DE102010048810A1 - System zur Bedienung mehrerer Plasma- und/oder Induktionserwärmungsprozesse - Google Patents
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Abstract
Ein System (1, 100, 200) zur Steuerung mehrerer Plasma- und/oder Induktionserwärmungsprozesse (10–15), umfasst a. eine Bedieneinheit (2, 112, 232), b. zumindest zwei Leistungsgeneratoren (3–8, 111, 231), jeweils zur Leistungsversorgung eines Plasmaprozesses (10, 12, 14) oder eines Induktionserwärmungsprozesses (11, 13); c. ein Netzwerk (16), über das die Bedieneinheit (2, 112, 232) mit den Leistungsgeneratoren (3–8, 111, 231) signaltechnisch verbunden ist. d. wobei die Bedieneinheit aufweist: i) eine Anzeigeeinrichtung (117, 237), auf der eine grafische Benutzeroberfläche (70) anzeigbar ist, aufweisend einen statischen Bereich (77) und einen dynamischen Bereich (74), ii) Auswahlmittel zur Auswahl der im dynamischen Bereich (74) angezeigten Informationen.
Description
- Die Erfindung betrifft ein System zur Bedienung mehrerer Plasma- und/oder Induktionserwärmungsprozesse.
- Plasma- und/oder Induktionserwärmungsprozesse werden durch einen Leistungsgenerator mit Leistung versorgt. Bekannterweise weist jeder Leistungsgenerator eine eigene Bedieneinheit, insbesondere ein integriertes Panel, auf, damit der Leistungsgenerator bedient werden kann und der damit versorgte Prozess gesteuert und beeinflusst werden kann. Dies erfordert jedoch, dass ein Bediener vor Ort bei dem jeweiligen Leistungsgenerator sein muss, um Eingriffe in den Leistungsgenerator und/oder den Prozess vornehmen zu können.
- Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Möglichkeit zu schaffen, die Bedienung mehrerer Prozesse und/oder diese mit Leistung versorgende Leistungsgeneratoren zu vereinfachen.
- Gelöst wird diese Aufgabe durch ein System zur Steuerung mehrerer Plasma- und/oder Induktionsheizprozesse, mit
- a) einer Bedieneinheit,
- b) zumindest zwei Leistungsgeneratoren, jeweils zur Leistungsversorgung eines Plasmaprozesses oder eines Induktionserwärmungsprozesses;
- c) einem Netzwerk, über das die Bedieneinheit mit den Leistungsgeneratoren datentechnisch verbunden ist wobei die Bedieneinheit aufweist:
- i) eine Anzeigeeinrichtung, auf der eine grafische Benutzeroberfläche anzeigbar ist, aufweisend einen statischen und einen dynamischen Bereich,
- ii) Auswahlmittel zur Auswahl der im dynamischen Bereich angezeigten Informationen.
- Ein solches System hat den Vorteil, dass mehrere Plasmaprozesse und/oder Induktionserwärmungsprozesse von einer zentralen Stelle, nämlich einer zentralen Bedieneinheit aus, gesteuert werden können. Dadurch, dass die Bedieneinheit über ein Netzwerk mit den Leistungsgeneratoren verbunden ist, kann die Bedieneinheit auch entfernt von den Leistungsgeneratoren angeordnet sein. Über das Netzwerk kann ein Datenaustausch zwischen den Leistungsgeneratoren und der Bedieneinheit erfolgen und die Bedieneinheit kann Steuerbefehle an die Leistungsgeneratoren senden. Durch die Aufteilung einer grafischen Benutzeroberfläche einer Bedieneinheit in einen statischen und in einen dynamischen Bereich, verbunden mit der Netzwerkanbindung der Bedieneinheit mit den Leistungsgeneratoren, kann ein unerwarteter Vorteil für den Anwender erzielt werden. Der dynamische Bereich kann so ausgelegt sein, dass in ihm Einstellung und/oder Überwachung für einzelne verbundene Leistungsgeneratoren aber auch Einstellung und/oder Überwachung für mehrere verbundene Leistungsgeneratoren gleichzeitig dargestellt werden können. Die Auswahl, ob Informationen (Werte) nur eines oder mehrerer Leistungsgeneratoren gleichzeitig im dynamischen Bereich angezeigt werden, kann über Auswahlmittel, z. B. entsprechende Tab-Reiter im dynamischen Bereich oder Steuerelemente im statischen Bereich, erfolgen. Prinzipiell kann so der Anwender immer die Einstellung auswählen, in der er die ihn interessierenden Leistungsgeneratoren überwachen bzw. einstellen kann. In den komplexen industriellen Vorgängen ist es aber für den Anwender nützlich, einzelne Leistungsgeneratoren zu überwachen oder bei Änderungen der Einstellung bestimmter Parameter die Auswirkungen auf andere ermittelte Werte direkt zu beobachten. Dabei kann es auch zu Auswirkungen bei einem ersten Leistungsgenerator kommen, wenn bei einem zweiten Leistungsgenerator ein Einstellwert geändert wird. Insbesondere kann es zu Zuständen kommen, die bei den Leistungsgeneratoren oder von diesen versorgten Prozessen Warn- und/oder Fehlermeldungen verursachen. Diese zu Erkennen, ist für den Anwender von großer Bedeutung. Wenn solche Warn- oder Fehlermeldungen in einem statischen Bereich angezeigt werden, der vom dynamischen Bereich getrennt ist, so können ermittelte Werte und Einstellwerte im dynamischen Bereich weiter beobachtet bzw. geändert werden (gleichzeitig für mehrere Leistungsgeneratoren oder Systemkomponenten oder auch nur für einzelne Leistungsgeneratoren oder Systemkomponenten), während die Fehler- und/oder Warnmeldungen im statischen Bereich beobachtet werden können. Dabei kann ein Anzeigebereich im statischen Bereich zur Anzeige von Warn- oder Fehlermeldungen von allen verbundenen Leistungsgeneratoren und Systemkomponenten vorgesehen sein.
- Es können zumindest zwei Leistungsgeneratoren eines unterschiedlichen Typs vorgesehen sein. Somit ist es möglich, mit derselben Bedieneinheit unterschiedliche Leistungsgeneratorentypen anzusteuern und zu beeinflussen. Bei den Leistungsgeneratoren unterschiedlichen Typs kann es sich um Leistungsgeneratoren unterschiedlicher Leistungsklassen handeln. Auch können sich die Leistungsgeneratorentypen im Frequenzbereich des Ausgangssignals unterscheiden. Es können Wechselstrom- und Gleichstromleistungsgeneratoren vorgesehen sein. Außerdem können Generatoren vorgesehen sein, die explizit für Plasmaanwendungen ausgebildet und angepasst sind und Leistungsgeneratoren, die für Induktionserwärmungsanwendungen ausgebildet und angepasst sind. Es können zumindest zwei Leistungsgeneratoren gleichzeitig durch die Bedieneinheit ansteuerbar sein. Das System kann alle am Netzwerk angeschlossenen Leistungsgeneratoren automatisch erkennen. Alternativ kann in der Bedieneinheit eine Einstellung vorgenommen werden, so dass nur manuell ausgewählte Leistungsgeneratoren angesteuert werden können.
- Weiterhin kann vorgesehen sein, dass die Leistungsgeneratoren keine eigene Bedieneinheit aufweisen. Wenn die Leistungsgeneratoren durch eine einzige, zentrale Bedieneinheit angesteuert werden, ist es nicht notwendig, dass die Leistungsgeneratoren eine eigene Bedieneinheit aufweisen. Dadurch können Herstellungs- und Entwicklungskosten gespart werden. Es ist jedoch denkbar, dass die Leistungsgeneratoren dennoch eine eigene Bedieneinheit, z. B. ein Standardpanel, aufweisen, so dass auch vor Ort in die Leistungsgeneratoren eingegriffen werden kann. Die Bedienung über die zentrale Bedieneinheit kann unabhängig von der Bedienung mit einer lokalen, unmittelbar am Leistungsgenerator angeordneten Bedieneinheit sein.
- Die Bedieneinheit kann Eingabemittel zur Manipulation der grafischen Benutzeroberfläche umfassen. Über die grafische Benutzeroberfläche können mittels der Eingabemittel Daten in die Bedieneinheit eingegeben werden oder Parameter, insbesondere Betriebsparameter für den jeweiligen angesteuerten Leistungsgenerator verändert werden. Als Eingabemittel kommt beispielsweise ein Touchpad, eine Maus, eine Tastatur, ein MMI (Mensch Maschinen Interface) oder dergleichen in Frage. Die Vorteile einer zentralen Bedieneinheit werden hier besonders deutlich, da ein Benutzer sich nur mit einer einzigen grafischen Benutzeroberfläche auseinandersetzen muss und sich nicht für jeden einzelnen angesteuerten Leistungsgenerator mit einer eigenen grafischen Benutzeroberfläche auseinandersetzen muss. Die Bedienung eines Systems mit mehreren Leistungsgeneratoren wird dadurch erheblich vereinfacht.
- An die Bedieneinheit können über das Netzwerk weitere steuerbare Systemkomponenten angeschlossen werden. Somit können auch neben den Leistungsgeneratoren weitere steuerbare Systemkomponenten durch die eine zentrale Bedieneinheit angesteuert und beeinflusst werden. Als weitere steuerbare Systemkomponenten kommen beispielsweise Impedanzanpassungseinrichtungen, Maschinen, Plasmakammern etc. in Frage.
- Die von der Bedieneinheit angesteuerten Leistungsgeneratoren oder von diesem versorgte Prozesse betreffende Warnmeldungen und/oder Zustände können auf der Anzeigeeinrichtung anzeigbar sein. Wenn Warnmeldungen angezeigt werden, kann über die Bedieneinheit unmittelbar darauf reagiert werden und der Leistungsgenerator in einen sicheren Zustand überführt werden oder andere Maßnahmen getroffen werden, um den von dem entsprechenden Leistungsgenerator mit Leistung versorgten Prozess in einen zulässigen Bereich zurückzuführen. Auch ist es vorteilhaft, wenn Zustände der Prozesse oder Leistungsgeneratoren angezeigt werden. Somit können die Prozesse besonders gut und zeitnah überwacht werden.
