DE10128121A1

DE10128121A1 - Arrangement for electrically testing and measuring electrical components has conducting flat lamella measurement contact elements movable to measurement position in plane of surfaces

Info

Publication number: DE10128121A1
Application number: DE2001128121
Authority: DE
Inventors: Georg Rudolf Sillner
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2001-06-09
Filing date: 2001-06-09
Publication date: 2003-01-09

Abstract

The arrangement has a measurement circuit with several measurement contact elements movable from initial positions to measurement positions to make contact with the component's (1) contacts. The measurement contact elements (6) are made of an electrically conducting material as flat lamellas and are movable from the initial position to the measurement position in the plane of their surfaces.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung gemäß Oberbegriff Patentanspruch 1. The invention relates to a device according to the preamble of claim 1.

Bei der Herstellung von kleinen elektrischen Bauelementen, beispielsweise von sogenannten "Surface mounted devices" (SMDs) ist es in den verwendeten Produktions- oder Fertigungslinien, beispielsweise in den sogenannten "Back-End- Maschinen", notwendig, die Bauelemente bzw. deren elektrische Werte zu messen und zu prüfen. Hierfür ist eine Prüf- und Meßvorrichtung bekannt (DE 196 10 462 A1), die beidseitig einer vertikalen Mittelebene, in der sich auch ein Transporteur Back-End- Maschine mit seinen Vakuumhaltern oder Vakuumpipetten für die Bauelemente bewegt, Meßkontakte bildende Meßkontaktelemente aufweist. Diese bestehen jeweils aus einem elektrisch leitenden Material (Metall) mit Federeigenschaften, sind bei der bekannten Meßvorrichtung blattfederartig ausgebildet und jeweils paarweise derart angeordnet, daß die Meßkontaktelemente jedes Paares eine pinzettenartige Meßkontaktelementanordnung bilden und mit ihren freien, die eigentlichen Meßkontakte bildenden Enden pinzettenartig aus einer Ausgangsstellung aufeinander zu in eine Meßstellung bewegbar sind, in der die Meßkontaktelemente jedes Paares mit ihren Meßkontakten an zwei einander gegenüberliegenden Seiten eines Anschlusses des zu messenden oder zu überprüfenden Bauelementes anliegen. Die blattfederartigen Meßkontaktelemente sind mit ihren Oberflächenseiten, d. h. mit ihren Seiten, deren Breite größer ist als die Materialdicke der Meßkontaktelemente, in Ebenen senkrecht zu derjenigen Bewegungsrichtung angeordnet, in der sich die Meßkontakte zwischen der Ausgangsstellung und der Meßstellung bewegen. In the manufacture of small electrical components, such as So-called "surface mounted devices" (SMDs) are used in the Production or manufacturing lines, for example in the so-called "back-end Machines ", necessary to measure the components or their electrical values and check. A testing and measuring device is known for this (DE 196 10 462 A1), on both sides of a vertical median plane, in which there is also a carrier back-end Machine with its vacuum holders or vacuum pipettes for the components moved, measuring contact elements forming measuring contacts. These exist in each case made of an electrically conductive material (metal) with spring properties, are in the Known measuring device formed like a leaf spring and each in pairs arranged that the measuring contact elements of each pair are tweezers Form measuring contact element arrangement and with their free, the actual Ends forming measuring contacts are tweezers on one another from an initial position to be moved into a measuring position in which the measuring contact elements of each pair with their measuring contacts on two opposite sides of one Connection of the component to be measured or checked. The Leaf spring-like measuring contact elements are with their surface sides, d. H. with their Pages whose width is greater than the material thickness of the measuring contact elements, in Layers arranged perpendicular to the direction of movement in which the Move measuring contacts between the starting position and the measuring position.

Speziell zum Messen und Prüfen von sehr kleinen Bauelementen mit einer Vielzahl von Kontakten oder Anschlüssen (Leads) erfordert diese bekannte Ausbildung einer Meßvorrichtung einen erheblichen konstruktiven Aufwand oder ist für die Messung und Prüfung extrem kleiner Bauelemente nicht mehr geeignet. Especially for measuring and testing very small components with a large number of contacts or connections (leads) requires this known training one Measuring device requires considerable design effort or is for the measurement and testing of extremely small components is no longer suitable.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Meßvorrichtung aufzuzeigen, die bei einem vereinfachten Aufbau auch das Messen und Prüfen sehr kleiner elektrischer Bauelemente mit einer Vielzahl von Anschlüssen ermöglicht. Zur Lösung dieser Aufgabe ist eine Meßvorrichtung entsprechend dem Patentanspruch 1 ausgebildet. The object of the invention is to demonstrate a measuring device which at a simplified construction also for measuring and testing very small electrical ones Components with a variety of connections. To solve this Task is a measuring device designed according to claim 1.

Bei der erfindungsgemäßen Meßvorrichtung sind die Meßkontaktelemente lamellenartig aus einem für derartige Elemente geeigneten, elektrisch leitenden Material mit federnden Eigenschaften, beispielsweise aus Metall mit federnden Eigenschaften, z. B. aus Bronze gefertigt und vorzugsweise zumindest an den den eigentlichen Meßkontakt bildenden Oberflächenbereichen mit einer eine einwandfreie Kontaktfläche sicherstellenden Metall-Beschichtung versehen. In the measuring device according to the invention, the measuring contact elements are lamellar from an electrically conductive suitable for such elements Material with resilient properties, for example made of metal with resilient Properties, e.g. B. made of bronze and preferably at least to the actual measuring contact forming surface areas with a flawless Provide contact surface ensuring metal coating.

Die lamellenartigen Meßkontaktelemente sind dabei so ausgebildet, daß sie bzw. deren Meßkontakte zwischen der Ausgangsstellung und der Meßstellung in einer Achsrichtung bewegbar sind, die in der Ebene der Oberflächenseite der lamellenartigen Meßkontaktelemente liegt. Hierfür sind die Meßkontaktelemente beispielsweise in einem Bereich, der zwischen der Befestigung des jeweiligen Meßkontaktelementes und dem Meßkontakt liegt, mit mehreren Einschnitten versehen oder mäanderartig ausgebildet. The lamellar measuring contact elements are designed so that they or whose measuring contacts between the starting position and the measuring position in one Axis are movable in the plane of the surface side of the lamella-like measuring contact elements. The measuring contact elements are for this for example in an area between the attachment of each Measuring contact element and the measuring contact is provided with several incisions or meandering.

Die "Oberflächenseiten" der Meßkontaktelemente sind wiederum diejenigen Oberflächenseiten, deren Breite größer ist als die Dicke der Meßkontaktelemente oder des für diese Elemente verwendeten Ausgangs- oder Flachmaterials. The "surface sides" of the measuring contact elements are again those Surface sides whose width is greater than the thickness of the measuring contact elements or of the starting or flat material used for these elements.

Mehrere Meßkontaktelemente sind dann stapelartig aneinander anschließend vorgesehen, wobei benachbarte Meßkontaktelemente elektrisch voneinander getrennt sind, und zwar beispielsweise durch eine zwischen benachbarten Meßkontaktelementen angeordnete Isolierschicht oder eine Distanz- oder Zwischelamelle aus einem elektrisch isolierenden Material. Several measuring contact elements are then connected to one another in a stack provided, adjacent measuring contact elements being electrically separated from one another are, for example by one between adjacent Measuring contact elements arranged insulating layer or a spacer or Intermediate lamella made of an electrically insulating material.

Ein wesentlicher Vorteil der Erfindung besteht darin, daß selbst eine Anordnung mit einer Vielzahl von sehr dicht aufeinander folgenden Meßkontakten einfach realisiert werden kann und der beispielsweise ein Lamellenpaket, welches von mehreren Meßkontaktelementen und zwischenliegenden Isolierschichten gebildet ist, im Bedarfsfalle sehr einfach und problemlos ausgetauscht werden kann, ohne daß nach dem Austauschen ein umständliches Einjustieren der einzelnen Meßkontakte oder Meßkontaktelemente erforderlich ist. A major advantage of the invention is that even an arrangement with a large number of very close successive measuring contacts easily realized and can be, for example, a slat package, which of several Measuring contact elements and intermediate insulating layers is formed in If necessary, the case can be replaced very easily and without problems the exchange a laborious adjustment of the individual measuring contacts or Measuring contact elements is required.

Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche. Die Erfindung wird im folgenden anhand der Figuren an verschiedenen Ausführungsbeispielen der Erfindung näher erläutert. Es zeigen: Developments of the invention are the subject of the dependent claims. The invention is based on the figures in various embodiments of the Invention explained in more detail. Show it:

Fig. 1 in vereinfachter Darstellung und in Draufsicht ein elektrisches Bauelement in Form eines SMDs; FIG. 1 is a simplified representation in top view of an electrical component in the form of a SMDs;

Fig. 2 in schematischer Darstellung und in Seitenansicht eine Meßvorrichtung zum Messen der elektrischen Werte der Bauelemente gemäß Fig. 1; FIG. 2 is a schematic illustration and a side view of a measuring device for measuring the electrical values of the components according to FIG. 1;

Fig. 3 eine Draufsicht auf die Meßvorrichtung der Fig. 2; Fig. 3 is a plan view of the measuring device of Fig. 2;

Fig. 4 und 5 Darstellungen ähnlich Fig. 2 und 3, jedoch bei in Meßposition befindlichen Meßkontaktelementen bzw. Meßkontakten der Meßvorrichtung der Fig. 2 und 3; FIGS. 4 and 5 illustrations similar to Figures 2 and 3, but with the measuring position in Meßkontaktelementen located or measuring contacts of the measuring device of Figures 2 and 3..;

Fig. 6 in vereinfachter und vergrößerter Darstellung einen Vakuumhalter und ein in einer Aufnahme der Meßvorrichtung angeordnetes und damit in Meßposition befindliches Bauelement; Fig. 6 is a simplified and enlarged representation of a vacuum holder and a valve disposed in a housing of the measuring device and in the measuring position befindliches device;

Fig. 7 in vereinfachter Darstellung und in Seitenansicht eine weitere mögliche Ausführungsform der erfindungsgemäßen Meßvorrichtung bei in Ausgangsstellung befindlichen Meßkontaktelementen bzw. Meßkontakten; Fig. 7 shows a simplified representation in side view of a further possible embodiment of the measuring device according to the invention when in the starting position located Meßkontaktelementen or measuring contacts;

Fig. 8 eine Darstellung wie Fig. 7, jedoch bei in Meßposition befindlichen Meßkontaktelementen bzw. Meßkontakten; FIG. 8 shows an illustration like FIG. 7, but with measuring contact elements or measuring contacts located in the measuring position; FIG.

Fig. 9 eine Draufsicht auf die Meßvorrichtung der Fig. 7 und 8; Figure 9 is a plan view of the measuring apparatus of Fig. 7 and 8.

Fig. 10 in vereinfachter und vergrößerter Teildarstellung eine Draufsicht auf die Meßvorrichtung der Fig. 7-9; Fig. 10 in a simplified and enlarged partial view of a plan view of the measuring device of Figure 7-9.

Fig. 11 in vergrößerter Darstellung eine Betätigungseinrichtung für die Meßkontaktelemente der Fig. 7-10; FIG. 11 is an enlarged illustration of an actuating device for the Meßkontaktelemente of FIGS 7-10.

Fig. 12 in schematischer Darstellung eine Meßvorrichtung gemäß der Erfindung zur Verwendung bei Bauelementen mit Ball-pin-Kontakten an der Bauelementeunterseite; FIG. 12 is a schematic representation of a measuring device according to the invention for use in devices having ball-pin contacts on the base component;

Fig. 13 in vergrößerter Darstellung zwei mit einem Ball-pin-Kontakt zusammenwirkende Meßkontaktelemente bzw. Meßkontakte; Fig. 13 in an enlarged view two cooperating with a ball-pin contact Meßkontaktelemente or measuring contacts;

Fig. 14 einen Schnitt entsprechend der Linie A-A der Fig. 12; Fig. 14 is a section along the line AA of Fig. 12;

Fig. 15 eine Draufsicht auf die Oberseite der Meßvorrichtung der Fig. 11, zusammen mit einer schematischen Darstellung der Anschlüsse der einzelnen Meßkontaktlelemente; 15 is a plan view of the top of the measuring device of Figure 11, together with a schematic representation of the connections of the individual Meßkontaktlelemente..;

Fig. 16 in vereinfachter Teildarstellung eine Ansicht eines mehrere elektrische Bauelemente aufweisenden Leadframes; FIG. 16 is a plurality of electrical components having a simplified partial representation of a view of the lead frame;

Fig. 17 in vereinfachter Darstellung und in Seitenansicht eine Meßvorrichtung zum Messen der Bauelemente im Leadframe, bei in Ausgangsposition befindlichen Meßkontaktelementen bzw. Meßkontakten; Figure 17 is a simplified representation in side view of a measuring device for measuring the components in the leadframe, at present in starting position Meßkontaktelementen or measuring contacts.

Fig. 18 eine Darstellung wie Fig. 17, jedoch bei in Meßposition befindlichen Meßkontaktelementen bzw. Meßkontakten; FIG. 18 is a view similar to FIG 17 but with in the measuring position or measuring contacts Meßkontaktelementen located.

Fig. 19 einen Schnitt entsprechend der Linie II-II der Fig. 17. Fig. 19 shows a section according to the line II-II of Fig. 17.

In den Figuren ist 1 ein elektrisches Bauelement in Form eines SMDs mit extrem kleinen Abmessungen. Das Bauelement 1 besitzt unter anderem ein Gehäuse 2, in dem der eigentliche Halbleiterchip aufgenommen ist und aus welchem an zwei einander gegenüberliegenden Längsseiten des Bauelementes 1 beidseitig von einer Bauelement-Mittelebene M elektrische Anschlüsse 3, d. h. bei der dargestellten Ausführungsform jeweils drei Anschlüsse vorgesehen sind. In the figures, 1 is an electrical component in the form of an SMD with extremely small dimensions. The component 1 has, inter alia, a housing 2 in which the actual semiconductor chip is accommodated and from which electrical connections 3 , that is to say three connections in each case, are provided on two opposite longitudinal sides of the component 1 on both sides of a component center plane M.

In einer Fertigungslinie, beispielsweise in einer Back-End-Maschine, in der die Bauelemente 1 aus einem Leadframe ausgestanzt, hierbei vereinzelt und mittels eines Transportsystems oder Transporteurs der Maschine an verschiedenen Arbeitsstationen vorbeibewegt werden, ist unter anderem ein elektrisches Prüfen und Messen der Bauelemente 1 notwendig, um fehlerhafte Bauelemente auszuscheiden bzw. die Bauelemente 1 anhand der elektrischen Meßwerte in bestimmte Chargen einzugruppieren und jeweils in entsprechende Gurte oder Ablagen einzubringen usw.. Das Transportsystem weist beispielsweise eine Vielzahl von pipettenartigen Vakuumhaltern 4 auf, die in Transportrichtung A aufeinander folgend an einem umlaufenden, beispielsweise bandförmigen Transportelement vorgesehen sind und von denen in den Fig. 2-10 jeweils ein Vakuumhalter 4 teilweise wiedergegeben ist. Bei der Darstellung der Fig. 2 und 4 verläuft die Bewegungsrichtung der Vakuumhalter 4 senkrecht zu der Zeichenebene dieser Figuren. Die Vakuumhalter 4 werden mit dem Transportelement getaktet bewegt. In a production line, for example in a back-end machine, in which the components 1 are punched out of a leadframe, separated here and moved past various workstations by means of a transport system or conveyor of the machine, an electrical check and measurement of the components 1 is, among other things necessary to faulty components excrete or einzugruppieren the components 1 on the basis of electrical measurements in certain lots and to introduce into corresponding belts or shelves etc .. the transport system comprises, for example, a plurality of pipette-like vacuum holders 4, which in the transport direction a successively to a circumferential, for example band-shaped transport element are provided and of which a vacuum holder 4 is partially shown in FIGS. 2-10. In the illustration of FIGS. 2 and 4, the direction of movement of the vacuum holder 4 is perpendicular to the plane of the drawing of these figures. The vacuum holders 4 are moved clocked with the transport element.

Zum Prüfen und elektrischen Messen der Bauelemente 1 dient beispielsweise die in den Fig. 2-6 allgemein mit 5 bezeichnete Meßvorrichtung, die symmetrisch zu einer vertikalen, die Transportrichtung A einschließenden Mittelebene M' ausgebildet ist und an der Bewegungsbahn der Vakuumhalter 4 und der an diesen gehaltenen Bauelemente 1 vorgesehen ist. For testing and electrical measurement of the components 1 is used, for example, the measuring device generally designated 5 in FIGS . 2-6, which is symmetrical to a vertical central plane M 'including the transport direction A and on the path of movement of the vacuum holder 4 and on it held components 1 is provided.

