DE102005021247B4 - Eigenschaftsmessverfahren für Hochfrequenzschaltung, Kalibriermuster und Kalibriervorrichtung - Google Patents

Eigenschaftsmessverfahren für Hochfrequenzschaltung, Kalibriermuster und Kalibriervorrichtung Download PDF

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Abstract

Hochfrequenzschaltungseigenschaftsmessverfahren mit
dem Bereitstellen eines Kalibriermusters mit einem Substrat (12), einer Signalleitung (14) mit einer charakteristischen Impedanz, die sich so auf dem Substrat (12) erstreckt, dass sie einen ersten und einen zweiten Endabschnitt (14a, 14b) aufweist, einer ersten Konstantpotentialleitung (16), von der ein erster Endabschnitt nahe an und mit einem vorbestimmten Abstand von dem ersten Endabschnitt (14a) der Signalleitung (14) angeordnet ist, einer zweiten Konstantpotentialleitung (24), von der ein erster Endabschnitt nahe an und mit einem vorbestimmten Abstand von dem zweiten Endabschnitt (14b) der Signalleitung (14) angeordnet ist, und einem Leiter (18, 20, 22; 64; 68; 72) zum elektrischen oder hochfrequenzmäßigen Verbinden der ersten Konstantpotentialleitung (16) und der zweiten Konstantpotentialleitung (24), und
dem Durchführen einer Kalibrierung vor der Messung einer zu messenden Schaltung unter Verwendung eines ersten und eines zweiten Eigenschaftsmesstestkopf (30, 32) mit derselben Anordnung eines Signalanschlusses (301, 321) und eines Konstantpotentialanschlusses (302, 322), indem...

Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein HF-Messverfahren für eine Hochfrequenzschaltung, ein Kalibriermuster und eine Kalibriervorrichtung. Insbesondere bezieht sie sich auf ein HF-Messverfahren für eine Hochfrequenzschaltung zur Verwendung in einer Kommunikationsvorrichtung, die auf ein Mikrowellenband oder Millimeterwellenband angepasst ist, das in der mobilen Kommunikation, der optischen Kommunikation, der Satellitenkommunikation, usw. verwendet wird, und weiter auf ein Kalibriermuster und eine Kalibriervorrichtung.
  • In den letzten Jahren sind Kommunikationsvorrichtungen, die in Mikrowellenbändern oder Millimeterwellenbändern verwendet werden, mehr und mehr miniaturisiert worden. Demzufolge ist es auch erforderlich, dass Hochfrequenzschaltungsvorrichtungen weiter miniaturisiert werden, und dementsprechend ist es erforderlich, dass Hochfrequenzschaltungen, die in diesen Hochfrequenzschaltungsvorrichtungen verwendet werden, geeignete Eigenschaften aufweisen. Um die Qualität der Hochfrequenzschaltung exakt zu bewerten, ist es erforderlich, eine HF-Messung der Hochfrequenzschaltung unter Verwendung eines hochgenauen Messverfahrens durchzuführen, und daher gab es einen ansteigenden Bedarf für ein präzises Kalibrierverfahren zum Einstellen eines Standards der HF-Messung.
  • Die HF-Messung der Hochfrequenzschaltung wird auf dem Wafer durchgeführt. Diese HF-Messung auf dem Wafer verwendet normalerweise zwei HF-Messungstestköpfe, von denen jeder einen Signalanschluss und einen GND-Anschluss aufweist, wobei sie einander gegenüberliegen. Daher ist es erforderlich, dass ein HF-Messungstestkopfkalibriermuster ein Kalibriermuster aufweist, das den zu verwendenden HF-Messungstestköpfen entspricht.
  • Im allgemeinen stehen als HF-Messungstestköpfe drei Arten von Testköpfen zur Verfügung. Der erste Typ weist drei Kontakte auf, die einen Signalanschluss und GND-Anschlüsse enthalten, die jeweils auf beiden Seiten des Signalanschlusses angeordnet sind. Dieser erste Typ wird beispielsweise HF-Messungstestkopf vom GSG-Typ genannt.
  • Der zweite Typ weist zwei Kontakte auf, die einen Signalanschluss uNd einen GND-Anschluss enthalten, wobei der Signalanschluss auf der linken Seite angeordnet ist, während der GND-Anschluss auf der rechten Seite angeordnet ist, wenn die Kontakte von der Seite eines Körpers des HF-Messungstestkopfs gesehen werden. Dieser zweite Typ wird beispielsweise HF-Messungstestkopf vom SG-Typ genannt.
  • Der dritte Typ weist ebenfalls zwei Kontakte auf, wobei jedoch gegenüber dem zweiten HF-Messungstestkopf vom SG-Typ der Signalanschluss und der GND-Anschluss in ihrer Lage vertauscht sind und daher der GND-Anschluss auf der linken Seite angeordnet ist, während der Signalanschluss auf der rechten Seite angeordnet ist, wenn die Kontakte von der Seite eines Körpers des HF-Messungstestkopfs gesehen werden. Dieser dritte Typ wird beispielsweise ein HF-Messungstestkopf vom GS-Typ genannt.
  • Für die HF-Messung der Hochfrequenzschaltung werden zwei Messungstestköpfe so verwendet, dass sie einander gegenüberliegen. Dementsprechend ist ein Kalibriermuster erforderlich, das zwei derartigen Messungstestköpfen entspricht.
  • Bei Verwendung von zwei HF-Messungstestköpfen vom ersten GSG-Typ in der gegenüberliegenden Weise ist es möglich, die zwei HF-Messungstestköpfe vom GSG-Typ durch Verwendung eines Kalibriermusters zu kalibrieren, das eine Signalleitung mit einem vorbestimmten charakteristischen Widerstand und zwei GND-Leitungen aufweist, die jeweils auf beiden Seiten entlang der Signalleitung angeordnet sind.
  • Wenn dagegen ein HF-Messungstestkopf vom zweiten SG-Typ und ein HF-Messungstestkopf vom dritten GS-Typ in gegenüberliegender Weise verwendet werden, liegen die Signalanschlüsse einander gegenüber und die GND-Anschlüsse liegen einander gegenüber, so dass unter Verwendung eines Kalibriermusters, das eine Signalleitung mit einem vorbestimmten charakteristischen Widerstand und zwei GND-Leitungen aufweist, die auf einer Seite entlang der Signalleitung angeordnet sind, die Signalanschlüsse in Kontakt mit derselben Signalleitung gebracht werden können und gleichzeitig die GND-Anschlüsse in Kontakt mit denselben GND-Leitungen gebracht werden können und es ist daher möglich, die zwei HF-Messungstestköpfe zu kalibrieren.
  • Wenn jedoch zwei HF-Messungstestköpfe vom zweiten SG-Typ oder zwei HF-Messungstestköpfe vom dritten GS-Typ in gegenüberliegender Weise verwendet werden, liegen unter der Annahme, dass die Signalanschlüsse der zwei HF-Messungstestköpfe in Kontakt mit einer Signalleitung eines Kalibriermusters gebracht werden, ihre GND-Anschlüsse jeweils auf beiden Seiten der Signallei tung, so dass es erforderlich ist, GND-Leitungen jeweils auf beiden Seiten der Signalleitung bereitzustellen.
  • Wenn jedoch das Kalibriermuster verwendet wird, das zum Kalibrieren der ersten HF-Messungstestköpfe vom GSG-Typ verwendet wird, d.h. das Kalibriermuster mit den zwei GND-Leitungen, die auf beiden Seiten entlang der Signalleitung angeordnet sind, kann die Kalibrierung nicht durchgeführt werden, weil die GND-Leitungen voneinander getrennt sind. Wenn beispielsweise ein Kalibriermuster verwendet wird, bei dem die zwei GND-Leitungen an einem ihrer Enden verbunden sind, um die Signalleitung zu umrunden, oder ein Kalibriermuster, bei dem die zwei GND-Leitungen an ihren beiden Enden miteinander verbunden sind, um die Signalleitung vollständig zu umgeben, ist der Signalanschluss zumindest eines der HF-Messungstestköpfe so angeordnet, dass er die GND-Leitung des Kalibriermusters kreuzt, wenn die Kalibrierung durchgeführt wird.
  • Als eine bekannte Technik ist offenbart, dass auf der Oberfläche eines IC-Chips zum Unterdrücken einer parasitären Induktivität bei einer Eigenschaftsuntersuchung einer integrierten Halbleiterschaltungsvorrichtung zum Ermöglichen einer Hochfrequenzeigenschaftsuntersuchung ein Paar mit einer Eingangssignalelektrode und einer Ausgangssignalelektrode und ein Paar mit einer Eingangs-GND-Elektrode und einer Ausgangs-GND-Elektrode angeordnet sind und dass diese Eingangs-GND-Elektrode und Ausgangs-GND-Elektrode über Leiter, die in Durchgangslöchern bereitgestellt sind, die jeweils durch den IC-Chip in seiner Dickerichtung ausgebildet sind, elektrisch mit einer Rückseitenelektrode verbunden sind, die auf der Rückseite des IC-Chips bereitgestellt ist, so dass sie über die Rückseitenelektrode elektrisch miteinander verbunden sind, wodurch eine gemeinsame Masseverbindung geschaffen wird (s. z.B. JP-A-H05-152395, Absätze [0005] bis [0006] und 1 und 2).
  • Als andere bekannte Technik ist offenbart, dass bei einer quadratischen Anordnung mit offenen Stichleitungen in einer Hochfrequenzschaltung für Mikrowellen oder Millimeterwellen die Spannungsamplitude bei einer Position λ/4 von einem offenen Ende einer offenen Stichleitung zu null wird, so dass die Masseverbindung in einer hochfrequenten Weise durchgeführt wird (s. z.B. JP-A-2000-101309, Absatz [0006] und 5).
  • Wenn wie oben beschrieben der Signalanschluss des HF-Messungstestkopfes so angeordnet ist, dass er die GND-Leitung des Kalibriermusters kreuzt, beeinträchtigt ein HF-Signal einen Messwert, so dass der Messwert infolge eines Ansteigens der Signalfrequenz stark abweicht. Beim Beobachten beispielsweise einer Eingangsreflexionseigenschaft, wobei die Messung für ein Durchgangsmuster mit einem charakteristischen Impedanz von 50Ω durchgeführt wird, weicht die Impedanz entsprechend einem Ansteigen der Frequenz weit von 50Ω ab.
  • Für gewöhnlich wurde eine Hochfrequenzschaltung verwendet, deren HF-Messung durch Verwenden von verschiedenen Arten von Messungstestköpfen durchgeführt werden kann, beispielsweise durch Verwendung der HF-Messungstestköpfe vom SG-Typ und der HF-Messungstestköpfe vom GS-Typ. Um die in letzten Jahren geforderte Miniaturisierung und bessere Funktion von Hochfrequenzschaltungen zu erreichen, wurde es jedoch notwendig, den Freiheitsgrad in der Schaltungsanordnung zu erhöhen. Demzufolge tritt ein Fall auf, bei dem die HF-Messung nicht mit der Schaltungseigenschaftsmessung durchgeführt werden kann, die Messungstestköpfe verwendet, bei der die Kontakte verschieden angeordnet sind, und es wird erforderlich, die HF-Messung durch Verwendung der HF-Messungstestköpfe vom zweiten SG-Typ oder der HF-Messungstestköpfe vom dritten GS-Typ zu verwirklichen.
  • Demzufolge tritt ein neues Problem auf, das, wenn die HF-Messungstestköpfe vom zweiten SG-Typ oder die HF-Messungs testköpfe vom dritten GS-Typ, wie sie oben beschrieben sind, verwendet werden, eine exakte Kalibrierung der HF-Messungstestköpfe nicht unter Verwendung des herkömmlichen Kalibriermusters durchgeführt werden kann.
  • Die oben beschriebenen drei Arten von Testköpfen und eine dafür verwendete Hochfrequenzschaltung sind beispielsweise beschrieben in den Produktkatalogen der Firma CASCADE MICROTECH INC mit den Bezeichnungen "High frequency probes for every application" und "Impedance Standard Substrates to support all of your high-frequency probing applications" sowie in den Unterlagen des "2002 Device Modeling Seminar" von Agilent Corporation, erhältlich u.a. über das Internet unter http://cp.literature.agilent.com/litweb/pdf/5988-6833JA.pdf (s. u.a. S.15–19).
