DE102014102973A1 - pressure sensor - Google Patents

pressure sensor Download PDF

Info

Publication number
DE102014102973A1
DE102014102973A1 DE102014102973.9A DE102014102973A DE102014102973A1 DE 102014102973 A1 DE102014102973 A1 DE 102014102973A1 DE 102014102973 A DE102014102973 A DE 102014102973A DE 102014102973 A1 DE102014102973 A1 DE 102014102973A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
measuring
shell
pressure
membrane
glass
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102014102973.9A
Other languages
German (de)
Inventor
Peter Klöfer
Anh Tuan Tham
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Endress and Hauser SE and Co KG
Original Assignee
Endress and Hauser SE and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Endress and Hauser SE and Co KG filed Critical Endress and Hauser SE and Co KG
Priority to DE102014102973.9A priority Critical patent/DE102014102973A1/en
Priority to PCT/EP2015/053675 priority patent/WO2015132089A1/en
Publication of DE102014102973A1 publication Critical patent/DE102014102973A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0618—Overload protection
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
    • G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
    • G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0042—Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms
    • G01L9/0044—Constructional details of non-semiconductive diaphragms
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance

Abstract

Es ist ein kostengünstig herstellbarer kapazitiver Drucksensor, mit einer mit einem Druck beaufschlagbaren und druckabhängig elastisch verformbaren metallischen Messmembran (1), einer metallischen Halbschale (3), die eine mit einem äußeren Rand einer ersten Seite der Messmembran (1) verbundene, der Messmembran (1) zugewandte Stirnseite aufweist, einer unter der Messmembran (1) in der Halbschale (3) eingeschlossenen Druckkammer (5), einer in der Halbschale (3) angeordneten, von der Messmembran (1) beabstandeten Glasfüllung (11), und einem kapazitiven elektromechanischen Wandler zur messtechnischen Erfassung einer druckabhängigen Verformung der Messmembran (1), mit einer auf der Glasfüllung (11) angeordneten Messelektrode (15) und einer durch die metallische Messmembran (1) gebildete Gegenelektrode, beschrieben, dessen Messelektrode (15) ein auf einer der Messmembran (1) zugewandten Stirnseite der Glasfüllung (11) angeordnetes Tiefziehteil ist.It is a cost-effective producible capacitive pressure sensor, with a pressurizable and pressure-dependent elastically deformable metallic measuring membrane (1), a metallic half-shell (3) having a connected to an outer edge of a first side of the measuring membrane (1), the measuring membrane ( 1) facing the end, a below the measuring diaphragm (1) in the half-shell (3) enclosed pressure chamber (5) arranged in the half-shell (3), of the measuring diaphragm (1) spaced glass filling (11), and a capacitive electromechanical Transducer for metrological detection of a pressure-dependent deformation of the measuring diaphragm (1), with a measuring electrode (15) arranged on the glass filling (11) and a counterelectrode formed by the metallic measuring diaphragm (1), whose measuring electrode (15) is located on one of the measuring diaphragm (1) facing the end face of the glass filling (11) arranged deep-drawn part.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Drucksensor, mit einer mit einem Druck beaufschlagbaren und druckabhängig elastisch verformbaren metallischen Messmembran, einer metallischen Halbschale, die eine mit einem äußeren Rand einer ersten Seite der Messmembran verbundene, der Messmembran zugewandte Stirnseite aufweist, einer unter der Messmembran in der Halbschale eingeschlossenen Druckkammer, einer in der Halbschale angeordneten, von der Messmembran beabstandeten Glasfüllung, und einem kapazitiven elektromechanischen Wandler zur messtechnischen Erfassung einer druckabhängigen Verformung der Messmembran, mit einer auf der Glasfüllung angeordneten Messelektrode und einer durch die metallische Messmembran gebildete Gegenelektrode.The present invention relates to a pressure sensor, with a pressurizable and pressure-dependent elastically deformable metallic measuring membrane, a metallic half-shell having a connected to an outer edge of a first side of the measuring membrane, the measuring membrane facing end side, one below the measuring membrane in the half-shell enclosed pressure chamber, arranged in the half-shell, spaced from the measuring membrane glass filling, and a capacitive electromechanical transducer for metrological detection of a pressure-dependent deformation of the measuring membrane, with a arranged on the glass filling measuring electrode and a counter electrode formed by the metallic measuring membrane.

