DE10030481B4

DE10030481B4 - Halbleiter-Fabrikautomatisierungssystem und Verfahren zur Bearbeitung eines Postens von Halbleiterwafern in einer vollautomatischen oder halbautomatischen Betriebsart

Info

Publication number: DE10030481B4
Application number: DE10030481A
Authority: DE
Inventors: Bo-Soon Ichon Jang
Original assignee: Hyundai Electronics Industries Co Ltd
Current assignee: SK Hynix Inc
Priority date: 1999-06-22
Filing date: 2000-06-21
Publication date: 2009-06-04
Anticipated expiration: 2020-06-22
Also published as: KR20010003301A; GB2351364A; GB2351364B; GB0015354D0; JP2001057324A; CN1278655A; DE10030481A1; US6757578B1; CN1163945C; KR100510065B1; TW464999B; JP4536221B2

Abstract

Einrichtung zur Bearbeitung eines Postens von Halbleiterwafern, wobei der Posten als eine vorbestimmte Anzahl an Halbleiterwafern definiert ist, und vorgesehen sind:
eine erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung (204), die in einer vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, um den Posten der Halbleiterwafer entsprechend einer Jobdatei zu bearbeiten, welche Daten repräsentiert, die für einen Halbleiterprozess erforderlich sind;
eine zweite Halbleiterbearbeitungsvorrichtung (204), die in einer halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist, um den Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei zu bearbeiten;
eine Festlegungsvorrichtung (602) zur Festlegung, ob die erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung die Jobdatei aufweist; und
eine Bereitstellungsvorrichtung (604), um die Jobdatei der zweiten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung zur Verfügung zu stellen, wenn die erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung nicht die Jobdatei aufweist.

Description

Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Halbleiter-Fabrikautomatisierungssystem (nachstehend als FA-System bezeichnet), und insbesondere ein Halbleiter-FA-System und ein Verfahren zur Bearbeitung eines Postens von Halbleiterwafern in einer vollautomatischen Betriebsart oder einer halbautomatischen Betriebsart.
Beschreibung des Stands der Technik
Im allgemeinen enthält ein herkömmliches Halbleiter-FA-System zumindest eine Zelle. Die Zelle weist mehrere Halbleiterherstellungsabteilungen auf. Eine der Halbleiterherstellungsabteilungen enthält Prozeßgeräte, Aufbewahrungseinrichtungen und ein automatisches Führungsfahrzeug (nachstehend als AGV bezeichnet). Ein Prozeßgerät bearbeitet einen Posten von Halbleiterwafern, damit Halbleitergeräte erhalten werden. Die Prozeßgeräte umfassen ein Ätzgerät, ein Ofengerät, ein Photolithographiegerät, ein Überlagerungsgerät und dergleichen. Eine Aufbewahrungseinrichtung bewahrt zeitweilig eine Halbleiterwaferkassette auf, die von einer Halbleiterherstellungsabteilung zu einer anderen Halbleiterherstellungsabteilung transportiert werden soll, sowie die Halbleiterwaferkassette, die in dem Prozeßgerät bearbeitet wird. Die Halbleiterwaferkassette ist ein Behälter, der mehrere Halbleiterwafer aufnehmen kann.
Weiterhin wird das herkömmliche Halbleiter-FA-Gerät in einer Betriebsart verwendet, wobei die Betriebsart eine halbautomatische Betriebsart und eine vollautomatische Betriebsart umfaßt. Daher benötigt das herkömmliche Halbleiter-FA-System dringend ein Schema, welches den Posten der Halbleiterwafer effektiv in der vollautomatischen Betriebsart oder der halbautomatischen Betriebsart bearbeiten kann.
Die US 5432702 A offenbart ein System zur Verarbeitung von Halbleiterwafern, mit einem Strichcode-Lesegerät, einem Arbeitsstations-Controller, einem zentralen Rechner und Werkzeugen zur Bearbeitung des Wafers. Auf Basis eines gelesenen Strichcodes bestimmt der Arbeitsstations-Controller, ob ein bestimmtes Werkzeug einen von dem zentralen Rechner in Auftrag gegebenen Arbeitsschritt ausführen kann. Ist dies nicht der Fall, z. B. wenn das Werkzeug auf Grund eines bereits laufenden Prozesses nicht verfügbar ist oder wenn ihm ein für die Bearbeitung notwendiges Rezept nicht vorliegt, so wird eine Fehlermeldung ausgegeben. Ein Operator kann dann einen geeigneten Schritt zur Fehlerbeseitigung einleiten.
