DE102012212333A1

DE102012212333A1 - Verfahren und vorrichtung zum bestimmen eines masses einer dicke eines polierkissens einer poliermaschine

Info

Publication number: DE102012212333A1
Application number: DE102012212333A
Authority: DE
Inventors: Sven Hildebrandt; Christian Thaldorf
Original assignee: Infineon Technologies AG
Current assignee: Infineon Technologies AG
Priority date: 2011-07-15
Filing date: 2012-07-13
Publication date: 2013-01-17
Also published as: US20130017762A1; CN102873632A; CN102873632B

Abstract

Eine Vorrichtung zum Bestimmen eines Maßes einer Dicke eines Polierkissens einer Poliermaschine umfasst einen Detektor und einen Bestimmer. Der Detektor ist konfiguriert, um eine Position eines Trägers eines zu polierenden Elements in einer Druckrichtung zu erfassen, während das Element durch den Träger mit einem definierten Druck in der Druckrichtung gegen das Polierkissen gedrückt wird. Der Detektor ist ferner konfiguriert, um ein Signal auszugeben, das die Position des Trägers anzeigt. Der Bestimmer ist konfiguriert, um das Maß der Dicke des Polierkissens basierend auf dem Signal zu bestimmen, das die Position des Trägers anzeigt.

Description

Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung beziehen sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Bestimmen eines Maßes einer Dicke eines Polierkissens einer Poliermaschine und auf eine Poliermaschine.
Eine Poliermaschine wird verwendet, um ein Element, z. B. einen Wafer, zu polieren, um eine ebene Oberfläche des Elements bereitzustellen. Zu diesem Zweck wird die Oberfläche des Elements durch Verwenden eines Polierkissens abgeschliffen und geebnet. Bei dem Prozess des Polierens des Elements wird das Element relativ parallel zu dem Polierkissen bewegt und/oder gedreht, während das Element durch einen Träger der Poliermaschine gegen das Polierkissen gedrückt wird. Der Polierprozess oder genauer gesagt, mehrere Polierprozesse bewirken ein Abschleifen des Polierkissens, das ein Verschleißteil der Poliermaschine darstellt. Daher wird ein Polierkissen ersetzt, wenn eine bestimmte Anzahl von Elementen poliert wurden oder wenn eine minimale Restdicke des Polierkissens erreicht ist. Aufgrund der geringen Kissendicke, z. B. 1200 μm, ist es eine schwierige Aufgabe, die Dicke des Polierkissens genau zu bestimmen und zu überwachen.
Ein Ausführungsbeispiel schafft eine Vorrichtung zum Bestimmen eines Maßes einer Dicke eines Polierkissens einer Poliermaschine. Die Vorrichtung weist einen Detektor auf, der konfiguriert ist, um eine Position eines Trägers eines zu polierenden Elements in einer Druckrichtung zu erfassen, während das Element durch den Träger mit einem definierten Druck in der Druckrichtung gegen das Polierkissen gedrückt wird, und um ein Signal auszugeben, das die Position des Trägers anzeigt. Die Vorrichtung weist ferner einen Bestimmer auf, der konfiguriert ist, um das Maß der Dicke des Polierkissens basierend auf dem Signal zu bestimmen, das die Position des Trägers anzeigt.
Ein weiteres Ausführungsbeispiel schafft eine Vorrichtung zum Bestimmen eines Maßes einer Dicke eines Polierkissens einer Poliermaschine. Die Vorrichtung weist einen Detektor auf, der konfiguriert ist, um eine Position eines Trägers eines zu polierenden Elements in einer Polierrichtung zu erfassen, während das Element durch den Träger mit einem definierten Druck in der Druckrichtung gegen das Polierkissen gedrückt wird, wobei der Detektor konfiguriert ist, um ein Signal auszugeben, das die Position des Trägers anzeigt. Die Vorrichtung weist ferner einen Bestimmer auf, der konfiguriert ist, um das Maß der Dicke des Polierkissens basierend auf dem Signal zu bestimmen, das die Position des Trägers anzeigt, und auf der Basis von Kalibrierungsdaten, die im Voraus erhalten werden unter Verwendung des Polierkissens einer bekannten Dicke, eines vorbestimmten Drucks und einer vorbestimmten Dicke des Elements, wobei der Bestimmer konfiguriert ist, um ein Alarmsignal auszugeben, falls die bestimmte Dicke des Polierkissens unter einen Schwellenwert fällt.
Ein weiteres Ausführungsbeispiel schafft eine Poliermaschine zum Polieren eines Elements. Die Poliermaschine weist eine Auflage auf, auf der ein Polierkissen befestigt ist, und einen Träger des zu polierenden Elements. Der Träger ist konfiguriert, um sich in einer Druckrichtung zu bewegen und um das Element mit einem definierten Druck in der Druckrichtung gegen das Polierkissen zu drücken, und um das Element relativ parallel zu einem Polierkissen zu bewegen und/oder zu drehen. Die Poliermaschine weist einen Detektor auf, der konfiguriert ist, um eine Position des Trägers zu erfassen, während das Element durch den Träger mit dem definierten Druck in der Druckrichtung gegen das Polierkissen gedrückt wird, und um ein Signal auszugeben, das die Position des Trägers anzeigt. Die Poliermaschine weist ferner einen Bestimmer auf, der konfiguriert ist, um das Maß der Dicke des Polierkissens basierend auf dem Signal zu bestimmen, das eine Position eines Trägers anzeigt.
Ein weiteres Ausführungsbeispiel schafft ein Verfahren zum Bestimmen eines Maßes einer Dicke eines Polierkissens einer Poliermaschine. Das Verfahren weist folgende Schritte auf: Erfassen einer Position eines Trägers eines zu polierenden Elements in einer Druckrichtung, während das Element durch den Träger mit einem definierten Druck in der Druckrichtung gegen das Polierkissen gedrückt wird; Ausgeben eines Signals, das die Position des Trägers anzeigt. Das Dickemaß des Polierkissens wird basierend auf dem Signal bestimmt, das die Position eines Trägers anzeigt.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend Bezug nehmend auf beiliegende Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
1 ein schematisches Blockdiagramm eines Detektors und eines Bestimmers, die an eine Poliermaschine gemäß einem Ausführungsbeispiel angelegt sind;
2a zeigt ein schematisches Diagramm eines Drucks, der durch einen Träger ausgeübt wird und eine nachfolgende Komprimierung eines Polierkissens, um den Einfluss des Drucks auf eine Bestimmung eines Maßes einer Dicke des Polierkissens darzustellen;
2b eine schematische Ansicht einer Poliermaschine mit fünf Trägern, um den Einfluss einer Anzahl von Trägern darzustellen, die bei einer Bestimmung eines Maßes einer Dicke eines Polierkissens verwendet werden;
2c eine schematische mehrdimensionale Tabelle, um eine Beziehung eines Maßes einer Dicke mit einem Signal darzustellen, das eine Position eines Träges abhängig von Einflussfaktoren anzeigt;
3 ein Diagramm einer Mehrzahl von Signalen, die die Position eines Trägers zeitlich aufeinanderfolgend darstellen, aufgezeichnet über der Zeit während eines Polierprozesses;
4 ein schematisches Diagramm von bestimmten Dickemaßen von sieben Polierkissen, aufgezeichnet über der Zeit;
5a eine schematische Ansicht eines Ausführungsbeispiels mit einem optischen Detektor und einem Bestimmer, die an eine Poliermaschine angelegt sind; und
5b ein schematisches Diagramm eines Signals, das eine Position eines Trägers anzeigt, der durch den optischen Detektor erfasst wird, gemäß dem Ausführungsbeispiel von 5a.
