DE10196980T5

DE10196980T5 - Fehleranalysevorrichtung

Info

Publication number: DE10196980T5
Application number: DE10196980T
Authority: DE
Inventors: Hiroaki Fukuda
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2000-11-28
Filing date: 2001-11-16
Publication date: 2004-04-22
Also published as: KR20030048483A; TW533422B; CN1488149A; US20040153274A1; CN100437832C; WO2002045092A1; US7079971B2

Abstract

Fehleranalysevorrichtung zum Anzeigen von Ergebnissen eines Testens einer Vielzahl von Halbleiterspeichern mit einer Halbleiter-Testvorrichtung, welche Fehleranalysevorrichtung folgendes aufweist:
eine Testergebnis-Erfassungseinheit zum Erfassen von Testergebnissen entsprechend der Vielzahl von Halbleiterspeichern;
eine Listenbild-Erzeugungseinheit zum Erzeugen eines Listenbilds, in welchem die Testergebnisse entsprechend der Vielzahl von Halbleiterspeichern, die durch die Testergebnis-Erfassungseinheit erfasst sind, in einem Bildschirm enthalten sind; und
eine Anzeigeeinheit zum Anzeigen des durch die Listenbild-Erzeugungseinheit erzeugten Listenbilds.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Fehleranalysevorrichtung zum Anzeigen eines Messergebnisses eines Fehlerverteilungszustands von Speicherzellen eines Halbleiterspeichers.
Stand der Technik
Eine Halbleiter-Testvorrichtung führt ein Lesen und Schreiben von Daten in Bezug auf jede Speicherzelle in einem Halbleiterspeicher (der hierin nachfolgend einfach "Speicher" genannt wird) durch, der als zu testende Vorrichtung (DUT) dient, um dadurch einen Fehler bzw. Ausfall jeder Speicherzelle zu analysieren. Allgemein vergleicht die Halbleiter-Testvorrichtung aus der DUT ausgelesene Daten und vorbestimmte Daten mit erwartetem Wert, um eine Beurteilung über einen Durchlass/Fehler durchzuführen, und speichert ein Ergebnis dieser Beurteilung in einem Fehlerspeicher. Auf diese Weise im Fehlerspeicher gespeicherte Fehlerinformationen werden durch eine Fehleranalysevorrichtung gesammelt, die durch eine Workstation und ähnliches gebildet ist, um Inhalte der Informationen zu untersuchen, wodurch verschiedene Arten einer Fehleranalyse in Bezug auf diese DUT durchgeführt werden.
Beispielsweise kann die Fehleranalysevorrichtung einen Fehlerverteilungszustand eines DRAM mit großer Kapazität als physikalische Abbildung oder als logische Abbildung durch Verwenden eines vorbestimmten Speichervorrichtungs-Auswertungswerkzeugs bzw. -Auswertungshilfsprogramms bzw. -Auswertungstools anzeigen. Die physikalische Abbildung ist eine zweidimensionale Fehlerbit-Abbildung unter Verwendung von physikalischen Adressen X und Y als Koordinaten und wird zum Bestätigen einer physikalischen Anordnung von Fehler-Speicherzellen eines Speichers verwendet. Zusätzlich ist die logische Abbildung eine dreidimensionale Fehlerbit-Abbildung unter Abbildung eine dreidimensionale Fehlerbit-Abbildung unter Verwendung von logischen Adressen X und Y und einer I/O-Nummer bzw. I/O-Zahl als Koordinaten und kann in dem Fall vierdimensional sein, in welchem eine logische Adresse Z verwendet wird. Diese logische Abbildung wird basierend auf aus dem oben beschriebenen Fehlerspeicher auszulesenden Fehlerinformationen erzeugt.
Übrigens kann eine allgemeine Halbleitertestvorrichtung Tests für eine Vielzahl von Speichern gleichzeitig durchführen, um dadurch eine Reduzierung einer Testzeit für einen Speicher zu realisieren. Daher werden dann, wenn ein Test endet, Fehlerinformationen entsprechend einem jeweiligen der Vielzahl von Speichern im oben beschriebenen Fehlerspeicher gespeichert.
Jedoch dann, wenn ein Anwender versucht zu veranlassen, dass die herkömmliche Fehleranalysevorrichtung Inhalte der logischen Abbildung oder der physikalischen Abbildung anzeigt, um die auf diese Weise erhaltenen Fehlerinformationen zu analysieren, muss der Anwender an erster Stelle eine DUT spezifizieren. Daher muss der Anwender in dem Fall, in welchem der Anwender wünscht, einen Überblick über die Fehlerinformationen für die Vielzahl von DUTs zu bekommen, die Objekte bzw. Gegenstände des Tests waren, nach einem Bestimmen einer DUT eine Operation zum Anzeigen von Inhalten davon für jede DUT wiederholen. Somit gibt es ein derartiges Problem, dass komplizierte Operationen nötig sind, eine Betriebsfähigkeit schlecht ist und eine lange Zeit für die Operationen erforderlich ist.
Insbesondere muss der Anwender in dem Fall, in welchem der Anwender Inhalte der logischen Abbildung anzeigt, eine I/O-Nummer zusammen mit einer DUT spezifizieren. Daher muss der Anwender in dem Fall, in welchem der Anwender wünscht, auf einen Überblick über Fehlerinformationen für eine DUT zu schauen, nach einem Bestimmen einer I/O-Nummer eine Operation zum Anzeigen von Inhalten davon für jede I/O-Nummer wiederholen. Somit werden Operationen komplizierter und ist eine lange Zeit für die Operationen erforderlich.
Zusätzlich muss der Anwender deshalb, weil der Anwender nur Inhalte der physikalischen Abbildung oder der logischen Abbildung durch Bestimmen einer DUT und der I/O-Nummer bei der herkömmlichen Fehleranalysevorrichtung, wie sie oben beschrieben ist, anzeigen kann, wenn der Anwender versucht, Fehlerin formationen der jeweiligen DUTs, für welche der Test gleichzeitig durchgeführt wurde, zu vergleichen oder Fehlerinformationen jeder I/O-Nummer einer DUT zu vergleichen, sich an Inhalte jeder physikalischen Abbildung oder jeder logischen Abbildung, die ein Gegenstand bzw. ein Objekt eines Vergleichs sein soll, erinnern oder die Inhalte auf einem Papier drucken. Somit gibt es ein derartiges Problem, dass es nicht einfach ist, einen Überblick über Fehlerinformationen für eine Vielzahl von DUTs zu ergreifen bzw. zu erfassen oder einen Überblick über Fehlerinformationen für eine Vielzahl von I/O-Nummer einer jeweiligen DUT zu erfassen.
Zusätzlich wird bei der oben beschriebenen herkömmlichen Fehleranalysevorrichtung eine detaillierte logische Abbildung oder physikalische Abbildung durch Durchführen einer physikalischen Umwandlungsverarbeitung basierend auf Fehlerinformationen angezeigt, die aus dem Fehlerspeicher in der Halbleiter-Testvorrichtung ausgelesen werden, oder unter Verwendung dieser Fehlerinformationen. Somit muss der Anwender in dem Fall, in welchem der Anwender einen Bereich einer logischen Abbildung oder einer physikalischen Abbildung bewegt oder vergrößert, um ein Objekt einer Anzeige zu sein, die Fehlerinformationen nochmals aus dem Fehlerspeicher in der Halbleiter-Testvorrichtung auslesen. Daher gibt es ein derartiges Problem, dass eine lange Zeit von da an, seit der Anwender eine Änderung eines Anzeigebereichs anweist, bis der Anzeigebereich tatsächlich geändert wird, erforderlich ist.
Zusätzlich gibt es bei der herkömmlichen Fehleranalysevorrichtung ein derartiges Problem, dass eine Operation zum Anweisen einer Änderung eines Anzeigebereichs nicht einfach ist und eine Betriebsfähigkeit schlecht ist. Beispielsweise schaltet der Anwender in dem Fall, in welchem ein reduzierter Anzeigeschirm, der eine Fehlerbit-Abbildung entsprechend der gesamten DUT enthält, und ein detaillierter Anzeigeschirm, der eine detaillierte Fehlerbit-Abbildung entsprechend einem Teil der DUT enthält, nach einem Bestätigen einer detaillierten Fehlerbit-Abbildung, von welchem Teil der Anwender wünscht, mit dem reduzierten Anzeigeschirm darauf zu schauen, selektiv zu einem Schirm dieser detaillierten Fehlerbit-Abbildung umgeschaltet werden kann, um angezeigt zu werden. In diesem Fall muss der Anwender dann, wenn der Anwender versucht, auf detaillierte Fehlerbit-Abbildungen der anderen Teile zu schauen, wieder zu dem reduzierten Anzeigeschirm schalten. Ein Betrieb wird kompliziert, weil der Anwender die (Anzeige-) Schirme viele Male umschalten muss. Zusätzlich werden, obwohl es möglich ist, eine detaillierte Fehlerbit-Abbildung eines Teils anzuzeigen, welchen der Anwender anzuschauen wünscht, indem angezeigte Inhalte des detaillierten Anzeigeschirms gerollt werden, die Inhalte durch abwechselndes Anzeigen des reduzierten Anzeigeschirms und des detaillierten Anzeigeschirms nicht bestätigt. Somit ist es nicht einfach, durch die Rolloperation einen Fehlerteil zu finden, welchen der Anwender als nächstes anzuschauen wünscht, und die Rolloperation wird bis zu einem gewissen Ausmaß unbedacht wiederholt.
Zusätzlich ist es angenehm, wenn die logische Abbildung oder die physikalische Abbildung, die durch die oben beschriebene herkömmliche Fehleranalysevorrichtung erzeugt werden, in dem Fall miteinander überlagert werden können, in welchem Tendenzen eines Fehlers verglichen werden, oder bei ähnlichem. Bei der herkömmlichen Fehleranalysevorrichtung ist eine solche Überlagerung einer Vielzahl von Bit-Abbildungen unmöglich, oder es ist nur möglich, eine einfache Überlagerung unter einer Beschränkung durchzuführen. Beispielsweise werden selbst in dem Fall, in welchem eine Überlagerung von zwei Fehlerbit-Abbildungen möglich ist, diese zwei Fehlerbit-Abbildungen nicht miteinander assoziiert. Somit muss der Anwender dann, wenn der Anwender eine Überlagerung durch nochmaliges Ändern einer Anzeigevergrößerung durchzuführen wünscht, die Anzeigevergrößerung für jede der zwei Fehlerbit-Abbildungen ändern. Zusätzlich muss der Anwender in dem Fall, in welchem der Anwender wünscht, einen Anzeigebereich der Fehlerbit-Abbildungen zu bewegen, da sich die zwei Fehlerbit-Abbildungen nicht in Verbindung miteinander bewegen, den Anzeigebereich für jede der zwei Fehlerbit-Abbildungen bewegen. Zusätzlich werden in dem Fall, in welchem der Anwender eine Überlagerung durch Ändern einer Kombination der Vielzahl von Fehlerbit-Abbildungen durchführt, Operationen ab einem Lesen von Daten für alle Fehlerbit-Abbildungen, um Objekte einer Überlagerung zu sein, jedes Mal wiederholt, wenn die Kombination geändert wird. Zusätzlich wird in dem Fall, in welchem die Vielzahl von Fehlerbit-Abbildungen überlagert werden, da nur eine Reihenfolge eines Überlagerns von ihnen nicht geändert werden kann, eine Fehlerbit-Abbildung durch Ändern der Reihenfolge erneut gezeichnet. Auf diese Weise gibt es in dem Fall, in welchem eine Überlagerung von Fehlerbit-Abbildungen unter Verwendung der herkömmlichen Fehleranalysevorrichtung durchgeführt wird, ein derartiges Problem, dass Operationen beim Durchführen irgendeiner Art von Änderung kompliziert werden.
Weiterhin muss der Anwender in dem Fall, in welchem beispielsweise dann, wenn zwei Fehlerbit-Abbildungen verglichen werden, der Anwender bestätigt, bis zu welchem Ausmaß Fehlerteile miteinander übereinstimmen, eine Arithmetikoperation bzw. Rechenoperation von überlagerten Fehlerbit-Abbildungen durchführen. Jedoch ist es bei der herkömmlichen Fehleranalysevorrichtung unmöglich, eine solche arithmetische Operation von Fehlerbit-Abbildungen durchzuführen.
Offenbarung der Erfindung
Die vorliegende Erfindung ist angesichts eines solchen kritischen Punkts ausgedacht bzw. erfunden worden, und es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Fehleranalysevorrichtung zu schaffen, die eine vereinfachte Operation bzw. einen vereinfachten Betrieb und eine reduzierte Betriebszeit ermöglicht. Zusätzlich ist es eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Fehleranalysevorrichtung zu schaffen, mit welcher ein Überblick über Fehlerinformationen auf einfache Weise erfasst wird. Weiterhin ist es eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Fehleranalysevorrichtung zu schaffen, die eine arithmetische Operation unter Verwendung einer überlagerten Vielzahl von Bit-Abbildungen durchführen kann.
Die Fehleranalysevorrichtung der vorliegenden Erfindung ist eine Vorrichtung zum Anzeigen von Ergebnissen eines Testens einer Vielzahl von Halbleiterspeichern mit einer Halbleiter-Testvorrichtung und ist mit einer Testergebnis-Erfassungseinheit zum Erfassen von Testergebnissen entsprechend der Vielzahl von Halbleiterspeichern, einer Listenbild-Erzeugungseinheit zum Erzeugen eines Listenbilds, in welchem die Testergebnisse entsprechend der Vielzahl von Halbleiterspeichern, die durch diese Testergebnis-Erfassungseinheit erfasst sind, in einem Schirm enthalten sind, und einer Anzeigeeinheit zum Anzeigen des durch diese Listenbild-Erzeugungseinheit erzeugten Listenbilds versehen. Da die Testergebnisse entsprechend der Vielzahl von Halbleiterspeichern in einem Bildschirm angezeigt werden, wird es einfach, einen Überblick über Fehlerinformationen für jeden Halbleiterspeicher zu erfassen.
Genauer gesagt ist es wünschenswert, dass ein Ergebnisbild, das einen Durchlass/Fehler für jeden der Vielzahl von Halbleiterspeichern anzeigt, als das Tester gebnis im oben beschriebenen Listenbild enthalten ist. Alternativ ist es wünschenswert, dass ein reduziertes Bild einer Fehlerbit-Abbildung als das Testergebnis für jeden der Vielzahl von Halbleiterspeichern im oben beschriebenen Listenbild enthalten ist. Da ein Anwender lernen kann, ob ein Fehlerteil in einem jeweiligen Halbleiterspeicher enthalten ist oder nicht, oder einen allgemeinen Zustand einer Fehlerverteilung eines jeweiligen Halbleiterspeichers durch Schauen auf das Ergebnisbild lernen kann, kann der Anwender sicher einen Überblick über Fehlerinformationen für die gesamte Vielzahl von Halbleiterspeichern erfassen bzw. ergreifen.
Zusätzlich ist die Fehleranalysevorrichtung der vorliegenden Erfindung eine Vorrichtung zum Anzeigen eines Ergebnisses eines Testens eines Halbleiterspeichers mit einer Halbleiter-Testvorrichtung und ist versehen mit einer Testergebnis-Erfassungseinheit zum Erfassen eines Testergebnisses entsprechend dem Halbleiterspeicher, einer Listenbild-Erzeugungseinheit zum Erzeugen eines Listenbilds, in welchem ein Testergebnis für jede I/O-Nummer des Halbleiterspeichers, die durch die Testergebnis-Erfassungseinheit erfasst ist, in einem Bildschirm enthalten ist, und einer Anzeigeeinheit zum Anzeigen des durch die Listenbild-Erzeugungseinheit erzeugten Listenbilds. Da das Testergebnis entsprechend einer Vielzahl von I/O-Nummern, die im Halbleiterspeicher enthalten sind, auf einem Bildschirm angezeigt wird, wird es einfach, einen Überblick über Fehlerinformationen entsprechend einer jeweiligen I/O-Nummer zu erfassen bzw. zu ergreifen.