    •
  • Die vorliegende Erfindung wurde durchgeführt, um das obige Problem zu lösen, und sie hat die Aufgabe, ein Eigenschaftsmessverfahren für eine Hochfrequenzschaltung bereitzustellen, das verhindern kann, dass ein HF-Signal einen Messwert beim Messen des HF-Signals beeinflusst, ein Kalibriermuster bereitzustellen, das verhindern kann, dass ein HF-Signal einen Messwert beim Messen des HF-Signals beeinträchtigt, und eine Kalibriervorrichtung bereitzustellen, die es möglich macht, ein Kalibriermuster, das verhindern kann, dass ein HF-Signal einen Messwert beim Messen des HF-Signals beeinträchtigt, leicht auszuwechseln.
  • Die Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1.
  • Das Hochfrequenzschaltungseigenschaftsmessverfahren enthält:
    • • das Bereitstellen eines Kalibriermusters mit einem Substrat; einer Signalleitung mit einer charakteristischen Impedanz, die sich so auf dem Substrat erstreckt, das sie einen ersten und einen zweiten Endabschnitt aufweist; einer ersten Konstantpotentialleitung 16, von der ein erster Endabschnitt nahe an und mit einem vorbestimmten Abstand von dem ersten Endabschnitt der Signalleitung angeordnet ist; einer zweiten Konstantpotentialleitung, von der ein erster Endabschnitt nahe an und mit einem vorbestimmten Abstand von dem zweiten Endabschnitt der Signalleitung angeordnet ist; und einem Leiter zum elektrischen oder hochfrequenzmäßigen Verbinden der ersten Konstantpotentialleitung und der zweiten Konstantpotentialleitung; und
    • • das Durchführen einer Kalibrierung vor der Messung einer zu messenden Schaltung unter Verwendung eines ersten und eines zweiten Eigenschaftsmesstestkopfs mit derselben Anordnung eines Signalanschlusses und einen Konstantpotentialanschlusses, indem der Signalanschluss und der Konstantpotentialanschluss des ersten Eigenschaftsmesstestkopfs jeweils in Kontakt gebracht werden mit dem ersten Endabschnitt der Signalleitung bzw. dem ersten Endabschnitt der ersten Konstantpotentialleitung und der Signalanschluss und der Konstantpotentialanschluss des zweiten Eigenschaftsmesstestkopfs in Kontakt gebracht wird mit dem zweiten Endabschnitt der Signalleitung und dem ersten Endabschnitt der zweiten Konstantpotentialleitung des Kalibriermusters.
  • Demzufolge ist bei dem Hochfrequenzeigenschaftsmessverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung keiner der Signalanschlüsse des ersten und zweiten Eigenschaftsmessungstestkopfs so angeordnet, dass er die Konstantpotentialleitung des Kalibriermusters kreuzt.
  • Da ein HF-Signal keinen der Signalanschlüsse des ersten und zweiten Eigenschaftsmessungstestkopfs beeinflusst, kann daher eine genaue Kalibrierung erzielt werden, so dass die Eigenschaftsmessung der Hochfrequenzschaltung präzise ausgeführt wird. Demzufolge kann eine Auswahl der Hochfrequenzschaltungen genau durchgeführt werden, wodurch die Ausbeute von Hochfrequenzschaltungsvorrichtungen verbessert wird.
  • Die Aufgabe wird ebenfalls gelöst durch ein Kalibriermuster gemäß Anspruch 2.
  • Das Kalibriermuster enthält: ein Substrat; eine Signalleitung mit einer charakteristischen Impedanz, die sich so auf dem Substrat erstreckt, dass sie einen ersten und einen zweiten Endabschnitt aufweist; eine erste Konstantpotentialleitung, von der ein erster Endabschnitt nah an und mit einem vorbestimmten Abstand von dem ersten Endabschnitt der Signalleitung angeordnet ist; eine zweite Konstantpotentialleitung, von der ein erster Endabschnitt nah an und mit einem vorbestimmten Abstand von dem zweiten Endabschnitt der Signalleitung angeordnet ist; und einen Leiter zum elektrischen oder hochfrequenzmäßigen Verbinden der ersten Konstantpotentialleitung und der zweiten Konstantpotentialleitung.
  • Dementsprechend ist ein Kalibriermuster gemäß der vorliegenden Erfindung vorteilhaft für eine Hochfrequenzschaltungseigenschaftsmessung, da auch dann keiner der Signalanschlüsse der Eigenschaftsmessungstestköpfe die Konstantpotentialleitung des Kalibriermusters kreuzt, wenn die HF-Messungstestköpfe vom SG-Typ oder die HF-Messungstestköpfe vom GS-Typ so verwendet werden, dass sie einander gegenüberliegen, wobei ihre Signalanschlüsse in Kontakt gebracht sind mit der Signalleitung des Kalibriermusters.
  • Somit beeinträchtigt ein HF-Signal den Messwert nicht, so dass es nicht vorkommt, dass der Messwert infolge eines Ansteigens der Signalfrequenz stark abweicht. Demzufolge ist es möglich, die Kalibrierung der HF-Messungstestköpfe mit hoher Genauigkeit zu verwirklichen.
  • Die Aufgabe wird ebenfalls gelöst durch eine Kalibriervorrichtung gemäß Anspruch 7.
  • Die Kalibriervorrichtung enthält:
    • • ein Kalibriermuster mit einem Substrat; einer Signalleitung mit einer charakteristischen Impedanz; die sich so auf dem Substrat erstreckt, dass sie ein einen ersten und einen zweiten Endabschnitt aufweist; einer ersten Konstantpotentialleitung, von der ein erster Endabschnitt nahe an und mit einem vorbestimmten Abstand von dem ersten Endabschnitt der Signalleitung angeordnet ist; einer zweiten Konstantpotentialleitung, von der ein erster Endabschnitt nahe an und mit einem vorbestimmten Abstand von dem zweiten Endabschnitt der Signalleitung angeordnet ist; und einem Leiter zum elektrischen oder hochfrequenzmäßigen Verbinden der ersten Konstantpotentialleitung und der zweiten Konstantpotentialleitung; und
    • • ein dielektrisches Substrat mit einem Vertiefungsabschnitt, der auf dessen Oberfläche ausgebildet ist zum austauschbaren Anbringen des Kalibriermusters in diesem.
  • Dementsprechend ist eine Kalibriervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung vorteilhaft für eine Hochfrequenzschaltungseigenschaftsmessung, da es die Kalibriervorrichtung ermöglicht, eine Kalibrierung bei vorbestimmten erforderlichen Frequenzen unter Verwendung einer Vorrichtung durchzuführen.
  • Demzufolge kann eine Auswahl der Hochfrequenzschaltungen genau und leicht durchgeführt werden, wodurch die Ausbeute von Hochfrequenzschaltungsvorrichtungen mit dem einfachen Vorgang verbessert wird.
  • Weiterbildungen der Erfindung sind jeweils in den Unteransprüchen gekennzeichnet.
    •
  • Weitere Merkmale und Zweckmäßigkeiten der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der beigefügten Zeichnungen.
  • Es ist jedoch klar, dass die detaillierte Beschreibung und die bestimmten Ausführungsformen lediglich zum Zweck der Veranschaulichungen angegeben sind, da zahlreiche Änderungen und Abwandlungen innerhalb des Bereichs der Erfindung dem Fachmann aus dieser detaillierten Beschreibung klar werden.
  • Von den Figuren zeigen:
  • 1 eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 2 eine Schnittansicht des HF-Messungskalibriermusters entlang einer Linie II-II in 1;
  • 3 eine Beispielszeichnung, die den Zustand zeigt, in dem HF-Messungstestköpfe in Kontakt sind mit dem HF-Messungskalibriermuster gemäß der ersten Ausführungsform;
  • 4 ein Blockdiagramm zum Erläutern eines Messsystems für eine Hochfrequenzschaltung gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • 5 und 6 Blockdiagramme zum Erläutern eines Verfahrens zum Durchführen einer Nullpunktskorrektur des Messsystems für die Hochfrequenzschaltung gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • 7 eine Beispielszeichnung, die ein Messsystem beim Durchführen einer S-Parametermessung einer Hochfrequenzschaltung gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 8 bis 11 Beispielszeichnungen, die das Kalibrierverfahren beim Durchführen der S-Parametermessung der Hochfrequenzschaltung gemäß der vorliegenden Erfindung zeigen;
  • 12 eine Schnittansicht eines HF-Messungskalibriermusters gemäß einer ersten Abwandlung der vorliegenden Erfindung;
  • 13 eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer zweiten Abwandlung der vorliegenden Erfindung;
  • 14 eine Schnittansicht des HF-Messungskalibriermusters entlang einer Linie XIV-XIV in 13;
  • 15 eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer dritten Abwandlung der vorliegenden Erfindung;
  • 16 eine Schnittansicht des HF-Messungskalibriermusters entlang einer Linie XVI-XVI in 15;
  • 17 eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer vierten Abwandlung der vorliegenden Erfindung;
  • 18 eine Schnittansicht des HF-Messungskalibriermusters entlang einer Linie XVIII-XVIII in 17;
  • 19 eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer fünften Abwandlung der vorliegenden Erfindung;
  • 20 eine Schnittansicht des HF-Messungskalibriermusters entlang einer Linie XX-XX in 19;
  • 21 eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer sechsten Abwandlung der vorliegenden Erfindung;
  • 22 eine Beispielszeichnung, die den Zustand zeigt, in dem HF-Messungstestköpfe in Kontakt sind mit dem HF-Messungskalibriermuster gemäß der sechsten Abwandlung der vorliegenden Erfindung;
  • 23 bis 25 Draufsichten auf jeweils ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer siebten bis neunten Abwandlung der vorliegenden Erfindung;
  • 26 eine Schnittansicht des HF-Messungskalibriermusters entlang einer Linie XXVI-XXVI in 25;
  • 27 bis 37 Draufsichten auf jeweils ein HF-Messungskalibriermuster gemäß Abwandlungen der vorliegenden Erfindung;
  • 38 eine Draufsicht auf eine HF-Messungskalibriervorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; und
  • 39 eine Schnittansicht der HF-Messungskalibriervorrichtung entlang einer Linie XXXIX-XXXIX in 38.
  • In allen Figuren sind im wesentlichen gleichen Elementen die gleichen Bezugszeichen zugeordnet.
  • 1 ist eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 2 ist eine Schnittansicht des HF-Messungskalibriermusters entlang einer Linie II-II in 1. In den Zeichnungen, auf die Bezug genommen wird, stellen dieselben Symbole jeweils dieselben oder entsprechende Bestandteile dar.
  • In 1 und 2 ist ein HF-Messungskalibriermuster 10 gezeigt, das ein Beispiel für die erste Ausführungsform ist.
  • Das HF-Messungskalibriermuster 10 enthält ein dielektrisches Substrat 12, das als Substrat dient. Eine Signalleitung 14 mit einer bestimmten charakteristischen Impedanz von beispielsweise 50Ω ist auf der Oberfläche des dielektrischen Substrats 12 bereitgestellt. Die Signalleitung 14 hat eine lineare Form mit zwei entgegengesetzten Enden und enthält eine Metallschicht 141 und eine Goldplattierschicht 142, die auf der Oberfläche der Metallschicht 141 angeordnet ist. Die beiden entgegengesetzten Enden der Signalleitung 14 werden beispielsweise jeweils als erster Endabschnitt 14a und als zweiter Endabschnitt 14b bezeichnet.
  • Eine erste GND-Fläche 16, die als erste Konstantpotentialleitung dient, ist so angeordnet, dass ein vorbestimmter Zwischenraum zwischen ihr und dem ersten Endabschnitt 14a der Signalleitung 14 definiert ist. Die erste GND-Fläche 16 hat einen vorderen Endabschnitt, der auf einer Verlängerung der Signalleitung 14 in ihrer Längsrichtung liegt, und ist elektrisch von der Signalleitung 14 getrennt. Der andere Endabschnitt der ersten GND-Fläche 16 ist mit einer Durchgangslochelektrode 18 verbunden.
  • Die erste GND-Fläche 16 ist mit einer Rückseitenmetallschicht 22, die auf der Rückseite des dielektrischen Substrats 12 angeordnet ist, über die Durchgangslochelektrode 18 und eine Durchkontaktierung 20 verbunden, die durch Vergraben eines Leiters in einem Durchgangsloch gebildet wird, das durch das dielektrische Substrat 12 in seiner Dickerichtung gebildet ist. Die erste GND-Fläche 16 enthält eine Metallschicht 161 und eine Goldplattierschicht 162, die auf der Oberfläche der Metallschicht 161 angeordnet ist. In dieser Ausführungsform ist die Durchgangslochelektrode 18, die mit der ersten GND-Fläche 16 verbunden ist, gebildet durch die Metallschicht 161, von der ein Teil auch die erste GND-Fläche 16 bildet.