1 zeigt ein Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung 10 zum Bestimmen eines Maßes einer Dicke t eines Polierkissens 12 einer Poliermaschine 14. Die Vorrichtung 10 weist einen Detektor 16 und einen Bestimmer 18 auf. Der Detektor 16 ist konfiguriert, um eine Position 20 eines Trägers 22 der Poliermaschine 14 in einer Druckrichtung 24 zu erfassen, und um ein Signal 26 auszugeben, das die Position 20 des Trägers 22 anzeigt. Die Vorrichtung 10 ist bei diesem Ausführungsbeispiel an die Poliermaschine 14 angelegt, die eine Auflage 28 aufweist, auf der das Polierkissen 12 befestigt ist. Die Poliermaschine 14 weist ferner den Träger 22 eines zu polierenden Elements 30 auf, der durch den Träger 22 mit einem definierten Druck t₁, z. B. 1600 N, in der Druckrichtung 24 gegen das Polierkissen 12 gedrückt wird. Der Träger 22, der das Element 30 hält, ist relativ zu der Auflage 28 in der Druckrichtung 24 senkrecht zu der Auflage 28 bewegbar und kann somit in der Druckrichtung 24 unterschiedliche Positionen 20 haben.
Nachfolgend wird die Funktion der Vorrichtung 10 zum Bestimmen des Maßes der Dicke t basierend auf der Position 20 des Trägers 22 beschrieben. Die Dicke t des Polierkissens 12 ist die Ausdehnung desselben in der Druckrichtung 24.
Die Position 20 des Trägers 22 in der Druckrichtung 24 hängt von der Dicke t des Polierkissens 12 ab, während das Element 30 durch den Träger 22 mit dem definierten Druck t₁ gedrückt wird. Der Detektor 16 erfasst die Position 20 und gibt das Signal 26, das die Position 20 angibt, beispielsweise eine Spannung, an den Bestimmer 18 aus. Der Bestimmer 18 bestimmt auf der Basis des Signals 26 das Maß der Dicke t unter der Annahme einer bekannten oder konstanten Dicke des Elements 30. Die Messung kann ein absoluter oder ein relativer Wert der Dicke t sein. Es ist vorteilhaft, dass das Maß der Dicke t des Polierkissens 12 und somit ein Abschleifen des Polierkissens 12 während des Polierprozesses des Elements 30 erfasst und/oder überwacht werden kann. So kann das Polierkissen 12 zum vollen Ausmaß verwendet werden, oder anders ausgedrückt, bis zu der minimalen vordefinierten Restdicke t. Außerdem kann die Vorrichtung 10 bei verschiedenen Arten bestehender Poliermaschinen angewendet werden.
Ausführungsbeispiele basieren auf der Erkenntnis, dass es möglich ist, ein Maß der Dicke t eines Polierkissens indirekt zu bestimmen durch Erfassen der Position eines Trägers, der ein zu polierendes Element gegen das Polierkissen drückt. Die Position des Trägers kann unter Verwendung geeigneter Detektoren, wie z. B. eines laserbasierten optischen Sensors oder eines kapazitiven Wandlers auf einfache Weise erfasst werden. Folglich kann die Dicke t des Polierkissens auf zuverlässige Weise bestimmt werden, selbst während eines Polierprozesses, ohne die Dicke t des Polierkissens direkt messen zu müssen.
Bei Ausführungsbeispielen werden Bedingungen während des Bestimmens des Maßes der Dicke t des Polierkissens gesteuert, um Bedingungen zu entsprechen, während Kalibrierungsdaten erhalten werden, so dass das Maß der Dicke t des Polierkissens von dem Ausgangssignal des Detektors direkt abgeleitet werden kann durch Zugreifen auf die Kalibrierungsdaten unter Verwendung des Ausgangssignals des Detektors.
Bei anderen Ausführungsbeispielen werden Kalibrierungsdaten für unterschiedliche Bedingungen erhalten, d. h. Einflussfaktoren, wie z. B. unterschiedliche Drücke, eine unterschiedliche Anzahl von Elementen, die gegen das Polierkissen gedrückt werden, und/oder unterschiedliche Dicken des zu polierenden Elements. Bei solchen Ausführungsbeispielen können basierend auf den Kalibrierungsdaten Nachschlagtabellen erzeugt werden und auf dieselben wird zugegriffen basierend auf einer oder mehreren der aktuellen Bedingungen, die vorliegen, wenn die Dicke t des Polierkissens bestimmt wird. Geeignete Sensoren zum Erfassen der tatsächlichen Bedingungen können vorgesehen sein. Bei anderen Ausführungsbeispielen können die tatsächlichen Bedingungen durch einen Betreiber in das Gerät eingegeben werden. Das Zugreifen auf die Nachschlagtabelle, um die tatsächlichen Bedingungen zu berücksichtigen, kann so gesehen werden, dass ein oder mehrere Korrekturfaktoren berücksichtigt werden beim Bestimmen des Maßes der Dicke t des Polierkissens.
Mit Bezugnahme auf 2a bis 2c werden Einflussfaktoren für die Bestimmung des Maßes der Dicke t des Polierkissens beschrieben. Die Einflussfaktoren können der Druck p sein, mit dem das Element gegen das Polierkissen gedrückt wird, eine tatsächliche Dicke des zu polierenden Elements, eine Charakteristik des verwendeten Trägers, z. B. eine Dicke des Trägers, und eine Anzahl von Elementen, die durch jeweilige Träger parallel an das Polierkissen gedrückt werden.