Drucksensoren werden in der industriellen Messtechnik zur Messung von Drücken eingesetzt.Pressure sensors are used in industrial measurement technology to measure pressures.

Drucksensoren weisen regelmäßig eine unter Einschluss einer Druckkammer auf einem Grundkörper angeordnete mit einem Druck beaufschlagbare und druckabhängig elastisch verformbare Messmembran und einen elektromechanischen Wandler zur messtechnischen Erfassung der druckabhängigen Verformung der Messmembran auf.Pressure sensors regularly have a measurement membrane, which is arranged on a base body and can be pressurized and pressure-dependently elastically deformable under inclusion of a pressure chamber, and an electromechanical transducer for metrological detection of the pressure-dependent deformation of the measurement membrane.

Drucksensoren mit einer unter Einschluss einer Druckkammer auf einem Grundkörper angeordneten Messmembran können als Absolutdrucksensoren ausgebildet werden, die einen Druck gegenüber Vakuum messen, indem die Druckkammer evakuiert wird. Alternativ können sie als Relativdrucksensoren ausgebildet werden, die einen Druck bezogen auf einen der Druckkammer über eine durch den Grundkörper hindurch führende, in der Druckkammer mündende Druckzufuhr zugeführten Referenzdruck, insb. dem Atmosphärendruck, messen. Darüber hinaus können sie als Differenzdrucksensoren ausgebildet werden, die eine Druckdifferenz zwischen einem ersten und einem zweiten Druck messen. Hierzu wird auf einer vom ersten Grundkörper abgewandten Seite der Messmembran ein identisch aufgebauter zweiter Grundkörper vorgesehen, und die Messmembran über eine durch den ersten Grundkörper hindurch führende in der ersten Druckkammer mündende Druckzufuhr mit dem ersten, und über eine zweite durch den zweiten Grundkörper hindurchführende in der zweiten Druckkammer mündende Druckzufuhr mit dem zweiten Druck beaufschlagt.Pressure sensors with a measurement membrane arranged on a base body including a pressure chamber can be designed as absolute pressure sensors which measure a pressure with respect to vacuum by evacuating the pressure chamber. Alternatively, they can be designed as relative pressure sensors which measure a pressure relative to one of the pressure chambers via a reference pressure, in particular the atmospheric pressure, which passes through the main body and opens into the pressure chamber. In addition, they can be designed as differential pressure sensors, which measure a pressure difference between a first and a second pressure. For this purpose, an identically constructed second base body is provided on a side facing away from the first body side of the measuring diaphragm, and the measuring diaphragm via a first through the first body leading into the first pressure chamber opening pressure supply to the first, and a second through the second body passing in the second pressure chamber opening pressure supplied to the second pressure.

Bei Drucksensoren besteht die Gefahr, dass die Messmembran einer Überlast ausgesetzt wird. Dabei können auf die Messmembran einwirkende Drücke so groß werden, dass die Messmembran zu stark ausgelenkt und hierdurch beschädigt werden kann.With pressure sensors there is a risk that the measuring diaphragm will be exposed to overload. In this case, pressures acting on the measuring membrane can become so great that the measuring membrane can be deflected too strongly and thereby damaged.

Eine mögliche Maßnahme zum Schutz der Messmembran im Überlastfall besteht darin, im Drucksensor unter der Messmembran ein Membranbett vorzusehen, das die Messmembran im Überlastfall abstützt. Hierzu weist das Membranbett vorzugsweise eine an die Biegekontur der Messmembran angepasste Geometrie auf, auf der die Messmembran im Überlastfall zur Auflage kommt.One possible measure to protect the measuring diaphragm in the event of overloading is to provide a diaphragm bed in the pressure sensor underneath the measuring diaphragm, which supports the diaphragm in case of overload. For this purpose, the membrane bed preferably has a geometry adapted to the bending contour of the measuring membrane, on which the measuring membrane comes to rest in case of overload.

