DE102004036316A1 - Schutzring für ein Detektorarray zur direkten Photo-Elektronenumwandlung - Google Patents
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 title claims abstract description 30
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 10
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 2
- 238000002059 diagnostic imaging Methods 0.000 description 7
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 6
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 6
- 238000003491 array Methods 0.000 description 5
- 238000002591 computed tomography Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 229910004611 CdZnTe Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000013170 computed tomography imaging Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 229910004613 CdTe Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000003292 diminished effect Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000009607 mammography Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000036316 preload Effects 0.000 description 1
- 210000000779 thoracic wall Anatomy 0.000 description 1
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B6/00—Apparatus for radiation diagnosis, e.g. combined with radiation therapy equipment
- A61B6/02—Devices for diagnosis sequentially in different planes; Stereoscopic radiation diagnosis
- A61B6/03—Computerised tomographs
- A61B6/032—Transmission computed tomography [CT]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/24—Measuring radiation intensity with semiconductor detectors
- G01T1/241—Electrode arrangements, e.g. continuous or parallel strips or the like
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14603—Special geometry or disposition of pixel-elements, address-lines or gate-electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14643—Photodiode arrays; MOS imagers
- H01L27/14658—X-ray, gamma-ray or corpuscular radiation imagers
- H01L27/14659—Direct radiation imagers structures
Abstract
Es ist eine Vorrichtung zur Verwendung bei einem bildgebenden System geschaffen, die ein Direktumwandlungsdetektorelement aufweist, das so beschaffen ist, dass es Röntgenstrahlphotonen in elektrischen Strom umsetzt. Das Direktumwandlungsdetektorelement weist eine Katodenoberfläche, eine Anodenoberfläche mit einer Anzahl Anodenseitenrändern und eine Anzahl Detektorseitenoberflächen auf, die die Katodenoberfläche mit der Anodenoberfläche verbinden. Die mehreren Detektorseitenoberflächen haben jeweils eine Detektortiefe. Die Vorrichtung weist außerdem eine auf der Anodenoberfläche angeordnete Pixelarrayanordnung auf. Die Pixelarrayanordnung verfügt über mehrere Pixelseitenränder. Jeder dieser mehreren Pixelseitenränder grenzt unmittelbar an einen der Anodenseitenränder an. Ein Schutzring ist rings um die mehreren Detektorseitenoberflächen gelegt. Der Schutzring weist einen oberen Ringrand und einen unteren Ringrand und eine eine Ringhöhe beinhaltende äußere Ringfläche auf.
Description
- Technisches Gebiet
- Die vorliegende Erfindung bezieht sich allgemein auf Detektorelemente zur Verwendung bei der medizinischen Bildgebung und insbesondere auf Direktumwandlungs-Detektorarrays zur Verwendung bei der medizinischen Bildgebung.
- Hintergrund der Erfindung
- Direktumwandlungsdetektoren und -detektorarrays werden bei der medizinischen Bildgebung dazu verwendet, Röntgenstrahlphotonen direkt in elektrische Ladungen umzuwandeln. Sie bestehen typischerweise aus einer unmittelbar auf der Oberseite des Ladungskollektors gewachsenen Röntgenlichtleiterschicht und einer Ableseschicht (wie etwa Raumtemperaturhalbleitern). Die Detektoren werden üblicherweise in Arrays mehrerer Detektoren (oder Kacheln) so eingesetzt, dass ein vergrößertes Bildformat mit verbesserter Auflösung erzeugt werden kann.
- Das Betriebsverhalten der Detektoren insbesondere der umfangsseitigen Detektorelemente kann für viele Bildgebungsanwendungen wesentlich sein. Die Linearität, Gleichmäßigkeit, Stabilität und Formbeständigkeit kann insbesondere bei den umfangsseitigen Detektoren wichtig sein. Bei vielen Anwendungen, wie bei dem toten Raum in der Brustwand bei der Mammographie, können die Anforderungen an die Bildgebung sehr stringent sein. Bei gekachelten bildgeben den Detektoren, die mit Raumtemperaturhalbleitern aufgebaut sind, können die Ränder jeder Kachel eine signifikante Ungleichmäßigkeit oder sichtbare Artefakte hervorrufen. Es ist bekannt, dass dies von dem wesentlich höheren Leckstrom und dem verzerrten elektrischen Feld nahe der Ränder herrührt. Derartige Artefakte rings um die Ränder der Kacheln können sehr unerwünscht sein. Es wird angenommen, dass diese Artefakte von der verminderten Funktionsfähigkeit der Randpixel herrühren. Solche Artefakte schließen die Implementierung derartiger Detektoren und Detektorarrays bei medizinischen Bildgebungsanwendungen aus, bei denen Linienartefakte unzulässig sind.