2a zeigt beispielhaft eine Komprimierung des Polierkissens abhängig von dem Druck p, mit dem das Element durch den Träger einer Poliermaschine gegen das Polierkissen gedrückt wird. Das Diagramm zeigt eine Kurve 32 gemessener Punkte der Polierkissenkomprimierung aufgezeichnet über den Druck p. Die Kurve 32, die durch ein Experiment erhalten wird, zeigt eine im Wesentlichen lineare Abhängigkeit von den zwei Messparametern von einem Bestimmtheitsmaß von 99,3%, wie es durch eine lineare Kurve 34 dargestellt ist. Die folgende Beschreibung fährt fort unter der Annahme einer linearen Abhängigkeit von dem Druck p und der Position des Trägers auf deren Basis die Dicke t des Polierkissens bestimmt wird. Die Komprimierung des Polierkissens verursacht durch den Druck p ergibt sich aus einer elastischen Deformation des Polierkissens und hat keine Auswirkung auf die Dicke t, aber auf ihre Bestimmung.
Die Abhängigkeit von dem Druck p beeinflusst die Bestimmung des Maßes der Dicke t. Somit wird gemäß Ausführungsbeispielen der definierte Druck p₁ gesteuert, um einem vorbestimmten Druck p₂ zu entsprechen, mit dem das Element gegen das Polierkissen gedrückt wurde, als Kalibrierungsdaten erhalten wurden. Somit erfasst der Detektor die Position des Trägers, wenn Bedingungen bezüglich des Drucks p Bedingungen während des Erhaltens der Kalibrierungsdaten entsprechen, d. h. wenn der definierte Druck p₁ gleich dem vorbestimmten Druck p₂ ist. Bei anderen Ausführungsbeispielen kann der Bestimmer einen Korrekturfaktor verwenden, der eine Differenz zwischen dem definierten Druck p₁ und dem vorbestimmten Druck p₂ beim Bestimmen der Dicke des Polierkissens reflektiert.
Die tatsächliche Dicke des zu polierenden Elements oder des Elements, das poliert wird, ist ein weiterer Faktor, der die Bestimmung des Maßes der Dicke t direkt beeinflusst. Gemäß Ausführungsbeispielen entspricht die tatsächliche Dicke des Elements einer vorbestimmten Dicke eines Elements, das verwendet wird, während die Kalibrierungsdaten erhalten werden. Bei anderen Ausführungsbeispielen kann der Bestimmer, wenn die Dicke t des Polierkissens bestimmt wird, einen Korrekturfaktor verwenden, der eine Differenz zwischen der tatsächlichen Dicke des Elements zu dem Zeitpunkt zu dem die Dicke t des Polierkissens bestimmt wird, und der vorbestimmten Dicke reflektiert.
2b zeigt schematisch eine Poliermaschine 40 mit fünf Trägern für fünf zu polierende Elemente. Die Poliermaschine 40 entspricht im Wesentlichen der Poliermaschine 14, die mit Bezug auf 1 gezeigt ist, aber im Gegensatz dazu hat die Poliermaschine 40 fünf bewegbare Träger 42a, 42b, 42c, 42d, 42e. Jeder Träger 42a, 42b, 42c, 42d, 42e weist einen jeweiligen Abwärtskraftzylinder 44a, 44b, 44c, 44d und 44e auf, der konfiguriert ist, um ein Element 46a, 46b, 46c, 46d, 46e mit dem definierten Druck p₁ in der Druckrichtung 24 gegen das Polierkissen 12 zu drücken. Der Detektor 16 ist dem Träger 42b zugeordnet, um die Position 20 des Trägers 42b wie oben beschrieben zu erfassen.
Die Position 20 des Trägers 42b, die durch den Detektor 16 erfasst wird, hängt von einer Anzahl und/oder einer Position von Trägern 42a, 42b, 42c, 42d, 42e ab, die parallel verwendet werden, oder anders ausgedrückt von einer Anzahl und/oder einer Position von Elementen, die parallel gegen das Polierkissen 12 gedrückt werden. Der Hintergrund hiervon ist, dass eine Lastverteilung auf das Polierkissen 12 variiert abhängig von einer jeweiligen Trägerkonfiguration, d. h. abhängig von der Anzahl von Trägern, die tatsächlich verwendet werden oder abhängig von der Position von Trägern, die tatsächlich verwendet werden. Die Lastverteilung unterscheidet sich beispielsweise, falls Träger mit einem geringen Abstand zueinander (z. B. Träger 42b und 42c) oder Träger mit einem größeren Abstand zueinander (z. B. Träger 42b und 42d) verwendet werden. Bei Ausführungsbeispielen erfasst der Detektor 16 die Position 20 des Trägers 42b, während die Bedingungen bezüglich der Anzahl und/oder der Position der Träger 42a, 42b, 42c, 42d, 42e, die verwendet werden, und der Anzahl und/oder der Position der zu polierenden Elemente 46a, 46b, 46c, 46d, 46e den Bedingungen entsprechen, während die Kalibrierungsdaten erhalten werden. Bei anderen Ausführungsbeispielen kann der Bestimmer, wenn er die Dicke t des Polierkissens bestimmt, einen Korrekturfaktor verwenden, der eine Differenz zwischen der Anzahl und/oder der Position der Träger (oder Elemente), die tatsächlich verwendet werden, und der Anzahl und/oder der Position der Träger (oder Elemente), die während des Erhaltens der Kalibrierungsdaten verwendet wurden, reflektiert.
Ferner hat der Träger selbst einen Einfluss auf die Bestimmung des Maßes der Dicke t des Polierkissens, aufgrund beispielsweise einer Dicke des Trägers oder seiner geometrischen Toleranzen. Somit können die Kalibrierungsdaten erhalten werden nach jeder Änderung des Trägers, um vergleichbare Bedingungen bezüglich des Trägers während der Bestimmung der Dicke t und des Erhaltens der Kalibrierungsdaten sicherzustellen.