In der US 3,618,390 ist ein Differenzdrucksensor beschrieben, der zwei metallische Halbschalen umfasst. Zwischen den beiden Halbschalen ist eine metallische Messmembran vorgesehen, die mit den beiden Halbschalen verschweißt ist. Die Innenräume der Halbschalen sind unter Freilassung eines durch die Messmembran in zwei Druckkammern unterteilten Teilbereichs mit Glas gefüllt. Dabei sind die der Messmembran zugewandten Seiten der Glasfüllungen derart abgeschliffen, dass das Glas im Inneren der jeweiligen Halbschale ein konkaves Membranbett bildet, das dazu dient die Messmembran im Überlastfall abzustützen.In the US 3,618,390 a differential pressure sensor is described which comprises two metallic half-shells. Between the two half-shells a metallic measuring membrane is provided, which is welded to the two half-shells. The interiors of the half-shells are filled with the release of a subdivided by the measuring diaphragm into two pressure chambers portion with glass. In this case, the sides of the glass fillings facing the measuring membrane are ground in such a way that the glass forms a concave membrane bed inside the respective half-shell, which serves to support the measuring membrane in the event of overload.

Im Messbetrieb wird eine erste Seite der Messmembran über einen ersten mit einer Druck übertragenden Flüssigkeit gefüllten Druckmittler mit einem ersten Druck und eine zweite Seite der Messmembran über einen zweiten mit einer Druck übertragenden Flüssigkeit gefüllten Druckmittler mit einem zweiten Druck beaufschlagt. Jeder Druckmittler umfasst eine im Messbetrieb außenseitig mit dem ersten bzw. dem zweiten Druck beaufschlagte Trennmembran, unter der eine Druckempfangskammer eingeschlossen ist, die über eine durch die jeweilige Halbschale und deren Glasfüllung hindurch verlaufende Druckzufuhr mit der zugehörigen Druckkammer verbunden ist.In measuring operation, a first side of the measuring diaphragm is acted upon by a first pressure transmitter filled with a pressure-transmitting liquid with a first pressure and a second side of the measuring diaphragm via a second pressure-transmitting liquid filled with a second intermediate pressure medium. Each pressure transmitter comprises a separating diaphragm which is acted upon externally by the first and the second pressure during measurement operation, and under which a pressure-receiving chamber is enclosed, which is connected to the associated pressure chamber via a pressure supply extending through the respective half-shell and its glass filling.

Es ist ein kapazitiver elektromechanischer Wandler vorgesehen, der eine von der Differenz des ersten und des zweiten Drucks abhängige Verformung der metallischen Messmembran messtechnisch erfasst. Dieser umfasst auf die konkaven Membranbetten als Elektroden aufgebrachte metallische Beschichtungen, die zusammen mit der Messmembran jeweils einen Kondensator bilden. Der elektrische Anschluss der Elektroden erfolgt jeweils durch ein in der jeweiligen Druckkammer mündendes metallisches Röhrchen, das durch die Glasfüllung verläuft, und über eine Glasdurchführung elektrisch isoliert gegenüber der jeweiligen Halbschale aus der Halbschale herausgeführt ist.A capacitive electromechanical transducer is provided which metrologically detects a deformation of the metallic measuring diaphragm that is dependent on the difference between the first and the second pressure. This comprises metallic coatings applied to the concave membrane beds as electrodes, which together with the measuring membrane in each case form a capacitor. The electrical connection of the electrodes takes place in each case through a metallic tube which opens out into the respective pressure chamber and runs through the glass filling, and is led out of the half-shell via a glass feedthrough in an electrically insulated manner with respect to the respective half-shell.

Vor der ersten Inbetriebnahme werden die beiden Druckmittler über diese Röhrchen mit der Druck übertragenden Flüssigkeit befüllt, und die Röhrchen anschließend verschlossen.Before the initial start-up, the two diaphragm seals are filled with the pressure-transmitting fluid via these tubes, and the tubes are then closed.

