DE102007048743A1 - Energetic composition determining method for e.g. x-ray radiation, of source, involves reflecting and diffracting different wavelength areas of irradiated x-ray radiation, and detecting x-ray radiation in pre-defined receiver areas - Google Patents
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Abstract
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestimmung der energetischen Zusammensetzung von elektromagnetischen Wellen, insbesondere betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren und eine Vorrichtung zur simultanen Bestimmung der energetischen Zusammensetzung von Röntgenstrahlung über einen großen Energiebereich.The The present invention relates to a method and an apparatus for determining the energetic composition of electromagnetic Waves, in particular, the present invention relates to a method and a device for the simultaneous determination of the energetic Composition of X-rays over a huge Energy sector.
Wellenlängendispersive Spektrometer (WDS) werden eingesetzt, um hohe Energieauflösungen in der Röntgenspektroskopie zu erreichen. Dabei wird die Strahlung an einem Gitter gestreut. Durch die Überlagerung der einzelnen gestreuten Strahlen kommt es zu richtungsabhängigen Interferenzen, die eine Wellenlängenabhängigkeit aufweisen. Das Erfassen der Interferenzen erfolgt durch eine sequentielle Veränderung des Auslesewinkels. Die Energieauflösung hängt dann von der geometrischen Anordnung (Form des Kristalls, Öffnungsspalt des Spektrometers) ab, aber auch von der Qualität des Kristalls sowie der Präzision des Spektrometers. Speziell für geringe Energien haben WDS-Spektrometer eine deutlich bessere Energieauflösung als EDS-Spektrometer. Gerade in diesem niederenergetischen Bereich ist aber auch eine hohe Liniendichte vorhanden, die für empfindliche Analysen und eindeutige Identifikationen eine gute Energieauflösung erfordert. Konventionell werden für WDS natürliche Kristalle oder künstliche Schichtstrukturen verwendet.wavelengthdispersive Spectrometers (WDS) are used to generate high energy resolution in X-ray spectroscopy to reach. The radiation is scattered on a grid. By the overlay the individual scattered rays cause directional interference, the one wavelength dependence exhibit. The detection of the interference is done by a sequential change the electoral angle. The energy resolution then depends on the geometric Arrangement (shape of the crystal, opening gap of the Spectrometer), but also on the quality of the crystal and the precision of the Spectrometer. Specially for low energies, WDS spectrometers have a significantly better energy resolution than EDS spectrometers. Just but in this low-energy area there is also a high density of lines, the for sensitive analyzes and clear identifications are a good one Energy resolution required. Becoming conventional for WDS natural crystals or artificial Layer structures used.
Die sequentielle Messanordnung erfordert einen hohen Zeitaufwand, da jedes Element einzeln angefahren und analysiert werden muss. Darüber hinaus ergeben sich Probleme bei der Analyse unbekannter Proben, da nicht vorhersehbar ist, welche Elemente vorhanden sind, d. h. ein kompletter Spektrenscann erforderlich ist. Man hat versucht, diesen Messzeitnachteil zu kompensieren durch den Aufbau von Mehrkanal-Spektrometern, bei denen für jeweils eine beschränkte Anzahl von Elementen ein gesondertes Spektrometer vorhanden ist. Das ist aber aufwendig und hat keine ausreichende Flexibilität. Darüber hinaus haben diese Spektrometer nur kleine Akzeptanzwinkel, so dass nur ein kleiner von der Probe kommender Strahlanteil erfasst wird und daher die Probe mit einer starken Anregungsintensität beaufschlagt werden muss, um ausreichende Fluoreszenzintensitäten zu erhalten.The Sequential measuring arrangement requires a lot of time since Each element has to be approached and analyzed individually. Furthermore Problems arise in the analysis of unknown samples, not because predictable which elements are present, d. H. a complete one Spectrum scanning is required. One tried, this measuring time disadvantage to compensate by building multichannel spectrometers at those for each a limited Number of elements a separate spectrometer is present. But that's expensive and does not have enough flexibility. Furthermore These spectrometers have only small acceptance angles, so only a small proportion of the beam coming from the sample is detected and therefore, the sample is exposed to a strong excitation intensity must be in order to obtain sufficient fluorescence intensities.
