DE102006038294B4 - Socket for an optical element - Google Patents

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Abstract

Fassung für ein optisches Element, wobei das optische Element über ein dünnwandiges, rohrförmiges Element, welches eine Wandstärke von 0,01–1,0 mm aufweist, mit wenigstens einem weiteren Fassungselement verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass das rohrförmige Element an einem seiner Enden einen Kragen aufweist.Socket for an optical element, the optical element being connected to at least one further socket element via a thin-walled, tubular element which has a wall thickness of 0.01-1.0 mm, characterized in that the tubular element at one of its ends has a collar.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNGBACKGROUND OF THE INVENTION

1. Bereich der Erfindung1. Field of the invention

Die Erfindung betrifft eine Fassung für ein optisches Element, ein Lithographieobjektiv und eine Projektionsbelichtungsanlage.The invention relates to a socket for an optical element, a lithographic objective and a projection exposure apparatus.

2. Beschreibung des Standes der Technik2. Description of the Related Art

Die DE 199 30 643 C2 beschreibt eine Baugruppe aus einem optischen Element und einer Fassung, welche einen Befestigungsflansch, ein Zwischenglied in Form eines geschlossenen einteiligen Ringes in Trichterform und einen geschlossenen Innenring aufweist, in dem das optische Element gelagert ist.The DE 199 30 643 C2 describes an assembly of an optical element and a socket, which has a mounting flange, an intermediate member in the form of a closed one-piece ring in funnel shape and a closed inner ring in which the optical element is mounted.

Aus der EP 0 337 142 A1 ist eine Halterung einer Kugellinse in einem Metallröhrchen bekannt, die auf der unterschiedlichen wärmeausdehnung von Glas und Metall beruht. Das Metallröhrchen übt jedoch sehr hohe und stark schwankende auf die Linse aus, sodass diese Halterung nur für optisch und mechanisch sehr unempfindliche Linsen, wie zum Beispiel kleine und dicke Linsen, geeignet ist.From the EP 0 337 142 A1 a holder of a ball lens in a metal tube is known, which is based on the different thermal expansion of glass and metal. However, the metal tube exerts very high and strongly fluctuating on the lens, so that this holder is only suitable for optically and mechanically very insensitive lenses, such as small and thick lenses.

Aus der Veröffentlichung ”Thermo-mechanical performance of precision C/SiC mounts”, Optical Manufacturing and Testing IV, H. Philip Stahl, Editor, proceedings of SPIE Vol. 4451 (2001), sind Verbindungselemente zwischen einem optischen Element und einem Fassungsbauteil bekannt, wobei das Fassungsbauteil aus demselben Werkstoff wie das optische Element besteht. Dadurch ist die Konstruktion des Verbindungselements und somit der gesamten Fassung erheblich eingeschränkt.From the publication "Thermo-mechanical performance of precision C / Si m mounts", Optical Manufacturing and Testing IV, H. Philip Steel, Editor, proceedings of SPIE Vol. 4451 (2001), connecting elements between an optical element and a socket component are known, wherein the socket component consists of the same material as the optical element. As a result, the construction of the connecting element and thus the entire socket is considerably limited.

Bei bekannten Linsenfassungen, wie sie beispielsweise in der DE 199 30 643 C2 beschrieben sind, wird während des Betriebs eines Lithographieobjektives, in welchem optische Elemente mit solchen Fassungen gehalten sind, das optische Element durch den Lichteinfall erwärmt. Diese Wärme wird von dem optischen Element an diejenigen Bauteile der Fassung weitergeleitet, mit denen das optische Element in Kontakt steht. Dadurch kommt es zu Deformationen des optischen Elements und somit zu einer Verringerung der Abbildungsgenauigkeit des Lithographieobjektivs.In known lens frames, as for example in the DE 199 30 643 C2 are described during operation of a lithographic objective, in which optical elements are held with such versions, the optical element is heated by the light. This heat is transmitted by the optical element to those components of the socket, with which the optical element is in contact. This leads to deformations of the optical element and thus to a reduction in the imaging accuracy of the lithographic objective.

Eine gattungsgemäße Fassung ist aus der US 2005/132589 A1 bekannt.A generic version is from the US 2005/132589 A1 known.

Die US 4,045,129 A beschreibt eine Vorrichtung zum Montieren eines optischen Elements an einen starren Grundkörper, welche ein rohrförmiges Element aufweist, das an einem Ende des Grundkörpers angebracht ist und an dem gegenüberliegenden Ende Flanschabschnitte aufweist, um das optische Element aufzunehmen.The US 4,045,129 A describes an apparatus for mounting an optical element to a rigid body having a tubular member attached to one end of the body and having flange portions at the opposite end for receiving the optical element.

Aus der DE 198 25 716 A1 ist eine Baugruppe aus einem optischen Element und einer Fassung bekannt, bei der das optische Element über eine Mehrzahl von Laschen mit einem steifen Zwischenring gekoppelt ist, der wiederum über Stellglieder mit der Fassung verbunden ist.From the DE 198 25 716 A1 an assembly of an optical element and a socket is known in which the optical element is coupled via a plurality of tabs with a rigid intermediate ring, which in turn is connected via actuators with the socket.

Ein Lithographieobjektiv mit mehreren optischen Elementen, die in jeweiligen Fassungen aufgenommen sind, ist in der US 2004/0169940 A1 beschrieben.A lithographic objective having a plurality of optical elements accommodated in respective sockets is disclosed in US Pat US 2004/0169940 A1 described.

Die DE 100 43 344 A1 beschreibt einen elastischen Linsenträger mit einer Linsenfassung und einer darin gehaltenen Linse.The DE 100 43 344 A1 describes an elastic lens carrier having a lens barrel and a lens held therein.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNGSUMMARY OF THE INVENTION

Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Fassung für ein optisches Element zu schaffen, bei welcher Temperatureinflüsse nur zu einer sehr geringen Deformation des optischen Elements führen.It is an object of the present invention to provide a socket for an optical element, in which temperature influences lead only to a very small deformation of the optical element.

Des Weiteren ist es Aufgabe der Erfindung, ein Lithographieobjektiv zu schaffen, mit welchem auf sichere Art und Weise ein Lithographieverfahren durchgeführt werden kann.Furthermore, it is the object of the invention to provide a lithographic objective with which a lithography method can be carried out in a secure manner.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die in Anspruch 1 genannten Merkmale gelöst.According to the invention, this object is achieved by the features mentioned in claim 1.

Trotz der sehr geringen Wandstärke des dünnwandigen, rohrförmigen Elements ist dieses, wenn es mit dem optischen Element verbunden ist, gegenüber Verschiebungen und/oder Verdrehungen des optischen Elements sehr steif und somit in der Lage, für eine ausreichende Halterung des optischen Elements zu sorgen. Die Dünnwandigkeit des rohrförmigen Elements führt jedoch dazu, dass eventuelle Ausdehnungsunterschiede und die dadurch hervorgerufenen Durchmesseränderungen zwischen dem optischen Element und dem rohrförmigen Element sowie dem rohrförmigen Element und dem weiteren Fassungselement, mit dem das rohrförmige Element verbunden ist, keine bezüglich der Deformation des optischen Elements kritischen Spannungen erzeugen kann und so eine sehr gute bzw. sanfte elastische Bettung des optischen Elements gegeben ist.Despite the very small wall thickness of the thin-walled tubular element, when it is connected to the optical element, it is very stiff against displacements and / or twists of the optical element and thus able to provide sufficient support for the optical element. However, the thinness of the tubular member causes any differences in expansion and the resulting changes in diameter between the optical member and the tubular member and the tubular member and the other socket member to which the tubular member is connected, not critical to the deformation of the optical element Can generate stresses and so is given a very good or soft elastic bedding of the optical element.