Genauer gesagt ist es wünschenswert, dass ein Testbild, das einen Durchlass/Fehler anzeigt, für jede I/O-Nummer im oben beschriebenen Listenbild als Testergebnis enthalten ist. Alternativ dazu ist es wünschenswert, dass ein reduziertes Bild einer Fehlerbit-Abbildung für jede I/O-Nummer im oben beschriebenen Listenbild als das Testergebnis enthalten ist. Da ein Anwender lernen kann, ob ein Fehlerteil in einer Fehlerbit-Abbildung entsprechend jeder I/O-Nummer enthalten ist oder nicht, oder allgemeine Inhalte der Fehlerbit-Abbildung entsprechend jeder I/O-Nummer lernen kann, wenn der Anwender auf das Listenbild schaut, kann der Anwender sicher einen Überblick über Fehlerinformationen für die gesamte Vielzahl von I/O-Nummern des Halbleiterspeichers ergreifen bzw. erfassen.
Zusätzlich ist es wünschenswert, dass die Fehleranalysevorrichtung weiterhin versehen ist mit einer Operationseinheit zum Bestimmen irgendeiner Position in dem auf der oben beschriebenen Anzeigeeinheit angezeigten Listenbild und einer Detailbild-Erzeugungseinheit, um dann, wenn irgendein Ergebnisbild durch diese Operationseinheit bestimmt ist, ein detailliertes Bild einer Fehlerbit-Abbildung entsprechend dem Ergebnisbild zu erzeugen. Es ist möglich, dass detaillierte Inhalte entsprechend dem Ergebnisbild einfach durch Bestimmen von irgendeinem von Ergebnisbildern angezeigt werden können, die im Listenbild enthalten sind. Daher werden mühsame Arbeiten, die erforderlich sind, bis Inhalte einer detaillierten Fehlerbit-Abbildung entsprechend einem Halbleiterspeicher mit dem Fehlerteil oder einer I/O-Nummer bestätigt werden, reduziert, und eine Vereinfachung von Operationen wird möglich. Zusätzlich wird nach der Vereinfachung von Operationen auch eine Reduzierung einer Operationszeit bzw. Betriebszeit möglich.
Zusätzlich ist es wünschenswert, dass die Fehleranalysevorrichtung weiterhin versehen ist mit einer Operationseinheit zum Bestimmen irgendeiner Position in dem auf der oben beschriebenen Anzeigeeinheit angezeigten Listenbild und einer Detailbild-Erzeugungseinheit, um dann, wenn irgendein reduziertes Bild durch diese Operationseinheit bestimmt ist, ein detailliertes Bild einer Fehlerbit-Abbildung entsprechend dem reduzierten Bild zu erzeugen. Es ist möglich, dass detaillierte Inhalte entsprechend dem reduzierten Bild einfach durch Bestimmen von irgendeinem einer Vielzahl von in dem Listenbild enthaltenen reduzierten Bildern angezeigt werden können. Folglich werden in dem Fall, in welchem ein Anwender/eine Anwenderin gern die detaillierten Inhalte bestätigen würde, nachdem er/sie über die reduzierte Anzeige schaut, mühsame Arbeiten, die erforderlich sind, bis Inhalte einer detaillierten Fehlerbit-Abbildung entsprechend einem Halbleiterspeicher oder einer I/O-Nummer bestätigt werden, reduziert, und eine Vereinfachung von Operationen wird möglich. Zusätzlich wird der Vereinfachung von Operationen folgend auch eine Reduzierung einer Operationszeit möglich.
Zusätzlich ist es wünschenswert, dass zum Anzeigen des reduzierten Bildes nötige reduzierte Fehlerbit-Abbildungsdaten durch die oben beschriebene Halbleiter-Testvorrichtung erzeugt werden und eine Erzeugung des reduzierten Bildes durch die Listenbild-Erzeugungseinheit basierend auf diesen reduzierten Fehlerbit-Abbildungsdaten durchgeführt wird. Da die reduzierten Fehlerbit-Abbildungsdaten durch die Halbleiter-Testvorrichtung erzeugt werden, kann die Fehleranalysevorrichtung diese erzeugten reduzierten Fehlerbit-Abbildungsdaten lesen, um das reduzierte Bild zu erzeugen. Daher kann verglichen mit dem Fall, in welchem detaillierte Fehlerbit-Abbildungsdaten durch die Fehleranalysevorrichtung gelesen werden und einer vorbestimmten Reduzierungsverarbeitung zum Erzeugen eines reduzierten Bilds unterzogen werden, eine Zeit, die zum Lesen von zur Erzeugung eines Listenbilds nötigen Daten erforderlich ist, reduziert werden, und eine Reduzierung einer Zeit, bis das Listenbild angezeigt wird, wird möglich.
Zusätzlich ist in dem Fall, in welchem ein Ergebnis eines Testens eines Halbleiterspeichers mit einer Halbleiter-Testvorrichtung angezeigt wird, die Fehleranalysevorrichtung der vorliegenden Erfindung versehen mit einer Testergebnis-Erfassungseinheit zum Erfassen eines Testergebnisses des Halbleiterspeichers, was eine Erzeugung einer Fehlerbit-Abbildung eines ersten Bereichs ermöglicht, einer Fehlerbit-Abbildungs-Erzeugungseinheit zum Erzeugen eines Bilds einer Fehlerbit-Abbildung eines zweiten Bereichs, der schmaler als der erste Bereich ist, unter Verwendung eines Teils des Testergebnisses, das durch die Testergebnis-Erfassungseinheit erfasst ist, einer Anzeigeeinheit zum Anzeigen des durch die Fehlerbit-Abbildungs-Erzeugungseinheit erzeugten Bildes, einer Operationseinheit zum Anweisen eines Anzeigebereichs der Fehlerbit-Abbildung und einer Anzeigebereichs-Änderungseinheit zum Ändern des Anzeigebereichs unter Verwendung des durch die Testergebnis-Erfassungseinheit erfassten Testergebnisses, wenn eine Änderung des Anzeigebereichs innerhalb des ersten Bereichs durch die Operationseinheit angewiesen wird. Da der Bereich zum Erfassen des Testergebnisses auf den ersten Bereich eingestellt wird, der breiter als der zweite Bereich ist, welcher ein Anzeigebereich ist, muss der Anwender das Testergebnis nicht nochmals erfassen, wenn dieser Anzeigebereich innerhalb des ersten Bereichs geändert wird. Daher kann die Zeit reduziert werden, die von da an erforderlich ist, seit die Änderung des Anzeigebereichs angewiesen ist, bis der Anzeigebereich tatsächlich geändert wird.
Zusätzlich ist es wünschenswert, dass die Fehleranalysevorrichtung versehen ist mit einer Erfassungsbereichs-Einstelleinheit zum variablen Einstellen einer Größe des ersten Bereichs gemäß einer Größe des durch die oben beschriebene Operationseinheit angewiesenen Anzeigebereichs. Wenn der Anzeigebereich groß ist, wird der Erfassungsbereich eines Testergebnisses auf groß eingestellt, und gegensätzlich dazu wird dann, wenn der Anzeigebereich klein ist, der Erfassungsbereich eines Testergebnisses auf klein eingestellt. Somit kann eine Verschwendung eines Erfassens eines Testergebnisses selbst für einen Bereich, für den es nahezu unnötig ist, angezeigt zu werden, beschnitten werden, und eine Anzeigeoperation, die eine Verarbeitungskapazität und ähnliches in Betracht zieht, wird möglich.
Zusätzlich ist es wünschenswert, dass die oben beschriebene Testergebnis-Erfassungseinheit eine erneute Erfassung des Testergebnisses des Halbleiterspeichers durchführt, wenn eine Änderung des Anzeigebereichs, der den ersten Bereich übersteigt, durch die Operationseinheit angewiesen wird. Folglich kann die Anzahl von Malen eines Erfassens des Testergebnisses minimiert werden.
Weiterhin ist in dem Fall, in welchem ein Ergebnis eines Testens eines Halbleiterspeichers mit einer Halbleiter-Testvorrichtung angezeigt wird, die Fehleranalysevorrichtung der vorliegenden Erfindung versehen mit einer Testergebnis-Erfassungseinheit zum Erfassen eines Testergebnisses des Halbleiterspeichers, einer Fehlerbit-Abbildungs-Erzeugungseinheit zum Erzeugen eines ersten Bildes einer Fehlerbit-Abbildung und eines zweiten Bildes, das ein reduziertes Bild eines vorbestimmten Bereichs einschließlich der Umgebung des ersten Bildes ist, unter Verwendung des durch die Testergebnis-Erfassungseinheit erfassten Testergebnisses, einer Anzeigeeinheit zum Anzeigen des ersten Bildes und des zweiten Bildes in einem Bildschirm, einer Operationseinheit zum Anweisen einer Änderung eines Anzeigebereichs einer Fehlerbit-Abbildung entsprechend dem ersten Bild unter Verwendung des zweiten Bildes, und einer Anzeigebereichs-Änderungseinheit zum Ändern angezeigter Inhalte des ersten Bildes, wenn eine Änderung des Anzeigebereichs durch die Operationseinheit angewiesen wird. Da ein reduziertes Bild (ein zweites Bild) und ein detailliertes Bild (erstes Bild) in einem identischen Bildschirm enthalten sind und eine Änderung des Anzeigebereichs unter Verwendung dieses reduzierten Bildes angewiesen werden kann, muss ein Anwender nicht zu einem detaillierten Anzeigebildschirm umschalten, nachdem Inhalte auf einem reduzierten Anzeigebildschirm grob bestätigt sind, wie in der Vergangenheit, und eine Betriebsfähigkeit beim Zuteilen einer Anweisung zum Umschalten kann verbessert werden.
Darüber hinaus ist es wünschenswert, dass die oben beschriebene Operationseinheit eine Zeigevorrichtung ist, die eine beliebige Position des Anzeigeschirms bezeichnen bzw. bestimmen kann, und durch Bestimmen von zwei Punkten im zweiten Bild mit dieser Zeigevorrichtung wird ein rechteckiges Gebiet mit diesen zwei Punkten als entgegengesetzte bzw. gegenüberliegende Winkel als Anzeigebereich bestimmt, nachdem er geändert worden ist. Alternativ dazu ist es wünschenswert, dass die oben beschriebene Operationseinheit eine Zeigevorrichtung ist, die eine beliebige Position auf dem Anzeigeschirm bestimmen kann, und nachdem ein Punkt bzw. eine Stelle im zweiten Bild mit dieser Zeigevorrichtung bestimmt ist, wird durch Bestimmen einer Bewegungsrichtung und eines Bewegungsausmaßes davon eine Bewegung des Anzeigebereichs angewiesen. Da ein Anwender eine Bestimmung eines neuen Anzeigebereichs durch Bestimmen von zwei Stellen in dem zweiten Bild durchführen kann, das größer als der Anzeigebereich der detaillierten Fehlerbit-Abbildung ist, kann eine Bestimmung eines Bereichs eines Verkleinerns oder eines Vergrößerns auf einfache Weise und mit denselben Operationsprozeduren durchgeführt werden. Zusätzlich kann durch Bestimmen einer Stelle im zweiten Bild und einer Bewegungsrichtung und eines Bewegungsausmaßes davon deshalb, weil der Anwender eine Bestimmung des neuen Anzeigebereichs durchführen kann, eine Anweisung zum Bewegen des Anzeigebereichs auf einfache Weise gegeben werden.
Zusätzlich ist es wünschenswert, dass ein Erfassungsrahmen, der einen Bereich des durch die Testergebnis-Erfassungseinheit erfassten Testergebnisses anzeigt, und ein Anzeigerahmen, der einen Zeichnungsbereich des ersten Bildes anzeigt, im oben beschriebenen zweiten Bild enthalten sind. Da ein Anwender eine Bestimmung einer Änderung des Anzeigebereichs durchführen kann, während er einen aktuellen Anzeigebereich bestätigt, wird es einfach zu beurteilen, welcher Teil als nächstes zu einem Anzeigebereich gemacht wird, und ein erwünschter Teil kann mit einer geringeren Anzahl von Operationszeiten angezeigt werden. Zusätzlich wird es deshalb, weil der Anwender eine Bestimmung der Änderung des Anzeigebereichs durchführen kann, während ein Erfassungsbereich des Testergebnisses bestätigt wird, möglich, eine Änderung des Anzeigebereichs innerhalb des Erfassungsbereich des Testergebnisses anzuweisen.
Zusätzlich ist es wünschenswert, dass die oben beschriebene Testergebnis-Erfassungseinheit eine erneute Erfassung des Testergebnisses des Halbleiter speichers durchführt, wenn eine Änderung des Anzeigebereichs, der den Erfassungsrahmen übersteigt, durch die Operationseinheit angewiesen wird. In dem Fall, in welchem der Anzeigebereich innerhalb des Bereichs des Erfassungsbereichs geändert wird, kann deshalb, weil ein Anwender keine erneute Erfassung des Testergebnisses durchführen muss, die Anzahl von Malen einer erneuten Erfassung des Testergebnisses reduziert werden, und eine Zeit, die zum Ändern des Anzeigebereichs erforderlich ist, kann reduziert werden.
Zusätzlich ist in dem Fall, in welchem ein Ergebnis eines Testens eines Halbleiterspeichers mit einer Halbleiter-Testvorrichtung angezeigt wird, die Fehleranalysevorrichtung der vorliegenden Erfindung versehen mit einer Fehlerbit-Abbildungs-Erzeugungseinheit zum Erzeugen einer Vielzahl von Fehlerbit-Abbildungsbildern, die ein Testergebnis entsprechend dem Halbleiterspeicher darstellen, einer Schichten- bzw. Ebenen-Steuereinheit zum Zuordnen von jedem der Vielzahl von Fehlerbit-Abbildungsbildern zu einer Vielzahl von Ebenen und zum Definieren einer Beziehung unter den jeweiligen Ebenen, einer Bild-Überlagerungseinheit zum Durchführen einer Verarbeitung zum Überlagern der Vielzahl von Fehlerbit-Abbildungsbildern, die in der Beziehung unter der Vielzahl von Ebenen durch die Ebenen-Steuereinheit definiert sind, und einer Anzeigeeinheit zum Anzeigen der durch die Bild-Überlagerungseinheit überlagerten Bilder. Da jedes der überlagerten Vielzahl von Fehlerbit-Abbildungsbildern der Vielzahl von Ebenen entspricht und die Beziehung zwischen den jeweiligen Ebenen definiert ist, kann in dem Fall, in welchem eine Änderung von Inhalten des Anzeigebildes durchgeführt wird, wie beispielsweise in dem Fall, in welchem eine Anzeigevergrößerung geändert wird oder ein Anzeigebereich bewegt wird, ein Anwender angezeigte Inhalte ändern, während eine wechselseitige Beziehung des jeweiligen Fehlerbit-Abbildungsbildes beibehalten wird. Folglich muss der Anwender keine Anweisung zum Bewegen des jeweiligen Fehlerbit-Abbildungsbildes einzeln geben oder eine Anweisung zum Ändern einer Anzeigevergrößerung geben, und Operationen können signifikant vereinfacht werden.
Zusätzlich ist es wünschenswert, dass die oben beschriebene Schichten- bzw. Ebenen-Steuereinheit einen Anzeige/Nichtanzeige-Zustand eines Fehlerbit-Abbildungsbildes für jede Ebene steuert. Folglich wird es dann, wenn eine Anzeige von jeder der überlagerten Fehlerbit-Abbildung ausgeschaltet wird oder die Fehlerbit-Abbildung erneut angezeigt wird, unnötig, ein Lesen von Daten oder eine Zeichnungsverarbeitung jedes Mal zu wiederholen, und eine Vereinfachung einer Verarbeitung und von Operationen wird möglich.
Zusätzlich ist es wünschenswert, dass die oben beschriebene Ebenen-Steuereinheit Inhalte einer logischen Operation einstellt, die auf jede der Vielzahl von Ebenen gemäß der Beziehung abzielt. Da Inhalte der logischen Operation eingestellt werden, wenn die Beziehung unter den jeweiligen Ebenen definiert ist, wird eine logische Operation, die auf eine jeweilige Fehlerbit-Abbildung abzielt, gemäß den eingestellten Inhalten möglich.