Eine weitere Möglichkeit besteht in der Verwendung einer von-Hamos-Geometrie für den Spektrometeraufbau. Hier wird die von einer Punktquelle kommende Strahlung durch einen großen Kristall dispergiert. Durch die Variation des Einfallwinkels der Strahlung auf den Kristall ergibt sich eine ortsabhängige Abbildung des Spektrums, d. h. das gesamte Spektrum wird auf einer Linie abgebildet und kann dort simultan mit einem ortsabhängigen Detektor erfasst werden. Die Brillanz derartiger Spektrometer ist gut. Allerdings ergeben sich durch die beschränkte Verfügbarkeit von Kristallen mit großen Gitterkonstanten besonders im niederenergetischen Bereich Einschränkungen und es sind große kostenaufwendige Kristalle und Detektoren für die Abdeckung eines breiten Energiebereiches erforderlich.A another possibility consists of using a von Hamos geometry for the spectrometer setup. Here becomes the radiation coming from a point source through a large crystal dispersed. By varying the angle of incidence of the radiation on the crystal results a location-dependent mapping of the spectrum, d. H. the entire spectrum is mapped on a line and can be there simultaneously with a location-dependent Detected detector. The brilliance of such spectrometers is good. However, due to the limited availability of crystals with huge Lattice constants, especially in the low-energy range Restrictions and they are big costly crystals and detectors for covering a wide Energy range required.
Darüber hinaus gibt es weitere Anordnungen, die durch die Verwendung von Fresnel-Zonen-Platten die Dispersion erzeugen. Bei Fresnel-Strukturen erfolgt eine Überlagerung von phasenverschobenen Strahlanteilen und deren Interferenz.Furthermore There are other arrangements made by the use of Fresnel zone plates generate the dispersion. Fresnel structures are overlaid phase-shifted beam components and their interference.
Bei den verwendeten Strukturen handelt es sich um Transmissions-Zonenplatten, bei denen die Phasenverschiebungen durch Transmissionsunterschiede in den Zonen erzeugt werden. Es erfolgt eine energieabhängige Fokussierung auf der Zonenachse, d. h., dass das Spektrum ortsabhängig auf der optischen Achse der Zonenplatte abgebildet wird.at The structures used are transmission zone plates which the phase shifts due to transmission differences in the zones are generated. There is an energy-dependent focus on the zone axis, d. h., That the spectrum depends on location the optical axis of the zone plate is mapped.
Diese Anordnungen haben den Nachteil, dass infolge der technologischen Bedingungen für die Herstellung derartiger Zonenplatten der Akzeptanzwinkel sehr klein ist und damit die Brillanz der Spektrometer gering ist und dass die Effektivität der Zonenplatten für höher energetische Strahlung gering ist, da sich für hochenergetische Strahlung keine ausreichenden Absorptionsunterschiede in den Zonen erzeugen lassen. Eine Registrierung des Spektrums wird durch eine Verschiebung des Detektors auf der Zonenplatten-Achse erreicht, d. h. auch hier ist nur eine sequentielle Beobachtung des Spektrums möglich.These Arrangements have the disadvantage that as a result of technological Conditions for the Production of such zone plates of the acceptance angle very small and thus the brilliance of the spectrometer is low and that the effectiveness the zone plates for higher energetic Radiation is low, because of high-energy radiation does not have sufficient absorption differences in the zones. A registration of the spectrum will be by a displacement of the detector on the zone plate axis achieved, d. H. Again, this is just a sequential observation of the spectrum possible.
Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Spektroskopie, insbesondere zur Röntgenspektroskopie anzugeben, mit dem eine simultane Registrierung der einzelnen Energien mit einer hohen Auflösung über einen breiten Energiebereich ermöglicht wird. Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, das Spektrum der Röntgenstrahlung schnell, mit hoher Auflösung und mit preiswerten Komponenten detektieren zu können.It is therefore an object of the present invention, a method and to provide a device for spectroscopy, in particular for X-ray spectroscopy, with the simultaneous registration of the individual energies with a high resolution over one wide energy range allows becomes. Another object of the present invention is the spectrum of X-rays quickly, with high resolution and to be able to detect with inexpensive components.
Diese Aufgaben werden erfindungsgemäß durch ein Verfahren mit den im Anspruch 1 genannten Merkmalen sowie eine Vorrichtung mit den im Anspruch 16 genannten Merkmalen gelöst. Bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen enthalten.These Tasks are performed according to the invention a method with the features mentioned in claim 1 and a Device solved with the features mentioned in claim 16. Preferred embodiments The invention are contained in the subclaims.