- Den Leistungsgeneratoren kann jeweils eine Kennung zugeordnet sein. Auf der Bedieneinheit kann eine Bedienapplikation implementiert sein, die die Kennung von daran angeschlossenen Leistungsgeneratoren einliest und anhand von für den Leistungsgenerator hinterlegten generatorspezifischen Konfigurationsdaten und der Kennung die grafische Benutzeroberfläche auf der Anzeigeeinrichtung aufbaut. Auch den steuerbaren Systemkomponenten kann jeweils eine Kennung zugeordnet sein und es können komponentenspezifische Konfigurationsdaten hinterlegt sein.
- Somit können mit nur einer Bedieneinheit unterschiedliche steuerbare Leistungsgeneratoren und Systemkomponenten bedient werden. Erkennt die Bedienapplikation aufgrund der dem Leistungsgenerator zugeordneten Kennung, welcher Generator oder Komponente bedient werden soll, so können anhand der Kennung die richtigen Konfigurationsdaten für diesen speziellen Generator bzw. Komponente verwendet werden, um die grafische Benutzeroberfläche aufzubauen. Die grafische Benutzeroberfläche ist dabei für alle Leistungsgeneratoren im Wesentlichen gleich. Es erfolgen nur geringfügige Anpassungen auf den jeweiligen Generator. Beispielsweise kann bei einem 1-kW-Generator die maximal einstellbare Leistung 1 kW betragen, während bei einem anderen Generatortyp, beispielsweise einem 3-kW-Generator entsprechend eine maximale Leistung von 3 kW eingestellt werden kann. Leistungsgeneratoren unterschiedlichen Typs können beispielsweise Generatoren sein, die in unterschiedlichen Frequenzbereichen arbeiten, unterschiedliche Nennausgangsleistungen haben, für die Plasmaanwendung Verwendung finden, für eine Induktionserwärmungsanwendung Verwendung finden, es kann sich um Wechselstromgeneratoren oder um Gleichstromgeneratoren handeln.
- Diese Aufzählung unterschiedlicher Typen von Leistungsgeneratoren ist nicht abschließend zu verstehen.
- Die Benutzeroberfläche weist einen statischen Bereich auf. Dieser kann an einer oder mehreren Randbereichen der Bedienoberfläche auf einer Anzeigeeinrichtung, z. B. einem Bildschirm, angeordnet sein. Er kann für alle Leistungsgeneratortypen und Systemkomponententypen immer an der gleichen Stelle der Benutzeroberfläche angeordnet sein und immer die im Verhältnis zur Anzeigeeinrichtung gleichen Abmessungen aufweisen, d. h. der statische Bereich kann prozentual immer dieselbe Fläche der Benutzeroberfläche einnehmen. Der statische Bereich kann übergeordnete Informationen und Steuerungselemente darstellen, die für alle Leistungsgeneratoren oder Systemkomponenten gleich vorhanden sind. übergeordnete Steuerungselemente können sein: Ein/Aus Schalter, Betriebszustandswahl (Steuer-/Regelbetrieb, Diagnosebetrieb, Softwareupdate), Sprachauswahl. übergeordnete Informationen können sein: Typbezeichnung, Kennung des Leistungsgenerators, Warnungen, Fehlerzustände, Betriebszustandsanzeige, Kühlwassertemperatur, Verbindungsstatus.
- Die Benutzeroberfläche weist einen dynamischen Bereich auf. Dieser kann an einer oder mehreren Randbereichen der Bedienoberfläche auf einer Anzeigeeinrichtung, z. B. einem Bildschirm, angeordnet sein. Er kann für alle Leistungsgeneratortypen und Systemkomponententypen an der gleichen Stelle angeordnet sein und immer die im Verhältnis zur Anzeigeeinrichtung gleichen Abmessungen aufweisen, d. h. der dynamische Bereich kann prozentual immer dieselbe Fläche der Benutzeroberfläche einnehmen. In dem dem dynamischen Bereich zugeordneten Abschnitt der grafischen Benutzeroberfläche können Informationen nur einen Leistungsgenerator betreffend angezeigt werden und die Informationen bezüglich anderer Leistungsgeneratoren können ausgeblendet sein, wobei Tab-Reiter vorgesehen sein können, über die der Leistungsgenerator auswählbar ist, zu dem Informationen angezeigt werden sollen. Der dynamische Bereich kann ein vorgegebenes Raster aufweisen, in dem Werte angezeigt und eingestellt werden können. Der dynamische Bereich kann je nach Kennung des Leistungsgenerators eine unterschiedliche Anzahl von angezeigten Werten und einzustellenden Werten aufweisen. Ansichten in Form von Tab-Reitern können im dynamischen Bereich auch für unterschiedliche Themen wie z. B. Ausgangsgrößen, Arcerkennung, etc. eines Leistungsgenerators vorgesehen sein.
- Vergleichbare Werte (z. B. Strom, Spannung, Frequenz, Leistung, etc.) können bei unterschiedlichen Leistungsgeneratortypen an der gleichen Stelle dargestellt oder zur Einstellung bereitgestellt werden.
- Im statischen Bereich der Bedienoberflächen können Steuerungselemente zum Wechsel zwischen unterschiedlichen Ansichten oder Informationsgehalten im dynamischen Bereich vorgesehen sein. Die unterschiedlichen Ansichten oder Informationsgehalte können sein: Diagnose, Überwachung, Steuerung, Konfiguration, Softwareupdate. Die vorgesehenen wählbaren Ansichten oder Informationsgehalte können für alle Leistungsgeneratortypen gleich sein.
- Auf der grafischen Benutzeroberfläche kann die Anzahl von Bereichen auf maximal zwei, nämlich einen statischen und einen dynamischen Bereich, beschränkt werden, die beide für den Anwender stets sichtbar sind. Das verbessert die Übersichtlichkeit und damit die Bedienerfreundlichkeit.
- Die geringfügigen Abweichungen können mit dem Generatortyp zusammenhängen, sie können jedoch auch von der Art der Bedieneinheit abhängen, Beispielsweise können geringfügige Unterschiede notwendig sein, wenn als Bedieneinheit eine Touchscreen, anstatt einer Maus oder Tastatur als Eingabemittel der Bedieneinheit verwendet wird.
- Unabhängig von der Anzahl und Typ der angeschlossenen Leistungsgeneratoren und Systemkomponenten kann dem dynamischen Bereich immer derselbe Flächenanteil der Benutzeroberfläche und kann dem statischen Bereich immer derselbe Flächenanteil auf der Benutzeroberfläche zugeordnet sein. Darüber hinaus kann für die genannten Bereiche immer dieselbe Form und Anordnung auf der grafischen Benutzeroberfläche bzw. der Anzeigeeinrichtung vorgesehen sein.
- Die Konfigurationsdaten eines Leistungsgenerators können im Leistungsgenerator selbst oder der Bedieneinheit gespeichert sein. Die Konfigurationsdaten können im Generator abgelegt sein und nach der Verbindung mit einer Bedieneinheit von dieser ausgelesen werden. Dies hat den Vorteil, dass auch neueste Leistungsgeneratoren, die einer älteren Bedieneinheit noch nicht bekannt sind, angesteuert werden können. Alternativ dazu können die Konfigurationsdaten unmittelbar in der Bedieneinheit abgelegt sein. Dies hat den Vorteil, dass auch Leistungsgeneratoren, die noch keine Möglichkeit haben, Konfigurationsdaten selbst zu speichern, durch die Bedieneinheit angesteuert werden können. Die Konfigurationsdaten können in mehreren Konfigurationsdateien abgelegt sein. Es ist jedoch auch möglich, sämtliche Konfigurationsdaten sämtlicher Leistungsgeneratoren in einer einzigen Konfigurationsdatei abzulegen. In der Konfigurationsdatei können die Daten, die zu einem Leistungsgeneratortyp gehören, gekapselt abgelegt sein. Aufgrund der Kennung weist die Bedieneinheit bzw. die Bedienapplikation, auf welche Daten der Konfigurationsdatei zugegriffen werden muss, um einen ausgewählten Leistungsgenerator bedienen zu können.
- Dabei können die Konfigurationsdaten generatorspezifische Parameterdaten und/oder Visualisierungsdaten umfassen. Die Parameterdaten können alle für den entsprechenden Leistungsgenerator bekannten Parameter oder eine Untermenge davon beschreiben. Visualisierungsdaten können alle zu visualisierenden Parameter und die Art und Weise, wie sie auf der grafischen Benutzeroberfläche dargestellt werden sollen, beschreiben. Es kann auch nur eine Untermenge von Visualisierungsdaten beschrieben werden, wenn es statische Parameter gibt, die für jeden Leistungsgenerator einheitlich sind und auch einheitlich dargestellt werden sollen, wie zum Beispiel Strom, Spannung und Leistung. Sämtliche Daten bzw. Datendateien können in XML oder einem anderen Beschreibungsformat vorliegen. Die Extensible Markup Language (engl. für „erweiterbare Auszeichnungssprache”), abgekürzt XML, ist eine Auszeichnungssprache zur Darstellung hierarchisch strukturierter Daten in Form von Textdaten.
- In der Bedieneinheit können Sprachdaten gespeichert sein, die von der Bedienapplikation verarbeitbar sind. Die Sprachdaten können für unterschiedliche Sprachen in unterschiedlichen Dateien abgelegt sein. Beispielsweise kann für jede Sprache eine Datei vorgesehen sein. Es können jedoch auch mehrere Sprachen in einer Datei gruppiert und zusammengefasst werden.
- Um mit einer Bedieneinheit sämtliche Leistungsgeneratoren bedienen zu können, ist es vorteilhaft, wenn die grafische Benutzeroberfläche dynamisch aufgebaut wird. Dadurch können auch neuere Leistungsgeneratoren mit einer älteren Bedieneinheit bedient werden, da die notwendigen Informationen (Konfigurationsdaten) auf dem jeweiligen Leistungsgenerator abgelegt sein können und die grafische Benutzeroberfläche anhand dieser Daten generiert werden kann.
- In der Bedieneinheit können Masken abgespeichert sein, die in der Bedienapplikation generiert wurden. Diese Masken (Templates) können definiert werden, um eine spezifischere grafische Benutzeroberfläche zur Visualisierung von Daten oder Parametern zu ermöglichen. In der Visualisierungsdatei können dann den Masken Parameter zugewiesen werden.
