-
Die Erfindung betrifft eine Prüfkarte und eine Testvorrichtung, die die Prüfkarte umfasst, und insbesondere eine Prüfkarte und eine Testvorrichtung, die die Prüfkarte mit einem mikroelektromechanisches-System(MEMS)-Schalter umfasst.
-
Nachdem Halbleiterbauelemente durch einen Halbleiterherstellungsprozess auf einem Wafer ausgebildet sind, wird ein Test der elektrischen Eigenschaften an jedem der Halbleiterbauelemente durchgeführt, um sie auf Defekte zu prüfen. Die Prüfung der elektrischen Eigenschaften wird mit einer Prüfkarte vorgenommen, die an die Halbleiterbauelemente auf dem Wafer ein elektrisches Signal anlegt, ein vom angelegten elektrischen Signal übertragenes Signal misst und das Vorliegen irgendwelcher Defekte bestimmt. Herkömmliche Prüfkarten verwenden typischer Weise einen mechanischen Schalter, um an die Halbleiterbauelemente ein elektrisches Signal anzulegen. Die beim Ausführen eines Schaltvorgangs von dem mechanischen Schalter erzeugte Spannung kann die Halbleiterbauelemente schädigen, was die Zuverlässigkeit der Messung beeinträchtigt.
-
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Prüfkarte und eine Testvorrichtung zur Verfügung zu stellen, die die Zuverlässigkeit verbessern.
-
Die Erfindung löst diese Aufgabe dadurch, dass eine Prüfkarte mit den Merkmalen von Anspruch 1 oder 9 und eine Testvorrichtung mit den Merkmalen von Anspruch 15 zur Verfügung gestellt werden.
-
Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angeführt, deren Wortlaut hiermit durch Bezugnahme zum Inhalt der Beschreibung gemacht wird, um unnötige Textwiederholungen zu vermeiden.
-
Gemäß einer beispielhaften Ausführungsform des erfinderischen Konzepts kann eine Prüfkarte einen ersten Eingabeanschluss-mikroelektromechanisches-System(MEMS)-Schalter umfassen, der einen ersten Eingabeanschluss und einen ersten Eingabeprüfpin verbindet, wobei der erste Eingabeanschluss-MEMS-Schalter einen Steuerteil umfasst, der ein Betriebssignal empfängt, und einen Verbindungsteil umfasst, der den ersten Eingabeanschluss und den ersten Eingabeprüfpin verbindet. Die beispielhafte Ausführungsform kann weiter einen ersten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter umfassen, der einen ersten Ausgabeanschluss und einen ersten Ausgabeprüfpin verbindet, wobei der erste Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter einen Steuerteil umfasst, der ein Betriebssignal empfängt, und einen Verbindungsteil umfasst, der den ersten Ausgabeanschluss und den ersten Ausgabeprüfpin verbindet.
-
Ein Abstand zwischen dem ersten Eingabeprüfpin und dem ersten Eingabeanschluss-MEMS-Schalter und ein Abstand zwischen dem ersten Ausgabeprüfpin und dem ersten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter kann kleiner oder gleich 50 cm sein.
-
Der Steuerteil des ersten Eingabeanschluss-MEMS-Schalters und der Steuerteil des ersten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalters können dazu ausgebildet sein, das gleiche Betriebssignal zu empfangen.
-
Die Prüfkarte kann weiter einen ersten Eingabeprüf-MEMS-Schalter, der den ersten Eingabeanschluss-MEMS-Schalter und den ersten Eingabeprüfpin verbindet, und einen ersten Ausgabeprüf-MEMS-Schalter, der den ersten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter und den ersten Ausgabeprüfpin verbindet, umfassen.
-
Die Prüfkarte kann weiter umfassen: einen zweiten Eingabeanschluss-MEMS-Schalter, der einen zweiten Eingabeanschluss und einen zweiten Eingabeprüfpin verbindet, wobei der zweite Eingabeanschluss-MEMS-Schalter einen Steuerteil umfasst, der das Betriebssignal empfängt, und einen Verbindungsteil umfasst, der den zweiten Eingabeanschluss und den zweiten Eingabeprüfpin verbindet, und einen zweiten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter, der einen zweiten Ausgabeanschluss und einen zweiten Ausgabeprüfpin verbindet, wobei der zweite Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter einen Steuerteil umfasst, der das Betriebssignal empfängt, und einen Verbindungsteil umfasst, der den zweiten Ausgabeanschluss und den zweiten Ausgabeprüfpin verbindet, wobei der erste Eingabeanschluss ein Pulseingabeanschluss ist, der ein Pulseingabesignal empfängt, der zweite Eingabeanschluss ein Gleichstrom(DC)-Eingabeanschluss ist, der ein DC-Eingabesignal empfängt, der erste Ausgabeanschluss ein Pulsausgabeanschluss ist, der ein Pulsausgangssignal überträgt, und der zweite Ausgabeanschluss ein DC-Ausgabeanschluss ist, der ein DC-Ausgabesignal überträgt.
-
Die Prüfkarte kann weiter umfassen: eine erste Übertragungsleitung, die den Steuerteil des ersten Eingabeanschluss-MEMS-Schalters und den Steuerteil des ersten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalters verbindet, und eine zweite Übertragungsleitung, die den Steuerteil des zweiten Eingabeanschluss-MEMS-Schalters und den Steuerteil des zweiten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalters verbindet, wobei ein Betriebssignal, das über die erste und die zweite Übertragungsleitung übertragen wird, entweder gleichzeitig den ersten Eingabeanschluss-MEMS-Schalter und den ersten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter anschaltet und den zweiten Eingabeanschluss-MEMS-Schalter und den zweiten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter ausschaltet, oder gleichzeitig den zweiten Eingabeanschluss-MEMS-Schalter und den zweiten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter anschaltet und den ersten Eingabeanschluss-MEMS-Schalter und den ersten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter ausschaltet.
-
Die Prüfkarte kann weiter einen Versorgungsquellenschalter umfassen, der mit der ersten und der zweiten Übertragungsleitung verbunden ist, die das Betriebssignal zur ersten oder zur zweiten Übertragungsleitung überträgt.
-
Der Versorgungsquellenschalter kann einen Demultiplexer umfassen, der gemäß einem Taktsignal das Betriebssignal zur ersten oder zur zweiten Übertragungsleitung überträgt.
-
Gemäß einer weiteren beispielhaften Ausführungsform des erfinderischen Konzepts kann eine Prüfkarte umfassen: eine Mehrzahl von Eingabeanschlüssen, die dazu ausgebildet sind, eine Mehrzahl von Eingabesignalen zu empfangen, eine Mehrzahl von Eingabeprüfpins, die dazu ausgebildet sind, die Mehrzahl von Eingabesignalen zu einer Mehrzahl von Eingabepads eines Wafers zu übertragen, und eine Mehrzahl von mikroelektromechanisches-System(MEMS)-Schaltern, die die Mehrzahl von Eingabeanschlüssen und eine Mehrzahl von Eingabeprüf-MEMS-Schaltern verbinden, wobei jeder der Mehrzahl von Eingabeanschluss-MEMS-Schaltern einen Steuerteil umfasst, der ein Betriebssignal empfängt, und einen Verbindungsteil umfasst, der die Mehrzahl von Eingabeanschlüssen und die Mehrzahl von Eingabeprüf-MEMS-Schaltern verbindet, und wobei jeder der Mehrzahl von Eingabeprüf-MEMS-Schaltern einen Steuerteil umfasst, der das Betriebssignal empfängt, und einen Verbindungsteil umfasst, der die Mehrzahl von Eingabeanschluss-MEMS-Schaltern und die Mehrzahl von Eingabeprüfpins verbindet.
-
Die Prüfkarte kann weiter umfassen: eine Mehrzahl von Ausgabeanschlüssen, die dazu ausgebildet sind, eine Mehrzahl von Ausgabesignalen zu übertragen, eine Mehrzahl von Ausgabeprüfpins, die dazu ausgebildet sind, die Mehrzahl von Ausgabesignalen von einer Mehrzahl von Ausgabepads des Wafers zu empfangen, und eine Mehrzahl von Ausgabeanschluss-MEMS-Schaltern, die die Mehrzahl von Ausgabeanschlüssen und die Mehrzahl von Ausgabeprüfpins verbinden, wobei jeder der Mehrzahl von Ausgabeanschluss-MEMS-Schaltern einen Steuerteil umfasst, der das Betriebssignal empfängt, und einen Verbindungsteil umfasst, der die Mehrzahl von Ausgabeanschlüssen und die Mehrzahl von Ausgabeprüfpins verbindet.
-
Die Prüfkarte kann weiter eine Mehrzahl von Übertragungsleitungen umfassen, die dazu ausgebildet sind, jeden Steuerteil der Mehrzahl von Eingabeanschluss-MEMS-Schaltern und jeden Steuerteil der Mehrzahl von Ausgabeanschluss-MEMS-Schaltern zu verbinden, wobei jede der Mehrzahl von Übertragungsleitungen gleichzeitig das Betriebssignal zu jedem Steuerteil der Mehrzahl von Eingabeanschluss-MEMS-Schaltern und jedem Steuerteil der Mehrzahl von Ausgabeanschluss-MEMS-Schaltern überträgt.
-
Die Prüfkarte kann weiter umfassen: eine Mehrzahl von Ausgabeanschlüssen, die dazu ausgebildet sind, eine Mehrzahl von Ausgabesignalen zu übertragen, eine Mehrzahl von Ausgabeprüfpins, die dazu ausgebildet sind, die Mehrzahl von Ausgabesignalen von einer Mehrzahl von Ausgabepads des Wafers zu empfangen, und eine Mehrzahl von Ausgabeanschluss-MEMS-Schaltern, die die Mehrzahl von Ausgabeanschlüssen und eine Mehrzahl von Ausgabeprüf-MEMS-Schaltern verbinden, wobei jeder der Mehrzahl von Ausgabeanschluss-MEMS-Schaltern einen Steuerteil umfasst, der ein Betriebssignal empfängt, und einen Verbindungsteil umfasst, der die Mehrzahl von Ausgabeanschlüssen und die Mehrzahl von Ausgabeprüf-MEMS-Schaltern verbindet, und wobei jeder der Mehrzahl von Ausgabeprüf-MEMS-Schaltern einen Steuerteil umfasst, der ein Betriebssignal empfängt, und einen Verbindungsteil umfasst, der die Mehrzahl von Ausgabeanschluss-MEMS-Schaltern und die Mehrzahl von Ausgabeprüfpins verbindet.