Durch die Verbindung des optischen Elements mit dem dünnwandigen, rohrförmigen Element wird das rohrförmige Element an die Form des optischen Elements angepasst, sodass eventuelle maßliche Unterschiede, insbesondere eine eventuelle Unrundheit des optischen Elements, eine untergeordnete Rolle spielen und verhältnismäßig große Toleranzen für die einzelnen Bauteile angewendet werden können.By connecting the optical element with the thin-walled, tubular element, the tubular element is adapted to the shape of the optical element, so that any dimensional differences, in particular a possible out-of-roundness of the optical element, a Play subordinate role and relatively large tolerances can be applied to the individual components.

Ein weiterer Vorteil ist, dass das rohrförmige Element sehr einfach mit einem geschlossenen Querschnitt ausgeführt sein kann und demnach flüssigkeits- und gasdicht ist. Somit ist die erfindungsgemäße Fassung insbesondere für die Immersions-Lithographie geeignet, bei der das auch als Abschlusselement bezeichnete letzte optische Element bzw. dessen Fassung eine sehr hohe Dichtheit aufweisen muss.Another advantage is that the tubular element can be made very simple with a closed cross section and therefore liquid and gas tight. Thus, the version according to the invention is particularly suitable for immersion lithography, in which the last optical element or its socket, which is also referred to as the terminating element, must have a very high degree of tightness.

Ein besonderer Vorteil der erfindungsgemäßen Fassung ist der sehr geringe radiale Bauraum derselben. Des weiteren ist vorteilhaft, dass die untere, dem weiteren Fassungselement abgewandte Seite des optischen Elements frei bleibt, was zu einer besseren Ausnutzbarkeit des optischen Elements führt. Darüber hinaus ergibt sich erfindungsgemäß eine sehr gute Wärmeableitung von dem optischen Element in die Fassung durch einen großflächigen Kontakt des rohrförmigen Elements mit dem optischen Element.A particular advantage of the version according to the invention is the very small radial space of the same. Furthermore, it is advantageous that the lower side of the optical element facing away from the further socket element remains free, which leads to a better exploitation of the optical element. In addition, according to the invention results in a very good heat dissipation from the optical element into the socket by a large-area contact of the tubular member with the optical element.

Dadurch, dass das rohrförmige Element an einem seiner Enden einen Kragen aufweist, ergibt sich eine Versteifung des rohrförmigen Elements in demjenigen Bereich, in dem dasselbe an dem Fassungsgrundkörper angebracht ist.The fact that the tubular element has a collar at one of its ends, results in a stiffening of the tubular element in the region in which the same is attached to the socket body.

Eine alternative Lösung der Aufgabe ergibt sich aus den Merkmalen von Anspruch 2.An alternative solution of the problem results from the features of claim 2.

Eine weitere alternative Lösung der Aufgabe ergibt sich aus den Merkmalen von Anspruch 3.A further alternative solution of the problem results from the features of claim 3.

Eine Kippausrichtung des optischen Elements während des Verbindens ist dadurch möglich, dass das rohrförmige Element in dem Bereich, in dem es mit dem optischen Element in Kontakt ist, konvex ausgebildet ist.Tilting of the optical element during bonding is possible by making the tubular element convex in the region in which it is in contact with the optical element.

In einer Weiterbildung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass das weitere Fassungselement ein Fassungsgrundkörper ist, wodurch sich ein verhältnismäßig einfacher Aufbau der erfindungsgemäßen Fassung ergibt.In a further development of the invention it can be provided that the further socket element is a socket base body, resulting in a relatively simple construction of the socket according to the invention.

Alternativ hierzu ist es möglich, dass das weitere Fassungselement ein steifer Ring ist, der mit einem Fassungsgrundkörper verbunden ist. Auf diese Weise ist eine bessere Entkopplung des optischen Elements von dem Fassungsgrundkörper gegeben.Alternatively, it is possible that the further socket member is a rigid ring which is connected to a socket body. In this way, a better decoupling of the optical element is given by the socket body.

In diesem Zusammenhang ist es besonders vorteilhaft, wenn der steife Ring statisch bestimmt mit dem Fassungsgrundkörper verbunden ist.In this context, it is particularly advantageous if the rigid ring is statically determined connected to the socket body.

In einer sehr vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung kann vorgesehen sein, dass sich die linearen thermischen Ausdehnungskoeffizienten des optischen Elements und des dünnwandigen, rohrförmigen Elements um max. 3·10–6/K unterscheiden, wodurch unterschiedliche Ausdehnungen zwischen dem optischen Element und dem rohrförmigen Element minimiert werden. Durch die Dünnwandigkeit des rohrförmigen Elements bleiben die bei Temperaturänderungen auftretenden Spannungen zwischen dem rohrförmigen Element und dem weiteren Fassungselement gering. Dadurch verformt sich das weitere Fassungselement nur unwesentlich. Das dünnwandige, rohrförmige Element verformt sich vorteilhafterweise nur im Bereich des weiteren Fassungselements. Das optische Element erfährt somit bei Temperaturänderungen im wesentlichen keine fassungsbedingten Spannungen und ist demnach in der Lage, die durch Ausdehnungsunterschiede der Bauteile entstehenden Spannungen von dem optischen Element fernzuhalten und so für eine Entkopplung zu sorgen.In a very advantageous embodiment of the invention can be provided that the linear thermal expansion coefficients of the optical element and the thin-walled tubular element to max. 3 x 10 -6 / K, thereby minimizing differential expansion between the optical element and the tubular element. Due to the thin-walledness of the tubular element, the stresses occurring between the tubular element and the further socket element when the temperature changes remain low. As a result, the further socket element deforms only insignificantly. The thin-walled tubular element deforms advantageously only in the region of the other socket element. The optical element thus undergoes substantially no strain-induced stresses in the event of temperature changes and is thus able to keep away from the optical element the stresses arising as a result of expansion differences of the components and thus provide decoupling.

Eine besonders gleichmäßige Spannungsverteilung ergibt sich, wenn das rohrförmige Element zylindrisch ist.A particularly uniform stress distribution results when the tubular element is cylindrical.

Wenn das rohrförmige Element in wenigstens einem Verbindungsbereich mit dem optischen Element und/oder mit dem weiteren Fassungselement Sicken und/oder Schlitze aufweist, so ist es gegenüber Umfangsänderungen relativ welch und flexibel und es können eventuelle Durchmesserunterschiede ausgeglichen werden bzw. es ist eine einfachere Anpassung des rohrförmigen Elements an unterschiedliche Formen des optischen Elements möglich. In diesem Fall wäre es außerdem denkbar, dass sich die linearen thermischen Ausdehnungskoeffizienten des optischen Elements und des dünnwandigen, rohrförmigen Elements um mehr als die oben angegebenen 3·10–6/K unterscheiden, da solche Unterschiede mit Hilfe des von den Sicken und/oder Schlitzen erzeugten Effekts kompensiert werden können.If the tubular element has corrugations and / or slots in at least one connection region with the optical element and / or with the further socket element, then it is relatively flexible and flexible with respect to changes in circumference and possible differences in diameter can be compensated or it is easier to adapt the tubular element to different shapes of the optical element possible. In this case, it would also be conceivable that the linear thermal expansion coefficients of the optical element and the thin-walled tubular element differ by more than the above-mentioned 3 × 10 -6 / K, since such differences are determined by means of that of the beads and / or Slots generated effect can be compensated.

