichtung, um die Jobdatei der zweiten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung zur Verfügung zu stellen, wenn die erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung nicht die Jobdatei aufweist.
eine erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung, die in einer ersten Betriebsart betreibbar ist, um den Posten der Halbleiterwafer entsprechend einer Jobdatei zu bearbeiten, welche Daten repräsentiert, die für einen Halbleiterprozeß erforderlich sind;
eine zweite Halbleiterbearbeitungsvorrichtung, die in einer zweiten Betriebsart betreibbar ist, um den Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei zu bearbeiten;
eine Festlegungsvorrichtung zur Festlegung, ob die erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung die Jobdatei aufweist; und
eine Bereitstellungsvorrichtung, um die Jobdatei der zweiten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung zur Verfügung zu stellen, wenn die erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung nicht die Jobdatei aufweist.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, welche weiterhin aufweist:
eine Zuordnungsvorrichtung zum Zuordnen des Halbleiterprozesses zur ersten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung oder zur zweiten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung.
eine Zuordnungsvorrichtung zum Zuordnen des Halbleiterprozesses zur ersten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung oder zur zweiten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung.
3. Einrichtung nach Anspruch 2, welche weiterhin aufweist:
eine Transportvorrichtung zum Transport einer Halbleiterwaferkassette, welche den Posten an Halbleiterwafern enthält, zu der ersten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung oder zur zweiten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung in Reaktion auf einen Transportbefehl.
eine Transportvorrichtung zum Transport einer Halbleiterwaferkassette, welche den Posten an Halbleiterwafern enthält, zu der ersten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung oder zur zweiten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung in Reaktion auf einen Transportbefehl.
4. Einrichtung nach Anspruch 3, welche weiterhin aufweist:
eine Befehlsvorrichtung zum Schicken des Transportbefehls an die Transportvorrichtung.
eine Befehlsvorrichtung zum Schicken des Transportbefehls an die Transportvorrichtung.
5. Einrichtung nach Anspruch 4, bei welcher die erste
Betriebsart eine vollautomatische Betriebsart umfaßt.
6. Einrichtung nach Anspruch 5, bei welcher die zweite
Betriebsart eine halbautomatische Betriebsart umfaßt.
7. Einrichtung nach Anspruch 6, bei welcher die Jobdatei
Identifizierungsinformation in Bezug auf den
Halbleiterprozeß sowie eine ausführbare Datei zur
Ausführung des Halbleiterprozesses aufweist.
8. Einrichtung nach Anspruch 7, welche weiterhin aufweist:
eine Aufbewahrungseinrichtung zum Aufbewahren der Halbleiterwaferkassette.
eine Aufbewahrungseinrichtung zum Aufbewahren der Halbleiterwaferkassette.
9. Einrichtung nach Anspruch 8, bei welcher die erste und
die zweite Halbleiterbearbeitungsvorrichtung ein
Überlagerungsgerät aufweisen.
10. Einrichtung nach Anspruch 9, bei welcher das
Überlagerungsgerät aufweist:
ein erstes Überlagerungsgerät, welches in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, um einen Überlagerungsprozeß bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei einzusetzen; und
ein zweites Überlagerungsgerät, welches in der halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist, um den Überlagerungsprozeß bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei einzusetzen.
ein erstes Überlagerungsgerät, welches in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, um einen Überlagerungsprozeß bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei einzusetzen; und
ein zweites Überlagerungsgerät, welches in der halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist, um den Überlagerungsprozeß bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei einzusetzen.
11. Halbleiter-Betriebsautomatisierungssystem (FA-System)
zur Bearbeitung eines Postens aus Halbleiterwafern,
wobei der Posten als eine vorbestimmte Anzahl an
Halbleiterwafern definiert ist, und vorgesehen sind:
eine erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung, die in einer ersten Betriebsart betreibbar ist, um den Posten der Halbleiterwafer entsprechend einer Jobdatei zu bearbeiten, welche Daten repräsentiert, die für einen Halbleiterprozeß benötigt werden;
eine zweite Halbleiterbearbeitungsvorrichtung, die ein einer zweiten Betriebsart betreibbar ist, um den Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei zu bearbeiten;
eine Festlegungsvorrichtung zur Festlegung, ob die erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung die Jobdatei aufweist; und
eine Bereitstellungsvorrichtung, um die Jobdatei der zweiten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung zur Verfügung zustellen, wenn die erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung nicht die Jobdatei aufweist.
eine erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung, die in einer ersten Betriebsart betreibbar ist, um den Posten der Halbleiterwafer entsprechend einer Jobdatei zu bearbeiten, welche Daten repräsentiert, die für einen Halbleiterprozeß benötigt werden;
eine zweite Halbleiterbearbeitungsvorrichtung, die ein einer zweiten Betriebsart betreibbar ist, um den Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei zu bearbeiten;
eine Festlegungsvorrichtung zur Festlegung, ob die erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung die Jobdatei aufweist; und
eine Bereitstellungsvorrichtung, um die Jobdatei der zweiten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung zur Verfügung zustellen, wenn die erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung nicht die Jobdatei aufweist.
12. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 11, welches weiterhin
aufweist:
eine Zuordnungsvorrichtung zum Zuordnen des Halbleiterprozesses zur ersten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung oder zur zweiten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung.
eine Zuordnungsvorrichtung zum Zuordnen des Halbleiterprozesses zur ersten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung oder zur zweiten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung.
13. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 12, welches weiterhin
aufweist:
eine Transportvorrichtung zum Transportieren einer Halbleiterwaferkassette, welche den Posten an Halbleiterwafern enthält, zu der ersten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung oder zu der zweiten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung in Reaktion auf einen Transportbefehl.
eine Transportvorrichtung zum Transportieren einer Halbleiterwaferkassette, welche den Posten an Halbleiterwafern enthält, zu der ersten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung oder zu der zweiten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung in Reaktion auf einen Transportbefehl.
14. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 13, welches weiterhin
aufweist:
eine Befehlsvorrichtung zum Schicken des Transportbefehls an die Transportvorrichtung.
eine Befehlsvorrichtung zum Schicken des Transportbefehls an die Transportvorrichtung.
15. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 14, bei welchem die
erste Betriebsart eine vollautomatische Betriebsart
umfaßt.
16. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 15, bei welchem die
zweite Betriebsart eine halbautomatische Betriebsart
umfaßt.
17. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 16, bei welchem die
Jobdatei Identifizierungsinformation in Bezug auf den
Halbleiterprozeß sowie eine ausführbare Datei zur
Ausführung des Halbleiterprozesses aufweist.
18. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 17, welches weiterhin
aufweist:
eine Aufbewahrungsvorrichtung zum Aufbewahren der Halbleiterwaferkassette.
eine Aufbewahrungsvorrichtung zum Aufbewahren der Halbleiterwaferkassette.
19. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 18, bei welchem die
erste und die zweite Halbleiterbearbeitungsvorrichtung
aufweist:
ein Überlagerungsgerät zum Einsatz eines Überlagerungsprozesses bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei.
ein Überlagerungsgerät zum Einsatz eines Überlagerungsprozesses bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei.
20. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 19, bei welchem das
Überlagerungsgerät aufweist:
ein erstes Überlagerungsgerät, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, um einen Überlagerungsprozeß bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei einzusetzen; und
ein zweites Überlagerungsgerät, welches in der halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist, um den Überlagerungsprozeß bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei einzusetzen.
ein erstes Überlagerungsgerät, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, um einen Überlagerungsprozeß bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei einzusetzen; und
ein zweites Überlagerungsgerät, welches in der halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist, um den Überlagerungsprozeß bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei einzusetzen.
21. Verfahren zur Bearbeitung eines Postens aus
Halbleiterwafern in einem Halbleiter-
Fabrikautomatisierungssystem (FA-System), wobei der
Posten als eine vorbestimmte Anzahl an Halbleiterwafern
definiert ist, mit folgenden Schritten:
- a) Festlegung, ob ein erstes Prozeßgerät, das in einer ersten Betriebsart betreibbar ist, eine Jobdatei entsprechend dem Posten an Halbleiterwafern aufweist, wobei die Jobdatei Daten repräsentiert, die für einen Halbleiterprozeß erforderlich sind;
- b) wenn das erste Prozeßgerät, das in der ersten Betriebsart betreibbar ist, die Jobdatei aufweist, Bearbeitung des Postens der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem ersten Prozeßgerät;
- c) wenn das erste Prozeßgerät, das in der ersten Betriebsart betreibbar ist, nicht die Jobdatei aufweist, Bereitstellung der Jobdatei für ein zweites Prozeßgerät, das in einer zweiten Betriebsart betreibbar ist; und
- d) Bearbeitung des Postens der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem zweiten Prozeßgerät.
22. Verfahren nach Anspruch 21, bei welchem der Schritt (b)
folgende Schritte umfaßt:
- 1. wenn das erste Prozeßgerät, das in der ersten Betriebsart betreibbar ist, die Jobdatei aufweist, Zuordnung des Halbleiterprozesses zu dem ersten Prozeßgerät;
- 2. Schicken eines Transportbefehls von einem Zellenmanagementserver an ein automatisches Führungsfahrzeug, so daß der Posten an Halbleiterwafern zum ersten Prozeßgerät transportiert werden kann;
- 3. Transportieren des Postens der Halbleiterwafer zu dem Prozeßgerät in Reaktion auf den Transportbefehl; und
- 4. Bearbeitung des Postens der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem ersten Prozeßgerät.
23. Verfahren nach Anspruch 22, bei welchem der Schritt d)
folgende Schritte umfaßt:
- 1. Zuordnung des Halbleiterprozesses zu dem zweiten Prozeßgerät;
- 2. Schicken des Transportbefehls von dem Zellenmanagementserver zu dem automatischen Führungsfahrzeug, so daß der Posten der Halbleiterwafer zum zweiten Prozeßgerät befördert werden kann;
- 3. Transportieren des Postens der Halbleiterwafer zu dem zweiten Prozeßgerät in Reaktion auf den Transportbefehl; und
- 4. Bearbeitung des Postens der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem zweiten Prozeßgerät.
