DE10064359A1 - Mikrophon - Google Patents

Abstract

Bei einem Mikrophon (1) mit DOLLAR A - einer elektrisch leitfähigen Membran (2), DOLLAR A - einer Gegenelektrode (3), die im Abstand zu der Membran (2) angeordnet ist, DOLLAR A - einer elektrisch isolierenden Rückseitenplatte (5), wobei die Gegenelektrode (3) an der Rückseitenplatte (5) angeordnet ist, und DOLLAR A - einem integrierten Vorverstärkerschaltkreis (4) ist DOLLAR A - der Vorverstärkerschaltkreis (4) direkt auf der Oberseite der Rückseitenplatte (5), die der Gegenelektrode (3) gegenüberliegt, angebracht, und DOLLAR A - die Rückseitenplatte (5) hat eine Via (6) für eine elektrische Verbindung des Vorverstärkerschaltkreises (4) mit der Gegenelektrode (3).

Description

Die Erfindung betrifft ein Mikrophon mit

• - einer elektrisch leitfähigen Membran,
• - einer Gegenelektrode, die im Abstand zu der Membran angeordnet ist,
• - einer elektrisch isolierenden Rückseitenplatte, wobei die Gegenelektrode an der Rückseitenplatte angeordnet ist, und einem integrierten Vorver­ stärkerschaltkreis.

Derartige Mikrophone sind auch als Elektret-Mikrophone hinreichend bekannt. Die Membran ist mit einer Metallschicht versehen. Die elektrisch isolierende Rückseiten­ platte ist auch mit einer Metallschicht, der Gegenelektrode, und mit einer Elektret- Material Schicht versehen. Der Elektret ist dauerhaft aufgeladen, wodurch die Mem­ bran und auch die Gegenelektrode polarisiert sind. Durch Bewegung der Membran beim Auftreffen von Schallwellen auf die Membran verändert sich der Abstand zwi­ schen Membran und Elektret und damit die Polarisierung. Ladung fließt von der Mem­ bran zur Gegenelektrode und umgekehrt. Diese Ladungsverschiebung wird vom Vorverstärkerschaltkreis gemessen und ist ein Maß für dass aufgetroffene Schallsignal. Die Membran und die Gegenelektrode bilden eine Kapazität, die durch Bewegung der Membran beim Auftreffen von Schallwellen auf die Membran verändert wird.

Ein entsprechender Aufbau des Mikrophons findet sich auch bei einem Kondensator- Mikrophon, dass eine Hilfsspannung benötigt. Die Membran und die Rückenseiten­ platte sind mit einer Metallschicht versehen und dauerhaft polarisiert. Die Spannung des Kondensators wird konstant gehalten. Durch Bewegung der Membran beim Auf­ treffen von Schallwellen auf die Membran verändert sich der Abstand zwischen Mem­ bran und Rückseitenplatte und damit die Kapazität des Kondensators. Weil die Span­ nung konstant bleibt entsteht eine Ladungsverschiebung, welche ein Maß für das auf­ getroffene Schallsignal ist.

In der WO 00/41432 ist ein Diaphragma-Mikrophon für Hörgeräte beschrieben, bei dem die einzelnen Elemente schichtweise in einem Gehäuse zusammengesetzt werden können. Der Vorverstärkerschaltkreis wird mit der Flip-Chip-Technik mit seiner Ober- und Unterseite an einer Platine und der Rückseitenplatte kontaktiert. Die Rückseiten­ platte ist hierbei elektrisch leitfähig, so dass eine zusätzliche Isolierschicht zwischen der Membran und der Rückseitenplatte erforderlich ist.

In dem US-Patent 5,570,428 ist ein ähnliches Diaphragma-Mikrophon beschrieben. Hierbei ist die Rückseitenplatte metallisch beschichtet, um die Gegenelektrode zu bil­ den. Auf der Gegenelektrode ist ein Abstandshalterring aufgebracht, der die Membran trägt. Diese wird ihrerseits von einem Gehäusedeckel getragen.

Der Vorverstärkerschaltkreis befindet sich in dem Volumengehäuse und ist mit Bond- Drähten mit der Gegenelektrode und der Membran verschaltet.

