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Die
Erfindung betrifft eine Prüfeinrichtung
zur elektrischen Prüfung
eines Prüflings,
insbesondere zur Prüfung
von Wafern, mit einem dem Prüfling
zuzuordnenden, mit in einem zentralen Bereich eine Kontaktstiftanordnung
bildenden, stiftförmigen
Kontaktelementen versehenen Kontaktkopf und mit einer elektrischen
Anschlussvorrichtung, die Kontaktflächen aufweist, die mit den,
der den Prüfling
aufnehmenden Prüfebene
abgewandten Enden der Kontaktelemente in Berührungskontakt stehen sowie
mit einer auf der dem Kontaktkopf abgewandten Seite der Anschlussvorrichtung
angeordneten Abstützvorrichtung.
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Elektrische
Prüfeinrichtungen
der eingangs genannten Art dienen dazu, einen Prüfling elektrisch zu kontaktieren,
um seine Funktionsfähigkeit
zu testen. Die elektrische Prüfeinrichtung
stellt elektrische Verbindungen zum Prüfling her, d. h., sie kontaktiert einerseits
elektrische Anschlüsse
des Prüflings
und stellt andererseits elektrische Kontakte zur Verfügung, die
mit einem Prüfsystem
verbunden werden, das über
die Prüfeinrichtung
dem Prüfling
elektrische Signale zuführt,
um für
eine Funktionsprüfung
beispielsweise Widerstandsmessungen, Strom- und Spannungsmessungen
und so weiter durchzuführen. Da
es sich bei dem elektrischen Prüfling
oftmals um sehr kleine elektronische Bauelemente handelt, beispielsweise
um elektronische Schaltungen auf einem Wafer, aus dem elektronische Bauelemente
gefertigt werden, besitzen die stiftförmigen Kontaktelemente des
Kontaktkopfs extrem kleine Abmessungen. Um nun eine Anschlussmöglichkeit
zum erwähnten
Prüfsystem
zu schaffen, stehen die Kontaktelemente des Prüfkopfs in Berührungskontakt
mit einer Anschlussvorrichtung, die eine Umsetzung auf einen größeren Kontaktabstand
vornimmt und insofern das Anschließen von elektrischen Verbindungskabeln
ermöglicht, die
zum Prüfsystem
führen.
Bei der Prüfung
befindet sich der Prüfling
in der Prüfebene
und die Prüfeinrichtung
wird axial, vorzugsweise in vertikaler Richtung, auf den Prüfling abgesenkt,
so dass die einen Enden der stiftförmigen Kontaktelemente den
Prüfling
kontaktieren und die anderen Enden der stiftförmigen Kontaktelemente gegen
die Kontaktflächen
der Anschlussvorrichtung treten. Die Abstützvorrichtung bringt – in axialer
Richtung – die
Andruckkraft auf, mit der der Prüfling
beaufschlagt wird, um die erwähnten Kontaktierungen
herbeizuführen.
Gleichzeitig wird durch die Abstützung
der oftmals flächig
ausgebildeten Anschlussvorrichtung an der Abstützvorrichtung einem Durchbiegen
der Anschlussvorrichtung aufgrund von Reaktionskräften durch
die Kontaktierung des Prüflings
entgegengewirkt. Dennoch ist aufgrund von Fertigungstoleranzen und äußeren Bedingungen nicht
sichergestellt, dass die Kontaktstifte der Kontaktstiftanordnung
mit etwa gleichem Anpressdruck den Prüfling kontaktieren. Schon eine
geringe Abweichung von der Planarität eines Bauteils, kann dazu führen, dass
ein bestimmter Anteil der Kontaktstifte frühzeitig beim Absenken den Prüfling kontaktiert und
bei der Prüfung
auch mit stärkerem
Kontaktdruck als andere Kontaktstifte an den Prüfling angepresst werden. Schlimmstenfalls
kann es bei der bekannten Prüfeinrichtung
vorkommen, dass bestimmte Kontaktstifte keinen Kontakt zum Prüfling erhalten,
obwohl andere Kontaktstifte mit gewünschtem Kontakt druck gegen
den Prüfling
anliegen. Geringfügige
Abweichungen gleichen die Kontaktstifte von sich aus aus, da sie
bevorzugt als Knickdrähte
ausgebildet sind, die beim Kontaktieren in Längsrichtung beaufschlagt werden
und hierdurch leicht bogenförmig elastisch
durchbiegen. Dieser Ausgleich ist jedoch nicht immer ausreichend.
