DE102005018168B4

DE102005018168B4 - White light interferometric microscope measuring device

Info

Publication number: DE102005018168B4
Application number: DE200510018168
Authority: DE
Inventors: Peter Dr.-Ing. Lehmann; Jan Dipl.-Ing. Niehues (FH)
Original assignee: Carl Mahr Holding GmbH
Current assignee: Carl Mahr Holding GmbH
Priority date: 2005-04-19
Filing date: 2005-04-19
Publication date: 2010-02-25
Anticipated expiration: 2025-04-20
Also published as: DE102005018168A1; DE102005018168C5

Abstract

Weißlichtinterferometrie-Mikroskopmesseinrichtung (1)
mit einer Aufnahmeeinrichtung für ein Messobjekt (2),
mit einem Mikroskopmesskopf (4), der eine Weißlicht-Beleuchtungseinrichtung (7) zur Beleuchtung des Messobjekts (2) mit kurzkohärentem Licht, eine Bildaufnahmeeinrichtung (6) und ein Objektiv (5) aufweist und der eine Messebene festlegt,
mit einer Verstelleinrichtung (17) zur kontinuierlichen oder quasikontinuierlichen Verstellung der Position der Messebene in Bezug auf das Messobjekt (2), und
mit einer Sampleeinrichtung (26) zur wiederholten Aktivierung der Bildaufnahme während des Betriebs der Verstelleinrichtung (17) für jeweils eine gegebene Aktivierungszeit (Δt), so dass eine Bilderserie aufgenommen wird, wobei die Aktivierungszeit (Δt) geringer ist als der Quotient aus dem maximal zulässigen Messfehler und der Verfahrgeschwindigkeit der Verstelleinrichtung (17) und wobei die räumlichen Abstände ΔZ der Bildaufnahmen geringer als 100 nm sind.White light interferometry microscope measuring device (1)
with a receiving device for a measuring object (2),
with a microscope measuring head (4) which has a white-light illumination device (7) for illuminating the test object (2) with short-coherent light, an image recording device (6) and a lens (5) and which defines a measuring plane,
with an adjusting device (17) for the continuous or quasi-continuous adjustment of the position of the measuring plane with respect to the measuring object (2), and
with a sample device (26) for repeatedly activating the image recording during the operation of the adjusting device (17) for a given activation time (Δt), so that a series of images is taken, wherein the activation time (.DELTA.t) is less than the quotient of the maximum allowable Measuring error and the travel speed of the adjusting device (17) and wherein the spatial distances .DELTA.Z of the image recordings are less than 100 nm.

Description

Die Erfindung betrifft eine Mikroskopmesseinrichtung für die Weißlichtinterferometrie.The The invention relates to a microscope measuring device for white light interferometry.

Weißes oder farbiges, nicht monochromatisches Licht hat in der Regel Kohärenzlängen von wenigen Mikrometern. Es kann deshalb mit herkömmlichen Interferometern zu interferometrischen Messungen verwendet werden, wenn Messlichtweg und Referenzlichtweg im Rahmen der Kohärenzlänge gleich lang sind. Deshalb lässt sich ein Objekt, das in einem eng begrenzt definierten Abstand vor dem Objektiv des Weiß lichtinterferometers gehalten ist, interferometrisch abbilden. Hat das Objekt eine räumliche Ausdehnung kann eine interferometrische Aufnahme in Form einer Bilderserie durchgeführt werden, wobei zur Aufnahme jedes Bilds der Abstand zwischen dem Objektiv und dem Objekt geändert wird.White or colored, non-monochromatic light usually has coherence lengths of a few microns. It can therefore with conventional interferometers too interferometric measurements are used when measuring light path and reference light path within the coherence length are the same length. Therefore let yourself an object that is in a narrowly defined distance in front of the Objective of the white light interferometer is held, interferometrically map. Does the object have a spatial extent? can be an interferometric recording in the form of a series of pictures carried out be, wherein for taking each image, the distance between the lens and the object changed becomes.

Die Einstellung verschiedener Abstände zur Aufnahme einer Bilderserie, d. h. das Anfahren vorgegebener Positionen mit dem Interferometer oder dem Messobjekt, ist zeitaufwendig. In jedem Fall müssen Einschwingzeiten und Abklingzeiten eines entsprechenden Antriebs berücksichtigt werden, wobei diese für jedes Einzelbild zu beachten sind. Damit kommen nicht mehr tolerierbar hohe Messzeiten zustande.The Setting different distances for taking a picture series, d. H. starting predetermined Positions with the interferometer or the measurement object, is time consuming. In any case, must Settling times and decay times of a corresponding drive considered these being for every single picture have to be considered. This will not be tolerable anymore high measuring times.

Aus der DE 10 2004 026 193 A1 ist ein Messverfahren zur Vormessung bekannt, das auf einem Interferometer basiert. Das Interferometer weist einen Messkopf auf, der gegenüber der Objektoberfläche senkrecht zu dieser bewegbar ist. Diese Bewegung wird genutzt, um Interferenzbilder mit unterschiedlichen Phasenladen aufzunehmen.From the DE 10 2004 026 193 A1 is a measuring method for pre-measurement is known, which is based on an interferometer. The interferometer has a measuring head, which is movable relative to the object surface perpendicular thereto. This movement is used to record interference images with different phase charging.

Aus dem Artikel „Profilometry with a coherence scanning microscope” Byron S. Lee and Timothy C. Strand, Applied Optics, Vol. 29, Nr. 26, 10. September 1990, Seite 3784–3788, ist ein Beispiel für die scannende Weißlicht-Mikroskopie bekannt. Zur Durchführung der Mikroskopie wird eine Z-Bewegung zwischen dem Messobjekt und dem objektiv genutzt.Out the article "Profilometry with a coherence scanning microscope Byron S. Lee and Timothy C. Strand, Applied Optics, Vol. 29, No. 26, September 10, 1990, Page 3784-3788, is an example of the scanning white light microscopy known. to execution the microscopy becomes a z-motion between the object of measurement and the objectively used.

Es ist Aufgabe der Erfindung eine Mikroskopmesseinrichtung anzugeben, die auf der Weißlichtinterferometrie beruht und eine verkürzte Messzeit ermöglicht.It The object of the invention is to provide a microscope measuring device, the on the white light interferometry is based and a shortened Measuring time allows.