Die Verdrahtung des Vorverstärkerschaltkreises mit der Gegenelektrode führt bei her­ kömmlichen Mikrophonen zu einer relativ hohen parasitären Kapazität, die die Emp­ findlichkeit des Mikrophons nachteilig beeinflusst. Zudem ist die Montage der her­ kömmlichen Mikrophone relativ aufwendig, insbesondere aufgrund der Abstandshalter zwischen Membran und Gegenelektrode und der Leitung von der Rückseitenplatte zur Leiterplatte für den als ASIC ausgeführten Vorverstärkerschaltkreis.

Aufgabe der Erfindung war es daher, ein verbessertes gattungsgemässes Mikrophon zu schaffen.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäss dadurch gelöst, dass

• - der Vorverstärkerschaltkreis direkt auf der Oberseite der Rückseitenplatte, die der Gegenelektrode gegenüberliegt, angebracht ist und
• - die Rückseitenplatte eine Via für eine elektrische Verbindung des Vorverstärker­ schaltkreises mit der Gegenelektrode hat.

Durch das direkte Anbringen des Vorverstärkerschaltkreises auf der Rückseitenplatte wird die kritische Leitungslänge zur Gegenelektrode optimal verkürzt. Dabei ist das Mikrophon kostengünstig und einfach herstellbar, indem die elektrische Verbindung durch die in der Rückseitenplatte vorgesehene Via, d. h. ein Durchgang, in bekannter Weise erfolgt.

Der Vorverstärkerschaltkreis, üblicherweise in Form eines anwenderspezifisch inte­ grierten Schaltkreises (ASIC), wird vorzugsweise möglichst weit von Masseleitungen entfernt angeordnet. Dadurch, dass der Vorverstärkerschaltkreis zentral auf der Rück­ seitenplatte aufgebracht ist, wird ein möglichst großer Abstand zur Masseebene ge­ währleistet, wodurch die Empfindlichkeit verbessert wird.

Die Gegenelektrode wird zudem vorzugsweise durch Beschichtung der Rückseitenplat­ te mit einer Metallschicht gebildet.

Die Rückseitenplatte ist auf der Oberfläche, die die Gegenelektrode trägt, mit Teflon als Elektret beschichtet. Dies kann mit Klebe- oder anderen Techniken erfolgen.

Die Empfindlichkeit und das Signal-Rausch-Verhältnis kann weiter verbessert werden, indem die Rückseitenplatte und die Membran von einer gemeinsamen Gehäuse- Seitenwand oder Rahmen getragen werden. Hierbei wird die Rückseitenplatte von der Innenkante der Gehäuse-Seitenwand aufgenommen und die Gehäuse-Seitenwand ist mit seiner Aussenseite mit einem Gehäuse verbunden. Die Membran wird auf die Au­ ssenfläche der Gehäuse-Seitenwand aufgebracht. Erfindungsgemäss ist die Innenseite der Gehäuse-Seitenwand eingesenkt, so dass die Rückseitenplatte in Bezug auf die Fläche des Rahmens im äusseren Umfangsbereich zur Aufnahme der Membran vertieft angeordnet ist. Auf diese Weise ist ein zusätzliches Abstandselement zwischen Mem­ bran und Rückseitenplatte bzw. Gegenelektrode nicht erforderlich, wodurch die Schallwellen ungehindert zwischen Membran und Gegenelektrode dringen und das Signal-Rausch-Verhältnis optimiert wird.

Durch das Anbringen der Rückseitenplatte in ein Loch der Gehäuse-Seitenwand bzw. in den Rahmen ist der elektrische Kontakt zur Außenwelt direkt an der Außenseite der Gehäuse-Seitenwand verfügbar. Durch die Aufnahme der Rückseitenplatte in der Ge­ häuse-Seitenwand steht fast das gesamte Mikrophon-Volumen für das Hintervolumen zur Verfügung. Dadurch wird eine bessere Empfindlichkeit und/oder Signal-Rausch- Abstand im Vergleich zu herkömmlichen Mikrophonen ermöglicht. Das Hintervolumen ist komplett leer und wirkt somit vollständig als akkustische Masse.

Die elektrische Kontaktierung der Gehäuse-Seitenwand mit der Vorverstärkerschaltung wird mit einfachen Bonddrähten gebildet, kann aber auch über eine flexible Leiter­ bahnfolie erfolgen.