- Es ist bekannt, dass ein Schutzring dazu verwendet werden kann, das Verhalten der peripheren Pixel zu verbessern. Bekannte Konfigurationen erzeugen den Schutzring auf der gleichen Oberfläche der Pixel tragenden Seite des Detektors und legen das gleiche Potential wie in dessen Nachbarschaft, d.h. Erdpotential an. Dadurch wird die elektrische Feldverzerrung bei den randseitigen Pixeln, abhängig von der Größe des Schutzrings verringert oder eliminiert. Außerdem wird der Seitenwandleckstrom von dem Schutzring aufgenommen und hat somit keinen Einfluss auf die randständigen Pixel. Solche koplanare Schutzringe erzeugen, aber innerhalb einer Abmessung der Schutzringgeometrie einen inaktiven Ortsbereich. Dies ist bei gekachelten Detektorberandungen oder bei Detektorrändern, die eine sehr beschränkte Toleranz für einen unwirksamen Raum aufweisen können, unzweckmäßig. Demgemäß können vorhandene Schutzringkonstruktionen auch für medizinische Bildgebungsanwendungen ungeeignet sein, bei denen von dem unwirksamen Raum herrührende Linienartefakte unzulässig sind.
- Es wäre deshalb in hohem Maße wünschenswert, einen Direktumwandlungsdetektor mit verbesserten Funktionseigen schaften der randseitigen Pixel zu schaffen. Außerdem besteht ein starkes Bedürfnis nach einem Direktumwandlungsdetektorarray mit verringerten Artefakten und weniger unerwünschten Eigenschaften, die von einem inaktiven Raum herrühren.
- Zusammenfassung der Erfindung
- Es wird eine Vorrichtung zur Verwendung in einem Bildgebungssystem geschaffen, das ein Direktumwandlungsdetektorelement aufweist, das dazu ausgelegt ist Röntgenstrahlphotonen in elektrischen Strom umzuwandeln. Das Direktumwandlungsdetektorelement weist eine Katodenoberfläche, eine Anodenoberfläche mit einer Anzahl Anodenseitenrändern und eine Anzahl Detektorseitenoberflächen auf, die die Katodenoberfläche mit der Anodenoberfläche verbinden. Die mehreren Detektorseitenoberflächen weisen jeweils eine Detektortiefe aus. Die Vorrichtung beinhaltet außerdem eine auf der Anodenoberfläche angeordnete Pixelarrayanordnung. Die Pixelarrayanordnung weist eine Anzahl Pixelseitenränder auf. Jeder dieser mehreren Pixelseitenränder liegt unmittelbar neben einem der Anodenseitenränder. Rings um die mehreren Detektorseitenflächen ist ein Schutzring herumgelegt. Der Schutzring weist einen oberen Ringrand, einen unteren Ringrand und eine Ringaußenoberfläche auf, die eine Schutzringhöhe beinhaltet.
- Andere Merkmale der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der detaillierten Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform mit den beigefügten Zeichnungen und den sich anschließenden Patentansprüchen.