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Aus
der
WO 2004/001807
A2 ist eine Prüfeinrichtung
bekannt, die gemäß der
72 und
73 Stellmittel
aufweist, um Bauteile der Prüfeinrichtung relativ
zueinander zu verkippen. Die Stellmittel durchgreifen mit Spiel Öffnungen
einer Anschlussvorrichtung, so dass letztere nicht beeinflusst wird
und liegen an der äußeren Peripherie
der Prüfeinrichtung. Im
zentralen Bereich der Prüfeinrichtung
sind elektrische Bauteile angeordnet.
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Aus
der
EP 0 180 013 A1 geht
eine Prüfeinrichtung
zur elektrischen Prüfung
eines Prüflings
hervor, die keine Stellmittel zur Ausrichtung einzelner Baugruppen
aufweist.
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Der
Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine elektrische Prüfeinrichtung
der eingangs genannten Art zu schaffen, die stets eine sichere Kontaktierung
des Prüflings
gewährleistet.
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Diese
Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch
gelöst,
dass zwischen Abstützvorrichtung
und Anschlussvorrichtung im zentralen Bereich mehrere Zugmittel
und/oder Druckmittel zur Einstellung der Planarität oder einer
gewünschten
Abweichung von der Planarität
der Anordnung der Kontaktflächen
angeordnet sind. Durch Einstellung der Zugmittel und/oder Druckmittel
wirkt die Abstützvorrichtung derart
auf die Anschlussvorrichtung, dass letztere sich so vorzugsweise
elastisch verformt, dass die verteilt angeordneten Kontaktflächen entsprechend weit
in axialer Richtung der Prüfeinrichtung,
vorzugs weise in vertikaler Richtung, verlagert werden und auf diese
Art und Weise beispielsweise die Planarität der Anordnung der Kontaktflächen erzielt
werden kann. Dies ist dann geboten, wenn der Prüfling einwandfrei planar ausgebildet
ist und auch ansonsten keine Bauteile der Prüfeinrichtung durch Fertigungstoleranzen
oder äußere Einflüsse Abweichungen
aufweist, sondern lediglich die Anschlussvorrichtung keine einwandfreie
Planarität
aufweist, die dann jedoch erfindungsgemäß hergestellt wird. Nach einem anderen
Anwendungsfall kann jedoch auch vorgesehen sein, dass beispielsweise
der als Wafer ausgebildete Prüfling
keine einwandfreie Planarität
aufweist und es demzufolge zu unterschiedlichen Kontaktierungsdrücken bei
den Kontaktelementen, bis hin zu Fehlkontakten kommt. Mittels der
entsprechend einzustellenden Zugmittel und/oder Druckmittel lässt sich
Abhilfe schaffen, indem die Anordnung der Kontaktflächen der
Anschlussvorrichtung derart hinsichtlich der Ebenheit oder einer
bewusst gewünschten Nichtebenheit
eingestellt wird, um den erwähnten Abweichungen
entgegenzuwirken. Die Zugmittel und/oder Druckmittel gestatten es
ferner, eine Anpassung an die jeweilige Kontaktierungsaufgabe vorzunehmen,
die erforderlich ist, wenn die Prüfeinrichtung mit unterschiedlich
großen
Kontaktierungskräften
arbeiten muss. Liegen beispielsweise Prüflinge mit nur wenigen Prüfpunkten
vor, so werden nur wenige Kontaktstifte benötigt und es ist nur eine dementsprechend
geringe Kontaktkraft für
die Prüfung aufzubringen.
Besitzt ein Prüfling
sehr viele Kontaktpunkte, so dass sehr viele Kontaktstifte zum Einsatz kommen,
so muss eine wesentlich größere Kontaktkraft
aufgebracht werden, damit pro Stift die gleiche Kontaktierungs-Einzelkraft
wirkt. Dementsprechend stärker
wird die Anschlussvorrichtung belastet und kann daher eher aufgrund
von Reaktionskräften
verformt werden, was wiederum zu einer Verlagerung entsprechender
Kontaktflächen
führt.