Die Meßvorrichtung S besteht im wesentlichen aus mehreren lamellenartigen Meßkontaktelementen 6, die aus einem für elektrische Meßkontakte geeigneten, elektrisch leitenden und federnden Metallblech hergestellt sind, und zwar im wesentlichen streifenförmig. Die Meßkontaktelemente 6 sind in zwei Gruppen beidseitig der Bewegungsbahn A der Vakuumhalter 4 derart angeordnet, daß diese lamellenartigen Meßkontaktelemente mit ihren Oberflächenseiten in vertikalen Ebenen senkrecht zur Transportrichtung A liegen. Die Meßkontaktelemente 6 bilden auf jeder Seite der Bewegungsbahn A ein Lamellenpaket 7 bzw. 8, in dem die Meßkontaktelemente 6 stapelartig mit ihren Oberflächenseiten parallel zueinander angeordnet sind und jeweils zwischen zwei benachbarten Meßkontaktelementen 6 eine Distanz- oder Zwischenlamelle 9 aus einem elektrisch isolierenden Material vorgesehen ist, d. h. in jedem Lamellenstapel 7 und 8 schließen die Meßkontaktelemente 6 über jeweils eine Lamelle 8 dicht aneinander an. The measuring device S essentially consists of a plurality of lamellar measuring contact elements 6 , which are made of an electrically conductive and resilient metal sheet suitable for electrical measuring contacts, essentially in strip form. The measuring contact elements 6 are arranged in two groups on both sides of the movement path A of the vacuum holder 4 in such a way that the lamella-like measuring contact elements lie with their surface sides in vertical planes perpendicular to the transport direction A. The measuring contact elements 6 form a plate pack 7 or 8 on each side of the movement path A, in which the measuring contact elements 6 are arranged in a stack-like manner with their surface sides parallel to one another and a spacer or intermediate plate 9 made of an electrically insulating material is provided between two adjacent measuring contact elements 6 , ie in each lamella stack 7 and 8 , the measuring contact elements 6 close to each other via a lamella 8 .

Die Meßkontaktelemente 6 und die Lamellen 9, die ebenfalls mit ihren Oberflächenseiten in vertikalen Ebenen senkrecht zur Transportrichtung A angeordnet sind, sind in dieser Transportrichtung A gegeneinander versetzt. The measuring contact elements 6 and the lamellae 9 , which are also arranged with their surface sides in vertical planes perpendicular to the transport direction A, are offset from one another in this transport direction A.

An einem unteren Ende 7 ¹ bzw. 8 ¹ des Lamellenstapels 7 bzw. 8 sind die Meßkontaktelemente 6 und die zwischen diesen angeordneten und die Meßkontaktelemente 6 elektrisch voneinander trennenden Lamellen 9 in einer Halterung 10 aus einem elektrisch isolierenden Material eingespannt gehalten, und zwar bei der dargestellten Ausführungsform dadurch, daß in dieser Halterung 10 eine Öffnung vorgesehen ist, in die das jeweilige Lamellenpaket 7 bzw. 8 mit seinem unteren Ende 7 ¹ bzw. 8 ¹ eingesetzt ist und durch einen Stift 11 aus einem elektrisch isolierenden Material gesichert ist. Durch Entfernen des Stiftes 11 kann das jeweilige Lamellenpaket 7 bzw. 8 schnell und problemlos ausgetauscht werden. At a lower end 7 ¹ and 8 ^{1 of} the lamella stack 7 and 8 , the measuring contact elements 6 and the lamellae 9 arranged between them and electrically separating the measuring contact elements 6 are held clamped in a holder 10 made of an electrically insulating material, namely at the Embodiment shown in that an opening is provided in this holder 10 , in which the respective plate pack 7 or 8 is inserted with its lower end 7 ¹ or 8 ¹ and is secured by a pin 11 made of an electrically insulating material. By removing the pin 11 , the respective disk pack 7 or 8 can be exchanged quickly and easily.

Am oberen freien und der Halterung 10 entfernt liegenden Ende 7 ² bzw. 8 ² des Lamellenpakets 7 bzw. 8 bilden die Meßkontaktelemente 6 jeweils eine Meßspitze bzw. einen Meßkontakt 6', der über die der Bewegungsbahn der Vakuumhalter 4 zugewandte Längsseite des jeweiligen Meßkontaktelementes 6 sowie auch über die jeweilige Lamelle 9 etwas vorsteht. Zwischen dem unteren und dem oberen Ende des jeweiligen Lamellenpaketes 7 bzw. 8 sind die Meßkontaktelemente 6, aber auch die Lamellen 9 mit mehreren Einschnitten 12 bzw. 13 versehen, die mit ihrer Längserstreckung jeweils senkrecht oder in etwa senkrecht zur Längserstreckung der Meßkontaktelemente 6 bzw. der Lamellen 9 liegen und von denen die Einschnitte 12 von der der Mittelebene M' zugewandten Längsseite der Meßkontaktelemente 6 bzw. Lamellen 9 ausgehen und zu dieser Längsseite hin offen sind und von denen die Einschnitte 13 von der der Mittelebene M' abgewandten Längsseite der Meßkontaktelemente 6 bzw. Lamellen 9 ausgehen und zu dieser Längsseite hin offen sind. Die Einschnitte 12 und 13, die in Längsrichtung der Meßkontaktelemente 6 und der Lamellen 9 jeweils abwechselnd aufeinander folgen, sind an ihrem anderen Ende geschlossen und erstrecken sich bei der dargestellten Ausführungsform jeweils über den größeren Teil der Breite der Meßkontaktelemente 6 bzw. Lamellen 9, so daß sich eine mäanderartige Struktur ergibt. At the top free and the holder 10 the end distant 7 ^2, and 8 ² of the plate assembly 7 and 8 form the Meßkontaktelemente 6 each having a probe tip and a measurement contact 6 'which on the side facing the movement path of the vacuum holder 4 longitudinal side of the respective Meßkontaktelementes 6 and also protrudes somewhat over the respective lamella 9 . Between the lower and the upper end of the respective plate pack 7 and 8 , the measuring contact elements 6 , but also the plates 9, are provided with a plurality of notches 12 and 13 , respectively, with their longitudinal extension perpendicular or approximately perpendicular to the longitudinal extension of the measuring contact elements 6 and of the fins 9 and from which the incisions 12 extend from the long side of the measuring contact elements 6 or fins 9 facing the central plane M 'and are open towards this long side and from which the incisions 13 from the long side of the measuring contact elements 6 facing away from the central plane M' or slats 9 go out and are open to this long side. The incisions 12 and 13 , which alternately follow one another in the longitudinal direction of the measuring contact elements 6 and the lamellae 9 , are closed at their other end and in the embodiment shown extend over the greater part of the width of the measuring contact elements 6 and lamellae 9 , respectively that there is a meandering structure.

Durch die Einschnitte 12 und 13 sind die Meßkontaktelemente 6 und die zwischen diesen angeordneten Lamellen 9 elastisch verformbar, und zwar derart, daß das obere Ende der Meßkontaktelemente 6 mit den dort gebildeten Meßspitzen 6' aus einer in der Fig. 2 dargestellten Ausgangsstellung mit einem größeren Abstand von der Mittelebene M' in der vertikalen Ebene der Oberflächenseiten der Meßkontaktelemente 6 in die in der Fig. 4 dargestellte Meßposition mit dem kleineren Abstand von der Mittelebene M' bewegt werden können, und zwar unter federndem Verformen der Meßkontaktelemente 6 (Pfeil B). Through the incisions 12 and 13 , the measuring contact elements 6 and the slats 9 arranged between them are elastically deformable, in such a way that the upper end of the measuring contact elements 6 with the measuring tips 6 'formed there from a starting position shown in FIG. 2 with a larger one Distance from the central plane M 'in the vertical plane of the surface sides of the measuring contact elements 6 can be moved into the measuring position shown in FIG. 4 with the smaller distance from the central plane M', with resilient deformation of the measuring contact elements 6 (arrow B).

Für dieses federnde Zustellen (Pfeil B) der Meßkontaktelemente 6 bzw. deren Meßspitzen 6' aus der Ausgangsstellung (Fig. 2) in die Meßstellung (Fig. 4) bilden die Meßkontaktelemente 6 an ihren der Mittelebene M' abgewandten außenliegenden Längsseite zwischen dem unteren und dem oberen Ende jeweils eine Schräg- oder Steuerfläche 14, die derart verläuft, daß der Abstand dieser Steuerfläche 14 von der Mittelebene M' zum unteren Ende hin zunimmt. For this resilient delivery (arrow B) of the measuring contact elements 6 or their measuring tips 6 'from the initial position ( FIG. 2) to the measuring position ( FIG. 4), the measuring contact elements 6 form on their outer longitudinal side facing away from the central plane M' between the lower and the upper end each have an inclined or control surface 14 which extends in such a way that the distance of this control surface 14 increases from the central plane M 'to the lower end.

Mit jeder Steuerfläche 14 wirkt eine Steuerrolle 15 zusammen, die an einem vertikalen Schieber 16 vorgesehen ist, der über einen nicht dargestellten Antrieb der Meßvorrichtung 5 oder der Fertigungslinie in vertikaler Richtung um einen vorgegebenen Hub zwischen einer oberen Ausgangsstellung, in der die Steuerflächen 14 von den Steuerrollen 15 beabstandet sind (Fig. 2) in eine Stellung bewegbar sind, in der die gegen die Steuerflächen 14 anliegenden Steuerrollen 15 die Meßkontaktelemente 6 federnd in die Meßstellung drücken (Fig. 4). Die Bewegung der Schieber 16 ist in der Fig. 2 mit dem Pfeil C angedeutet. With each control surface 14, a control roller 15 cooperates, which is provided on a vertical slide 16 , which via a drive, not shown, of the measuring device 5 or the production line in the vertical direction by a predetermined stroke between an upper starting position, in which the control surfaces 14 from the spaced control rollers 15 (FIG. 2) are movable into a position in which the abutting against the control surfaces 14 control the rollers 15 Meßkontaktelemente 6 resiliently in the measuring position press (Fig. 4). The movement of the slider 16 is indicated by the arrow C in FIG. 2.