- Besondere Vorteile ergeben sich, wenn mehrere Bedieneinheiten vorgesehen sind, die im Wesentlichen die gleiche grafische Benutzeroberfläche aufweisen. Dadurch wird die intuitive Bedienbarkeit der Leistungsgeneratoren erleichtert. Als Bedieneinheiten kommen beispielsweise PC, Notebooks, ein vom Leistungsgenerator abgesetztes Panel oder ein integriertes Panel in Frage. Diese Aufzählung ist nicht abschließend zu verstehen. Andere Ausführungsformen, wie beispielsweise ein Touchpad oder ein Mensch-Maschinen-Interface (MMI), können ebenfalls vorgesehen sein.
- Zusätzlich zu den Leistungsgeneratoren können durch die Bedieneinheit ansteuerbare, jeweils eine Kennung aufweisende Systemkomponenten vorgesehen sein. Somit ist es auch möglich, weitere Systemkomponenten mit der gleichen Bedieneinheit wie die Leistungsgeneratoren zu bedienen. Als Systemkomponenten kommen beispielsweise Impedanzanpassungseinheiten, eine Plasmakammer, weitere Maschinenteile, etc. in Frage.
- In den Rahmen der Erfindung fällt außerdem ein Verfahren zur Steuerung mehrerer Leistungsgeneratoren, die jeweils einen Plasmaprozess oder Induktionserwärmungsprozess mit Leistung versorgen, wobei eine Bedieneinheit über ein Netzwerk mit den Leistungsgeneratoren verbunden wird und die Leistungsgeneratoren ansteuert, und wobei eine grafische Benutzeroberfläche mit einem statischen Bereich und einem dynamischen Bereich auf einer Anzeigeeinrichtung angezeigt werden. Bei dem Netzwerk kann es sich beispielsweise um ein Ethernet-Netzwerk handeln. Jeder der Leistungsgeneratoren kann einen oder mehrere Prozesse steuern, die unabhängig voneinander agieren. Damit ist es möglich, völlig unterschiedliche und getrennte Prozesse mit einer Bedieneinheit zu steuern. Die Bedieneinheit ist vorteilhafterweise so allgemein ausgelegt, dass sie jeden Generator eines bestimmten Herstellers bedienen und ansteuern kann. Dies bedeutet, dass die Bedieneinheit sowohl in allen Frequenzbereichen, beispielsweise DC, Mittelfrequenz (MF) und Hochfrequenz (HF) als auch allen Anwendungsbereichen (Plasma, inklusive Laser, Induktion) Anwendung findet. Durch diese Flexibilität können mit der gleichen Bedieneinheit gleichzeitig Plasma- und Induktionserwärmungsprozesse gesteuert und kontrolliert werden.
- Steuerbefehle und/oder Parameter für die Leistungsgeneratoren können über Eingabemittel der Bedieneinheit eingegeben oder verändert werden. Diese Steuerbefehle und/oder Parameter können für jeden Leistungsgenerator mit denselben Eingabemittel an einer einzigen Bedieneinheit eingegeben werden. Dabei kann die Bedieneinheit dezentral angeordnet sein, muss sich also nicht in unmittelbarer Nähe der Leistungsgeneratoren befinden.
- Wie bereits erwähnt, ist es vorteilhaft, dass die Leistungsgeneratoren voneinander unabhängige Prozesse mit Leistung versorgen. Diese Leistungsgeneratoren, die voneinander unabhängige Prozesse mit Leistung versorgen, können durch eine gemeinsame Bedieneinheit angesteuert werden. Entsprechend können die Leistungsgeneratoren oder die von diesen versorgte Prozesse betreffende Warnmeldungen oder Zustände auf einer Anzeigeeinrichtung der Bedieneinheit angezeigt werden. Sämtliche Warnmeldungen, betreffend alle Leistungsgeneratoren und Prozesse, die durch die Bedieneinheit angesteuert werden, können somit auf derselben Anzeigeeinrichtung angezeigt werden. Somit ist sichergestellt, dass Warnmeldungen zeitnah von einem Anwender registriert werden. Dies wäre nicht der Fall, wenn Warnmeldungen an entfernt voneinander gelegenen Leistungsgeneratoren lokal bei den Leistungsgeneratoren angezeigt würden.
- Weiterhin kann für jeden Generator eine Übersichtsseite oder eine Übersichtsseite für alle Generatoren implementiert sein, die auf der Anzeigeeinrichtung anzeigbar ist. Wenn für jeden Generator eine Übersichtsseite implementiert wird, besteht die Möglichkeit, zwischen den Seiten umzuschalten und sich nacheinander die Informationen bezüglich der einzelnen Generatoren anzeigen zu lassen. Wenn eine gemeinsame Übersichtsseite implementiert ist, können Informationen bezüglich aller Leistungsgeneratoren und gegebenenfalls weiterer Systemkomponenten gleichzeitig angezeigt werden.
- Weiterhin können Informationen betreffend mehrere Leistungsgeneratoren auf der Anzeigeeinrichtung angezeigt werden. Es ist auch denkbar, dass nur besonders relevante Informationen bezüglich der Leistungsgeneratoren gleichzeitig angezeigt werden und dass weitere Seiten bestehen, die zusätzliche Informationen enthalten und wahlweise von einem Benutzer aufgerufen werden können.
- In diesem Zusammenhang ist es vorteilhaft, wenn die Bedieneinheit zwischen den Leistungsgeneratoren umschaltet – automatisch oder durch einen Benutzer gesteuert – und nur Informationen betreffend einen ausgewählten Leistungsgenerator anzeigt.
- Die Ansteuerung zumindest eines Leistungsgenerators mittels einer Bedieneinheit kann folgendermaßen erfolgen:
- a) Einlesen einer Kennung zumindest eines Leistungsgenerators;
- b) Auswahl und/oder Einlesen von generatorspezifischen Konfigurationsdaten in Abhängigkeit der eingelesenen Kennungen;
- c) Aufbau einer grafischen Benutzeroberfläche auf einer Anzeigeeinrichtung der Bedieneinheit in Abhängigkeit der Konfigurationsdaten mittels einer Bedienapplikation, die auf der Bedieneinheit installiert ist.
- Dabei kann zunächst eine Kennung eines Leistungsgenerators eingelesen werden. Anhand der Kennung können dann generatorspezifische Konfigurationsdaten eingelesen werden. Alternativ ist es denkbar, zunächst Konfigurationsdaten (für mehrere unterschiedliche Generatortypen) zu laden, anschließend eine Kennung einzulesen und dann anhand der Kennung die relevanten Konfigurationsdaten für den zu bedienenden Leistungsgenerator auszuwählen. Die Bedienapplikation kann nach der Verbindung der Bedieneinheit mit dem Generator anhand von Konfigurationsdaten, insbesondere von Parameter- und/oder Visualisierungsdaten, eine grafische Benutzeroberfläche aufbauen. Anschließend können Sprachdaten herangezogen werden, um die Sprachinformationen zur Verfügung zu stellen.
- Die Konfigurationsdaten können generatorspezifische Parameterdaten und/oder Visualisierungsdaten umfassen. Die Parameterdaten umfassen alle oder zumindest einen Teil der für den jeweiligen Leistungsgenerator bekannten Parameter. Die Visualisierungsdaten geben den Aufbau der grafischen Benutzeroberfläche vor. Die anzuzeigenden Parameter werden verschiedenen Anzeigeelementen zugeordnet, aus denen die Bedienapplikation in der Bedieneinheit die grafische Benutzeroberfläche zusammensetzt. Die Bedieneinheit kann statische und dynamische Inhalte darstellen. So kann zum Beispiel ein Meldungsbereich statisch sein, da er für jeden Leistungsgenerator vorhanden ist. Betriebsinformationen können dagegen dynamisch sein, da sie generatorspezifisch aus den Visualisierungsdaten und den Parameterdaten generiert werden.
- Gemäß einer Verfahrensvariante können Sprachdaten gelesen werden und in Abhängigkeit der Sprachdaten können Informationen auf der Anzeigeeinrichtung angezeigt werden. Somit kann eine Anpassung auf den jeweiligen Anwender und dessen Sprachkenntnisse erfolgen.
- Wie oben bereits erwähnt, ist es besonders vorteilhaft, wenn die grafische Benutzeroberfläche dynamisch aufgebaut wird.
- In der Bedienapplikation können Masken (Templates) definiert werden, die eine Anpassung der grafischen Benutzeroberfläche ermöglichen. Dabei können den Masken Visualisierungsdaten zugewiesen werden.
- Für identische Konfigurationsdaten können in unterschiedlichen Bedieneinheiten im Wesentlichen gleiche grafische Benutzeroberflächen erzeugt und angezeigt werden. Somit können Leistungsgeneratoren durch unterschiedliche Bedieneinheiten, beispielsweise Bedieneinheiten umfassend eine Anzeige, eine Maus und eine Tastatur oder Bedieneinheiten umfassend eine Anzeige mit einem Touchpad im Wesentlichen die gleiche grafische Benutzeroberfläche aufweisen, so dass ein Benutzer unabhängig von der verwendeten Bedieneinheit die Leistungsgeneratoren bedienen kann, wenn er sich nur einmal mit einer Bedieneinheit vertraut gemacht hat.
- Weiterhin können die Kennung und die Konfigurationsdaten einer steuerbaren Systemkomponente eingelesen werden und beim Aufbau der grafischen Benutzeroberfläche berücksichtigt werden. Die Bedieneinheiten können daher auch zur Bedienung und Steuerung anderer Komponenten des Leistungsversorgungssystems, wie beispielsweise einer Impedanzanpassungseinheit, eingesetzt werden. Für diese Systemkomponenten sind keine separaten Bedieneinheiten notwendig. Aus dem Vorstehenden ergibt sich, dass eine einzige Bedieneinheit verwendet werden kann, um mehrere Generatoren und weitere Systemkomponenten gleichzeitig zu bedienen.
- Die Konfigurationsdaten eines Leistungsgenerators können im Leistungsgenerator oder der Bedieneinheit gespeichert sein, einen Zeitstempel oder eine Priorisierungskennzahl aufweisen, und die Bedienapplikation kann anhand des Zeitstempels oder der Priorisierungskennzahl entscheiden, ob die im Leistungsgenerator oder der Bedieneinheit gespeicherte Konfigurationsdaten zum Aufbau der grafischen Benutzeroberfläche auf der Anzeigeeinrichtung verwendet werden. Auf diese Art und Weise kann sichergestellt werden, dass immer die aktuellsten Konfigurationsdaten beim Aufbau der grafischen Benutzeroberfläche verwendet werden.