- Kurze Beschreibung der Zeichnung
-
1 ist eine perspektivische Veranschaulichung eines medizinischen Bildgebungssystems gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; -
2 ist eine Darstellung des in1 veranschaulichten medizinischen Bildgebungssystems; -
3 ist eine perspektivische Darstellung eines erfindungsgemäßen Detektorarrays; -
4 ist eine detaillierte Veranschaulichung des in4 dargestellten Direktumwandlungsdetektorarrays, wobei das Detail die Detektorgeometrie und die elektrische Feld-/Potentialverteilung veranschaulicht: -
6A ist eine graphische Darstellung einer simulierten elektrischen Potentialverteilung bei einer Null Volt Vorspannung; und -
6B ist eine graphische Darstellung einer simulierten elektrischen Potentialverteilung bei einer 20V Vorspannung. - Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform(en) Es sei zunächst auf
1 Bezug genommen, die eine Veranschaulichung eines Computertomographie (CT-)Bildgebungssystems10 zur Verwendung mit einer erfindungsgemäßen Detektoranordnung18 ist. - Wenngleich hier ein spezielles CT-Bildgebungssystem
10 veranschaulicht ist, so ist doch darauf hinzuweisen, dass die erfindungsgemäße Detektoranordnung18 bei einer großen Vielfalt von Bildgebungssystemen eingesetzt werden kann. Das CT-Bildgebungssystem beinhaltet eine als Gantryein richtung dargestellte Scanner-Anordnung12 . Die Scanneranordnung12 weist eine Röntgenstrahlquelle14 zur Projektion eines Röntgenstrahls16 auf eine der Röntgenstrahlquelle14 gegenüberliegende Detektoranordnung18 auf. Die Detektoranordnung18 beinhaltet ein Direktumwandlungsdetektorarray19 , das aus einer Anzahl Direktumwandlungselementen20 (vgl.3 ) besteht, die dazu zusammenwirken, die durch ein Objekt, wie etwa einen medizinischen Patienten22 , durchgehenden projizierten Röntgenstrahlphotonen16 zu erfassen. Jedes der mehreren Direktumwandlungsdetektorelemente20 erzeugt ein elektrischen Signal, das die Intensität eines auftreffenden Röntgenstrahls und damit die Schwächung des Strahls16 beim Durchgang durch das Objekt oder den Patienten22 wiedergibt. Üblicherweise wird die Scanner-Anordnung12 während eines Scans zum Akquirieren von Röntgenprojektionsdaten um einen Rotationsmittelpunkt24 in Umlauf versetzt. Die Direktumwandlungsdetektorelemente20 sind vorzugsweise in einem Detektorarray19 angeordnet, so dass während eines Scans einer Anzahl paralleler Schichten entsprechende Projektionsdaten gleichzeitig akquiriert werden können. - Die Umlaufbewegung der Scanner-Anordnung
12 und die Betriebsweise der Röntgenstrahlquelle14 sind vorzugsweise durch einen Steuermechanismus26 gesteuert. Der Steuermechanismus26 beinhaltet mit Vorzug eine Röntgenstrahlsteuereinrichtung29 , die der Röntgenstrahlquelle14 Leistung und Taktsignale zuführt und eine Scannermotorsteuereinrichtung30 , die die Umlaufgeschwindigkeit und die jeweilige Stellung der Scanneranordnung12 steuert. Ein Datenakquisitionssystem (DAS)32 in dem Steuermechanismus26 sampled Analogdaten von den Direktumwandlungsdetektorelementen20 und konvertiert die Daten in Digitalsignale zur nachfolgenden Verarbeitung. Eine Bildrekonstruktionseinrichtung34 empfängt von dem DAS32 gesampelte und digitalisierte Röntgendaten und führt eine Hochgeschwindigkeitsbildrekonstruktion durch. Das rekonstruierte Bild wird als Eingabegröße in einen Computer36 eingegeben, der das Bild in einer Massenspeichervorrichtung38 abspeichert. - Der Computer
36 kann außerdem Befehle und Scanparameter von einem Bediener über eine Konsole40 empfangen, die eine Tastatur oder eine ähnliche Eingabevorrichtung aufweist. Ein zugeordnetes Display42 gestattet es dem Bediener das rekonstruierte Bild und andere Daten von dem Computer36 zu betrachten. Die von dem Bediener eingegebenen Befehle und Parameter werden von dem Computer36 auch dazu verwendet, dem DAS32 , der Röntgensteuereinrichtung28 und der Scannermotorsteuereinrichtung30 Steuersignale und Informationen zuzuführen. Außerdem steuert der Computer36 eine Liegenmotor-Steuereinrichtung44 an, die eine motorisch verstellbare Liege46 in dem Sinne steuert, dass der Patient22 in der Scanner-Anordnung12 jeweils ordnungsgemäß positioniert ist. Die Liege46 bewegt speziell Teile des Patienten22 durch die Scanneröffnung48 durch. - Ein Detail eines der Direktumwandlungsdetektorelemente