Durch die erwähnten
Zugmittel und/oder Druckmittel lässt
sich eine Voreinstellung der Planarität oder Nichtplanarität der Anschlussvorrichtung
bewirken, die insbesondere – wie
erwähnt – flächig ausgebildet
ist, beispielsweise von einer Leiterplatte gebildet wird. Dieser
zentrale Bereich dient der Aufnahme der stiftförmigen Kontaktelemente (Kontaktstifte)
und stellt damit den Prüfbereich
dar. Befinden sich die Zugmittel und/oder Druckmittel in diesem
Bereich, so lässt
sich dieser entsprechend axial ausrichten beziehungsweise deformieren,
um die gewünschte
Planarität
oder Nichtplanarität
herzustellen.
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Ferner
ist es vorteilhaft, wenn die Zugmittel und/oder Druckmittel Temperaturausdehnungen
der Anschlussvorrichtung in einer Ebene zulassen, die parallel zur
Prüfebene
verläuft.
Da bei der Prüfung unterschiedliche
Raumtemperaturen vorliegen können
und/oder vorzugsweise die Prüfung
auch bei unterschiedlichen Prüflingstemperaturen
durchgeführt wird,
um die Funktion des Prüflings
auch innerhalb eines bestimmten Temperaturbereichs prüfen zu können, treten
thermisch bedingte Längenänderungen der
einzelnen Bauelemente, insbesondere in Ebenen parallel zur Prüfebene auf.
Diese Längenänderungen sind
unvermeidbar und werden dann von den Zugund/oder Druckmitteln nicht
behindert, wenn diese innerhalb der erwähnten Ebenen Änderungen
zulassen. Dies ist insbesondere dann gegeben, wenn die Zugmittel
und/oder Druckmittel als Pendelzugmittel und/oder Pendeldruckmittel
ausgestaltet sind. In Längserstreckung
der Zugmittel und/oder Druckmittel besteht mechanische Starrheit,
um die erwünschten
Zugkräfte
und/oder Druckkräfte
aufzubringen, quer zu dieser Längserstreckung
ist jedoch eine entsprechende Verlagerung durch Pendelung möglich, wodurch
die erwähnten
Längenausdehnungen
nicht behindert werden. Hierbei ist anzu merken, dass Prüfungen von
Wafern beispielsweise im Temperaturbereich von –40°C bis +150°C durchgeführt werden.
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Nach
einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Zugmittel
und/oder Druckmittel verteilt, bevorzugt matrixartig verteilt, im
zentralen Bereich der Prüfeinrichtung,
insbesondere im Grundflächenbereich
der Kontaktstiftanordnung, vorgesehen sind.
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Es
ist vorteilhaft, wenn die Zugmittel und/oder Druckmittel Gewindestifte
aufweisen, die zur Aufbringung von Zugkräften und/oder Druckkräften mit
Stellmuttern zusammenwirken. Eine Verstellung einer Stellmutter
auf dem zugehörigen
Gewindestift führt
in der einen Drehrichtung der Stellmutter zum Aufbringen von Druckkräften und
in der anderen Drehrichtung der Stellmutter zum Erzeugen von Zugkräften. Hierbei
ist die Größe der Druckkräfte und
die Größe der Zugkräfte ferner
durch entsprechend weites Verdrehen der Stellmutter variierbar,
so dass eine individuelle, stufenlose Einstellung möglich ist.
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Ferner
ist es vorteilhaft, wenn die einen Enden der Gewindestifte an der
Anschlussvorrichtung befestigt sind und sich die Stellmuttern an
der Abstützvorrichtung
abstützen.
Die Stellmuttern bleiben dann von außen her zugänglich und können bei
der Kalibrierung der Prüfeinrichtung
entsprechend einfach verstellt werden.
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Insbesondere
sind die der Anschlussvorrichtung zugeordneten Enden der Gewindestifte
mit Köpfen
versehen, die von an der Anschlussvorrichtung befestigten Haltesockeln
aufgenommen sind. Die Aufnahme der Köpfe in den Haltesockeln erfolgt
pendelnd, so dass die auftretenden Temperaturlängenänderungen nicht behindert werden.
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Die
Gewindestifte liegen vorzugsweise in Durchgangsöffnungen der Abstützvorrichtung
ein oder durchragen diese Durchgangsöffnungen. Dabei sind die Durchgangsöffnungen
bevorzugt als Stufenbohrungen mit jeweils einem Bohrungsabschnitt
mit kleinerem und einem Bohrungsabschnitt mit größerem Durchmesser ausgebildet,
wobei in den Bohrungsabschnitten mit größerem Durchmesser, die an der
Außenseite
der Abstützvorrichtung
liegen, die Stellmuttern einliegen und sich einerseits an den Stufen
der Stufenbohrungen und andererseits an Verschlussstücken in
den im Durchmesser größeren Bohrungsabschnitten
abstützen.