2c zeigt eine mehrdimensionale Tabelle der Dicke t abhängig von dem Signal, das die Position des Trägers anzeigt, und abhängig von oben erörterten Einflussfaktoren, wie z. B. dem definierten Druck p₁ und der Anzahl von Elementen (siehe 46a, 46b, 46c, 46d, 46e), die parallel gegen das Polierkissen gedrückt werden. In einem Bereich 47 der Tabelle sind die Signale, die die Position anzeigen (siehe Spalte 48a) jeweiligen Werten der Dicke t (siehe Spalte 49a) zugewiesen. In jeder Zeile stimmt ein Signal, z. B. Signal 48a_3 mit einem jeweiligen absoluten Wert der Dicke t, z. B. 49a_3 überein, für den Fall der Verwendung eines Trägers. In einer zweiten Dimension sind die Signale (siehe Spalte 48a) den jeweiligen Werten der Dicke t (siehe Spalte 49a, 49b, 49c, 49d und 49e) zugeordnet, abhängig von der Anzahl von verwendeten Trägern. In einer dritten Dimension sind die jeweiligen Signale (siehe Spalte 48a, 48b, 48c, 48d und 48e) dem definierten Druck p₁ zugewiesen, mit dem das Element während der Bestimmung des Maßes der Dicke t gegen das Polierkissen gedrückt wird. Der definierte Druck p₁ wird beschrieben durch einen Wert, der von dem vorbestimmten Druck p₂ abhängt. Die mehrdimensionale Tabelle kann weitere Abmessungen aufweisen, wie z. B. zum Korrigieren eines Einflusses der tatsächlichen Dicke des Elements, die sich von der vordefinierten Dicke unterscheiden kann.
Das Erhalten der Werte einer Tabelle, die die Werte der Dicke t den Ausgangssignalen des Detektors, den jeweiligen Drücken p, der Anzahl von verwendeten Trägern und/oder der Dicke des Elements zuweisen, können Teil des Erhaltens der Kalibrierungsdaten unter Verwendung eines Polierkissens einer bekannten Dicke t sein. Bei diesem Ausführungsbeispiel haben das Ausgangssignal des Detektors, die Werte der Dicke t und der Druck p eine lineare Abhängigkeit, wie es oben beschrieben ist. Die Abhängigkeit zwischen dem Ausgangssignal des Detektors, dem Wert der Dicke t, der Anzahl der Träger und/oder dem Druck p kann linear oder nicht linear sein.
Die beschriebene Zuordnung, die die Kalibrierungstabelle verwendet, entspricht der Bestimmung der Dicke t durch Anlegen von einem oder mehreren Korrekturfaktoren, wobei ein erster Korrekturfaktor von einer Differenz zwischen dem definierten Druck p₁ und dem vorbestimmten Druck p₂ abhängt, ein zweiter Korrekturfaktor von einer Differenz zwischen der tatsächlichen Dicke des zu polierenden Elements und der vorbestimmten Dicke abhängt, und ein dritter Korrekturfaktor von einer Anzahl an Elementen abhängt, die durch die jeweiligen Träger (siehe 42a, 42b, 42c, 42d und 42d) parallel an das Polierkissen gedrückt werden. Gemäß einem Ausführungsbeispiel ist der Bestimmer konfiguriert, um das Maß der Dicke t durch Verwenden einer solchen mehrdimensionalen Nachschlagtabelle zu bestimmen. Es ist vorteilhaft, dass die Dicke t des Polierkissens unter unterschiedlichen Bedingungen bestimmt werden kann, z. B. einem anderen definierten Druck p₁.
Bei anderen Ausführungsbeispielen wird die Vorrichtung gesteuert, so dass die Bedingungen allen Bedingungen des Erhaltens der Kalibrierungsdaten entsprechen, so dass die Dicke t von dem Ausgangssignal des Detektors direkt bestimmt werden kann, wie z. B. durch Verwenden einer Zuordnungstabelle mit nur einer einzigen Spalte. Bei anderen Ausführungsbeispielen werden ein oder mehrere Korrekturfaktoren verwendet abhängig davon, welche Bedingungen nicht den Bedingungen der Kalibrierung entsprechen.
3 zeigt ein Diagramm des Signals, das die Position des Trägers anzeigt, aufgezeichnet über der Zeit eines Polierprozesses. Hier zeigt eine Kurve 50 eine Mehrzahl von Signalen, die zeitlich aufeinanderfolgend während drei Phasen des Polierprozesses erfasst werden. Die erste Phase 52 ist von dem Anfang des Polierprozesses zu dem Zeitpunkt, wenn die Poliermaschine in einem stationären Zustand ist. Die zweite Phase 54 stellt das Hauptintervall des Polierprozesses dar, bei dem die Poliermaschine 14 in einem stationären Zustand ist. Die dritte Phase 56 stellt das Intervall genau vor den Abschluss des Polierprozesses und dem Abheben des Trägers dar.
Die Kurve 50 zeigt in der ersten Phase 52 und der dritten Phase 56 hohe und verzerrte Werte aufgrund des Absenkens und Hochhebens des Trägers. In der zweiten Phase 54 zeigt das Signal eine konstante Kurvenform mit kleinen Oszillationen. Die Oszillationen des Signals können durch Oszillationen der Poliermaschine während des Polierprozesses verursacht werden. Aufgrund der konstanten Werte in dem zweiten Intervall 54 erfasst der Detektor gemäß diesem Ausführungsbeispiel die Position des Trägers zu einer vorbestimmten Zeit des Polierprozesses in diesem Intervall 54. Um die Oszillationen des Signals zu eliminieren, bestimmt der Bestimmer gemäß Ausführungsbeispielen das Maß der Dicke t basierend auf einem Mittelwert der Mehrzahl der Signalen zeitlich aufeinanderfolgend während eines weiteren Intervalls 58, das ein ordnungsgemäßer Teilsatz des Intervalls 54 ist und eine Dauer von 30 Sekunden haben kann.
Das Abschleifen des zu polierenden Elements während des Intervalls 58 oder während eines einzelnen Polierprozesses ist vergleichsweise gering, so dass das Abschleifen die Bestimmung des Maßes der Dicke t nicht wesentlich beeinträchtigt oder beeinflusst. Ferner kann der Detektor die Position zu einer vorbestimmten Zeit des Polierprozesses erfassen, so dass Bestimmungen eines ersten und zweiten Maßes der Dicke t während eines ersten und eines zweiten Polierprozesses vergleichbar sind.
4 zeigt ein Diagramm unterschiedlicher Maße der Dicke t, die durch oben beschriebene Vorrichtung und Verfahren bestimmt werden. Das Diagramm ist aufgezeichnet über der Zeit von etwa 7 Wochen und zeigt Messpunkte von sieben unterschiedlichen Polierkissen 61a, 61b, 61c, 61d, 61e, 61f und 61g. Jedes Polierkissen hat eine Anfangsdicke t von etwa 1200 μm und wird bis zu der erlaubten Restdicke t des Polierkissens, z. B. 800 μm oder sogar länger verwendet.