Diese Aufgabe wird mit der Weißlichtinterferometrie-Mikroskopmesseinrichtung nach Anspruch 1 gelöst:
Die erfindungsgemäße Mikroskopmesseinrichtung weißt einen Mikroskopmesskopf mit einer Weißlichtbeleuchtungseinrichtung einer Bildaufnahmeeinrichtung, wie beispielsweise einer Kamera und einem interferenzoptischen Objektiv, auf. Die Weißlichtbeleuchtungseinrichtung erzeugt nichtmonochromatisches, relativ breitbandiges Licht, wobei es nicht zwangsläufig „weiß” sondern auch farbig sein kann. Mit dem Begriff „Weißlicht” soll zum Ausdruck gebracht werden, dass das betreffende Licht mehrere verschiedene Wellenlängen enthält und nicht im eigentlichen Wortsinne kohärent sondern lediglich kurzkohärent ist. Die Kohärenzlänge liegt dabei im Bereich einer oder weniger Lichtwellenlängen.This object is achieved with the white-light interferometry microscope measuring device according to claim 1:
The microscope measuring device according to the invention has a microscope measuring head with a white-light illumination device of an image recording device, such as a camera and an interference-optical objective. The white light illumination device produces non-monochromatic, relatively broadband light, whereby it may not necessarily be "white" but also colored. The term "white light" is intended to express that the light in question contains several different wavelengths and is not in the literal sense coherent but only short-coherent. The coherence length is in the range of one or less wavelengths of light.

Durch die kurze Kohärenzlänge ist vor dem Objektiv eine Ebene definiert, innerhalb derer reflektierende Objektoberflächen interferenzoptisch abgebildet werden können. Diese Ebene wird als Messebene bezeichnet. Interferenzerscheinungen haben hier ihr Maximum. Wird das Messobjekt hingegen in Richtung der optischen Achse des Objektivs gegen die Messebene verstellt, verschwinden die Interferenzerscheinungen schon bei relativ geringen Verstellwegen ΔZ von einem oder wenigen Mikrometern.By the short coherence length is defined in front of the lens a plane within which reflective object surfaces can be imaged optical interference. This level is called Designated level. Interference phenomena have their maximum here. On the other hand, if the measurement object is in the direction of the optical axis of the Objectively adjusted against the measuring plane, the interference phenomena disappear even at relatively low adjustment paths ΔZ of one or a few microns.

Die Messebene der erfindungsgemäßen Mikroskopmesseinrichtung ist verstellbar, wozu eine Versteileinrichtung dient. Die Verstellung der Messebene kann z. B. durch Verstellung der Position des Messobjekts oder durch Verstellung der Position des Objektivs oder Teilen desselben erfolgen. Bei der erfindungsgemäßen Mikroskopmesseinrichtung nimmt die Verstelleinrichtung nun eine kontinuierliche Verstellung der Relativposition zwischen Messebene und Messobjekt vor, wobei diese Bewegung vorzugsweise beschleunigungsfrei, d. h. mit konstanter Geschwindigkeit erfolgt.The Measuring level of the microscope measuring device according to the invention is adjustable, for which an adjusting device is used. The adjustment the measurement level can z. B. by adjusting the position of the measurement object or by adjusting the position of the lens or parts thereof respectively. In the microscope measuring device according to the invention takes the Adjusting now a continuous adjustment of the relative position between the measuring plane and the object to be measured, this movement preferably without acceleration, d. H. at a constant speed.

Zur Aufnahme der Bilderserie ist eine Sampleeinrichtung vorgesehen, die die Bildaufnahme während des Betriebs der Verstelleinrichtung wiederholt aktiviert. Die Aktivierungszeit ist dabei geringer als der Quotient aus maximal zulässigem Messfehler und Verfahrgeschwindigkeit der Verstelleinrichtung gewählt. Dadurch scheint die Messebene in Bezug auf das Messobjekt zum Zeitpunkt der Bildaufnahme zu ruhen. Ein wiederholtes Beschleunigen und Anhalten des Objektivs und/oder des Messobjekts, d. h. eine stufenweise Bewegung ist nicht mehr erforderlich. Damit entfallen die Beschleunigungsvorgänge, die ansonsten zu Ein- und Ausschwingvorgängen führen, die vor der Durchführung der Messung jeweils abzuwarten sind.to Recording the series of images is a sample device provided taking the picture during the operation of the adjusting repeatedly activated. The activation time is less than the quotient of the maximum permissible measurement error and Traversing speed of the adjusting selected. Thereby the measurement plane appears in relation to the object under test at the time to rest the image recording. A repeated acceleration and stopping of the objective and / or the object to be measured, d. H. a gradual movement is no longer necessary. This eliminates the acceleration processes that otherwise lead to on and Ausschwingvorgängen, before the implementation of the Each measurement are to be seen.

Als Beleuchtungseinrichtung dient vorzugsweise eine Leuchtdiode, die im Wattbereich betrieben werden kann. Geeignet sind so genannte Weißlicht-LEDs, die ein kontinuierliches Spektrum mit einem kurzwelligen Maximum und einem sich anschließenden längerwelligen Teil aufweisen. Das kurzwellige Maximum wird vorzugsweise mittels eines Gelbfilters ausgefiltert, so dass nur Lichtwellen mit Wellenlängen > 500 nm zur Messung verwendet werden. Die Beleuchtung wird vorzugsweise durch eine in dem Beleuchtungsstrahlengang befindliche Streuscheibe homogenisiert. Auf einen Gelbfilter kann verzichtet werden, wenn zur Beleuchtung eine warmweiße LED verwendet wird. Diese kann über eine USB-Schnittstelle eines angeschlossenen Rechners z. B. eines PCs mit Strom versorgt werden.As a lighting device is preferably a light emitting diode, which can be operated in the watt range. Suitable are so-called white light LEDs, which have a continuous spectrum with a short-wave maximum and a subsequent longer-wave part. The short-wave maximum is preferably filtered out by means of a yellow filter, so that only light waves with wavelengths> 500 nm are used for the measurement. The lighting is preferably by a in The diffusing disc located in the illumination beam path is homogenized. A yellow filter can be omitted if a warm white LED is used for lighting. This can be done via a USB interface of a connected computer z. B. a PC can be powered.

An Stelle der LEDs können auch Halogenlampen mit oder ohne Kaltlichtspiegeln oder Gasentladungslampen zur Objektbeleuchtung dienen. Die Vorteile der LED-Beleuchtung liegen jedoch in der langen Lebensdauer, dem hohen Wirkungsgrad und der geringen erforderlichen elektrischen Leistung.At Location of the LEDs can also halogen lamps with or without cold light mirrors or gas discharge lamps serve for object lighting. The advantages of LED lighting are however, in the long life, the high efficiency and the low required electrical power.