Die US 4974166 offenbart ein System zum Speichern, Transportieren und Verarbeiten von Artikeln, bei dem mit einer Datenverarbeitung versehene Transportbehälter Information zu den jeweils zu transportierenden Artikeln empfangen, speichern, weiterleiten und anzeigen. Arbeitsstationen nehmen die Transportbehälter auf, verarbeiten die Artikel und kommunizieren mit einem zentralen Rechner bezüglich des Transportstatus und des Arbeitsfortschritts.
Die US 6175777 B1 offenbart ein System zum Überführen einer Wafer-Kassette zwischen einem automatischen Führungsfahrzeug und einer Bearbeitungseinrichtung einer Halbleiterproduktionsstätte. Dabei wird ein Anfragesignal von der Kassette z. B. drahtlos übertragen und der Betriebsmodus der Bearbeitungseinrichtung abgefragt bzw. eingestellt. Nach der Bearbeitung wird ggf. wird ein weiteres Signal in der Gegenrichtung übertragen, um die Rückführung in das Führungsfahrzeug einzuleiten.
Wiesler, M.: Robotic Automation within the Semiconductor Industry, Solid State Technology, ISSN 0038-111X, 1988, Heft 7, Seite 51–54 schlägt die Nutzung von automatischen Führungsfahrzeugen für den Transport zwischen einzelnen Arbeitsstationen und/oder voll automatisierten Produktionszellen vor. Für die Prozesskontrolle werden ein zentraler Rechner und Controller benötigt, um so eine Produkt- und Instandhaltungsverfolgung sowie eine Produkthistorie zu ermöglichen.
Zusammenfassung der Erfindung
Ein Ziel der vorliegenden Erfindung besteht daher in der Bereitstellung eines Halbleiter-FA-Systems und eines Verfahrens, welche effektiv einen Posten von Halbleiterwafern in einer vollautomatischen Betriebsart oder einer halbautomatischen Betriebsart bearbeiten können.
Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung besteht daher in der Bereitstellung eines computerlesbaren Mediums, welches Programmbefehle speichert, wobei die Programmbefehle auf einem Computer vorhanden sind, um ein Verfahren durchzuführen, welches effektiv einen Posten von Halbleiterwafern in einer vollautomatischen Betriebsart oder einer halbautomatischen Betriebsart bearbeiten kann.
Gemäß einer Zielrichtung der vorliegenden Erfindung wird eine Einrichtung zur Bearbeitung eines Postens von Halbleiterwafern zur Verfügung gestellt, wobei der Posten als eine vorbestimmte Anzahl an Halbleiterwafern festgelegt ist, und vorgesehen sind: eine erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung, die in einer vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, um den Posten der Halbleiterwafer entsprechend einer Jobdatei zu bearbeiten, welche Daten repräsentiert, die für einen Halbleiterprozeß erforderlich sind; eine zweite Halbleiterbearbeitungsvorrichtung, die in einer halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist, um den Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei zu bearbeiten; eine Festlegungsvorrichtung zur Festlegung, ob die erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung die Jobdatei aufweist; und eine Bereitstellungsvorrichtung, um die Jobdatei der zweiten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung zur Verfügung zu stellen, wenn die erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung nicht die Jobdatei aufweist.
Gemäß einer weiteren Zielrichtung der vorliegenden Erfindung wird ein Halbleiterbetriebsautomatisierungssystem (FA-System) zur Bearbeitung eines Postens von Halbleiterwafern zur Verfügung gestellt, wobei der Posten als eine vorbestimmte Anzahl an Halbleiterwafern definiert ist, und vorgesehen sind: eine erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung, die in einer vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, um den Posten der Halbleiterwafer entsprechend einer Jobdatei zu bearbeiten, welche Daten repräsentiert, die für einen Halbleiterprozeß erforderlich sind; eine zweite Halbleiterbearbeitungsvorrichtung, die in einer halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist, um den Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei zu bearbeiten; eine Festlegungsvorrichtung zur Festlegung, ob die erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung die Jobdatei aufweist; und eine Bereitstellungsvorrichtung, um die Jobdatei der zweiten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung zur Verfügung zu stellen, wenn die erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung nicht die Jobdatei aufweist.