Zusätzlich ist es wünschenswert, dass die Fehleranalysevorrichtung weiterhin versehen ist mit einer Operationseinheit zum Anweisen einer Änderung eines Anzeigebereichs der oben beschriebenen Fehlerbit-Abbildung und einer Anzeigebereichs-Änderungseinheit, um dann, wenn eine Änderung des Anzeigebereichs durch diese Operationseinheit angewiesen ist, eine Änderung des Anzeigebereichs auszuführen, der auf die Vielzahl von Fehlerbit-Abbildungen entsprechend der Vielzahl von Ebenen abzielt, die durch die Ebenen-Steuereinheit zugeordnet sind. Folglich kann ein Anwender durch einmaliges Geben einer Anweisung einer Änderung durch die Operationseinheit bzw. Betätigungseinheit Anzeigebereiche einer Vielzahl von Fehlerbit-Abbildungen gleichzeitig ändern.
Weiterhin ist es wünschenswert, dass die oben beschriebene Ebenen-Steuereinheit die Beziehung durch Zuordnen von Bildern einschließlich von Bildern, die nicht auf das Testergebnis bezogen sind, die andere als die Vielzahl von Fehlerbit-Abbildungsbildern sind, zu jeder der Vielzahl von Ebenen definiert. Beispielsweise kann in dem Fall, in welchem Bilder, wie beispielsweise ein vorbestimmter Rahmen, gezogene Linien, Buchstaben oder ähnliches, betrachtet werden, eine Verständlichkeit oder ähnliches von angezeigten Inhalten durch weiteres Hinzufügen dieses Bildes zu der überlagerten Vielzahl von Fehlerbit-Abbildungsbildern verbessert werden.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
1 ist ein Diagramm, das eine Struktur einer Halbleiter-Testvorrichtung zeigt, an welche eine Fehleranalysevorrichtung eines Ausführungsbeispiels angeschlossen ist;
2 ist ein Diagramm, das eine detaillierte Struktur der Fehleranalysevorrichtung dieses Ausführungsbeispiels zeigt;
3 ist ein Ablaufdiagramm, das Operationsprozeduren einer Fehleranalysevorrichtung entsprechend einem spezifischen Beispiel 1 zeigt;
4 ist ein Diagramm, das ein spezifisches Beispiel eines Hauptansichtsfensters zeigt, das anzuzeigen ist, nachdem die Fehleranalysevorrichtung hochgefahren bzw. gestartet ist;
5 ist ein Diagramm, das ein spezifisches Beispiel eines Hauptansichtsfensters zeigt, in welchem eine Liste von reduzierten Bildern, die reduzierte logische Abbildungen anzeigen, enthalten ist;
6 ist ein Diagramm, das ein weiteres spezifisches Beispiel des Hauptansichtsfensters zeigt;
7 ist ein Diagramm, das ein spezifisches Beispiel eines Fensters für eine logische Ansicht zeigt;
8 ist ein Diagramm, das ein spezifisches Beispiel eines Fensters für eine physikalische Ansicht zeigt;
9 ist ein Ablaufdiagramm, das Operationsprozeduren einer Fehleranalysevorrichtung entsprechend einem spezifischen Beispiel 2 zeigt;
10 ist ein Diagramm, das ein spezifisches Beispiel eines Seitengrößenmenüs zeigt;
11 ist ein Diagramm, das eine Beziehung zwischen einem Anzeigebereich und einem Erfassungsbereich von Daten zeigt;
12 ist ein Diagramm, das ein spezifisches Beispiel einer Anweisung einer Bewegung unter Verwendung einer reduzierten logischen Abbildung zeigt;
13 ist ein Diagramm, das ein spezifisches Beispiel einer Anweisung eines Zoomens unter Verwendung der reduzierten logischen Abbildung zeigt;
14 ist ein Ablaufdiagramm, das Operationsprozeduren einer Fehleranalysevorrichtung entsprechend einem spezifischen Beispiel 3 zeigt;
15 ist ein Diagramm, das ein spezifisches Beispiel eines Fensters für Ebenen zeigt;
16 ist ein Diagramm, das ein spezifisches Beispiel einer Überlagerung von Fehlerbit-Abbildungen zeigt;
17 ist ein Diagramm, das ein weiteres spezifisches Beispiel einer Überlagerung von Fehlerbit-Abbildungen zeigt;
18 ist ein Diagramm, das ein weiteres spezifisches Beispiel einer Überlagerung von Fehlerbit-Abbildungen zeigt;
19 ist ein Diagramm, das ein weiteres spezifisches Beispiel einer Überlagerung von Fehlerbit-Abbildungen zeigt; und
20 ist ein Diagramm, das ein weiteres spezifisches Beispiel einer Überlagerung von Fehlerbit-Abbildungen zeigt.
Beste Art zum Ausführen der Erfindung
Eine Fehleranalysevorrichtung eines Ausführungsbeispiels, auf welches die vorliegende Erfindung angewendet ist, wird hierin nachfolgend unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben.
1 ist ein Diagramm, das eine Struktur einer Halbleiter-Testvorrichtung zeigt, an welche ein Fehleranalysevorrichtung dieses Ausführungsbeispiels angeschlossen ist. Wie es in 1 gezeigt ist, enthält eine Halbleiter-Testvorrichtung 100 einen Zeitgabegenerator 110, einen Mustergenerator 112, einen Wellenform- Former 114, einen Logik-Komparator 116, einen AFM (einen Adressen-Fehlerspeicher) 118, einen CFM (einen kompakten Fehlerspeicher) 120, einen Tester-Verarbeitungsabschnitt 122, einen Kommunikations-Steuerabschnitt 124 und einen Abschnitt für eine physikalische Umwandlung 126.
Eine Adresse und Daten, die durch den Mustergenerator 112 erzeugt werden, werden durch den Wellenform-Former 114 einer Wellenform-Formung unterzogen und zur DUT 130 eingegeben. Der Logik-Komparator 116 vergleicht aus der DUT 130 ausgelesene Daten und einen vom Mustergenerator 112 auszugebenden erwarteten Wert, um eine Beurteilung eines Durchlasses/Fehlers durchzuführen.
Der AFM 118 speichert Fehlerinformationen für jede Adresse gemäß einem Fehlersignal, das durch den Logik-Komparator 116 auszugeben ist, und einem Adressensignal, das durch den Mustergenerator 112 auszugeben ist. Alle dieser Folgen von Operationen werden synchron zu einem Systemtakt durchgeführt, der vom Zeitgabegenerator 110 in jeden Abschnitt einzugeben ist. Die in diesem AFM 118 zu speichernden Fehlerinformationen sind logische Fehlerbit-Abbildungsdaten, und Bitdaten, die einen Durchlass/Fehler für jede Speicherzelle anzeigen, die durch eine X-Adresse und eine Y-Adresse für jede I/O-Nummer spezifiziert ist (z.B. Durchlass entspricht "0" und Fehler entspricht "1") werden gespeichert.
Zusätzlich speichert der CFM 120 Fehlerinformationen, die ein reduzierter Inhalt des AFM 118 sind. Beispielsweise wird für jede I/O-Nummer die X-Adresse in n aufgeteilt und wird die Y-Adresse in m aufgeteilt, und Daten mit einem Bit entsprechend einem jeweiligen aufgeteilten Bereich werden erhalten. Genauer gesagt wird ein Wert dieser Daten mit einem Bit durch Berechnen einer ODER-Verknüpfung einer Vielzahl von Bit-Daten des AFM 118 entsprechend den aufgeteilten Bereichen der X-Adresse und den aufgeteilten Bereichen der Y-Adresse gefunden. Das bedeutet, dass in dem Fall, in welchem wenigstens eine "1 ", die einen Fehler anzeigt, in der Vielzahl von Bit-Daten enthalten ist, die durch einen jeweiligen aufgeteilten Bereich spezifiziert sind, entsprechende Bit-Daten im CFM 120 auf "1" eingestellt werden, was einen Fehler anzeigt. In dem Fall, in welchem die gesamte Vielzahl von Bit-Daten, die durch einen jeweiligen aufgeteilten Bereich spezifiziert sind, "0" sind, was einen Durchlass anzeigt, werden entsprechende Bit-Daten im CFM 120 auf "0" eingestellt, was einen Durchlass anzeigt. Es ist für die Beschreibung zu beachten, dass in der folgenden Beschreibung vom AFM 118 ausgelesene Daten "AFM-Daten" oder "detaillierte logische Daten" genannt werden und vom CFM 120 ausgelesene Daten "CFM-Daten" oder "reduzierte logische Daten" genannt werden.
Der Abschnitt für eine physikalische Umwandlung 126 führt eine physikalische Umwandlungsverarbeitung basierend auf den im AFM 118 gespeicherten detaillierten logischen Daten durch, um dadurch physikalische Fehlerbit-Abbildungsdaten (die hierin nachfolgend "detaillierte physikalische Daten" genannt werden) zu erzeugen. Dieser Abschnitt für eine physikalische Umwandlung 126 ist durch eine bestimmte Hardware gebildet und kann die physikalische Umwandlungsverarbeitung mit hoher Geschwindigkeit ausführen.
Zusätzlich steuert der Tester-Verarbeitungsabschnitt 122 die gesamte Halbleiter-Testvorrichtung 100, um ein Testprogramm mit einem Betriebssystem (OS) auszuführen, um einen vorbestimmten Test auszuführen. Beispielsweise wird eine Verarbeitung zum Erzeugen von CFM-Daten basierend auf AFM-Daten durch diesen Tester-Verarbeitungsabschnitt 122 durchgeführt. Der Kommunikations-Steuerabschnitt 124 führt ein Senden und ein Empfangen von verschiedenen Daten mit der Fehleranalysevorrichtung 10 durch, die an die Halbleiter-Testvorrichtung 100 angeschlossen ist.
2 ist ein Diagramm, das eine detaillierte Struktur der Fehleranalysevorrichtung 10 dieses Ausführungsbeispiels 2 zeigt. Wie es in 2 gezeigt ist, enthält die Fehleranalysevorrichtung 10 einen Kommunikations-Steuerabschnitt 12, einen Speicherabschnitt für eine logische Abbildung 14, einen Abschnitt für eine physikalische Umwandlung 16, einen Speicherabschnitt für eine physikalische Abbildung 18, einen Reduktions- bzw. Verkleinerungs-Verarbeitungsabschnitt 20, einen Detaildaten-Erfassungsabschnitt 30, einen Erfassungsbereichs-Einstellabschnitt 32, einen Reduktionsdaten-Erfassungsabschnitt 40, einen Hauptansichts-Erzeugungsabschnitt 80, einen Erzeugungsabschnitt für eine logische Ansicht 82, einen Erzeugungsabschnitt für eine physikalische Ansicht 84, einen Ebenen-Steuerabschnitt 86, Anzeigebereichs-Änderungsabschnitte 87, 186, einen Bildsyntheseabschnitt 88, einen Anzeige-Steuerabschnitt 90, eine Anzeigevorrichtung 94, einen Operationsabschnitt 96 und einen GUI-Verarbeitungsabschnitt 98.
Der Kommunikations-Steuerabschnitt 12 führt ein Senden und ein Empfangen von verschiedenen Daten mit der Halbleiter-Testvorrichtung 100 durch. Der Speicherabschnitt für eine logische Abbildung 14 speichert detaillierte logische Daten und reduzierte logische Daten, die durch einen Test in Bezug auf die DUT 130 erhalten sind.
Der Abschnitt für eine physikalische Umwandlung 16 erzeugt physikalische Fehlerbit-Abbildungsdaten (die hierin nachfolgend "detaillierte physikalische Daten" genannt werden) durch Durchführen der physikalischen Umwandlungsverarbeitung basierend auf den detaillierten logischen Daten. Der Speicherabschnitt für eine physikalische Abbildung 18 speichert die durch die physikalische Umwandlungsverarbeitung durch den Abschnitt für eine physikalische Umwandlung 16 erhaltenen detaillierten physikalischen Daten. Der Reduktions-Verarbeitungsabschnitt 20 führt eine Reduktionsverarbeitung zum Erzeugen von durch Reduzieren von Inhalten der detaillierten physikalischen Daten (die hierin nachfolgend "reduzierte physikalische Daten" genannt werden) erhaltenen Bit-Abbildungsdaten durch. Diese Reduktionsverarbeitung ist dieselbe wie die Verarbeitung in dem Fall, in welchem CFM-Daten aus AFM-Daten in der oben beschriebenen Halbleiter-Testvorrichtung 100 erzeugt werden.
Der Detaildaten-Erfassungsabschnitt 30 erfasst detaillierte logische Daten und detaillierte physikalische Daten. Die Fehleranalysevorrichtung 10 dieses Ausführungsbeispiels hat zwei Arten von Analysemoden, nämlich einen "Testermode" zum Durchführen verschiedener Arten von Analyse, während die detaillierten logischen Daten und die reduzierten logischen Daten direkt von der Halbleiter-Testvorrichtung 100 erfasst werden, und einen "Dateienmode" zum Durchführen verschiedener Arten von Analyse basierend auf den detaillierten logischen Daten oder ähnlichem, die gesichert sind.
Genauer gesagt werden die detaillierten logischen Daten durch Auslesen der AFM-Daten aus dem AFM 118 in der Halbleiter-Testvorrichtung 100 im Testermode erfasst und werden durch Auslesen von anwendbaren Daten aus dem logischen Abbildungs-Speicherabschnitt 14 im Dateienmode erfasst. Im Testermode werden die detaillierten physikalische Daten durch Lesen eines Ergebnisses eines Durchführens der physikalischen Umwandlungsverarbeitung durch den Abschnitt für eine physikalische Umwandlung 126 basierend auf den im AFM 118 in der Halbleiter-Testvorrichtung 100 gespeicherten detaillierten logischen Daten erfasst. Im Dateienmode werden die detaillierten physikalischen Daten durch Auslesen von anwendbaren Daten aus dem physikalischen Abbildungs-Speicherabschnitt 18 erfasst.
Der Erfassungsbereichs-Einstellabschnitt 32 stellt Erfassungsbereiche der detaillierten logischen Daten und der detaillierten physikalischen Daten ein. In der Fehleranalysevorrichtung 10 dieses Ausführungsbeispiels können getrennt von einem Anzeigebereich der detaillierten logischen Abbildung oder der physikalischen Abbildung Erfassungsbereiche (Lesebereiche) der detaillierten logischen Daten und der detaillierten physikalischen Daten, die größer als dieser Anzeigebereich sind, eingestellt werden. Ein spezifisches Einstellverfahren wird später beschrieben.
Zusätzlich erfasst der Reduktionsdaten-Erfassungsabschnitt 40 reduzierte logische Daten und reduzierte physikalische Daten. Genauer gesagt werden im Testermode die reduzierten logischen Daten durch Auslesen von CFM-Daten aus dem CFM 120 in der Halbleiter-Testvorrichtung 100 erfasst, und im Dateienmode werden die reduzierten logischen Daten durch Auslesen von anwendbaren Daten aus dem Speicherabschnitt für eine logische Abbildung 14 erhalten. Zusätzlich werden die reduzierten physikalischen Daten durch Durchführen einer Reduktionsverarbeitung durch den Reduktionsverarbeitungsabschnitt 20 basierend auf den durch die physikalische Umwandlungsverarbeitung im Testermode erfassten detaillierten physikalischen Daten erfasst, und werden im Dateienmode die reduzierten physikalischen Daten durch Durchführen einer Reduktionsverarbeitung durch den Reduktionsverarbeitungsabschnitt 20 basierend auf den aus dem Speicherabschnitt für eine physikalische Abbildung 18 ausgelesenen detaillierten physikalischen Daten erfasst.
Der Hauptansichts-Erzeugungsabschnitt 80 erzeugt Zeichnungsdaten, die zum Anzeigen eines Hauptansichtsfensters auf der Anzeigevorrichtung 94 nötig sind. Testergebnisse der Vielzahl von DUTs 130, die Gegenstände eines Tests waren, sind in diesem Hauptansichtsfenster in einer Listenform enthalten.
Der Erzeugungsabschnitt für eine logische Ansicht 82 erzeugt Zeichnungsdaten, die zum Anzeigen eines Fensters für eine logische Ansicht auf der Anzeigevorrich tung 94 nötig sind. Eine logische Fehlerbit-Abbildung zu der Zeit, zu welcher eine spezifische DUT 130 und eine I/O-Nummer bestimmt sind, ist in diesem Fenster für eine logische Ansicht enthalten.