  • Weiterhin ist eine zweite GND-Fläche 24, die als zweite Konstantpotentialleitung dient, mit dem vorbestimmten Zwischenraum zwischen ihr selbst und dem zweiten Endabschnitt 14b der Signalleitung 14 angeordnet. Die zweite GND-Fläche 24 enthält einen vorderen Endabschnitt, der in einer Verlängerung der Signalleitung 14 in ihrer Längsrichtung angeordnet ist, und ist elektrisch von der Signalleitung 14 getrennt. Der andere Endabschnitt der zweiten GND-Fläche 24 ist mit einer Durchgangslochelektrode 18 verbunden.
  • Die zweite GND-Fläche 24 ist mit der Rückseitenmetallschicht 22, die auf der Rückseite des dielektrischen Substrats 12 angeordnet ist, über die Durchgangslochelektrode 18 und eine Durchkontaktierung 20 verbunden, die durch Vergraben eines Leiters in einem Durchgangsloch gebildet wird, das durch das dielektrische Substrat 12 in seiner Dickerichtung gebildet ist. Die zweite GND-Fläche 24 enthält eine Metallschicht 241 und eine Goldplattierschicht 242, die auf der Oberfläche der Metallschicht 241 angeordnet ist. In dieser Ausführungsform ist die Durchgangslochelektrode 18, die mit der zweiten GND-Fläche 24 verbunden ist, gebildet durch die Metallschicht 241, von der ein Teil auch die zweite GND-Fläche 24 bildet.
  • Dementsprechend sind die erste GND-Fläche 16 und die zweite GND-Fläche 24 elektrisch über Leiter, d.h. die Durchgangselektroden 18, die Durchkontaktierungen 20 und die Rückseitenmetallschicht 22, miteinander verbunden. Bei dieser Ausführungsform sind die erste GND-Fläche 16 und die zweite GND-Fläche 24 mit Masse verbunden, aber sie müssen nicht notwendigerweise mit Masse verbunden sein, wenn sie elektrisch über die Durchgangslochelektroden 18, die Durchkontaktierungen 20 und die Rückseitenmetallschicht 22 verbunden sind.
  • 3 ist eine Beispielszeichnung, die den Zustand zeigt, in dem HF-Messungstestköpfe in Kontakt sind mit dem HF-Messungskalibriermuster gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • In 3 sind ein HF-Messungstestkopf 30 und ein HF-Messungstestkopf 32 so angeordnet, dass sie einander in einem gewöhnlichen Messzustand gegenüberliegen. Bei der Beschreibung dieser Ausführungsform sind die zwei HF-Messungstestköpfe 30 und 32 beide beispielsweise HF-Messungstestsköpfe vom SG-Typ.
  • Bei der Kalibrierung ist ein Signalanschluss 301 (in 3 mit "S" bezeichnet) des HF-Messungstestkopfs 30 in Kontakt mit der Signalleitung 14, während ein GND-Anschluss 302 (in 3 mit "G" bezeichnet) dieses Testkopfs in Kontakt mit der ersten GND-Fläche 16 ist. Weiter ist ein Signalanschluss 321 (in 3 mit "S" bezeichnet) des HF-Messungstestkopfs 32 in Kontakt mit der Signalleitung 14, während ein GND-Anschluss 322 (in 3 mit "G" bezeichnet) dieses Testkopfs in Kontakt mit der zweiten GND-Fläche 24 ist.
  • Wenn die Kalibrierung unter Verwendung des HF-Messungskalibriermusters 10 durchgeführt wird, kreuzen weder der Signalanschluss 301 noch der Signalanschluss 321 die GND-Leitung. Daher beeinträchtigt ein HF-Signal einen Messwert nicht, so dass es nicht vorkommt, dass der Messwert infolge eines Ansteigens der Signalfrequenz stark abweicht. Demzufolge ist es möglich, die Kalibrierung des HF-Messungstestkopfs 30 und des HF-Messungstestkopfs 32 mit hoher Genauigkeit durchzuführen.
  • Im folgenden wird ein Kalibrierverfahren für die HF-Messungstestköpfe beschrieben.
  • 4 ist ein Blockdiagramm zum Erläutern eines Messsystems für eine Hochfrequenzschaltung gemäß der vorliegenden Erfin dung. 5 und 6 sind Blockdiagramme zum Erläutern eines Verfahrens zum Durchführen der Nullpunktkorrektur des Messsystems für die Hochfrequenzschaltung gemäß der vorliegenden Erfindung. Dieses Nullpunktkorrekturverfahren wird ausgeführt, wenn beispielsweise eine Rauschmessung oder eine Eingangs/Ausgangsmessung der Hochfrequenzschaltung durchgeführt wird.
  • Wie in 4 dargestellt sieht das Messsystem für die Hochfrequenzschaltung wie folgt aus:
    Ein Signal von einer Signalquelle 36 wird über eine Eingabeschaltung 38 in eine zu messende Schaltung 40 eingegeben. Das eingegebene Signal wird von einem ersten Leistungsmesser 37 gemessen, der zwischen der Signalquelle 36 und der Eingabeschaltung 38 liegt. Die Signaleingabe in die zu messende Schaltung 40 wird über einen HF-Messungstestkopf 32 vom SG-Typ wie den in 3 gezeigten durchgeführt.
  • Eine Ausgabe von der zu messenden Schaltung 40 wird beispielsweise über einen HF-Messungstestkopf 30 wie den in 3 gezeigten zu einer Ausgabeschaltung 46 geliefert, und das ausgegebene Signal wird von einem zweiten Leistungsmesser 48 gemessen.
  • Im folgenden wird das Nullpunktkorrekturverfahren für das in 4, gezeigte Hochfrequenzschaltungsmeßsystem beschrieben.
    • (1) Zunächst sind gemäß 5 die Signalquelle 36 und die Eingabeschaltung 38 über den ersten Leistungsmesser 37 miteinander verbunden, und weiterhin ist der zweite Leistungsmesser 48 mit einer HF-eingangsseitigen Endfläche der zu messenden Schaltung 40 verbunden. In diesem Zustand wird in den ersten Leistungsmesser 37 ein Korrekturwert eingegeben, so dass die Leistung an der HF-eingangsseitigen Endfläche der zu messenden Schaltung 40 mit der Ausgangsleistung an einer Endfläche der Signalquelle 36 übereinstimmt. Dieser Korrekturwert entspricht einem Durchgangsverlust der eingangsseitigen Schaltung des Meßsystems, und durch Ausführen dieser Korrektur werden ein an dem ersten Leistungsmesser 37 von einem Ausgangsabschnitt der Signalquelle 36 gewonnener Leistungswert und die Leistung an der HF-eingangsseitigen Endfläche der zu messenden Schaltung 40 gleich.
    • (2) Dann wird wie in 6 dargestellt anstelle der zu messenden Schaltung 40 das HF-Messungskalibriermuster 10 in das in 4 gezeigte Hochfrequenzschaltungsmeßsystem eingebracht, und eine Korrektur wird ausgeführt für einen Durchgangsverlust der ausgangsseitigen Schaltung des Meßsystems. Insbesondere werden bei dem in 6 gezeigten Meßsystem der Signalanschluss 321 und der GND-Anschluss 322 des HF-Messungstestkopfs 32 vom SG-Typ, der als HF-eingangsseitige Endfläche der zu messenden Schaltung 40 dient, jeweils in Kontakt mit der Signalleitung 14 und der zweiten GND-Fläche 24 des HF-Messungskalibriermusters 10 gebracht, während der Signalanschluss 301 und der GND-Anschluss 302 des ausgangsseitigen HF-Messungstestkopfs 30 jeweils in Kontakt mit der Signalleitung 14 und der ersten GND-Fläche 16 des HF-Messungskalibriermusters 10 gebracht werden. Dieser Kontaktzustand ist derselbe wie der in 3 gezeigte. In diesem Zustand wird in den zweiten Leistungsmesser 48 ein Korrekturwert eingegeben, so dass ein an dem zweiten Leistungsmesser 48 gewonnener Wert mit einem an dem ersten Leistungsmesser 37 gewonnenen Wert übereinstimmt. Dieser Korrekturwert entspricht einem Durchgangsverlust der ausgangsseitigen Schaltung des Messsystems.
  • Nach dem Durchführen der Korrektur für den Durchgangsverlust der eingangsseitigen Schaltung und den Durchgangsverlust der ausgangsseitigen Schaltung wie oben beschrieben kann eine Rauschmessung und eine Eingangs/Ausgangsmessung der zu messenden Schaltung durchgeführt werden.
  • Da die Kalibrierung unter Verwendung des HF-Messungskalibriermusters 10 durchgeführt wird, kreuzt weder der Signalanschluss 301 noch der Signalanschluss 321 während der Kalibrierung die GND-Leitung. Somit beeinträchtig ein HF-Signal nicht den Messwert, so dass es nicht vorkommt, dass der Messwert infolge eines Ansteigens der Signalfrequenz stark abweicht. Demzufolge ist es möglich, die Kalibrierung des HF-Messungstestkopfs 30 und des HF-Messungstestkopfs 32 mit hoher Genauigkeit durchzuführen.
  • Im folgenden wird ein Kalibrierverfahren bei der Durchführung einer S-Parametermessung als ein Beispiel für die Kalibrierung beschrieben.
  • 7 ist eine Beispielszeichnung, die ein Messsystem beim Durchführen einer S-Parametermessung einer Hochfrequenzschaltung gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt. 8 bis 11 sind Beispielszeichnungen, die das Kalibrierverfahren beim Durchführen der S-Parametermessung der Hochfrequenzschaltung gemäß der vorliegenden Erfindung zeigen. Hierbei wird als ein Beispiel ein Fall beschrieben, bei dem ein SOLT-Verfahren verwendet wird.
  • Gemäß 7 sind ein HF-Messungstestkopf 30 und ein HF-Messungstestkopf 32 beispielsweise über Koaxialkabel 52 jeweils mit einem Netzwerkanalysator (NWA) 50 verbunden. Durch Bringen des HF-Messungstestkopfs 30 und des HF-Messungstestkopfs 32 in Kontakt mit einer Hochfrequenzschaltung, z.B. einer zu messen den Schaltung 40, wird die S-Parametermessung durchgeführt. Dabei ist es notwendig, einen Korrekturwert für das Koaxialkabel 52 und den HF-Messungstestkopf 30 sowie einen Korrekturwert für das Koaxialkabel 52 und. den HF-Messungstestkopf 32 herzuleiten.
  • Als nächstes wird das Kalibrierverfahren beim Durchführen der S-Parametermessung beschrieben.
    • (1) Mit Bezug auf 8 sind der HF-Messungstestkopf 30 und der HF-Messungstestkopf 32 beide mit einem Widerstandsmuster 54 verbunden, das eine charakteristische Impedanz von beispielsweise 50Ω aufweist, um dadurch eine Messung zum Kalibrieren des Netzwerkanalysators 50 durchzuführen.
    • (2) Mit Bezug auf 9 werden der HF-Messungstestkopf 30 und der HF-Messungstestkopf 32 beide in einen offenen Zustand versetzt, um dadurch eine Messung für die Kalibrierung des Netzwerkanalysators 50 durchzuführen.
    • (3) Mit Bezug auf 10 sind der HF-Messungstestkopf 30 und der HF-Messungstestkopf 32 beide mit einem Kurzschlussmuster 56 verbunden, um dadurch eine Messung für die Kalibrierung des Netzwerkanalysators 50 durchzuführen.
    • (4) Mit Bezug auf 11 sind der HF-Messungstestkopf 30 und der HF-Messungstestkopf 32 mit dem HF-Messungskalibriermuster 10 verbunden, um dadurch eine Messung für die Kalibrierung des Netzwerkanalysators 50 durchzuführen.
  • Insbesondere sind der Signalanschluss 321 und der GND-Anschluss 320 des HF-Messungstestkopfs 32 jeweils in Kontakt mit der Signalleitung 14 und der zweiten GND-Fläche 24 des HF-Messungskalibriermusters 10, während der Signalanschluss 301 und der GND-Anschluss 302 des HF-Messungstestkopfs 30 jeweils in Kontakt mit der Signalleitung 14 und der ersten GND-Fläche 16 des HF-Messungskalibriermusters 10 sind. Dieser Kontaktzustand ist derselbe wie der in 3 gezeigte. In diesem Zustand wird die Messung für die Kalibrierung des Netzwerkanalysators 50 durchgeführt.