-
Die Prüfkarte kann weiter eine Mehrzahl von Prüfübertragungsleitungen umfassen, die dazu ausgebildet sind, jeden Steuerteil der Mehrzahl von Eingabeprüf-MEMS-Schaltern und jeden Steuerteil der Mehrzahl von Ausgabeprüf-MEMS-Schaltern zu verbinden, wobei jede der Mehrzahl von Prüfübertragungsleitungen gleichzeitig das Betriebssignal zu jedem Steuerteil der Mehrzahl von Eingabeprüf-MEMS-Schaltern und jedem Steuerteil der Mehrzahl von Ausgabeprüf-MEMS-Schaltern überträgt.
-
Die Prüfkarte kann weiter eine Mehrzahl von Übertragungsleitungen umfassen, die dazu ausgebildet sind, jeden Steuerteil der Mehrzahl von Eingabeanschluss-MEMS-Schaltern und jeden Steuerteil der Mehrzahl von Ausgabeanschluss-MEMS-Schaltern zu verbinden, wobei jede der Mehrzahl von Übertragungsleitungen gleichzeitig ein Betriebssignal an jeden Steuerteil der Mehrzahl von Eingabeanschluss-MEMS-Schaltern und jeden Steuerteil der Mehrzahl von Ausgabeanschluss-MEMS-Schaltern überträgt.
-
Gemäß einer weiteren beispielhaften Ausführungsform des erfinderischen Konzepts umfasst eine Testvorrichtung eine Prüfkarte, wobei die Prüfkarte umfasst: einen ersten Eingabeanschluss-mikroelektromechanisches-System(MEMS)-Schalter, der einen ersten Eingabeanschluss und einen ersten Eingabeprüfpin verbindet, einen ersten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter, der einen ersten Ausgabeanschluss und einen ersten Ausgabeprüfpin verbindet, einen zweiten Eingabeanschluss-MEMS-Schalter, der einen zweiten Eingabeanschluss und einen zweiten Eingabeprüfpin verbindet, und einen zweiten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter, der einen zweiten Ausgabeanschluss und einen zweiten Ausgabeprüfpin verbindet.
-
Die Testvorrichtung kann weiter umfassen: einen Pulsgenerator, der dazu ausgebildet ist, ein Pulseingabesignal an den ersten Eingabeanschluss anzulegen, eine Quellenmesseinheit (SMU), die dazu ausgebildet ist, ein Gleichstrom(DC)-Eingabesignal an den zweiten Eingabeanschluss anzulegen, ein Oszilloskop, das dazu ausgebildet ist, ein Pulsausgabesignal von dem ersten Ausgabeanschluss zu empfangen, und eine Masseverbindung, die dazu ausgebildet ist, ein DC Ausgabesignal von dem zweiten Ausgabeanschluss zu empfangen.
-
Die Testvorrichtung kann weiter umfassen: eine erste Versorgungsquelle, die dazu ausgebildet ist, gleichzeitig ein erstes Betriebssignal an einen Steuerteil des ersten Eingabeanschluss-MEMS-Schalters und an einen Steuerteil des ersten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalters anzulegen, eine zweite Versorgungsquelle, die dazu ausgebildet ist, gleichzeitig ein zweites Betriebssignal an einen Steuerteil des zweiten Eingabeanschluss-MEMS-Schalters und einen Steuerteil des zweiten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalters anzulegen, und eine Versorgungsquellensteuereinheit, die dazu ausgebildet ist, die erste und die zweite Versorgungsquelle anzusteuern, wobei der erste Eingabeanschluss-MEMS-Schalter und der erste Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter angeschaltet werden, während der zweite Eingabeanschluss-MEMS-Schalter und der zweite Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter ausgeschaltet sind, und der zweite Eingabeanschluss-MEMS-Schalter und der zweite Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter angeschaltet werden, während der erste Eingabeanschluss-MEMS-Schalter und der erste Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter ausgeschaltet sind.
-
Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung, die unten ausführlich beschrieben werden, sind in den Zeichnungen dargestellt, in denen:
-
1 eine Darstellung einer Prüfkarte und einer Testvorrichtung mit der Prüfkarte gemäß einer beispielhaften Ausführungsform des erfinderischen Konzepts zeigt,
-
2 eine Darstellung einer Prüfkarte und einer Testvorrichtung mit der Prüfkarte gemäß einer weiteren beispielhaften Ausführungsform des erfinderischen Konzepts zeigt,
-
3 eine Darstellung einer Prüfkarte und einer Testvorrichtung mit der Prüfkarte gemäß einer weiteren beispielhaften Ausführungsform des erfinderischen Konzepts zeigt,
-
4 eine Darstellung einer Prüfkarte und einer Testvorrichtung mit der Prüfkarte gemäß einer weiteren beispielhaften Ausführungsform des erfinderischen Konzepts zeigt,
-
5 ein Flussbild eines Verfahrens zum Prüfen eines Halbleiterbauelements unter Verwendung einer Testvorrichtung mit einer Prüfkarte gemäß einer beispielhaften Ausführungsform des erfinderischen Konzepts darstellt,
-
6 ein Flussbild eines Verfahrens zum Prüfen eines Halbleiterbauelements unter Verwendung einer Testvorrichtung mit einer Prüfkarte gemäß einer weiteren beispielhaften Ausführungsform des erfinderischen Konzepts darstellt,
-
7 ein Flussbild eines Verfahrens zum Prüfen eines Halbleiterbauelements unter Verwendung einer Testvorrichtung mit einer Prüfkarte gemäß einer weiteren beispielhaften Ausführungsform des erfinderischen Konzepts darstellt,
-
8 ein Flussbild eines Verfahrens zum Prüfen eines Halbleiterbauelements unter Verwendung einer Testvorrichtung mit einer Prüfkarte gemäß einer weiteren beispielhaften Ausführungsform des erfinderischen Konzepts darstellt,
-
9A ein Schaubild einer Strom-Widerstandskurve eines unter Verwendung einer herkömmlichen Testvorrichtung geprüften Halbleiterbauelements darstellt,
-
9B ein Schaubild einer Strom-Widerstandskurve eines unter Verwendung einer Testvorrichtung mit einer Prüfkarte gemäß einer beispielhaften Ausführungsform des erfinderischen Konzepts geprüften Halbleiterbauelements darstellt,
-
10A eine Darstellung eines mikroelektromechanischen-System(MEMS)-Schalters in einer Prüfkarte gemäß einer beispielhaften Ausführungsform des erfinderischen Konzepts zeigt, und
-
10B eine Darstellung eines MEMS-Schalters in einer Prüfkarte gemäß einer beispielhaften Ausführungsform des erfinderischen Konzepts zeigt.
-
Mit Bezug zu den Zeichnungen können die Formen in den Zeichnungen entsprechend einer Fertigungstechnik und/oder einer Toleranz überarbeitet sein. Gleiche Bezugszeichen bezeichnen gleiche Elemente in den Zeichnungen.
-
1 ist eine Darstellung einer Prüfkarte 1A und einer Testvorrichtung 2A mit der Prüfkarte 1A gemäß einer beispielhaften Ausführungsform des erfinderischen Konzepts.
-
Mit Bezug zu 1 kann die Prüfkarte 1A erste und zweite Eingabeanschlüsse 10a und 10b, erste und zweite Eingabeanschluss-mikroelektromechanisches-System(MEMS)-Schalter 20a und 20b, einen Eingabeprüfpin 50, einen Ausgabeprüfpin 60, erste und zweite Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a und 90b, erste und zweite Ausgabeanschlüsse 100a und 100b sowie erste und zweite Übertragungsleitungen 110a und 110b umfassen. Der Eingabeprüfpin 50, der Ausgabeprüfpin 60, der erste und der zweite Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a und 20b sowie der erste und der zweite Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a und 90b können in der Prüfkarte 1A gelegen sein. Die Lage dieser Bauelemente ist jedoch nicht darauf beschränkt, und daher können der Eingabeprüfpin 50, der Ausgabeprüfpin 60, der erste und der zweite Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a und 20b sowie der erste und der zweite Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a und 90b in anderen Prüfkarten (nicht gezeigt) gelegen sein.
-
Zum Zwecke der Erläuterung umfassen hier beschriebene beispielhafte Ausführungsformen zwei Eingabeanschlüsse, zwei Eingabeanschluss-MEMS-Schalter, zwei Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter und zwei Ausgabeanschlüsse, wie jedoch die Fachleute erkennen können, ist die Anzahl dieser Einheiten nicht darauf beschränkt.
-
Der erste und der zweite Eingabeanschluss 10a und 10b können ein einzelnes Eingabesignal empfangen oder sie können jeweils getrennte Eingabesignale empfangen, wie es in der beispielhaften Ausführungsform von 1 gezeigt ist. Zum Beispiel kann der erste Eingabeanschluss 10a ein erstes Eingabesignal empfangen, und der zweite Eingabeanschluss 10b kann ein zweites Eingabesignal empfangen. In einer beispielhaften Ausführungsform kann der erste Eingabeanschluss 10a ein Pulseingabeanschluss sein und das erste Eingabesignal kann ein Pulseingabesignal sein, und der zweite Eingabeanschluss 10b kann ein Gleichstrom(DC)-Eingabeanschluss sein und das zweite Eingabesignal kann ein DC-Eingabesignal sein. Die ersten und zweiten Eingabeanschlüsse 10a und 10b und die ersten und zweiten Eingabesignale sind jedoch nicht darauf beschränkt. Das erste und das zweite Eingabesignal können in den ersten und zweiten Eingabeanschluss 10a und 10b eingegeben werden.
-
Der erste Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a kann zwischen dem ersten Eingabeanschluss 10a und dem Eingabeprüfpin 50 positioniert sein, und der zweite Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20b kann zwischen dem zweiten Eingabeanschluss 10b und dem Eingabeprüfpin 50 positioniert sein. Der erste und der zweite Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a und 20b können den ersten Eingabeanschluss 10a und den Eingabeprüfpin 50 bzw. den zweiten Eingabeanschluss 10b und den Eingabeprüfpin 50 elektrisch verbinden. Der erste und der zweite Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a und 20b können einen Steuerteil 5 umfassen, der ein Betriebssignal empfängt, und einen Verbindungsteil 6 umfassen, der den ersten und den zweiten Eingabeanschluss 10a und 10b mit dem Eingabeprüfpin 50 elektrisch verbindet.