Im Falle der Beleuchtung mittels LED oder Gasentladungslampe, beispielsweise Blitzlampe, kann die Sampleeinrichtung durch die Ansteuerschaltung der Beleuchtungseinrichtung gebildet werden. Diese aktiviert die LED oder die Blitzlampe lediglich impulsweise, so dass sie lediglich während der gegebenen Aktivierungszeit mit elektrischer Leistung versorgt wird. Die LED- oder Blitzlampe erzeugt somit kurze Lichtblitze zur Aufnahme des Objekts. Zusätzlich oder ergänzend kann ein Kameraverschluss vorgesehen sein, der synchronisiert zu den Beleuchtungsimpulsen der Beleuchtungseinrichtung geöffnet und geschlossen wird. Dabei ist die Öffnungszeit des Shutters oder Kameraverschlusses vorzugsweise größer als die Aktivierungszeit der Beleuchtungseinrichtung.in the Case of lighting by means of LED or gas discharge lamp, for example Flash lamp, the sample device can be controlled by the drive circuit the lighting device are formed. This activates the LED or the flashlamp only in pulses, so they only during the given activation time is supplied with electrical power. The LED or flash lamp thus generates short flashes of light for recording of the object. additionally or in addition a camera shutter may be provided which is synchronized to opened the illumination pulses of the lighting device and is closed. Here is the opening time the shutter or camera shutter preferably greater than the activation time of the lighting device.

Alternativ kann die Lichtquelle im Dauerbetrieb betrieben werden, was beispielsweise bei thermischen Lichtquellen, wie Halogenlampen oder dergleichen, zweckmäßig ist. Die Sampleeinrichtung wird hier durch den Kameraverschluss oder einen gesonderten Shutter gebildet, der von einer Ansteuereinrichtung jeweils nur kurzzeitig zur Aufnahme eines Bilds geöffnet, d. h. aktiviert wird. Als Shuttereinrichtung kann sowohl eine mechanische als auch eine elektrooptische Einrichtung dienen. Dabei ist es möglich, das Kamerabild im Ganzen, d. h. in seiner gesamten zweidimensionalen Ausdehnung gleichzeitig freizugeben und zu sperren wie auch alternativ einen Flächenbereich, z. B. einen Streifen des Bildes von einer Seite des Bildes zur anderen Seite des Bildes fortschreitend freizugeben und zu sperren. Dies kann nach Art eines Schlitzverschlusses geschehen.alternative the light source can be operated in continuous operation, which for example in thermal light sources, such as halogen lamps or the like, is appropriate. The sample device is here through the camera shutter or a separate shutter formed by a drive device each only briefly open to take a picture, d. H. is activated. As a shutting device can be both a mechanical as well as an electro-optical device serve. It is possible that Camera picture as a whole, d. H. in its entire two-dimensional Expansion at the same time release and lock as well as alternative a surface area, z. A strip of the image from one side of the image to the other Page of the image progressively release and lock. This can be done in the manner of a focal plane shutter.

Die Verstelleinrichtung ist vorzugsweise mit dem Objektiv verbunden und verstellt dieses in Richtung seiner optischen Achse. Als Verstelleinrichtung kann ein Linearmotor dienen. Dieser ermöglicht eine kontrollierte Bewegung bei großem Verstellweg und vibrationsarmem Betrieb.The Adjustment device is preferably connected to the lens and adjusts this in the direction of its optical axis. As adjusting can serve a linear motor. This allows a controlled movement at large Adjustment and low-vibration operation.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform wird durch kurze Tubuslänge und kurzen Beleuchtungsstrahlengang eine kompakte Bauform erhalten. Das verwendete Objektiv ist auf die Bildweite unendlich korrigiert, so dass das optische Bild erst durch Verwenden einer Tubuslinse in deren bildseitiger Brennebene entsteht. In dieser ist die Bildaufnahmefläche der Bildaufnahmeeinrichtung, beispielsweise in Form eines CCD-Chips angeordnet. Vorzugsweise beträgt die Brennweite der Tubuslinse ungefähr 80 mm, so dass lediglich ein geringer Abstand zwischen einem zur Einspiegelung der Beleuchtung in den Strahlengang vorgesehenen Strahlteilerwürfel und der Kamera erforderlich ist. Die zu der Beleuchtungseinrichtung gehörige Streueinrichtung (Streuscheibe) wird über ein kurzbrennweitiges Kondensorlinsensystem (vorzugsweise F = 16 mm) in die Eintrittspupille des Mikroskopobjektivs abgebildet. Es wird im Wesentlichen die so genannte Köhlersche Beleuchtungsanordnung verwirklicht. Jedoch wird eine kürzere Bauform erreicht. Dies ermöglicht ein modulares Konzept, bei dem der Abbildungsstrahlengang und der Beleuchtungsstrahlengang gegeneinander austauschbar sind. Beispielsweise können die Kamera und die Tubuslinse eine Anbaueinheit bilden während die Beleuchtungseinheit und deren Kondensorlinse eine andere Baueinheit bilden. Diese können mit gleichen Anschlüssen an ein entsprechendes Gehäuse des Strahlteilerwürfels angeschlossen werden, wobei sie ihre Plätze vertauschen können.at a preferred embodiment is made by short tube length and short illumination beam received a compact design. The lens used is infinitely corrected to the image width, so that the optical image only by using a tube lens arises in the image-side focal plane. In this is the image pickup area of the Image recording device, for example in the form of a CCD chip arranged. Preferably, the Focal length of the tube lens approximately 80 mm, so that only a small distance between a to Reflecting the illumination in the beam path provided beam splitter cube and the camera is required. The to the lighting device associated Spreader (diffuser) is a short focal length condenser lens system (preferably F = 16 mm) in the entrance pupil of the microscope objective. It is essentially the so-called Köhler illumination arrangement realized. However, a shorter one Construction achieved. this makes possible a modular concept in which the imaging beam path and the illumination beam path are interchangeable. For example, the Camera and the tube lens form an extension unit while the Lighting unit and its condenser lens another unit form. These can with same connections to a corresponding housing of the beam splitter cube be connected, where they can swap places.

Das mikroskopische Messverfahren ermöglicht bei einer Aufnahmen-Schrittweite von z. B. weniger als 100 nm Phasenmessungen, die zu einer Auflösung im Sub-Nanometerbereich führen. Dazu dient eine bedarfsweise vorgesehene phasenmessende Auswerteeinrichtung.The allows microscopic measurement at a recording increment of z. B. less than 100 nm phase measurements, to a resolution in the sub-nanometer range. This purpose is served by a required phase-measuring evaluation.