Der Wert der erlaubten Restpolierkissendicke t stellt einen Schwellenwert 60 dar. Um ein Polierkissen zur vollen Kapazität auszunutzen (bis zu der minimalen vordefinierten Restdicke t) kann der Bestimmer konfiguriert werden, um ein Alarmsignal auszugeben, falls die bestimmte Dicke t des Polierkissens unter den Schwellenwert 60 fällt. Der Schwellenwert 60 kann auf individueller Basis für jede Art von Polierkissen bestimmt werden. Die Anfangsdicke t des Polierkissens kann in einem begrenzten Bereich von etwa 80 μm Schwankungen unterworfen sein. Daher kann der Bestimmer nach dem Wechsel des Polierkissens auf eine bekannte Anfangsdicke t des Polierkissens kalibriert werden, um den Schwellenwert 60 relativ zu der Anfangsdicke t des Polierkissens einzustellen. Dies ermöglicht es, das Alarmsignal basierend auf einem Abschleifen des Polierkissens einzustellen.
Nachfolgend wird ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel mit einem optischen Detektor mit Bezugnahme auf 5a und 5b erörtert.
5a zeigt ein Ausführungsbeispiel, das mit dem Ausführungsbeispiel von 1a vergleichbar ist, wobei der Detektor durch einen optischen Detektor 62 gebildet wird. Der Detektor 62 weist einen Reflektor 64 auf, der einem Träger 22 zugeordnet ist, so dass die Position 20 des Trägers 22 mit einer Position 65 des Reflektors 64 gekoppelt ist. Der Detektor 62 weist ferner eine feste Signalquelle 66 auf, beispielsweise einen Laser, und einen festen Sensor 68, z. B. einen CCD-Chip. Der Reflektor 64 kann um 30 mm (dargestellt durch 2b) relativ zu der Signalquelle 66 verschoben sein und kann einen Bewegungsbereich von +/– 5 mm aufweisen, dargestellt durch zwei Positionen 65b und 65c. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist die Signalquelle 66 angeordnet, so dass eine elektromagnetische Welle 70 entlang der Druckrichtung 24 zu dem Reflektor 64 emittiert wird. Der Sensor 68 ist abgewinkelt relativ zu der Signalquelle 66, so dass derselbe konfiguriert ist, um eine elektromagnetische Welle 71a, 71b und 71c zu empfangen, die durch den Reflektor 64 diffus reflektiert wird. Die Signalquelle 66 kann ferner eine Linse 42 aufweisen, über die elektromagnetische Welle 70 emittiert wird. Der Sensor 68 kann ferner eine Linse 74 aufweisen, über die elektromagnetische Welle 71a, 71b oder 71c empfangen wird.
Nachfolgend wird die Funktion des Detektors 62 dieses Ausführungsbeispiels erörtert.
Die Signalquelle 66 emittiert die elektromagnetische Welle 70, die durch den Reflektor 64 zu dem Sensor 68 reflektiert wird. Der Sensor 68 empfangt die elektromagnetische Welle 71a, 71b oder 71c unter einem Einfallswinkel α, der von der Position 65 des Reflektors 64 abhängt. Falls der Reflektor 64 beispielsweise in einer Position 65a ist, reflektiert derselbe die elektromagnetische Welle 70, so dass der Sensor 68 die elektromagnetische Welle 71a unter einem ersten Einfallswinkel α empfängt. Analog wird die elektromagnetische Welle 77b oder 71c unter einem zweiten und dritten Einfallswinkel α empfangen, falls der Reflektor 64 in der Position 65b bzw. 65c ist. Der Sensor 68 ist konfiguriert, um den Einfallswinkel α zu erhalten. Bei dem Ausführungsbeispiel entspricht der erhaltene Einfallswinkel α dem elektrischen Signal 26, das durch den Detektor 62 ausgegeben wird, oder genauer gesagt durch den Sensor 68 des Bestimmers 18. Wie es mit Bezugnahme auf 1 beschrieben ist, bestimmt der Bestimmer die Dicke t des Polierkissens 12 auf der Basis des Signals 26, das den Einfallswinkel α anzeigt und somit die Position 65 des Reflektors 64 bzw. die Position 20 des Trägers 22 anzeigt.
Nachfolgend wird die Erfassung des Einfallswinkels α beschrieben. 5b zeigt schematisch ein Intensitätsspektrum, das über einen Positionsparameter x (Breite) des Sensors 68 aufgezeichnet ist. Eine beispielhafte Kurve 78 der empfangenen elektromagnetischen Welle 71b zeigt eine maximale Intensität an einer Position 79b.
Die diffus reflektierte elektromagnetische Welle 71a, 71b oder 71c wird durch die Linse zu dem Sensor 68 projiziert, so dass die Position x der maximalen Intensität von dem Einfallswinkel α abhängt. Beispielhaft sind drei unterschiedliche Positionen x 79a, 79b und 79c für den jeweils ersten, zweiten und dritten Einfallswinkel α (der jeweiligen elektromagnetischen Welle 71a, 71b und 71c) dargestellt. Es ist vorteilhaft, dass der Einfallswinkel α und somit die Dicke t des Polierkissens 12 exakt erhalten werden können aufgrund der klaren maximalen Intensität der Kurve 78.
Eine Alternative für die Bestimmung der Dicke t des Polierkissens auf der Basis des Einfallswinkels ist es, die Dicke t durch Verwenden eines anderen optischen Sensors zu bestimmen. Ein Ausführungsbeispiel für solch einen optischen Sensor wäre es, die Laufzeit der elektromagnetischen Welle 70 zu erhalten, die durch die feste Signalquelle 66 emittiert wird, die durch den Reflektor 64 direkt auf einen festen Sensor reflektiert wird. Der feste Sensor ist konfiguriert, um die Laufzeit zu erhalten, die von der Position des Reflektors abhängt, oder, genauer gesagt, von dem Abstand d zwischen der Signalquelle 66 und dem Reflektor 64 und dem Abstand zwischen dem Sensor und dem Reflektor 64 sowie von der Lichtgeschwindigkeit. Daher bestimmt der Bestimmer 18 die Position des Trägers 22 auf der Basis einer Zeitdifferenz zwischen dem Zeitpunkt des Emittierens der elektromagnetischen Welle 70 und dem Zeitpunkt des Empfangens der reflektierten elektromagnetischen Welle 71a, 71b oder 71c.
Detektoren alternativer Ausführungsbeispiele können einen elektrischen Sensor verwenden, wie z. B. einen Halleffekt-Sensor, ein Potentiometer oder einen kapazitiven Wandler.