Um die prinzipielle Dichtheit der erfindungsgemäßen Fassung auch in diesem Fall zu erhalten, kann es vorteilhaft sein, wenn die Sicken und/oder Schlitze mit einem Dichtmittel abgedichtet sind.In order to maintain the basic tightness of the version according to the invention also in this case, it may be advantageous if the beads and / or slots are sealed with a sealant.

Für das Verbinden des optischen Elements mit dem rohrförmigen Element kommen verschiedene Verbindungsarten in Frage, wobei insbesondere Löten, Kleben, Ultraschallschweißen, Galvanofügen oder Fügen durch chemisches Abscheiden sowie Einpressen geeignet sind.For the connection of the optical element with the tubular element, different types of connection are possible, soldering, gluing, ultrasonic welding, galvanizing or joining by chemical deposition and pressing in particular being suitable.

Um an den Fügestellen die erforderliche Weichheit des rohrförmigen Elements zu erreichen und dennoch eine ausreichende Steifigkeit desselben in Richtung der optischen Achse zu gewährleisten, ist es möglich, dass das rohrförmige Element über seine Länge unterschiedliche Wandstärken aufweist.In order to achieve the required softness of the tubular element at the joints and yet sufficient rigidity thereof in the direction of the optical axis to ensure that it is possible that the tubular element over its length has different wall thicknesses.

Eine Spülung des optischen Elements bzw. des Bereichs oberhalb des optischen Elements ist möglich, wenn das rohrförmige Element Bohrungen zum Ein- und Ausleiten von Gas in den durch das rohrförmige Element gebildeten Innenraum aufweist.Purging of the optical element or region above the optical element is possible if the tubular element has bores for introducing and discharging gas into the interior space formed by the tubular element.

In einer Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass das rohrförmige Element durch galvanisches oder chemisches Abscheiden hergestellt ist.In one embodiment of the invention can be provided that the tubular element is made by electroplating or chemical deposition.

Des Weiteren kann vorgesehen sein, dass das rohrförmige Element aus einem gewickelten Band gebildet ist. Da es bei sehr dünnwandigen Bauteilen schwierig sein kann, geschlossene rohrförmige Elemente herzustellen, kann eine einfache Ausführungsform darin bestehen, dass das rohrförmige Element aus einem gewickelten Band gebildet ist.Furthermore, it can be provided that the tubular element is formed from a wound band. Since it may be difficult for very thin-walled components to produce closed tubular elements, a simple embodiment may be that the tubular element is formed from a wound band.

Bezüglich der ähnlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten des dünnwandigen, rohrförmigen Elements und des optischen Elements sind folgende Kombinationen sinnvoll: Das optische Element besteht aus Quarzglas und das rohrförmige Element aus einer Fe-Ni-Legierung, wie z. B. Invar®. Das optische Element besteht aus CaF2 und das rohrförmige Element aus einer Cu-Legierung oder einem Stahl mit einem geeigneten thermischen Ausdehnungskoeffizienten. Das optische Element besteht aus Zerodur® und das rohrförmige Element aus einer Fe-Ni-Legierung.With respect to the similar coefficients of thermal expansion of the thin-walled, tubular element and the optical element, the following combinations are useful: The optical element consists of quartz glass and the tubular element made of an Fe-Ni alloy, such as. Invar ® . The optical element consists of CaF 2 and the tubular element of a Cu alloy or a steel with a suitable coefficient of thermal expansion. The optical element consists of Zerodur ® and the tubular element of a Fe-Ni alloy.

Bei dem optischen Element kann es sich beispielsweise um eine Linse oder auch um einen Spiegel handeln.The optical element may be, for example, a lens or a mirror.

Der steife Ring und/oder der Fassungsgrundkörper können beispielsweise aus Stahl oder aus Keramik bestehen.The rigid ring and / or the base body may for example consist of steel or ceramic.

Bezüglich des Lithographieobjektivs wird die oben gestellte Aufgabe gelöst durch ein Lithographieobjektiv mit mehreren optischen Elementen und mit wenigstens einer Fassung für ein optisches Element nach einem der Ansprüche 1 bis 28.With respect to the lithographic objective, the above object is achieved by a lithographic objective with a plurality of optical elements and at least one socket for an optical element according to one of claims 1 to 28.

Wenn die Fassung einen Fassungsgrundkörper aufweist, kann dieser einen Teil eines Gehäuses des Objektivs bilden oder in einem Gehäuse des Objektivs angebracht sein.If the socket has a socket body, it may form part of a housing of the lens or be mounted in a housing of the lens.

Wenn das Objektiv in separate Gasräume unterteilt werden soll, kann das Lithographieobjektiv mehrere erfindungsgemäße Fassungen aufweisen.If the objective is to be subdivided into separate gas spaces, the lithography objective can have several versions according to the invention.

Eine Verwendung eines derartigen Lithographieobjektivs für die Immersions-Lithographie ist in Anspruch 34 angegeben.A use of such a lithography objective for immersion lithography is specified in claim 34.

Eine Projektionsbelichtungsanlage mit einem Beleuchtungssystem und mit einem Lithographieobjektiv zur Herstellung von Halbleiterbauelementen ist in Anspruch 35 angegeben.A projection exposure apparatus with an illumination system and with a lithography objective for the production of semiconductor components is specified in claim 35.

Nachfolgend sind Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung prinzipmäßig dargestellt.Embodiments of the invention are shown in principle with reference to the drawings.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGENBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

Es zeigt:It shows:

1 einen Schnitt durch eine erste Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Lithographieobjektivs; 1 a section through a first embodiment of a lithography objective according to the invention;

2 einen Schnitt durch eine zweite Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Lithographieobjektivs; 2 a section through a second embodiment of a lithography lens according to the invention;

3 eine erste Ausführungsform der erfindungsgemäßen Fassung; 3 a first embodiment of the version according to the invention;

4 eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Fassung; 4 a further embodiment of the version according to the invention;

5 eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Fassung; 5 a further embodiment of the version according to the invention;

6 eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Fassung; 6 a further embodiment of the version according to the invention;

7 eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Fassung; 7 a further embodiment of the version according to the invention;

8 eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Fassung; 8th a further embodiment of the version according to the invention;

9 eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Fassung; 9 a further embodiment of the version according to the invention;

10 eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Fassung; 10 a further embodiment of the version according to the invention;

11 eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Fassung; 11 a further embodiment of the version according to the invention;

12 eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Fassung; 12 a further embodiment of the version according to the invention;

13 eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Fassung; 13 a further embodiment of the version according to the invention;

14 eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Fassung; 14 a further embodiment of the version according to the invention;

15 eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Fassung; 15 a further embodiment of the version according to the invention;

16 eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Fassung; 16 a further embodiment of the version according to the invention;

17 eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Fassung; und 17 a further embodiment of the version according to the invention; and

18 eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Fassung. 18 a further embodiment of the version according to the invention.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNGDETAILED DESCRIPTION