Zusätzlich erzeugt der Erzeugungsabschnitt für eine physikalische Ansicht 84 Zeichnungsdaten, die zum Anzeigen eines Fensters für eine physikalische Ansicht auf der Anzeigevorrichtung 94 nötig sind. Eine physikalische Fehlerbit-Abbildung zu der Zeit, zu welcher die spezifische DUT 130 bestimmt wird, ist in diesem Fenster für eine physikalische Ansicht enthalten. Spezifische Beispiele des Hauptansichtsfensters, des Fensters für eine logische Ansicht und des Fensters für eine physikalische Ansicht, die oben beschrieben sind, werden später beschrieben.
Übrigens kann bei der Fehleranalysevorrichtung 10 dieses Ausführungsbeispiels eine Vielzahl von logischen Abbildungen oder eine Vielzahl von physikalischen Abbildungen miteinander überlagert werden und angezeigt werden, und ein Konzept einer Schicht bzw. Ebene zum Durchführen einer solchen Überlagerung von Bildern wird eingeführt. Genauer gesagt wird jedem von Fehlerbit-Abbildungsbildern, um Objekt einer Überlagerung zu sein, einer jeweiligen einer Vielzahl von Schichten bzw. Ebenen zugeordnet, um eine Beziehung zwischen den Ebenen zu definieren.
Der Ebenen-Steuerabschnitt 86 steuert Inhalte zum Einstellen für eine jeweilige Ebene und Inhalte einer Beziehung zwischen den jeweiligen Ebenen. Ein Einstellen dieser Stücke von Informationen wird unter Verwendung eines Fensters für Ebenen durchgeführt, das durch den Ebenen-Steuerabschnitt 86 angezeigt wird. Ein spezifisches Beispiel des Fensters für Ebenen wird später beschrieben.
Wenn eine Änderung eines Anzeigebereichs, wie beispielsweise ein Bewegen oder ein Zoomen, angewiesen wird, führt der Anzeigebereichs-Änderungsabschnitt 87 eine Änderung eines Anzeigebereichs von allen überlagerten Fehlerbit-Abbildungen, die Objekte einer Anzeige sind, basierend auf Steuerinformationen durch, die durch den Ebenen-Steuerabschnitt 86 eingestellt sind. Genauer gesagt erkennt der Anzeigebereichs-Änderungsabschnitt 87 die Fehlerbit-Abbildungen, die bei der Stelle überlagert sind, bei welcher die Anweisung für eine Änderung gegeben wird, basierend auf den Steuerinformationen, und weist gleichzeitig den Erzeugungsabschnitt für eine logische Ansicht 82 oder den Erzeugungsabschnitt für eine physikalische Ansicht 84 an, eine Änderung des Anzeigebereichs dieser Fehlerbit-Abbildungen durchzuführen.
Der Bildsyntheseabschnitt 88 erzeugt Zeichnungsdaten, die zum Anzeigen eines Bildes nötig sind, das durch Überlagern von logischen Abbildungen oder physikalischen Abbildungen miteinander erhalten wird, basierend auf den durch den Ebenen-Steuerabschnitt 86 eingestellten Steuerinformationen.
Wenn eine Änderung eines Anzeigebereichs angewiesen wird, führt der Anzeigebereichs-Änderungsabschnitt 186 eine Änderung eines Anzeigebereichs einer bei dieser Stelle angezeigten Fehlerbit-Abbildung durch. Dieser Anzeigebereichs-Änderungsabschnitt 186 ist mit einem Bewegungsverarbeitungsabschnitt 187 und einem Zoom-Verarbeitungsabschnitt 188 versehen.
Wenn eine Bewegung eines Anzeigebereichs angewiesen wird, bewegt der Bewegungsverarbeitungsabschnitt 187 einen Anzeigebereich gemäß dieser Anweisung einer Bewegung. Genauer gesagt bestimmt der Bewegungsverarbeitungsabschnitt 187 eine Bewegungsrichtung und ein Bewegungsausmaß des Anzeigebereichs und weist den Erzeugungsabschnitt für eine logische Ansicht 82 oder den Erzeugungsabschnitt für eine physikalische Ansicht 84, die einem bei dieser Stelle angezeigten Fenster entsprechen, an, ein Fenster einschließlich einer bewegten und neuen logischen Abbildung oder physikalischen Abbildung zu erzeugen.
Wenn ein Zoomen eines Anzeigebereichs angewiesen wird, vergrößert (vergrößert) oder reduziert (verkleinert) der Zoom-Verarbeitungsabschnitt 188 den Anzeigebereich gemäß dieser Zoom-Anweisung. Genauer gesagt bestimmt der Zoom-Verarbeitungsabschnitt 88 einen neuen Anzeigebereich und weist den Erzeugungsabschnitt für eine logische Ansicht 82 oder den Erzeugungsabschnitt für eine physikalische Ansicht 84, die einem bei dieser Stelle angezeigten Fenster entsprechen, an, ein Fenster einschließlich einer neuen logischen Abbildung oder physikalischen Abbildung, die in diesem Bereich enthalten ist, zu erzeugen.
Der Anzeige-Steuerabschnitt 90 erzeugt ein Videosignal, das zur Anzeigevorrichtung 94 ausgegeben wird, basierend auf Zeichnungsdaten, die durch einen jeweiligen von dem Hauptansichts-Erzeugungsabschnitt 80, dem Erzeugungsabschnitt für eine logische Ansicht 82, dem Erzeugungsabschnitt für eine physikalische Ansicht 84 und dem Bildsyntheseabschnitt 88 erzeugt sind. Der Anzeige-Steuerabschnitt 90 ist versehen mit einem VRAM (Video-RAM) 92, in welchem Zeichnungsdaten eines Fensters gespeichert werden, welches ein Anwender am oberen Teil auf einem Bildschirm anzuzeigen wünscht.
Der Operationsabschnitt 96 dient für einen Anwender zum Durchführen verschiedener Eingaben von Anweisungen und eine Maus, die als Zeigevorrichtung zum Bestimmen einer beliebigen Position auf einem Anzeigeschirm der Anzeigevorrichtung 94 dient, und eine Tastatur, die aus zehn Tasten, Alphabet-Tasten oder Tasten für verschiedene Symbole besteht, sind im Operationsabschnitt bzw. Bedienungsabschnitt 96 enthalten. Als die Zeigevorrichtung kann eine Vorrichtung verwendet werden, die eine andere als die Maus ist, wie beispielsweise ein Eingabetablett, ein Berührungsbildschirm oder ähnliches. Der GUI-(graphische Anwenderschnittstelle)-Verarbeitungsabschnitt 98 ist ein Abschnitt zum Realisieren einer GUI-Verarbeitung entsprechend einem Operationszustand des Operationsabschnitts 96. Beispielsweise dann, wenn verschiedene Befehle und Tasten, die in einem Hauptansichtsfenster oder ähnlichem enthalten sind, unter Verwendung der Maus angeklickt werden, beurteilt der GUI-Verarbeitungsabschnitt 98, welche Verarbeitung spezifiziert ist, und fragt nach einer Ausführung einer entsprechenden Verarbeitung.
Bei einem spezifischen Beispiel 1 von nachfolgend beschriebenen Operationen entsprechen der Detaildaten-Erfassungsabschnitt 30 und der Reduktionsdaten-Erfassungsabschnitt 40 einer Testergebnis-Erfassungseinheit, entspricht der Hauptansichts-Erzeugungsabschnitt 80 einer Listenbild-Erzeugungseinheit, entsprechen der Operationsabschnitt 96 und der GUI-Verarbeitungsabschnitt 98 einer Operationseinheit, entsprechen der Erzeugungsabschnitt für eine logische Ansicht 82 und der Erzeugungsabschnitt für eine physikalische Ansicht 84 einer Detailbild-Erzeugungseinheit und entsprechen der Anzeige-Steuerabschnitt 90 und die Anzeigevorrichtung 94 einer Anzeigeeinheit.
Zusätzlich entspricht bei einem spezifischen Beispiel 2 von Operationen der Detaildaten-Erfassungsabschnitt 30 einer Testergebnis-Erfassungseinheit, entspricht der Erfassungsbereichs-Einstellabschnitt 32 einer Erfassungsbereichs- Einstelleinheit, entsprechen der Erzeugungsabschnitt für eine logische Ansicht 82 und der Erzeugungsabschnitt für eine physikalische Ansicht 84 einer Fehlerbit-Abbildungs-Erzeugungseinheit, entsprechen der Anzeige-Steuerabschnitt 90 und die Anzeigevorrichtung 94 einer Anzeigeeinheit, entsprechen der Operationsabschnitt 96 und der GUI-Verarbeitungsabschnitt 98 einer Operationseinheit und entspricht der Anzeigebereichs-Änderungsabschnitt 186 einer Anzeigebereichs-Änderungseinheit.
Zusätzlich entsprechen bei einem spezifischen Beispiel 3 von Operationen der Hauptansichts-Erzeugungsabschnitt 80, der Erzeugungsabschnitt für eine logische Ansicht 82 und der Erzeugungsabschnitt für eine physikalische Ansicht 84 einer Fehlerbit-Abbildungs-Erzeugungseinheit, entspricht der Ebenen-Steuerabschnitt 86 einer Ebenen-Steuereinheit, entspricht der Anzeigebereichs-Änderungsabschnitt 87 einer Anzeigebereichs-Änderungseinheit, entspricht der Bildsyntheseabschnitt 88 einer Bild-Überlagerungseinheit, entsprechen der Anzeige-Steuerabschnitt 90 und der Anzeigeabschnitt 94 einer Anzeigeeinheit, und entsprechen die Operationsvorrichtung 96 und der GUI-Verarbeitungsabschnitt 98 einer Operationseinheit.
Die Fehleranalysevorrichtung 10 dieses Ausführungsbeispiels hat eine derartige Struktur, und ihre Operationen werden als nächstes beschrieben.
Spezifisches Beispiel 1 von Operationen
3 ist ein Ablaufdiagramm, das Operationsprozeduren einer Fehleranalysevorrichtung entsprechend einem spezifischen Beispiel 1 zeigt, und zeigt eine Reihe von Operationsprozeduren zum Anzeigen eines Hauptansichtsfensters im Testermode.
Wenn die Fehleranalysevorrichtung 10 hochgefahren wird, erzeugt zuerst der Hauptansichts-Erzeugungsabschnitt 80 einen Bildschirm des Hauptansichtsfensters und zeigt es auf der Anzeigevorrichtung 94 an (Schritt 100).
4 ist ein Diagramm, das ein spezifisches Beispiel des Hauptansichtsfensters zeigt, das anzuzeigen ist, nachdem die Fehleranalysevorrichtung 10 hochgefahren ist. Jeder angezeigte Inhalt im Hauptansichtsfenster wird hierin nachfolgend beschrieben.
"MPAT Starten"-Taste (a1)
sDiese Taste wird zum Anweisen der an die Fehleranalysevorrichtung 10 angeschlossenen Halbleiter-Testvorrichtung 100 zum Starten eines Funktionstests von einer oder einer Vielzahl von DUTs 130 verwendet, die darin eingestellt sind, und gleichzeitig zum Anweisen der Halbleiter-Testvorrichtung 100, AFM-Daten und CFM-Daten einzufangen bzw. zu erfassen, damit sie durch diesen Funktionstest erhalten werden.
"Lesen"-Taste (a2)
In dem Fall, in welchem der Funktionstest bereits beendet ist und Fehlerdaten im AFM 118 und im CFM 120 gespeichert sind, wird diese Taste zum Anweisen der Halbleiter-Testvorrichtung 100 verwendet, diese Fehlerdaten zu lesen. Wenn diese Taste gedrückt wird, werden die AFM-Daten durch den Detaildaten-Erfassungsabschnitt 30 erfasst und werden die CFM-Daten durch den Reduktionsdaten-Erfassungsabschnitt 40 erfasst.
DUT-Bestimmungsbox und Druckknopf bzw. -taste für eine Nummernbestimmung (a4)
Diese werden zum Bestimmen einer spezifischen DUT 130 und zum Ändern einer zu bestimmenden DUT verwendet. Ein Anwender kann die spezifische DUT 130 durch direktes Eingeben einer Nummer in diesen Kasten bzw. diese Box unter Verwendung von zehn Tasten bestimmen, die im Operationsabschnitt 96 vorgesehen sind. Alternativ kann der Anwender die spezifische DUT 130 durch Betätigen der im Operationsabschnitt 96 vorgesehenen Maus bestimmen, um diesen Druckknopf für die nötige Anzahl von Malen zu drücken. Zum Anzeigen einer Fehler-Abbildung nach einem Ändern der DUT-Nummer muss der Anwender die "MPAT Starten"-Taste a1 oder die "Lesen"-Taste a2 drücken, die oben beschrieben sind.
Ursprungsbestimmungs-Kipptasten (a5)
Diese Tasten werden zum Bestimmen eines Ursprungs verwendet. Ein Anwender kann einen beliebigen Ursprung durch Drücken von irgendeiner der vier Tasten bestimmen. In dem Fall, in welchem ein reduziertes Bild (das später beschrieben wird) einer logischen Fehlerbit-Abbildung im Hauptansichtsfenster enthalten ist, wird eine Anzeige unter Verwendung eines bestimmten Ursprungs durchgeführt. Zusätzlich wird in dem Fall, in welchem das Fenster für eine Ansicht einer logischen Abbildung oder das Fenster für eine Ansicht einer physikalischen Abbildung vom Hauptansichtsfenster gestartet wird bzw. hochgefahren wird, das Fenster für eine Ansicht einer logischen Abbildung oder das Fenster für eine Ansicht einer physikalischen Abbildung unter Verwendung des bestimmten Ursprungs angezeigt.
Achsenänderungs-Druckknopf (a6)
Diese Taste wird zum Bestimmen einer X-Achse und einer Y-Achse einer Fehlerbit-Abbildung verwendet. Positive Richtungen der X-Achse und der Y-Achse werden jedes Mal dann geändert, wenn diese Taste gedrückt wird. Es ist zu beachten, dass in dem Fall, in welchem das Fenster für eine logische Ansicht oder das Fenster für eine physikalische Ansicht vom Hauptansichtsfenster gestartet bzw. hochgefahren wird, ein hier bestimmter Ursprung zum Anzeigen des Fensters für eine Ansicht einer logischen Abbildung oder des Fensters für eine Ansicht einer physikalischen Abbildung verwendet wird.
DUT-Datenanzeigebereich (a7)
Dieser Bereich wird zum Anzeigen eines Ergebnisbildes verwendet, das ein Testergebnis von jedem der Vielzahl von DUTs 130 anzeigt, die Objekte des Tests waren. Eine Nummer, die in jedem Ergebnisbild enthalten ist, das in einer rechteckförmigen Form gezeigt ist, zeigt eine DUT-Nummer an, und ein Durchlass/Fehler der durch diese DUT-Nummer spezifizierten DUT 130 wird durch eine Farbe in diesem Rechteck dargestellt. Beispielsweise wird in dem Fall eines Durchlasses (in dem Fall, in welchem alle reduzierten logischen Daten entsprechend dieser DUT-Nummer ein Durchlass sind) das Rechteck grün gefärbt und wird in dem Fall eines Fehlers (in dem Fall, in welchem wenigstens ein Datum der reduzierten logischen Daten entsprechend dieser DUT-Nummer ein Fehler ist) das Rechteck rot gefärbt. Es ist zu beachten, dass, obwohl DUT-Nummern bzw. -Zahlen von 1 bis 128 in dem in 4 gezeigten DUT-Datenanzeigebereich a7 gezeigt sind, in dem Fall, in welchem die Nummer bzw. Anzahl von DUTs 130, die tatsächlich in der Halbleiter-Testvorrichtung 100 implementiert sind, kleiner als 128 ist, Nummern bzw. Zahlen in Rechtecken, in welchen eine entsprechende DUT 130 nicht existiert, nicht angezeigt oder schattiert werden. Wenn eine Nachricht von der Halbleiter-Testvorrichtung 100 zur Fehleranalysevorrichtung 10 gesendet wird, werden Informationen über die Nummer der DUT 130 und eine I/O-Nummer, die als nächstes zu beschreiben ist, gelesen und werden diese Nummern aktualisiert. Zusätzlich werden in dem Fall, in welchem die Nummer von DUTs 130, die tatsächlich in der Halbleiter-Testvorrichtung 100 implementiert sind, 128 übersteigt, Seiten, in welchen Ergebnisbilder der 128 DUTs 130 enthalten sind, umgeschaltet, um angezeigt zu werden.