  • Bei diesem Vorgang sollte die charakteristische Impedanz des HF-Messungskalibriermusters 10 gleich der des Widerstandsmusters 54 sein.
  • Unter Verwendung der Ergebnisse der Messungen (1) bis (4) wird eine Berechnung durchgeführt zur Korrektur der jeweiligen S-Parameter.
  • Anschließend wird die S-Parametermessung der zu messenden Schaltung 40 durchgeführt unter Verwendung der Koaxialkabel 52 und des HF-Messungstestkopfs 30 in dem kalibrierten Zustand und des Koaxialkabels 52 und des HF-Messungstestkopfs 32 in dem kalibrierten Zustand.
  • Da die Kalibrierung unter Verwendung des HF-Messungskalibriermusters 10 durchgeführt wird, kreuzt auch bei dieser Kalibrierung weder der Signalanschluss 301 noch der Signalanschluss 321 die GND-Leitung. Daher beeinträchtigt ein HF-Signal den Messwert nicht, so dass es nicht vorkommt, dass der Messwert infolge eines Ansteigens der Signalfrequenz stark abweicht. Demzufolge ist es möglich, die Kalibrierung des HF-Messungstestkopfs 30, des HF-Messungstestkopfs 32 und der Koaxialkabel 52 mit hoher Genauigkeit durchzuführen.
  • 12 ist eine Schnittansicht eines HF-Messungskalibriermusters gemäß einer ersten Abwandlung der vorliegenden Erfindung.
  • Eine Draufsicht auf das in 12 gezeigten HF-Messungskalibriermuster 58 ist dieselbe wie 1, die eine Draufsicht auf das HF-Messungskalibriermuster 10 der ersten Ausführungsform zeigt. Weiterhin ist das in 12 gezeigte HF-Messungskalibriermuster 58 entlang einer Linie geschnitten, die der Linie II-II in 1 entspricht.
  • Das HF-Messungskalibriermuster 58 wird gebildet, indem weiter eine dielektrische Schicht 60 so bereitgestellt ist, dass sie die Rückseitenmetallschicht 22 des HF-Messungskalibriermusters 10 bedeckt.
  • Wenn beim Durchführen einer Messung unter Verwendung des HF-Messungstestkopfs 30 und des HF-Messungstestkopfs 32, die so angeordnet sind, dass sie einander gegenüberliegen, die Kalibrierung unter Verwendung des HF-Messungskalibriermusters 58 durchgeführt wird, kreuzt ähnlich wie in dem Fall des HF-Messungskalibriermusters 10 weder der Signalanschluss 301 noch der Signalanschluss 321 die GND-Leitung. Daher beeinträchtig ein HF-Signal nicht einen Messwert, so dass es nicht vorkommt, dass der Messwert infolge eines Ansteigens der Signalfrequenz stark abweicht. Demzufolge ist es möglich, die Kalibrierung des HF-Messungstestkopfs 30 und des HF-Messungstestkopfs 32 mit hoher Genauigkeit durchzuführen. Da die Rückseitenmetallschicht 22 weiter mit der dielektrischen Schicht 60 bedeckt ist, ist es weiterhin möglich, die Kalibrierung des HF-Messungstestkopfs 30 und des HF-Messungstestkopfs 32 unabhängig von dem Zustand eines Ortes, an dem das HF-Messungskalibriermuster 58 angeordnet ist, auch dann stabil durchzuführen, wenn die Rückseitenmetallschicht 22 auf ein konstantes Potential wie z.B. ein Massepotential gelegt ist.
  • 13 ist eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer zweiten Abwandlung der vorliegenden Erfindung.
  • 14 ist eine Schnittansicht des HF-Messungskalibriermusters entlang einer Linie XIV-XIV in 13.
  • Bei dem in 13 und 14 gezeigten HF-Messungskalibriermuster 62 erstreckt sich eine Rückseitenmetallschicht 64 über die Seitenflächen des dielektrischen Substrats 12 bis zu dessen Oberfläche, so dass sie jeweils elektrisch mit Endabschnitten einer ersten GND-Fläche 16 und einer zweiten GND-Fläche 24 verbunden sind, die entfernt von bzw. nicht benachbart zu einer Signalleitung 14 liegen. Daher sind die Durchgangslochelektroden 18 und die Durchkontaktierungen 20, die in der ersten Ausführungsform bereitgestellt sind, nicht bereitgestellt.
  • Das bedeutet, dass die Endabschnitte der ersten GND-Fläche 16 und der zweiten GND-Fläche 24, die auf der Seite liegen, die der Signalleitung 14 nicht benachbart sind, direkt miteinander verbunden sind, so dass sie elektrisch leiten.
  • Bei dem so aufgebauten HF-Messungskalibriermuster 62 ist es zusätzlich zu der Wirkung des HF-Messungskalibriermusters 10 möglich, Flächen von Abschnitten der Rückseitenmetallschicht 64 zu vergrößern, die auf den Seitenflächen des dielektrischen Substrates 12 angeordnet sind, und daher ist es möglich, parasitäre Induktivitätskomponenten zu verringern, die erzeugt werden, wenn die erste GND-Fläche 16 und die zweite GND-Fläche 24 gemeinsam mit Masse verbunden sind.
  • 15 ist eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer dritten Abwandlung der vorliegenden Erfindung.
  • 16 ist eine Schnittansicht des HF-Messungskalibriermusters entlang einer Linie XVI-XVI in 15.
  • Bei dem in 15 und 16 gezeigten HF-Messungskalibriermuster 66 sind als Leiter dienende offene Stichleitungen 68 jeweils auf der Seite, die nicht einer Signalleitung 14 benachbart ist, mit Endabschnitten einer ersten GND-Fläche 16 und einer zweiten GND-Fläche 24 verbunden.
  • Durch Einstellen einer Größe der offenen Stichleitung 68 auf ein Viertel einer Wellenlänge der Frequenz eines zu messenden Signals sind die erste GND-Fläche 16 und die zweite GND-Fläche 24 über die offene Stichleitung 68 hochfrequenzmäßig miteinander verbunden.
  • Somit werden bei dem HF-Messungskalibriermuster 66 zusätzlich zu der Wirkung des HF-Messungskalibriermusters 10 der ersten Ausführungsform die Durchgangslöcher 20 und die Rückseitenmetallschicht 22 bei dem HF-Messungskalibriermuster 10 bzw. die Rückseitenmetallschicht 64, die sich bei dem HF-Messungskalibriermuster 62 der zweiten Abwandlung über die Seitenflächen des dielektrischen Substrates 12 zu dessen Oberfläche erstrecken, überflüssig, so dass die Herstellung des HF-Messungskalibriermusters erleichtert wird.
  • 17 ist eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer vierten Abwandlung der vorliegenden Erfindung.
  • 18 ist eine Schnittansicht des HF-Messungskalibriermusters entlang einer Linie XVIII-XVIII in 17.
  • Bei dem in 17 und 18 gezeigten HF-Messungskalibriermuster 70 sind Endabschnitte einer ersten GND-Fläche 16 und einer zweiten GND-Fläche 24 jeweils auf der Seite, die nicht einem ersten Endabschnitt 14a oder einem zweiten Endabschnitt 14b der Signalleitung 14 benachbart ist, miteinander verbunden über einen verlängerten Abschnitt 72 der GND-Flächen, so dass auf der Oberfläche des dielektrischen Substrats 12 eine S-Form gebildet wird, während die Signalleitung 14, die diesen verlängerten Abschnitt 72 kreuzt, eine Luftbrücke 14c aufweist, die an einem Abschnitt von ihr ausgebildet ist, und sie überbrückt den verlängerten Abschnitt 72 bei dieser Luftbrücke 14c.
  • Bei dem HF-Messungskalibriermuster 70 werden zusätzlich zu der Wirkung des HF-Messungskalibriermusters 10 der ersten Ausfüh rungsform die Durchkontaktierungen 20 und die Rückseitenmetallschicht 22 bei dem HF-Messungskalibriermuster 10 oder die Rückseitenmetallschicht 64, die sich bei dem HF-Messungskalibriermuster 62 der zweiten Abwandlung über die Seitenflächen des dielektrischen Substrats 12 bis zu dessen Oberfläche erstreckt, überflüssig, so dass die Herstellung des HF-Messungskalibriermusters erleichtert wird. Es kann ein Fall auftreten, bei dem die charakteristische Impedanz der Luftbrücke 14c der Signalleitung 14 sich von einem Abschnitt der Signalleitung 14 unterscheidet, der nicht die Luftbrücke 14c ist, und in diesem Fall kann es notwendig sein, eine Breite der Luftbrücke 14c so festzulegen, dass die Impedanz der Luftbrücke 14c der des Abschnitts entspricht, der nicht die Luftbrücke 14c ist.
  • 19 ist eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer fünften Abwandlung der vorliegenden Erfindung.
  • 20 ist eine Schnittansicht des HF-Messungskalibriermusters entlang einer Linie XX-XX in 19.
  • Bei dem in 19 und 20 gezeigten HF-Messungskalibriermuster 74 sind Endabschnitte einer ersten GND-Fläche 16 und einer zweiten GND-Fläche 24, die jeweils auf den nicht einer Signalleitung 14 benachbarten Seiten liegen, über einen verlängerten Abschnitt 72 miteinander verbunden, so dass auf der Oberfläche des dielektrischen Substrats 12 eine S-Form gebildet ist, während dieser verlängerter Abschnitt 72 eine Luftbrücke 72a aufweist, die an einem Abschnitt von ihm ausgebildet ist, und sie überbrückt die Signalleitung 14 mit dieser Luftbrücke 72a.
  • Das so aufgebaute HF-Messungskalibriermuster 74 zeigt eine Wirkung ähnlich der des HF-Messungskalibriermusters 70 der vierten Abwandlung.
  • Es kann ein Fall auftreten, in dem die charakteristische Impedanz der Luftbrücke 72a des verlängerten Abschnitts 72, unter der die Signalleitung 14 angeordnet ist, nicht mit der des restlichen Abschnitts übereinstimmt, und in diesem Fall kann es erforderlich sein, eine Linienbreite zu ändern, um das zu berücksichtigen.
  • 21 ist eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer sechsten Abwandlung der vorliegenden Erfindung.
  • Bei dem in 21 gezeigten HF-Messungskalibriermuster 76 ist eine erste GND-Fläche 16 so angeordnet, dass ein vorbestimmter Zwischenraum zwischen ihr und einem ersten Endabschnitt 14a der Signalleitung 14 festgelegt ist. Im Unterschied zu dem HF-Messungskalibriermuster 10 weist die erste GND-Fläche 16 bei dieser Abwandlung einen vorderen Endabschnitt auf, der entlang der Signalleitung 14 angeordnet ist, so dass er der Signalleitung 14 gegenüberliegt. Die erste GND-Fläche 16 ist elektrisch von der Signalleitung 14 getrennt. Der andere Endabschnitt der ersten GND-Fläche 16 erstreckt sich in eine Richtung weg von der Signalleitung 14 und ist mit einer Durchgangslochelektrode 18 verbunden.
  • Weiterhin ist eine zweite GND-Fläche 24 so angeordnet, dass der vorbestimmte Zwischenraum zwischen ihr und einem zweiten Endabschnitt 14b der Signalleitung 14 festgelegt ist. Auch die zweite GND-Fläche weist einen vorderen Endabschnitt auf, der entlang der Signalleitung 14 so angeordnet ist, dass er der Signalleitung 14 gegenüberliegt, und sie ist elektrisch von der Signalleitung 14 getrennt. Der andere Endabschnitt der zweiten GND-Fläche 24 erstreckt sich in einer Richtung weg von der Signalleitung 14 und ist mit einer Durchgangslochelektrode 18 verbunden.
  • Die erste GND-Fläche 16 und die zweite GND-Fläche 24 liegen sich nicht exakt gegenüber, sondern sie sind so angeordnet, dass sie einander gegenüberliegen, wobei die Signalleitung 14 dazwischen liegt.
  • Die erste GND-Fläche 16 und die zweite GND-Fläche 24 sind über die Durchgangslochelektroden 18, die Durchkontaktierungen 20 und die Rückseitenmetallschicht 22 miteinander verbunden.
  • Eine Schnittansicht des HF-Messungskalibriermusters 76 entlang einer Linie XXI-XXI in 21 entspricht 2.
  • Weiterhin kann das HF-Messungskalibriermuster 76 wie das HF-Messungskalibriermuster 58 der ersten Abwandlung zusätzlich eine dielektrische Schicht 60 aufweisen, die so angeordnet ist, dass sie die Rückseitenmetallschicht 22 bedeckt.