- Jedem Leistungsgenerator und auch jeder steuerbaren Systemkomponente kann ein Softwarestand und/oder ein Integrationsstand zugeordnet werden, der durch die Bedienapplikation abgefragt wird, wobei der Softwarestand bzw. Integrationsstand beim Aufbau der grafischen Benutzeroberfläche berücksichtigt wird. Ein Leistungsgeneratortyp kann sich durch unterschiedliche Softwarestände unterscheiden. Zusätzlich zu unterschiedlichen Softwareständen können sich auch Stände in programmierbarer Logik (CPLD, FPGA) ändern. Weiterhin können sich im Gerät gespeicherte Parameter ändern. Diese Änderungen im Gerät können zu einer Vielzahl von Integrationsständen (Integrationslevel) in ein und demselben Gerätetyp führen. Jeder Generator besitzt deswegen vorzugsweise einen Integrationsstand, welcher den Systemzustand beschreibt. Dies kann eine fortlaufende Nummerierung sein, die bei Eins beginnt (Null kann undefinierter Zustand bedeuten) und bei jeder Softwareänderung einer beliebigen Komponente im System hochgezählt werden. Die Bedienapplikation kann neben der Kennung des Leistungsgenerators auch noch den Integrationsstand abfragen und die grafische Benutzeroberfläche auf der Anzeigeeinrichtung entsprechend des jeweiligen Integrationsstands aufbauen. Dabei kann flexibel vorgegangen werden. Wenn die Kennung der Bedienapplikation bekannt ist, der Integrationsstand jedoch nicht, kann auch ein älterer Integrationsstand zum Aufbau der grafischen Benutzeroberfläche verwendet werden.
- Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels der Erfindung, anhand der Figuren der Zeichnung, die erfindungswesentliche Einzelheiten zeigen, und aus den Ansprüchen. Die einzelnen Merkmale können je einzeln für sich oder zu mehreren in beliebiger Kombination bei einer Variante der Erfindung verwirklicht sein.
- Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung schematisch dargestellt und wird nachfolgend mit Bezug zu den Figuren der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
-
1 eine schematische Darstellung eines Systems zur Steuerung mehrerer Plasma- und/oder Induktionserwärmungsprozesse; -
2 eine schematische Darstellung einer Bedieneinheit und eines daran angeschlossenen Leistungsgenerators; -
3 eine alternative Ausgestaltung einer Bedieneinheit und eines daran angeschlossenen Leistungsgenerators; -
4 eine grafische Benutzeroberfläche. - Die
1 zeigt ein System1 zur Steuerung mehrerer Plasma- und/oder Induktionsheizprozesse. An eine zentrale Bedieneinheit2 sind mehrere Leistungsgeneratoren3 bis8 über ein Netzwerk16 angeschlossen. Jeder Generator3 bis8 versorgt einen eigenen Prozess mit Leistung. Dabei versorgt der Generator3 beispielsweise einen ersten Plasmaprozess10 , der Generator4 einen ersten Induktionserwärmungsprozess11 , der Generator5 einen zweiten Plasmaprozess12 , der Generator6 einen Induktionserwärmungsprozess13 , der Generator7 einen Laserprozess14 als besondere Form eines Plasmaprozesses und der Generator8 einen beliebigen Prozess15 . - Anhand des Systems
100 der2 wird die Funktionsweise einer Bedieneinheit112 und eines Leistungsgenerators110 näher beschrieben. Im Leistungsgenerator110 läuft eine Leistungsgeneratorapplikation111 , die durch eine Bedieneinheit112 beeinflussbar ist. Im Leistungsgenerator110 ist eine Kennung113 abgelegt. Weiterhin sind Parameterdaten114 und Visualisierungsdaten115 abgelegt. Die Parameterdaten114 und Visualisierungsdaten115 stellen gemeinsam Konfigurationsdaten116 dar. Die Visualisierungsdaten115 und Parameterdaten114 können auch in einer Datei zusammengefasst sein. - Die Bedieneinheit
112 umfasst eine Anzeigeeinrichtung117 und Eingabemittel118 . Die Bedieneinheit112 liest die Kennung113 des Leistungsgenerators110 ein. Weiterhin liest sie die Konfigurationsdaten116 ein. Anhand der Kennung113 und der Konfigurationsdaten116 wird durch eine Bedienapplikation119 unter Zuhilfenahme von Sprachdaten120 , die in der Bedieneinheit112 abgelegt sind, eine grafische Benutzeroberfläche auf der Anzeigeeinrichtung117 aufgebaut. Mittels der Eingabemittel118 kann ein Benutzer Werte eingeben oder ändern. Dies wird durch die grafische Benutzeroberfläche unterstützt. Aufgrund dieser Eingaben kann die Bedieneinheit112 den Leistungsgenerator110 ansteuern. Die Bedieneinheit112 steht datentechnisch über ein Netzwerk oder eine Datenverbindung121 mit dem Leistungsgenerator110 in Verbindung, was durch den Doppelpfeil angedeutet wird. Auf der Bedieneinheit112 können Masken bzw. Templates122 erzeugt werden, die eine spezifische benutzerdefinierte Oberfläche zur Visualisierung von generatorspezifischen Daten ermöglicht. Die Bedieneinheit112 kann auch mit einem anderen Typ von Leistungsgenerator110 oder einer anderen steuerbaren Systemkomponente des Leistungsgeneratorsystems100 datentechnisch verbunden und zur Ansteuerung derselben eingesetzt werden. - In der
3 ist eine weitere Ausführungsform eines Systems200 dargestellt. In diesem Fall weist der Leistungsgenerator230 lediglich eine Leistungsgeneratorapplikation231 und eine Kennung233 auf. In der Bedieneinheit232 sind in diesem Fall die Parameterdaten234 und die Visualisierungsdaten235 , also die Konfigurationsdaten236 gespeichert. Die Konfigurationsdaten236 können auch noch die Konfigurationsdaten weiterer Leistungsgeneratoren oder steuerbarer Systemkomponenten aufweisen. - Anhand der Kennung
233 , die von der Bedieneinheit232 eingelesen wird, können die für den Leistungsgenerator230 passenden Konfigurationsdaten ausgewählt werden. Anhand der Konfigurationsdaten236 und der Sprachdaten240 kann eine Bedienapplikation239 eine grafische Benutzeroberfläche aufbauen, die auf der Anzeigeeinrichtung237 angezeigt wird. Die grafische Benutzeroberfläche237 kann durch einen Benutzer mithilfe der Eingabemittel238 , beispielsweise einem Touchpad, einer Maus oder einer Tastatur, beeinflusst werden. Auch in diesem Fall können Masken242 generiert werden. - Über die Bedieneinheit
232 kann über die Datenverbindung241 eine Ansteuerung des Leistungsgenerators230 erfolgen. - Das System
200 weist außerdem als steuerbare Systemkomponente260 eine Impedanzanpassungseinheit auf. Die Systemkomponente260 weist eine Systemkomponentenapplikation261 und eine Kennung262 auf. Die Kennung262 kann über die Datenverbindung263 von der Bedieneinheit232 eingelesen werden. Zu der Systemkomponente260 gehörende Konfigurationsdaten236 können anhand der Kennung bestimmt werden. Die grafische Benutzeroberfläche, die auf der Anzeigeeinrichtung237 angezeigt wird, kann so modifiziert werden, dass auch eine Manipulation der Daten bezüglich der Systemkomponente260 erfolgen kann. Somit kann auch die Systemkomponente260 durch die Bedieneinheit232 angesteuert werden. Neben der Kennung232 kann der Leistungsgenerator230 auch noch einen Integrationsstand264 aufweisen, der von der Bedieneinheit232 eingelesen werden kann. Auch die Systemkomponente260 kann neben der Kennung262 einen Integrationsstand265 aufweisen. Anhand dessen können die Konfigurationsdaten236 ausgewählt werden, die den Systemzustand des Leistungsgenerators230 bzw. der Systemkomponente260 am Besten widerspiegeln. Die Datenverbindungen241 und263 sind Bestandteil eines Netzwerks. - Die grafische Benutzeroberfläche
70 gemäß4 weist einen statischen Bereich77 und einen dynamischen Bereich74 auf. Der dynamische Bereich74 weist mehrere Tab-Reiter76 auf, anhand derer der Anwender die gewünschte Anzeige wählen kann. Der dynamische Bereich74 weist, falls erforderlich einen Scrollbalken75 auf. Der statische Bereich77 weist übergeordnete Informationen und Steuerungselemente73 auf. Übergeordnete Informationen können zum Beispiel ein Statusmeldungsbereich71 und ein Warn- und/oder Fehlermeldungsbereich72 sein.