Sowohl das Abschleifen der Glasfällungen als auch die metallische Beschichtung der geschliffenen konkaven Membranbetten stellen Zeit und Kosten intensive Arbeitsgänge dar.Both the grinding of the glass precipitations and the metallic coating of the Ground concave membrane beds represent time and cost intensive operations.

Es ist eine Aufgabe der Erfindung einen kostengünstig herstellbaren kapazitiven Drucksensor anzugeben.It is an object of the invention to provide a cost-producible capacitive pressure sensor.

Zur Lösung dieser Aufgaben umfasst die Erfindung einen Drucksensor, mit

  • – einer mit einem Druck beaufschlagbaren und druckabhängig elastisch verformbaren metallischen Messmembran,
  • – einer metallischen Halbschale, die eine mit einem äußeren Rand einer ersten Seite der Messmembran verbundene, der Messmembran zugewandte Stirnseite aufweist,
  • – einer unter der Messmembran in der Halbschale eingeschlossenen Druckkammer,
  • – einer in der Halbschale angeordneten, von der Messmembran beabstandeten Glasfüllung, und
  • – einem kapazitiven elektromechanischen Wandler zur messtechnischen Erfassung einer druckabhängigen Verformung der Messmembran, mit einer auf der Glasfüllung angeordneten Messelektrode und einer durch die metallische Messmembran gebildete Gegenelektrode, der sich dadurch auszeichnet, dass
  • – die Messelektrode ein auf einer der Messmembran zugewandten Stirnseite der Glasfüllung angeordnetes Tiefziehteil ist.
To solve these objects, the invention comprises a pressure sensor, with
  • A pressure-sensitive elastically deformable metallic measuring membrane,
  • A metallic half-shell which has an end face connected to an outer edge of a first side of the measuring membrane and facing the measuring membrane,
  • A pressure chamber enclosed in the half-shell under the measuring diaphragm,
  • - An arranged in the half-shell, spaced from the measuring membrane glass filling, and
  • A capacitive electromechanical transducer for the metrological detection of a pressure-dependent deformation of the measuring diaphragm, with a measuring electrode arranged on the glass filling and a counterelectrode formed by the metallic measuring diaphragm, which is characterized in that
  • - The measuring electrode is arranged on one of the measuring membrane facing the end face of the glass filling deep-drawn part.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung weisen die Messelektrode und die der Messmembran zugewandte Stirnseite der Glasfüllung zur Abstützung der Messmembran im Falle einer darauf einwirkenden Überlast eine Formgebung auf, die einer Biegekontur der Messmembran im Falle der darauf einwirkenden Überlast entspricht.According to a preferred embodiment of the invention, the measuring electrode and the measuring membrane facing end face of the glass filling for supporting the measuring diaphragm in the event of an overload acting on a shape, which corresponds to a bending contour of the measuring diaphragm in the case of the overload acting thereon.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung

  • – ist ein elektrisch leitfähiger Kontaktstift vorgesehen,
  • – ist der Kontaktstift mit einer von der Messmembran abgewandten Unterseite der Messelektrode mittels einer elektrisch leitfähigen mechanischen Verbindung, insb. mittels Schweißpunkten, verbunden,
  • – verläuft der Kontaktstift durch die Glasfüllung hindurch, und
  • – ist in einem von der Messmembran abgewandten Boden der Halbschale eine Durchführung, insb. eine Glasdurchführung, vorgesehen, durch die hindurch der Kontaktstift verläuft und elektrisch isoliert gegenüber der Halbschale kontaktierbar ist.
According to a development of the invention
  • An electrically conductive contact pin is provided,
  • The contact pin is connected to an underside of the measuring electrode facing away from the measuring diaphragm by means of an electrically conductive mechanical connection, in particular by means of spot welds,
  • - The contact pin passes through the glass filling, and
  • - Is in a remote from the measuring membrane bottom of the half-shell, a passage, esp. A glass feedthrough, provided through which extends the contact pin and electrically insulated from the half shell is contacted.