Ein besonderer Vorteil der erfindungsgemäßen Vorrichtung (wellenlängen dispersives Spektrometer) besteht in der Möglichkeit einer simultanen Registrierung über einen großen Energiebereich. Hierdurch kann ein sequentielles Auslesen für die einzelnen Wellenlängenbereiche vermieden werden, so dass entsprechende Messungen wesentlich schneller realisiert und alle in diesem Energiebereich befindlichen Elemente erfasst werden können. Zudem kann über einen sehr großen Energiebereich beispielsweise mehr als 1000 eV mit einer hohen Energieauflösung von beispielsweise kleiner 10 eV gemessen werden.A particular advantage of the device according to the invention (wavelength dispersive spectrometer) is the possibility of a simultaneous Registration over a large energy range. As a result, a sequential read-out for the individual wavelength ranges can be avoided, so that corresponding measurements can be realized much faster and all elements located in this energy range can be detected. In addition, over a very large energy range, for example, more than 1000 eV can be measured with a high energy resolution of, for example, less than 10 eV.
Das Verfahren zur wellenlängendispersiven Röntgenspektroskopie von Röntgenstrahlung einer Quelle weist folgende Verfahrensschritte auf:
- – Einstrahlen der von der Quelleemittierten, polychromatischen Röntgenstrahlung auf eine reflektierende Zonenplatte, wobei
- – mindestens zwei verschiedene Wellenlängenbereiche der eingestrahlten Röntgenstrahlung jeweils durch vordefinierte Wellenlängen-selektive Bereiche der reflektierenden Zonenplatte reflektiert und/oder gebeugt und in jeweils vordefinierte, voneinander getrennte Empfängerbereiche fokussiert werden, und
- – Detektion der von der Zonenplatte reflektierten und gebeugten Röntgenstrahlung in den mindestens zwei Empfängerbereichen.
- - Injecting the emitted from the source, polychromatic X-ray radiation on a reflective zone plate, wherein
- At least two different wavelength ranges of the irradiated X-radiation are respectively reflected and / or diffracted by predefined wavelength-selective regions of the reflective zone plate and focused into respectively predefined receiver regions which are separate from each other, and
- Detection of the X-ray radiation reflected and diffracted by the zone plate in the at least two receiver regions.
Als Quelle im Sinne der Erfindung kann eine Primärquelle von Röntgenstrahlung, aber auch eine Probe verstanden werden, welche Röntgenstrahlung emittiert, reflektiert und/oder absorbiert (beispielsweise bei der Absorptionsspektroskopie).When Source in the sense of the invention may be a primary source of X-radiation, but also a sample can be understood, which emits X-rays reflected and / or absorbed (for example in absorption spectroscopy).
Erfindungsgemäß wird die Röntgenstrahlung in Abhängigkeit ihrer Wellenlänge (Energie) mittels der reflektierenden (Fresnelschen) Zonenplatte in eine Vielzahl von nebeneinander angeordneten Bereichen fokussiert, so dass die unte rschiedlichen Energien auf unterschiedliche Stellen eines ortsauflösenden Detektors treffen (der auch aus mehreren Detektoren aufgebaut sein kann) und aus den Messwerten des ortsauflösenden Detektors (bzw. der einzelnen Detektoren) auf das Spektrum bzw. die energetische Verteilung geschlossen werden kann.According to the invention X-radiation in dependence their wavelength (Energy) by means of the reflective (Fresnel) zone plate focused into a multitude of juxtaposed areas, so that the different energies in different places a spatially resolving Detector meet (which may also be composed of several detectors can) and from the measured values of the spatially resolving detector (or the individual detectors) on the spectrum or the energy distribution can be closed.