Claims (25)
- System (
1 ,100 ,200 ) zur Bedienung mehrerer Plasma- und/oder Induktionserwärmungsprozesse (10 –15 ), mit a. einer Bedieneinheit (2 ,112 ,232 ), b. zumindest zwei Leistungsgeneratoren (3 –8 ,111 ,231 ), jeweils zur Leistungsversorgung eines Plasmaprozesses (10 ,12 ,14 ) oder eines Induktionserwärmungsprozesses (11 ,13 ); c. einem Netzwerk (16 ), über das die Bedieneinheit (2 ,112 ,232 ) mit den Leistungsgeneratoren (3 –8 ,111 ,231 ) signaltechnisch verbunden ist d. wobei die Bedieneinheit aufweist: i) eine Anzeigeeinrichtung (117 ,237 ), auf der eine grafische Benutzeroberfläche (70 ) anzeigbar ist, aufweisend einen statischen Bereich (77 ) und einen dynamischen Bereich (74 ), ii) Auswahlmittel zur Auswahl der im dynamischen Bereich (74 ) angezeigten Informationen. - System nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest zwei Leistungsgeneratoren (
3 –8 ,111 ,231 ) eines unterschiedlichen Typs vorgesehen sind. - System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Anzeigebereich im statischen Bereich (
77 ) zur Anzeige von Warn- oder Fehlermeldungen von allen verbundenen Leistungsgeneratoren (110 ,230 ) und Systemkomponenten (260 ) vorgesehen ist - System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest zwei Leistungsgeneratoren (
3 –8 ,111 ,231 ) gleichzeitig ansteuerbar sind. - System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der statische Bereich (
77 ) übergeordnete Steuerungselemente (73 ) aufweist. - System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die grafische Benutzeroberfläche (
70 ) für Leistungsgeneratoren (110 ,230 ) unterschiedlichen Typs einen statischen Bereich (77 ) und einen dynamischen Bereich (74 ) aufweist, wobei unabhängig von der Anzahl und Typ der angeschlossenen Leistungsgeneratoren (110 ,230 ) und Systemkomponenten (60 ) dem dynamischen Bereich (74 ) derselbe Flächenanteil und dem statischen Bereich (77 ) derselbe Flächenanteil auf der Benutzeroberfläche (70 ) zugeordnet ist. - System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der statische Bereich (
77 ) Steuerelemente zum Wechsel zwischen unterschiedlichen dynamischen Bereichen (74 ) aufweist. - System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die grafische Benutzeroberfläche (
70 ) maximal zwei Bereiche, insbesondere einen statischen und einen dynamischen Bereich (77 ,74 ) aufweist, die beide für den Anwender stets sichtbar sind. - System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Bedieneinheit (
2 ,112 ,232 ), Eingabemittel (118 ,238 ) zur Manipulation der grafischen Benutzeroberfläche (70 ) umfasst. - System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an die Bedieneinheit (
2 ,112 ,232 ) über das Netzwerk (16 ) weitere steuerbare Systemkomponenten (260 ) angeschlossen sind. - System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die von der Bedieneinheit (
2 ,112 ,232 ) angesteuerten Leistungsgeneratoren (3 –8 ,111 ,231 ) oder von diesen versorgte Prozesse (10 –15 ) betreffende Warnmeldungen und/oder Zustände auf der Anzeigeeinrichtung (117 ,237 ) anzeigbar sind. - System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Bedieneinheit (
2 ,112 ,232 ) eine Bedienapplikation (119 ,239 ) aufweist, die die Kennung (113 ,233 ) von daran angeschlossenen Leistungsgeneratoren (110 ,230 ) einliest und anhand von für jeden Leistungsgenerator (110 ,230 ) hinterlegten generatorspezifische Konfigurationsdaten (116 ,236 ) und der Kennung(en) (113 ,233 ) die grafische Benutzeroberfläche (70 ) auf der Anzeigeeinrichtung (117 ,237 ) aufbaut. - System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Konfigurationsdaten (
116 ,236 ) eines Leistungsgenerators (110 ,230 ) im Leistungsgenerator (110 ) oder der Bedieneinheit (232 ) gespeichert sind. - System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Konfigurationsdaten (
116 ,236 ) generatorspezifische Parameterdaten (114 ,234 ) und/oder Visualisierungsdaten (115 ,235 ) umfassen. - System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in der Bedieneinheit (
112 ,232 ) Sprachdaten (120 ,240 ) gespeichert sind, die von der Bedienapplikation (119 ,239 ) verarbeitbar sind. - System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in der Bedieneinheit (
112 ,232 ) Masken (122 ,242 ) abgespeichert sind, die in der Bedienapplikation (119 ,239 ) generiert wurden. - System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Bedieneinheiten (
112 ,232 ) vorgesehen sind, die im Wesentlichen die gleiche grafische Benutzeroberfläche (70 ) aufweisen. - Verfahren zur Bedienung mehrerer Leistungsgeneratoren (
3 –8 ,111 ,231 ), die jeweils einen Plasmaprozess oder Induktionserwärmungsprozess mit Leistung versorgen, wobei eine Bedieneinheit (2 ,112 ,232 ) über ein Netzwerk (16 ) mit den Leistungsgeneratoren (3 –8 ,111 ,231 ) verbunden wird und die Leistungsgeneratoren (3 –8 ,111 ,231 ) ansteuert, und wobei eine grafische Benutzeroberfläche (70 ) mit einem statischen Bereich (77 ) und einem dynamischen Bereich (74 ) auf einer Anzeigeeinrichtung (117 ,237 ) angezeigt werden. - Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass in einem Anzeigebereich des statischen Bereichs (
77 ) Warn- oder Fehlermeldungen von allen verbundenen Leistungsgeneratoren (110 ,230 ) und Systemkomponenten (260 ) angezeigt werden. - Verfahren nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet, dass Steuerbefehle und/oder Parameter für die Leistungsgeneratoren (
3 –8 ,111 ,231 ) über Eingabemittel (118 ,238 ) der Bedieneinheit (2 ,112 ,232 ) eingegeben oder verändert werden. - Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 18–20, dadurch gekennzeichnet, dass die Leistungsgeneratoren (
3 –8 ,111 ,231 ) voneinander unabhängige Prozesse (10 –15 ) mit Leistung versorgen. - Verfahren einem der vorhergehenden Ansprüche 18–21, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest zwei Leistungsgeneratoren (
110 ,230 ) gleichzeitig angesteuert werden. - Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 18–22, dadurch gekennzeichnet, dass die Leistungsgeneratoren (
3 –8 ,111 ,231 ) oder die von diesen versorgte Prozesse (10 –15 ) betreffende Warnmeldungen oder Zustände auf der Anzeigeeinrichtung (117 ,237 ), insbesondere im statischen Bereich (77 ), des Bedienelements (2 ,112 ,232 ) angezeigt werden. - Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 18–23, dadurch gekennzeichnet, dass für jeden Generator (
3 –8 ,111 ,231 ) eine Übersichtsseite oder eine Übersichtsseite für alle Generatoren implementiert wird, die auf der Anzeigeeinrichtung (117 ,237 ), insbesondere im dynamischen Bereich (74 ), anzeigbar ist. - Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 18–24, dadurch gekennzeichnet, dass Informationen betreffend mehrere Leistungsgeneratoren (
3 –8 ,111 ,231 ) gleichzeitig auf der Anzeigeeinrichtung (117 ,237 ) angezeigt werden.
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US13/276,697 US8993943B2 (en) | 2010-10-20 | 2011-10-19 | Systems for operating multiple plasma and/or induction heating systems and related methods |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011055125B4 (de) * | 2010-11-16 | 2017-05-11 | Denso Corporation | Plasmaerzeugungsvorrichtung |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3007230B1 (fr) | 2013-06-17 | 2015-07-31 | Sdmo Ind | Procede de communication dans un reseau interconnectant au moins deux groupes electrogenes, et dispositif d’interfacage correspondant. |
US10281507B2 (en) * | 2014-11-21 | 2019-05-07 | Kohler Co. | Generator sizing |
US11251019B2 (en) * | 2016-12-15 | 2022-02-15 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Plasma device |
JP6863199B2 (ja) | 2017-09-25 | 2021-04-21 | トヨタ自動車株式会社 | プラズマ処理装置 |
US10555412B2 (en) | 2018-05-10 | 2020-02-04 | Applied Materials, Inc. | Method of controlling ion energy distribution using a pulse generator with a current-return output stage |
US11476145B2 (en) | 2018-11-20 | 2022-10-18 | Applied Materials, Inc. | Automatic ESC bias compensation when using pulsed DC bias |
JP7451540B2 (ja) | 2019-01-22 | 2024-03-18 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | パルス状電圧波形を制御するためのフィードバックループ |
US11508554B2 (en) | 2019-01-24 | 2022-11-22 | Applied Materials, Inc. | High voltage filter assembly |
US11462389B2 (en) | 2020-07-31 | 2022-10-04 | Applied Materials, Inc. | Pulsed-voltage hardware assembly for use in a plasma processing system |
US11901157B2 (en) | 2020-11-16 | 2024-02-13 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and methods for controlling ion energy distribution |
US11798790B2 (en) | 2020-11-16 | 2023-10-24 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and methods for controlling ion energy distribution |
US11495470B1 (en) | 2021-04-16 | 2022-11-08 | Applied Materials, Inc. | Method of enhancing etching selectivity using a pulsed plasma |
US11948780B2 (en) | 2021-05-12 | 2024-04-02 | Applied Materials, Inc. | Automatic electrostatic chuck bias compensation during plasma processing |
US11791138B2 (en) | 2021-05-12 | 2023-10-17 | Applied Materials, Inc. | Automatic electrostatic chuck bias compensation during plasma processing |
US11967483B2 (en) | 2021-06-02 | 2024-04-23 | Applied Materials, Inc. | Plasma excitation with ion energy control |
US11810760B2 (en) | 2021-06-16 | 2023-11-07 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method of ion current compensation |
US11569066B2 (en) | 2021-06-23 | 2023-01-31 | Applied Materials, Inc. | Pulsed voltage source for plasma processing applications |
US11776788B2 (en) | 2021-06-28 | 2023-10-03 | Applied Materials, Inc. | Pulsed voltage boost for substrate processing |
US11476090B1 (en) | 2021-08-24 | 2022-10-18 | Applied Materials, Inc. | Voltage pulse time-domain multiplexing |