20 des Detektorarrays19 ist in4 veranschaulicht. Das Direktumwandlungsdetektorelement20 ist vorzugsweise ein Halbleitermaterial (wie CdTe/CdZnTe) mit einer Katodenoberfläche50 , einer Anodenoberfläche52 und einer Anzahl Detektorseitenoberflächen54 . Die Katodenoberfläche50 und die Anodenoberfläche52 sind mit einem metallischen Material56 beschichtet, so dass sie als Elektroden wirken. Auf die Anodenoberfläche52 ist eine Pixelarrayanordnung58 aufgebracht. Die Elektrodenoberflächen50 ,52 sind mit verschiedenen Spannungen vorgespannt, um ein elektrisches Feld über das Direktumwandlungsdetektorelement20 zu erzeugen. Ist eine negative Hochspannung an die Katodenoberflä che50 angelegt und die Pixelarrayanordnung58 auf der Anodenoberfläche52 mit Masse oder einer virtuellen Masse verbunden, so können elektrische Signale, die von der Bewegung von Elektronen herrühren, die in dem Direktumwandlungsdetektorelement20 durch die Röntgenstrahlphotonen16 erzeugt werden, erfasst/beobachtet werden. Mittels verschiedener elektrischer Feldspannungen, die an die Anodenoberfläche52 und die Katodenoberfläche50 angelegt sind, können Löcher erfasst/beobachtet werden. Die Pixelarrayanordnung58 weist eine Anzahl Pixelränder (pixel edges)60 auf. Die Pixelseitenränder60 grenzen vorzugsweise unmittelbar an die Anodenseitenkanten62 an, so dass der tote Raum in dem Detektorarray19 minimiert ist. - Die Erfindung beinhaltet außerdem einen Schutzring
64 , der auf die Detektorseitenoberflächen54 als Überzug oder Beschichtung aufgebracht ist. Wenngleich der Schutzring64 aus mehreren verschiedenen Materialien bestehen kann, sei für eine Ausführungsform angenommen, dass der Schutzring64 aus den gleichen Materialien wie die Elektroden50 ,52 , wie etwa Au oder Pt, besteht. Der Schutzring64 ist dort, wo er aufliegt mit den Detektorseitenoberflächen54 elektrisch verbunden. Der Schutzring64 weist eine Schutzringhöhe66 auf, die kleiner ist als die Detektortiefe68 . Der Schutzring64 kann an verschiedenen Stellen längs der Detektortiefe68 positioniert sein, um die Funktionsweise der randseitigen Pixel70 zu optimieren. Die Schutzringhöhe66 ist zwischen einem oberen Ringrand72 und einem unteren Ringrand74 definiert. Bei einer Ausführungsform liegen der obere Ringrand72 und der untere Ringrand74 näher bei der Anodenoberfläche52 als bei der Katodenoberfläche50 . Als Beispiel veranschaulicht5 eine Ausführungsform eines Direktumwandlungsdetektorelements20 . Das Direktumwandlungsdetektorelement20 ist ein 0,5 × 0,5 × 1 mm3 mit Pixel versehener Kristall. Der CdZnTe Kristall ist mit einem 5 × 5 Pixelarray58 mit einem Pixelrastermaß (pitch) von 100 μm hergestellt. Der Schutzring64 ist 0,1 mm von der Anodenoberfläche52 entfernt angeordnet und weist eine Schutzringhöhe von 0,01 mm auf. Die Katodenoberfläche50 ist mit –400 Volt vorgespannt und die Anodenoberfläche52 ist geerdet (0 V). Die simulierte Feld-/Potentialverteilung75 ist auf den Detektorseitenoberflächen54 veranschaulicht. - Der Schutzring
64 kann außerdem an eine Spannungsquelle76 angeschlossen sein, so dass der Schutzring64 mit einer Vorspannung beaufschlagt werden kann. Die Vorspannung kann von der Vorspannung der beiden Elektroden50 ,62 verschieden sein oder sie kann die gleiche wie die einer der Elektroden50 ,52 sein. Die Spannungsquelle76 kann dazu verwendet werden die Vorspannung so einzustellen, dass das Betriebsverhalten der peripheren Pixel70 weiter optimiert wird. Die6A ,6B sind graphische Darstellungen der Potentialverteilungen, die über Gleichpotentialumfangs(-umriss-)linien aufgetragen sind. Die Vorausberechnungen zeigen die Vorteile einer richtigen Berechnung der Vorspannung für den Schutzring64 .6A veranschaulicht eine Null-Volt-Vorspannung während6B eine –20 V Vorspannung veranschaulicht. Die höhere Vorspannung in6A zeigt Verbesserungen hinsichtlich der Gleichmäßigkeit des elektrischen Felds, aber eine Zunahme der Leckspannung zwischen dem Schutzring64 und dem peripheren Pixeln70 . Bei der 20-Volt-Vorspannung in6B ist der Leckstrom zwischen dem Schutzring64 und dem peripheren Pixeln70 verbessert. Zu bemerken ist, dass diese Vorhersageergebnisse lediglich illustrativer Natur sind und die Vorspannung des Schutzrings64 im Hinblick auf die Geometrie und die Materialeigenschaften des Direktumwandlungsdetektorelements20 optimiert werden muss. - Wenngleich spezielle Ausführungsformen der Erfindung veranschaulicht und beschrieben wurden, so ergeben sich doch für den Fachmann zahlreiche Abwandlungen und alternative Ausführungsformen. Demgemäß ist die Erfindung lediglich durch den Schutzbereich der beigefügten Patentansprüche beschränkt.