  • 22 ist eine Beispielszeichnung, die den Zustand zeigt, in dem HF-Messungstestköpfe in Kontakt sind mit dem HF-Messungskalibriermuster gemäß der sechsten Abwandlung der vorliegenden Erfindung.
  • In 22 sind wie bei dem HF-Messungskalibriermuster 10 ein HF-Messungstestkopf 30 und ein HF-Messungstestkopf 32 so angeordnet, dass sie einander gegenüberliegen. Diese zwei HF-Messungstestköpfe 30 und 32 sind beide beispielsweise HF-Messungstestköpfe vom SG-Typ.
  • Wenn die Kalibrierung unter Verwendung des HF-Messungskalibriermusters 76 durchgeführt wird, kreuzt weder ein Signalanschluss 301 des HF-Messungstestkopfs 30 noch ein Signalanschluss 321 des HF-Messungstestkopfs 32 die GND-Leitung. Daher beeinflusst ein HF-Signal einen Messwert nicht, so dass es nicht vorkommt, dass der Messwert infolge eines Ansteigens der Signalfrequenz stark abweicht. Demzufolge ist es möglich, die Kalibrierung des HF-Messungstestkopfs 30 und des HF-Messungstestkopfs 32 mit hoher Genauigkeit durchzuführen.
  • Da der Signalanschluss 301 des HF-Messungstestkopfs 30 und der Signalanschluss 321 des HF-Messungstestkopfs 32 einander gegenüberliegen, wobei ein Abstand zwischen ihnen in einer Längsrichtung der Signalleitung 14 definiert ist, und da sie in einer Querrichtung nahe beieinander liegen, wird das Übersprechen verringert, so dass die Kalibrierung mit hoher Genauigkeit durchgeführt werden kann.
  • 23 ist eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer siebten Abwandlung der vorliegenden Erfindung. Das in 23 gezeigte HF-Messungskalibriermuster 78 hat im wesentlichen denselben Aufbau wie das in 13 und 14 gezeigte HF-Messungskalibriermuster 62 der zweiten Abwandlung. Der Unterschied zu dem HF-Kalibriermuster 62 liegt darin, dass, während die erste GND-Fläche 16 und die zweite GND-Fläche 24 des HF-Messungskalibriermusters 62 jeweils einen vorderen Endabschnitt aufweisen, der auf einer Verlängerung der Signalleitung 14 in ihrer Längsrichtung liegt, eine erste GND-Fläche 16 und eine zweite GND-Fläche 24 des HF-Messungskalibriermusters 78 jeweils einen vorderen Endabschnitt aufweisen, der entlang einer Signalleitung 14 liegt, und dass eine Rückseitenmetallschicht 64 jeweils in Kontakt ist mit Seitenflächen der ersten GND-Fläche 16 und der zweiten GND-Fläche 24.
  • Der restliche Aufbau des HF-Messungskalibriermusters 78 ist derselbe wie der des HF-Messungskalibriermusters 62. Eine Schnittansicht des HF-Messungskalibriermusters 78 entlang einer Linie XXIII-XXIII in 23 entspricht 14.
  • Da der Signalanschluss 301 des HF-Messungstestkopfs 30 und der Signalanschluss 321 des HF-Messungstestkopfs 32 einander so gegenüberliegen, dass ein Abstand zwischen ihnen in einer Längs richtung der Signalleitung 14 festgelegt ist, und da sie in einer Querrichtung nah beieinander liegen, wird bei dem HF-Messungskalibriermuster 78 zusätzlich zu der Wirkung des HF-Messungskalibriermusters 62 daher das Übersprechen verringert, so dass die Kalibrierung mit hoher Genauigkeit durchgeführt werden kann.
  • 24 ist eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer achten Abwandlung der vorliegenden Erfindung.
  • Das in 24 gezeigte HF-Messungskalibriermuster 80 hat im wesentlichen denselben Aufbau wie das in 15 und 16 gezeigte HF-Messungskalibriermuster 66 der dritten Abwandlung. Der Unterschied zu dem HF-Messungskalibriermuster 66 liegt darin, dass eine erste GND-Fläche 16 und eine zweite GND-Fläche 24 des HF-Messungskalibriermusters 80 jeweils einen vorderen Endabschnitt aufweisen, der entlang einer Signalleitung 14 angeordnet ist, während die erste GND-Fläche 16 und die zweite GND-Fläche 24 des HF-Messungskalibriermusters 66 jeweils einen vorderen Endabschnitt aufweisen, der auf einer Verlängerung der Signalleitung 14 in ihrer Längsrichtung liegt.
  • Der restliche Aufbau des HF-Messungskalibriermusters 80 ist derselbe wie der des HF-Messungskalibriermusters 66. Eine Schnittansicht des HF-Messungskalibriermusters 80 entlang einer Linie XXIV-XXIV in 24 entspricht 16.
  • Da der Signalanschluss 301 des HF-Messungstestkopfs 30 und der Signalanschluss 321 des HF-Messungstestkopfs 32 einander mit einem festgelegten Abstand in einer Längsrichtung der Signalleitung 14 gegenüberliegen und in einer Querrichtung nahe beieinander liegen, ist daher bei dem HF-Messungskalibriermuster 80 zusätzlich der Wirkung des HF-Messungskalibriermusters 66 das Übersprechen verringert, so dass die Kalibrierung mit hoher Genauigkeit durchgeführt werden kann.
  • 25 ist eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer neunten Abwandlung der vorliegenden Erfindung.
  • 26 ist eine Schnittansicht des HF-Messungskalibriermusters entlang einer Linie XXVI-XXVI in 25.
  • Das in 25 gezeigte HF-Messungskalibriermuster 82 hat im wesentlichen denselben Aufbau wie das in 17 gezeigte HF-Messungskalibriermuster 70 der ersten Ausführungsform. Der Unterschied zu dem HF-Messungskalibriermuster 70 liegt darin, dass eine erste GND-Fläche und eine zweite GND-Fläche 24 des HF-Messungskalibriermusters 82 entlang einer Signalleitung 14 angeordnet sind und jeweils einen vorderen Endabschnitt aufweisen, der Seite an Seite mit einem ersten Endabschnitt 14a oder einem zweiten Endabschnitt 14b der Signalleitung 14 liegt, während die erste GND-Fläche 16 und die zweite GND-Fläche 24 des HF-Messungskalibriermusters 70 jeweils einen vorderen Endabschnitt aufweisen, der auf einer Verlängerung der Signalleitung 14 in ihrer Längsrichtung liegt.
  • Der restliche Aufbau des HF-Messungstestkopfs 82 ist derselbe wie der des HF-Messungstestkopfs 70.
  • Da der Signalanschluss 301 des HF-Messungstestkopfs 30 und der Signalanschluss 321 des HF-Messungstestkopfs 32 einander mit einem dazwischen festgelegten Abstand in einer Längsrichtung der Signalleitung 14 gegenüberliegen und in einer Querrichtung nah beieinander angeordnet sind, ist daher bei dem HF-Messungskalibriermuster 82 zusätzlich zu der Wirkung des HF-Messungskalibriermusters 70 das Übersprechen verringert, so dass die Kalibrierung mit hoher Genauigkeit durchgeführt werden kann.
  • 27 ist eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer zehnten Abwandlung der vorliegenden Erfindung.
  • Das in 27 gezeigte HF-Messungskalibriermuster 84 hat im wesentlichen denselben Aufbau wie das in 19 und 20 gezeigte HF-Messungskalibriermuster 74 der fünften Abwandlung. Der Unterschied zu dem HF-Messungskalibriermuster 74 liegt darin, dass eine erste GND-Fläche 16, und eine zweite GND-Fläche 24 des HF-Messungskalibriermusters 84 entlang einer Signalleitung 14 angeordnet sind und jeweils einen vorderen Endabschnitt aufweisen, der Seite an Seite mit einem ersten Endabschnitt 14a und einem zweiten Endabschnitt 14b der Signalleitung 14 angeordnet ist, während die erste GND-Fläche 16 und die zweite GND-Fläche 24 des HF-Messungskalibriermusters 74 jeweils einen vorderen Endabschnitt aufweisen, der auf einer Verlängerung der Signalleitung 14 in ihrer Längsrichtung liegt.
  • Der restliche Aufbau des HF-Messungskalibriermusters 84 ist derselbe wie der des HF-Kalibriermusters 74.
  • Eine Schnittansicht des HF-Messungskalibriermusters 84 entlang einer Linie XXVII-XXVII in 27 entspricht 20.
  • Da der Signalanschluss 301 des HF-Messungstestkopfs 30 und der Signalanschluss 321 des HF-Messungstestkopfs 32 einander mit einem dazwischen festgelegten Abstand in einer Längsrichtung der Signalleitung 14 gegenüberliegen und in einer Querrichtung nahe beieinander angeordnet sind, ist daher bei dem HF-Messungskalibriermuster 84 zusätzlich zu der Wirkung des HF-Messungskalibriermusters 74 das Übersprechen verringert, so dass die Kalibrierung mit hoher Genauigkeit durchgeführt werden kann.
  • Wie oben beschrieben enthält das HF-Messungskalibriermuster gemäß der ersten Ausführungsform: das dielektrische Substrat; die Signalleitung mit einer charakteristischen Impedanz von beispielsweise 50Ω, die sich auf dem dielektrischen Substrat so erstreckt, dass sie einen ersten und einen zweiten Endabschnitt aufweist; die erste GND-Fläche, die einen Endabschnitt aufweist, der nahe an und mit einem vorbestimmten Zwischenraum von dem ersten Endabschnitt der Signalleitung angeordnet ist; die zweite GND-Fläche, die einen Endabschnitt aufweist, der nahe an und mit einem vorbestimmten Abstand von dem zweiten Endabschnitt der Signalleitung angeordnet ist; und die Durchgangslochelektroden, die Durchkontaktierung und die Rückseitenmetallschicht zum elektrischen Verbinden der ersten GND-Fläche und der zweiten GND-Fläche oder der Rückseitenmetallschicht, die sich über die Seitenflächen des dielektrischen Substrats zu dessen Oberfläche erstreckt zum elektrischen Verbinden der ersten GND-Fläche und der zweiten GND-Fläche, oder die offenen Stichleitungen zum Verbinden der ersten GND-Fläche und der zweiten GND-Fläche in hochfrequenter Weise. Auch wenn die HF-Messungstestköpfe vom SG-Typ oder die HF-Messungstestköpfe vom GS-Typ so verwendet werden, dass sie einander gegenüberliegen, wobei ihre Signalanschlüsse in Kontakt mit der Signalleitung des Kalibriermusters gebracht werden, kreuzt bei diesem Aufbau keiner der Signalanschlüsse der HF-Messungstestköpfe die GND-Leitung. Daher beeinflusst das HF-Signal den Messwert nicht, so dass es nicht vorkommt, dass der Messwert infolge eines Ansteigens der Signalfrequenz stark abweicht. Demzufolge ist es möglich, die Kalibrierung der HF-Messungstestköpfe mit hoher Genauigkeit durchzuführen.
  • Da das HF-Signal auf keinem der Signalanschlüsse des ersten und zweiten Eigenschaftsmessungstestkopfs eine Wirkung hat, kann bei dem Hochfrequenzschaltungseigenschaftsmessverfahren zum Ausführen der Kalibrierung durch Verwendung des HF-Messungskalibriermusters gemäß der ersten Ausführungsform die genaue Kalibrierung erzielt werden, so dass die Eigenschaftsmessung der Hochfrequenzschaltung genau durchgeführt wird. Demzufolge kann eine Auswahl der Hochfrequenzschaltungen genau durchge führt werden, wodurch die Ausbeute der Hochfrequenzschaltungsvorrichtungen vergrößert wird.
  • Die obige Beschreibung wurde für den Fall gegeben, in dem die HF-Messungstestköpfe vom SG-Typ verwendet werden. Wenn die erste GND-Fläche und die zweite GND-Fläche jedoch so angeordnet sind, dass sie mit Bezug auf die Mittelachse der Signalleitung spiegelbildlich liegen, kann die vorliegende Erfindung auch auf einen Fall angewendet werden, bei dem die HF-Messungstestköpfe vom GS-Typ verwendet werden.
  • 28 ist eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Das in 28 gezeigte HF-Messungskalibriermuster 86 hat im wesentlichen denselben Aufbau wie das in 21 gezeigte HF-Messungskalibriermuster 76 der sechsten Abwandlung in der ersten Ausführungsform. Der Unterschied zu dem HF-Messungskalibriermuster 76 liegt darin, dass weiter eine dritte GND-Fläche 88 bereitgestellt ist, die als dritte Konstantpotentialleitung dient und der ersten GND-Fläche 16 des HF-Messungskalibriermusters 76 an einem Endabschnitt 14a der dazwischenliegenden Signalleitung 14 gegenüberliegt und elektrisch von der Signalleitung 14 getrennt ist.