-
Der Eingabeprüfpin 50 kann ein erstes Ende umfassen, das mit dem ersten Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a elektrisch verbunden ist, und ein zweites Ende umfassen, das mit dem zweiten Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20b elektrisch verbunden ist. Das erste und das zweite Ende sind weiter mit einem Eingabepad 510 eines Wafers 500 elektrisch verbunden. Gemäß unterschiedlicher Ausführungsformen des erfinderischen Konzepts kann die Anzahl an Enden am Eingabeprüfpin 50 kann in Abhängigkeit von der Anzahl an vorhandenen Eingabeanschluss-MEMS-Schaltern veränderlich sein. Der Eingabeprüfpin 50 kann das erste und das zweite Eingabesignal vom ersten und zweiten Eingabeanschluss 10a und 10b empfangen, und kann das empfangene erste und zweite Eingabesignal zum Eingabepad 510 des Wafers 500 übertragen. Die Entfernung zwischen dem Eingabeprüfpin 50 und dem ersten und dem zweiten Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a und 20b kann beispielsweise ungefähr 0,1 bis 50 cm betragen, aber die Entfernung ist nicht darauf beschränkt.
-
Der erste und der zweite Ausgabeanschluss 100a und 100b kann ein einzelnes Ausgabesignal übertragen oder kann jeweils getrennte Ausgabesignale übertragen, wie es in der beispielhaften Ausführungsform in 1 gezeigt ist. Zum Beispiel kann der erste Ausgabeanschluss 100a ein erstes Ausgabesignal übertragen, und der zweite Ausgabeanschluss 100b kann ein zweites Ausgabesignal übertragen. In einer beispielhaften Ausführungsform kann der erste Ausgabeanschluss 100a ein Pulsausgabeanschluss sein und das erste Ausgabesignal kann ein Pulsausgabesignal sein, und der zweite Ausgabeanschluss 100b kann ein DC-Ausgabeanschluss ein und das zweite Ausgabesignal kann ein DC-Ausgabesignal sein. Der erste und der zweite Ausgabeanschluss 100a und 100b und das erste und das zweite Ausgabesignal sind jedoch nicht darauf beschränkt.
-
Der erste Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a kann zwischen dem ersten Ausgabeanschluss 100a und dem Ausgabeprüfpin 60 positioniert sein, und der zweite Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90b kann zwischen dem zweiten Ausgabeanschluss 100b und dem Ausgabeprüfpin 60 positioniert sein. Der erste und der zweite Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a und 90b können den ersten Ausgabeanschluss 100a mit dem Ausgabeprüfpin 60 elektrisch verbinden, und den zweiten Ausgabeanschluss 100b mit dem Ausgabeprüfpin 60 elektrisch verbinden. Der erste und der zweite Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a und 90b können einen Steuerteil 5 umfassen, der ein Betriebssignal empfängt, und einen Verbindungsteil 6 umfassen, der den ersten und den zweiten Ausgabeanschluss 100a und 100b mit dem Ausgabeprüfpin 60 elektrisch verbindet.
-
Der Ausgabeprüfpin 60 kann ein erstes Ende umfassen, das mit dem ersten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a elektrisch verbunden ist, und ein zweites Ende umfassen, das mit dem zweiten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90b elektrisch verbunden ist. Das erste und das zweite Ende sind weiter mit einem Ausgabepad 520 eines Wafers 500 elektrisch verbunden. Gemäß unterschiedlicher Ausführungsformen des erfinderischen Konzepts kann die Anzahl an Enden am Ausgabeprüfpin 60 in Abhängigkeit von der Anzahl an vorhandenen Ausgabeanschluss-MEMS-Schaltern veränderlich sein. Der Ausgabeprüfpin 60 kann ein Ausgabesignal vom Ausgabepad 520 empfangen und kann das empfangene Ausgabesignal zum ersten bzw. zum zweiten Ausgabeanschluss 100a und 100b übertragen. Die Entfernung zwischen dem Ausgabeprüfpin 60 und dem ersten und dem zweiten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a und 90b kann beispielsweise ungefähr 0,1 bis 50 cm betragen, aber die Entfernung ist nicht darauf beschränkt.
-
Wie in 1 dargestellt ist, können die erste und die zweite Übertragungsleitung 110a und 110b mit dem Steuerteil 5 der ersten und zweiten Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a und 20b bzw. dem Steuerteil 5 der ersten und zweiten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a und 90b elektrisch verbunden sein. In einer beispielhaften Ausführungsform kann der Steuerteil 5 des ersten und des zweiten Eingabeanschluss-MEMS-Schalters 20a und 20b bzw. der Steuerteil 5 des ersten und des zweiten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalters 90a und 90b das gleiche Betriebssignal empfangen. In der Folge kann ein Betriebssignal den ersten Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a und den ersten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a bzw. den zweiten Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20b und den zweiten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90b gleichzeitig an-/ausschalten.
-
Zum Beispiel kann der Steuerteil 5 des ersten Eingabeanschluss-MEMS-Schalters 20a und der Steuerteil 5 des ersten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalters 90a beispielweise über die erste Übertragungsleitung 110a elektrisch verbunden sein. Die erste Übertragungsleitung 110a kann das Betriebssignal gleichzeitig an den Steuerteil 5 des ersten Eingabeanschluss-MEMS-Schalters 20a und den Steuerteil 5 des ersten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalters 90a übertragen. In der Folge können der erste Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a und der erste Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a gleichzeitig angeschaltet oder gleichzeitig ausgeschaltet werden.
-
Gleichermaßen können der Steuerteil 5 des zweiten Eingabeanschluss-MEMS-Schalters 20b und der Steuerteil 5 des zweiten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalters 90b beispielweise über die zweite Übertragungsleitung 110b elektrisch verbunden sein. Die zweite Übertragungsleitung 110b kann das Betriebssignal gleichzeitig an den Steuerteil 5 des zweiten Eingabeanschluss-MEMS-Schalters 20b und den Steuerteil 5 des zweiten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalters 90b übertragen. In der Folge können der zweite Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20b und der zweite Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90b gleichzeitig angeschaltet oder gleichzeitig ausgeschaltet werden.
-
Gemäß der in 1 dargestellten beispielhaften Ausführungsform kann die Testvorrichtung 2A die Prüfkarte 1A umfassen und kann weiter eine erste und eine zweite Eingabesignalanlegeeinheit 210a und 210b, eine erste und eine zweite Ausgabesignalempfängereinheit 220a und 220b, eine erste und eine zweite Versorgungsquelle 230a und 230b sowie eine erste Versorgungsquellensteuereinheit 240a umfassen.
-
Die erste Eingabesignalanlegeeinheit 210a kann das erste Eingabesignal an den ersten Eingabeanschluss 10a anlegen, und die zweite Eingabesignalanlegeeinheit 210b kann das zweite Eingabesignal an den zweiten Eingabeanschluss 10b anlegen. Die erste Eingabesignalanlegeeinheit 210a kann beispielsweise ein Pulsgenerator sein, und der erste Eingabeanschluss 10a kann beispielsweise ein Pulseingabeanschluss sein. Die zweite Eingabesignalanlegeeinheit 210b kann beispielsweise eine Quellenmesseinheit (SMU) sein, und der zweite Eingabeanschluss 10b kann beispielsweise ein DC-Eingabeanschluss sein. Das erste Eingabesignal kann beispielsweise ein Pulseingabesignal sein, und das zweite Eingabesignal kann beispielsweise ein DC-Eingabesignal sein. In einer beispielhaften Ausführungsform kann die erste Eingabesignalanlegeeinheit 210a mit dem Pulseingabeanschluss 10a in der Prüfkarte 1A elektrisch verbunden sein und kann das Pulseingabesignal am Pulseingabeanschluss 10a anlegen. Die SMU 210b kann mit dem DC-Eingabeanschluss 10b in der Prüfkarte 1A elektrisch verbunden sein und kann das DC-Eingabesignal am DC-Eingabeanschluss 10b anlegen. Obwohl die Eingabesignalanlegeeinheiten 210a und 210b in der beispielhaften Ausführungsform einen Pulsgenerator bzw. eine SMU umfassen, sind die Eingabesignalanlegeeinheiten 210a und 210b nicht darauf beschränkt.
-
Die erste Ausgabesignalempfängereinheit 220a kann das erste Ausgabesignal vom ersten Ausgabeanschluss 100a empfangen, und die zweite Ausgabesignalempfängereinheit 220b kann das zweite Ausgabesignal vom zweiten Ausgabeanschluss 100b empfangen. Die erste Ausgabesignalempfängereinheit 220a kann beispielsweise ein Oszilloskop sein, und der erste Ausgabeanschluss 100a kann beispielsweise ein Pulsausgabeanschluss sein. Die zweite Ausgabesignalempfängereinheit 220b kann beispielsweise eine Masseverbindung sein, und der zweite Ausgabeanschluss 100b kann beispielsweise ein DC-Ausgabeanschluss sein. Das erste Ausgabesignal kann beispielsweise das Pulsausgabesignal sein, und das zweite Ausgabesignal kann beispielsweise das DC-Ausgabesignal sein. In einer beispielhaften Ausführungsform kann das Oszilloskop 220a mit dem Pulsausgabeanschluss 100a in der Prüfkarte 1A elektrisch verbunden sein und kann das vom Pulsausgabeanschluss 100a übertragene Pulsausgabesignal empfangen. Die Masse 220b kann mit dem DC-Ausgabeanschluss 100b in der Prüfkarte 1A elektrisch verbunden sein und kann das vom DC-Ausgabeanschluss 100b übertragene DC-Ausgabesignal empfangen. Obwohl die erste und die zweite Ausgabesignalempfängereinheit 220a und 220b in der beispielhaften Ausführungsform ein Oszilloskop bzw. eine Masseverbindung umfassen, sind die Ausgabesignalempfängereinheiten 220a und 220b nicht darauf beschränkt.
-
In einer beispielhaften Ausführungsform können die erste und die zweite Versorgungsquelle 230a und 230b gleichzeitig ein Betriebssignal an den Steuerteil 5 des ersten und des zweiten Eingabeanschluss-MEMS-Schalters 20a und 20b und den Steuerteil 5 des ersten und des zweiten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalters 90a und 90b anlegen. Zum Beispiel können die erste und die zweite Versorgungsquelle 230a und 230b mit der ersten und der zweiten Übertragungsleitung 110a und 110b in der Prüfkarte 1A elektrisch verbunden sein. In der Folge können die erste und die zweite Versorgungsquelle 230a und 230b das Betriebssignal gleichzeitig an den Steuerteil 5 des ersten und des zweiten Eingabeanschluss-MEMS-Schalters 20a und 20b und den Steuerteil 5 des ersten und des zweiten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalters 90a und 90b anlegen.