Ausführungsbeispiele beziehen sich auf die Poliermaschine 14, die die Auflage 28 aufweist, auf der das Polierkissen 12 befestigt ist, und den bewegbaren Träger 22 des zu polierenden Elements 30. Die Poliermaschine 14 weist ferner den Detektor 16 auf, der konfiguriert ist, um die Position 20 des Trägers 22 zu erfassen, während das Element 30 durch den Träger 22 gegen das Polierkissen gedrückt wird, und den Bestimmer 18, der konfiguriert ist, um das Maß der Dicke t des Polierkissens 12 zu bestimmen (siehe 1). Der Träger 22 ist konfiguriert, um sich relativ parallel zu der Auflage 28 zu drehen und/oder zu bewegen, um das Element 30 zu polieren. Optional kann sich die Auflage 28 drehen. Die Poliermaschine 14 kann konfiguriert sein, um eine Mehrzahl von Elementen gegen das Polierkissen 12 zu drücken oder kann eine Mehrzahl von Trägern aufweisen, die jeweils konfiguriert sind, um ein Element gegen das Polierkissen 12 zu drücken, wie es mit Bezugnahme auf 2b beschrieben ist. Ferner kann die Poliermaschine ein oder mehrere Abwärtskraftzylinder (siehe 44a, 44b, 44c, 44d und 44e) aufweisen, zum Drücken des einen oder der mehreren Träger gegen das Polierkissen 12. In diesem Fall kann der Detektor 16 der Poliermaschine 14 konfiguriert sein, um die Position der Abwärtskraftzylinder zum Bestimmen der Dicke t des Polierkissens 12 zu erfassen.
Die Poliermaschine 14 kann durch eine Steuerung gesteuert werden, die konfiguriert ist, um Werte bereitzustellen, wie z. B. den definierten Druck p₁, die Dicke des Elements und die Anzahl von Elementen, die an das Polierkissen gedrückt werden. Um den definierten Druck p₁ zu bestimmen, kann die Poliermaschine 14 einen Drucksensor aufweisen und den erhaltenen definierten Druck p₁ an den Bestimmer ausgeben. Die Werte, die durch die Steuerung bereitgestellt werden und/oder durch den Drucksensor ausgegeben werden, können durch den Bestimmer 18 für die Bestimmung der Dicke t verwendet werden, wie z. B. zum Zugreifen auf eine Kalibrierungstabelle.
Bei alternativen Ausführungsbeispielen können zumindest zwei Polierkissen auf der Auflage 28 befestigt sein, so dass das Maß der Dicke t, das durch die Vorrichtung, z. B. die Vorrichtung 10, bestimmt wird, einem Maß einer Dicke von zumindest zwei Polierkissen entspricht.
Bei alternativen Ausführungsbeispielen kann die Bestimmung des Maßes der Dicke t auf der Basis einer Mehrzahl von Signalen durchgeführt werden, die Positionen einer Mehrzahl von Trägern anzeigen. Die Signale werden durch eine Mehrzahl von Detektoren ausgegeben, die jeweils konfiguriert sind, um die Position des jeweiligen Trägers zu erfassen.
Obwohl einige Aspekte im Zusammenhang einer Vorrichtung beschrieben wurden, ist klar, dass diese Aspekte auch eine Beschreibung des entsprechenden Verfahrens darstellen zum Bestimmen des Maßes der Dicke t des Polierkissens, wo ein Block oder eine Vorrichtung einem Verfahrensschritt oder einem Merkmal eines Verfahrensschritts entspricht. Analog stellen Aspekte, die im Zusammenhang eines Verfahrensschritts beschrieben werden, auch eine Beschreibung eines entsprechenden Blocks oder Elements oder Merkmals einer entsprechenden Vorrichtung dar. Einige oder alle der Verfahrensschritte können ausgeführt werden durch (oder unter Verwendung) einer Hardware-Vorrichtung, wie z. B. eines Mikroprozessors, eines programmierbaren Computers oder einer elektronischen Schaltung. Bei einigen Ausführungsbeispielen können einige oder mehrere der wichtigsten Verfahrensschritte durch solch eine Vorrichtung ausgeführt werden.
Ein weiteres Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens ist daher ein Datenträger (oder ein digitales Speichermedium oder ein computerlesbares Medium), das darauf aufgezeichnet das Computerprogramm aufweist zum Durchführen von einem der hierin beschriebenen Verfahren. Der Datenträger, das digitale Speichermedium oder das aufgezeichnete Medium sind typischerweise greifbar und/oder nicht vorübergehend. Ein nicht transitorisches computerlesbares Medium weist Befehle auf, die, wenn sie durch einen Prozessor eine Vorrichtung zum Bestimmen des Maßes der Dicke des Polierkissens ausgeführt werden, bewirken, dass die Vorrichtung das oben beschriebene Verfahren durchführt.
Abhängig von bestimmten Implementierungsanforderungen können Ausführungsbeispiele der Erfindung in Hardware oder in Software implementiert sein. Die Implementierung kann durchgeführt werden unter Verwendung eines digitalen Speichermediums, beispielsweise einer Blue Ray, einer CD, eines EPROM oder eines Flash-Speichers mit darauf gespeicherten elektronisch lesbaren Steuersignalen, die mit einem programmierbaren Computersystem zusammenwirken (oder zusammenwirken können), so dass das jeweilige Verfahren durchgeführt wird. Daher kann das digitale Speichermedium computerlesbar sein.
Andere Ausführungsbeispiele weisen ein Computerprogramm auf zum Durchführen eines der hierin beschriebenen Verfahren, gespeichert auf einem maschinenlesbaren Träger. Anders ausgedrückt, ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens ist daher ein Computerprogramm mit einem Programmcode zum Durchführen eines der hierin beschriebenen Verfahren, wenn das Computerprogramm auf einem Computer läuft.
Ein weiteres Ausführungsbeispiel weist eine Verarbeitungseinrichtung auf, beispielsweise einen Computer oder eine programmierbare Logikvorrichtung, die konfiguriert oder angepasst ist, um eines der hierin beschriebenen Verfahren durchzuführen. Bei einigen Ausführungsbeispielen kann ein programmierbares Logikbauelement verwendet werden, um einige oder alle der Funktionalitäten der hierin beschriebenen Verfahren durchzuführen. Bei einigen Ausführungsbeispielen kann ein zellprogrammierbares Gatterarray mit einem Mikroprozessor zusammenwirken, um eines der hierin beschriebenen Verfahren durchzuführen. Allgemein werden die Verfahren vorzugsweise durch jede Hardware-Vorrichtung durchgeführt.
Die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele sind lediglich darstellend für die Prinzipien der vorliegenden Erfindung. Es ist klar, dass Modifikationen und Variationen der Anordnungen und der hierin beschriebenen Einzelheiten für andere Fachleute auf diesem Gebiet klar sind. Es ist daher die Absicht, dass dieselben nur durch den Schutzbereich der angehängten Patentansprüche begrenzt sind und nicht durch die spezifischen Einzelheiten, die durch die Beschreibung und Erläuterung der Ausführungsbeispiele hierin präsentiert wurden.