In einer speziellen Ausführungsform wird eine flexible Leiterbahnfolie direkt auf der Oberseite der Rückseitenplatte angebracht, wobei sich eine Via in der Leiterbahnfolie direkt gegenüber der Via in der Rückseitenplatte befindet und die elektrische Kontak­ tierung der Gegenelektrode mit dem Vorverstärkerschaltkreis bildet. Der Vorverstär­ kerschaltkreis wird hierbei direkt auf der Oberseite der Leiterbahnfolie angebracht.

Es ist besonders vorteilhaft, wenn die Rückseitenplatte aus einem isolierenden Materi­ al, wie Keramik oder Kapton besteht.

Die Montierbarkeit des Mikrophons, z. B. in Hörgeräten oder Mobiltelefonen, kann durch Kontaktierung der Vorverstärkerschaltung mit einer flexiblen Leiterbahnfolie verbessert werden, wobei die flexible Leiterbahnfolie mit einem elektrisch leitfähigen Federkontakt zur äusseren Verschaltung verbunden ist. Auf diese Weise kann das Mi­ krophon in ein äusseres Gehäuse eingesteckt und durch den Federkontakt gesichert werden, der zugleich die elektrische Verbindung des Mikrophons mit einer weiteren Schaltung gewährleistet. Im Falle eines quadratischen Gehäuses können die Federkon­ takte in drei Richtungen in Bezug auf den Lufteinlass ausgeführt werden.

Die flexible Leiterbahnfolie hat vorzugsweise Masseflächen zur elektrischen Abschir­ mung des Mikrophons. Besonders vorteilhaft ist es, wenn die flexible Leiterbahnfolie den Vorverstärkerschaltkreis vollständig abdeckt.

Vor der Membran sollte in bekannter Weise ein geschlossenes Volumengehäuse vor­ gesehen sein, in die Schallwellen durch eine Schallzufuhrleitung kontrolliert geleitet werden. Die Rückseite der Rückseitenplatte auf der Seite des Vorverstärkerschaltkrei­ ses kann zur Aussenwelt frei sein.

Besonders vorteilhaft ist jedoch die Ausbildung des Mikrophons als Richtmikrophon, wobei jeweils ein geschlossenes Volumengehäuse vor der Membran und vor der Rückseitenplatte vorgesehen ist. Zur kontrollierten Lenkung der Schallwellen in die Volumengehäuse ist jeweils eine Schallzufuhrleitung von einem äusseren Bereich in die Volumengehäuse vorgesehen.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand der beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 Querschnittsansicht eines erfindungsgemässen Mikrophons;

Fig. 2 Querschnittsansicht eines erfindungsgemässen Mikrophons mit flexibler Leiterbahnfolie;

Fig. 3 Querschnitt eines erfindungsgemässen Richtmikrophons mit zwei Volumengehäusen.

Fig. 4 Querschnittansicht eines erfindungsgemäßen Richtmikrophons mit flexibler Leiterbahnfolie für die Versorgung aller elektrischen Kon­ takte, wobei die Leiterbahnfolie intern zwischen Rückseitenplatte und Vorverstärkerschaltkreis montiert ist.

Die Fig. 1 lässt ein erfindungsgemässes Mikrophon 1 im Querschnitt erkennen, das im wesentlichen eine elektrisch leitfähige Membran 2 und eine im Abstand zu der Membran 2 angeordnete Gegenelektrode 3 mit einem Elektret 14 hat. Die Membran 2 und die Gegenelektrode 3 bilden zusammen mit dem Elektret 14 quasi zwei Kapazitä­ ten, die über eine Vorverstärkerschaltung miteinander verbunden sind. Durch Beauf­ schlagung der Membran 2 mit Schallwellen ändert sich der Abstand zwischen Mem­ bran 2 und Elektret 14. Hierdurch verändert sich die Kapazität und Ladung fließt von der Membran 2 zur Gegenelektrode 3 und umgekehrt. Der Ladungsstrom wird gemes­ sen und ist ein Maß für die auftreffenden Schallwellen.

Die Gegenelektrode 3 ist auf einer starren Rückseitenplatte 5, z. B. durch Beschichtung aufgetragen. Die Rückseitenplatte 5 hat eine Via 6, durch die der Vorverstärkerschalt­ kreis 4 mit der Gegenelektrode 3 verdrahtet wird. Der Vorverstärkerschaltkreis 4 ist als integrierter Schaltkreis (z. B. ASIC) ggf. mit weiteren Funktionalitäten ausgeführt und in SMD-Technik auf die Rückseitenplatte 5 gelötet. Die äussere Verschaltung des Vorverstärkerschaltkreises 4 erfolgt in Flip-Chip-Technik, so wie in den Zeichnungen dargestellt, oder mit Bonddrähten 13.