Zwischen den beiden Lamellenpaketen 7 und 8 ist in der Mittelebene M' ein sich in vertikaler Richtung erstreckender Stempel 17 vorgesehen, der an seinem freien oberen Ende eine Aufnahme 18 für jeweils ein Bauelement 1 bildet. Between the two plate packs 7 and 8 , a plunger 17 extending in the vertical direction is provided in the central plane M 'and forms a receptacle 18 for a component 1 at its free upper end.

Der Stößel 17 ist in seiner Stößelachse, die mit der Mittelebene M' zusammenfällt, durch den Antrieb der Meßvorrichtung 5 oder durch den Maschinenantrieb aus einer abgesenkten Ausgangsstellung in eine angehobene Arbeitsstellung bewegbar, wie dies in der Fig. 2 mit dem Pfeil D angedeutet ist. The plunger 17 is movable in its plunger axis, which coincides with the central plane M ', by the drive of the measuring device 5 or by the machine drive from a lowered starting position into a raised working position, as indicated by the arrow D in FIG. 2.

Die Arbeitsweise der Meßvorrichtung 5 läßt sich somit, wie folgt, beschreiben: Die Lamellenpakete 7 und 8 befinden sich in der Ausgangsstellung (Fig. 2 und 3). Immer dann, wenn ein an einem Vakuumhalter 4 gehaltenes Bauelement 1 die Meßvorrichtung 5 bzw. die dortige Meßposition erreicht hat, wird der Stößel 17 nach oben bewegt (Pfeil D), so daß das Bauelement 1 mit seinem Gehäuse 2 in der Aufnahme 18 zu liegen kommt und hierbei exakt zumindest in der Transportrichtung A ausgerichtet wird. Die Anschlüsse 3 stehen seitlich aus der Aufnahme 18 vor. Das Bauelement 1 ist dann auch zwischen dem Vakuumhalter 4 und der Aufnahme 18 durch Einspannen so gehalten, daß die Ebene M in der Ebene M' liegt. Anschließend werden die Schieber 16 aus ihrer Ausgangsstellung (Fig. 2 und 3) nach unten bewegt (Pfeil C), so daß schließlich die Meßspitzen 6' gegen die Anschlüsse 3 des zu messenden Bauelementes 1 anliegen und der Meßvorgang durchgeführt werden kann. Hierfür sind die Meßkontaktelemente 6 am unteren Ende 7 ¹ bzw. 8 ¹ jeweils über eigene Leitungen 19 mit der Meßschaltung 20 verbunden. The method of operation of the measuring device 5 can thus be described as follows: The plate packs 7 and 8 are in the starting position ( FIGS. 2 and 3). Whenever a component 1 held on a vacuum holder 4 has reached the measuring device 5 or the measuring position there, the plunger 17 is moved upward (arrow D), so that the component 1 with its housing 2 lies in the receptacle 18 comes and is aligned exactly at least in the transport direction A. The connections 3 project laterally from the receptacle 18 . The component 1 is then held between the vacuum holder 4 and the receptacle 18 by clamping so that the plane M lies in the plane M '. The slides 16 are then moved downward from their starting position ( FIGS. 2 and 3) (arrow C), so that the measuring tips 6 ′ finally bear against the connections 3 of the component 1 to be measured and the measuring process can be carried out. For this purpose, the measuring contact elements 6 at the lower end 7 ¹ and 8 ^{1 are} each connected to the measuring circuit 20 via separate lines 19 .

Nach einer Messung werden die Schieber 16 wieder nach oben bewegt, so daß die Meßspitzen 6' in ihre Ausgangsstellung (Fig. 2 und 3) gelangen. Der Stößel 17 wird abgesenkt, so daß sich das Bauelement 1 dann wieder außerhalb der Aufnahme 18 befindet und mit dem Vakuumhalter 4 in dem nächsten Bewegungsschritt des Transportsystems weiterbewegt werden kann. After a measurement, the slides 16 are moved up again, so that the measuring tips 6 'reach their starting position (FIGS . 2 and 3). The plunger 17 is lowered so that the component 1 is then again outside the receptacle 18 and can be moved further with the vacuum holder 4 in the next movement step of the transport system.

Wie die Figuren zeigen, sind bei der dargestellten Ausführungsform für jeden Anschluß 3 des Bauelementes 1 zwei Meßkontaktelemente 6 mit jeweils einer Meßspitze 6' vorgesehen, so daß unter anderem bei der Messung die ordnungsgemäße Kontaktierung zwischen den Meßspitzen 6 und den Anschlüssen 3 überprüft sowie Übergangswiderstände zwischen den Meßspitzen 6' und den Anschlüssen 3 bei der Messung berücksichtigt bzw. kompensiert werden können (Kalvin-Kontaktierung). As the figures show, two measuring contact elements 6 , each with a measuring tip 6 ', are provided for each connection 3 of the component 1 in the illustrated embodiment, so that, among other things, the correct contacting between the measuring tips 6 and the connections 3 is checked during the measurement, and contact resistances between the measuring tips 6 'and the connections 3 can be taken into account or compensated for during the measurement (Kalvin contacting).

Die Fig. 7-11 zeigen als weitere mögliche Ausführungsform eine Meßvorrichtung 5a, die sich von der Meßvorrichtung 5 im wesentlichen nur dadurch unterscheidet, daß an beiden Seiten der Mittelebene M' jeweils zwei Lamellenpakete 7a', 7a" bzw. 8a' 8a" vorgesehen sind, jedes Lamellenpaket besteht wiederum aus mehreren den Meßkontaktelementen 6 entsprechenden, flachen bzw. lamellenartigen Meßkontaktelementen 6a, und zwar bei der dargestellten Ausführungsform jeweils aus drei Meßkontaktelementen 6a und zwei zwischen den Meßkontaktelementen angeordneten und diese elektrisch voneinander trennenden Lamellen 9a. Die Meßkontaktelemente 6a bilden an ihren freien Enden wiederum jeweils eine Meßspitze 6a'. Die Lamellenpakete 7a', 7a" bzw. 8a' und 8a" der beiden Paare von Lamellenpakete sind beidseitig einer horizontalen Ebene HE angeordnet, die mit der Mittelebene M' einen rechten Winkel einschließt. Durch die den Einschnitten 12 und 13 entsprechenden Einschnitte sind die Kontaktelemente 6a und die zugehörigen Lamellen 9a mit ihrem mittleren Abschnitt wiederum mäanderartig ausgebildet, so daß ein federndes Zustellen der Meßkontaktelemente 6a bzw. deren Meßspitzen aus einer Ausgangsstellung, in der die Meßspitzen 6a' einen größeren Abstand von der Ebene HE aufweisen, in die Meßposition (Fig. 8) möglich ist, in der jede Meßspitze 6a' gegen einen Anschluß 3 anliegt. Die Anordnung ist weiterhin so getroffen, daß jeder Meßspitze 6a' eines Meßkontaktelementes 6a im Lamellenpaket 7a' bzw. 8a' eine Meßspitze 6a' eines Meßkontaktelementes 6a in dem zugehörigen anderen Lamellenpaket 7a" bzw. 8a" in vertikaler Richtung gegenüberliegt, so daß in der Meßposition der Meßkontaktelemente 6a die Meßspitzen 6a' der in den Fig. 7 und 8 oberen Meßkontaktelemente 6a jeweils gegen die Oberseite eines Anschlusses 3 und die Meßspitzen 6a' der unteren Meßkontaktelemente 6a gegen die Unterseite eines Anschlusses 3 anliegen. FIGS . 7-11 show a further possible embodiment of a measuring device 5 a, which differs from the measuring device 5 essentially only in that on both sides of the central plane M 'two plate packs 7a', 7a "and 8a '8a" are provided, each plate pack in turn consists of several corresponding to the measuring contact elements 6 , flat or lamellar measuring contact elements 6 a, in the embodiment shown each of three measuring contact elements 6 a and two arranged between the measuring contact elements and these electrically separating lamellae 9 a. The measuring contact elements 6 a each form a measuring tip 6 a 'at their free ends. The disk packs 7 a ', 7 a "or 8 a' and 8 a" of the two pairs of disk packs are arranged on both sides of a horizontal plane HE, which includes a right angle with the central plane M '. By the notches 12 and 13 corresponding recesses, the contact elements 6a and its fins 9 are a turn formed meandering with its central portion, so that a resilient delivering the Meßkontaktelemente 6 a or their probe tips from a starting position in which the probe tips 6 a 'have a larger distance from the plane HE, in the measuring position ( Fig. 8) is possible, in which each measuring tip 6 a' bears against a terminal 3 . The arrangement is also such that each measuring tip 6 a 'of a measuring contact element 6 a in the plate pack 7 a' or 8 a 'has a measuring tip 6 a' of a measuring contact element 6 a in the associated other plate pack 7 a "or 8 a" in vertical direction is opposite, so that in the measuring position of the measuring contact elements 6 a, the measuring tips 6 a 'of the upper measuring contact elements 6 a in FIGS . 7 and 8 each against the top of a connection 3 and the measuring tips 6 a' of the lower measuring contact elements 6 a against Apply underside of a connector 3 .