Gemäß einer weiteren Zielrichtung der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zur Bearbeitung eines Postens von Halbleiterwafern in einem Halbleiter-Fabrikautomatisierungssystem (FA-System) zur Verfügung gestellt, wobei der Posten als eine vorbestimmte Anzahl an Halbleiterwafern definiert ist, mit folgenden Schritten:
(a) Feststellung, ob ein erstes Prozeßgerät, das in einer vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, eine Jobdatei entsprechend dem Posten der Halbleiterwafer aufweist, wobei die Jobdatei Daten repräsentiert, die für einen Halbleiterprozeß erforderlich sind; (b) wenn das erste Prozeßgerät, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, die Jobdatei aufweist, Bearbeitung des Postens der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem ersten Prozeßgerät; (c) wenn das erste Prozeßgerät, welches in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, nicht die Jobdatei aufweist, Bereitstellung der Jobdatei bei einem zweiten Prozeßgerät, das in einer halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist; und (d) Bearbeitung des Postens der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem zweiten Prozeßgerät.
Gemäß einer weiteren Zielrichtung der vorliegenden Erfindung wird ein computerlesbares Medium zur Verfügung gestellt, welches Programmbefehle speichert, wobei die Programmbefehle auf einem Computer vorgesehen sind, um ein Verfahren zur Bearbeitung eines Postens von Halbleiterwafern in einem Halbleiter-Fabrikautomatisierungssystem (FA-System) durchzuführen, wobei der Posten als eine vorbestimmte Anzahl an Halbleiterwafern definiert ist, mit folgenden Schritten:
(a) Festlegung, ob ein erstes Prozeßgerät, das in einer vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, eine Jobdatei entsprechend dem Posten an Halbleiterwafern aufweist, wobei die Jobdatei Daten repräsentiert, die für einen Halbleiterprozeß erforderlich sind; (b) wenn das erste Prozeßgerät, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, die Jobdatei aufweist, Bearbeitung des Postens der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem ersten Prozeßgerät; (c) wenn das erste Prozeßgerät, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, nicht die Jobdatei aufweist, Bereitstellung der Jobdatei bei einem zweiten Prozeßgerät, das in einer halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist; und (d) Bearbeitung des Postens der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem zweiten Prozeßgerät.
Kurzbeschreibung der Zeichnungen
Die voranstehenden und weitere Ziele und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden aus der nachstehenden Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform im Zusammenhang mit den beigefügten Zeichnungen deutlich. Es zeigt:
1 ein Blockschaltbild eines Halbleiter-FA-Systems zur Bearbeitung eines Postens von Halbleiterwafern in einer halbautomatischen Betriebsart oder einer vollautomatischen Betriebsart gemäß der vorliegenden Erfindung;
2 ein Blockschaltbild mit einer Darstellung eines Zellenmanagementservers (CMS), der in 1 gezeigt ist; und
3 ein Flußdiagramm zur Erläuterung eines Verfahrens zur Bearbeitung eines Postens von Halbleiterwafern in einer halbautomatischen Betriebsart oder einer vollautomatischen Betriebsart gemäß der vorliegenden Erfindung.
Detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
In 1 ist ein Blockschaltbild gezeigt, welches ein Halbleiter-FA-System zur Bearbeitung eines Postens von Halbleiterwafern in einer halbautomatischen Betriebsart oder einer vollautomatischen Betriebsart gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt. Wie dargestellt weist das Halbleiter-FA-System zumindest eine Zelle auf, die mit einer vorbestimmten Anzahl, beispielsweise 4, an Halbleiterherstellungsabteilungen versehen ist. Eine Halbleiterherstellungsabteilung 400 ist in einer Zelle enthalten. Eine Halbleiterherstellungsabteilung 400 ist mit EQs 204, Aufbewahrungseinrichtungen 216 und einem AGV 214 versehen. Das EQ 204 bearbeitet Halbleiterwafer, um Halbleitergeräte zu erhalten. Das EQ 204 weist beispielsweise ein Ätzgerät auf, ein Photolithographiegerät, ein Überlagerungsgerät, ein Ofengerät, ein Gerät zur physikalischen Dampfablagerung (PVD), ein Sputtergerät und dergleichen. Eine Aufbewahrungseinrichtung 216 speichert temporär eine Anzahl an Halbleiterwaferkassetten. Jede der Halbleiterwaferkassetten weist eine vorbestimmte Anzahl an Halbleiterwafern auf, die als Posten bezeichnet wird. Die Halbleiterwaferkassetten werden selektiv zu dem EQ 204 unter Verwendung des AGV 214 transportiert. Die Halbleiterwaferkassette, die in der Aufbewahrungseinrichtung 216 aufbewahrt ist, wird einer anderen Halbleiterherstellungsabteilung 400 zugeführt.
Ein Prozeßgeräteserver (nachstehend als EQS bezeichnet) 202 ist mit einer gemeinsamen Kommunikationsleitung 500 gekoppelt, beispielsweise Ethernet^TM, das von der Xerox Corporation geliefert wird. Eine AGV-Steuerung (nachstehend als AGVC bezeichnet) 212 steuert das AGV 214.
Das Halbleiter-FA-System weist weiterhin einen Zellenmanagementabschnitt 100 auf, eine Echtzeitdatenbank 300, die mit dem Zellenmanagementabschnitt 100 verbunden ist, eine Temporärspeichereinheit 310, einen Vorgeschichtemanagementabschnitt 312, der mit der Temporärspeichereinheit 310 verbunden ist, und eine Vorgeschichtendatenbank 314, die mit dem Vorgeschichtemanagementabschnitt 312 verbunden ist. Der Zellenmanagementabschnitt 100, der Vorgeschichtemanagementabschnitt 312 und die Vorgeschichtedatenbank 314 sind jeweils mit der gemeinsamen Kommunikationsleitung 500 zur gegenseitigen Kommunikation verbunden.
Der Zellenmanagementabschnitt 100 weist einen Zellenmanagementserver (nachstehend als CMS bezeichnet) 206 auf, einen Benutzerschnittstellenserver (OIS) 201 und einen Datensammelserver (DGS) 207. Der DGS 207 speichert Prozeßdaten, welche zu dem Posten gehören, in der Echtzeitdatenbank 300.
Der CMS 206 stellt fest, ob das EQ 204, beispielsweise ein Überlagerungsgerät, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, eine Jobdatei entsprechend den Posten an Halbleiterwafern aufweist, wobei die Jobdatei Daten repräsentiert, die für einen Halbleiterprozeß erforderlich sind. Die Jobdatei enthält Identifizierungsinformation für einen Halbleiterprozeß und eine ausführbare Datei zum Ausführen des Halbleiterprozesses. Das Überlagerungsgerät bildet ein vorbestimmtes Muster einer Maske auf jeden Halbleiterwafer ab. Wenn das EQ 204, welches in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, die Jobdatei entsprechend dem Posten der Halbleiterwafer aufweist, ordnet der CMS 206 den Halbleiterprozeß dem EQ 204 zu, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist. Der CMS 206 schickt einen Transportbefehl an das AGV 214, so daß der Posten der Halbleiterwafer zu dem EQ 204 transportiert werden kann, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist. Das AGV 214 transportiert in Reaktion auf den Transportbefehl den Posten an Halbleiterwafern zu dem EQ 204, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist. Das EQ 204, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, bearbeitet den Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei. Das EQ 204, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, bildet daher das vorbestimmte Muster der Maske auf jeden Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei ab.