Die Rückseitenplatte 5 wird von der Innenkante einer Gehäuse-Seitenwand 7 getra­ gen. Die Innenseite der Seitenwand ist eingesenkt, so dass die Rückenseitenplatte 5 in Bezug auf die Fläche der Gehäuse-Seitenwand 7 vertieft aufgenommen wird und die Metallschicht, die die Gegenelekrode 3 bildet, keine parasitäre Kapazität zu der Masse der Seitenwand 7 bildet und einen guter Schallwellenein-/austritt zwischen Elektret 14 und Membran 2 ermöglicht. Die Membran 2 wird von der Oberfläche der Gehäuse-Seitenwand 7 ohne weitere Abstandshalter getragen. Die Gewährleistung eines definierten Abstands zwischen Membran 2 und Gegenelektrode 3 wird während der Montage vorgenommen.

Die Gehäuse-Seitenwand 7 ist mit seiner Aussenkante luftdicht in ein geschlossenes Volumengehäuse 8 eingebaut. Eine Bohrung durch die Gehäuse-Seitenwand 7 dient als Schallzufuhrleitung 9, um Schallwellen von einem äusseren Bereich in das Volu­ mengehäuse 8 und zur Membran 2 zu leiten. An das Volumengehäuse 8 und der Ge­ häuse-Seitenwand 7 im Bereich der Schallzufuhrleitung 9 ist ein Schalltrichter 10 an­ geordnet.

Die Gehäuseseitenwand 7 ist vorzugsweise elektrisch leitfähig, so dass die Membran 2 über der Gehäuse-Seitenwand 7, und über einen Bonddraht 13 entweder direkt mit dem Vorverstärkerschaltkreis 4 oder über der Rückseite der Rückseitenplatte 5 mit dem Vorverstärkerschaltkreis 4 verdrahtet wird. Vorzugsweise wird die Membran 2 an Masse angeschlossen.

Das Volumengehäuse 8 kann z. B. im Querschnitt U- oder D-förmig sein. Dies ist ab­ hängig von dem jeweiligen Anwendungszweck.

Die Fig. 2 lässt ein Mikrophon 1 erkennen, das im Aufbau im wesentlichen dem Mi­ krophon 1 aus der Fig. 1 entspricht. Im Unterschied hierzu ist der Vorverstärker­ schaltkreis 5 jedoch mit einer flexiblen Leiterbahnfolie 11 verschaltet, die an einen Federkontakt 12 geführt ist. Der Federkontakt 12 dient zum einen zur elektrischen Verschaltung des Mikrophons 1 mit äusseren Schaltungen. Andererseits ermöglicht der Federkontakt 12 eine mechanische Verbindung des Mikrophons 1 mit einem äu­ sseren Tragegehäuse. Durch den Federkontakt 12 kann das Mikrophon 1 somit auf einfache Weise in ein Produkt, wie z. B. ein Hörgerät oder ein Mobiltelefon, einge­ klemmt werden.

Die flexible Leiterbahnfolie 11 erstreckt sich, wie dargestellt, vollständig über den Vorverstärkerschaltkreis 4 und schirmt diesen auf diese Weise vorteilhaft gegen elek­ tromagnetische Strahlung ab. Auf der flexiblen Leiterbahnfolie 12 sind weiterhin Mas­ seflächen zur Abschirmung vorgesehen.

Die Fig. 3 lässt das in der Fig. 1 gezeigte Mikrophon 1 in der Ausführungsform ei­ nes Richtmikrophons erkennen. Auf beiden Seiten der Rückseitenplatte ist in dieser Ausführungsform jeweils ein geschlossenes Volumengehäuse 8 mit U-förmigem Quer­ schnitt vorgesehen, wobei an den Aussenkanten der Volumengehäuse 8a, 8b jeweils die Schallzufuhrleitungen 9 mit Schalltrichtern 10 vorgesehen sind. Damit der Schall­ wellen-Eintritt durch die Schalltrichter 10a und Gehäuseteil 8a die Membran 2 errei­ chen können, ist die Gehäuse-Seitenwand 7 mit mehreren Öffnungen 9 versehen.