Vorzugsweise wird die von der Quelle stammende, polychromatische Röntgenstrahlung unter einem Winkel zwischen 0.05° (grad) und 5° (grad) auf die reflektierende Zonenplatte eingestrahlt. Vorzugsweise werden die reflektierende Zonenplatte von der Quelle in einem Abstand zwischen 5 mm und 50 mm angeordnet und/oder die Empfängerbereiche von der reflektierenden Zonenplatte in vergleichbaren Abständen angeordnet. Die Abstände hängen von der angestrebten Energieauflösung und der Größe des Detektors ab. Entsprechend kann die Fresnel-Struktur berechnet werden.Preferably becomes the source-derived polychromatic X-ray at an angle between 0.05 ° (degrees) and 5 ° (degrees) irradiated to the reflective zone plate. Preferably the reflective zone plate from the source at a distance between 5 mm and 50 mm arranged and / or the receiver areas of the reflective Zone plate arranged at comparable intervals. The distances depend on the desired energy resolution and the size of the detector from. Accordingly, the Fresnel structure can be calculated.
Vorzugsweise wird aus den simultan detektierten Intensitäten der mindestens zwei Empfängerbereiche (vorzugsweise einer Vielzahl von Empfängerbereichen) die energetische Zusammensetzung der Röntgenstrahlung der Quelle bestimmt. Vorzugsweise wird die reflektierte und/oder gebeugte Röntgenstrahlung unterschiedlicher Wellenlänge mittels der wellenlängen-selektiven Bereiche jeweils in unterschiedliche Fokalpunkte oder Fokalbereiche derart fokussiert wird, dass die jeweiligen Fokalpunkte oder Fokalbereiche in der Ebene der Empfängerbereiche entlang einer Linie angeordnet sind, wobei die Längsachse der durch die jeweiligen Fokalpunkte oder Fokalbereiche gebildeten Linie senkrecht oder im Wesentlichen senkrecht zur Beugungsrichtung der wellenlängen-selektiven Bereiche angeordnet ist. Im Falle von Fokalbereichen wird die Linie durch die geometrischen Mittelpunkte der Fokalbereiche bestimmt. Vorzugsweise wird die Fokussierung der eingestrahlten Röntgenstrahlung in voneinander getrennte Fokalpunkte oder Fokalbereiche in Abhängigkeit der Wellenlänge der Röntgenstrahlung mittels einer Vielzahl von reflektierenden Strukturen (vorzugsweise linienförmige Strukturen) realisiert, wobei die reflektierenden Strukturen vorzugsweise senkrecht oder im Wesentlichen senkrecht zur Ausbreitungsrichtung der Röntgenstrahlung angeordnet sind. Vorzugsweise werden die wellenlängen-selektiven Bereiche in Bezug auf die Ausbreitungsrichtung der Röntgenstrahlung nebeneinander auf der Zonenplatte angeordnet.Preferably is from the simultaneously detected intensities of the at least two receiver areas (preferably a plurality of receiver areas) the energetic Composition of X-rays determined by the source. Preferably, the reflected and / or diffracted X-rays different wavelength by means of the wavelength-selective Areas in different focal points or focal areas is focused such that the respective focal points or focal areas in the level of recipient areas are arranged along a line, the longitudinal axis of which through the respective Focal points or focal areas formed line perpendicular or in Substantially perpendicular to the diffraction direction of the wavelength-selective Areas is arranged. In the case of focal areas becomes the line determined by the geometric centers of the focal areas. Preferably, the focusing of the incident X-ray radiation in separate focal points or focal areas depending the wavelength the X-ray radiation by means of a plurality of reflective structures (preferably linear Structures), wherein the reflective structures preferably perpendicular or substantially perpendicular to the direction of propagation the X-ray radiation are arranged. Preferably, the wavelength-selective regions in Reference to the propagation direction of the X-ray radiation next to each other arranged on the zone plate.
Der Vorteil der senkrechten Anordnung der reflektierenden Strukturen zur Ausbreitungsrichtung besteht in der Erfassung einer breiteren Energiebereiches mit einer gleichmäßigen Energieauflösung, im Gegensatz zu einer parallelen Anordnung, die eine gute Energieauflösung nur für einen schmalen Energiebereich ermöglicht.Of the Advantage of the vertical arrangement of the reflective structures to the direction of propagation consists in the detection of a broader Energy range with a uniform energy resolution, in the Unlike a parallel arrangement, the good energy resolution only for one narrow energy range allows.