Zum Betätigen der Meßkontaktelemente 6a sind für jedes Lamellenpaketpaar 7a'/7a" bzw. 8a'/8a" zwei gegenläufig betätigbare Stößel 17a' bzw. 17a" vorgesehen, von denen der Stößel 17a' mit einer Steuerrolle 15 auf die Meßkontaktelemente 6a der Lamellenpakete 7a' bzw. 8a' und der Stößel 17a" mit einer Steuerrolle 15 auf die Meßkontaktelemente 6a der Lamellenpakete 7a" bzw. 8a" einwirkt, und zwar jeweils auf eine Steuerfläche 21, die zwischen den beiden Enden an jedem Meßkontaktelement 6a vorgesehen ist. Auch bei der Meßvorrichtung 5a erfolgt somit das Kontaktieren jedes Anschlusses 3 für die Messung mit zwei Meßkontaktelementen 6a. To actuate the measuring contact elements 6 a, two oppositely actuatable plungers 17 a 'and 17 a "are provided for each pair of plates 7 a' / 7 a" and 8 a '/ 8 a ", of which the plunger 17 a' with a control roller 15 acts on the measuring contact elements 6 a of the disk packs 7 a 'or 8 a' and the plunger 17 a "with a control roller 15 acts on the measuring contact elements 6 a of the disk packs 7 a" or 8 a ", in each case on a control surface 21 , which is provided between the two ends on each measuring contact element 6 a. With the measuring device 5 a, therefore, each contact 3 is contacted for measurement with two measuring contact elements 6 a.

Wie die Fig. 11 zeigt, sind die Steuerrollen 15 bei dieser Ausführungsform jeweils mit einer umlaufenden Nut 22 versehen, in der die Lamellenpakete 7a', 7a", 8a' bzw. 8a" aufgenommen und dadurch zusätzlich seitlich geführt sind. As shown in FIG. 11, the control rollers 15 are each provided with a circumferential groove 22 in this embodiment, in which the disk packs 7 a ', 7 a ", 8 a' and 8 a" are received and thereby additionally guided laterally.

Die Fig. 12-15 zeigen als weitere mögliche Ausführungsform der Erfindung eine Meßvorrichtung 5b, die speziell zum elektrischen Prüfen bzw. Messen von elektrischen Bauelementen 1b (SMDs) bestimmt sind, die an der Unterseite ihres Gehäuses mit über diese Unterseite wegstehenden halbkugelförmigen Anschlüssen 3b (Ball-Pins) versehen sind. Diese sind dort in mehreren Reihen R1-R4 parallel zu zwei Seiten und der Mittelebene M des Gehäuses 2b angeordnet, wobei jede dieser Reihen, die sich bei der für die Fig. 12 und 13 gewählten Darstellung senkrecht zur Zeichenebene dieser Figur erstrecken, mehrere Anschlüsse 3b aufweist. Die Meßvorrichtung 5b, die wiederum symmetrisch zu einer vertikalen Mittelebene M' ausgebildet ist, mit welcher bei in Meßposition befindlichem Bauelement 1b dessen Mittelebene M zusammenfällt, weist an jeder Seite dieser Mittelebene M' mehrere Gruppen von Lamellenpaketen 7b', 7b" bzw. 8b' und 8b" auf. Jedes Lamellenpaket besteht aus mehreren flachen bzw. lamellenartigen Meßkontaktelementen 6b und dazwischen angeordneten Lamellen 9b. Die Meßkontaktelemente 6b und die zugehörigen, zwischen jeweils zwei benachbarten Meßkontaktelementen 6b angeordneten Lamellen 9b liegen mit ihrer Längserstreckung senkrecht zur Mittelebene M' und sind an ihrem einen, der Mittelebene M' am weitesten entfernt liegenden Ende in einem Gehäuse 23 der Meßvorrichtung 5b fest eingespannt. Die lamellenartigen Meßkontaktelemente 6b und die zugehörigen Lamellen 9b sind mit ihren Oberflächenseiten wiederum in vertikalen Ebenen orientiert, und zwar senkrecht zur Mittelebene M' und in horizontaler Richtung senkrecht zu ihren Oberflächenseiten, d. h. bei der für die Fig. 12 gewählten Darstellung senkrecht zur Zeichenebene dieser Figur jeweils paketartig aufeinander folgend vorgesehen, und zwar jeweils mit zwei Meßkontaktelementen 6b und eine dazwischen liegende Lamelle 9b für jeden Anschluß 3b. An ihrem der Mittelebene M' näher liegenden Ende sind die Meßkontaktelemente 6b mit einer nach oben wegstehenden Verlängerung 6b" versehen, die dann in einer einen Meßkontakt bildenden Schrägfläche 6b' endet. Diese Schrägflächen 6b' sind bei den beiden, einem jeden Anschluß 3b zugeordneten Meßkontaktelementen 6b derart ausgeführt, daß diese sie eine entgegengesetzte Neigung derart aufweisen, daß sich die Schrägflächen 6b' der beiden, einem Anschluß 3b zugeordneten Meßkontaktelemente 6b in der Ansicht der Fig. 12 und 13 in einer Meßebene ME zu einer zur Oberseite hin offenen V-förmigen Anlage für den jeweiligen Anschluß 3b ergänzen. Figs. 12-15 show a further possible embodiment of the invention, a measuring device 5 b, the (SMDs) are intended especially for electrical testing or measuring electrical components 1 b, the hemispherical at the bottom of its housing with projects beyond this bottom terminals 3 b (ball pins) are provided. These are arranged there in a plurality of rows R1-R4 in parallel with two sides and the central plane M of the housing 2 b, each of these rows, perpendicular to in the Figs. 12 and 13 chosen representation extend to the plane of this figure, a plurality of terminals 3 b. The measuring device 5 b, which is in turn symmetrical to a vertical central plane M ', with which the central plane M coincides when the component 1 b is in the measuring position, has on each side of this central plane M' several groups of plate packs 7 b ', 7 b " or 8 b 'and 8 b ". Each plate pack consists of several flat or plate-like measuring contact elements 6 b and plates 9 b arranged between them. The measuring contact elements 6 b and the associated lamellae 9 b arranged between each two adjacent measuring contact elements 6 b lie with their longitudinal extent perpendicular to the central plane M 'and are at their one end, the most distant end of the central plane M', in a housing 23 of the measuring device 5 b firmly clamped. The lamella-like measuring contact elements 6 b and the associated lamellae 9 b are in turn oriented with their surface sides in vertical planes, specifically perpendicular to the central plane M 'and in the horizontal direction perpendicular to their surface sides, ie perpendicular to the plane of the drawing in the representation chosen for FIG. 12 this figure is provided in a packet-like manner, one after the other, with two measuring contact elements 6 b and a lamella 9 b in between for each connection 3 b. At its end closer to the central plane M ', the measuring contact elements 6 b are provided with an upward protruding extension 6 b ", which then ends in an inclined surface 6 b' forming a measuring contact. These inclined surfaces 6 b 'are in the two, each Terminal 3 b associated measuring contact elements 6 b designed such that they have an opposite inclination such that the inclined surfaces 6 b 'of the two measuring contact elements 6 b associated with a terminal 3 b are in the view of FIGS . 12 and 13 in a measuring plane ME add to a top open V-shaped system for the respective connection 3 b.

Bei der in den Fig. 12-15 dargestellten Ausführungsform bilden die Anschlüsse 3b insgesamt vier Reihen R1-R4 (Fig. 15). In jeder sich parallel zur Mittelebene M' erstreckenden Reihe sind vier Anschlüsse 3b vorgesehen. Aus diesem Grunde weist jedes Lamellenpaket 7b', 7b", 8b' und 8b", von denen die Lamellenpakete 7b' und 8b' den äußeren Reihen R1 und R4 und die Lamellenpakete 7b" und 8b" den inneren Reihen R2 und R3 zugeordnet sind, jeweils vier Paare von Meßkontaktelementen 6b mit zwischen diesen Meßkontakten angeordneten Lamellen 9b auf. In the embodiment shown in FIGS. 12-15, the connections 3 b form a total of four rows R1-R4 ( FIG. 15). In each row extending parallel to the central plane M ', four connections 3 b are provided. For this reason, each plate pack 7 b ', 7 b ", 8 b' and 8 b", of which the plate packs 7 b 'and 8 b' the outer rows R1 and R4 and the plate packs 7 b "and 8 b" inner rows R2 and R3 are assigned four pairs of measuring contact elements 6 b with lamellae 9 b arranged between these measuring contacts.