-
Zum Beispiel kann die erste Versorgungsquelle 230a mit der ersten Übertragungsleitung 110a elektrisch verbunden sein und kann ein erstes Betriebssignal gleichzeitig an den Steuerteil 5 des ersten Eingabeanschluss-MEMS-Schalters 20a und an den Steuerteil 5 des ersten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalters 90a anlegen. In der Folge können der erste Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a und der erste Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a gleichzeitig angeschaltet oder gleichzeitig ausgeschaltet werden.
-
Gleichermaßen kann die zweite Versorgungsquelle 230b mit der zweiten Übertragungsleitung 110b elektrisch verbunden sein und kann ein zweites Betriebssignal gleichzeitig an den Steuerteil 5 des zweiten Eingabeanschluss-MEMS-Schalters 20b und an den Steuerteil 5 des zweiten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalters 90b anlegen. In der Folge können der zweite Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20b und der zweite Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90b gleichzeitig angeschaltet oder gleichzeitig ausgeschaltet werden.
-
Die erste Versorgungsquellensteuereinheit 240a kann mit der ersten und der zweiten Versorgungsquelle 230a und 230b elektrisch verbunden sein und kann die erste und die zweite Versorgungsquelle 230a und 230b so ansteuern, dass sie abwechselnd betrieben werden. Zum Beispiel kann die erste Versorgungsquellensteuereinheit 240a veranlassen, dass der erste Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a und der erste Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a von der ersten Versorgungsquelle 230a gleichzeitig angeschaltet werden, und der zweite Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20b und der zweite Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90b von der zweiten Versorgungsquelle 230b gleichzeitig ausgeschaltet werden. Gleichermaßen kann die erste Versorgungsquellensteuereinheit 240a veranlassen, dass der zweite Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20b und der zweite Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90b von der zweiten Versorgungsquelle 230b gleichzeitig angeschaltet werden, und der erste Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a und der erste Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a von der ersten Versorgungsquelle 230a gleichzeitig ausgeschaltet werden.
-
2 ist eine Darstellung einer Prüfkarte 1B und einer Testvorrichtung 2B mit der Prüfkarte 1B gemäß einer weiteren beispielhaften Ausführungsform des erfinderischen Konzepts. Die Prüfkarte 1B und die Testvorrichtung 2B gemäß der vorliegenden beispielhaften Ausführungsform können eine überarbeitete Ausführungsform der Prüfkarte 1A und der Testvorrichtung 2A gemäß der in 1 dargestellten beispielhaften Ausführungsform umfassen. Deshalb werden nachfolgend die gleichen Beschreibungen hierzu ausgelassen.
-
Mit Bezug zu 2 kann die Prüfkarte 1B weiter einen Versorgungsquellenschalter 250 umfassen. Der Versorgungsquellenschalter 250 kann mit einer ersten und einer zweiten Übertragungsleitung 110a und 110b und einer Versorgungsquelle 230 verbunden sein. Der Versorgungsquellenschalter 250 kann mit der Versorgungsquelle 230 verbunden sein und kann ein Betriebssignal von der Versorgungsquelle 230 zu einer der ersten und zweiten Übertragungsleitungen 110a und 110b übertragen. In der in 2 dargestellten beispielhaften Ausführungsform ist der Versorgungsquellenschalter 250 in der Prüfkarte 18 gelegen, jedoch ist die Lage des Versorgungsquellenschalters 250 nicht darauf beschränkt.
-
In einer beispielhaften Ausführungsform kann der Versorgungsquellenschalter 250 als Demultiplexer ausgebildet sein. Der Demultiplexer 250 kann ein Betriebssignal von der Versorgungsquelle 230 empfangen und kann in Abhängigkeit von einem Taktsignal CLK das Betriebssignal zu einer der ersten und zweiten Übertragungsleitungen 110a und 110b übertragen. Wenn zum Beispiel das vom Demultiplexer 250 empfangene Taktsignal CLK ”1” oder ”hoch” angibt, kann das Betriebssignal an die erste Übertragungsleitung 110a angelegt werden, und wenn das vom Demultiplexer 250 empfangene Taktsignal CLK ”0” oder ”niedrig” angibt, kann das Betriebssignal an die zweite Übertragungsleitung 110b angelegt werden. Obwohl der Versorgungsquellenschalter 250 in der beispielhaften Ausführungsform einen Demultiplexer umfasst, ist der Versorgungsquellenschalter 250 nicht darauf beschränkt.
-
3 ist eine Darstellung einer Prüfkarte 1C und einer Testvorrichtung 2C mit der Prüfkarte 1C gemäß einer weiteren beispielhaften Ausführungsform des erfinderischen Konzepts. Die Prüfkarte 1C und die Testvorrichtung 2C gemäß der vorliegenden beispielhaften Ausführungsform können eine überarbeitete Ausführungsform der Prüfkarte 1A und der Testvorrichtung 2A gemäß der in 1 dargestellten beispielhaften Ausführungsform umfassen. Deshalb werden nachfolgend die gleichen Beschreibungen hierzu ausgelassen.
-
Mit Bezug zu 3 kann die Prüfkarte 1C einen ersten und einen zweiten Eingabeanschluss 10a und 10b, einen ersten und einen zweiten Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a und 20b, einen ersten Verbindungsknoten 30, erste bis dritte Eingabeprüf-MEMS-Schalter 40a, 40b und 40c, erste bis dritte Eingabeprüfpins 50a, 50b und 50c, erste bis dritte Ausgabeprüfpins 60a, 60b und 60c, erste bis dritte Ausgabeprüf-MEMS-Schalter 70a, 70b und 70c, einen zweiten Verbindungsknoten 80, einen ersten und einen zweiten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a und 90b, einen ersten und einen zweiten Ausgabeanschluss 100a und 100b, eine erste und eine zweite Übertragungsleitung 110a und 110b sowie Prüfübertragungsleitungen A bis C 115a, 115b und 115c umfassen. Der erste und zweite Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a und 20b, der erste und zweite Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a und 90b, der erste bis dritte Eingabeprüfpin 50a, 50b und 50c, der erste bis dritte Ausgabeprüfpin 60a, 60b und 60c, der erste bis dritte Eingabeprüf-MEMS-Schalter 40a, 40b und 40c und der erste bis dritte Ausgabeprüf-MEMS-Schalter 70a, 70b und 70c können in der Prüfkarte 1A oder in anderen Prüfkarten (nicht gezeigt) gelegen sein.
-
Zum Zwecke der Erläuterung umfassen hier beschriebene beispielhafte Ausführungsformen zwei Eingabeanschlüsse, zwei Eingabeanschluss-MEMS-Schalter, zwei Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter und zwei Ausgabeanschlüsse, die Anzahl dieser Einheiten ist jedoch nicht darauf beschränkt, wie für die Fachleute ersichtlich ist. Gleichermaßen umfassen hier beschriebene beispielhafte Ausführungsformen drei Eingabeprüf-MEMS-Schalter, drei Eingabeprüfpins, drei Eingabepads, drei Ausgabepads, drei Ausgabeprüfpins und drei Ausgabeprüf-MEMS-Schalter, die Anzahl dieser Einheiten ist jedoch nicht darauf beschränkt, wie für die Fachleute ersichtlich ist.
-
Der erste und der zweite Eingabeanschluss 10a und 10b können ein einzelnes Eingabesignal empfangen oder der erste Eingabeanschluss 10a kann ein erstes Eingabesignal empfangen und der zweite Eingabeanschluss 10b kann ein zweites Eingabesignal empfangen, wie es in 3 dargestellt ist. In einer beispielhaften Ausführungsform kann der erste Eingabeanschluss 10a beispielsweise ein Pulseingabeanschluss sein, und das erste Eingabesignal kann beispielsweise ein Pulseingabesignal sein, jedoch sind der erste Eingabeanschluss 10a und das erste Eingabesignal nicht darauf beschränkt. Der zweite Eingabeanschluss 10b kann beispielsweise ein DC-Eingabeanschluss sein, und das zweite Eingabesignal kann beispielsweise ein DC-Eingabesignal sein, jedoch sind der zweite Eingabeanschluss 10b und das zweite Eingabesignal nicht darauf beschränkt. Das erste und das zweite Eingabesignal können an den ersten und den zweiten Eingabeanschluss 10a und 10b eingegeben werden.
-
Der erste und der zweite Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a und 20b können jeweils zwischen dem ersten und dem zweiten Eingabeanschluss 10a und 10b und dem ersten Verbindungsknoten 30 positioniert sein. Zum Beispiel kann der erste Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a zwischen dem ersten Eingabeanschluss 10a und dem ersten Verbindungsknoten 30 positioniert sein, und der zweite Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20b kann zwischen dem zweiten Eingabeanschluss 10b und dem ersten Verbindungsknoten 30 positioniert sein. Die Entfernung zwischen dem ersten und zweiten Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a und 20b und dem ersten bis dritten Eingabeprüfpin 50a, 50b und 50c kann jeweils beispielsweise ungefähr 0,1 bis 50 cm betragen, aber die Entfernung ist nicht darauf beschränkt. Der erste und zweite Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a und 20b können einen Steuerteil 5 umfassen, der ein Betriebssignal empfängt, und einen Verbindungsteil 6 umfassen, der den ersten und den zweiten Eingabeanschluss 10a und 10b mit dem ersten Verbindungsknoten 30 elektrisch verbindet.
-
Der erste bis dritte Eingabeprüfpin 50a, 50b und 50c können zwei Enden umfassen, wobei jedes Ende mit einem zugehörigen ersten bis dritten Eingabeprüf-MEMS-Schalter 40a, 40b und 40c elektrisch verbunden ist. Die beiden Enden sind weiter mit zugehörigen ersten bis dritten Eingabepads 510a, 510b und 510c eines Wafers 500 elektrisch verbunden.
-
Der erste bis dritte Eingabeprüf-MEMS-Schalter 40a, 40b und 40c können jeweils zwischen dem ersten bis dritten Eingabeprüfpin 50a, 50b und 50c und dem ersten Verbindungsknoten 30 positioniert sein. Die Entfernung zwischen dem ersten bis dritten Eingabeprüf-MEMS-Schalter 40a, 40b und 40c und dem ersten bis dritten Eingabeprüfpin 50a, 50b und 50c kann jeweils beispielsweise ungefähr 0,1 bis 50 cm betragen, aber die Entfernung ist nicht darauf beschränkt.