Wenn das EQ 204, beispielsweise das Überlagerungsgerät, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, nicht die Jobdatei entsprechend dem Posten der Halbleiterwafer aufweist, stellt der CMS 206 die Jobdatei dem EQ 204 zur Verfügung, das in der halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist. Der CMS 206 ordnet den Halbleiterprozeß dem EQ 204 zu, das in der halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist. Der CMS 206 schickt den Transportbefehl an das AGV 214, so daß der Posten der Halbleiterwafer zum EQ 204 transportiert werden kann, das in der halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist. Das AGV 214 transportiert in Reaktion auf den Transportbefehl den Posten der Halbleiterwafer zu dem EQ 204, das in der halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist. Das EQ 204, das in der halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist, bearbeitet den Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei. Daher bildet das EQ 204, das in der halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist, das vorbestimmte Muster der Maske auf jeden Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei ab.
In 2 ist ein Blockschaltbild dargestellt, welches einen in 1 dargestellten Zellenmanagementserver (CMS) zeigt.
Wie dargestellt weist der CMS 206 einen Festlegungsblock 602 auf, einen Bereitstellungsblock 604, einen Zuordnungsblock 608 sowie einen Befehlsblock 610. Der Festlegungsblock 602 legt fest, ob das EQ 204, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, eine Jobdatei entsprechend dem Posten an Halbleiterwafern aufweist, wobei die Jobdatei, welche für einen Halbleiterprozeß erforderliche Daten repräsentiert, Identifizierungsinformation in Bezug auf den Halbleiterprozeß sowie eine ausführbare Datei zur Ausführung des Halbleiterprozesses aufweist.
Wenn das EQ 204, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, die Jobdatei entsprechend dem Posten an Halbleiterwafern aufweist, ordnet der Zuordnungsblock 608 einen Halbleiterprozeß dem EQ 204 zu, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist. Dann schickt der Befehlsblock 610 einen Transportbefehl an das AGV 214, so daß der Posten an Halbleiterwafern zu dem EQ 204 transportiert werden kann, welche in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist.
Wenn das EQ 204, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, nicht die Jobdatei entsprechend dem Posten an Halbleiterwafern aufweist, stellt der Bereitstellungsblock 604 die Jobdatei dem EQ 204 zur Verfügung, welches in der halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist. Dann ordnet der Zuordnungsblock 608 den Halbleiterprozeß dem EQ 204 zu, das in der halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist. Der Befehlsblock 610 schickt den Transportbefehl an das AGV 214, so daß der Posten der Halbleiterwafer zum EQ 204 transportiert werden kann, das in der halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist.
In 3 ist ein Flußdiagramm dargestellt, welches ein Verfahren zur Bearbeitung eines Postens von Halbleiterwafern in einer halbautomatischen Betriebsart oder einer vollautomatischen Betriebsart gemäß der vorliegenden Erfindung erläutert.
Im Schritt S300 stellt der Festlegungsblock 602 des CMS 206 fest, ob das EQ 204, beispielsweise ein Überlagerungsgerät, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, eine Jobdatei entsprechend dem Posten an Halbleiterwafern aufweist, wobei die Jobdatei Daten repräsentiert, die für einen Halbleiterprozeß erforderlich sind. Die Jobdatei weist Identifizierungsinformation in Bezug auf den Halbleiterprozeß sowie eine ausführbare Datei zur Ausführung des Halbleiterprozesses auf.
Wenn das EQ 204, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, die Jobdatei entsprechend dem Posten an Halbleiterwafern aufweist, ordnet im Schritt S302 der Zuordnungsblock 608 des CMS 206 einen Halbleiterprozeß dem EQ 204 zu, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist.
Im Schritt S304 schickt der Befehlsblock 610 des CMS 206 einen Transportbefehl an das AGV 214, so daß der Posten an Halbleiterwafern zu dem EQ 204 befördert werden kann, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist.
Im Schritt S306 transportiert das AGV 214 in Reaktion auf den Transportbefehl den Posten an Halbleiterwafern zu dem EQ 204, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist.
Im Schritt S308 bearbeitet das EQ 204, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, den Posten an Halbleiterwafern entsprechend der Jobdatei. Daher setzt das EQ 204, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, einen Überlagerungsprozeß bei dem Posten an Halbleiterwafern entsprechend der Jobdatei ein.
Wenn das EQ 204, beispielsweise das Überlagerungsgerät, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, nicht die Jobdatei entsprechend dem Posten an Halbleiterwafern aufweist, stellt im Schritt S310 der Bereitstellungsblock 604 des CMS 206 die Jobdatei dem EQ 204 zur Verfügung, das in der halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist.