Hierdurch ist es durch ein Verdrehen der Stellmuttern möglich, von der
Abstützvorrichtung
ausgehende Druckkräfte
oder Zugkräfte
mittels der einzelnen Gewindestiftanordnungen auf die Anschlussvorrichtung
auszuüben.
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Die
Verschlussstücke
können
bevorzugt als Klemmstücke
für die
Stellmuttern ausgebildet sein. Hierdurch lässt sich eine in eine ge wünschte Drehposition
eingestellte Stellmutter durch Klemmung arretieren, um ein nicht
beabsichtigtes Verstellen zu verhindern.
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Schließlich ist
es vorteilhaft, wenn die Verschlussstücke Ringschrauben sind, die
mit Außengewinden
in Innengewinde der im Durchmesser größeren Bohrungsabschnitte eingeschraubt
sind. Eine Drehung einer derartigen Ringschraube führt zu ihrer axialen
Verlagerung, mit der Folge, dass die zugeordnete Stellmutter klemmend
beaufschlagt und dadurch gesichert oder freigegeben wird.
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Die
Zeichnungen veranschaulichen die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels
und zwar zeigt:
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1 eine
schematische Querschnittsansicht einer Prüfeinrichtung und
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2 eine
vergrößerte Darstellung
eines Bereichs der Prüfeinrichtung
der 1.
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Die 1 zeigt
in schematischer Darstellung den Querschnitt durch eine elektrische
Prüfeinrichtung 1,
die zur Kontaktierung eines nicht dargestellten Prüflings mittels
einer nicht dargestellten elektrischen Kabelverbindung an ein nicht
dargestelltes Prüfsystem
angeschlossen werden kann, um den Prüfling einer elektrischen Prüfung zu
unterziehen. Der Prüfling,
der als Wafer ausgebildet sein kann, befindet sich in der Prüfebene 2,
die in 1 als gestrichelte Linie dargestellt ist. Zur
Kontaktierung entsprechender Anschlussstellen des Prüflings dient
die erwähnte
Prüfeinrichtung 1,
die auch Vertikal-Prüfkante 3 genannt
wird. Die Prüfeinrichtung 1 weist
einen Kontaktkopf 4, eine Anschlussvorrichtung 5 und eine
Abstützvorrichtung 6 auf.
Die Anschlussvorrichtung 5 wird von der Abstützvorrichtung 6 abgestützt. Der
Kontaktkopf 4 ist mit einer Vielzahl von längsverschieblich
gelagerten Kontaktelementen 7 versehen, die mit ihren einen
Endbereichen dem nicht dargestellten Prüfling und mit ihren anderen
Endbereichen der Anschlussvorrichtung 5 zugeordnet sind.
Die Anschlussvorrichtung 5 ist als mehrlagige Leiterplatte 8 mit
Leiterbahnen 9 ausgebildet, wobei die Leiterbahnen 9 an
ihren dem Kontaktkopf 4 zugeordneten Enden Kontaktflächen 10 und
an ihren radial außen
liegenden Enden elektrische Anschlussflächen 11 besitzen,
wobei letztere über
die erwähnten,
nicht dargestellten Kabelverbindungen mit dem Prüfsystem verbindbar sind. Die
Anordnung ist derart getroffen, dass die Anschlussvorrichtung 5 eine
Umsetzvorrichtung bildet, d. h., der sehr enge Abstand der winzig kleinen
Kontaktflächen 10 wird über die
Leiterbahnen 9 in größere Abstände der
Anschlussflächen 11 umgesetzt.
Auch haben die Anschlussflächen 11 jeweils eine
Größe, um die
erwähnten
Kabelverbindungen herstellen zu können.
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Bei
der Prüfung
des Prüflings
bewegt sich die Abstützvorrichtung 6 in
axialer Richtung (Pfeil 12) auf den sich in der Prüfebene 2 befindlichen
Prüfling zu,
so dass die Stirnenden der Kontaktelemente 7 einerseits
auf den Prüfling
und andererseits auf die Kontaktflächen 10 auftreffen.