-
Der erste bis dritte Eingabeprüf-MEMS-Schalter 40a, 40b und 40c können einen Steuerteil 5 umfassen, der ein Betriebssignal empfängt, und einen Verbindungsteil 6 umfassen, der den ersten bis dritten Eingabepad 510a, 510b und 510c und den ersten Verbindungsknoten 30 elektrisch verbindet.
-
Der erste und der zweite Ausgabeanschluss 100a und 100b können ein Ausgabesignal übertragen. Zum Beispiel kann der erste Ausgabeanschluss 100a eines erstes Ausgabesignal übertragen, und der zweite Ausgabeanschluss 100b kann ein zweites Ausgabesignal übertragen. In einer beispielhaften Ausführungsform kann der erste Ausgabeanschluss 100a beispielsweise ein Pulsausgabeanschluss sein, und das erste Ausgabesignal kann beispielsweise ein Pulsausgabesignal sein, jedoch sind der erste Ausgabeanschluss 100a und das erste Ausgabesignal nicht darauf beschränkt. Der zweite Ausgabeanschluss 100b kann beispielsweise ein DC-Ausgabeanschluss sein, und das zweite Ausgabesignal kann beispielsweise ein DC-Ausgabesignal sein, jedoch sind der zweite Ausgabeanschluss 100b und das zweite Ausgabesignal nicht darauf beschränkt. Das erste und das zweite Ausgabesignal können in den ersten und den zweiten Ausgabeanschluss 100a und 100b eingegeben werden.
-
Der erste und der zweite Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a und 90b können jeweils zwischen dem ersten und dem zweiten Ausgabeanschluss 100a und 100b und dem zweiten Verbindungsknoten 80 positioniert sein. Zum Beispiel kann der erste Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a zwischen dem ersten Ausgabeanschluss 100a und dem zweiten Verbindungsknoten 80 positioniert sein, und der zweite Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90b kann zwischen dem zweiten Ausgabeanschluss 100b und dem zweiten Verbindungsknoten 80 positioniert sein. Die Entfernung zwischen dem ersten und zweiten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a und 90b und dem ersten bis dritten Ausgabeprüfpin 60a, 60b und 60c kann jeweils beispielsweise ungefähr 0,1 bis 50 cm betragen, aber die Entfernung ist nicht darauf beschränkt. Der erste und zweite Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a und 90b können einen Steuerteil 5 umfassen, der ein Betriebssignal empfängt, und einen Verbindungsteil 6 umfassen, der den ersten und zweiten Ausgabeanschluss 100a und 100b und den zweiten Verbindungsknoten 80 elektrisch verbindet.
-
Der erste bis dritte Ausgabeprüfpin 60a, 60b und 60c können zwei Enden umfassen, wobei ein Ende jeweils mit dem ersten bis dritten Ausgabeprüf-MEMS-Schalter 70a, 70b und 70c elektrisch verbunden ist und das andere Ende jeweils mit dem ersten bis dritten Ausgabepad 520a, 520b und 520c des Wafers 500 elektrisch verbunden ist.
-
Der erste bis dritte Ausgabeprüf-MEMS-Schalter 70a, 70b und 70c können jeweils zwischen dem ersten bis dritten Ausgabeprüfpin 60a, 60b und 60c und dem zweiten Verbindungsknoten 80 positioniert sein. Die Entfernung zwischen dem ersten bis dritten Ausgabeprüf-MEMS-Schalter 70a, 70b und 70c und dem ersten bis dritten Ausgabeprüfpin 60a, 60b und 60c kann jeweils beispielsweise ungefähr 0,1 bis 50 cm betragen, aber die Entfernung ist nicht darauf beschränkt. Der erste bis dritte Ausgabeprüf-MEMS-Schalter 70a, 70b und 70c können einen Steuerteil 5 umfassen, der ein Betriebssignal empfängt, und einen Verbindungsteil 6 umfassen, der das erste bis dritte Ausgabepad 520a, 520b und 520c und den zweiten Verbindungsknoten 80 elektrisch verbindet.
-
Die erste und die zweite Übertragungsleitung 110a und 110b können mit dem Steuerteil 5 des ersten und es zweiten Eingabeanschluss-MEMS-Schalters 20a und 20b bzw. dem Steuerteil 5 des ersten und des zweiten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalters 90a und 90b elektrisch verbunden sein. Zum Beispiel kann die erste Übertragungsleitung 110a mit dem ersten Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a und dem ersten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a elektrisch verbunden sein, und die zweite Übertragungsleitung 110b kann mit dem zweiten Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20b und dem zweiten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90b elektrisch verbunden sein.
-
Die Prüfübertragungsleitungen A bis C 115a, 115b und 115c können jeweils mit dem Steuerteil 5 des ersten bis dritten Eingabeprüf-MEMS-Schalters 40a, 40b und 40c elektrisch verbunden sein und mit dem Steuerteil 5 des ersten bis dritten Ausgabeprüf-MEMS-Schalters 70a, 70b und 70c elektrisch verbunden sein. Zum Beispiel kann die Prüfübertragungsleitung A 115a mit dem Steuerteil 5 des ersten Eingabeprüf-MEMS-Schalters 40a und dem Steuerteil 5 des ersten Ausgabeprüf-MEMS-Schalters 70a elektrisch verbunden sein, die Prüfübertragungsleitung B 115b kann dem Steuerteil 5 des zweiten Eingabeprüf-MEMS-Schalters 40b und dem Steuerteil 5 des zweiten Ausgabeprüf-MEMS-Schalters 70b elektrisch verbunden sein und die Prüfübertragungsleitung C 115c kann dem Steuerteil 5 des dritten Eingabeprüf-MEMS-Schalters 40c und dem Steuerteil 5 des dritten Ausgabeprüf-MEMS-Schalters 70c elektrisch verbunden sein.
-
Gemäß der in 3 dargestellten beispielhaften Ausführungsform kann die Testvorrichtung 2C die Prüfkarte 10 umfassen und kann weiter eine erste und eine zweite Eingabesignalanlegeeinheit 210a und 210b, eine erste und eine zweite Ausgabesignalempfängereinheit 220a und 220b, eine erste und eine zweite Versorgungsquelle 230a und 230b, Versorgungsquellen A bis C 235a, 235b und 235c sowie eine erste und eine zweite Versorgungsquellensteuereinheit 240a und 240b umfassen.
-
Die erste und die zweite Eingabesignalanlegeeinheit 210a und 210b können Eingabesignale an den ersten und den zweiten Eingabeanschluss 10a und 10b anlegen. Die erste Eingabesignalanlegeeinheit 210a kann beispielsweise ein Pulsgenerator sein, und die zweite Eingabesignalanlegeeinheit 210b kann beispielsweise eine SMU sein, jedoch sind die erste Eingabesignalanlegeeinheit 210a und die zweite Eingabesignalanlegeeinheit 210b nicht darauf beschränkt. In der in 3 dargestellten beispielhaften Ausführungsform kann der Pulsgenerator 210a ein. Pulseingabesignal an den Pulseingabeanschluss 10a anlegen und die SMU 210b kann ein DC-Eingabesignal an den DC-Eingabeanschluss 10b anlegen.
-
Die erste und die zweite Ausgabesignalempfängereinheit 220a und 220b können Ausgabesignale vom ersten und zweiten Ausgabeanschluss 100a und 100b empfangen. Zum Beispiel kann die erste Ausgabesignalempfängereinheit 220a beispielsweise ein Oszilloskop sein, und die zweite Ausgabesignalempfängereinheit 220b kann beispielsweise eine Masseverbindung sein, jedoch sind die erste Ausgabesignalempfängereinheit 220a und die zweite Ausgabesignalempfängereinheit 220b nicht darauf beschränkt. In der in 3 dargestellten beispielhaften Ausführungsform kann das Oszilloskop 220a ein Pulsausgabesignal vom Ausgabeanschluss 100a empfangen, und die Masseverbindung 220b kann ein DC-Ausgabesignal vom DC-Ausgabeanschluss 100b empfangen.
-
Die erste und die zweite Versorgungsquelle 230a und 230b können mit der ersten und er zweiten Übertragungsleitung 110a und 110b elektrisch verbunden sein und können ein Betriebssignal jeweils an den Steuerteil 5 des ersten und des zweiten Eingabeanschluss-MEMS-Schalters 20a und 20b anlegen und an den Steuerteil 5 des ersten und des zweiten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalters 90a und 90b anlegen. Zum Beispiel kann die erste Versorgungsquelle 230a das Betriebssignal über die erste Übertragungsleitung 110a an den Steuerteil 5 des ersten Eingabeanschluss-MEMS-Schalters 20a und an den Steuerteil 5 des ersten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalters 90a anlegen. Gleichermaßen kann die zweite Versorgungsquelle 230b das Betriebssignal über die zweite Übertragungsleitung 110b an den Steuerteil 5 des zweiten Eingabeanschluss-MEMS-Schalters 20b und an den Steuerteil 5 des zweiten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalters 90b anlegen.
-
Die Versorgungsquellen A bis C 235a, 235b und 235c können mit den Prüfübertragungsleitungen A bis C 115a, 115b und 115c elektrisch verbunden sein und können ein Betriebssignal jeweils an den Steuerteil 5 der ersten bis dritten Eingabeprüf-MEMS-Schalter 40a, 40b und 40c und an den Steuerteil 5 der ersten bis dritten Ausgabeprüf-MEMS-Schalter 70a, 70b und 70c anlegen. Zum Beispiel kann die Versorgungsquelle A 235a das Betriebssignal über die Prüfübertragungsleitung A 115a an den Steuerteil 5 des ersten Eingabeprüf-MEMS-Schalters 40a und an den Steuerteil 5 des ersten Ausgabeprüf-MEMS-Schalters 70a anlegen, die Versorgungsquelle B 235b kann das Betriebssignal über die Prüfübertragungsleitung B 115b an den Steuerteil 5 des zweiten Eingabeprüf-MEMS-Schalters 40b und an den Steuerteil 5 des zweiten Ausgabeprüf-MEMS-Schalters 70b anlegen, und die Versorgungsquelle C 235c kann das Betriebssignal über die Prüfübertragungsleitung C 115c an den Steuerteil 5 des dritten Eingabeprüf-MEMS-Schalters 40c und an den Steuerteil 5 des dritten Ausgabeprüf-MEMS-Schalters 70c anlegen.