Im Schritt S312 ordnet der Zuordnungsblock 608 des CMS 206 den Halbleiterprozeß dem EQ 204 zu, das in der halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist.
Im Schritt S314 schickt der Befehlsblock 610 des CMS 206 den Transportbefehl an das AGV 214, so daß der Posten der Halbleiterwafer zum EQ 204 befördert werden kann, das in der halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist.
Im Schritt S316 transportiert das AGV 214 in Reaktion auf den Transportbefehl den Posten der Halbleiterwafer zu dem EQ 204, das in der halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist.
Im Schritt S318 bearbeitet das EQ 204, das in der halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist, den Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei. Daher setzt das EQ 204, das in der halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist, den Überlagerungsprozeß bei dem Posten von Halbleiterwafern entsprechend der Jobdatei ein.
Obwohl die bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung zum Zwecke der Erläuterung geschildert wurden, wird Fachleuten auf diesem Gebiet auffallen, daß verschiedene Modifikationen, Hinzufügungen und Ersetzungen möglich sind, ohne vom Wesen und Umfang der Erfindung abzuweichen, wie dies in den beigefügten Patentansprüchen angegeben ist.

Claims

Einrichtung zur Bearbeitung eines Postens von Halbleiterwafern, wobei der Posten als eine vorbestimmte Anzahl an Halbleiterwafern definiert ist, und vorgesehen sind: eine erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung (204), die in einer vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, um den Posten der Halbleiterwafer entsprechend einer Jobdatei zu bearbeiten, welche Daten repräsentiert, die für einen Halbleiterprozess erforderlich sind; eine zweite Halbleiterbearbeitungsvorrichtung (204), die in einer halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist, um den Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei zu bearbeiten; eine Festlegungsvorrichtung (602) zur Festlegung, ob die erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung die Jobdatei aufweist; und eine Bereitstellungsvorrichtung (604), um die Jobdatei der zweiten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung zur Verfügung zu stellen, wenn die erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung nicht die Jobdatei aufweist.
Einrichtung nach Anspruch 1, welche weiterhin aufweist: eine Zuordnungsvorrichtung (608) zum Zuordnen des Halbleiterprozesses zur ersten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung oder zur zweiten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung.
Einrichtung nach Anspruch 2, welche weiterhin aufweist: eine Transportvorrichtung (214) zum Transport einer Halbleiterwaferkassette, welche den Posten an Halbleiterwafern enthält, zu der ersten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung oder zur zweiten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung in Reaktion auf einen Transportbefehl.
Einrichtung nach Anspruch 3, welche weiterhin aufweist: eine Befehlsvorrichtung (610) zum Schicken des Transportbefehls an die Transportvorrichtung (214).
Einrichtung nach Anspruch 1, bei welcher die Jobdatei Identifizierungsinformation in Bezug auf den Halbleiterprozess sowie eine ausführbare Datei zur Ausführung des Halbleiterprozesses aufweist.
Einrichtung nach Anspruch 5, welche weiterhin aufweist: eine Aufbewahrungseinrichtung (216) zum Aufbewahren der Halbleiterwaferkassette.
Einrichtung nach Anspruch 6, bei welcher die erste und die zweite Halbleiterbearbeitungsvorrichtung ein Überlagerungsgerät aufweisen.
Einrichtung nach Anspruch 7, bei welcher das Überlagerungsgerät aufweist: ein erstes Überlagerungsgerät, welches in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, um einen Überlagerungsprozess bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei einzusetzen; und ein zweites Überlagerungsgerät, welches in der halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist, um den Überlagerungsprozess bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei einzusetzen.