Mit den Vorsprüngen 6b" sind die Meßkontaktelemente 6b' durch Führungsöffnungen an der Oberseite 23' des Gehäuses 23 aus diesem Gehäuse herausgeführt, so daß die Schräg- bzw. Kontaktflächen 6b' über die Oberseite 23' vorstehen. With the projections 6 b ", the measuring contact elements 6 b 'are guided out of this housing through guide openings on the upper side 23 ' of the housing 23 , so that the inclined or contact surfaces 6 b 'protrude above the upper side 23 '.

Die Meßkontaktelemente 6b sind wiederum mit den Einschnitten 12 und 13 versehen, so daß sie trotz ihrer Hochkant-Anordnung in der Ebene ihrer Oberflächenseiten federnd sind. The measuring contact elements 6 b are in turn provided with the incisions 12 and 13 , so that despite their upright arrangement they are resilient in the plane of their surface sides.

Um für sämtliche Reihen R1-R4 die Lamellenpakete 7b', 8b', 7b", 8b" vorsehen zu können, sind diese in der Höhe gestaffelt im Gehäuse 23 untergebracht, d. h. die den äußeren Reihen R1 und R4 zugeordneten Lamellenpakete 7b' und 8b' befinden sich oberhalb der den weiter innen liegenden Reihen zugeordneten Lamellenpaketen 7b" und 8b". In order to be able to provide the disk packs 7 b ', 8 b', 7 b ", 8 b" for all rows R1-R4, they are staggered in height in the housing 23 , ie the disk packs 7 assigned to the outer rows R1 and R4 b 'and 8 b' are located above the plate packs 7 b "and 8 b" assigned to the rows located further inside.

Zum elektrischen Prüfen und Messen des Bauelementes 1b wird dieses mit seinen Anschlüssen 3b auf die über die Oberseite 23 vorstehenden Schräg- bzw. Kontaktflächen 6b' derart aufgesetzt, daß gegen jeden Anschluß 3b diese Kontaktflächen der beiden dem Anschluß zugeordneten Meßkontaktelemente 6b anliegen, so daß auch bei dieser Ausführung wiederum jeder Anschluß 3b über zwei elektrisch voneinander getrennte Meßkontaktelemente 6b kontaktiert ist. For electrical testing and measurement of the component 1 b, this is placed with its connections 3 b on the inclined or contact surfaces 6 b ′ projecting above the upper side 23 such that, against each connection 3 b, these contact surfaces of the two measuring contact elements 6 b assigned to the connection apply, so that in this embodiment again each connection 3 b is contacted via two electrically separate measuring contact elements 6 b.

An ihren der Mittelebene M' entfernt liegenden Ende sind die Meßkontaktelemente 6b wiederum über getrennte Meßleitungen 24 mit der nicht dargestellten Meßschaltung verbunden. Durch die von den entgegengesetzt geneigten Schrägflächen 6b' gebildete V-förmige Anlage (Fig. 13) ergibt sich auch eine optimale Ausrichtung der Kontaktflächen 6b' in Bezug auf den jeweiligen Anschluß 3b. Weiterhin werden quer bzw. senkrecht zur Mittelebene M' wirkende Kräfte beim Kontaktieren des Bauelementes 1b an den Anschlüssen 3b weitestgehend vermieden. At its end located away from the center plane M ', the measuring contact elements 6 b are in turn connected to the measuring circuit (not shown) via separate measuring lines 24 . The V-shaped contact ( FIG. 13) formed by the oppositely inclined inclined surfaces 6 b 'also results in an optimal alignment of the contact surfaces 6 b' with respect to the respective connection 3 b. Furthermore, forces acting transversely or perpendicular to the central plane M 'when contacting the component 1 b at the connections 3 b are largely avoided.

Die Fig. 16 zeigt einen Leadframe 25 mit einem in diesem Leadframe angeordneten Bauelement 1c. Tatsächlich weist der Leadframe in bekannter Weise eine Vielzahl derartiger Bauelemente auf. Das Bauelement 1c ist im Leadframe 25 an seinem Gehäuse 2 nur noch durch Haltenasen 26 gehalten, während vom Leadframe 25 gebildete und an das Bauelement 1c führende Stege 27 bereits durchtrennt sind und hierdurch die von dem Bauelementgehäuse 2c wegstehenden Anschlüsse 3c bilden. Bei der dargestellten Ausführungsform besitzt jedes Bauelement 1c wiederum an zwei bezogen auf seine Mittelebene M gegenüberliegenden Seiten jeweils drei derartige Anschlüsse 3c, die beim Durchtrennen der Stege 27 zugleich so geformt wurden, daß die freien Enden der Anschlüsse 3c in der Ebene der Unterseite des Gehäuses 2c liegen bzw. geringfügig über diese Unterseite vorstehen, wie dies für Bauelemente in Form von SMDs notwendig ist. Die Mittelebene M der Bauelemente 1c verläuft dabei senkrecht zu den Oberflächenseiten des Leadframes 25 und parallel zur Längserstreckung dieses Leadframes. Fig. 16 shows a lead frame 25 having a c arranged in this lead frame element 1. In fact, the leadframe has a large number of such components in a known manner. The component 1 c is held in the lead frame 25 on its housing 2 only by retaining lugs 26 , while webs 27 formed by the lead frame 25 and leading to the component 1 c are already severed and thereby form the connections 3 c which protrude from the component housing 2 c. In the embodiment shown, each component 1 c in turn has three such connections 3 c on two opposite sides with respect to its central plane M, which at the same time were formed when the webs 27 were cut through such that the free ends of the connections 3 c in the plane of the underside of the housing 2 c lie or protrude slightly above this underside, as is necessary for components in the form of SMDs. The center plane M of the components 1 c runs perpendicular to the surface sides of the lead frame 25 and parallel to the longitudinal extent of this lead frame.

Die Fig. 17-19 zeigen eine Meßvorrichtung 5c, die das elektrische Prüfen und Messen der Bauelemente 1c im Leadframe 25 ermöglicht, der diese Baulemente 1c in mehreren Längsreihen und Querreihen aufweist. Die Meßvorrichtung 5c ist wiederum symmetrisch zu einer vertikalen Mittelebene M' ausgeführt, die beim Messen bzw. Prüfen eines Bauelementes 1c mit der Mittelebene M des jeweiligen Bauelementes 1c zusammenfällt. FIGS. 17-19 illustrate a measuring device 5 c containing the electrical testing and measuring of the components c 1 allows the leadframe 25, which this metal panels 1 c in several longitudinal rows and transverse rows comprises. The measuring device 5 c is in turn designed symmetrically to a vertical center plane M ', which coincides with the center plane M of the respective component 1 c when measuring or testing a component 1 c.

An beiden Seiten der Mittelebene M' sind jeweils mehrere Lamellenpakete in einer in der Mittelebene M' verlaufenden, horizontalen Achsrichtung, d. h. in einer Achsrichtung senkrecht zur Zeichenebene der Fig. 17 und 18 vorgesehen, und zwar bei der dargestellten Ausführungsform auf der einen Seite der Mittelebene M' drei Lamellenpakete 7c und auf der anderen Seite der Mittelebene M' drei Lamellenpakete 8c, wobei jedes Lamellenpaket 7c bzw. 8c zwei wiederum aus Flachmaterial hergestellte Meßkontaktelemente 6c aufweist und eine zwischen diesen angeordnete Lamelle 9c aus elektrisch isolierendem Material. Jedes Lamellenpaket 7c bzw. 8c ist einem Anschluß 3c zugeordnet. On both sides of the central plane M ', a plurality of plate packs are provided in a horizontal axial direction running in the central plane M', ie in an axial direction perpendicular to the plane of the drawing in FIGS. 17 and 18, in the embodiment shown on one side of the central plane M 'three plate packs 7 c and on the other side of the central plane M' three plate packs 8 c, each plate pack 7 c or 8 c having two measuring contact elements 6 c, again made of flat material, and a plate 9 c arranged between them made of electrically insulating material , Each plate pack 7 c or 8 c is assigned to a connection 3 c.

Die Lamellenpakete 7c und 8c sind in einem Gehäuse 28 gehalten und elektrisch mit Leiterbahnen einer Meßplatine 29 verbunden, die Bestandteil einer Meßschaltung ist. The plate packs 7 c and 8 c are held in a housing 28 and electrically connected to conductor tracks of a measuring board 29 which is part of a measuring circuit.