-
Die erste Versorgungsquellensteuereinheit 240a kann mit der ersten und der zweiten Versorgungsquelle 230a und 230b elektrisch verbunden sein und kann die erste und die zweite Versorgungsquelle 230a und 230b so ansteuern, dass sie abwechselnd betrieben werden. Zum Beispiel kann die erste Versorgungsquellensteuereinheit 240a veranlassen, dass der erste Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a und der erste Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a von der ersten Versorgungsquelle 230a gleichzeitig angeschaltet werden, und der zweite Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20b und der zweite Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90b von der zweiten Versorgungsquelle 230b gleichzeitig ausgeschaltet werden. Gleichermaßen kann die erste Versorgungsquellensteuereinheit 240a veranlassen, dass der zweite Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20b und der zweite Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90b von der zweiten Versorgungsquelle 230b gleichzeitig angeschaltet werden, und der erste Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a und der erste Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a von der ersten Versorgungsquelle 230a gleichzeitig ausgeschaltet werden.
-
Die zweite Versorgungsquellensteuereinheit 240b kann mit den Versorgungsquellen A bis C 235a, 235b und 235c elektrisch verbunden sein. Die zweite Versorgungsquellensteuereinheit 240b kann die Versorgungsquellen A bis C 235a, 235b und 235c so ansteuern, dass sie abwechselnd betrieben werden. Wenn zum Beispiel der erste Eingabeprüf-MEMS-Schalter 40a und der erste Ausgabeprüf-MEMS-Schalter 70a gleichzeitig angeschaltet werden, können der zweite und der dritte Eingabeprüf-MEMS-Schalter 40b und 40c und der zweite und der dritte Ausgabeprüf-MEMS-Schalter 70a und 70b gleichzeitig ausgeschaltet werden. Gleichermaßen, wenn der zweite Eingabeprüf-MEMS-Schalter 40b und der zweite Ausgabeprüf-MEMS-Schalter 70b gleichzeitig angeschaltet werden, können der erste und der dritte Eingabeprüf-MEMS-Schalter 40a und 40c und der erste und der dritte Ausgabeprüf-MEMS-Schalter 70a und 70c gleichzeitig ausgeschaltet werden. Gleichermaßen, wenn der dritte Eingabeprüf-MEMS-Schalter 40c und der dritte Ausgabeprüf-MEMS-Schalter 70c gleichzeitig angeschaltet werden, können der erste und der zweite Eingabeprüf-MEMS-Schalter 40a und 40b und der erste und der zweite Ausgabeprüf-MEMS-Schalter 70a und 70b gleichzeitig ausgeschaltet werden.
-
Obwohl es in 3 nicht dargestellt ist, kann ein erster Versorgungsquellenschalter, wie in 2 dargestellt (250), in der Prüfkarte 10 oder der Testvorrichtung 2C gelegen sein. Der erste Versorgungsquellenschalter ermöglicht, dass das Betriebssignal über eine Versorgungsquelle, statt über zwei Versorgungsquellen, abwechselnd an die erste und die zweite Übertragungsleitung 110a und 110b angelegt wird, z. B. die in 3 gezeigte erste und zweite Versorgungsquelle 230a und 230b. Der erste Versorgungsquellenschalter kann einen ersten. Demultiplexer umfassen (z. B. 1 bis log2N Demultiplexer). Gleichermaßen kann ein zweiter Versorgungsquellenschalter (nicht gezeigt) in der Prüfkarte 1C oder der Testvorrichtung 2C gelegen sein, was ermöglicht, dass das Betriebssignal über eine Versorgungsquelle, statt über drei Versorgungsquellen, abwechselnd an die Prüfübertragungsleitungen A bis C 115a, 115b und 115c angelegt wird, z. B. die in 3 gezeigten Versorgungsquellen A bis C 235a, 235b und 235c, da der zweite Versorgungsquellenschalter einen zweiten Demultiplexer (z. B. 1 bis log2M Demultiplexer) umfassen kann.
-
4 ist eine Darstellung einer Prüfkarte 1D und einer Testvorrichtung 2D mit der Prüfkarte 1D gemäß einer weiteren beispielhaften Ausführungsform des erfinderischen Konzepts. Die Prüfkarte 1D und die Testvorrichtung 2D gemäß der vorliegenden beispielhaften Ausführungsform können eine überarbeitete Ausführungsform der Prüfkarte 1C und der Testvorrichtung 2C gemäß der in 3 dargestellten beispielhaften Ausführungsform sein. Deshalb werden nachfolgend Bleichlautende Beschreibungen hierzu ausgelassen.
-
Mit Bezug zu 4 kann ein Wafer 500 beispielsweise erste bis dritte Eingabepads 510a, 510b und 510c und ein gemeinsames Ausgaberad 520 umfassen, jedoch ist die Anzahl an Eingabepads und Ausgaberads nicht darauf beschränkt. Eine Prüfkarte 1D kann erste bis dritte Eingabeprüfeinheiten 50a, 50b und 50c und eine Ausgabeprüfeinheit 60 umfassen, jedoch ist die Anzahl an Eingabeprüfeinheiten und Ausgabeprüfeinheiten nicht darauf beschränkt. Der Ausgabeprüfpin 60 kann zwei Enden umfassen, wobei jedes davon mit einem ersten und einem zweiten Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a und 90b elektrisch verbunden ist bzw. mit dem gemeinsamen Ausgaberad 520 des Wafers 500 elektrisch verbunden ist.
-
Prüfübertragungsleitungen A bis C 115a, 115b und 115c können mit dem Steuerteil 5 der ersten bis dritten Eingabeprüf-MEMS-Schalter 40a, 40b und 40c elektrisch verbunden sein. Zum Beispiel kann die A Prüfübertragungsleitung 115a mit dem Steuerteil 5 des ersten Eingabeprüf-MEMS-Schalters 40a elektrisch verbunden sein, die B Prüfübertragungsleitung 115b kann mit dem Steuerteil 5 des zweiten Eingabeprüf-MEMS-Schalters 40b elektrisch verbunden sein und die C Prüfübertragungsleitung 115c kann mit dem Steuerteil 5 des dritten Eingabeprüf-MEMS-Schalters 40c elektrisch verbunden sein.
-
Versorgungsquellen A bis C 235a, 235b und 235c können mit Prüfübertragungsleitungen A bis C 115a, 115b und 115c elektrisch verbunden sein, und können ein Betriebssignal an den zugehörigen Steuerteil 5 der ersten bis dritten Eingabeprüf-MEMS-Schalter 40a, 40b und 40c anlegen. Zum Beispiel kann die A Versorgungsquelle 235a über die A Prüfübertragungsleitung 115a das Betriebssignal an den Steuerteil 5 des ersten Eingabeprüf-MEMS-Schalters 40a anlegen, die B Versorgungsquelle 235b kann über die B Prüfübertragungsleitung 115b das Betriebssignal an den Steuerteil 5 des zweiten Eingabeprüf-MEMS-Schalters 40b anlegen und die C Versorgungsquelle 235c kann über die C Prüfübertragungsleitung 115c das Betriebssignal an den Steuerteil 5 des dritten Eingabeprüf-MEMS-Schalters 40c anlegen.
-
Eine zweite Versorgungsquellensteuereinheit 240b kann mit Versorgungsquellen A bis C 235a, 235b und 235c elektrisch verbunden sein. Die zweite Versorgungsquellensteuereinheit 240b kann die Versorgungsquellen A bis C 235a, 235b und 235c so ansteuern, dass sie abwechselnd betrieben werden. Zum Beispiel können, wenn der erste Eingabeprüf-MEMS-Schalter 40a angeschaltet wird, der zweite und der dritte Eingabeprüf-MEMS-Schalter 40b und 40c ausgeschaltet werden. Gleichermaßen können, wenn der zweite Eingabeprüf-MEMS-Schalter 40b angeschaltet wird, der erste und der dritte Eingabeprüf-MEMS-Schalter 40a und 40c ausgeschaltet werden. Ebenso können, wenn der dritte Eingabeprüf-MEMS-Schalter 40c angeschaltet wird, der erste und der zweite Eingabeprüf-MEMS-Schalter 40a und 40b ausgeschaltet werden.
-
5 ist ein Flussbild, das ein Verfahren 600 zum Prüfen eines Widerstands-Halbleiterbauelements unter Verwendung der Testvorrichtung 2A mit der Prüfkarte 1A gemäß einer beispielhaften Ausführungsform des erfinderischen Konzepts darstellt.
-
Mit Bezug zu den 1 und 5 steuert die erste Versorgungsquellensteuereinheit 240a der Testvorrichtung 2A die erste Versorgungsquelle 230a an und veranlasst sie, ein Betriebssignal zu erzeugen (S610). Das Betriebssignal wird an die erste Übertragungsleitung 110a angelegt, was bewirkt, dass der erste Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a und der erste Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a gleichzeitig angeschaltet werden. Weil von der ersten Versorgungsquellensteuereinheit 240a kein Betriebssignal der zweiten Versorgungsquelle 230b erzeugt wird, bleiben der zweite Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20b und der zweite Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90b ausgeschaltet. Der Pulsgenerator 210a erzeugt ein Pulseingabesignal (S620). Der Eingabeprüfpin 50 überträgt das Pulseingabesignal zum Eingabepad 510 des Wafers 500 (S630). Das Pulseingabesignal wird von einem Halbleiterbauelement (nicht gezeigt) im Wafer 500 in ein Pulsausgabesignal umgewandelt und wird zum Ausgabepad 520 des Wafers 500 übertragen. Der Ausgabeprüfpin 60, der mit dem Ausgabepad 520 elektrisch verbunden ist, überträgt das Pulsausgabesignal zum Oszilloskop 220a (S640). Das Oszilloskop 220a misst einen Strom ausgehend vom Pulseingabesignal und vom Pulsausgabesignal (S650).
-
Die erste Versorgungsquellensteuereinheit 240a steuert die zweite Versorgungsquelle 230b an und veranlasst sie, ein Betriebssignal zu erzeugen (S660). Das Betriebssignal wird an die zweite Übertragungsleitung 110b angelegt, was bewirkt, dass der zweite Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20b und der zweite Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90b gleichzeitig angeschaltet werden. Weil von der ersten Versorgungsquellensteuereinheit 240a kein Betriebssignal der ersten Versorgungsquelle 230a erzeugt wird, bleiben der erste Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a und der erste Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a ausgeschaltet. Die SMU 210b erzeugt ein DC-Eingabesignal (S670). Der Eingabeprüfpin 50 überträgt das DC-Eingabesignal zum Eingabepad 510 des Wafers 500 (S680). Das DC-Eingabesignal wird vom Halbleiterbauelement (nicht gezeigt) im Wafer 500 in ein DC-Ausgabesignal umgewandelt und wird zum Ausgabepad 520 übertragen. Der Ausgabeprüfpin 60, der mit dem Ausgabepad 520 elektrisch verbunden ist, überträgt das DC-Ausgabesignal zur Masseverbindung 220b (S690). Die SMU 210b misst den Widerstand des Halbleiterbauelements ausgehend vom DC-Eingabesignal und vom DC-Ausgabesignal (S700).