Gemäß einer Weiterbildung der letztgenannten Weiterbildung

  • – ist der Kontaktstift ein Hohlstift, und
  • – weist die Messelektrode eine die Druckkammer mit einem Innenraum des Hohlstifts verbindende Ausnehmung auf.
According to a development of the latter training
  • - The contact pin is a hollow pin, and
  • - The measuring electrode has a the pressure chamber with an interior of the hollow pin connecting recess.

Gemäß einer Weiterbildung der letztgenannten Weiterbildung bildet der Hohlstift eine Druckzufuhr, über die die der Halbschale zugewandten Seite der Messmembran mit einem Druck beaufschlagbar ist.According to a development of the last-mentioned further development of the hollow pin forms a pressure supply, via which the half-shell facing side of the measuring diaphragm can be acted upon with a pressure.

Gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung ist der äußere Rand der Messmembran mit einer der Messmembran zugewandten Stirnseite der Halbschale mittels einer druckdichten Fügung, insb. einer Schweißung, verbunden.According to one embodiment of the invention, the outer edge of the measuring diaphragm is connected to an end side of the half-shell facing the measuring diaphragm by means of a pressure-tight joint, in particular a weld.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist der Drucksensor als Differenzdrucksensor ausgebildet, indem

  • – eine mit einem äußeren Rand einer zweiten Seite der Messmembran verbundene zweite Halbschale vorgesehen ist, die identisch zu der mit der ersten Seite der Messmembran verbundenen Halbschale ist,
  • – in der zweiten Halbschale eine zweite Glasfüllung angeordnet ist, die identisch zu der Glasfüllung der mit der ersten Seite der Messmembran verbundenen Halbschale ist, und
  • – auf der der Messmembran zugewandten Stirnseite der zweiten Halbschale eine zweite Messelektrode angeordnet ist, die identisch zu der in der mit der ersten Seite der Messmembran verbundenen Halbschale angeordneten Messelektrode ist.
According to a further embodiment of the invention, the pressure sensor is designed as a differential pressure sensor by
  • A second half-shell connected to an outer edge of a second side of the measuring membrane is provided which is identical to the half-shell connected to the first side of the measuring membrane,
  • - In the second half-shell, a second glass filling is arranged, which is identical to the glass filling of the half-shell connected to the first side of the measuring diaphragm, and
  • - On the end face of the second half-shell facing the measuring diaphragm a second measuring electrode is arranged, which is identical to the measuring electrode arranged in the half-shell connected to the first side of the measuring diaphragm.

Gemäß einer Weiterbildung der letztgenannten Ausgestaltung sind die von der Messmembran abgewandten Unterseiten der beiden Messelektroden jeweils mit einem elektrisch leitfähigen Kontaktstift verbunden,

  • – der durch die Glasfüllung der jeweiligen Halbschale hindurch verläuft,
  • – der über eine in einem von der Messmembran abgewandten Boden der jeweiligen Halbschale angeordnete Durchführung elektrisch isoliert gegenüber der jeweiligen Halbschale kontaktierbar ist,
  • – der als Hohlstift ausgebildet ist,
  • – dessen Innenraum über eine Ausnehmung in der mit dem jeweiligen Kontaktstift verbundenen Messelektrode mit der an die jeweilige Messelektrode angrenzenden Druckkammer verbundenen ist, und
  • – über den die dem jeweiligen Kontaktstift zugewandte Seite der Messmembran mit einem Druck beaufschlagbar ist.
According to a development of the last-mentioned embodiment, the undersides of the two measuring electrodes facing away from the measuring diaphragm are each connected to an electrically conductive contact pin,
  • Passing through the glass filling of the respective half shell,
  • - Is electrically contacted via a arranged in a remote from the measuring membrane bottom of the respective half-shell implementation opposite the respective half-shell,
  • - Is designed as a hollow pin,
  • - The interior of which is connected via a recess in the measuring electrode connected to the respective contact pin with the adjoining the respective measuring electrode pressure chamber, and
  • - Over which the respective contact pin facing side of the measuring membrane can be acted upon with a pressure.