An ihrem der Mittelebene M benachbarten Ende sind die Meßkontaktelemente 6c so geformt, daß sie federnde, fingerartige Abschnitte 6c" bilden, die an ihren freien, über die Oberseite des Gehäuses 28 vorstehenden Enden schräge Kontaktflächen 6c' aufweisen. Die fingerartigen Abschnitte 6c" sind ihrerseits so geformt, daß deren freie Enden bzw. die dortigen Kontaktflächen 6c' in der vertikalen Ebene der Oberflächenseiten der hochkant angeordneten, lamellenartigen Meßkontaktelemente 6c federnd ausweichen können, und zwar im Sinne einer Vergrößerung des Abstandes von der Mittelebene M'. Die Anordnung ist weiterhin so getroffen, daß jedem Lamellenpaket 7c an einer Seite der Mittelebene M' ein Lamellenpaket 8c an der anderen Seite der Mittelebene M' unmittelbar gegenüberliegt und die Kontaktflächen 6c der beiden einander gegenüberliegenden Lamellenpakete 7c und 8c eine entgegengesetzte Neigung aufweisen, so daß diese Schräg- bzw. Kontaktflächen 6c' bzw. deren Verlängerung bei der für die Fig. 17 und 18 gewählten Darstellung ein V ergeben. At its end adjacent to the central plane M, the measuring contact elements 6 c are shaped in such a way that they form resilient, finger-like sections 6 c ″ which have oblique contact surfaces 6 c ′ at their free ends projecting above the upper side of the housing 28. The finger-like sections 6 c "are in turn shaped in such a way that their free ends or the contact surfaces 6 c 'there can deflect resiliently in the vertical plane of the surface sides of the upright, lamellar measuring contact elements 6 c, namely in the sense of increasing the distance from the central plane M' , The arrangement is further such that each plate pack 7 c on one side of the central plane M 'is a plate pack 8 c on the other side of the central plane M' directly opposite and the contact surfaces 6 c of the two mutually opposed plate packs 7 c and 8 c an opposite Have inclination so that these inclined or contact surfaces 6 c 'or their extension result in a V in the illustration chosen for FIGS. 17 and 18.

Die Meßvorrichtung 5c ist unterhalb des Leadframes 25 bzw. unterhalb einer Führung 30 für diesen Leadframe angeordnet und kann durch einen entsprechenden Antrieb in vertikaler Richtung, d. h. senkrecht zur Ebene des Leadframes 25 aus einer Ausgangsstellung, in der Meßkontakte 6c von den Anschlüssen 3c des zu messenden Bauelementes entfernt sind (Fig. 17) in eine Meßstellung angehoben werden (Pfeil E der Fig. 17), in der die Kontaktflächen 6c gegen die Anschlüsse 3c anliegen (Fig. 18). Weiterhin kann die Meßvorrichtung 5c durch den Antrieb auch in horizontaler Richtung senkrecht zur Mittelebene M' in Schritten derart bewegt werden, daß nacheinander sämtliche Bauelemente 1c einer jeden Querreihe des Leadframes 25 gemessen bzw. geprüft werden kann. The measuring device 5 c is arranged below the lead frame 25 or below a guide 30 for this lead frame and can by a corresponding drive in the vertical direction, ie perpendicular to the plane of the lead frame 25 from an initial position, in the measuring contacts 6 c from the connections 3 c of the component to be measured are removed ( FIG. 17) into a measuring position (arrow E of FIG. 17), in which the contact surfaces 6 c bear against the connections 3 c ( FIG. 18). Furthermore, the measuring device 5 c can be moved in steps in the horizontal direction perpendicular to the central plane M 'in such a way that all components 1 c of each transverse row of the lead frame 25 can be measured or checked in succession.

Die Bauelemente 1c sind dabei in ebenfalls bekannter Weise in mehreren, sich in Leadframe-Längsrichtung erstreckenden Längsreihen derart angeordnet, daß auch in Leadframe-Querrichtung mehrere Bauelemente 1c in einer quer zur Leadframe- Längsrichtung verlaufenden Querreihe nebeneinander vorgesehen sind. The components 1 c are also arranged in a known manner in a plurality of longitudinal rows extending in the longitudinal direction of the lead frame such that a plurality of components 1 c are provided next to one another in a transverse row running in the transverse direction of the lead frame in the transverse direction.

Die Arbeitsweise der Meßvorrichtung 5c läßt sich also dahingehend beschreiben, daß zunächst mit Hilfe des Antriebs die Meßvorrichtung 5c derart bewegt wird, daß sich die Meßkontaktelemente 6c unterhalb der Anschlüsse 3c eines ersten Bauelementes 1c einer Querreihe befinden. Anschließend wird die Meßvorrichtung 5c durch den Antrieb angehoben, so daß die Meßkontaktelemente 6c mit ihren Kontaktflächen 6c' gegen die Anschlüsse 3c anliegen, und zwar wiederum jeweils zwei Meßkontaktelemente 6c' gegen jeden Anschluß 3c. Nach dem Messen des betreffenden Bauelementes 1c wird die Meßvorrichtung 5c wiederum in ihre Ausgangsstellung abgesenkt und dann durch den Antrieb quer zur Längserstreckung des Leadframes 25 um ein Bauelement 1c weiterbewegt (Pfeil F), welches dann ebenfalls in der vorbeschriebenen Weise geprüft und gemessen wird. Sind sämtliche Bauelemente 1c einer Querreihe geprüft oder gemessen, so wird der Leadframe 25 in Längsrichtung um eine Querreihe weiterbewegt, so daß dann die Bauelemente der nächsten Querreihe geprüft bzw. gemessen werden können. The operation of the measuring device 5 c can thus be described in that the measuring device 5 c is first moved with the aid of the drive in such a way that the measuring contact elements 6 c are located below the connections 3 c of a first component 1 c of a transverse row. Then the measuring device 5 c is raised by the drive, so that the measuring contact elements 6 c rest with their contact surfaces 6 c 'against the connections 3 c, and again two measuring contact elements 6 c' against each connection 3 c. After measuring the component 1 c in question, the measuring device 5 c is again lowered into its initial position and then moved by the drive transversely to the longitudinal extension of the lead frame 25 by a component 1 c (arrow F), which is then also checked and measured in the manner described above becomes. If all components 1 c of a transverse row have been checked or measured, the leadframe 25 is moved in the longitudinal direction by one transverse row, so that the components of the next transverse row can then be checked or measured.

Vorstehend wurde davon ausgegangen, daß die Meßvorrichtung 5c nur jeweils eine der Anzahl der Anschlüsse 3c eines Bauelementes 1c entsprechende Anzahl von Lamellenpaketen 7c bzw. 8c aufweist, so daß in jedem Meßschritt jeweils nur ein Bauelement 1c geprüft bzw. gemessen werden kann. Selbstverständlich besteht aber die Möglichkeit, die Gruppen der Lamellenpakete 7c und 8c mehrfach vorzusehen, beispielsweise entsprechend der Fig. 19 in mehreren in Leadframe-Längsrichtung aufeinanderfolgenden Gruppen, so daß zeitgleich jeweils mehrere Bauelemente 1c' geprüft und gemessen werden können. It was assumed above that the measuring device 5 c only has a number of plate packs 7 c or 8 c corresponding to the number of connections 3 c of a component 1 c, so that only one component 1 c is tested or measured in each measuring step can be. Of course, there is, however, the possibility of providing the groups of disk packs 7 c and 8 c several times, for example in accordance with FIG. 19 in a number of successive groups in the longitudinal direction of the lead frame, so that a plurality of components 1 c 'can be checked and measured at the same time.

Mit ME ist in der Fig. 17 wieder die Meßebene bezeichnet, in der die von den Schrägflächen 6c' gebildeten Kontaktflächen angeordnet sind und die bei in der Meßposition befindlichem Bauelement 1c parallel zu der Unterseite des Gehäuses dieses Bauelementes liegt. ME again in FIG. 17 denotes the measuring plane in which the contact surfaces formed by the inclined surfaces 6 c 'are arranged and which, when the component 1 c is in the measuring position, is parallel to the underside of the housing of this component.