-
6 ist ein Flussbild, das ein Verfahren 700 zum Prüfen eines Halbleiterbauelements unter Verwendung einer Testvorrichtung mit einer Prüfkarte gemäß einer weiteren beispielhaften Ausführungsform des erfinderischen Konzepts darstellt. Die vorliegende Ausführungsform beschreibt das Verfahren 600 von 5 ausführlicher.
-
Das mit Bezug zu 5 beschriebene Verfahren 600 betrifft ein Verfahren zum Prüfen eines Halbleiterbauelements durch Anlegen eines Pulssignals und eines DC-Signals an das Bauelement und Messen der resultierenden Strom- und Widerstandscharakteristiken des Bauelements. Das mit Bezug zu 6 beschriebene Verfahren 700 betrifft ein detailliertes Verfahren zum Prüfen eines Halbleiterbauelements durch Messen eines Setz-Stroms und eines Setz-Widerstands nach einem Setz-Prozess des Bauelements und eines Rücksetz-Stroms und eines Rücksetz-Widerstands nach einem Rücksetz-Prozess des Bauelements.
-
Mit Bezug zu den 1, 5 und 6 wird ein Halbleiterbauelement durch Messen von Strom- und Widerstandscharakteristiken des Halbleiterbauelements in Bezug auf ein Hochfrequenzsignal geprüft. Das Verfahren 600 kann eine Messung von Strom- und Widerstandscharakteristiken des Halbleiterbauelements nach dem Setz-Prozess, und eine Messung von Strom- und Widerstandscharakteristiken des Halbleiterbauelements nach dem Rücksetz-Prozess umfassen.
-
Das Prüfverfahren kann an einer Reihe von Messwerten zur Beprobung durchgeführt werden. Der erste Messwert (z. B. K = 1) beginnt bei S610a. Um den Strom nach dem Setz-Prozess zu messen, erzeugt die erste Versorgungsquelle 230a ein Betriebssignal (S620a). Wenn das Betriebssignal an die erste Übertragungsleitung 110a angelegt wird, erzeugt der Pulsgenerator 210a ein erstes Setz-Pulseingabesignal (S630a). Wie oben beschrieben wird das erste Setz-Pulseingabesignal über den Eingabeprüfpin 50 und das Eingabepad 510 des Wafers 500 zu einem Halbleiterbauelement (nicht gezeigt) übertragen (S630a), wo es in ein erstes Setz-Pulsausgabesignal umgewandelt und über das Ausgabepad 520 und den Ausgabeprüfpin 60 zum Oszilloskop 220a übertragen wird. Das Oszilloskop 220a misst einen ersten Setz-Strom ausgehend vom ersten Setz-Pulseingabesignal und dem ersten Setz-Pulsausgabesignal (S650a).
-
Um den Widerstand nach dem Setz-Prozess zu messen, erzeugt die zweite Versorgungsquelle 230b ein Betriebssignal (S660a). Wenn das Betriebssignal an die zweite Übertragungsleitung 110b angelegt wird, erzeugt die SMU 210b ein erstes Setz-DC-Eingabesignal (z. B. eine Lesespannung) (S670a). Wie oben beschrieben wird das erste Setz-DC-Eingabesignal über den Eingabeprüfpin 50 und das Eingabepad 510 des Wafers zum Halbleiterbauelement (nicht gezeigt) übertragen (S680a), wo es in ein erstes Setz-DC-Ausgabesignal umgewandelt und über das Ausgabepad 520 und den Ausgabeprüfpin 60 zur Masseverbindung 220b übertragen wird. Die SMU 210b misst einen ersten Setz-Widerstand ausgehend von dem ersten Setz-DC-Eingabesignal und dem ersten Setz-DC-Ausgabesignal (S700a).
-
Um den Strom nach dem Rücksetz-Prozess zu messen, erzeugt die erste Versorgungsquelle 230a ein Betriebssignal (S610b). Wenn das Betriebssignal an die erste Übertragungsleitung 110a angelegt wird, erzeugt der Pulsgenerator 210a ein erstes Rücksetz-Pulseingabesignal (S620b). Wie oben beschrieben wird das erste Rücksetz-Pulseingabesignal über den Eingabeprüfpin 50 und das Eingabepad 510 des Wafers zum Halbleiterbauelement (nicht gezeigt) übertragen (S630b), wo es in ein erstes Rücksetz-Pulsausgabesignal umgewandelt und über das Ausgabepad 520 und den Ausgabeprüfpin 60 zum Oszilloskop 220a übertragen wird. Das Oszilloskop 220a misst einen ersten Rücksetz-Strom ausgehend vom ersten Rücksetz-Pulseingabesignal und dem ersten Rücksetz-Pulsausgabesignal (S650b).
-
Um den Widerstand nach dem Rücksetz-Programm zu messen, erzeugt die zweite Versorgungsquelle 230b ein Betriebssignal (S660b). Wenn das Betriebssignal an die zweite Übertragungsleitung 110b angelegt wird, erzeugt die SMU 210b ein erstes Rücksetz-DC-Eingabesignal (z. B. eine Lesespannung) (S670b). Wie oben beschrieben wird das erste Rücksetz-DC-Eingabesignal über den Eingabeprüfpin 50 und das Eingabepad 510 des Wafers zum Halbleiterbauelement (nicht gezeigt) übertragen (S680b), wo es in ein erstes Rücksetz-DC-Ausgabesignal umgewandelt und über das Ausgabepad 520 und den Ausgabeprüfpin 60 zur Masseverbindung 220b übertragen wird. Die SMU 210b misst einen ersten Rücksetz-Widerstand ausgehend von dem ersten Rücksetz-DC-Eingabesignal und dem ersten Rücksetz-DC-Ausgabesignal (S700b).
-
Wie oben beschrieben können der erste Setz-Strom, der erste Setz-Widerstand, der erste Rücksetz-Strom und der erste Rücksetz-Widerstand unter Verwendung der in 6 dargestellten beispielhaften Ausführungsform gemessen werden. Die oben mit Bezug zu 6 beschriebenen Schritte können wiederholt werden, um einen zweiten bis K-ten Setz-Strom, Setz-Widerstand, Rücksetz-Strom und Rücksetz-Widerstand zu messen.
-
7 ist ein Flussbild, das ein Verfahren 800 zum Prüfen eines Halbleiterbauelements unter Verwendung der Testvorrichtung 2C mit der in 3 gezeigten Prüfkarte 1C gemäß einer weiteren beispielhaften Ausführungsform des erfinderischen Konzepts darstellt.
-
Mit Bezug zu den 3 und 7 steuert die zweite Versorgungsquellensteuereinheit 240b die Versorgungsquelle A 235a an und veranlasst sie, ein Betriebssignal zu erzeugen (S810). Das Betriebssignal wird an die A Prüfübertragungsleitung 115a angelegt, was bewirkt, dass der erste Eingabeprüf-MEMS-Schalter 40a und der erste Ausgabeprüf-MEMS-Schalter 70a gleichzeitig angeschaltet werden. Der erste Verbindungsknoten 30 und der erste Eingabeprüfpin 50a und der zweite Verbindungsknoten 80 und der erste Ausgabeprüfpin 60a sind jeweils elektrisch verbunden.
-
Die Strom- und Widerstandscharakteristiken eines zwischen dem ersten Eingabepad 510a und dem ersten Ausgabepad 520a eingeschleiften Halbleiterbauelements (nicht gezeigt) werden gemessen (S820). Zum Beispiel legt die erste Versorgungsquelle 230a ein Betriebssignal an die erste Übertragungsleitung 110a an und der erste bis K-te Setz-Strom und Rücksetz-Strom des Halbleiterbauelements (nicht gezeigt) zwischen dem ersten Eingabepad 510a und dem ersten Ausgabepad 520a kann unter Verwendung des Pulsgenerators 210a und des Oszilloskops 220a gemessen werden. Die zweite Versorgungsquelle 230b legt ein Betriebssignal an die zweite Übertragungsleitung 110b an und der Setz-Widerstand und der Rücksetz-Widerstand des Halbleiterbauelements (nicht gezeigt) zwischen dem ersten Eingabepad 510a und dem ersten Ausgabepad 520a kann unter Verwendung der SMU 210b gemessen werden.
-
Die zweite Versorgungsquellensteuereinheit 240b steuert die B Versorgungsquelle 235b an und veranlasst sie, ein Betriebssignal zu erzeugen (S830). Das Betriebssignal wird an die B Prüfübertragungsleitung 115b angelegt, was bewirkt, dass der zweite Eingabeprüf-MEMS-Schalter 40b und der zweite Ausgabeprüf-MEMS-Schalter 70b gleichzeitig angeschaltet werden. Der erste Verbindungsknoten 30 und der zweite Eingabeprüfpin 50b und der zweite Verbindungsknoten 80 und der zweite Ausgabeprüfpin 60b sind jeweils elektrisch verbunden.
-
Die Strom- und Widerstandscharakteristiken eines zwischen dem zweiten Eingabepad 510b und dem zweiten Ausgabepad 520b eingeschleiften Halbleiterbauelements (nicht gezeigt) werden gemessen (S840). Zum Beispiel legt die erste Versorgungsquelle 230a ein Betriebssignal an die erste Übertragungsleitung 110a an und der erste bis K-te Setz-Strom und Rücksetz-Strom des Halbleiterbauelements (nicht gezeigt) zwischen dem zweiten Eingabepad 510b und dem zweiten Ausgabepad 520b kann unter Verwendung des Pulsgenerators 210a und des Oszilloskops 220a gemessen werden. Die zweite Versorgungsquelle 230b legt ein Betriebssignal an die zweite Übertragungsleitung 110b an und der Setz-Widerstand und der Rücksetz-Widerstand des Halbleiterbauelements (nicht gezeigt) zwischen dem zweiten Eingabepad 510b und dem zweiten Ausgabepad 520b kann unter Verwendung der SMU 210b gemessen werden.