Vorzugsweise verändern (vergrößern) sich die Abstände der einzelnen Strukturen eines wellenlängen-selektiven Bereichs entlang der Zonenplatte in Ausbreitungsrichtung der Röntgenstrahlung kontinuierlich. Vorzugsweise wird Röntgenstrahlung, welche auf die Empfängerebene außerhalb der durch die Fokalpunkte (oder Fokalbereiche) definierten Bereiche trifft, mittels einer Blende abgeschirmt oder auf einem zweidimensionalen Detektor nur im vorbestimmten Bereich ausgelesen; dadurch kann unerwünschtes Streulicht vermieden oder zumindest effektiv unterdrückt werden.Preferably change (enlarge) the distances the individual structures of a wavelength-selective area along the zone plate in the propagation direction of the X-ray continuously. Preferably, X-radiation, which at the receiver level outside the areas defined by the focal points (or focal areas) meets, shielded by a shutter or on a two-dimensional Detector read only in the predetermined range; This can be undesirable Scattered light can be avoided or at least effectively suppressed.
Vorzugsweise wird die von der Quelle stammende, polychromatische Röntgenstrahlung auf eine erste reflektierende Zonenplatte und mindestens eine zweite reflektierende Zonenplatte eingestrahlt, und die von den Zonenplatten reflektierte und gebeugte Röntgenstrahlung in den mindestens zwei Empfängerbereichen detektiert. Dadurch ist es möglich, mit jeder Zonenplatte einen gesonderten Energiebereich sehr hoch aufzulösen und simultan zu messen, diese Energiebereiche können aneinander anschließen oder sich überlagern. Vorzugsweise werden die erste reflektierende Zonenplatte und die zweite reflektierende Zonenplatte derart zueinander positioniert, dass die jeweils von den Zonenplatten reflektierte und gebeugte Röntgenstrahlung derart fokussiert wird, dass die jeweiligen Fokalpunkte oder Fokalbereiche auf einen gemeinsamen, ortsauflösenden Detektor treffen.Preferably, the source-derived polychromatic X-ray radiation is irradiated to a first reflective zone plate and at least one second reflective zone plate, and the X-ray radiation reflected and diffracted by the zone plates is detected in the at least two receiver regions. This makes it possible, with each zone plate a separate energy high energy dissipation and simultaneous measurement, these energy ranges can connect to each other or overlap. Preferably, the first reflective zone plate and the second reflective zone plate are positioned relative to each other such that the respectively reflected and diffracted by the zone plates X-ray radiation is focused such that the respective focal points or focal areas meet a common, spatially resolving detector.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Röntgenspektroskopie von Röntgenstrahlung einer Quelle weist mindestens eine reflektierende Zonenplatte und mindestens einen ortsauflösenden Detektor auf, wobei die reflektierende Zonenplatte mindestens zwei vordefinierte wellenlängen-selektive Bereiche und der ortsauflösende Detektor mindestens zwei korrespondierende Empfängerbereiche aufweist, und die wellenlängen-selektiven Bereiche in Relation zu den Empfängerbereichen derart angeordnet sind, dass die Verbindungslinie zweier benachbarter wellenlängen-selektiver Bereiche entlang einer Linie angeordnet ist.The inventive device for X-ray spectroscopy of X-rays a source has at least one reflective zone plate and at least one spatial resolution Detector, wherein the reflective zone plate at least two predefined wavelength-selective Areas and the spatially resolving Detector has at least two corresponding receiver areas, and the wavelength-selective Areas in relation to the receiver areas are arranged such that the connecting line of two adjacent wavelength-selective Areas arranged along a line.
Vorzugsweise verläuft die Verbindungslinie zweier benachbarter wellenlängenselektiver Bereiche senkrecht oder im Wesentlichen senkrecht zu einer Verbindungslinie zwischen den jeweiligen wellenlängen-selektiven Bereichen und einem korrespondierenden Empfängerbereich. Vorzugsweise weist die Zonenplatte ein Trägersubstrat mit einer planar ausgebildeten Oberseite auf. Vorzugsweise sind auf der Oberseite des Trägersubstrats reflektierende Strukturen (vorzugsweise linienförmige Strukturen) angeordnet.Preferably extends the connecting line of two adjacent wavelength-selective areas perpendicular or substantially perpendicular to a connecting line between the respective wavelength-selective Areas and a corresponding receiver area. Preferably, the Zone plate a carrier substrate with a planar upper side. Preferably on the top of the carrier substrate reflective structures (preferably line-shaped structures) arranged.