US11694876B2 (en) | 2021-12-08 | 2023-07-04 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for delivering a plurality of waveform signals during plasma processing |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1589793A1 (de) * | 2003-01-16 | 2005-10-26 | Japan Science and Technology Agency | Hochfrequenz-stromversorgungseinrichtung und plasmagenerator |
DE102006052061A1 (de) * | 2006-11-04 | 2008-05-08 | Hüttinger Elektronik Gmbh + Co. Kg | Verfahren zur Ansteuerung von zumindest zwei HF-Leistungsgeneratoren |
WO2008061784A1 (de) * | 2006-11-24 | 2008-05-29 | Hüttinger Elektronik Gmbh + Co. Kg | Dezentrale plasma-arcsteuerung |
EP1801946B1 (de) * | 2005-12-22 | 2009-01-21 | HÜTTINGER Elektronik GmbH + Co. KG | Verfahren und Vorrichtung zur Arcerkennung in einem Plasmaprozess |
JP2009187976A (ja) * | 2008-02-01 | 2009-08-20 | Tokyo Electron Ltd | 情報処理装置、情報処理方法、およびプログラム |
Family Cites Families (198)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4189765A (en) | 1978-03-27 | 1980-02-19 | Robertshaw Controls Company | Digital controller |
US4283723A (en) | 1979-05-29 | 1981-08-11 | Motorola Inc. | Apparatus and method for providing digital and/or bar graph displays of measured quantities |
US4570217A (en) | 1982-03-29 | 1986-02-11 | Allen Bruce S | Man machine interface |
US4649499A (en) | 1984-03-07 | 1987-03-10 | Hewlett-Packard Company | Touchscreen two-dimensional emulation of three-dimensional objects |
US4847785A (en) | 1985-01-22 | 1989-07-11 | International Business Machines Corp. | Interactive display for trend or bar graph |
US4679137A (en) | 1985-04-30 | 1987-07-07 | Prometrix Corporation | Process control interface system for designer and operator |
US4951190A (en) | 1985-04-30 | 1990-08-21 | Prometrix Corporation | Multilevel menu and hierarchy for selecting items and performing tasks thereon in a computer system |
US4843538A (en) | 1985-04-30 | 1989-06-27 | Prometrix Corporation | Multi-level dynamic menu which suppresses display of items previously designated as non-selectable |
US4805089A (en) | 1985-04-30 | 1989-02-14 | Prometrix Corporation | Process control interface system for managing measurement data |
US4967381A (en) | 1985-04-30 | 1990-10-30 | Prometrix Corporation | Process control interface system for managing measurement data |
US4873623A (en) | 1985-04-30 | 1989-10-10 | Prometrix Corporation | Process control interface with simultaneously displayed three level dynamic menu |
US5025411A (en) | 1986-12-08 | 1991-06-18 | Tektronix, Inc. | Method which provides debounced inputs from a touch screen panel by waiting until each x and y coordinates stop altering |
US4763356A (en) | 1986-12-11 | 1988-08-09 | AT&T Information Systems, Inc. American Telephone and Telegraph Company | Touch screen form entry system |
US4821030A (en) | 1986-12-19 | 1989-04-11 | Tektronix, Inc. | Touchscreen feedback system |
US4766425A (en) | 1986-12-19 | 1988-08-23 | Tektronix, Inc. | Waveform selection by touch |
US4755811A (en) | 1987-03-24 | 1988-07-05 | Tektronix, Inc. | Touch controlled zoom of waveform displays |
KR900006180B1 (ko) | 1988-02-26 | 1990-08-25 | 주식회사 메텍스 | 디지탈멀티메터의 바그래프표시장치 |
CA1290457C (en) | 1988-03-30 | 1991-10-08 | Richard Redpath | National language support system without external files |
US5909192A (en) | 1988-03-31 | 1999-06-01 | Wiltron Company | Method of displaying graphs with markers |
US4914624A (en) | 1988-05-06 | 1990-04-03 | Dunthorn David I | Virtual button for touch screen |
JPH02131821A (ja) | 1988-11-04 | 1990-05-21 | Fanuc Ltd | 状態表示を行うワイヤ放電加工装置 |
US5230063A (en) | 1989-03-15 | 1993-07-20 | Sun Microsystems, Inc. | Method and apparatus for selecting button function and retaining selected optics on a display |
US5243697A (en) | 1989-03-15 | 1993-09-07 | Sun Microsystems, Inc. | Method and apparatus for selecting button functions and retaining selected options on a display |
CA1317678C (en) | 1989-03-20 | 1993-05-11 | William Jaaskelainen | Dynamic progress marking icon |
JP2784825B2 (ja) | 1989-12-05 | 1998-08-06 | ソニー株式会社 | 情報入力制御装置 |
GB2241629A (en) | 1990-02-27 | 1991-09-04 | Apple Computer | Content-based depictions of computer icons |
US5159673A (en) | 1990-03-22 | 1992-10-27 | Square D Company | Apparatus for networking programmable logic controllers to host computers |
JPH0685145B2 (ja) | 1990-11-28 | 1994-10-26 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション | 複数の選択されたオブジェクトの位置表示方法 |
US5257349A (en) | 1990-12-18 | 1993-10-26 | David Sarnoff Research Center, Inc. | Interactive data visualization with smart object |
EP0507470A2 (de) | 1991-04-01 | 1992-10-07 | Tektronix Inc. | Digital-Oscilloskop mit digitalem Echtzeit-Signalprozessor |
US5325481A (en) | 1991-04-12 | 1994-06-28 | Hewlett-Packard Company | Method for creating dynamic user panels in an iconic programming system |
JPH0736142B2 (ja) | 1991-10-10 | 1995-04-19 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション | 移動指示手段の運動停止を認識する方法および情報処理装置 |
US6850252B1 (en) * | 1999-10-05 | 2005-02-01 | Steven M. Hoffberg | Intelligent electronic appliance system and method |
US5596738A (en) | 1992-01-31 | 1997-01-21 | Teac Corporation | Peripheral device control system using changeable firmware in a single flash memory |
US5727174A (en) | 1992-03-23 | 1998-03-10 | International Business Machines Corporation | Graphical end-user interface for intelligent assistants |
US5664133A (en) | 1993-12-13 | 1997-09-02 | Microsoft Corporation | Context sensitive menu system/menu behavior |
EP0760117B1 (de) | 1994-05-19 | 2001-09-12 | Apple Computer, Inc. | Statusanzeiger einer graphischen benutzerschnittstelle |
US5495566A (en) | 1994-11-22 | 1996-02-27 | Microsoft Corporation | Scrolling contents of a window |
US5745718A (en) | 1995-07-31 | 1998-04-28 | International Business Machines Corporation | Folder bar widget |
US5932119A (en) * | 1996-01-05 | 1999-08-03 | Lazare Kaplan International, Inc. | Laser marking system |
US5874948A (en) | 1996-05-28 | 1999-02-23 | International Business Machines Corporation | Virtual pointing device for touchscreens |
US7146408B1 (en) | 1996-05-30 | 2006-12-05 | Schneider Automation Inc. | Method and system for monitoring a controller and displaying data from the controller in a format provided by the controller |
US5805442A (en) | 1996-05-30 | 1998-09-08 | Control Technology Corporation | Distributed interface architecture for programmable industrial control systems |
US5892440A (en) | 1997-05-14 | 1999-04-06 | Combustion Engineering Inc. | Alarm significance mapping |
US6337699B1 (en) | 1996-06-27 | 2002-01-08 | Sun Microsystems, Inc. | Visualizing degrees of information object attributes |
US5999163A (en) | 1996-11-01 | 1999-12-07 | Tektronix, Inc. | Digital oscilloscope with high live time recording of signal anomalies and method |
US6139177A (en) | 1996-12-03 | 2000-10-31 | Hewlett Packard Company | Device access and control using embedded web access functionality |
US5842020A (en) * | 1997-01-31 | 1998-11-24 | Sun Microsystems, Inc. | System, method and article of manufacture for providing dynamic user editing of object oriented components used in an object oriented applet or application |
US5978742A (en) | 1997-04-04 | 1999-11-02 | Tektronix, Inc. | Method and apparatus for digital sampling of electrical waveforms |
US5874807A (en) | 1997-08-27 | 1999-02-23 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Large area plasma processing system (LAPPS) |
US7035898B1 (en) | 1997-09-10 | 2006-04-25 | Schneider Automation Inc. | System for programming a factory automation device using a web browser |
US6151625A (en) | 1997-09-10 | 2000-11-21 | Schneider Automation Inc. | Internet web interface including programmable logic controller for controlling output devices based on status of input devices |
US6587884B1 (en) | 1997-09-10 | 2003-07-01 | Schneider Automation, Inc. | Dual ethernet protocol stack for maximum speed access to a programmable logic controller (PLC) |
US6732191B1 (en) | 1997-09-10 | 2004-05-04 | Schneider Automation Inc. | Web interface to an input/output device |
US7058693B1 (en) | 1997-09-10 | 2006-06-06 | Schneider Automation Inc. | System for programming a programmable logic controller using a web browser |
US6282454B1 (en) | 1997-09-10 | 2001-08-28 | Schneider Automation Inc. | Web interface to a programmable controller |
US6484061B2 (en) | 1997-09-10 | 2002-11-19 | Schneider Automation Inc. | Web interface to a programmable controller |
US6433801B1 (en) | 1997-09-26 | 2002-08-13 | Ericsson Inc. | Method and apparatus for using a touch screen display on a portable intelligent communications device |
US5971591A (en) * | 1997-10-20 | 1999-10-26 | Eni Technologies, Inc. | Process detection system for plasma process |
US6002398A (en) | 1997-10-30 | 1999-12-14 | Novell, Inc. | Navigation between property pages with tabs and menus |
EP0917034B1 (de) | 1997-11-14 | 2002-03-06 | Engel Maschinenbau Gesellschaft Mbh | Verfahren zur Fernüberwachung und/oder Fernwartung einer Spritzgiessmaschine |
US6177933B1 (en) | 1997-11-26 | 2001-01-23 | Adobe Systems, Inc. | Providing visual continuity when displaying related information |
EP1040406B1 (de) | 1997-12-16 | 2003-05-02 | Microsoft Corporation | System und verfahren zur virtuellen eingabe |
US6229536B1 (en) | 1998-03-05 | 2001-05-08 | Agilent Technologies, Inc. | System and method for displaying simultaneously a main waveform display and a magnified waveform display in a signal measurement system |
US6331867B1 (en) | 1998-03-20 | 2001-12-18 | Nuvomedia, Inc. | Electronic book with automated look-up of terms of within reference titles |
US6222521B1 (en) | 1998-04-03 | 2001-04-24 | Tektronix, Inc. | High waveform throughput digital oscilloscope with variable intensity rasterizer and variable intensity or color display |