Bei einer weiter bevorzugten Ausführungsform stützt sich der Mikroskopmesskopf über einen Stützstab an dem Messobjekt ab, wobei der Stützstab mit einer Spielfassung an dem Mikroskopmesskopf gehalten ist. Der Stützstab verhindert Relativschwingungen zwischen dem Messobjekt und dem Mikroskopmesskopf, insbesondere im Hinblick auf von außen her wirkende Vibrationen oder Vibrationen, die durch die Bewegung des Objektivs verursacht sein könnten.at a further preferred embodiment supports the microscope head over a support rod on the test object, wherein the support rod with a game socket held on the microscope measuring head. The support rod prevents relative vibrations between the measuring object and the microscope measuring head, in particular in terms of from the outside forth acting vibrations or vibrations caused by the movement could be caused by the lens.

Weitere Einzelheiten vorteilhafter Ausführungsformen der Erfindung sind Gegenstand der Zeichnung, der Beschreibung oder von Ansprüchen.Further Details of advantageous embodiments The invention are the subject of the drawing, the description or of claims.

In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele der Erfindung veranschaulicht. Es zeigen:In the drawing are embodiments of Invention illustrated. Show it:

1 eine Mikroskopmesseinrichtung mit kontinuierlicher Beleuchtung in schematisierter Darstellung, 1 a microscope measuring device with continuous illumination in a schematic representation,

2 eine Mikroskopmesseinrichtung mit LED-Beleuchtung und Shutter in schematisierter Darstellung, 2 a microscope measuring device with LED lighting and shutter in a schematic representation,

3 eine Mikroskopmesseinrichtung mit LED-Beleuchtung und ohne Shutter in schematisierter Darstellung, 3 a microscope measuring device with LED illumination and without shutter in a schematic representation,

4 eine Mikroskopmesseinrichtung mit Blitzlampe ohne Shutter in schematisierter Darstellung und 4 a microscope measuring device with flash lamp without shutter in a schematic representation and

5 eine Mikroskopmesseinrichtung mit Stützstab in schematisierter Darstellung. 5 a microscope measuring device with support rod in a schematic representation.

In 1 ist eine Mikroskopmesseinrichtung 1 veranschaulicht, die zur Aufnahme der Oberflächenkontur eines Messobjekts 2 dient. Seine der Mikroskopmesseinrichtung 1 zugewandte obere Seite 3 kann eine nicht weiter veranschaulichte Profilierung aufweisen, die es aufzunehmen gilt.In 1 is a microscope measuring device 1 illustrates that for recording the surface contour of a DUT 2 serves. Its the microscope measuring device 1 facing upper side 3 may have a not further illustrated profiling, which is to include it.

Die Mikroskopmesseinrichtung 1 weist einen Mikroskopmesskopf 4 auf, der durch nicht weiter veranschaulichte Mittel im Raum in Bezug auf das Messobjekt 2 festgehalten ist. Ebenso ist das Messobjekt 2 durch nicht weiter veranschaulichte Mittel, z. B. eine geeignete Auflageeinrichtung, Spanneinrichtung oder Positioniereinrichtung ortsfest gehalten. Zu dem Mikroskopmesskopf 4 gehört ein Objektiv 5, eine Bildaufnahmeeinrichtung 6, eine Beleuchtungseinrichtung 7 und ein Strahlteiler 8. Die Beleuchtungseinrichtung 7 ist von einer Steuereinrichtung 9 gesteuert.The microscope measuring device 1 has a microscope head 4 on, by not further illustrated means in space in relation to the measurement object 2 is held. Likewise, the measurement object 2 by not further illustrated means, for. B. a suitable support device, clamping device or positioning held stationary. To the microscope head 4 belongs to a lens 5 , an image pickup device 6 , a lighting device 7 and a beam splitter 8th , The lighting device 7 is from a controller 9 controlled.

Das Objektiv 5 ist beispielsweise ein Mirau-Objektiv, das als Mikroskopobjektiv ausgebildet ist und auf unendliche Bildweite eingestellt ist. Ausgehend von einem auf dem Messobjekt 2 gelegenen Fokuspunkt 10 ergibt eine zu dem Mirau-Objektiv gehörige Sammellinse 11 einen parallelen Strahlengang. Parallel zu dem Strahlengang ist die optische Achse 12 des Objektivs 5 gerichtet, die durch den Fokuspunkt 10 geht. Zwischen dem Messobjekt 2 und der Sammellinse 11 ist ein halbdurchlässiger Spiegel 13 angeordnet, der von einem Referenzspiegel 14 im Wesentlichen genauso weit entfernt ist, wie von der Oberseite 3 des Messobjekts 2. Somit ist ein Messlichtweg 16 definiert. Der Abstand zwischen dem Referenzspiegel 14 und dem halbdurchlässigen Spiegel 13 bildet hingegen einen Referenzlichtweg 15.The objective 5 is for example a Mirau lens, which is designed as a microscope objective and is set to infinite image width. Starting from one on the test object 2 located focal point 10 gives a convex lens associated with the Mirau lens 11 a parallel beam path. Parallel to the beam path is the optical axis 12 of the lens 5 directed by the focus point 10 goes. Between the measurement object 2 and the condenser lens 11 is a semi-transparent mirror 13 arranged by a reference mirror 14 is essentially as far away as from the top 3 of the measurement object 2 , Thus, a measuring light path 16 Are defined. The distance between the reference mirror 14 and the semi-transparent mirror 13 on the other hand forms a reference light path 15 ,

Das Objektiv 5 ist mit einer Verstelleinrichtung 17 verbunden, die dazu eingerichtet ist, das Objektiv 5 in Richtung der optischen Achse 12 zu bewegen. Als Verstelleinrichtung 17 dient vorzugsweise ein Linearmotor 18, der in 1 lediglich symbolisch durch eine Spule und einen ihr zugeordneten Kern veranschaulicht ist. Der Linearmotor 18 kann z. B. von der Steuereinrichtung 9 gesteuert sein.The objective 5 is with an adjustment 17 connected, which is adapted to the lens 5 in the direction of the optical axis 12 to move. As adjusting 17 is preferably a linear motor 18 who in 1 merely symbolically illustrated by a coil and its associated core. The linear motor 18 can z. B. from the controller 9 be controlled.