-
- 1
- Computertomographie(CT)-Bildgebungssystem
10 - 2
- Detektoranordnung
18 - 3
- Scanneranordnung
12 - 4
- Röntgenstrahlquelle
14 - 5
- Röntgenstrahl
16 - 6
- Detektoranordnung
18 - 7
- Direktumwandlungsdetektorarray
19 - 8
- Direktumwandlungsdetektorelemente
20 - 9
- medizinischer
Patient
22 - 10
- Rotationsmittelpunkt
24 - 11
- Steuermechanismus
26 - 12
- Röntgenstrahlsteuereinrichtung
29 - 13
- Scannermotorsteuereinrichtung
30 - 14
- Datenakquisitionssystem
(DAS)
32 - 15
- Bildrekonstruktionseinrichtung
- 16
- Computer
36 - 17
- Massenspeichervorrichtung
38 - 18
- Bediener über Konsole
40 - 19
- zugeordnetes
Display
42 - 20
- Liegenmotorsteuereinrichtung
44 - 21
- Motorbetätigte Liege
46 - 22
- Scanneröffnung
48 - 23
- Katodenoberfläche
50 - 24
- Anodenoberfläche
52 - 25
- mehrere
Detektorseitenoberflächen
54 - 26
- metallisches
Material
56 - 27
- Pixelarrayanordnung
58 - 28
- mehrere
Pixelseitenränder
60 - 29
- Anodenseitenränder
62 - 30
- Schutzring
64 - 31
- Schutzringhöhe
66 - 32
- Detektortiefe
68 - 33
- Randseitige
Pixel
70 - 34
- oberer
Ringrand
72 - 35
- unterer
Ringrand
74 - 36
- simulierte
Feld-/Potentialverteilung
75 - 37
- Spannungsquelle
76
Claims (9)
- Vorrichtung zur Verwendung bei einem bildgebenden System (
10 ), die aufweist: – ein Direktumwandlungsdetektorelement20 , das dazu ausgelegt ist, Röntgenstrahlphotonen (16 ) in elektrischen Strom umzuwandeln, wobei das Direktumwandlungsdetektorelement (20 ) aufweist: eine Katodenoberfläche (50 ); eine Anodenoberfläche (52 ) mit einer Anzahl Anodenseitenrändern (62 ); und eine Anzahl Detektorseitenoberflächen (54 ), die die Katodenoberfläche (50 ) mit der Anodenoberfläche (52 ) verbinden, wobei die mehreren Detektorseitenoberflächen (54 ) jeweils eine Detektortiefe (68 ) aufweisen; – eine Pixelarrayanordnung (58 ), die auf der Anodenoberfläche (52 ) angeordnet ist, wobei die Pixelarrayanordnung (58 ) eine Anzahl Pixelseitenränder (60 ) aufweist, von denen jeder der mehreren Pixelseitenränder (60 ) unmittelbar an eine der Anodenseitenränder (62 ) angrenzt; – einem Schutzring (64 ), der rings um die mehreren Detektorseitenflächen (54 ) herumgelegt ist, wobei der Schutzring (64 ) einen oberen Ringrand (72 ), einen unteren Ringrand (74 ) und eine eine Schutzringhöhe (66 ) beinhaltende Ringaußenoberfläche aufweist. - Vorrichtung nach Anspruch 1, die außerdem aufweist: – eine Spannungsquelle (
76 ), die mit dem Schutzring (64 ) in Verbindung steht, wobei die Spannungsquelle (76 ) den Schutzring (64 ) mit einer Vorspannung vorspannt. - Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der der obere Ringrand (
72 ) und der untere Ringrand (74 ) von der Katodenoberfläche50 und der Anodenoberfläche (52 ) entfernt angeordnet sind. - Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Ringaußenoberfläche mit den Pixelseitenrändern (
60 ) koplanar ist. - Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Schutzringhöhe (