US6208340B1 (en) | 1998-05-26 | 2001-03-27 | International Business Machines Corporation | Graphical user interface including a drop-down widget that permits a plurality of choices to be selected in response to a single selection of the drop-down widget |
FI114745B (fi) | 1998-06-01 | 2004-12-15 | Metso Automation Oy | Kenttälaitteiden hallintajärjestelmä |
US6891849B1 (en) | 1998-06-12 | 2005-05-10 | Phoenix Contact Gmbh & Co. | Fieldbus components, communication system and process for the transmission of data over a high speed transmission medium |
US6359634B1 (en) | 1998-08-25 | 2002-03-19 | International Business Machines Corporation | Method and computer program product for graphical user interface (GUI) organization control for extending GUI applications |
JP2000092094A (ja) | 1998-09-10 | 2000-03-31 | Toshiba Corp | イーサネット(登録商標)送受信装置 |
US6434157B1 (en) | 1998-10-06 | 2002-08-13 | Schneider Automation, Inc. | MODBUS plus ethernet bridge |
US6275987B1 (en) | 1998-11-05 | 2001-08-14 | International Business Machines Corporation | Adaptive, predictive progress indicator |
US6502234B1 (en) | 1999-01-15 | 2002-12-31 | International Business Machines Corporation | Component based wizard for creating wizards |
US6574791B1 (en) | 1999-01-15 | 2003-06-03 | International Business Machines Corporation | Component based designer for modifying and specializing wizards |
US6785730B1 (en) | 1999-02-16 | 2004-08-31 | Rebecca S. Taylor | Generic communications protocol translator |
AU3627400A (en) | 1999-03-19 | 2000-10-09 | Natrificial Llc | Method and apparatus for simultaneously resizing and relocating windows within agraphical display including extensions |
JP2000276272A (ja) | 1999-03-26 | 2000-10-06 | Mitsubishi Electric Corp | アイコンによる状態表示装置並びにその方法 |
US7263546B1 (en) | 1999-05-27 | 2007-08-28 | Invensys Systems, Inc. | Fieldbus upgradable apparatus and method |
US6335725B1 (en) | 1999-07-14 | 2002-01-01 | Hewlett-Packard Company | Method of partitioning a touch screen for data input |
US6564375B1 (en) | 1999-07-23 | 2003-05-13 | Cisco Technology, Inc. | Reusable components for customization of wizard-based applications |
US6854055B1 (en) | 1999-10-18 | 2005-02-08 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Method and system for switching active configuration memory during on-line operation of programmable field mounted device |
FR2800221B1 (fr) | 1999-10-25 | 2002-01-25 | Schneider Automation | Dispositif et boitier pour raccordement a un reseau local |
US6580442B1 (en) | 1999-12-01 | 2003-06-17 | Ericsson Inc. | Touch-based information processing device and method |
US6952727B1 (en) | 1999-12-07 | 2005-10-04 | Schneider Automation Inc. | Method for adapting a computer-to-computer communication protocol for use in an industrial control system |
US6927770B2 (en) | 2000-01-05 | 2005-08-09 | Apple Computer Inc. | Interface providing continuous feedback on task progress in a computer operating system |
US6584559B1 (en) | 2000-01-28 | 2003-06-24 | Avaya Technology Corp. | Firmware download scheme for high-availability systems |
US6628311B1 (en) | 2000-02-03 | 2003-09-30 | Ricoh Company, Ltd | Graphical user interface including hyperlinks in a help message dialog box |
DE20004400U1 (de) | 2000-03-09 | 2001-07-19 | Cooper Power Tools Gmbh & Co | Betriebsnetzwerksystem |
MXPA01011549A (es) | 2000-03-13 | 2002-06-04 | Schneider Automation | Un navegador web. |
US6493661B1 (en) | 2000-05-16 | 2002-12-10 | Scheider Automation, Inc. | Reusable multi-language support facility for software |
US7061926B2 (en) | 2000-06-15 | 2006-06-13 | Schneider Automation Inc. | Method and apparatus for a network bus topology |
US6801920B1 (en) | 2000-07-05 | 2004-10-05 | Schneider Automation Inc. | System for remote management of applications of an industrial control system |
US6760782B1 (en) | 2000-08-04 | 2004-07-06 | Schneider Automation Inc. | Apparatus for controlling internetwork communications |
AU9268901A (en) | 2000-09-15 | 2002-03-26 | Wonderware Corp | An industrial process control data access server supporting multiple client dataexchange protocols |
KR20020022530A (ko) | 2000-09-20 | 2002-03-27 | 가나이 쓰도무 | 반도체제조장치의 원격진단시스템 및 원격진단방법 |
US6832118B1 (en) | 2000-09-29 | 2004-12-14 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Programmable network control component and system of components |
US6728262B1 (en) | 2000-10-02 | 2004-04-27 | Coi Software, Inc. | System and method for integrating process control and network management |
US7443396B2 (en) | 2000-11-29 | 2008-10-28 | National Instruments Corporation | Instrument having a virtual magnifying glass for displaying magnified portions of a signal waveform |
US7062359B2 (en) * | 2000-12-29 | 2006-06-13 | Abb Ab | Substation control system |
CA2400366C (en) | 2000-12-29 | 2008-10-07 | General Electric Company | Method and system for identifying repeatedly malfunctioning equipment |
US7082576B2 (en) | 2001-01-04 | 2006-07-25 | Microsoft Corporation | System and process for dynamically displaying prioritized data objects |
US7131000B2 (en) | 2001-01-18 | 2006-10-31 | Bradee Robert L | Computer security system |
US7120917B2 (en) | 2001-02-21 | 2006-10-10 | Vega Grieshaber Kg | Process for adjusting an operating interface belonging to process devices with an internet capability, along with an arrangement exhibiting such an operating interface |
US6795798B2 (en) * | 2001-03-01 | 2004-09-21 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Remote analysis of process control plant data |
US7113904B2 (en) | 2001-03-30 | 2006-09-26 | Park City Group | System and method for providing dynamic multiple language support for application programs |
US6778921B2 (en) | 2001-04-06 | 2004-08-17 | Eni Technology, Inc. | Modular architecture for industrial power delivery system |
US7133921B2 (en) | 2001-04-06 | 2006-11-07 | Mks Instruments, Inc. | Portable devices for different control interfaces |
TW583522B (en) | 2001-04-27 | 2004-04-11 | Tokyo Electron Ltd | Remote maintenance system for semiconductor manufacturing apparatus and plant-side client and vendor-side server and storage medium and remote maintenance method for semiconductor manufacturing apparatus |
US7350207B2 (en) | 2001-05-25 | 2008-03-25 | Tellabs Operations, Inc. | Rule-based system and method for downloading computer software over a network |
US6865717B2 (en) | 2001-05-30 | 2005-03-08 | International Business Machines Corporation | Method, system, and program for generating a progress indicator |
US7290030B2 (en) | 2001-07-13 | 2007-10-30 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Internet object based interface for industrial controller |
US6819960B1 (en) | 2001-08-13 | 2004-11-16 | Rockwell Software Inc. | Industrial controller automation interface |
US7266589B2 (en) | 2001-08-13 | 2007-09-04 | General Electric Company | Service-portal enabled automation control module (ACM) |
FR2829337B1 (fr) | 2001-09-03 | 2003-10-31 | Schneider Automation | Equipement d'automatisme connecte a un reseau tcp/ip |
TW544624B (en) | 2001-09-04 | 2003-08-01 | Far Stone Tech Inc | Method for providing multinational language data display on user interface and the system thereof |
EP1430379A2 (de) | 2001-09-26 | 2004-06-23 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur rollenbasierten steuerung des zugriffs auf ressourcen eines datenverarbeitungssystems, datenverarbeitungssystem und computerprogramm |
DE10148029A1 (de) | 2001-09-28 | 2003-04-24 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Verfahren zur Datensicherung bei einem Feldgerät |
KR100439841B1 (ko) | 2001-10-05 | 2004-07-12 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조설비의 공정불량 방지방법 |
JP2003173226A (ja) | 2001-11-27 | 2003-06-20 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 情報処理装置、プログラム及び座標入力方法 |
US7281221B2 (en) | 2001-12-05 | 2007-10-09 | Siemens Building Technologies, Inc. | Work cell problem identification and notification system |
US6791545B2 (en) | 2001-12-11 | 2004-09-14 | Lecroy Corporation | Measurement icons for digital oscilloscopes |
DE10203370A1 (de) | 2002-01-29 | 2003-07-31 | Siemens Ag | Verfahren zur Steuerung einer fensterorientierten Bedienoberfläche und ein HMI Gerät zur Durchführung des Verfahrens |
WO2003065192A1 (en) | 2002-01-31 | 2003-08-07 | Nokia Corporation | Method, system and device for distinguishing pointing means |
US6857105B1 (en) | 2002-02-19 | 2005-02-15 | Adobe Systems Incorporated | Method and apparatus for expanding and contracting graphical function displays |
US6901306B2 (en) | 2002-02-27 | 2005-05-31 | Hitachi High-Technologies Corporation | Semiconductor manufacturing apparatus and its diagnosis apparatus and operating system |
JP2003271232A (ja) | 2002-03-12 | 2003-09-26 | Tokyo Electron Ltd | 製造装置の遠隔保守・診断用データを収集する方法及びシステム |
US6962644B2 (en) | 2002-03-18 | 2005-11-08 | Applied Materials, Inc. | Tandem etch chamber plasma processing system |
DE10221772A1 (de) | 2002-05-15 | 2003-11-27 | Flowtec Ag | Variables Feldgerät für die Prozeßautomation |
US7137074B1 (en) | 2002-05-31 | 2006-11-14 | Unisys Corporation | System and method for displaying alarm status |
US7203560B1 (en) | 2002-06-04 | 2007-04-10 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | System and methodology facilitating remote and automated maintenance procedures in an industrial controller environment |
JP4115198B2 (ja) | 2002-08-02 | 2008-07-09 | 株式会社日立製作所 | タッチパネルを備えた表示装置 |
US7219306B2 (en) | 2002-08-13 | 2007-05-15 | National Instruments Corporation | Representing unspecified information in a measurement system |
US7356774B2 (en) | 2002-08-13 | 2008-04-08 | National Instruments Corporation | Grouping components of a measurement system |
US20040039468A1 (en) | 2002-08-23 | 2004-02-26 | Vladimir Zahorack | Method, system and apparatus for an industrial framework based on integrated applications via adapters |