I/O-Datenanzeigebereich (a8)
Dieser Bereich wird zum Anzeigen eines Testbilds verwendet, das ein Testergebnis für eine jeweilige I/O-Nummer in Bezug auf eine spezifische DUT 130 zeigt, für welche eine DUT-Nummer bestimmt ist. Eine Nummer, die in einem jeweiligen Ergebnisbild erhalten ist, das in einer Rechteckform gezeigt ist, zeigt eine I/O-Nummer an, ein Durchlass/Fehler einer logischen Fehlerbit-Abbildung, die durch diese I/O-Nummer bestimmt ist, wird durch eine Farbe in diesem Rechteck dargestellt. Beispielsweise wird in dem Fall eines Durchlasses (in dem Fall, in welchem alle reduzierten logischen Daten entsprechend dieser I/O-Nummer ein Durchlass sind) das Rechteck grün gefärbt und wird in dem Fall eines Fehlers (in dem Fall, in welchem wenigstens ein Datum der reduzierten logischen Daten entsprechend dieser I/O-Nummer ein Fehler ist) das Rechteck rot gefärbt. Es ist zu beachten, dass, obwohl I/O-Nummern von 0 bis 143 im in 4 gezeigten I/O-Datenanzeigebereich a8 gezeigt sind, in dem Fall, in welchem der maximale Wert der I/O-Nummer von DUTs 130, die tatsächlich in der Halbleiter-Testvorrichtung 100 implementiert sind, kleiner als 143 ist, Nummern in Rechtecken, in welchen eine entsprechende I/O-Nummer nicht existiert, nicht angezeigt oder schattiert werden. Zusätzlich werden in dem Fall, in welchem der maximale Wert von I/O-Nummern 143 übersteigt, die Nummern durch Umschalten von Seiten angezeigt.
Optionsmenü zum Umschalten einer Anzeige (a9)
Dieses Menü wird zum Umschalten von angezeigten Inhalten im oben beschriebenen DUT-Datenanzeigebereich a7 oder im oben beschriebenen I/O-Datenanzeigebereich a8 verwendet. Für den DUT-Datenanzeigebereich a7 werden Anzeigeoptionen von "Durchlass/Fehler", "CFM (alle)", "CFM (16 DUT)" und "CFM (32 DUT)" vorbereitet. Zusätzlich werden für den I/O-Datenanzeigebereich a8 Anzeigeoptionen von "Durchlass/Fehler", "CFM (alle)", "CFM (16 oder 18 I/O)" und "CFM (32 oder 36 I/O)" vorbereitet.
"Durchlass/Fehler" ist eine Option zum Anzeigen des oben beschriebenen Ergebnisbildes, das einen Durchlass/Fehler eines Testergebnisses anzeigt. Bei einem anfänglichen Bildschirm des in 4 gezeigten Hauptansichtsfensters wird ein Zustand, in welchem diese Anzeigeoption als Vorgabe zur Zeit eines Hochfahrens ausgewählt ist, gezeigt.
Zusätzlich ist jedes von "CFM (alle)", "CFM (16 DUT)", "CFM (32 DUT)", "CFM (16 oder 18 I/O)" und "CFM (32 oder 36 I/O)" eine Option zum Anzeigen reduzierter Bilder, die logische Fehlerbit-Abbildungen entsprechend reduzierter logischer Daten (die hierin nachfolgend "reduzierte logische Abbildung" genannt werden) durch eine Zahl in Klammern zeigen. Ein spezifisches Beispiel für eine Anzeige des reduzierten Bildes wird später beschrieben.
"Physikalische" Taste (a10)
Diese Taste wird zum Anweisen einer Anzeige eines Fensters für eine physikalische Ansicht entsprechend einer spezifischen DUT 130 verwendet, für welche eine DUT-Nummer bestimmt ist.
In einem Zustand, in welchem das in 4 gezeigte Hauptansichtsfenster angezeigt wird, beurteilt der GUI-Verarbeitungsabschnitt 98 dann, ob eine Anzeigeoption geändert worden ist oder nicht (Schritt 101), ob eine DUT-Nummer geändert worden ist oder nicht (Schritt 102), ob eine I/O-Nummer bestimmt worden ist oder nicht (Schritt 103) und ob eine physikalische Umwandlung angewiesen worden ist oder nicht (Schritt 104).
Alle Anzeigeoptionen, die andere als "Durchlass/Fehler" sind, und die im Anzeigeumschalt-Optionsmenü enthalten sind, sind Optionen zum Anzeigen einer Liste von reduzierten logischen Abbildungen. Wenn diese Anzeigeoptionen ausgewählt sind, wird eine bestätigende Beurteilung bei der Beurteilung des Schritts 101 durchgeführt, und als nächstes ändert der Hauptansichts-Erzeugungsabschnitt 80 basierend auf der geänderten Anzeigeoption angezeigte Inhalte des Hauptansichtsfensters (Schritt 105).
5 ist ein Diagramm, das ein spezifisches Beispiel des Hauptansichtsfensters zeigt, in welchem eine Liste von reduzierten Bildern enthalten ist, die reduzierte logische Abbildungen zeigen. Beispielsweise ist ein Zustand, in welchem "CFM (16 DUT)" als Anzeigeoption entsprechend dem DUT-Datenanzeigebereich a7 ausgewählt ist und "CFM (16 oder 18 I/O)" als Anzeigeoption entsprechend dem I/O-Datenanzeigebereich a8 ausgewählt ist, gezeigt.
Im DUT-Datenanzeigebereich a7 hat ein rechteckiger Bereich, in welchem eine Nummer bzw. Zahl enthalten ist, dieselben Inhalte wie in dem Fall, in welchem "Durchlass/Fehler" als Anzeigeoption ausgewählt ist, und entspricht einem Ergebnisbild, das Durchlass/Fehler der durch diese Nummer bestimmten DUT 130 zeigt. Ein über ihm angeordneter rechteckförmiger Bereich zeigt ein reduziertes Bild, das Inhalte einer reduzierten logischen Abbildung für jede DUT 130 zeigt. Da CFM-Daten (reduzierte logische Daten) für jede I/O-Nummer von der CFM 120 in der Halbleiter-Testvorrichtung 100 ausgelesen werden, findet der Hauptansichts-Erzeugungsabschnitt 80 eine ODER-Verknüpfung von jedem Bit von reduzierten logischen Daten von allen I/O-Nummern für jede DUT 130, um dieses reduzierte Bild zu erzeugen.
Zusätzlich hat im I/O-Datenanzeigebereich a8 ein rechteckförmiger Bereich, in welchem eine Nummer bzw. eine Zahl enthalten ist, dieselben Inhalte wie in dem Fall, in welchem "Durchlass/Fehler" als Anzeigeoption ausgewählt ist, und entspricht einem Ergebnisbild, das Durchlass/Fehler von reduzierten logischen Daten der I/O-Nummer anzeigt. Ein über ihm angeordneter rechteckförmiger Bereich zeigt ein reduziertes Bild, das Inhalte einer reduzierten logischen Abbildung für jede I/O-Nummer zeigt.
Es ist zu beachten, dass, obwohl sowohl der DUT-Datenanzeigebereich a7 als auch der I/O-Datenanzeigebereich a8 bei dem in 5 gezeigten Beispiel angezeigt werden, es auch möglich ist, einen von ihnen in einen nicht angezeigten Zustand zu bringen und die Anzahl von anzeigbaren Daten des anderen zu erhöhen. 6 ist ein Diagramm, das ein spezifisches Beispiel des Hauptansichtsfensters in dem Fall zeigt, in welchem der DUT-Datenanzeigebereich a7 in den Nichtanzeigezustand gebracht ist, und gleichzeitig "CFM (alle)" als Anzeigeoption des I/O-Datenanzeigebereichs a8 ausgewählt ist.
Zusätzlich wird in einem Zustand, in welchem das Hauptansichtsfenster angezeigt wird, wenn eine bei dieser Stelle bzw. zu diesem Zeitpunkt ausgewählte DUT-Nummer geändert wird, eine bestätigende Beurteilung bei der Beurteilung des Schritts 102 durchgeführt, und dann führt der Hauptansichts-Erzeugungsabschnitt 80 eine Änderung von angezeigten Inhalten des I/O-Datenanzeigebereichs a8 entsprechend einer DUT-Nummer nach einer Änderung durch (Schritt 106).
Weiterhin wird in dem Zustand, in welchem das Hauptansichtsfenster angezeigt wird, wenn irgendeine I/O-Nummer, die im I/O-Datenanzeigebereich a8 enthalten ist, bestimmt wird, eine bestätigende Beurteilung bei der Beurteilung des Schritts 103 durchgeführt, und dann erzeugt der Erzeugungsabschnitt für eine logische Ansicht 82 einen Bildschirm des Fensters für eine logische Ansicht entsprechend dieser bestimmten I/O-Nummer und zeigt sie auf der Anzeigevorrichtung 94 an (Schritt 107).
7 ist ein Diagramm, das ein spezifisches Beispiel des Fensters für eine logische Ansicht zeigt. Eine reduzierte logische Abbildung a11 und eine logische Fehlerbit-Abbildung a12 entsprechend einem Teil oder von allen der reduzierten logischen Abbildung a11 sind in diesem Fenster enthalten. Diese logische Fehlerbit-Abbildung a12 wird basierend auf durch den Detaildaten-Erfassungsabschnitt 30 erfassten detaillierten logischen Daten erzeugt.
Zusätzlich wird in dem Zustand, in welchem das Hauptansichtsfenster angezeigt wird, wenn die "physikalische" Taste a10 ausgewählt wird, eine bestätigende Beurteilung bei der Beurteilung des Schritts 104 durchgeführt, und dann erzeugt der Erzeugungsabschnitt für eine physikalische Ansicht 84 einen Bildschirm des Fensters für eine physikalische Ansicht entsprechend der DUT-Nummer, die bei dieser Stelle bestimmt ist, und zeigt sie auf der Anzeigevorrichtung 94 an (Schritt 108).
8 ist ein Diagramm, das ein spezifisches Beispiel des Fensters für eine physikalische Ansicht zeigt. Eine reduzierte physikalische Abbildung a13 und eine physikalische Fehlerbit-Abbildung a14 entsprechend einem Teil oder von allen der reduzierten logischen Abbildung a13 sind in diesem Fenster enthalten. Diese physikalische Fehlerbit-Abbildung a14 wird basierend auf durch den Detaildaten-Erfassungsabschnitt 30 erfassten detaillierten logischen Daten erzeugt.
Auf diese Weise kann bei der Fehleranalysevorrichtung 10 dieses Ausführungsbeispiels deshalb, weil Testergebnisse entsprechend der Vielzahl von DUTs 130 als eine Liste im Hauptansichtsfenster angezeigt werden, ein Anwender auf einfache Weise einen Überblick über Fehlerinformationen von jeder DUT 130 ergreifen bzw. erfassen. Insbesondere deshalb, weil der Anwender auf einfache Weise ein Vorhandensein oder ein Nichtvorhandensein eines Fehlers gemäß einer Liste von Ergebnisbildern erfassen kann und einen allgemeinen Verteilungszustand eines Fehlers gemäß einer Liste von reduzierten Bildern einer Fehlerbit-Abbildung lernen kann, kann der Anwender auf sichere Weise einen Überblick über Fehlerinformationen über jede DUT 130 oder jede I/O-Nummer erfassen bzw. ergreifen bzw. begreifen.
Zusätzlich kann einfach durch Bestimmen von irgendeinem der Listenbilder (der Ergebnisbilder oder der reduzierten Bilder), die im Hauptansichtsfenster enthalten sind, ein Fenster für eine logische Ansicht oder Fenster für eine physikalische Ansicht entsprechend dem Bild angezeigt werden. Folglich werden in dem Fall, in welchem ein Anwender/eine Anwenderin gerne die detaillierten Inhalte bestätigen würde, nachdem er/sie über die Listenbilder schaut, mühsame Arbeiten, die erforderlich sind, bis Inhalte einer detaillierten Fehlerbit-Abbildung entsprechend einer spezifischen DUT 130 oder einer spezifischen I/O-Nummer tatsächlich bestätigt sind, reduziert, und eine Vereinfachung von Operationen wird möglich. Zusätzlich wird gemäß der Vereinfachung von Operationen auch eine Reduktion einer Zeit möglich, die zum Bearbeiten erforderlich ist.
Insbesondere deshalb, weil die reduzierten logischen Daten (CFM-Daten), die für eine Anzeige einer Liste von reduzierten Bildern nötig sind, die im Hauptansichts fenster enthalten sind, in der Halbleiter-Testvorrichtung 100 erzeugt werden, wird es möglich, eine Zeit zu reduzieren, bis das Hauptansichtsfenster mit einer solchen Liste von reduzierten Bildern angezeigt wird.
Spezifisches Beispiel 2 von Operationen
9 ist ein Ablaufdiagramm, das Operationsprozeduren einer Fehleranalysevorrichtung entsprechend einem spezifischen Beispiel 2 zeigt, und zeigt hauptsächlich Operationsprozeduren in dem Fall, in welchem ein Bereich zum Erfassen detaillierter logischer Daten oder detaillierter physikalischer Daten durch den Detaildaten-Erfassungsabschnitt 30 erfasst wird, variabel eingestellt wird und eine Änderung eines Anzeigebereichs angewiesen wird, während ein Fenster für eine logische Ansicht oder ein Fenster für eine physikalische Ansicht angezeigt wird.
Wenn die Fehleranalysevorrichtung 10 hochgefahren bzw. gestartet wird, erzeugt zuerst der Hauptansichts-Erzeugungsabschnitt 80 einen Bildschirm des in 4 gezeigten Hauptansichtsfensters und zeigt es auf dem Anzeigeabschnitt 94 an (Schritt 200).
In einem Zustand, in welchem das in 4 gezeigte Hauptansichtsfenster angezeigt wird, beurteilt der GUI-Verarbeitungsabschnitt 98 als nächstes, ob eine Anzeige eines Seitengrößenmenüs angewiesen worden ist oder nicht (Schritt 201). Hier zeigt eine Seitengröße einen Bereich zum Erfassen von Daten durch den Detaildaten-Erfassungsabschnitt 30 an, der durch den Erfassungsbereichs-Einstellabschnitt 32 eingestellt ist. Beispielsweise wird angenommen, dass ein Element "Seitengröße" in einem Pull-Down-Menü entsprechend "Anschauen" in einer Menüleiste enthalten ist, die im oberen Teil des Hauptansichtsfensters angezeigt wird. Der GUI-Verarbeitungsabschnitt 98 beobachtet bzw. überwacht, ob dieses Element "Seitengröße" durch die Maus angeklickt oder unter Verwendung der Tastatur angezeigt worden ist, um dadurch die oben beschriebene Beurteilung des Schritts 201 durchzuführen.
Wenn eine Anzeige des Seitengrößen-Menüs angewiesen ist, wird eine bestätigende Beurteilung bei der Beurteilung des Schritts 201 durchgeführt, und dann führt der Erfassungsbereichs-Einstellabschnitt 32 ein Einstellen einer Seitengröße unter Verwendung des Seitengrößen-Menüs durch, das gemäß dieser Anweisung angezeigt wird (Schritt 202).
10 ist ein Diagramm, das ein spezifisches Beispiel des Seitengrößen-Menus zeigt. Größen von Fehlerbit-Abbildungen, die durch eine Leseoperation durch den Detaildaten-Erfassungsabschnitt 30 erfasst werden können, sind im Seitengrößen-Menü aufgelistet. Genauer gesagt sind, wie es in 10 gezeigt ist, sieben Größen von 128 (X-Adresse) × 128 (Y-Adresse), 256 × 256,..., und 8192 × 8192 und insgesamt elf Arten von Optionen von "Auto" zum automatischen Einstellen und Ändern der Seitengröße gemäß einer Größe des Anzeigebereichs im Seitengrößen-Menü B enthalten. Wenn "Auto" ausgewählt wird, wird eine Größe eines Quadrats mit einer Länge von einer minimalen Potenz von 2 von größer als einer Größe einer längeren Adresse des Anzeigebereichs als die Seitengröße eingestellt.