Claims

Vorrichtung (10) zum Bestimmen eines Maßes einer Dicke (t) eines Polierkissens (12) einer Poliermaschine (14), wobei die Vorrichtung (10) folgende Merkmale aufweist: einen Detektor (16), der konfiguriert ist, um eine Position (20) eines Träger (22) s (22) eines zu polierenden Elements in einer Druckrichtung zu erfassen, während das Element durch den Träger (22) mit einem definierten Druck in der Druckrichtung gegen das Polierkissen (12) gedrückt wird, und um ein Signal auszugeben, das die Position (20) des Trägers (22) anzeigt; und einen Bestimmer (18), der konfiguriert ist, um das Maß der Dicke (t) des Polierkissens (12) basierend auf dem Signal zu bestimmen, das die Position (20) des Trägers (22) anzeigt.
Vorrichtung (10) gemäß Anspruch 1, bei der der Bestimmer (18) konfiguriert ist, um das Maß der Dicke (t) des Polierkissens (12) zu bestimmen durch Vergleichen des Signals, das die Position (20) des Trägers (22) anzeigt, mit Kalibrierungsdaten, die im Voraus erhalten werden unter Verwendung des Polierkissens (12) einer bekannten Dicke (t), eines vorbestimmten Drucks und einer vorbestimmten Dicke (t) des Elements.
Vorrichtung (10) gemäß Anspruch 2, bei der der Detektor (16) konfiguriert ist, um die Position (20) des Trägers (22) zu erfassen, während Bedingungen bezüglich zumindest entweder des definierten Drucks, des verwendeten Trägers (22) und des zu polierenden Elements Bedingungen während des Erhaltens der Kalibrierungsdaten entsprechen.
Vorrichtung (10) gemäß Anspruch 2 oder 3, bei der Bestimmer (18) konfiguriert ist, um das Maß der Dicke (t) zu bestimmen unter Berücksichtigung zumindest entweder eines ersten Korrekturfaktors, der von einer Differenz zwischen dem definierten Druck und dem vorbestimmten Druck abhängt; eines zweiten Korrekturfaktors, der von einer Differenz zwischen einer tatsächlichen Dicke (t) eines zu polierenden Elements und der vorbestimmten Dicke (t) abhängt, und eines dritten Korrekturfaktors, der von einer Anzahl und/oder Position von Elementen abhängt, die durch jeweilige Träger (22) parallel an das Polierkissen (12) gedrückt werden.
Vorrichtung (10) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, bei der der Detektor (16) konfiguriert ist, um die Position (20) des Trägers (22) zu einer vorbestimmten Zeit nach dem Beginn eines Prozesses des Polierens des Elements zu erfassen.
Vorrichtung (10) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, bei der der Detektor (16) konfiguriert ist, um eine Mehrzahl von Signalen auszugeben, die die Position (20) des Trägers (22) zeitlich aufeinanderfolgend anzeigen, und wobei der Bestimmer (18) konfiguriert ist, um das Maß der Dicke (t) basierend auf einem Mittelwert der Mehrzahl von Signalen zu bestimmen.
Vorrichtung (10) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, bei der der Bestimmer (18) konfiguriert ist, um ein Alarmsignal auszugeben, falls die bestimmte Dicke (t) des Polierkissens (12) unter einen Schwellenwert fällt.
Vorrichtung (10) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, bei der der Detektor (16) folgende Merkmale aufweist: eine feste Signalquelle, die konfiguriert ist, um eine elektromagnetische Welle auszugeben; einen Reflektor, der dem Träger (22) zugeordnet ist, so dass die Position (20) des Trägers (22) mit einer Position des Reflektors gekoppelt ist; und einen festen Sensor, der konfiguriert ist, um einen Einfallswinkel der elektromagnetischen Welle zu erhalten, die durch den Reflektor reflektiert wird; wobei der erhaltene Einfallswinkel von der Position des Reflektors abhängt.
Vorrichtung (10) gemäß Anspruch 8, bei der die Signalquelle ein Laser ist.
Vorrichtung (10) gemäß Anspruch 8 oder 9, bei der der Reflektor die elektromagnetische Welle diffus reflektiert; und wobei der Sensor eine Linse und einen elektronischen Lichtsensor aufweist und wobei der Sensor konfiguriert ist, um den Einfallswinkel der reflektierten elektromagnetischen Welle zu erhalten durch Erhalten einer maximalen Intensität der reflektierten elektromagnetischen Welle, wobei die maximale Intensität durch die Linse zu dem elektronischen Lichtsensor projiziert wird.
Vorrichtung (10) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 10, bei der der Detektor (16) folgende Merkmale aufweist: eine feste Signalquelle, die konfiguriert ist, um eine elektromagnetische Welle auszugeben; einen Reflektor, der dem Träger (22) zugeordnet ist, so dass die Position (20) des Trägers (22) mit einer Position des Reflektors gekoppelt ist; und einen festen Sensor, der konfiguriert ist, um eine Laufzeit der elektromagnetischen Welle zu erhalten, die durch den Reflektor reflektiert wird; wobei die erhaltene Laufzeit von der Position des Reflektors abhängt.
Vorrichtung (10) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 12, bei der der Detektor (16) einen elektrischen Positionssensor aufweist.
Vorrichtung (10) zum Bestimmen eines Maßes einer Dicke (t) eines Polierkissens (12) einer Poliermaschine (14), wobei die Vorrichtung (10) folgende Merkmale aufweist: einen Detektor (16), der konfiguriert ist, um eine Position (20) eines Trägers (22) eines zu polierenden Elements in einer Druckrichtung zu erfassen, während das Element durch den Träger (22) mit einem vordefinierten Druck in der Druckrichtung gegen das Polierkissen (12) gedrückt wird, wobei der Detektor (16) konfiguriert ist, um ein Signal auszugeben, das die Position (20) des Trägers (22) anzeigt; und einen Bestimmer (18), der konfiguriert ist, um das Maß der Dicke (t) des Polierkissens (12) basierend auf dem Signal zu bestimmen, das die Position (20) des Trägers (22) anzeigt, und auf der Basis von Kalibrierungsdaten, die im Voraus erhalten werden unter Verwendung des Polierkissens (12) einer bekannten Dicke (t), eines vorbestimmten Drucks und einer vorbestimmten Dicke (t) des Elements, wobei der Bestimmer (18) konfiguriert ist, um ein Alarmsignal auszugeben, falls die vorbestimmte Dicke (t) des Polierkissens (12) unter einen Schwellenwert fällt.