Die flexible Leiterbahnfolie 11 kann z. B. mit Laserschweissen und ähnlichen Verfahren an die Rückseitenplatte 5, die Gehäuse-Seitenwand 7 und/oder das Volumengehäuse 9 angeheftet werden.

Die Fig. 4 lässt das in Fig. 3 gezeigte Richt-Mikrophon erkennen. Im Unterschied hierzu ist das doppelte Mikrophongehäuse jetzt als rohrförmiges Teil ausgeführt. Au­ ßerdem wird die flexible Leiterbahnfolie 11 direkt auf der Oberseite der Rückenseiten­ platte 5 angebracht, wobei sich eine Via 5 in der Leiterbahnfolie 11 direkt gegenüber der Via 6 in der Rückseitenplatte 5 befindet und die elektrische Kontaktierung der Ge­ genelektrode 3 zum Vorverstärkerschaltkreis 4 bildet. Der Vorverstärkerschaltkreis 4 wird direkt auf der Oberseite der Leiterbahnfolie 11 über der Rückseitenplatte 5 ange­ bracht. Alle weiteren elektrischen Verbindungen zur Außenwelt und zur Seitenwand befinden sich auf der flexiblen Leiterbahnfolie 11, wodurch eine besonders vorteilhafte einfache Montage bewirkt wird. Weil der Vorverstärkerschaltkreis 4 komplett durch das metallische Mikrophon-Gehäuse umgeben wird, ist eine besonders gute elektro­ magnetische Abschirmung gewährleistet und es ist keine weitere Abschirmung intern über dem Vorverstärkerschaltkreis 4 nötig. Die Schalltrichter 10a und 10b sind in der Fig. 4 als ein Teil mit jeweils einer Gehäuse-Seitenwand 7 ausgeführt.

Claims (24)

1. Mikrophon (1) mit
einer elektrisch leitfähigen Membran (2),
einer Gegenelektrode (8), die im Abstand zu der Membran (2) angeordnet ist,
einer elektrisch isolierenden Rückseitenplatte (5), wobei die Gegenelektrode (3) an der Rückseitenplatte (5) angeordnet ist,
einem integrierten Vorverstärkerschaltkreis (4),
dadurch gekennzeichnet, dass
der Vorverstärkerschaltkreis (4) direkt auf der Oberseite der Rückseitenplatte (5), die der Gegenelektrode (3) gegenüberliegt, angebracht ist, und
die Rückseitenplatte (5) eine Via (6) zur elektrischen Verbindung des Vorver­ stärkerschaltkreises (4) mit der Gegenelektrode (3) hat.

2. Mikrophon (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Vorverstär­ kerschaltkreis-Eingang (4) von Masseflächen entfernt auf der Rückseitenplatte (5) angeordnet ist.

3. Mikrophon (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Rückseitenplatte (5) mit einer Metallschicht beschichtet ist, um die Gegenelektrode (3) zu bilden.

4. Mikrophon (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn­ zeichnet dass die Rückseitenplatte (5) auf der Oberfläche, die die Gegenelek­ trode (3) trägt, mit einem Elektret (14), beispielsweise mit Teflon, beschichtet ist.

5. Mikrophon (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Gehäuse-Seitenwand (7) des Mikrophons zum Tragen der Rücksei­ tenplatte (5) und der Membran (2), wobei die Innenseite der Gehäuse- Seitenwand (7) die Rückseitenplatte aufnimmt, die Gehäuse-Seitenwand (7) mit ihrer Aussenseite mit einem Gehäuse verbunden ist, und wobei die Innenseite der Gehäuse-Seitenwand (7) eingesenkt ist, so dass die Rückseitenplatte (5) in Bezug auf die Fläche der Gehäuse-Seitenwand (7) im äusseren Umfangsbereich vertieft aufgenommen wird.

6. Mikrophon (1) nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Membran (2) auf eine Aussenfläche der Gehäuse-Seitenwand (7) aufgebracht ist.

7. Mikrophon (1) nach einem der Ansprüche 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Gehäuse-Seitenwand (7) rahmen-, kreis- oder ovalförmig ist.

8. Mikrophon (1) nach einem der Ansprüche 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Rückenseitenplatte (5) in der Draufsicht rahmen-, kreis- oder ovalför­ mig und von der Form der Gehäuse-Seitenwand (7) unabhängig ist.