Zu der Bildaufnahmeeinrichtung 6 gehört eine Tubuslinse 19, die z. B. an einer dem Objektiv 5 gegenüber liegenden Seite des Strahlteilers 8 angeordnet ist und das dort austretende Lichtbündel auf eine Bildaufnahmefläche 20, z. B. in Form eines CCD-Chips, abbildet. Dieser ist in der Bildebene angeordnet, die in einem der Brennweite der Tubuslinse 19 entsprechenden Abstand zu dieser angeordnet ist. Die Tubuslinse 19 und eine die Bildaufnahmefläche 20 aufweisende Kamera 21 können zu einer Baugruppe vereinigt sein, die über eine lösbare Verbindung, beispielsweise einen geeigneten Flansch, mit einem Gehäuse verbunden ist, das den Strahlteiler 8 enthält und das Objektiv 5 trägt. Die Tubuslinse 19 und die Kamera 21 bilden somit eine Kamerabaugruppe, zu der außerdem noch ein z. B. in die Kamera 21 integrierter oder gesonderter Shutter 22 gehören kann. Dieser hat die Aufgabe, den Lichtweg zu der Kamera 21 gesteuert freizugeben. Der Shutter 22 kann eine mechanische Einrichtung, beispielsweise einen Kameraschlitzverschluss oder (vorzugsweise) eine elektrooptische Einrichtung sein. Der Shutter 22 ist von einer geeigneten Steuereinrichtung beispielsweise der Steuereinrichtung 9 gesteuert.To the image pickup device 6 includes a tube lens 19 that z. B. at a the lens 5 opposite side of the beam splitter 8th is arranged and the light beam exiting there on an image pickup surface 20 , z. B. in the form of a CCD chip images. This is arranged in the image plane, which is in one of the focal length of the tube lens 19 corresponding distance is arranged to this. The tube lens 19 and an image pickup area 20 having camera 21 may be combined to form an assembly which is connected via a releasable connection, for example a suitable flange, to a housing containing the beam splitter 8th contains and the lens 5 wearing. The tube lens 19 and the camera 21 thus form a camera assembly, in addition to a z. B. in the camera 21 integrated or separate shutter 22 can belong. This has the task, the light path to the camera 21 controlled to release. The shutter 22 may be a mechanical device, for example a camera slot shutter or (preferably) an electro-optical device. The shutter 22 is from a suitable control device, for example, the control device 9 controlled.

Die Kamera 21 ist vorzugsweise an eine Auswerteeinrichtung 21a angeschlossen, die der Bildauswertung dient. Z. B. nimmt sie anhand der in Schritten (z-Abständen) ΔZ von < 100 nm aufgenommenen Bildern eine Phasenauswertung vor und ermittelt daraus Oberflächendetails des Messobjektes. Es lässt sich dadurch eine Auflösung von besser als 1 nm erreichen.The camera 21 is preferably to an evaluation device 21a connected, which serves the image analysis. For example, it performs a phase evaluation based on the images taken in steps (z distances) ΔZ of <100 nm and uses them to determine surface details of the measurement object. It can thereby achieve a resolution of better than 1 nm.

Zu der Beleuchtungseinrichtung 7 gehört eine Lichtquelle 23, beispielsweise in Form einer Glühlampe, die von der Steuereinrichtung 9 oder einer anderen geeigneten Einrichtung mit elektrischer Leistung versorgt wird. Das von der Lichtquelle 23 ausgehende Licht gelangt zunächst zu einer Streuscheibe 24, die eine flächige Lichtverteilung erzeugt. Die Streuscheibe 24 wird über eine Kondensorlinse 25 oder ein geeignetes Kondensorlinsensystem in die Eintrittspupille des Objektivs 5 abgebildet. Der entsprechende Strahlengang geht aus 1 hervor. Von den Rändern der Streuscheibe 24 ausgehende gedachte Lichtstrahlen werden von der Kondensorlinse 25 zu parallelen Strahlen, während die von einem mittigen Fokus ausgehenden Strahlen auf einen Fokus an der Eintrittspupille des Objektivs 5 abgebildet werden.To the lighting device 7 heard a light source 23 , for example in the form of a light bulb, by the control device 9 or any other suitable device is supplied with electrical power. That from the light source 23 Outgoing light first reaches a lens 24 , which produces a flat light distribution. The diffuser 24 is via a condenser lens 25 or a suitable condenser lens system in the entrance pupil of the lens 5 displayed. The corresponding beam path goes out 1 out. From the edges of the lens 24 outgoing imaginary rays of light are from the condenser lens 25 to parallel rays, while the outgoing from a central focus rays on a focus at the entrance pupil of the lens 5 be imaged.

Damit wird zum einen eine kurze Bauform der Beleuchtungseinrichtung 7 und zum anderen erreicht, dass die Bildaufnahmeeinrichtung 6 und die Beleuchtungseinrichtung 7 gegeneinander ausgetauscht werden können. Das den Strahlteiler 8 enthaltende Gehäuse weist dazu zwei gleiche entsprechende Flansche auf, an denen wahlweise die Beleuchtungseinrichtung 7 oder die Bildaufnahmeeinrichtung 6 befestigt werden können.Thus, on the one hand, a short design of the lighting device 7 and on the other hand achieves that the image pickup device 6 and the lighting device 7 can be exchanged for each other. That the beam splitter 8th containing housing has for this purpose two identical corresponding flanges on which optionally the lighting device 7 or the image capture device 6 can be attached.

Die insoweit beschriebene Mikroskopmesseinrichtung 1 arbeitet wie folgt:
Zur weißlichtinterferometrischen Vermessung des Messobjekts 2 bzw. seines Oberflächenprofils wird das Messobjekt 2 zunächst so positioniert, dass eine Ebene, auf der die optische Achse 12 senkrecht steht und die den Fokus 10 schneidet, etwas unterhalb der zu vermessenden Oberseite 3 des Messobjekts 2 steht. Der Shutter 22 ist geschlossen und die Steuereinrichtung 9 aktiviert sodann die Lichtquelle 23. Alternativ kann diese gesondert, beispielsweise von Hand eingeschaltet werden.The extent described microscope Facility 1 works as follows:
For white light interferometric measurement of the measurement object 2 or its surface profile becomes the measurement object 2 initially positioned so that a plane on which the optical axis 12 is vertical and the focus 10 cuts, slightly below the top to be measured 3 of the measurement object 2 stands. The shutter 22 is closed and the controller 9 then activates the light source 23 , Alternatively, this can be switched on separately, for example by hand.