Als nächstes beurteilt der GUI-Verarbeitungsabschnitt 98, ob eine Anzeige des Fensters für eine logische Ansicht oder des Fensters für eine physikalische Ansicht angewiesen worden ist oder nicht (Schritt 203).
In einem Zustand, in welchem das Hauptansichtsfenster angezeigt wird, wenn irgendeine im I/O-Datenanzeigebereich a8 enthaltene I/O-Nummer bestimmt wird, bedeutet dies, dass eine Anzeige des Fensters für eine logische Ansicht angewiesen ist. In diesem Fall wird eine bestätigende Beurteilung bei der Beurteilung des Schritts 203 durchgeführt, und dann erfasst der Detaildaten-Erfassungsabschnitt 30 detaillierte logische Daten für die durch den Erfassungsbereichs-Einstellabschnitt 32 im Schritt 202 eingestellte Seitengröße (Schritt 204). Der Erzeugungsabschnitt für eine logische Ansicht 82 erzeugt einen Bildschirm des Fensters für eine logische Ansicht (7) entsprechend der bestimmten I/O-Nummer basierend auf den detaillierten logischen Daten oder ähnlichen, die durch den Detaildaten-Erfassungsabschnitt 30 erfasst sind, und zeigt sie auf dem Anzeigeabschnitt 94 an (Schritt 205).
Zusätzlich bedeutet in dem Zustand, in welchem das Hauptansichtsfenster angezeigt wird, wenn die "physikalische" Taste a10 ausgewählt wird, dies, dass eine Anzeige des Fensters für eine physikalische Ansicht angewiesen ist. In diesem Fall wird wiederum eine bestätigende Beurteilung der Beurteilung des Schritts 203 durchgeführt, und dann erfasst der Detaildaten-Erfassungsabschnitt 30 detaillierte physikalische Daten für die durch den Erfassungsbereichs-Einstellabschnitt 32 im Schritt 202 eingestellte Seitengröße (Schritt 204). Der Erzeugungsabschnitt für eine physikalische Ansicht 84 erzeugt einen Bildschirm des Fensters für eine physikalische Ansicht (8) entsprechend der zu dieser Zeit bestimmten DUT-Nummer basierend auf den detaillierten physikalischen Daten oder ähnlichem, die durch den Detaildaten-Erfassungsabschnitt 30 erfasst sind, und zeigt sie auf dem Anzeigeabschnitt 94 an (Schritt 205).
Als nächstes beurteilt der GUI-Verarbeitungsabschnitt 98, ob ein Bewegen oder ein Zoomen eines Anzeigebereichs einer Fehlerbit-Abbildung, die gerade angezeigt wird, angewiesen worden ist oder nicht (Schritt 206). In einem Zustand, in welchem das Fenster für eine logische Ansicht oder das Fenster für eine physikalische Ansicht angezeigt wird, wird dann, wenn ein Bewegen oder ein Zoomen eines Anzeigebereichs unter Verwendung der Maus des Operationsabschnitts 96 angewiesen ist, eine bestätigende Beurteilung bei der Beurteilung des Schritts 206 durchgeführt. Beispielsweise zieht ein Anwender den Anzeigebereich, während er die linke Taste der Maus drückt, an der reduzierten logischen Abbildung a11, die im Fenster für eine logische Ansicht enthalten ist, wodurch eine Zoom-Verarbeitung in Bezug auf den gezogenen Bereich angewiesen wird. Alternativ zieht der Anwender den Anzeigebereich, während er die mittlere Taste der Maus drückt, an der reduzierten logischen Abbildung a11, wodurch eine Bewegung des Anzeigebereichs in der gezogenen Richtung ohne Änderung einer Anzeigevergrößerung angewiesen wird. Dies gilt für den Fall, in welchem ein Bewegen oder ein Zoomen des Anzeigebereichs in einem Zustand angewiesen wird, in welchem das Fenster für eine physikalische Ansicht angezeigt wird.
Als nächstes beurteilt der Erfassungsbereichs-Einstellabschnitt 32, ob der Anzeigebereich nach einer Änderung im Erfassungsbereich von Daten durch den Detaildaten-Erfassungsbereich 30 enthalten ist oder nicht (Schritt 207). Wenn der Anzeigebereich nicht im Erfassungsbereich von Daten erhalten ist, wird eine negative _ Beurteilung durchgeführt, und dann führt der Detaildaten-Erfassungsabschnitt 30 eine erneute Erfassung von Daten entsprechend einem anzuzeigenden Fenster durch (Schritt 208). Beispielsweise wird dann, wenn ein Bewegen oder ein Zoomen angewiesen wird, wenn das Fenster für eine logische Ansicht angezeigt wird, eine Erfassung von detaillierten logischen Daten durchge führt. Zusätzlich wird dann, wenn ein Bewegen oder ein Zoomen angewiesen wird, wenn das Fenster für eine physikalische Ansicht angezeigt wird, eine Erfassung von detaillierten physikalischen Daten durchgeführt.
Wenn der Anzeigebereich nach einer Änderung innerhalb des Erfassungsbereichs von Daten ist und eine bestätigende Beurteilung bei der Beurteilung des Schritts 206 durchgeführt wird, oder nachdem eine erneute Erfassung von Daten durchgeführt wird, und zwar im Schritt 208, sendet der Bewegungs-Verarbeitungsabschnitt 187 oder der Zoom-Verarbeitungsabschnitt 188 im Anzeigebereichs-Änderungsabschnitt 186 eine Anweisung zum Erzeugungsabschnitt für eine logische Ansicht 82 und zum Erzeugungsabschnitt für eine physikalische Ansicht 84, um ein Einstellen eines vorhandenen Anzeigebereichs durchzuführen. Folglich werden angezeigte Inhalte geändert (Schritt 209). Danach springt die Fehleranalysevorrichtung zurück zum Schritt 206, und die Verarbeitung wird wiederholt.
11 ist ein Diagramm, das eine Beziehung zwischen einem Anzeigebereich und einem Erfassungsbereich von Daten zeigt. Beispielsweise ist eine Entsprechungsbeziehung zwischen der reduzierten logischen Abbildung a11, die im Fenster für eine logische Ansicht enthalten ist, und der detaillierten logischen Fehlerbit-Abbildung a12 gezeigt. Es ist zu beachten, dass dies für den Fall gilt, in welchem das Fenster für eine physikalische Ansicht verwendet wird, und ein spezifisches Beispiel einer Operationsanweisung unter Verwendung des Fensters für eine logische Ansicht wird in der folgenden Beschreibung beschrieben.
Wie es in 11 gezeigt ist, sind ein Erfassungsrahmen c, der den Erfassungsbereich von Daten an dieser Stelle anzeigt, und ein Anzeigerahmen b1, der einen Zeichnungsbereich der logischen Fehlerbit-Abbildung a11 anzeigt, welches ein Anzeigebereich ist, an dieser Stelle in einem Bild der reduzierten logischen Abbildung a11 im Fenster für eine logische Ansicht enthalten. Bei der Fehleranalysevorrichtung 10 dieses Ausführungsbeispiels wird der Erfassungsrahmen c auf größer als der Anzeigerahmen b1 eingestellt. Zusätzlich wird eine Anweisung einer Bewegung oder eines Zoomens des Anzeigebereichs unter Verwendung der reduzierten logischen Abbildung a11 gegeben, in welcher der Anzeigerahmen b1 und der Erfassungsrahmen c angezeigt werden.
12 ist ein Diagramm, das ein spezifisches Beispiel einer Bewegungsanweisung unter Verwendung der reduzierten logischen Abbildung a11 zeigt. Wie es in 12 gezeigt ist, betätigt ein Anwender die Maus zum Bestimmen einer beliebigen Position d1 im Anzeigerahmen b1 und zieht, während er die mittlere Taste der Maus in diesem Zustand drückt, den Anzeigebereich in einer Richtung und zu einer Position, wie es in der Zeichnung durch einen Pfeil e1 angezeigt ist. Folglich kann der Anwender einen Anzeigebereich b1 zu einem Anzeigebereich b2 bewegen. Zusätzlich ändern sich gemäß dieser Bewegungsoperation angezeigte Inhalte der logischen Fehlerbit-Abbildung a12 im Fenster für eine logische Ansicht kontinuierlich.
13 ist ein Diagramm, das ein spezifisches Beispiel einer Zoomanweisung unter Verwendung einer reduzierten logischen Abbildung a11 zeigt. Wie es in 13 gezeigt ist, betätigt ein Anwender die Maus zum Bestimmen einer beliebigen Position d2 im Anzeigerahmen b1 und zieht, während er die linke Taste der Maus in diesem Zustand drückt, den Anzeigebereich in einer Richtung und zu einer Position, wie es in der Zeichnung durch einen Pfeil e2 angezeigt ist. Folglich kann I eine Vergrößerungsverarbeitung zum Ändern des Anzeigebereichs b1 zum Anzeigebereich b3 durchgeführt werden. Es ist zu beachten, dass in dem Fall, in welchem der Anzeigebereich b2 nach der Operation kleiner als der Anzeigebereich b1 vor der Operation ist, eine Verkleinerungsverarbeitung durchgeführt wird.
Auf diese Weise wird bei der Fehleranalysevorrichtung dieses Ausführungsbeispiels ein Bereich, in welchem detaillierte logische Abbildungsdaten oder detaillierte physikalische Abbildungsdaten als Testergebnis erfasst werden, größer als ein Anzeigebereich einer detaillierten logischen Abbildung oder physikalischen Abbildung gemacht. Somit muss der Anwender beim Durchführen eines Bewegens oder eines Zoomens des Anzeigebereichs der detaillierten logischen Abbildung oder der detaillierten physikalischen Abbildung keine erneute Erfassung von Daten in dem Fall durchführen, in welchem ein Bewegen oder ein Zoomen im Erfassungsbereich von Daten durchgeführt wird. Daher kann eine Zeit, die von da an erforderlich ist, seit eine Änderung eines Anzeigebereichs angewiesen ist, bis der Anzeigebereich tatsächlich geändert wird, reduziert werden.
Zusätzlich wird in dem Fall, in welchem die Seitengröße, die der Erfassungsbereich von Daten ist, auf "Auto" eingestellt ist, wenn der Anzeigebereich der detaillierten logischen Abbildung oder von ähnlichem groß ist, der Erfassungsbereich von Daten auch auf groß eingestellt, und gegensätzlich dazu wird dann, wenn der Anzeigebereich klein ist, der Erfassungsbereich von Daten auch auf klein eingestellt. Somit kann eine Verschwendung eines Erfassens von Daten selbst für einen Bereich, der nahezu unnötig für eine Anzeige ist, beschnitten werden, und die am besten geeignete Verarbeitung der Fehleranalysevorrichtung unter Berücksichtigung einer Verarbeitungskapazität und von ähnlichem wird möglich.
Zusätzlich kann in dem Fall, in welchem der Anzeigebereich bewegt oder gezoomt wird, da es ausreichend ist, eine erneute Erfassung von Daten nur dann durchzuführen, wenn der Anzeigebereich den Erfassungsbereich von Daten übersteigt, die Anzahl von Malen für diese erneute Erfassung minimiert werden.
Weiterhin sind die reduzierte logische Abbildung a11 und die detaillierte logische Fehlerbit-Abbildung a12 im Fenster für eine logische Ansicht enthalten, und ein Anwender kann eine Anweisungsoperation eines Bewegens oder eines Zoomens des Anzeigebereichs unter Verwendung dieser reduzierten logischen Abbildung a11 durchführen, und der Anwender muss nach einem groben Bestätigen von Inhalten auf einem reduzierten Anzeigebildschirm nicht zu einem detaillierten Anzeigebildschirm umschalten, wie in der Vergangenheit, und eine Betriebsfähigkeit beim Geben einer Anweisung zum Umschalten kann verbessert werden. Dies gilt für den Fall, in welchem das Fenster für eine physikalische Ansicht verwendet wird.
Insbesondere deshalb, weil der Anwender eine Bestimmung eines neuen Anzeigebereichs durch Bestimmen von zwei Stellen in der reduzierten logischen Abbildung a11 oder der reduzierten physikalischen Abbildung a13 unter Verwendung einer Zeigevorrichtung, wie beispielsweise einer Maus, und durch Ziehen des Anzeigebereichs zwischen den zwei Stellen durchführen kann, kann der Anwender eine Bestimmung eines Bereichs einer Verkleinerung oder einer Vergrößerung auf einfache Weise und mit denselben Operationsprozeduren durchführen. Zusätzlich kann deshalb, weil der Anwender eine Bestimmung eines neuen Anzeigebereichs durch Bestimmen einer beliebigen einzelnen Stelle in der reduzierten logischen Abbildung a11 oder der reduzierten physikalischen Abbildung a13, einer Bewegungsrichtung und eines Bewegungsausmaßes durchführen kann, der Anwender auf einfache Weise eine Anweisung zum Bewegen des Anzeigebereichs geben.
Weiterhin wird es deshalb, weil der Anwender eine Anweisung für ein Bewegen oder ein Zoomen des Anzeigebereichs geben kann, während er den Erfassungsbereich von Daten durch Einschließen des Anzeigerahmens b1 und des Erfassungsbereichs c in einem Bild der reduzierten logischen Abbildung a11 oder von ähnlichem bestätigt, für welches eine Operationsanweisung eines Bewegens oder eines Zoomens durchgeführt wird, möglich, diese Anweisungen innerhalb des Erfassungsbereichs von Daten zu geben.
Spezifisches Beispiel 3 von Operationen
14 ist ein Ablaufdiagramm, das Operationsprozeduren einer Fehleranalysevorrichtung entsprechend einem spezifischen Beispiel 3 zeigt, und zeigt hauptsächlich Operationsprozeduren in dem Fall, in welchem verschiedene Einstellinhalte, die unter Verwendung eines Fensters für Ebenen eingestellt sind, auf einer Anzeige berücksichtigt werden und ein Anzeigebereich von überlagerten Bildern geändert wird.
Wenn die Fehleranalysevorrichtung 10 gestartet bzw. hochgefahren wird, beurteilt der Ebenen-Steuerabschnitt 86, ob ein Fenster für eine logische Ansicht oder ein Fenster für eine physikalische Ansicht angezeigt wird oder nicht (Schritt 300).
Beispielsweise kann das Fenster für eine logische Ansicht oder das Fenster für eine physikalische Ansicht durch Durchführen einer vorbestimmten Operation in einem Zustand angezeigt werden, in welchem ein Hauptansichtsfenster angezeigt wird. Als nächstes wird ein spezifisches Verfahren in dem Fall beschrieben, in welchem das Fenster für eine logische Ansicht oder das Fenster für eine physikalische Ansicht vom Hauptansichtsfenster gestartet bzw. hochgefahren wird.
Wie es oben beschrieben ist, ist in 4 ein spezifisches Beispiel des Hauptansichtsfensters gezeigt, das anzuzeigen ist, nachdem die Fehleranalysevorrichtung 10 hochgefahren ist. Zusätzlich ist in 5 ein spezifisches Beispiel des Hauptansichtsfensters gezeigt, in welchem eine Liste von reduzierten Bildern enthalten ist, die eine reduzierte logische Abbildung zeigen. Weiterhin ist in 7 ein spezifi sches Beispiel des Fensters für eine logische Ansicht gezeigt und ist in 8 ein spezifisches Beispiel des Fensters für eine physikalische Ansicht gezeigt.
Es ist zu beachten, dass, obwohl sowohl der DUT-Datenanzeigebereich a7 als auch der I/O-Datenanzeigebereich a8 bei dem in 5 gezeigten Beispiel angezeigt werden, es auch möglich ist, einen von ihnen in einen Zustand keiner Anzeige zu bringen und die Anzahl von anzeigbaren Daten des anderen zu erhöhen (6).
Wenn irgendeine I/O-Nummer, die im I/O-Datenanzeigebereich a8 enthalten ist, in einen Zustand bestimmt wird, in welchem das oben beschriebene Hauptansichtsfenster angezeigt wird, bedeutet dies, dass eine Anzeige des Fensters für eine logische Ansicht angewiesen wird.
Zusätzlich bedeutet es dann, wenn die "physikalische" Taste a10 in dem Zustand ausgewählt wird, in welchem das Hauptansichtsfenster angezeigt wird, dass ein Anzeigen des Fensters für eine physikalische Ansicht angewiesen wird.