  • Die dritte GND-Fläche 88 weist einen vorderen Endabschnitt auf, der entlang der Signalleitung 14 angeordnet ist und einem vorderen Endabschnitt der GND-Fläche 16 so gegenüberliegt, dass die Signalleitung 14 dazwischenliegt. Der andere Endabschnitt der dritten GND-Fläche 88 erstreckt sich in einer Richtung weg von der Signalleitung 14 und ist mit einer Durchgangslochelektrode 18 verbunden.
  • Die dritte GND-Fläche 88 ist elektrisch über die Durchgangslochelektrode 18 und eine Durchkontaktierung 20 mit der Rück seitenmetallschicht 22 verbunden. Daher ist die dritte GND-Fläche 88 elektrisch mit der ersten GND-Fläche 16 und der zweiten GND-Fläche 24 verbunden.
  • Der Aufbau der dritten GND-Fläche 88 ist derselbe wie der der ersten GND-Fläche 16, wobei eine Goldplattierschicht auf der Oberfläche einer Metallschicht angeordnet ist. In dieser Ausführungsform ist die mit der dritten GND-Fläche 88 verbundene Durchgangslochelektrode 18 durch die Metallschicht gebildet, von der ein Teil auch die dritte GND-Fläche 88 bildet.
  • Eine Schnittansicht entlang einer Linie XXVIII-XXVIII in 28 entspricht 2.
  • Bei dem HF-Messungskalibriermuster 86 gemäß der zweiten Ausführungsform wird ein HF-Messungstestkopf vom SG-Typ an dem zweiten Endabschnitt 14b der Signalleitung 14 in Kontakt gebracht, während ein HF-Messungstestkopf vom SG-Typ, vom GS-Typ oder vom GSG-Typ an dem ersten Endabschnitt 14a der Signalleitung 14 in Kontakt gebracht werden kann.
  • Beim Durchführen einer Kalibrierung für eine Eigenschaftsmessung einer Hochfrequenzschaltung unter Verwendung von HF-Messungstestköpfe vom SG-Typ, unter Verwendung von HF-Messungstestköpfen vom GS-Typ, wobei die zweite GND-Fläche 24 gegenüber dem derzeitigen Zustand bezüglich der Mittelachse der Signalleitung spiegelbildlich angeordnet, oder unter Verwendung eines HF-Messungstestkopfs vom SG-Typ und eines ihm gegenüberliegenden HF-Messungstestkopfs vom GS-Typ oder vom GSG-Typ, wenn die Messung unter Verwendung des HF-Messungskalibriermusters 86 durchgeführt wird, kreuzt keiner der Signalanschlüsse die GND-Leitung, wie es in der ersten Ausführungsform beschrieben ist. Daher beeinflusst ein HF-Signal den Messwert nicht, so dass es nicht vorkommt, dass der Messwert infolge eines Ansteigens der Signalfrequenz stark abweicht. Demzu folge ist es möglich, die Kalibrierung der HF-Messungstestköpfe mit hoher Genauigkeit durchzuführen.
  • 29 ist eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer elften Abwandlung der vorliegenden Erfindung.
  • Das in 29 gezeigte HF-Messungskalibriermuster 90 ist eine Abwandlung der zweiten Ausführungsform, hat aber im wesentlichen denselben Aufbau wie das in 23 dargestellte HF-Messungskalibriermuster 78 der siebten Abwandlung in der ersten Ausführungsform. Der Unterschied zu dem HF-Messungskalibriermuster 78 besteht darin, dass weiter eine dritte GND-Fläche 88 bereitgestellt ist, die der ersten GND-Fläche 16 des HF-Messungskalibriermusters 78 über die Signalleitung 14 gegenüberliegt und elektrisch von der Signalleitung 14 getrennt ist. Die dritte GND-Anschlussfläche 88 weist einen vorderen Endabschnitt auf, der entlang der Signalleitung 14 angeordnet ist, und sie weist eine Seitenfläche auf, die wie die erste GND-Fläche 16 mit der Rückseitenmetallschicht 64 in Kontakt ist.
  • Daher sind die erste GND-Fläche 16, die zweite GND-Fläche 24 und die dritte GND-Fläche 88 elektrisch miteinander verbunden.
  • Eine Schnittansicht entlang einer Linie XXIX-XXIX in 29 entspricht 14.
  • Daher kann das HF-Messungskalibriermuster 90 angewendet werden beim Durchführen einer Kalibrierung für eine Eigenschaftsmessung einer Hochfrequenzschaltung unter Verwendung von HF-Messungstestköpfen vom SG-Typ, unter Verwendung von HF-Messungstestköpfen vom GS-Typ, wobei die zweite GND-Fläche 24 gegenüber dem derzeitigen Zustand bezüglich der Mittelachse der Signalleitung spiegelbildlich angeordnet ist, oder unter Verwendung eines HF-Messungstestkopfs vom SG-Typ und eines ihm gegenüberliegenden HF-Messungstestkopfs vom GS-Typ oder GSG-Typ, und sie weist eine Wirkung auf wie die siebte Abwandlung in der ersten Ausführungsform.
  • 30 ist eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer zwölften Abwandlung der vorliegenden Erfindung.
  • Das in 30 gezeigte HF-Messungskalibriermuster 92 ist eine Abwandlung der zweiten Ausführungsform, hat aber im wesentlichen denselben Aufbau wie das in 24 gezeigte HF-Messungskalibriermuster 80 der achten Abwandlung in der ersten Ausführungsform. Der Unterschied zu dem HF-Messungskalibriermuster 80 besteht darin, dass weiter eine dritte GND-Fläche 88 angeordnet ist, die der ersten GND-Fläche 16 des HF-Messungskalibriermusters über die Signalleitung 14 gegenüberliegt und elektrisch von der Signalleitung 14 getrennt ist. Die dritte GND-Fläche weist einen vorderen Endabschnitt auf, der entlang der Signalleitung 14 angeordnet ist, und auf der nicht der Signalleitung 14 benachbarten Seite ist eine offene Stichleitung 68 an einen Endabschnitt der dritten GND-Fläche 88 angeschlossen.
  • Durch Einstellen einer Größe der offenen Stichleitung 68 auf ein Viertel einer Wellenlänge der Frequenz eines zu messenden Signals sind die erste GND-Fläche 16, die zweite GND-Fläche 24, und die dritte GND-Fläche 88 in hochfrequenter Weise über die offenen Stichleitungen 68 miteinander verbunden.
  • Eine Schnittansicht entlang einer Linie XXX-XXX in 30 entspricht 16.
  • Daher kann das HF-Messungskalibriermuster 92 angewendet werden bei der Kalibrierung für die Eigenschaftsmessung einer Hochfrequenzschaltung unter Verwendung von HF-Messungstestköpfen vom SG-Typ, unter Verwendung von HF-Messungstestköpfen vom GS-Typ, wobei die zweite GND-Fläche 24 gegenüber dem derzeitigen Zu stand bezüglich der Mittelachse der Signalleitung spiegelbildlich angeordnet ist, oder unter Verwendung eines HF-Messungstestkopfs vom SG-Typ und eines diesem gegenüberliegenden HF-Messungstestkopf vom GS-Typ oder vom GSG-Typ, und es zeigt eine Wirkung ähnlich wie die achte Abwandlung in der ersten Ausführungsform.
  • 31 ist eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer dreizehnten Abwandlung der vorliegenden Erfindung.
  • Das in 31 gezeigte HF-Messungskalibriermuster 94 ist eine Abwandlung der zweiten Ausführungsform, hat aber im wesentlichen denselben Aufbau wie das in 25 und 26 gezeigte HF-Messungskalibriermuster 82 der neunten Abwandlung in der ersten Ausführungsform. Der Unterschied zu dem HF-Messungskalibriermuster 82 liegt darin, dass weiter eine dritte GND-Fläche 88 bereitgestellt ist, die der ersten GND-Fläche 16 des HF-Messungskalibriermusters 82 über die Signalleitung 14 gegenüberliegt und elektrisch von der Signalleitung 14 getrennt ist. Die dritte GND-Fläche 88 ist entlang der Signalleitung 14 angeordnet und weist einen vorderen Endabschnitt auf, der Seite an Seite mit dem ersten Endabschnitt 14a der Signalleitung 14 angeordnet ist. Die dritte GND-Fläche 88 ist mit der ersten GND-Fläche 16 und der zweiten GND-Fläche 24 über den verlängerten Abschnitt 72 auf der Oberfläche des dielektrischen Substrats verbunden.
  • Eine Schnittansicht entlang einer Linie XXXI-XXXI in 31 entspricht 26.
  • Daher kann das HF-Messungskalibriermuster 94 angewendet werden beim Durchführen einer Kalibrierung für eine Eigenschaftsmessung einer Hochfrequenzschaltung unter Verwendung von HF-Messungstestköpfen vom SG-Typ, unter Verwendung von HF-Messungstestköpfen vom GS-Typ, wobei die zweite GND-Fläche 24 gegenüber dem derzeitigen Zustand bezüglich der Mittelachse der Signalleitung spiegelbildlich angeordnet ist, oder unter Verwendung eines HF-Messungstestkopfs vom SG-Typ und eines diesem gegenüberliegenden HF-Messungstestkopfs vom GS-Typ oder vom GSG-Typ, und es zeigt eine ähnliche Wirkung wie die neunte Abwandlung der ersten Ausführungsform.
  • 32 ist eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer vierzehnten Abwandlung der vorliegenden Erfindung.
  • Das in 32 gezeigte HF-Messungskalibriermuster 96 ist eine Abwandlung der zweiten Ausführungsform, hat aber im wesentlichen denselben Aufbau wie das in 27 gezeigte HF-Messungskalibriermuster 84 der zehnten Abwandlung in der ersten Ausführungsform. Der Unterschied zu dem HF-Messungskalibriermuster 84 besteht darin, dass weiter eine dritte GND-Fläche 88 bereitgestellt ist, die der ersten GND-Fläche 16 des HF-Messungskalibriermusters 84 über die Signalleitung 14 gegenüberliegt und elektrisch von der Signalleitung 14 getrennt ist. Die dritte GND-Fläche 88 ist entlang der Signalleitung 14 angeordnet und weist einen vorderen Endabschnitt auf, der Seite an Seite mit dem ersten Endabschnitt 14a der Signalleitung 14 angeordnet ist. Die dritte GND-Fläche 88 ist mit der ersten GND-Fläche 16 und der zweiten GND-Fläche 24 über den verlängerten Abschnitt 72 auf der Oberfläche des dielektrischen Substrats verbunden.
  • Eine Schnittansicht entlang einer Linie XXXII-XXXII in 32 entspricht 20.
  • Daher kann das HF-Messungskalibriermuster 26 angewendet werden beim Durchführen einer Kalibrierung für eine Eigenschaftsmessung einer Hochfrequenzschaltung unter Verwendung von HF-Messungstestköpfen vom SG-Typ, unter Verwendung von HF-Messungstestköpfen vom GS-Typ, wobei die zweite GND-Fläche gegenüber dem derzeitigen Zustand bezüglich der Mittelachse der Signalleitung spiegelbildlich angeordnet ist, oder unter Verwendung eines HF-Messungstestkopfs vom SG-Typ und eines diesem gegenüberliegenden HF-Messungstestkopfs vom GS-Typ oder vom GSG-Typ, und es zeigt eine Wirkung ähnlich dem der zehnten Abwandlung in der ersten Ausführungsform.