Wenn dann der Messvorgang ausgelöst wird, aktiviert die Steuereinrichtung 9 zunächst den Linearmotor 18, wodurch dieser das Objektiv 5 beispielsweise von dem Messobjekt 2 weg bewegt. Die Verstelleinrichtung 17 wird bei einer ersten Ausführungsform der Erfindung mit konstanter Geschwindigkeit betrieben, die z. B. in der Größenordnung von 1 bis 10 μm/sek. liegen kann. Es wird nun beispielsweise angestrebt, in 30 bis 100 nm-Abständen ΔZ interferometrische Aufnahmen des Messobjekts 2 zu machen, wobei der Messweg insgesamt z. B. 10 μm betragen soll. Während die Messebene nun in Bezug auf das Messobjekt 2 durch Bewegung des Objektivs 5 entlang der optischen Achse 12 bewegt wird, wird in allen gewünschten, voneinander um ΔZ beabstandeten Bildaufnahmepositionen jeweils kurzzeitig der Shutter 22 geöffnet, so dass kurzzeitig ein Einzelbild aufgenommen werden kann. Dies ist ein Weißlichtinterferenzbild derjenigen Zone der Oberseite 3 des Messobjekts 2, die sich im Wesentlichen in der Messebene befindet. Die einzelnen so aufgenommenen Bilder sind „Samples”. Die Steuereinrichtung 9 bildet hier in Verbindung mit dem Shutter 22 eine Sampleeinrichtung 26. Diese aktiviert den Shutter 22 jeweils nur kurzzeitig. Wenn das Objektiv 5 beispielsweise mit einer Geschwindigkeit von 10 μm/sek bewegt wird und die Mess genauigkeit besser als 0,1 μm sein soll, beträgt die Öffnungszeit des Shutters 22 weniger als 1/100 Sek. Die Aktivierungszeit, d. h. die Öffnungszeit des Shutters wird in jedem Fall kleiner als der Quotient aus der gewünschten Messauflösung und der maximalen Bildrate des Objektivs 5 gewählt. Alternativ kann der Linearmotor 18 auch so angesteuert werden, dass die Messebene nicht mit konstanter Geschwindigkeit sondern mit einer sich zeitlich ändernden Geschwindigkeit bewegt wird. Die Verstellung der Position der Messebene in Bezug auf das Messobjekt erfolgt dann z. B. Schrittweise oder auf andere Weise quasikontinuierlich.Then, when the measurement process is triggered, the controller activates 9 first the linear motor 18 , making this the lens 5 for example, from the measurement object 2 moved away. The adjusting device 17 is operated in a first embodiment of the invention at a constant speed, the z. B. in the order of 1 to 10 microns / sec. can lie. It is now desirable, for example, in 30 to 100 nm intervals .DELTA.Z interferometric images of the measurement object 2 to make, the total measurement path z. B. should be 10 microns. While the measurement plane is now in relation to the measurement object 2 by moving the lens 5 along the optical axis 12 is moved, in each of the desired, spaced from each other by ΔZ image pickup positions each time briefly the shutter 22 opened, so that a single picture can be taken for a short time. This is a white light interference image of that zone of the top 3 of the measurement object 2 , which is mainly located in the exhibition level. The individual pictures taken in this way are "samples". The control device 9 forms here in conjunction with the shutter 22 a sample device 26 , This activates the shutter 22 only for a short time. If the lens 5 For example, with a speed of 10 microns / sec is moved and the measurement accuracy should be better than 0.1 microns, is the opening time of the shutter 22 less than 1/100 sec. The activation time, ie the opening time of the shutter will in any case be smaller than the quotient of the desired measurement resolution and the maximum frame rate of the lens 5 selected. Alternatively, the linear motor 18 Also be controlled so that the measurement level is not moved at a constant speed but with a time-varying speed. The adjustment of the position of the measuring plane in relation to the measured object is then z. B. Stepwise or otherwise quasi-continuous.

Wie ersichtlich, können die Samplebilder auch in dichterer Folge, z. B. jeweils 1 pro μm oder noch dichter aufgenommen werden.As can be seen the sample images also in closer order, z. B. in each case 1 per micron or even be absorbed more densely.

Die Serie der aufgenommenen Bilder gestattet eine Auswertung im Rahmen derer die Oberflächenkontur des Messobjekts 2, d. h. die Form der Oberseite 3 rekonstruierbar ist. Wird der Messbereich von 100 μm mit der angegebenen Geschwindigkeit durchlaufen dauert die Messung insgesamt lediglich 10 Sek. Dabei können nahezu beliebig viele Bilder aufgenommen werden, deren Anzahl lediglich von der Stärke der Lichtquelle 23 und der Geschwindigkeit des Shutters 22 sowie der Empfindlichkeit der Kamera 21 abhängen.The series of recorded images allows an evaluation in the context of which the surface contour of the measurement object 2 ie the shape of the top 3 is reconstructable. If the measurement range of 100 μm is passed through at the specified speed, the measurement takes only 10 seconds. Almost any number of images can be recorded, the number of which depends solely on the intensity of the light source 23 and the speed of the shutter 22 as well as the sensitivity of the camera 21 depend.

2 veranschaulicht eine abgewandelte Ausführungsform der Mikroskopmesseinrichtung 1, für die die vorstehende Beschreibung unter Zugrundelegung gleicher Bezugszeichen gilt, sofern nachstehend nichts anderes erwähnt ist: Als Lichtquelle dient hier eine Weißlicht-LED 27. Diese kann eine Hochleistungs-LED sein, die beispielsweise 3 oder 5 Watt elektrische Leistung aufnimmt. Im einfachsten Fall kann sie wie im vorstehenden Ausführungsbeispiel schon die Glühlampe in Dauerbetrieb betrieben werden, wobei die Aktivierung und Deaktivierung der Bildaufnahme durch den Shutter 22 erfolgt. Es ist jedoch auch möglich, die Aktivierung und Deaktivierung zu bewirken, indem die LED 27 lediglich im Impulsbetrieb betrieben wird. Sie sendet dann kurze Lichtblitze von beispielsweise lediglich 0,1 msek Länge aus. Der Shutter kann mit einer geringfügig größeren Öffnungszeit betrieben werden, um Fremdlichteinflüsse auszuschließen. Die Impulsbetriebsart der Weißlicht-LED 27 hat den großen Vorzug, dass die Einzellichtimpulse eine relativ große Intensität haben können, ohne dass die LED thermisch überlastet wird, was ihrer Lebensdauer sehr zugute kommt. Zwischen der Weißlicht-LED 27 und der Streuscheibe 24 kann ein Gelbfilter vorgesehen sein, um den normalerweise vorhandenen relativ starken kurzwelligen Lichtanteil der Weißlicht-LED auszublenden. Die Objektbeleuchtung erfolgt dann vorwiegend oder ausschließlich mit dem relativ breitbandigen, langwelligeren Teil, was die gewünschte kurze Kohärenzlänge der interferometrischen Mikroskopmesseinrichtung 1 ergibt. Alternativ kann als LED-Lichtquelle eine warmweiße LED verwendet werden. Hier kann auf einen Gelbfilter verzichtet werden. Der enthaltene blaue Lichtanteil ist bei Warmweiß-LEDs ausreichend gering. 2 illustrates a modified embodiment of the microscope measuring device 1 for which the above description applies on the basis of the same reference symbols, unless otherwise stated below: A white-light LED serves as the light source 27 , This can be a high-power LED, for example, receives 3 or 5 watts of electrical power. In the simplest case, it can already be operated in continuous operation, as in the preceding embodiment, the light bulb, wherein the activation and deactivation of image acquisition by the shutter 22 he follows. However, it is also possible to effect activation and deactivation by the LED 27 only operated in pulsed mode. It then emits short flashes of light, for example, only 0.1 msec long. The shutter can be operated with a slightly larger opening time to prevent extraneous light influences. The pulse mode of the white light LED 27 has the great advantage that the individual light pulses can have a relatively high intensity, without the LED being thermally overloaded, which greatly benefits their lifetime. Between the white light LED 27 and the diffuser 24 For example, a yellow filter can be provided in order to hide the normally existing, relatively shortwave light component of the white light LED. The object illumination then takes place predominantly or exclusively with the relatively broad-band, longer-wave part, which is the desired short coherence length of the interferometric microscope measuring device 1 results. Alternatively, a warm white LED can be used as the LED light source. Here you can do without a yellow filter. The included blue light component is sufficiently low for warm white LEDs.