Ein in 1 äußerst schematisch dargestelltes Lithographieobjektiv 1 weist ein Gehäuse 2 auf, in dem mehrere optische Elemente 3 angeordnet sind. Das Lithographieobjektiv 1 ist Teil einer Projektionsbelichtungsanlage 4, welche zur Herstellung von Halbleiterbauelementen dient und ein an der Oberseite des Lithographieobjektivs 1 angebrachtes Beleuchtungssystem 5 mit einer Lichtquelle 6 aufweist, die einen Strahlengang 7 durch das Lithographieobjektiv 1 sendet, mit welchem ein Reticle 8 in an sich bekannter Weise auf einen sich unterhalb des Lithographieobjektivs 1 befindlichen Wafer 9 abgebildet wird.An in 1 extremely schematically illustrated lithography lens 1 has a housing 2 on, in which several optical elements 3 are arranged. The lithography lens 1 is part of a projection exposure system 4 , which is used for the production of semiconductor devices and one at the top of the lithography lens 1 attached lighting system 5 with a light source 6 having a beam path 7 through the lithography lens 1 sends, with which a reticle 8th in a conventional manner to a below the lithography lens 1 located wafer 9 is shown.

Die optischen Elemente 3, die im vorliegenden Fall allesamt als Linsen ausgeführt sind, sind mittels jeweiliger Fassungen 10 in dem Gehäuse 2 des Lithographieobjektives 1 gehalten. Unter Bezugnahme auf 3 wird im folgenden eine der Fassungen 10 detailliert beschrieben. Die Fassung 10 weist einen Fassungsgrundkörper 11 auf, welcher vorzugsweise aus Stahl oder einem anderen, mechanisch gut bearbeitbaren Werkstoff besteht. Gegebenenfalls wäre es auch möglich, einen aus Keramik bestehenden oder Keramik aufweisenden Fassungsgrundkörper 11 zu verwenden. Der Fassungsgrundkörper 11 ist im wesentlichen ringförmig ausgebildet und weist eine Öffnung 12 auf, an deren innerem Rand ein dünnwandiges, rohrförmiges Element 13 mit einem im vorliegenden Fall geschlossenen Querschnitt angebracht ist. An der der Anbringung des rohrförmigen Elements 13 an den Fassungsgrundkörper 11 gegenüberliegenden Seite ist an dem rohrförmigen Element 13 das optische Element 3 angebracht bzw. das optische Element 3 ist in diesem Bereich mit dem rohrförmigen Element 13 verbunden. Das rohrförmige Element 13 weist eine Wandstärke von 0,01 bis 1,0 mm sowie vorzugsweise einen dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten des optischen Elements 3 ähnlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten auf.The optical elements 3 , which in the present case are all designed as lenses, are by means of respective versions 10 in the case 2 of the lithography lens 1 held. With reference to 3 will be one of the versions below 10 described in detail. The version 10 has a socket body 11 on, which preferably consists of steel or another, mechanically good workable material. Optionally, it would also be possible to have a ceramic or ceramic socket base body 11 to use. The socket basic body 11 is formed substantially annular and has an opening 12 on, at the inner edge of a thin-walled, tubular element 13 is attached with a cross-section closed in the present case. At the attachment of the tubular element 13 to the socket body 11 opposite side is on the tubular element 13 the optical element 3 attached or the optical element 3 is in this area with the tubular element 13 connected. The tubular element 13 has a wall thickness of 0.01 to 1.0 mm and preferably one of the thermal expansion coefficient of the optical element 3 similar thermal expansion coefficient.

Die Formulierung ”ähnlicher thermischer Ausdehnungskoeffizient” bezeichnet lineare thermische Ausdehnungskoeffizienten des optischen Elements 3 und des dünnwandigen, rohrförmigen Elements 13, die sich um maximal 3·10–6/K unterscheiden. Diese Anforderung wird beispielsweise erfüllt von Ausführungsformen, bei denen das optische Element 3 aus Quarzglas und das rohrförmige Element 13 aus der Fe-Ni-Legierung FeNi36 mit der Bezeichnung Invar®, das optische Element 3 aus CaF2 und das rohrförmige Element 13 aus einer Cu-Legierung oder einem Stahl mit einem geeigneten thermischen Ausdehnungskoeffizienten bzw. das optische Element 3 aus Zerodur und das rohrförmige Element 13 aus Invar besteht. Insbesondere bei einer Ausführungsform des optischen Elements 3 als Spiegel kann es sinnvoll sein, Zerodur als Material für dasselbe zu verwenden. Als Material für das rohrförmige Element 13 kommen außerdem eine Keramikfolie oder eine Folie aus einem Verbundwerkstoff in Frage.The phrase "similar thermal expansion coefficient" refers to linear thermal expansion coefficients of the optical element 3 and the thin-walled tubular element 13 , which differ by a maximum of 3 · 10 -6 / K. This requirement is fulfilled, for example, by embodiments in which the optical element 3 made of quartz glass and the tubular element 13 from the Fe-Ni alloy FeNi36 called Invar ®, the optical element 3 from CaF 2 and the tubular element 13 from a Cu alloy or a steel with a suitable thermal expansion coefficient or the optical element 3 from Zerodur and the tubular element 13 consists of Invar. In particular, in one embodiment of the optical element 3 As a mirror, it may be useful to use Zerodur as a material for the same. As a material for the tubular element 13 In addition, a ceramic film or a film made of a composite in question.

Bei der Ausführungsform gemäß 3 weist das rohrförmige Element 13 eine im wesentlichen zylindrische Form auf, wodurch eine optimale Anpassung an das üblicherweise runde optische Element 3 gegeben ist. Das optische Element 3 kann mit dem rohrförmigen Element 13 beispielsweise durch Löten, Kleben, Ultraschallschweißen, Galvanofügen, Fügen durch chemisches Abscheiden oder Einpressen verbunden werden.In the embodiment according to 3 has the tubular element 13 a substantially cylindrical shape, whereby an optimal adaptation to the usually round optical element 3 given is. The optical element 3 can with the tubular element 13 For example, be connected by soldering, gluing, ultrasonic welding, Galvanofüge, joining by chemical deposition or pressing.

Beim Verkleben des optischen Elements 3 mit dem rohrförmigen Element 13 kommt sowohl ein anorganisches als auch ein organisches Klebemittel in Frage. Bei Anwendung einer Klebetechnik ergeben sich sehr geringe Kleberspannungen durch eine vollflächige Klebung am Rand des optischen Elements 3. Des weiteren liegt eine sehr gute Kriechfestigkeit vor. Im Idealfall ist der Kleberspalt ”Null”; d. h. es liegt ein direkter Kontakt des rohrförmigen Elements 13 mit dem optischen Element 3 und damit in erster Näherung kein Kriechen.When gluing the optical element 3 with the tubular element 13 Both an inorganic and an organic adhesive in question. When using an adhesive technique, very low adhesive stresses result from a full-surface adhesion at the edge of the optical element 3 , Furthermore, there is a very good creep resistance. Ideally, the glue gap is "zero"; ie there is a direct contact of the tubular element 13 with the optical element 3 and thus, in a first approximation, no creeping.