Vorzugsweise weist die Verbindungslinie zwischen dem ortsauflösenden Detektor und der Zonenplatte zur Oberseite des Trägersubstrats einen Winkel zwischen 0.05° (grad) und 5° (grad) auf und/oder die Empfängerbereiche sind von der reflektierenden Zonenplatte in einem Abstand zwischen 5 mm und 50 mm angeordnet. Vorzugsweise sind die reflektierenden Strukturen durch Stege mit einer Höhe zwischen 5 nm und 40 nm ausgebildet und/oder die Breite der der Strukturen liegen im Bereich zwischen 0.1 μm und 3 μm.Preferably indicates the connecting line between the spatially resolving detector and the zone plate to the top of the carrier substrate an angle between 0.05 ° (degrees) and 5 ° (degrees) on and / or the recipient areas are spaced from the reflective zone plate at a distance 5 mm and 50 mm arranged. Preferably, the reflective ones Structures by webs with a height between 5 nm and 40 nm formed and / or the width of the structures are in the range between 0.1 μm and 3 μm.
Vorzugsweise sind die wellenlängen-selektiven Bereiche durch eine Vielzahl reflektierender Strukturen ausgebildet, wobei die reflektierenden Strukturen benachbarter wellenlängen-selektiver Bereiche kontinuierlich ineinander übergehen und sich über sämtliche wellenlängen-selektive Bereiche erstrecken können, und sich der Abstand benachbarter Strukturen entlang der Längserstreckung der Strukturen von einem ersten Ende der benachbarten Strukturen zu einem zweiten Ende der benachbarten Strukturen entsprechend der Fresnel-Beziehung kontinuierlich verändert.Preferably are the wavelength-selective ones Areas formed by a plurality of reflective structures, wherein the reflective structures of adjacent wavelength-selective Areas continuously merge into each other and over all wavelength selective Can extend areas, and the spacing of adjacent structures along the longitudinal extent the structures of a first end of the adjacent structures to a second end of the adjacent structures corresponding to Fresnel relationship changed continuously.
Vorzugsweise sind die Strukturen auf der Oberfläche der Zonenplatte bogenförmig ausgebildet, wobei die reflektierenden Strukturen eine dem zu messenden Wellenlängenbereich sowie den geometrischen Dimensionen und Abständen von Quelle, Zonenplatte und Detektor entsprechende Krümmung aufweisen. Vorzugsweise beträgt die Länge der Linien zwischen 5 mm und 50 mm. Vorzugsweise erhöht sich die Krümmung der reflektierenden Strukturen von einem ersten Ende der Strukturen zu einem zweiten Ende der Strukturen (entlang der Linie) kontinuierlich. Vorzugsweise ist die Form des Querschnitts der Strukturen (auf den Querschnitt bezogen) beliebig aperiodischer Art (rechteckförmig, trapezförmig oder sinusförmig).Preferably the structures are arc-shaped on the surface of the zone plate, wherein the reflective structures are a wavelength range to be measured as well as the geometric dimensions and distances of source, zone plate and detector have corresponding curvature. Preferably the length the lines between 5 mm and 50 mm. Preferably increases the curvature the reflective structures from a first end of the structures to a second end of the structures (along the line) continuously. Preferably, the shape of the cross section of the structures (on the Cross section) of any aperiodic type (rectangular, trapezoidal or sinusoidal).
Vorzugsweise ist der Abstand benachbarter Empfängerbereiche entsprechend dem zu messenden Wellenlängenbereich sowie den geometrischen Dimensionen und Abständen von Quelle, Zonenplatte und Detektor ausgebildet. Vorzugsweise beträgt der Abstand benachbarter Empfängerbereiche zwischen 10 μm und einige mm (vorzugsweise 5 mm) und/oder sämtliche Empfängerbereiche sind entlang einer parallel zur Oberfläche des Trägersubstrats verlaufenden Linie angeordnet.Preferably is the distance of adjacent receiver areas according to the to be measured wavelength range as well as the geometric dimensions and distances of source, zone plate and detector formed. Preferably, the distance is adjacent receiver areas between 10 μm and a few mm (preferably 5 mm) and / or all receiver areas are along a line parallel to the surface of the carrier substrate arranged.
Vorzugsweise weist die Vorrichtung Mittel zur Erfassung und Berechnung des Spektrums (energetische Verteilung) der Röntgenstrahlung der Quelle aus den simultan detektierten Intensitäten der mindestens zwei Empfängerbereiche auf.Preferably The device has means for acquiring and calculating the spectrum (energetic distribution) of the X-radiation the source of the simultaneously detected intensities of at least two receiver areas on.