3 veranschaulicht eine weitere Ausführungsform der Mikroskopmesseinrichtung 1, die auf der Ausführungsform gemäß 2 beruht. Entsprechend gilt die vorstehende Beschreibung mit folgenden Ausnahmen entsprechend:
Bei dieser Ausführungsform ist auf einen Shutter gänzlich verzichtet. Die Sampleeinrichtung 26 wird wiederum ausschließlich durch die Steuereinrichtung 9 und die LED 27 gebildet. 3 illustrates another embodiment of the microscope measuring device 1 , which according to the embodiment according to 2 based. Accordingly, the above description applies accordingly with the following exceptions:
In this embodiment, a shutter is completely dispensed with. The sample device 26 in turn, will be solely by the controller 9 and the LED 27 educated.

Wie 4 veranschaulicht, kann an Stelle der Weißlicht-LED 27 auch eine Blitzlampe 28, beispielsweise eine Xenon-Blitzlampe, verwendet werden. Sie bildet mit der Steuereinrichtung 9 wiederum die Sampleeinrichtung.As 4 illustrated, in place of the white light LED 27 also a flash lamp 28 , For example, a xenon flash lamp can be used. It forms with the control device 9 turn the sample device.

5 veranschaulicht ein weiteres Detail vorteilhafter Ausführungsformen, bei denen der Mikroskopmesskopf 4 und die Sampleeinrichtung 26 nach einem der vorhergehend beschriebenen Ausführungsbeispiele ausgebildet sein können. Der Mikroskopmesskopf 4 stützt sich über einen Stützstab 29 auf der Oberseite 3 des Messobjekts 2 ab. Dadurch werden Relativschwingungen, die den Abstand zwischen dem Mikroskopmesskopf 4 und dem Messobjekt 3 beeinflussen, unterdrückt. Der Stützstab 29 ist ein beispielsweise zylindrischer Stab, der mit seiner unteren Stirnseite auf der Oberseite 3 ruht. An dem Mikroskopmesskopf 4 ist er in einer Gleitführung 30 mit geringem Spiel gelagert. Die Berührung zwischen den inneren Führungsflächen der Gleitführung 30 und der äußeren Mantelfläche des Stützstabs 29 wirkt hinsichtlich Schwingungen des Mikroskopmesskopfs 4 dämpfend. Hinsichtlich dynamischer Belastungen wird somit ein sehr kleiner Messkreis geschaffen, der letztlich nur aus dem Mikroskopmesskopf, dem Messobjekt, dem Stützstab 29 und dem Messlichtweg 16 besteht. Wenn das Objektiv 5 durch die Verstelleinrichtung 17 mit konstanter Geschwindigkeit verfahren wird und die Sampleeinrichtung 26 dafür sorgt, dass die Kamera 21 während der Fahrt des Objektivs 5 Einzelaufnahmen „schießt” unterdrückt der Stützstab 29 etwaige Schwingungen des Mikroskopmesskopfs 4. Soll der Mikroskopmesskopf 4 jedoch in Z-Richtung, d. h. entlang der optischen Achse 12 verstellt werden, kann dies ohne Probleme geschehen, wobei der Stützstab 29 auf dem Messobjekt 2 ruht und die Gleitführung 30 entsprechend der Verstellung des Mikroskopmesskopfs 4 an dem Stützstab 29 aufwärts oder abwärts gleitet. Auch eine Querverstellung zwischen Mikroskopmesskopf 4 und Messobjekt 2 ist möglich. Dazu kann der Stützstab 29 von Hand angehoben werden oder auf der Oberseite 3 des Messobjekts 2 gleiten. 5 illustrates another detail of advantageous embodiments in which the microscope head 4 and the sample device 26 may be formed according to one of the embodiments described above. The microscope head 4 rests on a support rod 29 on the top 3 of the measurement object 2 from. This causes relative oscillations, which are the distance between the microscope head 4 and the measurement object 3 influence, suppressed. The support staff 29 is a cylindrical rod, for example, with its lower end face on top 3 rests. At the microscope head 4 he is in a sliding guide 30 stored with little play. The contact between the inner guide surfaces of the sliding guide 30 and the outer surface of the support rod 29 acts with regard to vibrations of the microscope head 4 absorbing. With regard to dynamic loads, a very small measuring circuit is thus created, which ultimately only consists of the microscope measuring head, the measuring object, the support rod 29 and the measuring light path 16 consists. If the lens 5 through the adjustment 17 is moved at a constant speed and the sample device 26 makes sure the camera 21 while driving the lens 5 Single shots "shoots" suppresses the support staff 29 any vibrations of the microscope head 4 , Should the microscope head 4 but in the Z direction, ie along the optical axis 12 can be adjusted, this can be done without problems, the support rod 29 on the test object 2 rests and the sliding guide 30 according to the adjustment of the microscope head 4 on the support rod 29 slides up or down. Also a transverse adjustment between the microscope head 4 and measuring object 2 is possible. For this, the support rod 29 be raised by hand or on top 3 of the measurement object 2 slide.