  • Wie oben beschrieben enthält das HF-Messungskalibriermuster gemäß der zweiten Ausführungsform: das dielektrische Substrat; die Signalleitung mit einer charakteristischen Impedanz von beispielsweise 50Ω, die sich auf dem dielektrischen Substrat so erstreckt, dass sie einen ersten und einen zweiten Endabschnitt aufweist; die erste GND-Fläche, die einen Endabschnitt aufweist, der nahe an und mit einem vorbestimmten Abstand von dem ersten Endabschnitt der Signalleitung angeordnet ist; die zweite GND-Fläche, die einen Endabschnitt aufweist, der nahe an und mit einem vorbestimmten Abstand von dem zweiten Endabschnitt der Signalleitung angeordnet ist; die dritte GND-Fläche, die der ersten GND-Fläche über die Signalleitung gegenüberliegt; und die Durchgangselektroden, die Durchkontaktierungen und die Rückseitenmetallschicht zum elektrischen Verbinden der ersten GND-Fläche, der zweiten GND-Fläche und der dritten GND-Fläche, oder der Rückseitenmetallschicht, die sich über die Seitenflächen des dielektrischen Substrats zu dessen Oberfläche erstreckt zum elektrischen Verbinden der ersten GND-Fläche, der zweiten GND-Fläche und der dritten GND-Fläche, oder die offenen Stichleitungen zum Verbinden der ersten GND-Fläche, der zweiten GND-Fläche und der dritten GND-Fläche auf hochfrequente Weise. Auch wenn HF-Messungstestköpfe vom SG-Typ, die HF-Messungstestköpfe vom GS-Typ, oder ein HF-Messungstestkopf vom SG-Typ und ein HF-Messungstestkopf vom GS-Typ oder vom GSG-Typ so verwendet werden, dass sie einander gegenüberliegen, wobei ihre Signalanschlüsse in Kontakt mit der Signalleitung des Kalibriermusters gebracht werden, kreuzt bei diesem Aufbau keiner der Signalanschlüsse der HF-Messungstestköpfe die GND-Leitung. Daher beeinflusst das HF-Signal den Messwert nicht, so dass es nicht vorkommt, dass der Messwert infolge eines Ansteigens der Signalfrequenz stark abweicht. Demzufolge ist es möglich, die Kalibrierung der HF-Messungstestköpfe mit hoher Genauigkeit durchzuführen.
  • Da das HF-Signal auf keinem der Signalanschlüsse des ersten und zweiten Eigenschaftsmessungstestkopfs eine Wirkung hat, kann bei dem Hochfrequenzschaltungseigenschaftsmessverfahren zum Ausführen der Kalibrierung durch Verwendung des HF-Messungskalibriermusters gemäß der zweiten Ausführungsform die genaue Kalibrierung erzielt werden, so dass die Eigenschaftsmessung der Hochfrequenzschaltung genau durchgeführt wird. Demzufolge kann eine Auswahl der Hochfrequenzschaltungen genau durchgeführt werden, wodurch die Ausbeute der Hochfrequenzschaltungsvorrichtungen vergrößert wird.
  • 33 ist eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Das in 33 gezeigte HF-Messungskalibriermuster wird gebildet, indem auf dem HF-Messungskalibriermuster 86 der zweiten Ausführungsform weiter eine vierte GND-Fläche 100 angeordnet wird, die als vierte Konstantpotentialleitung dient, der zweiten GND-Fläche 24 über die Signalleitung 14 gegenüberliegt und elektrisch von der Signalleitung 14 getrennt ist.
  • Die vierte GND-Fläche 100 weist einen vorderen Endabschnitt auf, der entlang der Signalleitung 14 an ihrem zweiten Endabschnitt 14b angeordnet ist und einem vorderen Endabschnitt der zweiten GND-Fläche über die Signalleitung 14 gegenüberliegt. Der andere Endabschnitt der vierten GND-Fläche 100 erstreckt sich in eine Richtung weg von der Signalleitung 14 und ist mit einer Durchgangslochelektrode 8 verbunden.
  • Die vierte GND-Fläche 100 ist elektrisch über die Durchgangslochelektrode 18 und eine Durchkontaktierung 20 mit der Rückseitenmetallschicht 22 verbunden. Daher ist die vierte GND-Fläche 100 mit der ersten GND-Fläche 16, der zweiten GND-Fläche 24 und der dritten GND-Fläche 88 verbunden.
  • Der Aufbau der vierten GND-Fläche 100 ist derselbe wie der der ersten GND-Fläche 16, wobei eine Goldplattierschicht auf der Oberfläche einer Metallschicht liegt. Bei dieser Ausführungsform ist die mit der vierten GND-Fläche 100 verbundene Durchgangslochelektrode 18 aus der Metallschicht gebildet, von der ein Teil auch die vierte GND-Fläche 100 bildet.
  • Eine Schnittansicht entlang einer Linie XXXIII-XXXIII in 33 entspricht 2.
  • Bei dem HF-Messungskalibriermuster 98 gemäß der dritten Ausführungsform kann sowohl am ersten Endabschnitt 14a als auch am zweiten Endabschnitt 14b der Signalleitung 14 ein HF-Messungstestkopf eines beliebigen Typs, d.h. ein HF-Messungstestkopf vom SG-Typ, ein HF-Messungstestkopf vom GS-Typ oder ein HF-Messungstestkopf vom GSG-Typ angeschlossen werden.
  • Beim Durchführen einer Kalibrierung für eine Eigenschaftsmessung einer Hochfrequenzschaltung unter Verwendung einer beliebigen Art oder von beliebigen Arten von HF-Messungstestköpfen kann die Kalibrierung unter Verwendung des HF-Messungstestmusters 100 durchgeführt werden. Wenn die Kalibrierung unter Verwendung des HF-Messkalibriermusters 100 durchgeführt wird, kreuzt keiner der Signalanschlüsse der HF-Messungstestköpfe beliebigen Typs die GND-Leitung des HF-Messungskalibriermusters 100 wie in der ersten Ausführungsform beschrieben. Daher beeinflusst ein HF-Signal einen Messwert nicht, so dass es nicht vorkommt, dass der Messwert infolge eines Ansteigens einer Signalfrequenz stark abweicht. Demzufolge ist es möglich, die Ka librierung der HF-Messungstestköpfe mit hoher Genauigkeit durchzuführen.
  • 34 ist eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer fünfzehnten Abwandlung der vorliegenden Erfindung.
  • Das in 34 gezeigte HF-Messungskalibriermuster 102 ist eine Abwandlung der dritten Ausführungsform, ist aber gebildet, indem auf dem in 29 gezeigten HF-Messungskalibriermuster 90 der elften Abwandlung in der zweiten Ausführungsform weiter eine vierte GND-Fläche 100 angeordnet ist, die der zweiten GND-Fläche 24 über die Signalleitung 14 gegenüberliegt und elektrisch von der Signalleitung 14 getrennt ist. Die vierte GND-Fläche 100 weist einen vorderen Endabschnitt auf, der entlang der Signalleitung 14 angeordnet ist, und sie weist eine Seitenfläche auf, die wie die erste GND-Fläche 16 mit der Rückseitenmetallschicht 64 in Kontakt ist. Daher sind die erste GND-Fläche 16, die zweite GND-Fläche 24, die dritte GND-Fläche 88 und die vierte GND-Fläche 100 elektrisch miteinander verbunden.
  • Eine Schnittansicht entlang einer Linie XXXIV-XXXIV in 34 entspricht 14.
  • Bei dem HF-Messungskalibriermuster 102 gemäß der fünfzehnten Abwandlung können HF-Messungstestköpfe beliebigen Typs verwendet bzw. an dem ersten Endabschnitt 14a und dem zweiten Endabschnitt 14b der Signalleitung 14 angeschlossen werden, d.h. der HF-Messungstestkopf vom SG-Typ, der HF-Messungstestkopf vom GS-Typ oder der HF-Messungstestkopf vom GSG-Typ.
  • Beim Durchführen einer Kalibrierung für eine Eigenschaftsmessung einer Hochfrequenzschaltung unter Verwendung des HF-Messungstestkopfs beliebigen Typs ermöglicht das HF-Messungskalibriermuster 102 die Kalibrierung der HF-Messungstestköpfe und zeigt eine Wirkung ähnlich der der Abwandlung 11 in der zweiten Ausführungsform.
  • 35 ist eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer sechzehnten Abwandlung der vorliegenden Erfindung.
  • Das in 35 gezeigte HF-Messungskalibriermuster 104 ist eine Abwandlung der dritten Ausführungsform, aber es ist gebildet, indem auf dem in 12 gezeigten HF-Messungskalibriermuster 92 der zwölften Abwandlung in der zweiten Ausführungsform weiter eine vierte GND-Fläche 100 bereitgestellt ist, die der zweiten GND-Fläche 24 über die Signalleitung 14 gegenüberliegt und elektrisch von der Signalleitung 14 getrennt ist. Die vierte GND-Fläche 100 weist einen vorderen Endabschnitt auf, der entlang der Signalleitung 14 angeordnet ist, und eine offene Stichleitung 68 ist an einem Endabschnitt der vierten GND-Fläche 100 auf der nicht der Signalleitung 14 benachbarten Seite angeschlossen. Daher sind die erste GND-Fläche 16, die zweite GND-Fläche 24, die dritte GND-Fläche 88 und die vierte GND-Fläche 100 miteinander in hochfrequenter Weise verbunden.
  • Eine Schnittansicht entlang einer Linie XXXV-XXXV in 35 entspricht 16.
  • Bei dem HF-Messungskalibriermuster 104 gemäß der sechzehnten Abwandlung kann der HF-Messungstestkopf eines beliebigen Typs verwendet bzw. an den ersten Endabschnitt 14a und dem zweiten Endabschnitt 14b der Signalleitung 14 angeschlossen werden, d.h, der HF-Messungstestkopf vom SG-Typ, der HF-Messungstestkopf vom GS-Typ oder der HF-Messungstestkopf vom GSG-Typ.
  • Beim Durchführen einer Kalibrierung für eine Eigenschaftsmessung einer Hochfrequenzschaltung unter Verwendung der HF-Messungstestköpfe beliebigen Typs ermöglicht das HF-Messungskalibriermuster 104 die Kalibrierung der HF-Messungstestköpfe und zeigt eine Wirkung ähnlich der zwölften Abwandlung in der zweiten Ausführungsform.
  • 36 ist eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer siebzehnten Abwandlung der vorliegenden Erfindung.
  • Das in 36 gezeigte HF-Messungskalibriermuster 106 ist eine Abwandlung der dritten Ausführungsform, es wird jedoch gebildet, indem auf dem in 31 gezeigten HF-Messungstestmuster 94 der dreizehnten Abwandlung in der zweiten Ausführungsform eine vierte GND-Fläche 100 angeordnet wird, die der zweiten GND-Fläche 24 über die Signalleitung 14 gegenüberliegt und elektrisch von der Signalleitung 14 getrennt ist. Die vierte GND-Fläche 100 ist entlang der Signalleitung 14 angeordnet und weist einen vorderen Endabschnitt auf, der Seite an Seite mit dem zweiten Endabschnitt 14b der Signalleitung 14 angeordnet ist. Die vierte GND-Fläche 100 ist mit der ersten GND-Fläche 16, der zweiten GND-Fläche 24 und der dritten GND-Fläche 88 über den verlängerten Abschnitt 72 der GND-Flächen auf der Oberfläche des dielektrischen Substrats verbunden.
  • Eine Schnittansicht entlang einer Linie XXXVI-XXXVI in 36 entspricht 26.
  • Bei dem HF-Messungskalibriermuster 106 gemäß der siebzehnten Abwandlung kann der HF-Messungstestkopf eines beliebigen Typs verwendet z.B. an dem ersten Endabschnitt 14a und dem zweiten Endabschnitt 14b der Signalleitung 14 angeschlossen werden, d.h. der HF-Messungstestkopf vom SG-Typ, der HF-Messungstestkopf vom GS-Typ oder der HF-Messungstestkopf vom GSG-Typ.
  • Beim Durchführen einer Kalibrierung für eine Eigenschaftsmessung einer Hochfrequenzschaltung unter Verwendung des HF-Messungstestkopfs beliebigen Typs ermöglicht das HF-Messungskalibriermuster 106 die Kalibrierung des HF-Messungstestkopfs und zeigt eine Wirkung ähnlich der dreizehnten Abwandlung in der zweiten Ausführungsform.
  • 37 ist eine Draufsicht auf ein HF-Messungskalibriermuster gemäß einer achtzehnten Abwandlung der vorliegenden Ausführungsform.
  • Das in 37 gezeigte HF-Messungstestmuster 108 ist eine Abwandlung der dritten Ausführungsform, aber es ist gebildet, indem auf dem in 32 gezeigten HF-Messungskalibriermuster 96 der vierzehnten Abwandlung in der zweiten Ausführungsform weiter eine vierte GND-Fläche 100 angeordnet ist, die der zweiten GND-Fläche 24 über die Signalleitung 14 gegenüberliegt und elektrisch von der Signalleitung 14 getrennt ist. Die vierte GND-Fläche 100 ist entlang der Signalleitung 14 angeordnet und wiest einen vorderen Endabschnitt auf, der Seite an Seite mit dem zweiten Endabschnitt 14b der Signalleitung 14 angeordnet ist. Die vierte GND-Fläche 100 ist mit der ersten GND-Fläche 16, der zweiten GND-Fläche 24 und der dritten GND-Fläche 88 über den verlängerten Abschnitt 72 der GND-Flächen auf der Oberfläche des dielektrischen Substrats verbunden.