Die Erfindung wurde voranstehend an verschiedenen Ausführungsbeispielen beschrieben. Es versteht sich, daß zahlreiche weitere Änderungen und Abwandlungen möglich sind, ohne daß dadurch der der Erfindung zugrundeliegende Erfindungsgedanke verlassen wird. Bezugszeichenliste 1, 1b, 1c Bauelement
2, 2b, 2c Bauelementgehäuse
3, 3b, 3c Anschluß
4 Vakuumhalter
5,5a, 5b, 5c Meßvorrichtung
6, 6a, 6b, 6c lamellenartiges Meßkontaktelement
6', 6b', 6c' Meßspitze oder Meßkontakt
6b", 6c" Meßkontaktelementabschnitt
7, 7a', 7a", 7b', 7b", 7c Lamellenpaket
8, 8a', 8a", 8b', 8b", 8c Lamellenpaket
9, 9a, 9b, 9c Lamelle aus elektrisch isolierendem Material
10 Halterung
11 Stift
12, 13 Einschnitt
14 Steuerfläche
15 Steuerrolle
16, 16a', 16a" Schieber
17 Stößel
18 Aufnahme
19 Meßleitung
20 Meßschaltung
21 Steuerfläche
22 Nut
23 Gehäuse
23' Gehäuseoberseite
24 Meßleitung
25 Leadframe
26 Haltenase
27 Steg
28 Gehäuse
28' Gehäuseoberseite
29 Meßplatine
30 Leadframe-Führung
A Transportrichtung
B Schwenkbewegung
C Schieberbewegung
D Hubbewegung
E Hubbewegung
F horizontale Bewegung
M Mittelebene Bauelement
M' Mittelebene Meßvorrichtung
HE horizontale Ebene
The invention has been described above using various exemplary embodiments. It goes without saying that numerous other changes and modifications are possible without thereby departing from the inventive idea on which the invention is based. List of reference symbols 1 , 1 b, 1 c component
2 , 2 b, 2 c component housing
3 , 3 b, 3 c connection
4 vacuum holders
5 , 5 a, 5 b, 5 c measuring device
6 , 6 a, 6 b, 6 c lamellar measuring contact element
6 ', 6 b', 6 c 'measuring tip or measuring contact
6 b ", 6 c" measuring contact element section
7 , 7 a ', 7 a ", 7 b', 7 b", 7 c plate pack
8 , 8 a ', 8 a ", 8 b', 8 b", 8 c plate pack
9 , 9 a, 9 b, 9 c Lamella made of electrically insulating material
10 bracket
11 pin
12 , 13 incision
14 control surface
15 steering roller
16 , 16 a ', 16 a "slide
17 plungers
18 recording
19 measuring line
20 measuring circuit
21 control surface
22 groove
23 housing
23 'top of housing
24 measuring line
25 leadframe
26 retaining nose
27 footbridge
28 housing
28 'top of housing
29 measuring board
30 Leadframe leadership
A direction of transport
B swivel movement
C slide movement
D stroke
E stroke movement
F horizontal movement
M mid-level component
M 'mid-level measuring device
HE horizontal level

Claims

1. Device for testing and measuring electrical components ( 1 , 1 b, 1 c), for example SMDs, with a plurality of electrical connections ( 3 , 3 b, 3 c) projecting from a component housing ( 2 , 2 b, 2 c) a measuring circuit ( 20 ) with a plurality of measuring contacts forming measuring contact elements ( 6 , 6 a, 6 b, 6 c), the (measuring contact elements) for establishing electrical connections between connections ( 3 , 3 b, 3 c) of the component to be tested or measured ( 1 , 1 b, 1 c) and the measuring contacts can be moved from a starting position into a measuring position in which the measuring contact elements each rest with their contact areas against the connections of the component, characterized in that the measuring contact elements ( 6 , 6 a, 6 b , 6 c) are formed from an electrically conductive material as flat lamellae and can be moved in the plane of their surface sides from the starting position into the measuring position.

2. Device according to claim 1, characterized in that the measuring contact elements ( 6 , 6 a, 6 b, 6 c) form the measuring contact ( 6 ') at a first free end and are designed for resilient movement of this end in the plane of their surface sides are.

3. Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that the measuring contact elements ( 6 , 6 a, 6 b, 6 c) are firmly clamped at an end remote from the measuring contacts, and that between the first, free end and the second end the measuring contact elements ( 6 ) have a meandering structure produced by incisions ( 12 , 13 ).

4. Device according to one of the preceding claims, characterized in that for each electrical connection ( 3 , 3 b, 3 c) of a component to be tested or measured ( 1 , 1 b, 1 c) at least two measuring contact elements ( 6 , 6 a , 6 b, 6 c) are provided, each with a plate pack ( 7 , 8 , 7 a ', 7 a ", 8 a', 8 a", 7 b ', 7 b ", 8 b', 8 b" , 7 c, 8 c) form in which the at least two measuring contact elements are arranged with their surface sides arranged parallel to one another via an electrically insulating intermediate layer.

5. The device according to claim 4, characterized in that the at least one electrically insulating intermediate layer of a lamella ( 9 , 9 a, 9 b, 9 c) is formed from an electrically insulating material, which also has with its surface sides parallel to the direction of movement of the measuring contacts ( 6 ', 6 a', 6 b ', 6 c') is arranged.

6. The device according to claim 4 or 5, characterized in that the at least two measuring contact elements over the at least one insulating layer support each other.

7. Device according to one of the preceding claims, characterized in that on both sides of a central plane (M ') of the device at least one plate pack (7, 8, 7a' 7a "8a '8a"7b' 7b "8b '8b" 7c 8c ) with at least two measuring contact elements ( 6 , 6 a, 6 b, 6 c) are provided that the measuring contact elements ( 6 , 6 a, 6 b, 6 c) are arranged with their surface sides in planes perpendicular to the central plane (M ') , and that for several measuring contact elements of each plate pack a common actuating element ( 15 , 16 , 16 a ', 16 a ") is provided in order to move these measuring contact elements or their measuring contacts from the initial position into the measuring position with resilient deformation of the measuring contact elements.

8. The device according to claim 5, characterized in that a common drive is provided for all measuring contact elements ( 6 ) of each plate pack ( 7 , 8 ).

9. Device according to one of the preceding claims, characterized in that at least two disk packs ( 7 a ', 7 a ", 8 a', 8 a") are provided on each side of the central plane (M ') of the device, and that an actuating device ( 15 , 16 a ', 16 a ") is provided for the measuring contact elements of each pair of lamellae.

10. Device according to one of the preceding claims, characterized in that between the two sides of the device level (M ') arranged plate packs (7, 8, 7a' 7a "8a '8a"7b' 7b "8b '8b" 7c 8c) a measuring position for the component to be tested or measured ( 1 , 1 b, 1 c), on which this component ( 1 , 1 b, 1 c) is formed when testing or measuring with a central plane (M) perpendicular to the top and / or underside of the housing of the component, is arranged congruently with the device center plane (M ').

11. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the measuring contact elements ( 6 ) are elongated or finger-like at least on an area forming the measuring contacts ( 6 ') and with their longitudinal extension approximately parallel or approximately parallel to the device plane (M') are provided in progress.

12. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the measuring contact elements ( 6 a) elongate or finger-like and with their longitudinal extension parallel to a perpendicular to the device plane (M ') extending plane (HE) and with their surface sides at the same time perpendicular to the device plane (M ') are provided in an oriented manner, in each case in pairs in the manner of measuring clamps on this further plane (HE) opposite one another.

13. Device according to one of the preceding claims, characterized in that for testing and / or measuring components ( 1 b) with on an underside of the housing ( 2 b) provided connections ( 3 b), preferably with so-called ball-pin connections the lamellar Meßkontaktelemente with their (b 6 ") at the first ends contact surfaces formed (6 b) in a measuring plane (ME) form a Meßkontaktanordnung which (b 2) is equal to the arrangement of the terminals (3 b) on the underside of the housing ,

14. The apparatus according to claim 13, characterized in that the measuring plane is in a measuring position of the device component ( 1 b) parallel to the underside of the component.

15. Device according to one of the preceding claims, characterized in that for each connection ( 3 , 3 b, 3 c) at least two measuring contact elements ( 6 , 6 a, 6 b, 6 c) with two measuring contacts ( 6 ', 6 a ', 6 b', 6 c ') are provided.

16. The apparatus according to claim 15, characterized in that the measuring contacts for each connection ( 3 b, 3 c) of two inclined surfaces ( 6 b ', 6 c') are formed, with the measuring plane (ME) an angle less than 90 ° lock in.

17. The apparatus according to claim 16, characterized in that the two, a connection ( 3 b) associated inclined surfaces ( 6 b ') have an opposite inclination such that these inclined surfaces in a projection perpendicular to the surface sides of the lamellar contact elements ( 6 ) Form a V-shaped system for the respective connection ( 3 ).

18. Device according to one of the preceding claims, characterized in that a plurality of groups of plate packs ( 7 b, 7 b ", 8 b ', 8 b") are provided on both sides of the plane (M') of the device, in each case one Group for a series of connections ( 3 b), and that the lamella-like measuring contact elements ( 6 b) of the different groups are staggered in an axial direction perpendicular to the measuring plane (ME), and that the components ( 1 b) on their underside each have several rows (R1-R4) of connections ( 3 b).

19. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the measuring contact elements ( 6 c) each have a finger-like section ( 6 c "), at the free end of the measuring contact ( 6 c ') is provided, and in the plane of Surface sides of the respective measuring contact element ( 6 c) is resiliently movable.

20. The apparatus according to claim 19, characterized in that the finger-like section ( 6 c ") is part of a U-shaped section of the respective measuring contact element ( 6 ).

21. Device according to one of the preceding claims, characterized in that with their measuring contacts ( 6 c ') in a measuring plane (ME) arranged measuring contact elements ( 6 c) for measuring in a lead frame ( 25 ) via mechanical fixing elements, for example fixing lugs ( 26 ) components ( 1 c) which are still held but are otherwise already punched out can be moved in an axial direction perpendicular to the plane of the leadframe ( 25 ) from the starting position into the measuring position.