In einer weiteren bevorzugten Ausführungsvariante der Erfindung ist mindestens eine weitere (zweite) reflektierende Zonenplatte vorgesehen, wobei die erste reflektierende Zonenplatte und die zweite reflektierende Zonenplatte derart zueinander angeordnet sind, dass die jeweils von den Zonenplatten reflektierte und gebeugte Röntgenstrahlung derart fokussiert wird, dass die jeweiligen Fokalpunkte oder Fokaibereiche auf einen gemeinsamen, ortsauflösenden Detektor (bezüglich unterschiedlicher Energien der Strahlung räumlich getrennt) treffen. Vorzugsweise sind die erste reflektierende Zonenplatte und die zweite reflektierende Zonenplatte parallel zueinander angeordnet (übereinander oder hintereinander). Vorzugsweise weist auch die zweite Zonenplatte ein Trägersubstrat mit einer planar ausgebildeten Oberseite sowie auf der Oberseite des Trägersubstrats angeordnete reflektierende Strukturen auf, wobei die Strukturen der ersten reflektierenden Zonenplatte und die Strukturen der zweiten reflektierenden Zonenplatte derart dimensioniert sind, dass jeweils eine Fokussierung unterschiedlicher Wellenlängen (bereiche) bzw. Energien der elektromagnetischen Strahlung auf den Detektor (bzw. entsprechende Detektoren) erfolgt.In a further preferred embodiment The invention is at least one further (second) reflective Zone plate provided, wherein the first reflective zone plate and the second reflective zone plate are arranged relative to each other are that each of the zone plates reflected and diffracted X-rays is focused such that the respective focal points or Fokaibereiche to a common, spatially resolving Detector (with respect different energies of the radiation spatially separated) meet. Preferably are the first reflective zone plate and the second reflective one Zone plate arranged parallel to each other (one above the other or behind each other). Preferably, the second zone plate also has a carrier substrate with a planar top side and on top of the carrier substrate arranged on reflective structures, wherein the structures the first reflective zone plate and the structures of the second reflective zone plate are dimensioned such that each one Focusing on different wavelengths (areas) or energies the electromagnetic radiation to the detector (or corresponding Detectors).
Die Erfindung soll nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert werden. Es zeigen:The Invention will be explained below with reference to exemplary embodiments. Show it:
Der
Detektor
In
den
Die Abbildung des Spektrums kann durch eine derartige erfindungsgemäße Anordnung sowohl im Maßstab 1:1, aber auch vergrößernd oder verkleinernd erfolgen. Damit ergeben sich Möglichkeiten für die Anpassung der Energieauflösung und Geometrie an die jeweiligen Applikationen, so dass stets Detektoren mit vordefinierten Größen (Pixelgröße und -anzahl) verwendet werden können.The Illustration of the spectrum can by such an inventive arrangement both in scale 1: 1, but also enlarging or made smaller. This creates opportunities for customization the energy resolution and geometry to the respective applications, so that always detectors with predefined sizes (pixel size and number) can be used.
In
Wie
in
- 1010
- Quellesource
- 1111
- Probesample
- 1212
- Zonenplattezone plate
- 1313
- zusätzliche (zweite) Zonenplatteadditional (second) zone plate
- 1414
- wellenlängen-selektiver Bereichwavelength-selective Area
- 1616
- ortsauflösender DetektorSpatial resolution detector
- 1818
- Trägersubstrat der Zonenplattecarrier substrate the zone plate
- 2020
- reflektierende Struktur/Linie der Zonenplattereflective Structure / line of the zone plate
- 2222
- Empfängerbereichrecipient scope
- 2424
- Empfängerebenereceiver plane
- 2626
- Schlitzblendeslit
- 2828
- Röntgenstrahlung (polychromatisch)X-rays (Polychromatic)
- 3030
- Elektronenstrahlelectron beam
- 3232
- Polschuh eines REMpole a REM
- 3434
- Plasmaplasma
- 3636
- Target-MaterialTarget Material
- 3838
- Anregungsstrahlung (fokussierte Pumplaserstrahlung)excitation radiation (focused pump laser radiation)
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