Da die Kontaktelemente 7 als Knickdrähte 13 ausgebildet
sind, also in axialer Richtung durch Durchbiegung leicht federnd ausgestaltet
sind, ist eine einwandfreie Kontaktierung des Prüflings dann möglich, wenn
die einzelnen Bauteile der Prüfeinrichtung 1 und
auch der Prüfling jeweils
eine hinreichende Planarität
aufweisen. Probleme treten dann auf, wenn sich die der Anschlussvorrichtung 5 zugeordneten
Stirnenden der Knickdrähte 13 alle
in einer Ebene befinden, die zugeordneten Kontaktflächen 10 der
Anschlussvorrichtung 5 jedoch aufgrund einer zum Beispiel
konvexen Durchbiegung der Leiterplatte 8 keine planare
Anordnung aufweisen. Um Einfluss auf die Planarität oder eine gewollte
Nichtplanarität
der Anschlussvorrichtung 5 nehmen zu können, sind zwischen Abstützvorrichtung 6 und
Anschlussvorrichtung 5 die Zug- und Druckmittel 14 angeordnet.
Es ist eine Vielzahl von Zug- und Druckmitteln 14 vorgesehen,
die matrixartig im zentralen Bereich 15 der Prüfeinrichtung 1 angeordnet
sind. Hierbei wird insbesondere der Grundflächenbereich 16 der
Kontaktstiftanordnung 17 des Kontaktkopfs 4 mit
Zug- und Druckmitteln 14 versehen. Die vergrößerte Darstellung
der 2 zeigt, dass jedes Zug- und Druckmittel 14 einen
Gewindestift 18 mit Kopf 19 aufweist, wobei auf
den Gewindestift 18 eine Stellmutter 20 aufgeschraubt
ist. Auf der Oberseite 21 der Leiterplatte 8 sind
Haltesockel 22 vorzugsweise durch Verkleben befestigt,
die im Querschnitt C-Profilformen 23 aufweisen und die Köpfe 19 der
Zug- und Druckmittel 14 aufnehmen. Erfolgt die Aufnahme
des jeweiligen Kopfs 19 in der C-Profilform 23 mit
einem gewissen Spiel, so stellt das Zug- und Druckmittel 14 ein
Pendelzugmittel beziehungsweise Pendeldruckmittel 24 dar.
Alternativ ist es jedoch auch möglich,
den Kopf in die C-Profilform 23 einzukleben, wobei ein
Pendelausgleich durch Verbiegen des Zug- und Druckmittels 14 möglich ist.
Der freie Endbereich 25 des jeweiligen Gewindestifts 18 ragt
in eine Durchgangsöffnung 26 der Abstützvorrichtung 6.
Zur Aufnahme der Haltesockel 22 und Abschnitte der Gewindestifte 18 ist
die Abstützvorrichtung 6 auf
ihrer der Anschlussvorrichtung 5 zugewandeten Seite mit
einer Höhlung 27 (1) versehen.
Die 2 verdeutlicht, dass jede Durchgangsöffnung 26 als
Stufenbohrung 28 ausgestaltet ist, d. h., sie weist einen
im Durchmesser kleineren Bohrungsabschnitt 29 auf, der
der Anschlussvorrichtung 5 zugeordnet ist und besitzt einen
bis zur Außenseite 30 der Abstützvorrichtung 6 führenden,
im Durchmesser größeren Bohrungsabschnitt 31.
Hierdurch wird eine Ringstufe 32 ausgebildet.
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Die
Stellmutter 20 ist mit ihrem Innengewinde 33 auf
das Ende 25 des Gewindestiftes 18 aufgeschraubt
und besitzt einen zentralen, im Durchmesser kleineren Bereich 34 und
damit einstückig
einen im Durchmesser größeren äußeren Ringflansch 35. Der
Ringflansch 35 stützt
sich mit seiner Unterseite an der Ringstufe 32 ab.
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Innerhalb
des Bohrungsabschnitts 31 ist ein Verschlussstück 36 angeordnet,
das klemmend auf den Ringflansch 35 der Stellmutter 20 aufliegen kann,
so dass die Drehstellung der Stellmutter 20 zwischen der
Ringstufe 32 und dem Verschlussstück 36 fixiert werden
kann. Das Verschlussstück 36 bildet somit
ein Klemmstück 37 und
ist als Ringschraube 38 ausgebildet, die an ihrem Außendurchmesser
ein Außengewinde 39 aufweist,
das mit einem Innengewinde 40 des Bohrungsabschnitts 31 kämmt. Die
Anordnung ist ferner derart getroffen, dass eine zentrale Öffnung 41 der
Ringschraube 38 den im Durchmesser kleineren Bereich 34 der
Stellmutter 20 aufnimmt.