66 ) 50% oder weniger der Detektortiefe beträgt. - Bildgebendes System (
10 ), das aufweist: – eine Röntgenstrahlquelle (14 ); – ein Detektorarray (19 ) mit einer Anzahl Direktumwandlungsdetektorelementen (20 ), die dazu ausgelegt sind Röntgenstrahlphotonen (16 ) in elektrischen Strom umzuwandeln, wobei jedes der mehreren Direktumwandlungsdetektorelemente (20 ) aufweist: – eine Katodenoberfläche (50 ); – eine Anodenoberfläche (52 ) mit einer Anzahl Anodenseitenrändern (62 ); und – eine Anzahl Detektorseitenoberflächen (54 ), die die Katodenoberfläche (50 ) mit der Ano denoberfläche (52 ) verbinden, wobei die mehreren Detektorseitenoberflächen (54 ) jeweils eine Detektortiefe (68 ) aufweisen; – eine Pixelarrayanordnung (58 ), die auf der Anodenoberfläche (52 ) angeordnet ist, wobei die Pixelarrayanordnung (58 ) eine Anzahl Pixelseitenränder (60 ) aufweist; – einen Schutzring (64 ), der um die mehreren Detektorseitenoberflächen (54 ) herumgelegt ist, wobei der Schutzring (64 ) einen oberen Ringrand (62 ), einen unteren Ringrand (64 ) und eine eine Schutzringhöhe (66 ) beinhaltende Ringaußenoberfläche aufweist, wobei die Ringaußenoberfläche koplanar mit den Pixelseitenrändern (60 ) angeordnet ist. - Bildgebungssystem nach Anspruch 6, bei dem der Schutzring (
64 ) auf die mehreren Detektorseitenoberflächen (54 ) so aufgebracht ist, dass der Schutzring (64 ) mit den mehreren Detektorseitenoberflächen (54 ) im Wesentlichen koplanar ist. - Verfahren zur Verbesserung der Funktionsweise von peripheren Pixelelementen (
58 ), die auf einer Anodenoberfläche (52 ) eines Direktumwandlungsdetektorelementes (20 ) angeordnet sind, wobei das Direktumwandlungsdetektorelement (20 ) eine Katodenoberfläche (50 ) und mehrere Detektorseitenoberflächen (54 ) aufweist, das beinhaltet: – Aufbringen eines Schutzrings (64 ) rings um die mehreren Detektorseitenoberflächen (54 ), wobei der Schutzring koplanar zu den peripheren Pixel elementen (70 ) aufgebracht wird. - Verfahren nach Anspruch 7, das außerdem beinhaltet: – Anlegen einer Vorspannung an den Schutzring (
64 ).
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/633,119 | 2003-08-01 | ||
US10/633,119 US6928144B2 (en) | 2003-08-01 | 2003-08-01 | Guard ring for direct photo-to-electron conversion detector array |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102004036316A1 true DE102004036316A1 (de) | 2005-02-17 |
DE102004036316B4 DE102004036316B4 (de) | 2016-08-04 |
Family
ID=34080739
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102004036316.1A Expired - Fee Related DE102004036316B4 (de) | 2003-08-01 | 2004-07-27 | Vorrichtung, System und Verfahren mit einem Schutzring für ein Detektorarray zur direkten Photo-Elektronenumwandlung |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6928144B2 (de) |
JP (1) | JP5016188B2 (de) |
CN (1) | CN100457036C (de) |
DE (1) | DE102004036316B4 (de) |
NL (1) | NL1026741C2 (de) |
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