  • Eine Schnittansicht entlang einer Linie XXXVII-XXXVII in 37 entspricht 20.
  • Bei dem HF-Messungskalibriermuster 108 gemäß der achtzehnten Abwandlung kann der HF-Messungstestkopf eines beliebigen Typs verwendet bzw. an dem ersten Endabschnitt 14a oder dem zweiten Endabschnitt 14b der Signalleitung 14 angeschlossen werden, d.h. der HF-Messungstestkopf vom SG-Typ, der HF-Messungstestkopf vom GS-Typ oder der HF-Messungstestkopf vom GSG-Typ.
  • Beim Durchführen der Kalibrierung für eine Eigenschaftsmessung für eine Hochfrequenzschaltung unter Verwendung der HF-Messungstestköpfe beliebigen Typs ermöglicht das HF-Messungs kalibriermuster 108 die Kalibrierung der HF-Messungstestköpfe und zeigt eine Wirkung ähnlich der vierzehnten Abwandlung in der zweiten Ausführungsform.
  • Wie oben beschrieben enthält das HF-Messungskalibriermuster gemäß der dritten Ausführungsform: das dielektrische Substrat; die Signalleitung mit einer charakteristischen Impedanz von beispielsweise 50Ω, die sich auf dem dielektrischen Substrat so erstreckt, dass sie einen ersten und einen zweiten Endabschnitt aufweist; die erste GND-Fläche, die einen Endabschnitt aufweist, der nahe an und mit einem vorbestimmten Abstand von dem ersten Endabschnitt der Signalleitung angeordnet ist; die zweite GND-Fläche, die einen Endabschnitt aufweist, der nahe an und mit einem vorbestimmten Abstand von dem zweiten Endabschnitt der Signalleitung angeordnet ist; die dritte GND-Fläche, die der ersten GND-Fläche über die Signalleitung gegenüberliegt; die vierte GND-Fläche, die der zweiten GND-Fläche über die Signalleitung gegenüberliegt; und die Durchgangselektroden, die Durchkontaktierungen und die Rückseitenmetallschicht zum elektrischen Verbinden der ersten GND-Fläche, der zweiten GND-Fläche, der dritten GND-Fläche und der vierten GND-Fläche, oder der Rückseitenmetallschicht, die sich über die Seitenflächen des dielektrischen Substrats zu dessen Oberfläche erstreckt zum elektrischen Verbinden der ersten GND-Fläche, der zweiten GND-Fläche, der dritten GND-Fläche und der vierten GND-Fläche, oder die offenen Stichleitungen zum Verbinden der ersten GND-Fläche, der zweiten GND-Fläche, der dritten GND-Fläche und der vierten GND-Fläche auf hochfrequente Weise. Auch wenn HF-Messungstestköpfe in einer beliebigen Kombination aus HF-Messungstestköpfen vom SG-Typ, HF-Messungstestköpfen vom GS-Typ und HF-Messungstestköpfen vom GSG-Typ so verwendet werden, dass sie einander gegenüberliegen, wobei ihre Signalanschlüsse in Kontakt mit der Signalleitung des Kalibriermusters gebracht werden, kreuzt bei diesem Aufbau keiner der Signalanschlüsse der HF-Messungstestköpfe die GND-Leitung. Daher beeinflusst das HF-Signal den Messwert nicht, so dass es nicht vorkommt, dass der Messwert infolge eines Ansteigens der Signalfrequenz stark abweicht. Demzufolge ist es möglich, die Kalibrierung der HF-Messungstestköpfe mit hoher Genauigkeit durchzuführen.
  • Da das HF-Signal auf keinem der Signalanschlüsse des ersten und zweiten Eigenschaftsmessungstestkopfs in einer beliebigen Kombination eine Wirkung hat, kann bei dem Hochfrequenzschaltungseigenschaftsmessverfahren zum Ausführen der Kalibrierung durch Verwendung des HF-Messungskalibriermusters gemäß der dritten Ausführungsform die genaue Kalibrierung erzielt werden, so dass die Eigenschaftsmessung der Hochfrequenzschaltung genau durchgeführt wird. Demzufolge kann eine Auswahl der Hochfrequenzschaltungen genau durchgeführt werden, wodurch die Ausbeute der Hochfrequenzschaltungsvorrichtungen vergrößert wird.
  • 38 ist eine Draufsicht auf eine HF-Messungskalibriervorrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 39 ist eine Schnittansicht der HF-Messungskalibriervorrichtung entlang einer Linie XXXIX-XXXIX in 38.
  • In 38 und 39 enthält die HF-Messungskalibriervorrichtung 110 als ein Beispiel das in 13 und 14 gezeigte HF-Messungskalibriermuster 62 der zweiten Abwandlung aus der ersten Ausführungsform. Es sei angemerkt, dass ein beliebiges der obigen HF-Messungskalibriermuster gemäß der ersten, zweiten und dritten Ausführungsform verwendet werden kann.
  • Ein dielektrisches Substrat 112 der HF-Messungskalibriervorrichtung 110 ist mit einem Vertiefungsabschnitt 112a versehen, um darin das HF-Messungskalibriermuster 62 anzubringen. Der Vertiefungsabschnitt 112a ist so ausgebildet, dass er darin austauschbar HF-Messungskalibriermuster mit verschiedenen Längen aufnehmen kann, gleichzeitig immer eines. Daher ist es mög lich, mit einer Vorrichtung eine Kalibrierung bei vorbestimmten erforderlichen Frequenzen durchzuführen.
  • Wie oben beschrieben macht es die HF-Messungskalibriervorrichtung erforderlich, unter Verwendung einer Vorrichtung eine Kalibrierung bei vorbestimmten erforderlichen Frequenzen durchzuführen. Demzufolge kann die Auswahl von Hochfrequenzschaltungen genau und leicht durchgeführt werden, wodurch die Ausbeute von Hochfrequenzschaltungsvorrichtungen mit dem einfachen Vorgang verbessert wird.
  • Die obige Beschreibung wurde durchgeführt für ein HF-Messungskalibriermuster, das ein dielektrisches Substrat verwendet. Die Wirkung kann jedoch in ähnlicher Weise erzielt werden, wenn eine Signalleitung und die jeweiligen GND-Flächen auf einem Wafer anstatt auf dem dielektrischen Substrat ausgebildet sind.
  • Wie oben beschrieben ist das Hochfrequenzschaltungsmessverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung geeignet für ein HF-Messverfahren für eine Hochfrequenzschaltung zur Verwendung in einer Kommunikationsvorrichtung, die an ein Mikrowellenband oder ein Millimeterwellenband angepasst ist, das in der Mobilkommunikation, der optischen Kommunikation, der Satellitenkommunikation und dergleichen verwendet werden.

Claims (7)

  1. Hochfrequenzschaltungseigenschaftsmessverfahren mit dem Bereitstellen eines Kalibriermusters mit einem Substrat (12), einer Signalleitung (14) mit einer charakteristischen Impedanz, die sich so auf dem Substrat (12) erstreckt, dass sie einen ersten und einen zweiten Endabschnitt (14a, 14b) aufweist, einer ersten Konstantpotentialleitung (16), von der ein erster Endabschnitt nahe an und mit einem vorbestimmten Abstand von dem ersten Endabschnitt (14a) der Signalleitung (14) angeordnet ist, einer zweiten Konstantpotentialleitung (24), von der ein erster Endabschnitt nahe an und mit einem vorbestimmten Abstand von dem zweiten Endabschnitt (14b) der Signalleitung (14) angeordnet ist, und einem Leiter (18, 20, 22; 64; 68; 72) zum elektrischen oder hochfrequenzmäßigen Verbinden der ersten Konstantpotentialleitung (16) und der zweiten Konstantpotentialleitung (24), und dem Durchführen einer Kalibrierung vor der Messung einer zu messenden Schaltung unter Verwendung eines ersten und eines zweiten Eigenschaftsmesstestkopf (30, 32) mit derselben Anordnung eines Signalanschlusses (301, 321) und eines Konstantpotentialanschlusses (302, 322), indem der Signalanschluss (301) und der Konstantpotentialanschluss (302) des ersten Eigenschaftsmesstestkopfs (30) jeweils in Kontakt gebracht werden mit dem ersten Endabschnitt (14a) der Signalleitung (14) bzw. dem ersten Endabschnitt der ersten Konstantpotentialleitung (16) des Kalibriermusters und der Signalanschluss (321) und der Konstantpotentialanschluss (322) des zweiten Eigenschaftsmesstestkopfs (32) jeweils in Kontakt gebracht werden mit dem zweiten Endabschnitt (14b) der Signalleitung (14) bzw. dem ersten Endabschnitt der zweiten Konstantpotentialleitung (24) des Kalibriermusters.
  2. Kalibriermuster mit einem Substrat (12), einer Signalleitung (14) mit einer charakteristischen Impedanz, die sich so auf dem Substrat (12) erstreckt, dass sie einen ersten und einen zweiten Endabschnitt (14a, 14b) aufweist, einer ersten Konstantpotentialleitung (16), von der ein erster Endabschnitt nahe an und mit einem vorbestimmten Abstand von dem ersten Endabschnitt (14a) der Signalleitung (14) angeordnet ist, einer zweiten Konstantpotentialleitung (24), von der ein erster Endabschnitt nahe an und mit einem vorbestimmten Abstand von dem zweiten Endabschnitt (14b) der Signalleitung (14) angeordnet ist, und einem Leiter (18, 20, 22; 64; 68; 72) zum elektrischen oder hochfrequenzmäßigen Verbinden der ersten Konstantpotentialleitung (16) und der zweiten Konstantpotentialleitung (24).
  3. Kalibriermuster nach Anspruch 2, bei dem der erste Endabschnitt der ersten und der zweiten Konstantpotentialleitung (16, 24) in der Richtung einer Verlängerung der Signalleitung (14) liegen.
  4. Kalibriermuster nach Anspruch 2, bei dem der erste Endabschnitt der ersten und der zweiten Konstantpotentialleitung (16, 24) jeweils entlang Seitenabschnitten der Signalleitung (14) angeordnet sind und einander über die Signalleitung gegenüberliegen.
  5. Kalibriermuster nach Anspruch 4 mit einer dritten Konstantpotentialleitung (88), von der ein erster Endabschnitt dem ersten Endabschnitt der ersten Konstantpotentialleitung (16) über die Signalleitung (14) frontal gegenüberliegt und ein zweiter Endabschnitt elektrisch oder hochfrequenzmäßig mit dem Leiter (18, 20, 22; 64; 68; 72) verbunden ist, mit dem die zweiten Endabschnitte der ersten und der zweiten Konstantpotentialleitung (16, 24) elektrisch oder hochfrequenzmäßig verbunden sind
  6. Kalibriermuster nach Anspruch 5 mit einer vierten Konstantpotentialleitung (100), von der ein erster Endabschnitt dem ersten Endabschnitt der zweiten Konstantpotentialleitung (24) über die Signalleitung (14) frontal gegenüberliegt und ein zweiter Endabschnitt elektrisch oder hochfrequenzmäßig mit dem Leiter (18, 20, 22; 64; 68; 72) verbunden ist, mit dem die zweiten Endabschnitte der ersten und der zweiten Konstantpotentialleitung (16, 24) elektrisch oder hochfrequenzmäßig verbunden sind.
  7. Kalibriervorrichtung mit einem Kalibriermuster mit einem Substrat (12), einer Signalleitung (14) mit einer charakteristischen Impedanz, die sich so auf dem Substrat (12) erstreckt, dass sie einen ersten und einen zweiten Endabschnitt (14a, 14b) aufweist, einer ersten Konstantpotentialleitung (16), von der ein erster Endabschnitt nahe an und mit einem vorbestimmten Abstand von dem ersten Endabschnitt (14a) der Signalleitung (14) angeordnet ist, einer zweiten Konstantpotentialleitung (24), von der ein erster Endabschnitt nahe an und mit einem vorbestimmten Abstand von dem zweiten Endabschnitt (14b) der Signalleitung (14) angeordnet ist, und einem Leiter (18, 20, 22; 64; 68; 72) zum elektrischen oder hochfrequenzmäßigen Verbinden der ersten Konstantpotentialleitung (16) und der zweiten Konstantpotentialleitung (24); und einem dielektrischen Substrat (112) mit einem Vertiefungsabschnitt (112a), der auf dessen Oberfläche ausgebildet ist zum austauschbaren Anbringen des Kalibriermusters in diesem.
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