Alternativ ist auch eine kleberfreie Fassungstechnik möglich. Dies kann z. B. durch Einpressen des optischen Elements 3 in das rohrförmige Element 13 erfolgen. Dabei kann ein Kleber auch nur als Sicherung einer Pressverbindung vorgesehen sein. Des weiteren ist eine formschlüssige Verbindung mit anorganischem Mörtel möglich, bei dem keine Adhäsion gegeben ist, wobei hierzu am Rand des optischen Elements 3 und/oder an dem rohrförmigen Element 13 umlaufende Rillen angebracht werden können. Beim Löten ist es möglich, ein Metalllot, ein niedrig schmelzendes Lot oder ein Glaslot zu verwenden. Galvanofügen, Fügen durch chemisches Abscheiden oder Ultraschallschweißen an einem an den Verbindungsstellen zunächst metallisierten optischen Element 3 sind ebenfalls möglich.Alternatively, a glue-free socket technology is possible. This can be z. B. by pressing the optical element 3 in the tubular element 13 respectively. In this case, an adhesive can also be provided only as a backup of a press connection. Furthermore, a positive connection with inorganic mortar is possible in which no adhesion is given, for which purpose at the edge of the optical element 3 and / or on the tubular element 13 circumferential grooves can be attached. During soldering, it is possible to use a metal solder, a low-melting solder or a glass solder. Galvanofüge, joining by chemical deposition or ultrasonic welding at a first metallized at the joints optical element 3 are also possible.

Die ”Unterseite” des optischen Elements 3 kann vollständig frei bleiben. Auf diese Weise ergibt sich ein maximaler freier Durchmesser. Die Fassung 10 überragt die Fläche des optischen Elements 3 nicht, was insbesondere bei Abschlussplatten in der Immersions-Lithographie von Vorteil ist. Bei Bedarf kann jedoch die Abschlussplatte auch das rohrförmige Element 13 überragen, wobei die Fügestelle, z. B. ein Kleber, nicht in Kontakt mit der Immersionsflüssigkeit steht.The "bottom" of the optical element 3 can stay completely free. This results in a maximum free diameter. The version 10 surmounts the surface of the optical element 3 not, especially with end plates in the Immersion lithography is beneficial. However, if necessary, the end plate can also be the tubular element 13 overhang, the joint, z. As an adhesive, is not in contact with the immersion liquid.

Die Herstellung des rohrförmigen Elements 13 kann z. B. durch Drücken, Drückwalzen, Fließpressen, Innenhochdruckumformen, Galvanoformen, chemisches Abscheiden, klassische Drehbearbeitung oder Erodieren erfolgen.The production of the tubular element 13 can z. Example by pressing, flow-forming, extrusion, hydroforming, electroforming, chemical deposition, classic turning or eroding done.

Durch Drückwalzen können auch unterschiedliche Wanddicken sowohl axial als auch über den Umfang, z. B. Riffelung zur Erhöhung der z-Steifigkeit, realisiert werden. Durch unterschiedliche Wanddicken können zum Beispiel notwendige Weichheiten an den Fügestellen und evtl. ein definierter Kleberspalt durch Zentriersicken, eventuell Kleberfangsicken, eingestellt werden.By spin forming and different wall thicknesses both axially and over the circumference, z. B. ribbing to increase the z-stiffness can be realized. By means of different wall thicknesses, for example, necessary softnesses at the joints and possibly a defined adhesive gap can be set by centering beads, possibly adhesive beading beads.

Bei der Ausführungsform des Lithographieobjektives 1 gemäß 1 ist der Fassungsgrundkörper 11 der Fassung 10 an einer das Gehäuse 2 des Lithographieobjektives 1 bildenden Wandung 14 auf nicht näher dargestellte Art und Weise angebracht. Demgegenüber bilden bei der Ausführungsform des Lithographieobjektives 1 gemäß 2 die Fassungsgrundkörper 11 jeweils einen Teil des Gehäuses 2, sodass auf eine zusätzliche Wandung verzichtet werden kann.In the embodiment of the lithography lens 1 according to 1 is the socket basic body 11 the version 10 at one the housing 2 of the lithography lens 1 forming wall 14 mounted in a manner not shown. On the other hand, in the embodiment of the lithographic lens 1 according to 2 the socket basic body 11 each a part of the housing 2 so that you can do without an additional wall.

Die Fassungen 10 können verwendet werden, um den Gasraum des Lithographieobjektives 1 in separate Gasräume zu unterteilen, wenn jede Fassung 10 für sich abgedichtet ist. Somit können in bestimmten Abständen die unter Bezugnahme auf 3 beschriebenen Fassungen 10 eingesetzt werden, sodass sich jeweils zwischen zwei benachbarten optischen Elementen 3, die mit den Fassungen 10 gehalten sind, ein abgeschlossener Gasraum gebildet ist.The versions 10 can be used to control the headspace of the lithography lens 1 to divide into separate gas chambers, if any version 10 is sealed for itself. Thus, at certain intervals, the reference to 3 described versions 10 be inserted so that in each case between two adjacent optical elements 3 that with the versions 10 are held, a closed gas space is formed.

Bei der Ausführungsform der Fassung 10 gemäß 4 ist das rohrförmige Element 13 mit einem konischen Abschnitt 15 versehen, was dazu führt, dass der Fassungsgrundkörper 11 weiter von dem optischen Element 3 entfernt ist. Dadurch lässt sich eine bessere Ausnutzung der äußeren, dem rohrförmigen Element 13 zugewandten Bereiche des optischen Elements 3 erreichen.In the embodiment of the version 10 according to 4 is the tubular element 13 with a conical section 15 provided, which causes the socket body 11 further from the optical element 3 is removed. This allows a better utilization of the outer, the tubular element 13 facing regions of the optical element 3 to reach.

Der konische Abschnitt 15 ist auch bei der Ausführungsform der Fassung 10 gemäß 5 vorhanden, wobei das rohrförmige Element 13 zusätzlich eine Faltung 16 aufweist, sodass die Anbringung des rohrförmigen Elements 13 an dem Fassungsgrundkörper 11 auf einer Höhe mit der Anbringung des optischen Elements 3 an dem rohrförmigen Element 13 liegt. Dadurch wird die Verschiebung des optischen Elements 3 in Richtung der in 1 mit ”z” bezeichneten optischen Achse aufgrund einer eventuellen Erwärmung ausgeglichen, da sich die beiden Abschnitte des rohrförmigen Elements 13 auf beiden Seiten der Faltung 16 um denselben Betrag verlängern. Hierdurch wird eine Verschiebung des optischen Elements 3 in Richtung der optischen Achse im wesentlichen verhindert und es ergibt sich eine athermale Fassung 10, bei der gegebenenfalls unterschiedliche Materialien für das rohrförmige Element 13 verwendet werden können, wenn die beiden Abschnitte auf beiden Seiten der Faltung 16 unterschiedlich lang sind. Ein Ausgleich bzw. eine gezielte Beeinflussung der Verschiebung des optischen Elements 3 in z-Richtung bei Erwärmung kann durch ”Hin- und Rückweg” des rohrförmigen Elements 13, z. B. mit den zwei gefalteten Abschnitte mit bei Bedarf unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten der beiden Abschnitten, erreicht werden.The conical section 15 is also in the embodiment of the version 10 according to 5 present, wherein the tubular element 13 in addition a folding 16 so that the attachment of the tubular element 13 on the socket body 11 at a height with the attachment of the optical element 3 on the tubular element 13 lies. This will cause the displacement of the optical element 3 in the direction of in 1 offset by the optical axis designated by "z" due to a possible heating, since the two sections of the tubular element 13 on both sides of the fold 16 extend by the same amount. This will cause a shift of the optical element 3 In the direction of the optical axis substantially prevented and there is an athermal version 10 in which optionally different materials for the tubular element 13 Can be used when the two sections on both sides of the folding 16 are different lengths. A compensation or a targeted influencing of the displacement of the optical element 3 in z-direction when heated can be characterized by "round trip" of the tubular element 13 , z. B. with the two folded sections with different if necessary expansion coefficients of the two sections can be achieved.