Halbleiter-Betriebsautomatisierungssystem (FA-System) zur Bearbeitung eines Postens aus Halbleiterwafern, wobei der Posten als eine vorbestimmte Anzahl an Halbleiterwafern definiert ist, und vorgesehen sind: eine erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung (204), die in einer vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, um den Posten der Halbleiterwafer entsprechend einer Jobdatei zu bearbeiten, welche Daten repräsentiert, die für einen Halbleiterprozess benötigt werden; eine zweite Halbleiterbearbeitungsvorrichtung (204), die ein einer halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist, um den Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei zu bearbeiten; eine Festlegungsvorrichtung (602) zur Festlegung, ob die erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung die Jobdatei aufweist; und eine Bereitstellungsvorrichtung (604), um die Jobdatei der zweiten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung zur Verfügung zustellen, wenn die erste Halbleiterbearbeitungsvorrichtung nicht die Jobdatei aufweist.
Halbleiter-FA-System nach Anspruch 9, welches weiterhin aufweist: eine Zuordnungsvorrichtung (608) zum Zuordnen des Halbleiterprozesses zur ersten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung oder zur zweiten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung.
Halbleiter-FA-System nach Anspruch 10, welches weiterhin aufweist: eine Transportvorrichtung (214) zum Transportieren einer Halbleiterwaferkassette, welche den Posten an Halbleiterwafern enthält, zu der ersten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung oder zu der zweiten Halbleiterbearbeitungsvorrichtung in Reaktion auf einen Transportbefehl.
Halbleiter-FA-System nach Anspruch 11, welches weiterhin aufweist: eine Befehlsvorrichtung (610) zum Schicken des Transportbefehls an die Transportvorrichtung.
Halbleiter-FA-System nach Anspruch 9, bei welchem die Jobdatei Identifizierungsinformation in Bezug auf den Halbleiterprozess sowie eine ausführbare Datei zur Ausführung des Halbleiterprozesses aufweist.
Halbleiter-FA-System nach Anspruch 13, welches weiterhin aufweist: eine Aufbewahrungsvorrichtung (216) zum Aufbewahren der Halbleiterwaferkassette.
Halbleiter-FA-System nach Anspruch 14, bei welchem die erste und die zweite Halbleiterbearbeitungsvorrichtung aufweist: ein Überlagerungsgerät zum Einsatz eines Überlagerungsprozesses bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei.
Halbleiter-FA-System nach Anspruch 15, bei welchem das Überlagerungsgerät aufweist: ein erstes Überlagerungsgerät, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, um einen Überlagerungsprozess bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei einzusetzen; und ein zweites Überlagerungsgerät, welches in der halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist, um den Überlagerungsprozess bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei einzusetzen.
Verfahren zur Bearbeitung eines Postens aus Halbleiterwafern in einem Halbleiter-Fabrikautomatisierungssystem (FA-System), wobei der Posten als eine vorbestimmte Anzahl an Halbleiterwafern definiert ist, mit folgenden Schritten: a) Festlegung, ob ein erstes Prozessgerät, das in einer vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, eine Jobdatei entsprechend dem Posten an Halbleiterwafern aufweist, wobei die Jobdatei Daten repräsentiert, die für einen Halbleiterprozess erforderlich sind; b) wenn das erste Prozessgerät, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, die Jobdatei aufweist, Bearbeitung des Postens der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem ersten Prozessgerät; c) wenn das erste Prozessgerät, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, nicht die Jobdatei aufweist, Bereitstellung der Jobdatei für ein zweites Prozessgerät, das in einer halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist; und d) Bearbeitung des Postens der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem zweiten Prozessgerät.
Verfahren nach Anspruch 17, bei welchem der Schritt (b) folgende Schritte umfasst: b1) wenn das erste Prozessgerät, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, die Jobdatei aufweist, Zuordnung des Halbleiterprozesses zu dem ersten Prozessgerät; b2) Schicken eines Transportbefehls von einem Zellenmanagementserver an ein automatisches Führungsfahrzeug, so dass der Posten an Halbleiterwafern zum ersten Prozessgerät transportiert werden kann; b3) Transportieren des Postens der Halbleiterwafer zu dem Prozessgerät in Reaktion auf den Transportbefehl; und b4) Bearbeitung des Postens der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem ersten Prozessgerät.