Wenn das Fenster für eine logische Ansicht oder das Fenster für eine physikalische Ansicht auf diese Weise angezeigt wird, wird eine bestätigende Beurteilung bei der Beurteilung des Schritts 300 durchgeführt, und dann beurteilt der GUI-Verarbeitungsabschnitt 98, ob eine Anzeige des Fensters für eine Ebene angewiesen ist oder nicht (Schritt 301). Beispielsweise wird angenommen, dass ein Element "Ebenen ..." für eine Anweisungsanzeige des Fensters für eine Ebene in einem Pull-Down-Menü entsprechend "Ansicht" in einer Menüleiste enthalten ist, die im oberen Teil des Fensters für eine logische Ansicht oder des Fensters für eine physikalische Ansicht in einer Anzeige angezeigt ist. Der GUI-Verarbeitungsabschnitt 98 überwacht bzw. beobachtet, ob das Element "Ebenen ..." durch die Maus angeklickt worden ist oder auf dieses unter Verwendung der Tastatur gezeigt worden ist, um dadurch die oben beschriebene Beurteilung des Schritts 301 durchzuführen.
Wenn eine Anzeige des Fensters für Ebenen nicht angewiesen ist, wird eine negative Beurteilung bei der Beurteilung des Schritts 301 durchgeführt, und dann beurteilt der GUI-Verarbeitungsabschnitt 98, ob eine Änderung eines Anzeigebereichs einer Fehlerbit-Abbildung, die gerade angezeigt wird, angewiesen worden ist oder nicht (Schritt 302). Wenn eine Änderung des Anzeigebereichs nicht angewiesen ist, springt die Fehleranalysevorrichtung zurück zum Schritt 300, und die Verarbeitung wird wiederholt.
Zusätzlich wird dann, wenn eine Anzeige des Fensters für Ebenen angewiesen ist, eine bestätigende Beurteilung bei der Beurteilung des Schritts 301 durchgeführt, und dann erzeugt der Ebenen-Steuerabschnitt 86 ein Bild des Fensters für Ebenen und zeigt es auf dem Anzeigeabschnitt 94 an (Schritt 303).
5 ist ein Diagramm, das ein spezifisches Beispiel des Fensters für Ebenen zeigt. Ein Ebenen-Anzeigebereich b1 und ein Tastenbereich b2 sind in diesem Fenster enthalten. Wenn ein Anwender die Maus zum Anklicken eines Ebenennamens ("Ebene 0", etc.) betätigt, der in dem Ebenen-Anzeigebereich b1 enthalten ist, wandelt sich ein Teil, in welchem diese Ebene gezeigt ist, in eine Umkehranzeige, und ein Fenster für eine logische Ansicht oder ein Fenster für eine physikalische Ansicht entsprechend dieser Ebene wird betätigbar. Eine Fehlerfarbenbestimmungsbox c1 wird in dem Fall, in welchem ein Fehlerteil in einer Fehlerbit-Abbildung entsprechend der Ebene enthalten ist, zum Bestimmen einer Farbe des Fehlerteils verwendet. Die Farbe des Fehlerteils kann unter Verwendung dieser Fehlerfarbbestimmungsbox c1 beliebig eingestellt werden, weil eine Fehlerverteilung jeder Fehlerbit-Abbildung undeutlich wird, wenn alle Fehlerteile von Fehlerbit-Abbildungen, die zu überlagern sind, in derselben Farbe gefärbt werden. Eine Prüftaste c2 ist eine Taste zum Bestimmen einer Ebene, die ein Objekt einer Verarbeitung in dem Fall sein soll, in welchem eine Verarbeitung entsprechend verschiedener Tasten, die im Tastenbereich b1 enthalten sind, durchgeführt wird. Eine sichtbare Anzeigenmarkierung c3 und eine unsichtbare Markierung c4 stellen einen Anzeigezustand einer logischen Abbildung oder einer physikalischen Abbildung entsprechend der Ebene ein und zeigen Inhalte des eingestellten Anzeigezustands an. Eine Anzeige dieser Markierungen wird jedes Mal umgeschaltet, wenn ein Anwender die Maus zum Anklicken der Markierungen betätigt.
Zusätzlich enthält der Tastenbereich b2 eine Vielzahl von Tasten zum Bestimmen verschiedener Inhalte einer Verarbeitung in Bezug auf ein Fenster für eine logische Ansicht oder ähnliches entsprechend jeder Ebene. Eine "Neu"-Taste wird zum Anweisen eines Hinzufügens einer neuen Ebene verwendet. Eine Anzeige position einer Ebene, die hinzuzufügen ist, ist oben (an der Vorderseite). Eine "Löschen"-Taste wird zum Löschen einer ausgewählten (umgekehrt angezeigten) Ebene verwendet. Eine "ODER"-Taste ist eine Taste zum Anweisen einer Ausführung einer ODER-Operation unter Verwendung verschiedener Fehlerbit-Abbildungen entsprechend einer ausgewählten Ebene. Eine "UND"-Taste ist eine Taste zum Anweisen einer Ausführung einer UND-Operation unter Verwendung verschiedener Fehlerbit-Abbildungen entsprechend einer ausgewählten Ebene. Eine "XOR"-Taste ist eine Taste zum Anweisen einer Ausführung einer Exklusiv-ODER-Operation unter Verwendung einer Fehlerbit-Abbildung entsprechend jeder von zwei Ebenen. In dem Fall, in welchem drei oder mehrere Ebenen ausgewählt sind, sind automatisch oberste zwei Ebenen ausgewählt. Eine "Nicht"-Taste ist eine Taste zum Anweisen einer Ausführung einer logischen NICHT-Operation in Bezug auf jede von verschiedenen Fehlerbit-Abbildungen entsprechend einer ausgewählten Ebene.
In einem Zustand, in welchem das oben beschriebene Fenster für Ebenen angezeigt wird, beurteilt der GUI-Verarbeitungsabschnitt 98, ob irgendein Elementeninhalt, der im Fenster für Ebenen enthalten ist, geändert ist oder nicht (Schritt 304). Wenn das Fenster für Ebenen ohne irgendeine Änderung geschlossen wird, wird eine negative Beurteilung durchgeführt, und die oben beschriebene Beurteilungsverarbeitung des Schritts 300 wird wiederholt.
Wenn irgendein Elementeninhalt im Fenster für Ebenen geändert wird, wird eine bestätigende Beurteilung bei der Beurteilung des Schritts 304 durchgeführt, und der Erzeugungsabschnitt für eine logische Ansicht 82 oder der Erzeugungsabschnitt für eine physikalische Ansicht 84 führt eine Anzeige durch, die diesen geänderten Elementeninhalt berücksichtigt (Schritt 305). Nachdem diese Anzeigenverarbeitung durchgeführt ist, springt die Fehleranalysevorrichtung zurück zum Schritt 300, und die Verarbeitung wird wiederholt.
Weiterhin wird in einem Zustand, in welchem ein Fenster für eine logische Ansicht oder ein Fenster für eine physikalische Ansicht angezeigt wird, in dem Fall, in welchem eine Änderung eines Anzeigebereichs unter Verwendung der Maus angewiesen wird, eine bestätigende Beurteilung bei der Beurteilung des Schritts 302 durchgeführt. Beispielsweise zieht ein Anwender den Anzeigebereich, während er die linke Taste der Maus drückt, an der reduzierten logischen Abbil dung a11, die im Fenster für eine logische Ansicht enthalten ist, wodurch eine Zoom-Verarbeitung in Bezug auf den gezogenen Bereich angewiesen wird. Alternativ zieht der Anwender den Anzeigebereich, während er die mittlere Taste der Maus drückt, an der reduzierten logischen Abbildung a11, wodurch eine Bewegungs-Verarbeitung des Anzeigebereichs in der gezogenen Richtung ohne Änderung einer Anzeigevergrößerung angewiesen wird. Dies gilt für den Fall, in welchem eine Änderung des Anzeigebereichs in einem Zustand angewiesen wird, in welchem das Fenster für eine physikalische Ansicht angezeigt wird.
Als nächstes sendet der Anzeigebereichs-Änderungsabschnitt 87 eine Anweisung zum Erzeugungsabschnitt für eine logische Ansicht 82 oder zum Erzeugungsabschnitt für eine physikalische Ansicht 84, um eine Änderung eines gegenwärtigen Anzeigebereichs durchzuführen (Schritt 306). Danach springt die Fehleranalysevorrichtung zurück zum Schritt 300, und die Verarbeitung wird wiederholt.
16 ist ein Diagramm, das ein spezifisches Beispiel einer Überlagerung von Fehlerbit-Abbildungen zeigt. Beispielsweise wird angenommen, dass Fehlerbit-Abbildungen von unterschiedlichen Inhalten jeweils einer Ebene 0, einer Ebene 1 und einer Ebene 2 entsprechen. Es ist zu beachten, dass der Fall, in welchem logische Fehlerbit-Abbildungen überlagert sind, als Beispiel in der folgenden Beschreibung beschrieben ist, und dasselbe für physikalische Fehlerbit-Abbildungen gilt.
In diesem Fall sind Inhalte der reduzierten logischen Abbildung a11 und der logischen Fehlerbit-Abbildung a12 des in 7 gezeigten Fensters für eine logische Ansicht Inhalte von überlagerten drei Fehlerbit-Abbildungen entsprechend diesen drei Ebenen 0, 1 und 2. In diesem Fall werden dann, wenn unterschiedliche Farben für jede Ebene unter Verwendung der im Ebenen-Anzeigebereich b1 des Fensters für Ebenen enthaltenen Fehlerfarbenbestimmungsbox c1 eingestellt sind, unterschiedliche Farben zu Fehlerteilen der jeweiligen Fehlerbit-Abbildungen zugeteilt. In dem Fall, in welchem dann, wenn es eine Ebene gibt, in welcher die unsichtbare Markierung c4 eingestellt ist und keine Anzeige im Ebenen-Anzeigenbereich b1 des Fensters für Ebenen eingestellt ist, wie es in 17 gezeigt ist, die Fehlerbit-Abbildung entsprechend dieser Ebene nicht für eine Überlagerung von Bildern verwendet.
Es ist zu beachten, dass eine Reihenfolge einer Überlagerung der Fehlerbit-Abbildungen entsprechend den jeweiligen Ebenen Ebenen-Nummern entspricht. Beispielsweise ist die Ebene 0 eine unterste Ebene, ist eine Ebene mit der größeren Ebenen-Nummer eine obere Ebene und entspricht die größte Ebenen-Nummer der Ebene im Vordergrund. Daher kann die Reihenfolge einer Überlagerung durch Ändern der Ebenen-Nummern auf einfache Weise geändert werden. Eine Änderung der Ebenen-Nummern wird durch Anklicken einer Pfeiltaste, die in der Nähe des rechten Endes des Tastenbereichs b2 des Fensters für Ebenen angeordnet ist, mit einer Maus durchgeführt. Wenn der Anwender wünscht, eine Reihenfolge einer Überlagerung einer Fehlerbit-Abbildung zu ändern, die einer Ebene entspricht, die im Ebenen-Anzeigebereich b1 vertauscht ist, zu einer direkt höheren oder niedrigeren Reihenfolge, muss der Anwender nur eine Aufwärtspfeiltaste oder eine Abwärtspfeiltaste einmal anklicken.
18 ist ein Diagramm, das ein weiteres spezifisches Beispiel einer Überlagerung von Fehlerbit-Abbildungen zeigt, und zeigt einen Überblick in dem Fall, in welchem eine Zoom-Verarbeitung durchgeführt wird, um einen Anzeigebereich zu ändern. Verschiedene Operationen unter Verwendung des Fenster für eine logische Ansicht werden in Bezug auf eine Ebene (z.B. die Ebene 1) möglich, die im Ebenen-Anzeigebereich b1 des Fensters für Ebenen umgekehrt ist. Jedoch wird bei diesem Ausführungsbeispiel in dem Fall, in welchem die Zoom-Verarbeitung unter Verwendung der reduzierten logischen Abbildung a11 im Fenster für eine logische Ansicht angewiesen wird, die Zoom-Verarbeitung gleichzeitig nicht nur für eine logische Abbildung entsprechend der Ebene 1 durchgeführt, sondern auch für jeweilige logische Abbildungen entsprechend den anderen Ebenen 0 und 2, die dazu gehören, indem das Fenster für Ebenen verwendet wird. Als Ergebnis wird ein Bild, das durch Überlagern von Bildern erhalten wird, die logische Abbildungen entsprechend den jeweiligen Ebenen 0, 1 und 2 sind, die einzeln der Zoom-Verarbeitung unterzogen werden, im Fenster für eine logische Ansicht nach einem Ausführen der Zoom-Verarbeitung angezeigt.
19 ist ein Diagramm, das ein weiteres spezifisches Beispiel einer Überlagerung von Fehlerbit-Abbildungen zeigt, und zeigt einen Überblick in dem Fall, in welchem ein Anzeigebereich durch Durchführen einer Bewegungs-Verarbeitung geändert wird. In dem Fall, in welchem die Bewegungs-Verarbeitung unter Verwendung der reduzierten logischen Abbildung a11 im Fenster für eine logische Ansicht angewiesen wird, wird die Bewegungs-Verarbeitung gleichzeitig nicht nur für eine logische Abbildung entsprechend der Ebene 1 durchgeführt, sondern auch für jeweilige logische Abbildungen entsprechend den anderen Ebenen 0 und 2, die dazu gehören, indem das Fenster für Ebenen verwendet wird. Als Ergebnis wird ein Bild, das durch Überlagern von Bildern erhalten wird, die logische Abbildungen entsprechend den jeweiligen Ebenen 0, 1 und 2 sind, die einzeln der Bewegungs-Verarbeitung unterzogen werden, im Fenster für eine logische Ansicht nach einem Ausführen der Bewegungs-Verarbeitung angezeigt.
20 ist ein Diagramm, das ein weiteres spezifisches Beispiel einer Überlagerung von Fehlerbit-Abbildungen zeigt. Es wird angenommen, dass ein Bild, das sich nicht auf ein Testergebnis einer Fehlerbit-Abbildung oder von ähnlichem bezieht, beispielsweise in irgendeiner der Ebenen enthalten ist. 20 zeigt einen Überblick in dem Fall, in welchem eine Überlagerung der Bilder der Vielzahl der Ebenen einschließlich der obigen einen Ebene durchgeführt wird. Als das Bild, das nicht auf einem Testergebnis bezogen ist, sind beispielsweise Bilder, wie beispielsweise ein vorbestimmter Rahmen, vorgeschriebene Linien, Buchstaben oder ähnliches möglich. Bei dem in 20 gezeigten Beispiel bezieht sich ein Bild mit einem Rahmen und Buchstaben von "Testergebnis" auf die Ebene 4, um an der obersten Stelle angeordnet zu werden, und dieses Bild und Bilder der jeweiligen Fehlerbit-Abbildungen werden überlagert. Folglich kann ein Verstehen von angezeigten Inhalten oder ähnliches verbessert werden.
Auf diese Weise entspricht bei der Fehleranalysevorrichtung dieses Ausführungsbeispiels jede der überlagerten Vielzahl von Fehlerbit-Abbildungsbildern einer Vielzahl von Ebenen, und eine Beziehung zwischen den Ebenen ist unter Verwendung des Fensters für Ebenen definiert. Somit kann in dem Fall, in welchem eine Zoom-Verarbeitung oder eine Bewegungs-Verarbeitung durchgeführt wird, ein Anwender angezeigte Inhalte ändern, während eine wechselseitige Beziehung der jeweiligen Fehlerbit-Abbildungsbilder beibehalten wird. Folglich muss der Anwender keine Zoom-Verarbeitung oder keine Bewegungs-Verarbeitung einzeln in Bezug auf die jeweiligen Fehlerbit-Abbildungsbilder anweisen, und Operationen können signifikant vereinfacht werden.
Weiterhin muss der Anwender zum Ausschalten oder zum erneutem Anzeigen für eine jeweilige der überlagerten Fehlerbit-Abbildungen nur die sichtbare Anzeigen markierung c3 und die unsichtbare Markierung c4 in dem Fenster für Ebenen umschalten. Folglich wird es unnötig, ein Lesen von Daten und eine Zeichnungsverarbeitung jedes Mal zu wiederholen, und eine Vereinfachung einer Verarbeitung und von Operationen wird möglich.