Eine Minimierung des axialen Bauraums ergibt sich durch die Ausführungsform der Fassung 10 gemäß 6. Hierbei ist die Faltung 16 als Radius ausgeführt, die beiden Abschnitte des rohrförmigen Elements 13 erstrecken sich jedoch auch weiterhin jeweils in dieselbe Richtung. Um eine gute Wärmeableitung zu gewährleisten, kann der Abstand zwischen diesen beiden Abschnitten des rohrförmigen Elements 13 sehr klein gewählt werden, sodass sich ein sehr geringer Luftspalt von z. B. 0,5 bis 1 mm zwischen diesen Abschnitten ergibt.A minimization of the axial space results from the embodiment of the socket 10 according to 6 , Here is the convolution 16 executed as a radius, the two sections of the tubular element 13 however, they continue to extend in the same direction. To ensure good heat dissipation, the distance between these two sections of the tubular element can be 13 be very small, so that a very small air gap of z. B. 0.5 to 1 mm between these sections results.

Eine weitere Ausführungsform der Fassung 10 zeigt 7. Dabei ist das rohrförmige Element 13 an einem steifen Ring 17 angebracht, der oberhalb des optischen Elements 3 umläuft. Der steife Ring 17 ist mit dem Fassungsgrundkörper 11 über drei Auflagerstellen 18, von denen lediglich eine dargestellt ist, verbunden, sodass sich eine statisch bestimmte Lagerung des steifen Rings 13 an dem Fassungsgrundkörper 11 ergibt. Gegebenenfalls wäre es auch möglich, den beispielsweise aus einem metallischen Werkstoff oder aus einer Keramik bestehenden steifen Ring 17 in anderer Weise an dem Fassungsgrundkörper 11 anzubringen.Another embodiment of the version 10 shows 7 , In this case, the tubular element 13 on a stiff ring 17 attached, the above the optical element 3 circulates. The stiff ring 17 is with the socket basic body 11 over three support points 18 , of which only one is shown connected, so that a statically determined storage of the rigid ring 13 on the socket body 11 results. Optionally, it would also be possible, for example, consisting of a metallic material or a ceramic rigid ring 17 otherwise on the socket body 11 to install.

In 8 ist angedeutet, dass der sogenannte Kipp des optischen Elements 3 relativ zu der Fassung 10 durch einfaches Verkippen des optischen Elements 3 eingestellt werden kann. Anschließend ist lediglich sicherzustellen, dass bei der Anbringung des optischen Elements 3 an dem rohrförmigen Element 13 mittels der oben beschriebenen Verbindungsverfahren die Winkellage des optischen Elements 3 aufrechterhalten bleibt. Eine solche Anbringung wird auch als Richtfügen, z. B. Richtkleben, bezeichnet. Der Spalt zwischen dem rohrförmigen Element 13 und dem optischen Element 3 muss dabei nicht unbedingt eine konstante Dicke aufweisen, sondern kann, wie dargestellt, auch leicht keilförmig sein. Während des Verbindens des optischen Elements 3 mit dem rohrförmigen Element 13 sollte das optische Element 3 beispielsweise mit einer geeigneten Vorrichtung gehalten werden.In 8th is indicated that the so-called tilt of the optical element 3 relative to the version 10 by simply tilting the optical element 3 can be adjusted. Subsequently, only make sure that when attaching the optical element 3 on the tubular element 13 by means of the connection method described above, the angular position of the optical element 3 is maintained. Such attachment is also called straightening, z. B. sticking. The gap between the tubular element 13 and the optical element 3 it does not necessarily have to have a constant thickness, but can also be slightly wedge-shaped, as shown. While connecting the optical element 3 with the tubular element 13 should be the optical element 3 be held for example with a suitable device.

In 9 ist zu erkennen, dass ein solcher Ausgleich des Kipp des optischen Elements 3 auch dadurch erreicht werden kann, dass dasselbe einen konvexen Rand aufweist. Dabei ist sichergestellt, dass das optische Element 3 auf jeden Fall in seinem mittleren Bereich an dem rohrförmigen Element 13 anliegt.In 9 It can be seen that such a compensation of the tilt of the optical element 3 can also be achieved by having a convex edge. It is ensured that the optical element 3 definitely in its central region on the tubular element 13 is applied.

Umgekehrt ist bei 10 das rohrförmige Element 13 in demjenigen Bereich, in dem es mit dem optischen Element 3 in Kontakt steht, konvex ausgebildet. Auch hierdurch wird die Verstellung des Kipp des optischen Elements 3 ermöglicht.Conversely, at 10 the tubular element 13 in the area where it is with the optical element 3 in contact, convex. This also makes the adjustment of the tilt of the optical element 3 allows.

11 zeigt eine ähnliche Ausführungsform wie 7, wobei der steife Ring 17, an dem das optische Element 3 mittels des rohrförmigen Elements 13 angebracht ist, über ein weiteres dünnwandiges, rohrförmiges Element 19 mit dem Fassungsgrundkörper 11 verbunden ist. Dadurch ist eine weitere Entkopplung des optischen Elements 3 von der Fassung 10 über die beiden rohrförmigen Elemente 13 und 19 sowie den steifen Ring 17 gegeben. 11 shows a similar embodiment as 7 where the rigid ring 17 at which the optical element 3 by means of the tubular element 13 is attached, via another thin-walled, tubular element 19 with the socket basic body 11 connected is. This is a further decoupling of the optical element 3 from the version 10 over the two tubular elements 13 and 19 as well as the stiff ring 17 given.

Bei der Fassung 10 gemäß 12 weist das rohrförmige Element 13 an seinem Umfang einen Kragen 20 auf, der zur Versteifung des rohrförmigen Elements 13 dient. Der Kragen 20 ist vorzugsweise an drei Auflagerstellen 21 an dem Fassungsgrundkörper 11 angebracht, wobei im vorliegenden Fall lediglich eine der Auflagerstellen 21 schematisch dargestellt ist. Über diese statisch bestimmte Lagerung kann eine eventuelle Deformation des Fassungsgrundkörpers 11 nicht auf das optische Element 3 übertragen werden. In einem solchen Fall ist eine Manipulation des optischen Elements 3 durch eine entsprechende Manipulation der Auflagerstelle 21 möglich.In the version 10 according to 12 has the tubular element 13 a collar on its circumference 20 on, for stiffening the tubular element 13 serves. The collar 20 is preferably at three bearing points 21 on the socket body 11 attached, in the present case, only one of the bearing points 21 is shown schematically. About this statically determined storage can be a possible deformation of the socket body 11 not on the optical element 3 be transmitted. In such a case, there is a manipulation of the optical element 3 by a corresponding manipulation of the bearing point 21 possible.