9. Mikrophon (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Rückseitenplatte (5) aus einem dielektrischem Material, bei­ spielsweise aus Keramik oder Kapton besteht.

10. Mikrophon (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Rückseitenplatte (5) so in der Gehäuse-Seitenwand (7) ein­ gebaut ist, dass die Gegenelektrode (3) keine parasitäre Kapazität zu der Masse der Gehäuse-Seitenwand (7) bildet.

11. Mikrophon (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn­ zeichnet dass die Rückseitenplatte (5) an einer Oberseite mit der Aussenwelt und an der anderen Oberseite mit dem Vor-Volumen des Mikrophons (1) in Ver­ bindung steht.

12. Mikrophon (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn­ zeichnet dass der Abstand zwischen dem Elektret (14) auf der Rückseitenplatte (5) und der Membran (2) durch die Vertiefung der Gehäuse-Seitenwand (7) und durch einen entsprechenden Rand-Wulst der Membran (2) gebildet wird.

13. Mikrophon (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn­ zeichnet dass die Membran (2) elektrisch leitend mit der Gehäuse-Seitenwand (7) verbunden ist und die Gehäuse-Seitenwand (7) mit einem Bonddraht (13) an den Vorverstärkerschaltkreis (4) verdrahtet ist.

14. Mikrophon (1)nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, dass die Vorverstärkerschaltung (4) mit einer flexiblen Leiter­ bahnfolie (11) kontaktiert und die flexible Leitbahnfolie (11) mit einem elektrisch leitfähigen Federkontakt (12) zur äusseren Verschaltung verbunden ist.

15. Mikrophon (1) nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die flexible Leiterbahnfolie (11) Masseflächen zur elektrischen Abschirmung des Mikro­ phons (1) hat.

16. Mikrophon (1) nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass die flexible Leiterbahnfolie (11) Masseleitungen zur elektrischen Kontaktierung der Gehäuse-Seitenwand (7) und der damit verbundenen Membran (2) mit der Rückseitenplatte (5) hat.

17. Mikrophon (1) nach einem der Ansprüche 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die flexible Leiterbahnfolie (11) den Vorverstärkerschaltkreis (4) abdeckt.

18. Mikrophon (1) nach einem der Ansprüche 13 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Federkontakte (12) seitlich an dem Gehäuse des Mikrophons (1) ange­ ordnet sind.

19. Mikrophon (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn­ zeichnet dass die Dicke der Rückseitenplatte (5) nicht mehr als 200 µm be­ trägt.

20. Mikrophon (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch ein geschlossenes Volumengehäuse (8) vor der Membran (2), wobei eine Schallzufuhrleitung (9) von einem äusseren Bereich in das Volumengehäuse (8) vorgesehen ist.

21. Mikrophon (1) nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse­ volumen hinter der Membran (2) vollständig leer ist.

22. Mikrophon (1) nach Anspruch 20 oder 21 als Richtmikrophon, gekennzeichnet durch jeweils ein geschlossenes Volumengehäuse (8) auf beiden Seiten des Rahmens (7) vor der Membran (2) bzw. der Rückseitenplatte (5), wobei jeweils eine Schallzufuhrleitung (9) von einem äusseren Bereich in die Volumengehäuse (8) vorgesehen ist.

23. Mikrophon (1) nach Anspruch 22 als Richtmikrophon, gekennzeichnet durch eine flexible Leiterbahnfolie (1) direkt auf der Oberseite der Rückseitenplatte (5), wobei sich eine Via (15) in der Leiterbahnfolie (11) direkt gegenüber von der Via (6) in der Rückseitenplatte (5) befindet und die elektrische Kontaktie­ rung der Gegenelektrode (3) somit den Vorverstärkerschaltkreis (4) bildet und wobei der Vorverstärkerschaltkreis (4) direkt auf der Oberseite der Leiterbahn­ folie (11) angebracht und die flexible Leiterbahnfolie (11) zur äußeren Verschal­ tung des Mikrophons (1) vorgesehen ist.

24. Mikrophon (1) nach Anspruch 23 als Richtmikrophon, dadurch gekennzeichnet, dass der Luftein- und -auslass einteilig mit der Gehäuse-Seitenwand (7) ausge­ führt ist.