Vorrichtung (10) gemäß Anspruch 13, bei der der Bestimmer (18) konfiguriert ist, um das Maß der Dicke (t) des Polierkissens (12) zu bestimmen, wenn der definierte Druck gleich dem vorbestimmten Druck ist und/oder die definierte Dicke (t) des Elements gleich der vorbestimmten Dicke (t) des Elements ist.
Poliermaschine (14) zum Polieren eines Elements, wobei die Poliermaschine (14) folgende Merkmale aufweist: eine Auflage (28), auf der ein Polierkissen (12) zu befestigen ist; einen Träger (22) des zu polierenden Elements, wobei der Träger (22) konfiguriert ist, um sich in einer Druckrichtung zu bewegen, um das Element mit einem definierten Druck in der Druckrichtung gegen das Polierkissen (12) zu drücken, wobei die Poliermaschine (14) konfiguriert ist, um eine relative Bewegung oder Drehung zwischen dem Element und dem Polierkissen (12) parallel zu dem Polierkissen (12) zu bewirken; einen Detektor (16), der konfiguriert ist, um eine Position (20) des Trägers (22) zu erfassen, während das Element durch den Träger (22) mit dem definierten Druck in der Druckrichtung gegen das Polierkissen (12) gedrückt wird, und um ein Signal auszugeben, das die Position (20) des Trägers (22) anzeigt; und einen Bestimmer (18), der konfiguriert ist, um ein Maß der Dicke (t) des Polierkissens (12) basierend auf dem Signal zu bestimmen, das die Position (20) des Trägers (22) anzeigt.
Poliermaschine (14) gemäß Anspruch 15, bei der der Träger (22) der Poliermaschine (14) konfiguriert ist, um eine Mehrzahl von Elementen gegen das Polierkissen (12) zu drücken; oder wobei die Poliermaschine (14) eine Mehrzahl von Trägern aufweist, die jeweils konfiguriert sind, um ein zu polierendes Element gegen das Polierkissen (12) zu drücken.
Poliermaschine (14) gemäß Anspruch 15 oder 16, die ferner einen Drucksensor aufweist, der konfiguriert ist, um den definierten Druck zu bestimmen.
Poliermaschine (14) gemäß einem der Ansprüche 15 bis 17, die ferner eine Steuerung aufweist, die konfiguriert ist, um die Poliermaschine (14) zu steuern und um zumindest entweder einen Wert des definierten Drucks, eine Dicke (t) des zu polierenden Elements und eine Anzahl und/oder eine Position von Elementen, die durch jeweilige Träger (22) parallel an das Polierkissen (12) gedrückt werden, zu steuern; und wobei der Bestimmer (18) konfiguriert ist, um das Maß der Dicke (t) des Polierkissens (12) unter Berücksichtigung des zumindest einen Werts zu bestimmen.
Poliermaschine (14) gemäß einem der Ansprüche 15 bis 18, bei der der Detektor (16) ein elektrischer oder optischer Positionssensor ist.
Poliermaschine (14) gemäß einem der Ansprüche 15 bis 19, die ferner einen oder mehrere Abwärtskraftzylinder aufweist zum Drücken des einen oder der mehreren Träger (22) gegen das Polierkissen (12), wobei der Detektor (16) konfiguriert ist, um eine Position des Abwärtskraftzylinders zu erfassen.
Poliermaschine (14) gemäß einem der Ansprüche 15 bis 20, die ferner das Polierkissen (12) auf der Auflage (28) befestigt aufweist.
Verfahren zum Bestimmen eines Maßes einer Dicke (t) eines Polierkissens (12) einer Poliermaschine (14), wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: Erfassen einer Position (20) eines Trägers (22) eines zu polierenden Elements in einer Druckrichtung, während das Element durch den Träger (22) mit einem definierten Druck in der Druckrichtung gegen das Polierkissen gedrückt wird; Ausgeben eines Signals, das die Position (20) des Trägers (22) anzeigt; und Bestimmen des Maßes der Dicke (t) des Polierkissens (12) basierend auf dem Signal, das die Position (20) des Trägers (22) anzeigt.
Verfahren gemäß Anspruch 22, das ferner das Erhalten von Kalibrierungsdaten vor der Verwendung eines Polierkissens (12) einer bekannten Dicke (t) und einer Dicke (t) des Elements aufweist; und bei dem das Erfassen der Position (20) des Trägers (22) durchgeführt wird während Bedingungen bezüglich zumindest entweder eines des definierten Drucks, des verwendeten Trägers (22) oder des zu polierenden Elements den Bedingungen während des Erhaltens der Kalibrierungsdaten entsprechen.
Verfahren gemäß Anspruch 22 oder 23, das ferner folgende Schritte aufweist: Erhalten von Kalibrierungsdaten im Voraus unter Verwendung eines Polierkissens (12) bekannter Dicke (t), eines vorbestimmten Drucks und einer vorbestimmten Dicke (t) des Elements; und Korrigieren des Signals, das die Position anzeigt basierend auf zumindest entweder einem ersten Korrekturfaktor, der von einer Differenz zwischen dem definierten Druck und dem vorbestimmten Druck abhängt, einem zweiten Korrekturfaktor, der von einer Differenz zwischen einer tatsächlichen Dicke (t) eines zu polierenden Elements und der vorbestimmten Dicke (t) abhängt, und einem dritten Korrekturfaktor, der von einer Anzahl und/oder Position von Elementen abhängt, die durch jeweilige Träger (22) parallel an die Polieranschlussfläche gedrückt werden.
Verfahren gemäß einem der Ansprüche 22 bis 24, bei dem das Erfassen der Position (20) des Trägers (22) zu einem vorbestimmten Zeitpunkt nach dem Beginn eines Prozesses des Polierens des Elements durchgeführt wird.
Nicht-transitorisches computerlesbares Medium, das Anweisungen aufweist, die, wenn sie durch einen Prozessor einer Vorrichtung (10) zum Bestimmen eines Maßes einer Dicke (t) eines Polierkissens (12) ausgeführt werden, bewirken, dass die Vorrichtung (10) ein Verfahren durchführt, das folgende Schritte aufweist: Erfassen einer Position (20) eines Trägers (22) eines zu polierenden Elements in einer Druckrichtung, während das Element durch den Träger (22) mit einem definierten Druck in der Druckrichtung gegen das Polierkissen (12) gedrückt wird; Ausgeben eines Signals, das die Position (20) des Trägers (22) anzeigt; und Bestimmen des Maßes der Dicke (t) des Polierkissens (12) basierend auf dem Signal, das die Position (20) des Trägers (22) anzeigt.