Darüber hinaus wird dann, wenn eine Beziehung zwischen den jeweiligen Ebenen unter Verwendung des Fensters für Ebenen definiert ist, da Inhalte einer logischen Operation eingestellt werden können, eine logische Operation, die auf eine jeweilige Fehlerbit-Abbildung abzielt, gemäß den eingestellten Inhalten möglich.
Industrielle Anwendbarkeit
Wie es oben beschrieben ist, werden gemäß der vorliegenden Erfindung Testergebnisse entsprechend einer Vielzahl von Halbleiterspeichern in einem Bildschirm angezeigt. Daher wird es einfach, einen Überblick über Fehlerinformationen in Bezug auf jeden Halbleiterspeicher zu erfassen. Zusätzlich werden mühsame Arbeiten, die erforderlich sind, bis Inhalte einer detaillierten Fehlerbit-Abbildung entsprechend einem Halbleiterspeicher, einschließlich des Fehlerteils oder einer I/O-Nummer, bestätigt werden, reduziert, und eine Vereinfachung von Operationen wird möglich.
Weiterhin muss ein Anwender gemäß der vorliegenden Erfindung deshalb, weil ein Bereich, in welchem ein Testergebnis erfasst wird, als ein erster Bereich eingestellt wird, der größer als ein zweiter Bereich ist, der ein Anzeigebereich ist, das Testergebnis beim Ändern des Anzeigebereichs innerhalb des ersten Bereichs nicht nochmals erfassen. Daher kann eine Zeit, die erforderlich ist, seit eine Änderung des Anzeigebereichs angewiesen ist, bis der Anzeigebereich tatsächlich geändert wird, reduziert werden.
Weiterhin sind ein reduziertes Bild und ein detailliertes Bild beide in einem identischen Bildschirm enthalten. Daher kann der Anwender eine Änderung eines Anzeigebereichs unter Verwendung des reduzierten Bildes bestimmen. Der Anwender muss nach einem groben Bestätigen von Inhalten auf einem reduzierten Anzeigeschirm nicht zu einem detaillierten Anzeigeschirm umschalten, wie in der Vergangenheit, und eine Betriebsfähigkeit beim Geben einer Umschaltanweisung kann verbessert werden.
Darüber hinaus kann deshalb, weil jedes einer überlagerten Vielzahl von Fehlerbit-Abbildungsbildern einer Vielzahl von Ebenen entspricht und eine Beziehung zwischen den jeweiligen Ebenen definiert ist, in dem Fall, in welchem ein Anwender eine Änderung von Inhalten eines Anzeigebildes durchführt, der Anwender die angezeigten Inhalte ändern, während eine wechselseitige Beziehung zwischen den jeweiligen Fehlerbit-Abbildungsbildern beibehalten wird. Folglich muss der Anwender keine Bewegungs-Anweisung einzeln geben oder keine Anweisung zum Ändern einer Anzeigenvergrößerung für jedes Fehlerbit-Abbildungsbild einzeln geben, und Operationen können signifikant vereinfacht werden.
ZUSAMMENFASSUNG
Fehleranalysevorrichtung, die eine vereinfachte Operation und eine reduzierte Operationszeit ermöglicht. Ein Abschnitt (40) zum Erfassen reduzierter Daten liest reduzierte logische Daten, die durch Reduzieren detaillierter logischer Daten als Testergebnis erhalten werden, aus einem CFM (120) in einer Halbleiter-Testvorrichtung (100) und erfasst sie. Ein Hauptansichts-Erzeugungsabschnitt (80) erzeugt ein Hauptansichtsfenster mit einer Liste eines Testergebnisses für jede DUT basierend auf den reduzierten logischen Daten zum Anzeigen auf einer Anzeigevorrichtung (94). Die Liste enthält ein Ergebnisbild, das einen Durchlass/Fehler für jede DUT anzeigt, und das reduzierte Bild einer Fehlerbit-Abbildung.
(2)

Claims

Fehleranalysevorrichtung zum Anzeigen von Ergebnissen eines Testens einer Vielzahl von Halbleiterspeichern mit einer Halbleiter-Testvorrichtung, welche Fehleranalysevorrichtung folgendes aufweist: eine Testergebnis-Erfassungseinheit zum Erfassen von Testergebnissen entsprechend der Vielzahl von Halbleiterspeichern; eine Listenbild-Erzeugungseinheit zum Erzeugen eines Listenbilds, in welchem die Testergebnisse entsprechend der Vielzahl von Halbleiterspeichern, die durch die Testergebnis-Erfassungseinheit erfasst sind, in einem Bildschirm enthalten sind; und eine Anzeigeeinheit zum Anzeigen des durch die Listenbild-Erzeugungseinheit erzeugten Listenbilds.
Fehleranalysevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Ergebnisbild, das einen Durchlass/Fehler für jeden der Vielzahl von Halbleiterspeicher anzeigt, in dem Listenbild als das Testergebnis enthalten ist.
Fehleranalysevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein reduziertes Bild einer Fehlerbit-Abbildung für jeden der Vielzahl von Halbleiterspeichern in dem Listenbild als das Testergebnis enthalten ist.
Fehleranalysevorrichtung nach Anspruch 2, die weiterhin folgendes aufweist: eine Operationseinheit zum Bestimmen irgendeiner Position in dem auf der Anzeigeeinheit angezeigten Listenbild; und eine Detailbild-Erzeugungseinheit, um dann, wenn irgendeines der Ergebnisbilder durch die Operationseinheit bestimmt ist, ein detailliertes Bild einer Fehlerbit-Abbildung entsprechend dem Ergebnisbild zu erzeugen, dadurch gekennzeichnet, dass das durch die Detailbild-Erzeugungseinheit erzeugte detaillierte Bild durch die Anzeigeeinheit angezeigt wird.
Fehleranalysevorrichtung nach Anspruch 3, die weiterhin folgendes aufweist: eine Operationseinheit zum Bestimmen irgendeiner Position in dem auf der Anzeigeeinheit angezeigten Listenbild; und eine Detailbild-Erzeugungseinheit, um dann, wenn irgendeines der reduzierten Bilder durch die Operationseinheit bestimmt ist, ein detailliertes Bild einer Fehlerbit-Abbildung entsprechend dem reduzierten Bild zu erzeugen, dadurch gekennzeichnet, dass das durch die Detailbild-Erzeugungseinheit erzeugte detaillierte Bild durch die Anzeigeeinheit angezeigt wird.
Fehleranalysevorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Halbleiter-Testvorrichtung reduzierte Fehlerbit-Abbildungsdaten erzeugt, die zum Anzeigen des reduzierten Bildes nötig sind, und die Listenbild-Erzeugungseinheit das reduzierte bzw. verkleinerte Bild basierend auf den reduzierten Fehlerbit-Abbildungsdaten erzeugt.
Fehleranalysevorrichtung zum Anzeigen eines Ergebnisses eines Testens eines Halbleiterspeichers mit einer Halbleiter-Testvorrichtung, welche Fehleranalysevorrichtung folgendes aufweist: eine Testergebnis-Erfassungseinheit zum Erfassen eines Testergebnisses entsprechend dem Halbleiterspeicher; eine Listenbild-Erzeugungseinheit zum Erzeugen eines Listenbilds, wobei ein Testergebnis für jede I/O-Nummer des Halbleiterspeichers, das durch die Testergebnis-Erfassungseinheit erfasst wird, in einem Bildschirm enthalten ist; und eine Anzeigeeinheit zum Anzeigen des durch die Listenbild-Erzeugungseinheit erzeugten Listenbildes.
Fehleranalysevorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass ein Ergebnisbild, das einen Durchlass/Fehler für jede I/O-Nummer anzeigt, im Listenbild als das Testergebnis enthalten ist.
Fehleranalysevorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass ein reduziertes Bild einer Fehlerbit-Abbildung für jede I/O-Nummer in dem Listenbild als das Testergebnis enthalten ist.
Fehleranalysevorrichtung nach Anspruch 8, die weiterhin folgendes aufweist: eine Operationseinheit zum Bestimmen irgendeiner Position in dem auf der Anzeigeeinheit angezeigten Listenbild; und eine Detailbild-Erzeugungseinheit, um dann, wenn irgendeines der Ergebnisbilder durch die Operationseinheit bestimmt ist, ein detailliertes Bild einer Fehlerbit-Abbildung entsprechend dem Ergebnisbild zu erzeugen, dadurch gekennzeichnet, dass das durch die Detailbild-Erzeugungseinheit erzeugte detaillierte Bild durch die Anzeigeeinheit angezeigt wird.
Fehleranalysevorrichtung nach Anspruch 9, die weiterhin folgendes aufweist: eine Operationseinheit zum Bestimmen irgendeiner Position in dem auf der Anzeigeeinheit angezeigten Listenbild, und eine Detailbild-Erzeugungseinheit, um dann, wenn irgendeines der reduzierten Bilder durch die Operationseinheit bestimmt ist, ein detailliertes Bild einer Fehlerbit-Abbildung entsprechend dem reduzierten Bild zu erzeugen, dadurch gekennzeichnet, dass das durch die Detailbild-Erzeugungseinheit erzeugte detaillierte Bild durch die Anzeigeeinheit angezeigt wird.
Fehleranalysevorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Halbleiter-Testvorrichtung reduzierte Fehlerbit-Abbildungsdaten erzeugt, die zum Anzeigen des reduzierten Bildes nötig sind, und die Listenbild-Erzeugungseinheit das reduzierte Bild basierend auf den Fehlerbit-Abbildungsdaten erzeugt.
Fehleranalysevorrichtung zum Anzeigen eines Ergebnisses eines Testens eines Halbleiterspeichers mit einer Halbleiter-Testvorrichtung, welche Fehleranalysevorrichtung folgendes aufweist: eine Testergebnis-Erfassungseinheit zum Erfassen eines Testergebnisses des Halbleiterspeichers, was eine Erzeugung einer Fehlerbit-Abbildung eines ersten Bereichs ermöglicht; eine Fehlerbit-Abbildungs-Erzeugungseinheit zum Erzeugen eines Bildes einer Fehlerbit-Abbildung eines zweiten Bereichs, der schmaler als der erste Bereich ist, unter Verwendung eines Teils des durch die Testergebnis-Erfassungseinheit erfassten Testergebnisses; eine Anzeigeeinheit zum Anzeigen des durch die Fehlerbit-Abbildungs-Erzeugungseinheit erzeugten Bildes; eine Operationseinheit zum Anweisen eines Anzeigebereichs der Fehlerbit-Abbildung; und eine Anzeigenbereichs-Änderungseinheit zum Ändern des Anzeigenbereichs unter Verwendung des durch die Testergebnis-Erfassungseinheit erfassten Testergebnisses, wenn eine Änderung des Anzeigenbereichs innerhalb des ersten Bereichs durch die Operationseinheit angewiesen wird.
Fehleranalysevorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass sie eine Erfassungsbereichs-Einstelleinheit zum variablen Einstellen einer Größe des ersten Bereichs gemäß einer Größe des durch die Portionseinheit angewiesenen Anzeigebereichs aufweist.
Fehleranalysevorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Testergebnis-Erfassungseinheit eine erneute Erfassung des Testergebnisses des Halbleiterspeichers durchführt, wenn eine Änderung des Anzeigebereichs, der den ersten Bereich übersteigt, durch die Operationseinheit angewiesen wird.
Fehleranalysevorrichtung zum Anzeigen eines Ergebnisses eines Testens eines Halbleiterspeichers mit einer Halbleiter-Testvorrichtung, welche Fehleranalysevorrichtung folgendes aufweist: eine Testergebnis-Erfassungseinheit zum Erfassen eines Testergebnisses des Halbleiterspeichers; eine Fehlerbit-Abbildungs-Erzeugungseinheit zum Erzeugen eines ersten Bildes einer Fehlerbit-Abbildung und eines zweiten Bildes eines reduzierten vorbestimmten Bereichs, der die Nähe bzw. Umgebung des ersten Bildes enthält, unter Verwendung des durch die Testergebnis-Erfassungseinheit erfassten Testergebnisses; eine Anzeigeeinheit zum Anzeigen des ersten Bildes und des zweiten Bildes in einem Bildschirm; eine Operationseinheit zum Anweisen einer Änderung eines Anzeigebereichs, der Fehlerbit-Abbildung entsprechend dem ersten Bild unter Verwendung des zweiten Bildes; und eine Anzeigenbereichs-Änderungseinheit zum Ändern angezeigter Inhalte des ersten Bildes, wenn eine Änderung des Anzeigebereichs durch die Operationseinheit angewiesen wird.
Fehleranalysevorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Operationseinheit eine Zeigevorrichtung ist, die einen beliebige Position auf einem Anzeigebildschirm bestimmen kann, und durch Bestimmen von zwei Stellen in dem zweiten Bild mit der Zeigevorrichtung ein rechteckförmiger Bereich mit diesen zwei Stellen als gegenüberliegende Winkel als der Anzeigebereich nach einer Änderung bestimmt wird.
Fehleranalysevorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Operationseinheit eine Zeigevorrichtung ist, die eine beliebige Position auf einem Anzeigeschirm bestimmen kann, und nach einem Bestimmen einer Stelle im zweiten Bild mit der Zeigevorrichtung ein Bewegen des Anzeigebereichs durch Bestimmen einer Bewegungsrichtung und eines Bewegungsausmaßes angewiesen wird.
Fehleranalysevorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass ein Erfassungsrahmen, der einen Bereich des durch die Testergebnis-Erfassungseinheit erfassten Testergebnisses anzeigt, und ein Anzeigerahmen, der einen Zeichenbereich des ersten Bildes anzeigt, im zweiten Bild enthalten sind.
Fehleranalysevorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Testergebnis-Erfassungseinheit eine erneute Erfassung des Testergebnisses des Halbleiterspeichers durchführt, wenn eine Änderung des Anzeigenbereichs, der den Erfassungsrahmen übersteigt, durch die Operationseinheit angewiesen wird.
Fehleranalysevorrichtung zum Anzeigen eines Ergebnisses eines Testens eines Halbleiterspeichers mit einer Halbleiter-Testvorrichtung, welche Fehleranalysevorrichtung folgendes aufweist: eine Fehlerbit-Abbildungs-Erzeugungseinheit zum Erzeugen einer Vielzahl von Fehlerbit-Abbildungsbildern, die ein Testergebnis entsprechend dem Halbleiterspeicher darstellen; eine Ebenen-Steuereinheit zum Zuordnen jedes der Vielzahl von Fehlerbit-Abbildungsbildern zu einer Vielzahl von Ebenen und gleichzeitig zum Definieren einer Beziehung zwischen den jeweiligen Ebenen; eine Bild-Überlagerungseinheit zum Durchführen einer Verarbeitung zum Überlagern der Vielzahl von Fehlerbit-Abbildungsbildern, die die Beziehung zwischen der Vielzahl von Ebenen definierten, durch die Ebenen-Steuereinheit; und eine Anzeigeeinheit zum Anzeigen der durch die Bild-Überlagerungseinheit überlagerten Bilder.
Fehleranalysevorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass die Ebenen-Steuereinheit einen Zustand für Anzeige/keine Anzeige eines Fehlerbit-Abbildungsbildes für jede Ebene steuert.
Fehleranalysevorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass die Ebenen-Steuereinheit Inhalte einer logischen Operation, die auf eine jeweilige der Vielzahl von Ebenen abzielt, gemäß der Beziehung einstellt.
Fehleranalysevorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass sie weiterhin folgendes aufweist: eine Operationseinheit zum Anweisen einer Änderung eines Anzeigebereichs der Fehlerbit-Abbildung; und eine Anzeigebereichs-Änderungseinheit, um dann, wenn eine Änderung des Anzeigebereichs durch die Operationseinheit angewiesen wird, eine Änderung des Anzeigebereichs, der auf die Vielzahl von Fehlerbit-Abbildungen entsprechend der Vielzahl von Ebenen abzielt, die durch die Ebenen-Steuereinheit zugeordnet sind, auszuführen.
Fehleranalysevorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass die Ebenen-Steuereinheit die Beziehung durch Zuordnen von Bildern, die Bilder enthalten, die sich nicht auf das Testergebnis beziehen, und die andere als die Vielzahl von Fehlerbit-Abbildungsbildern sind, zu jeder der Vielzahl von Ebenen definiert.