DE10241953B4 (de) | 2002-09-10 | 2005-05-04 | Siemens Ag | Verfahren zum Übertragen von Meldungen industrieller Steuerungen über Internet-Technologien an vordefinierte Empfänger |
DE10244900A1 (de) | 2002-09-26 | 2004-04-15 | Siemens Ag | Verfahren zur automatischen Erkennung von Benutzerbefehlen auf einer als Touchscreen ausgebildeten Benutzeroberfläche |
US20040205111A1 (en) | 2002-11-15 | 2004-10-14 | Zaki Chasmawala | User configurable data messages in industrial networks |
US7467018B1 (en) | 2002-11-18 | 2008-12-16 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Embedded database systems and methods in an industrial controller environment |
US7308678B2 (en) | 2003-01-15 | 2007-12-11 | Microsoft Corporation | Wizard framework |
US7024548B1 (en) | 2003-03-10 | 2006-04-04 | Cisco Technology, Inc. | Methods and apparatus for auditing and tracking changes to an existing configuration of a computerized device |
US7312827B2 (en) | 2003-03-11 | 2007-12-25 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Graphical displays |
EP1460499A1 (de) | 2003-03-17 | 2004-09-22 | Trumpf Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG | Bedienungsoberfläche einer Werkzeugmaschine |
US7089414B2 (en) | 2003-04-10 | 2006-08-08 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for updating a microcode image in a memory |
US7146541B2 (en) | 2003-05-20 | 2006-12-05 | Lucent Technologies Inc. | Back out provision for failed programmable hardware update |
DE10326493A1 (de) | 2003-06-10 | 2005-01-05 | Endress + Hauser Flowtec Ag, Reinach | Verfahren zum Übertragen von Messdaten von einem Messgerät der Prozessautomatisierungstechnik zu einer zentralen Steuereinheit |
US7184906B2 (en) * | 2003-06-26 | 2007-02-27 | Agilent Technologies, Inc. | Systems and methods for performing multi-source measurements |
US6993404B2 (en) | 2003-07-11 | 2006-01-31 | Mks Instruments, Inc. | Graphical user interface with process quality indicator |
US6995545B2 (en) | 2003-08-18 | 2006-02-07 | Mks Instruments, Inc. | Control system for a sputtering system |
JP4411953B2 (ja) | 2003-12-09 | 2010-02-10 | 横河電機株式会社 | フィールド機器のメモリ更新システム |
US7711548B2 (en) | 2003-12-23 | 2010-05-04 | International Business Machines Corporation | Method and structures to enable national language support for dynamic data |
JP4338513B2 (ja) | 2003-12-26 | 2009-10-07 | アルパイン株式会社 | 入力制御装置及び入力受付方法 |
US7197634B2 (en) | 2004-01-16 | 2007-03-27 | Dell Products L.P. | System and method for updating device firmware |
US7178103B2 (en) | 2004-02-03 | 2007-02-13 | Invensys Systems, Inc. | Systems and methods for storing configuration data in process control systems |
US7426694B2 (en) * | 2004-02-17 | 2008-09-16 | Schweitzer Engineering Laboratories, Inc. | System and method for customizing design of settings management user interface systems used to configure settings for intelligent electronic devices |
RU2270469C2 (ru) * | 2004-03-11 | 2006-02-20 | Олег Алексеевич Суханов | Система управления режимами электроэнергетических систем |
US7493337B2 (en) | 2004-03-31 | 2009-02-17 | Microsoft Corporation | Query progress estimation |
KR100586837B1 (ko) | 2004-04-13 | 2006-06-08 | 주식회사 팬택앤큐리텔 | 잔여 시간에 따른 알람 아이콘 표시 장치 및 그 방법 |
US20060130047A1 (en) | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Microsoft Corporation | System and apparatus for software versioning |
US20060136829A1 (en) | 2004-12-09 | 2006-06-22 | Microsoft Corporation | Customizable user interface for exposing customized application functionality sets |
US7421531B2 (en) | 2005-01-12 | 2008-09-02 | Rosemount Inc. | Isolating system that couples fieldbus data to a network |
ES2362225B1 (es) | 2005-02-16 | 2012-05-08 | Samsung Electronics Co, Ltd | Sistema de soporte de múltiples idiomas y procedimiento para su aplicación. |
US7262555B2 (en) | 2005-03-17 | 2007-08-28 | Micron Technology, Inc. | Method and system for discretely controllable plasma processing |
US7404123B1 (en) | 2005-03-28 | 2008-07-22 | Lam Research Corporation | Automated test and characterization data analysis methods and arrangement |
US7536538B1 (en) | 2005-03-31 | 2009-05-19 | Lam Research Corporation | Cluster tools for processing substrates using at least a key file |
US7669124B2 (en) | 2005-04-22 | 2010-02-23 | Microsoft Corporation | System and method for managing resource loading in a multilingual user interface operating system |
DE102005018910A1 (de) | 2005-04-22 | 2006-10-26 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Verfahren zum Aufrüsten eines mikroprozessorgesteuerten Geräts mit neuem Softwarecode über ein Kommunikationsnetzwerk |
US7672737B2 (en) | 2005-05-13 | 2010-03-02 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Hierarchically structured data model for utilization in industrial automation environments |
US7233830B1 (en) | 2005-05-31 | 2007-06-19 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Application and service management for industrial control devices |
KR100720989B1 (ko) | 2005-07-15 | 2007-05-28 | 주식회사 뉴파워 프라즈마 | 멀티 챔버 플라즈마 프로세스 시스템 |
DE102005033950A1 (de) | 2005-07-20 | 2007-01-25 | E.E.P.D. Electronic Equipment Produktion & Distribution Gmbh | Elektronisches Gerät |
GB2430774B (en) | 2005-10-03 | 2007-08-08 | Nec Technologies | Method of software updating and related device |
CN100428157C (zh) | 2005-10-19 | 2008-10-22 | 联想(北京)有限公司 | 一种可进行完整性检测的计算机系统和方法 |
US20070150819A1 (en) | 2005-12-09 | 2007-06-28 | Mks Instruments, Inc. | Graphical User Interface |
US7475358B2 (en) | 2006-02-14 | 2009-01-06 | International Business Machines Corporation | Alternate progress indicator displays |
JP5091413B2 (ja) | 2006-03-08 | 2012-12-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置および基板処理装置の制御方法 |
US20070288125A1 (en) | 2006-06-09 | 2007-12-13 | Mks Instruments, Inc. | Power Over Ethernet (Poe) - Based Measurement System |
US8190299B2 (en) * | 2006-07-19 | 2012-05-29 | Rovnyak Steven M | Integrated and optimized distributed generation and interconnect system controller |
EP1883011A1 (de) | 2006-07-21 | 2008-01-30 | Software Ag | System und Verfahren zur Erzeugung von Laufzeitnachrichten |
EP1895374B1 (de) | 2006-08-29 | 2016-04-06 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | HMI-Geräte mit integriertem benutzerdefiniertem Verhalten |
US7612661B1 (en) | 2006-09-29 | 2009-11-03 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Dynamic messages |
US8271773B2 (en) | 2006-10-17 | 2012-09-18 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Configurable field device for use in process automation systems |
US7843897B2 (en) * | 2006-10-30 | 2010-11-30 | Schweitzer Engineering Laboratories, Inc. | System, apparatus and method for mixed mode communication on a single network |
DE102006056879A1 (de) | 2006-12-01 | 2008-06-05 | Dürr Systems GmbH | Fehlerprotokollierungsverfahren für eine Beschichtungsanlage |
US7777732B2 (en) | 2007-01-03 | 2010-08-17 | Apple Inc. | Multi-event input system |
DE502007004382D1 (de) | 2007-01-09 | 2010-08-26 | Siemens Ag | Verfahren zur Fehlersuche in einem Automatisierungsgerät |
WO2008090420A1 (en) | 2007-01-23 | 2008-07-31 | Adrian Vasiu | System and method of content and translations management in multi-language enabled applications |
US20080183303A1 (en) | 2007-01-26 | 2008-07-31 | West Scott A | Operator interface device for HMI system |
US8401708B2 (en) * | 2007-03-26 | 2013-03-19 | Vpec, Inc. | Electric power system |
JP2008243136A (ja) | 2007-03-29 | 2008-10-09 | Fujitsu Ltd | 構成変更情報分析プログラム、最新ドキュメント判定プログラム、構成変更情報分析装置、最新ドキュメント判定装置。 |
US8271103B2 (en) | 2007-05-02 | 2012-09-18 | Mks Instruments, Inc. | Automated model building and model updating |
US9105449B2 (en) | 2007-06-29 | 2015-08-11 | Lam Research Corporation | Distributed power arrangements for localizing power delivery |
US9454411B2 (en) | 2007-08-30 | 2016-09-27 | International Business Machines Corporation | User-selectable progress bar threshold triggers and notification by detecting color change |
US8191005B2 (en) | 2007-09-27 | 2012-05-29 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Dynamically generating visualizations in industrial automation environment as a function of context and state information |
US20090094682A1 (en) | 2007-10-05 | 2009-04-09 | Peter Sage | Methods and systems for user authorization |
US20090119669A1 (en) | 2007-11-06 | 2009-05-07 | David Everton Norman | User-specified configuration of scheduling services |
US20090119618A1 (en) | 2007-11-06 | 2009-05-07 | David Everton Norman | User-specified configuration of prediction services |
US20090143889A1 (en) * | 2007-11-30 | 2009-06-04 | Brady Kevin C | Equipment operating status tracking system |
-
2010
- 2010-10-20 DE DE102010048810A patent/DE102010048810A1/de active Pending
-
2011
- 2011-10-18 KR KR1020110106616A patent/KR20120041129A/ko not_active Application Discontinuation
- 2011-10-19 US US13/276,697 patent/US8993943B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1589793A1 (de) * | 2003-01-16 | 2005-10-26 | Japan Science and Technology Agency | Hochfrequenz-stromversorgungseinrichtung und plasmagenerator |
EP1801946B1 (de) * | 2005-12-22 | 2009-01-21 | HÜTTINGER Elektronik GmbH + Co. KG | Verfahren und Vorrichtung zur Arcerkennung in einem Plasmaprozess |
DE102006052061A1 (de) * | 2006-11-04 | 2008-05-08 | Hüttinger Elektronik Gmbh + Co. Kg | Verfahren zur Ansteuerung von zumindest zwei HF-Leistungsgeneratoren |
WO2008061784A1 (de) * | 2006-11-24 | 2008-05-29 | Hüttinger Elektronik Gmbh + Co. Kg | Dezentrale plasma-arcsteuerung |
JP2009187976A (ja) * | 2008-02-01 | 2009-08-20 | Tokyo Electron Ltd | 情報処理装置、情報処理方法、およびプログラム |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011055125B4 (de) * | 2010-11-16 | 2017-05-11 | Denso Corporation | Plasmaerzeugungsvorrichtung |
Also Published As
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