Eine Ausführungsform der Fassung 10, bei der das rohrförmige Element 13 über seine Länge unterschiedliche Wandstärken aufweist, ist in 13 dargestellt. Dabei ist der Bereich 22 der erhöhten Wandstärke dafür vorgesehen, die Steifigkeit des rohrförmigen Elements 13 in Richtung der optischen Achse sicherzustellen, wohingegen die dünnwandigeren Bereiche die Weichheit des rohrförmigen Elements 13 dort sicherstellen, wo dieses mit dem optischen Element 3 bzw. dem Fassungsgrundkörper 11 verbunden ist. Das rohrförmige Element 13 bzw. die gefalteten rohrförmigen Elemente oder Rohrstücke können aus unterschiedlichen Materialien bestehen, damit gegebenenfalls geringere CTE-Sprünge erreichbar sind.An embodiment of the version 10 in which the tubular element 13 has different wall thicknesses over its length is in 13 shown. This is the area 22 the increased wall thickness provided for the rigidity of the tubular element 13 in the direction of the optical axis, whereas the thinner walled regions ensure the softness of the tubular element 13 There make sure where this with the optical element 3 or the socket body 11 connected is. The tubular element 13 or the folded tubular elements or pipe sections may be made of different materials so that possibly lower CTE jumps can be achieved.

In 14 ist eine Ausführungsform der Fassung 10 dargestellt, bei der das rohrförmige Element 13 mit zwei Bohrungen 23 und 24 versehen ist, die zum Durchleiten eines Gases durch den Bereich oberhalb des optischen Elements 3 dienen.In 14 is an embodiment of the version 10 shown in which the tubular element 13 with two holes 23 and 24 provided for passing a gas through the area above the optical element 3 serve.

15 zeigt einen Schnitt durch das rohrförmige Element 13, welches aus einem gewickelten Band gebildet ist. Dadurch ist eine einfache Herstellung des rohrförmigen Elements 13 gegeben, wobei dieses beispielsweise durch Löten oder Schweißen zusammengehalten werden kann. Das rohrförmige Element 13 kann aus einem Blechband hergestellt werden, wobei gegebenenfalls mehrere Wicklungen evtl. gegeneinander verklebt werden. Auf diese Weise wird ein Toleranzausgleich und eine Anpassung an den vorzugsweise zylindrischen Rand des optischen Elements 3 erreicht. Ebenso lässt sich dabei eventuell eine Verklebung mit dem optischen Element 3 während des Aufwickelns durchführen. 15 shows a section through the tubular element 13 which is formed from a wound band. This is a simple production of the tubular element 13 given, this can be held together, for example by soldering or welding. The tubular element 13 can be made from a sheet metal strip, possibly several windings are possibly glued against each other. In this way, a tolerance compensation and an adaptation to the preferably cylindrical edge of the optical element 3 reached. Likewise, this may possibly be a bond with the optical element 3 during winding up.

16 zeigt eine weitere Ausführungsform des rohrförmigen Elements 13, welches an seinem Umfang mit einer Vielzahl von Sicken 25 und 26 versehen ist. Hierbei sind die Sicken 25 demjenigen Bereich des rohrförmigen Elements 13 zugeordnet, welches zur Verbindung mit dem optischen Element 3 vorgesehen ist, wohingegen die Sicken 26 sich in dem Bereich des rohrförmigen Elements 13 befinden, das zur Anbringung an dem Fassungsgrundkörper 11 vorgesehen ist. 16 shows a further embodiment of the tubular element 13 which is at its periphery with a variety of beads 25 and 26 is provided. Here are the beads 25 that area of the tubular element 13 assigned, which for connection to the optical element 3 is provided, whereas the beads 26 in the region of the tubular element 13 to be attached to the socket body 11 is provided.

Bei der Ausführungsform der Fassung 10 gemäß 17 weist das rohrförmige Element 13 im Bereich der Verbindung mit dem optischen Element 3 an seinem Umfang mehrere Schlitze 27 auf, welche die Steifigkeit des rohrförmigen Elements 13 insbesondere in Bezug auf Durchmesserveränderungen verringern. Dies bietet sich an, wenn beispielsweise aus fertigungstechnischen Gründen eine relativ hohe Wandstärke des rohrförmigen Elements 13 erforderlich ist. Hierbei verringert sich die Umfangssteifigkeit des rohrförmigen Elements 13.In the embodiment of the version 10 according to 17 has the tubular element 13 in the area of the connection with the optical element 3 several slots at its periphery 27 on which the rigidity of the tubular element 13 especially with regard to changes in diameter. This is useful if, for example, for manufacturing reasons, a relatively high wall thickness of the tubular element 13 is required. This reduces the circumferential stiffness of the tubular element 13 ,

Sowohl die Sicken 25 und 26 als auch die Schlitze 27 dienen somit dazu, die Weichheit und Flexibilität des rohrförmigen Elements 13 zu erhöhen, wodurch eventuelle Durchmesserunterschiede ausgeglichen werden können und eine einfachere Anpassung des rohrförmigen Elements 13 an unterschiedliche Formen des optischen Elements 3 möglich ist. Die Sicken 25, 26 und/oder die Schlitze 27 können mit einem Dichtmittel abgedichtet werden, um die Dichtheit der Fassung 10 zu erhalten.Both the beads 25 and 26 as well as the slots 27 thus serve the softness and flexibility of the tubular element 13 increase, whereby any diameter differences can be compensated and easier adjustment of the tubular element 13 to different shapes of the optical element 3 is possible. The beads 25 . 26 and / or the slots 27 can be sealed with a sealant to ensure the tightness of the socket 10 to obtain.

Wie in 18 dargestellt, kann an das rohrförmige Element 13 auch eine Ringschneide 28 zur Auflage des optischen Elements 3 angearbeitet werden. Auf diese Weise lässt sich das optische Element 3 ausrichten.As in 18 can be attached to the tubular element 13 also a ring cutter 28 for supporting the optical element 3 be worked on. In this way, the optical element can be 3 align.

Claims (35)