-
Die zweite Versorgungsquellensteuereinheit 240b steuert die C Versorgungsquelle 235c an und veranlasst sie, ein Betriebssignal zu erzeugen (S850). Das Betriebssignal wird an die C Prüfübertragungsleitung 115c angelegt, was bewirkt, dass der dritte Eingabeprüf-MEMS-Schalter 40c und der dritte Ausgabeprüf-MEMS-Schalter 70c gleichzeitig angeschaltet werden. Der erste Verbindungsknoten 30 und der dritte Eingabeprüfpin 50c und der zweite Verbindungsknoten 80 und der dritte Ausgabeprüfpin 60c sind jeweils elektrisch verbunden.
-
Die Strom- und Widerstandscharakteristiken eines zwischen dem dritten Eingabepad 510c und dem dritten Ausgabepad 520c eingeschleiften Halbleiterbauelements (nicht gezeigt) werden gemessen (S860). Zum Beispiel legt die erste Versorgungsquelle 230a ein Betriebssignal an die erste Übertragungsleitung 110a an und der erste bis K-te Setz-Strom und Rücksetz-Strom des Halbleiterbauelements (nicht gezeigt) zwischen dem dritten Eingabepad 510c und dem dritten Ausgabepad 520c kann unter Verwendung des Pulsgenerators 210a und des Oszilloskops 220a gemessen werden. Die zweite Versorgungsquelle 230b legt ein Betriebssignal an die zweite Übertragungsleitung 110b an und der Setz-Widerstand und der Rücksetz-Widerstand des Halbleiterbauelements (nicht gezeigt) zwischen dem dritten Eingabepad 510c und dem dritten Ausgabepad 520c kann unter Verwendung der SMU 210b gemessen werden.
-
8 ist ein Flussbild, das ein Verfahren 900 zum Prüfen eines Halbleiterbauelements unter Verwendung der Testvorrichtung 2C mit der in 3 gezeigten Prüfkarte 1C gemäß einer weiteren beispielhaften Ausführungsform des erfinderischen Konzepts darstellt.
-
Mit Bezug zu den 3 und 8 steuert die erste Versorgungsquellensteuereinheit 240b die Versorgungsquelle 230a an und veranlasst sie, ein Betriebssignal zu erzeugen (S910). Das Betriebssignal wird an die erste Übertragungsleitung 110a angelegt, was bewirkt, dass der erste Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20a und der erste Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90a gleichzeitig angeschaltet werden. Der erste Verbindungsknoten 30 und der erste Eingabeanschluss 10a und der zweite Verbindungsknoten 80 und der erste Ausgabeanschluss 100a sind jeweils elektrisch verbunden.
-
Die Strom- und Widerstandscharakteristiken von zwischen dem ersten bis dritten Eingabepad 510a, 510b und 510c und dem ersten bis dritten Ausgabepad 520a, 520b und 520c eingeschleiften Halbleiterbauelementen (nicht gezeigt) werden gemessen (S920). Zum Beispiel legt die A Versorgungsquelle 235a ein Betriebssignal an die A Prüfübertragungsleitung 115a an, und der erste bis K-te Setz-Strom und Rücksetz-Strom des Halbleiterbauelements (nicht gezeigt) zwischen dem ersten Eingabepad 510a und dem ersten Ausgabepad 520a kann unter Verwendung des Pulsgenerators 210a und des Oszilloskops 220a gemessen werden. Die B Versorgungsquelle 235b legt ein Betriebssignal an die B Prüfübertragungsleitung 115b an, und der erste bis K-te Setz-Strom und Rücksetz-Strom des Halbleiterbauelements (nicht gezeigt) zwischen dem zweiten Eingabepad 510b und dem zweiten Ausgabepad 520b kann unter Verwendung des Pulsgenerators 210a und des Oszilloskops 220a gemessen werden. Gleichermaßen legt die C Versorgungsquelle 235c ein Betriebssignal an die C Prüfübertragungsleitung 115c an, und der erste bis K-te Setz-Strom und Rücksetz-Strom des Halbleiterbauelements (nicht gezeigt) zwischen dem dritten Eingabepad 510c und dem dritten Ausgabepad 520c kann unter Verwendung des Pulsgenerators 210a und des Oszilloskops 220a gemessen werden.
-
Die erste Versorgungsquellensteuereinheit 240a steuert die zweite Versorgungsquelle 230b an und veranlasst sie, ein Betriebssignal zu erzeugen (S930). Das Betriebssignal wird an die zweite Übertragungsleitung 110b angelegt, was bewirkt, dass der zweite Eingabeanschluss-MEMS-Schalter 20b und der zweite Ausgabeanschluss-MEMS-Schalter 90b gleichzeitig angeschaltet werden. Der erste Verbindungsknoten 30 und der DC-Eingabeanschluss 10b und der zweite Verbindungsknoten 80 und der DC-Ausgabeanschluss 100b sind jeweils elektrisch verbunden.
-
Zum Beispiel legt die A Versorgungsquelle 235a ein Betriebssignal an die A Prüfübertragungsleitung 115a an und der erste bis K-te Setz-Widerstand und Rücksetz-Widerstand des Halbleiterbauelements (nicht gezeigt) zwischen dem ersten Eingabepad 510a und dem ersten Ausgabepad 520a kann unter Verwendung der SMU 210b gemessen werden. Die B Versorgungsquelle 235b legt ein Betriebssignal an die B Prüfübertragungsleitung 115b an und der erste bis K-te Setz-Widerstand und Rücksetz-Widerstand des Halbleiterbauelements (nicht gezeigt) zwischen dem zweiten Eingabepad 510b und dem zweiten Ausgabepad 520b kann unter Verwendung der SMU 210b gemessen werden. Gleichermaßen legt die C Versorgungsquelle 235c ein Betriebssignal an die C Prüfübertragungsleitung 115c an und der erste bis K-te Setz-Widerstand und Rücksetz-Widerstand des Halbleiterbauelements (nicht gezeigt) zwischen dem dritten Eingabepad 510c und dem dritten Ausgabepad 520c kann unter Verwendung der SMU 210b gemessen werden.
-
Es kann ein separater Prüfpin mit jedem der zu prüfenden Halbleiterbauelemente verbunden sein, was ermöglicht, dass eine Mehrzahl von Halbleiterbauelementen über die jeweils mit jedem der Prüfpins verbundenen Prüf-MEMS-Schalter sequentiell geprüft werden. In der Folge können der Setz-Widerstand, der Rücksetz-Widerstand, der Setz-Strom und der Rücksetz-Strom jedes einer Mehrzahl von Halbleiterbauelementen ohne Wechsel der Prüfkarte getestet werden.
-
9A ist ein Schaubild, in dem eine Strom-Widerstandskurve eines unter Verwendung einer herkömmlichen Testvorrichtung gemessenen Halbleiterbauelements dargestellt ist. 9B ist ein Schaubild, in dem eine Strom-Widerstandskurve eines unter Verwendung einer Testvorrichtung mit einer Prüfkarte gemäß einer oder mehrerer der beispielhaften Ausführungsformen des erfinderischen Konzepts gemessenen Halbleiterbauelements dargestellt ist.
-
Mit Bezug zu den 9A und 9B werden ein erster bis K-ter Setz-Widerstand in Abhängigkeit von einer Veränderung eines Setz-Stroms, und ein erster bis K-ter Setz-Widerstand in Abhängigkeit von einer Veränderung eines Rücksetz-Stroms gemessen. Mit Bezug zu 9A wird ein mechanischer Schalter in einer herkömmlichen Testvorrichtung verwendet. In der herkömmlichen Testvorrichtung beträgt eine Entfernung zwischen einem Pad und einem Prüfpin ungefähr 1 m, was erfordert, dass eine Spannung gleich oder größer als ungefähr 1,5 V erzeugt wird, wenn ein Schaltvorgang durchgeführt wird. Diese Spannung kann eine Schädigung des Halbleiterbauelements verursachen, was die Zuverlässigkeit der Messung beeinträchtigt. Mit Bezug zu 9B ist in einer Testvorrichtung gemäß einer oder mehrerer der beispielhaften Ausführungsformen des erfinderischen Konzepts der mechanische Schalter gegen einen MEMS-Schalter ausgetauscht, und eine Entfernung zwischen einem Pad und einem Prüfpin beträgt nicht mehr als ungefähr 50 cm. In der Folge wird eine Spannung von nicht mehr als ungefähr 0,5 V erzeugt, wenn ein Schaltvorgang durchgeführt wird, und eine Schädigung des Halbleiterbauelements wird verhindert, was die Zuverlässigkeit der Messung verbessert.
-
Die 10A und 10B sind Darstellungen von MEMS-Schaltern in einer Prüfkarte gemäß einer weiteren beispielhaften Ausführungsform des erfinderischen Konzepts. In 10A umfasst der MEMS-Schalter ein piezoelektrisches Element 7. In 10B umfasst der MEMS-Schalter eine Spule 4.
-
Mit Bezug zu den 10A und 10B kann jeder der MEMS-Schalter einen Steuerteil 5 zum Empfangen eines Betriebssignals umfassen, und einen Verbindungsteil 6 umfassen, der einen ersten Anschluss 8 und einen zweiten Anschluss 9 elektrisch verbindet.
-
In 10A, wenn das Betriebssignal an den Steuerteil 5 des MEMS-Schalters angelegt wird, bewirkt eine Veränderung in den physikalischen Eigenschaften des piezoelektrischen Elements 7, dass das piezoelektrische Element 7 nach unten abgelenkt wird. In der Folge wird der erste Anschluss 8 nach unten abgelenkt und wird mit dem Verbindungsteil 6 elektrisch verbunden, wie es in 10A dargestellt ist.
-
In 10B, wenn das Betriebssignal an den Steuerteil 5 des MEMS-Schalters angelegt wird, erzeugt die mit dem Steuerteil 5 verbundene Spule 4 eine magnetische Kraft. Als Folge der magnetischen Kraft werden der erste Anschluss 8 und der zweite Anschluss 9 nach unten abgelenkt und werden mit dem Verbindungsteil 6 elektrisch verbunden.
-
Während das erfinderische Konzept oben insbesondere mit Bezug zu beispielhaften Ausführungsformen dargestellt und beschrieben wurde, versteht es sich, dass das erfinderische Konzept nicht auf diese Ausführungsformen beschränkt ist, sondern von den Fachleuten modifiziert werden kann, ohne vom Geist und vom Rahmen des erfinderischen Konzepts abzuweichen, wie es in den folgenden Ansprüchen definiert ist.