Verfahren nach Anspruch 18, bei welchem der Schritt d) folgende Schritte umfasst: d1) Zuordnung des Halbleiterprozesses zu dem zweiten Prozessgerät; d2) Schicken des Transportbefehls von dem Zellenmanagementserver zu dem automatischen Führungsfahrzeug, so dass der Posten der Halbleiterwafer zum zweiten Prozessgerät befördert werden kann; d3) Transportieren des Postens der Halbleiterwafer zu dem zweiten Prozessgerät in Reaktion auf den Transportbefehl; und d4) Bearbeitung des Postens der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem zweiten Prozessgerät.
Verfahren nach Anspruch 17, bei welchem die Jobdatei Identifizierungsinformation in Bezug auf den Halbleiterprozess sowie eine ausführbare Datei zur Ausführung des Halbleiterprozesses aufweist.
Verfahren nach Anspruch 20, bei welchem der Schritt b4) folgenden Schritt umfasst: Einsatz eines Überlagerungsprozesses bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem ersten Prozessgerät.
Verfahren nach Anspruch 21, bei welchem der Schritt d4) folgenden Schritt umfasst: Einsatz des Überlagerungsprozesses bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem zweiten Prozessgerät.
Computerlesbares Medium, welches Programmbefehle speichert, wobei die Programmbefehle auf einem Computer vorgesehen sind, um ein Verfahren zur Bearbeitung eines Postens von Halbleiterwafern in einem Halbleiter-Fabrikautomatisierungssystem (FA-System) durchzuführen, wobei der Posten als eine vorbestimmte Anzahl an Halbleiterwafern definiert ist, mit folgenden Schritten: a) Festlegung, ob ein erstes Prozessgerät, das in einer vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, eine Jobdatei entsprechend dem Posten an Halbleiterwafern aufweist, wobei die Jobdatei Daten repräsentiert, die für einen Halbleiterprozess erforderlich sind; b) wenn das erste Prozessgerät, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, die Jobdatei aufweist, Bearbeitung des Postens der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem ersten Prozessgerät; c) wenn das erste Prozessgerät, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, nicht die Jobdatei aufweist, Bereitstellung der Jobdatei für ein zweites Prozessgerät, das in einer halbautomatischen Betriebsart betreibbar ist; und d) Bearbeitung des Postens der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem zweiten Prozessgerät.
Computerlesbares Medium nach Anspruch 29, bei welchem der Schritt b) folgende Schritte umfasst: b1) wenn das erste Prozessgerät, das in der vollautomatischen Betriebsart betreibbar ist, die Jobdatei aufweist, Zuordnung des Halbleiterprozesses zu dem ersten Prozessgerät; b2) Schicken eines Transportbefehls von einem Zellenmanagementserver an ein automatisches Führungsfahrzeug, so dass der Posten der Halbleiterwafer zu dem ersten Prozessgerät transportiert werden kann; b3) Transportieren des Postens der Halbleiterwafer zu dem ersten Prozessgerät in Reaktion auf den Transportbefehl; und b4) Bearbeitung des Postens der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem ersten Prozessgerät.
Computerlesbares Medium nach Anspruch 24, bei welchem der Schritt d) folgende Schritte umfasst: d1) Zuordnen des Halbleiterprozesses zu dem zweiten Prozessgerät; d2) Schicken des Transportbefehls von dem Zellenmanagementserver zu dem automatischen Führungsfahrzeug, so dass der Posten der Halbleiterwafer zu dem zweiten Prozessgerät transportiert werden kann; d3) Transportieren des Postens der Halbleiterwafer zu dem zweiten Prozessgerät in Reaktion auf den Transportbefehl; und d4) Bearbeitung des Postens der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem zweiten Prozessgerät.
Computerlesbares Medium nach Anspruch 23, bei welchem die Jobdatei Identifizierungsinformation in Bezug auf den Halbleiterprozess und eine ausführbare Datei zur Ausführung des Halbleiterprozesses aufweist.
Computerlesbares Medium nach Anspruch 26, bei welchem der Schritt b4) folgenden Schritt umfasst: Einsatz eines Überlagerungsprozesses bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem ersten Prozessgerät.
Computerlesbares Medium nach Anspruch 27, bei welchem der Schritt d4) folgenden Schritt umfasst: Einsatz des Überlagerungsprozesses bei dem Posten der Halbleiterwafer entsprechend der Jobdatei in dem zweiten Prozessgerät.