Fassung für ein optisches Element, wobei das optische Element über ein dünnwandiges, rohrförmiges Element, welches eine Wandstärke von 0,01–1,0 mm aufweist, mit wenigstens einem weiteren Fassungselement verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass das rohrförmige Element an einem seiner Enden einen Kragen aufweist.Holder for an optical element, wherein the optical element is connected via a thin-walled, tubular element, which has a wall thickness of 0.01-1.0 mm, with at least one further socket element, characterized in that the tubular element at one of its ends having a collar. Fassung für ein optisches Element, wobei das optische Element über ein dünnwandiges, rohrförmiges Element, welches eine Wandstärke von 0,01–1,0 mm aufweist, mit wenigstens einem weiteren Fassungselement verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass das rohrförmige Element eine Faltung aufweist.Holder for an optical element, wherein the optical element is connected via a thin-walled, tubular element, which has a wall thickness of 0.01-1.0 mm, with at least one further socket element, characterized in that the tubular element has a convolution. Fassung für ein optisches Element, wobei das optische Element über ein dünnwandiges, rohrförmiges Element, welches eine Wandstärke von 0,01–1,0 mm aufweist, mit wenigstens einem weiteren Fassungselement verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass das rohrförmige Element in dem Verbindungsbereich mit dem optischen Element konvex ausgebildet ist.Holder for an optical element, wherein the optical element is connected via a thin-walled, tubular element, which has a wall thickness of 0.01-1.0 mm, with at least one further socket element, characterized in that the tubular element in the connecting region with the optical element is convex. Fassung nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei das weitere Fassungselement ein Fassungsgrundkörper ist.Socket according to claim 1, 2 or 3, wherein the further socket element is a socket body. Fassung nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei das weitere Fassungselement ein steifer Ring ist, der mit einem Fassungsgrundkörper verbunden ist.Socket according to claim 1, 2 or 3, wherein the further socket member is a rigid ring which is connected to a socket body. Fassung nach Anspruch 5, wobei der steife Ring statisch bestimmt mit dem Fassungsgrundkörper verbunden ist.A socket according to claim 5, wherein the rigid ring is statically connected to the socket body. Fassung nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei sich die linearen thermischen Ausdehnungskoeffizienten des optischen Elements und des dünnwandigen, rohrförmigen Elements um max. 3·10–6/K unterscheiden.Socket according to claim 1, 2 or 3, wherein the linear thermal expansion coefficients of the optical element and the thin-walled, tubular element to max. 3 · 10 -6 / K differ. Fassung nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei das rohrförmige Element eine wenigstens annähernd zylindrische Form aufweist.A socket according to claim 1, 2 or 3, wherein the tubular member has an at least approximately cylindrical shape. Fassung nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei das rohrförmige Element in wenigstens einem Verbindungsbereich mit dem optischen Element und/oder mit dem weiteren Fassungselement Sicken und/oder Schlitze aufweist.Socket according to claim 1, 2 or 3, wherein the tubular element in at least one connecting region with the optical element and / or with the further socket element beads and / or slots. Fassung nach Anspruch 9, wobei die Sicken und/oder Schlitze mit einem Dichtmittel abgedichtet sind.Socket according to claim 9, wherein the beads and / or slots are sealed with a sealant. Fassung nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei das rohrförmige Element mittels Löten mit dem optischen Element verbunden ist.A socket according to claim 1, 2 or 3, wherein the tubular element is connected to the optical element by means of soldering. Fassung nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei das rohrförmige Element mittels Kleben mit dem optischen Element verbunden ist.Socket according to claim 1, 2 or 3, wherein the tubular element is connected by gluing to the optical element. Fassung nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei das rohrförmige Element mittels Ultraschallschweißen mit dem optischen Element verbunden ist.Socket according to claim 1, 2 or 3, wherein the tubular member is connected by means of ultrasonic welding to the optical element. Fassung nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei das rohrförmige Element mittels Galvanofügen oder Fügen durch chemisches Abscheiden mit dem optischen Element verbunden ist.Socket according to claim 1, 2 or 3, wherein the tubular member is connected by means of Galvanofüge or joining by chemical deposition with the optical element. Fassung nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei das rohrförmige Element mittels Einpressen mit dem optischen Element verbunden ist.Socket according to claim 1, 2 or 3, wherein the tubular element is connected by means of pressing with the optical element. Fassung nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei das rohrförmige Element über seine Länge unterschiedliche Wandstärken aufweist.Socket according to claim 1, 2 or 3, wherein the tubular element has different wall thicknesses over its length. Fassung nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei das rohrförmige Element Bohrungen zum Ein- und Ausleiten von Gas in den durch das rohrförmige Element gebildeten Innenraum aufweist.Socket according to claim 1, 2 or 3, wherein the tubular element has bores for introducing and discharging gas into the interior formed by the tubular element. Fassung nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei das rohrförmige Element durch galvanisches oder chemisches Abscheiden hergestellt ist.A socket according to claim 1, 2 or 3, wherein the tubular element is made by electrodeposition or chemical deposition. Fassung nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei das rohrförmige Element aus einem gewickelten Band gebildet ist.Socket according to claim 1, 2 or 3, wherein the tubular element is formed from a wound band. Fassung nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei das optische Element aus Quarzglas und das rohrförmige Element aus einer Fe-Ni-Legierung besteht.Socket according to claim 1, 2 or 3, wherein the optical element consists of quartz glass and the tubular element consists of an Fe-Ni alloy. Fassung nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei das optische Element aus CaF2 und das rohrförmige Element aus einer Cu-Legierung besteht.Socket according to claim 1, 2 or 3, wherein the optical element consists of CaF 2 and the tubular element consists of a Cu alloy. Fassung nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei das optische Element aus Zerodur und das rohrförmige Element aus einer Fe-Ni-Legierung besteht.Socket according to claim 1, 2 or 3, wherein the optical element of Zerodur and the tubular element consists of an Fe-Ni alloy. Fassung nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei das optische Element eine Linse ist.A socket according to claim 1, 2 or 3, wherein the optical element is a lens. Fassung nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei das optische Element ein Spiegel ist.A socket according to claim 1, 2 or 3, wherein the optical element is a mirror. Fassung nach Anspruch 4, wobei der Fassungsgrundkörper aus einem metallischen Werkstoff besteht. Socket according to claim 4, wherein the socket base body consists of a metallic material. Fassung nach Anspruch 4, wobei der Fassungsgrundkörper aus Keramik besteht.Socket according to claim 4, wherein the socket body is made of ceramic. Fassung nach Anspruch 5, wobei der steife Ring aus einem metallischen Werkstoff besteht.Socket according to claim 5, wherein the rigid ring consists of a metallic material. Fassung nach Anspruch 5, wobei der steife Ring aus Keramik besteht.A socket according to claim 5, wherein the rigid ring is made of ceramic. Lithographieobjektiv mit mehreren optischen Elementen und mit wenigstens einer Fassung für ein optisches Element nach einem der Ansprüche 1 bis 28.A lithographic lens having a plurality of optical elements and at least one optical element socket according to any one of claims 1 to 28. Lithographieobjektiv nach Anspruch 29, wobei die Fassung einen Fassungsgrundkörper aufweist, der einen Teil eines Gehäuses des Objektivs bildet.The lithographic lens of claim 29, wherein the socket has a socket body forming part of a housing of the lens. Lithographieobjektiv nach Anspruch 29, wobei die Fassung einen Fassungsgrundkörper aufweist, der in einem Gehäuse des Objektivs angebracht ist.The lithographic lens of claim 29, wherein the socket has a socket body mounted in a housing of the lens. Lithographieobjektiv nach Anspruch 31, wobei der Fassungsgrundkörper an einer das Gehäuse bildenden, umlaufenden Wandung angebracht ist.The lithographic lens of claim 31, wherein the socket body is attached to a peripheral wall forming the housing. Lithographieobjektiv nach Anspruch 29, wobei mehrere Fassungen nach einem der Ansprüche 1 bis 28 vorgesehen sind, um den Innenraum des Objektivs in separate Gasräume zu unterteilen.A lithographic lens according to claim 29, wherein a plurality of sockets according to any one of claims 1 to 28 are provided to divide the interior of the lens into separate gas spaces. Verwendung eines Lithographieobjektivs nach einem der Ansprüche 29 bis 33 für die Immersions-Lithographie.Use of a lithographic objective according to one of Claims 29 to 33 for immersion lithography. Projektionsbelichtungsanlage mit einem Lithographieobjektiv nach einem der Ansprüche 29 bis 33 zur Herstellung von Halbleiterbauelementen.Projection exposure apparatus with a lithography objective according to one of Claims 29 to 33 for the production of semiconductor components.
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