24. Verfahren nach Anspruch 23, bei welchem die erste
Betriebsart eine vollautomatische Betriebsart umfaßt.
25. Verfahren nach Anspruch 24, bei welchem die zweite
Betriebsart eine halbautomatische Betriebsart umfaßt.
26. Verfahren nach Anspruch 25, bei welchem die Jobdatei
Identifizierungsinformation in Bezug auf den
Halbleiterprozeß sowie eine ausführbare Datei zur
Ausführung des Halbleiterprozesses aufweist.
27. Verfahren nach Anspruch 26, bei welchem der Schritt b4)
folgenden Schritt umfaßt:
Einsatz eines Überlagerungsprozesses bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem ersten Prozeßgerät.
Einsatz eines Überlagerungsprozesses bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem ersten Prozeßgerät.
28. Verfahren nach Anspruch 27, bei welchem der Schritt d4)
folgenden Schritt umfaßt:
Einsatz des Überlagerungsprozesses bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem zweiten Prozeßgerät.
Einsatz des Überlagerungsprozesses bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem zweiten Prozeßgerät.
29. Computerlesbares Medium, welches Programmbefehle
speichert, wobei die Programmbefehle auf einem Computer
vorgesehen sind, um ein Verfahren zur Bearbeitung eines
Postens von Halbleiterwafern in einem Halbleiter-
Fabrikautomatisierungssystem (FA-System) durchzuführen,
wobei der Posten als eine vorbestimmte Anzahl an
Halbleiterwafern definiert ist, mit folgenden Schritten:
- a) Festlegung, ob ein erstes Prozeßgerät, das in einer ersten Betriebsart betreibbar ist, eine Jobdatei entsprechend dem Posten an Halbleiterwafern aufweist, wobei die Jobdatei Daten repräsentiert, die für einen Halbleiterprozeß erforderlich sind;
- b) wenn das erste Prozeßgerät, das in der ersten Betriebsart betreibbar ist, die Jobdatei aufweist, Bearbeitung des Postens der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem ersten Prozeßgerät;
- c) wenn das erste Prozeßgerät, das in der ersten Betriebsart betreibbar ist, nicht die Jobdatei aufweist, Bereitstellung der Jobdatei für ein zweites Prozeßgerät, das in einer zweiten Betriebsart betreibbar ist; und
- d) Bearbeitung des Postens der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem zweiten Prozeßgerät.
30. Computerlesbares Medium nach Anspruch 29, bei welchem
der Schritt b) folgende Schritte umfaßt:
- 1. wenn das erste Prozeßgerät, das in der ersten Betriebsart betreibbar ist, die Jobdatei aufweist, Zuordnung des Halbleiterprozesses zu dem ersten Prozeßgerät;
- 2. Schicken eines Transportbefehls von einem Zellenmanagementserver an ein automatisches Führungsfahrzeug, so daß der Posten der Halbleiterwafer zu dem ersten Prozeßgerät transportiert werden kann;
- 3. Transportieren des Postens der Halbleiterwafer zu dem ersten Prozeßgerät in Reaktion auf den Transportbefehl; und
- 4. Bearbeitung des Postens der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem ersten Prozeßgerät.
31. Computerlesbares Medium nach Anspruch 30, bei welchem
der Schritt d) folgende Schritte umfaßt:
- 1. Zuordnen des Halbleiterprozesses zu dem zweiten Prozeßgerät;
- 2. Schicken des Transportbefehls von dem Zellenmanagementserver zu dem automatischen Führungsfahrzeug, so daß der Posten der Halbleiterwafer zu dem zweiten Prozeßgerät transportiert werden kann;
- 3. Transportieren des Postens der Halbleiterwafer zu dem zweiten Prozeßgerät in Reaktion auf den Transportbefehl; und
- 4. Bearbeitung des Postens der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem zweiten Prozeßgerät.
32. Computerlesbares Medium nach Anspruch 31, bei welchem
die erste Betriebsart eine vollautomatische Betriebsart
umfaßt.
33. Computerlesbares Medium nach Anspruch 32, bei welchem
die zweite Betriebsart eine halbautomatische Betriebsart
umfaßt.
34. Computerlesbares Medium nach Anspruch 33, bei welchem
die Jobdatei Identifizierungsinformation in Bezug auf
den Halbleiterprozeß und eine ausführbare Datei zur
Ausführung des Halbleiterprozesses aufweist.
35. Computerlesbares Medium nach Anspruch 34, bei welchem
der Schritt b4) folgenden Schritt umfaßt:
Einsatz eines Überlagerungsprozesses bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem ersten Prozeßgerät.
Einsatz eines Überlagerungsprozesses bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem ersten Prozeßgerät.
36. Computerlesbares Medium nach Anspruch 35, bei welchem
der Schritt d4) folgenden Schritt umfaßt:
Einsatz des Überlagerungsprozesses bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem zweiten Prozeßgerät.
Einsatz des Überlagerungsprozesses bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem zweiten Prozeßgerät.
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