Eine erfindungsgemäße Mikroskopmesseinrichtung 1 dient insbesondere zur Weißlichtinterferometrie, wobei eine Serie von Bildern unter Verstellung der Messebene beispielsweise durch Objektivverstellung aufgenommen wird. Die Verstellung erfolgt in einer kontinuierlichen Bewegung, wobei die Bildabtastung durch eine Sampleeinrichtung 26 während der Bewegung der Messebene bewirkt wird. Es wird so eine verkürzte Messzeit erhalten. Die Sampleeinrichtung 26 kann durch einen Kamerashutter 22 und/oder durch eine lediglich Lichtimpulse aussendende Beleuchtungseinrichtung 7 gebildet werden. Das Licht der Beleuchtungseinrichtung wird in den Strahlengang eines Interferenzobjektivs 5 eingespiegelt. Dazu dient ein Strahlteiler 8. Das Interferenzobjektiv 5 und die Bildaufnahmeeinrichtung 6 sind auf unendlich eingestellt, d. h. Sie weisen auf Seiten des Strahlteilers 8 einen parallelen Strahlengang auf. Die Beleuchtungseinrichtung 7 ist so eingestellt, dass die Streuscheibe in die Eintrittspupille des Objektivs 5 abgebildet wird. Der Strahlengang ist nicht parallel. Die Bildaufnahmeeinrichtung 8 und die Beleuchtungseinrichtung 7 können dennoch bedarfsweise vertauscht werden, weil dabei sämtliche optischen Weglängen gleich bleiben. Dies ermöglicht die Anpassung an verschiedene Messaufgaben.A microscope measuring device according to the invention 1 is used in particular for white light interferometry, wherein a series of images is taken with adjustment of the measuring plane, for example by lens adjustment. The adjustment takes place in a continuous movement, wherein the image scanning by a sample device 26 during movement of the measurement plane is effected. It will get a shorter measurement time. The sample device 26 can through a camera shutter 22 and / or by a light pulses emitting only illumination device 7 be formed. The light of the illumination device is in the beam path of an interference lens 5 mirrored. This is done by a beam splitter 8th , The interference lens 5 and the image pickup device 6 are set to infinity, ie you point to the beam splitter 8th a parallel beam path. The lighting device 7 is set so that the lens in the entrance pupil of the lens 5 is shown. The beam path is not parallel. The image capture device 8th and the lighting device 7 can still be reversed if necessary, because all optical path lengths remain the same. This allows adaptation to different measuring tasks.

Claims

White light interferometry microscope measuring device ( 1 ) with a receiving device for a measuring object ( 2 ), with a microscope head ( 4 ) comprising a white light illumination device ( 7 ) for illuminating the test object ( 2 ) with short coherent light, an image pickup device ( 6 ) and a lens ( 5 ) and which defines a measuring plane, with an adjusting device ( 17 ) for the continuous or quasi-continuous adjustment of the position of the measuring plane with respect to the measuring object ( 2 ), and with a sample device ( 26 ) for repeatedly activating the image recording during the operation of the adjusting device ( 17 ) for each given activation time (.DELTA.t), so that a series of images is recorded, wherein the activation time (.DELTA.t) is less than the quotient of the maximum allowable measurement error and the travel speed of the adjusting device ( 17 ) and wherein the spatial distances ΔZ of the images are less than 100 nm.

White light interferometry microscope measuring device according to claim 1, characterized in that the illumination device ( 7 ) has a high power LED.

White light interferometry microscope measuring device according to claim 2, characterized in that the illumination device ( 7 ) has a white light LED with yellow filter that cuts off wavelengths <500 nm, so that only wavelengths> 500 nm are used for Meßobjektbeleuchtung.

White light interferometry microscope measuring device according to claim 2, characterized in that the light-emitting diode ( 27 ) is a warm white LED.

White light interferometry microscope measuring device according to claim 1, characterized in that the illumination device ( 7 ) a discharge lamp ( 28 ) having.

White light interferometry microscope measuring device according to claim 1, characterized in that the illumination device ( 7 ) an incandescent lamp ( 23 ) having.

White light interferometry microscope measuring device according to one of claims 1 to 5, characterized ge indicates that the sample device ( 26 ) by a drive circuit ( 9 ) forming the lighting device ( 7 ) is only supplied with electrical power during the given activation time (Δt).

White light interferometry microscope measuring device according to claim 1, characterized in that the sample device ( 26 ) by a shuttle device ( 22 ) is formed, the light access to the image pickup device ( 6 ) controls.

White light interferometry microscope measuring device according to claim 8, characterized in that the shut-off device ( 22 ) is formed by a camera shutter.

White light interferometry microscope measuring device according to claim 8, characterized in that the shut-off device ( 22 ) is a mechanical shuttle device.

White light interferometry microscope measuring device according to claim 8, characterized in that the shut-off device ( 22 ) is an electro-optical shutter device.

White light interferometry microscope measuring device according to claim 1, characterized in that the adjusting device ( 17 ) with the lens ( 5 ) is connected to this in the direction of its optical axis ( 12 ) to adjust.

White light interferometry microscope measuring device according to claim 12, characterized in that the adjusting device ( 17 ) a linear motor ( 18 ).

White light interferometry microscope measuring device according to claim 12, characterized in that the travel speed of the adjusting device ( 17 ) is constant while the picture series is being taken.

White light interferometry microscope measuring device according to claim 1, characterized in that the objective ( 5 ) is a Mirau lens.

White light interferometry microscope measuring device according to claim 1, characterized in that the objective ( 5 ) has an image width of infinity.

White light interferometry microscope measuring device according to claim 16, characterized in that for image formation a tube lens ( 19 ) is provided, which at a distance to the lens ( 5 ), wherein between the lens ( 5 ) and the tube lens ( 9 ) a beam splitter ( 8th ) is arranged to the illumination device ( 7 ) to the beam path of the lens ( 5 ).

White light interferometry microscope measuring device according to claim 1, characterized in that the tube lens ( 9 ) with the image recording device ( 6 ) is connected to a unit and that the illumination device ( 7 ) and the image recording device ( 6 ) are interchangeable.

White light interferometry microscope measuring device according to claim 1, characterized in that the image recording device ( 6 ) an evaluation device ( 21a ) is connected to the phase evaluation of the recorded individual images.

White light interferometry microscope measuring device according to claim 1, characterized in that on the microscope measuring head ( 4 ) a support rod ( 29 ) provided in a sliding guide ( 30 ) and with its lower end face on the test object ( 2 ) rest.