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Es
ergibt sich folgende Funktion: Bei einer Kalibrierung der Prüfeinrichtung 1 wird
diese auf einen sich in der Prüfebene 2 befindlichen
Prüfling
abgesenkt, so dass die Knickdrähte 13 einerseits
Kontakt zum Prüfling
und andererseits über
die Kontaktflächen 10,
Leiterbahnen 9 und Anschlussflächen 11 sowie die
nicht dargestellten Kabelverbindungen elektrischen Kontakt mit dem
nicht dargestellten Prüfsystem
bekommen. Während
des Absenkvorganges wird an einem Monitor des Prüfsystems dargestellt, in welchem
Absenkzustand welche Kontaktelemente 7 Kontakt mit dem
Prüfling
erhalten. Ergibt sich beispielsweise, dass die in der 1 rechtsseitig
lie genden Kontaktelemente 7 vorzeitig und mit größerem Kontaktdruck
auf den Prüfling
aufliegen als die linksseitig liegenden Kontaktelemente 7,
was durch einen entsprechenden Bildaufbau am Monitor des Prüfsystems
deutlich wird, so lässt
sich mittels der Zug- und Druckmittel 14 eine gewünschte Korrektur
vornehmen. Diese kann darin bestehen, dass die rechtsseitig liegenden
Zug- und Druckmittel 14 einen verstärkten Zug und/oder die linksseitig
liegenden Zug- und Druckmittel 14 einen verstärkten Druck
von der Abstützvorrichtung 6 auf
die Leiterplatte 8 ausüben,
so dass sich diese geringfügig
elastisch verformt und demzufolge die Kontaktflächen 10 eine entsprechende
axiale Höhenverlagerung
erfahren.
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Druckkräfte können dadurch
aufgebracht werden, dass – bei
Rechtsgewinde des Gewindestifts 18 und Lösen der
Ringschraube 38 – die
Stellmutter 20 durch Linksdrehung etwas weiter weg von
ihrem Kopf 19 verlagert und dann durch Festziehen der Ringschraube 38 der
Ringflansch 35 zwischen Ringschraube 38 und Ringstufe 32 eingeklemmt
wird. Andererseits ist das Aufbringen einer Zugkraft dadurch möglich, dass – nach Lösen der
Ringschraube 38 – die
Stellmutter 20 im Uhrzeigersinn (Rechtsdrehung) gedreht
wird, wobei sie sich auf der Ringstufe 20 abstützt und
demzufolge die Zugkraft über
die C-Profilform 23 des
Haltesockels 22 auf die Leiterplatte 8 überträgt. Anschließend wird
die Ringschraube 38 wieder festgezogen, um den Ringflansch 35 der
Stellmutter 20 zu ihrer Festlegung einzuklemmen. Auf diese
Art und Weise kann an entsprechend vielen Stellen, nämlich je
Zug- und Druckmittel 14, eine Einstellung der Planarität beziehungsweise
Nichtplanarität
der Anschlussvorrichtung 5 und somit der Anordnung ihrer
Kontaktflächen 10 vorgenommen
werden.
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Aus
der 2 ist ersichtlich, dass der Bohrungsabschnitt 29 im
Durchmesser größer als
der Durchmesser des Gewindestiftes 18 ausgebildet ist, so
dass auch hier eine gewisse Pendelauslenkung des Gewindestiftes 18 erfolgen
kann, sofern es zu Temperaturausdehnungen der Bauteile kommt, die
in einer Ebene liegen, die parallel zur Prüfebene 2 verläuft.
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Um
die erwähnten
Drehverstellungen von Stellmutter 20 und/oder Ringschraube 38 vornehmen zu
können,
weisen diese beiden Bauelemente auf ihrer Oberseite einen Werkzeugeingriffsschlitz
auf, so dass jeweils mit einem gabelförmigen Schraubendrehwerkzeug
eine Verstellung problemlos möglich ist.
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Mittels
der Erfindung ist es möglich,
die vertikale, also axiale Position der Anschlussvorrichtung 5, insbesondere
der Leiterplatte 8, an verschiedenen Punkten zu justieren
und zu fixieren, so dass eine optimale Kontaktierung des Prüflings möglich wird.