Weiter umfasst die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Drucksensors, das sich dadurch auszeichnet, dass

  • – die eine Bohrung in deren Boden aufweisende Halbschale gefertigt wird,
  • – die Messelektrode durch Tiefziehen aus einem Metallblech als Tiefziehteil gefertigt wird,
  • – der Kontaktstift, insb. mittels einer oder mehrerer Punktschweißungen, mit der Messelektrode verbunden wird,
  • – eine vorgegebene Menge Glaslot derart in die Halbschale eingebracht wird, dass die Bohrung im Boden der Halbschale und ein Teilbereich des Innenraums der Halbschale mit Glaslot befüllt sind,
  • – das eingebrachte Glaslot in der Halbschale auf eine über einem Erweichungspunkt und unterhalb eines Schmelzpunkts des Glaslots liegende Verarbeitungstemperatur erwärmt wird, bei der das Glaslot eine weiche und unter Druck verformbare Masse bildet,
  • – die Messelektrode zusammen mit dem damit verbundenen Kontaktstift in das weiche Glaslot eingesetzt wird, und
  • – sich das Glaslot aufgrund des dabei von der Messmembran auf das Glaslot ausgeübten Drucks an eine Formgebung der Messelektrode anpasst.
Furthermore, the invention comprises a method for producing a pressure sensor according to the invention, which is characterized in that
  • The one half-shell having a bore is produced in the bottom thereof,
  • - The measuring electrode is made by deep drawing of a metal sheet as a deep-drawn part,
  • The contact pin, in particular by means of one or more spot welds, is connected to the measuring electrode,
  • A predetermined amount of glass solder is introduced into the half shell such that the bore in the bottom of the half shell and a partial region of the interior of the half shell are filled with glass solder,
  • The introduced glass solder in the half shell is heated to a processing temperature above a softening point and below a melting point of the glass solder at which the glass solder forms a soft and compressible mass,
  • - The measuring electrode is inserted together with the associated contact pin in the soft glass solder, and
  • - The glass solder adapts to a shape of the measuring electrode due to the pressure exerted by the measuring membrane on the glass solder pressure.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung des Verfahrens

  • – wird die Messelektrode beim Einsetzen mittels eines Stempels, insb. eines Stempels aus Graphit, auf das weiche Glaslot gedrückt, und
  • – der Stempel weist auf dessen Stirnseite einen Bereich auf, dessen Größe und Formgebung der Größe und der Formgebung der Messelektrode entspricht.
According to a preferred embodiment of the method
  • - When inserting the measuring electrode by means of a punch, esp. A punch made of graphite, pressed on the soft glass solder, and
  • - The stamp has on the end face an area whose size and shape corresponds to the size and shape of the measuring electrode.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens tritt überschüssiges Glaslot beim Einsetzen der Messmembran und des damit verbundenen Kontaktstifts durch die Bohrung im Boden der Halbschale aus.According to a further preferred embodiment of the method according to the invention, excess glass solder exits through the bore in the bottom of the half-shell when inserting the measuring diaphragm and the associated contact pin.

Gemäß einer Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens

  • – weist die Halbschale eine Absatzfläche auf, und
  • – wird die Messelektrode mittels des Stempels so weit in das weiche Glaslot gedrückt, dass ein äußerer Rand des Stempels auf der Absatzfläche aufliegt.
According to a development of the method according to the invention
  • - Has the half-shell on a sales area, and
  • - The measuring electrode is pressed by means of the punch so far into the soft glass solder that an outer edge of the punch rests on the shoulder surface.

Gemäß einer weiteren Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens

  • – ist der Kontaktstift ein Hohlstift ist, und
  • – wird ein Innenraum des Hohlstifts vor dem Einsetzten in das weiche Glaslot mittels eines Stifts, insb. eines Stifts aus Graphit, verschlossen, und wird der Stift nach dem Erkalten des Glaslots wieder entfernt.
According to a further embodiment of the method according to the invention
  • - The contact pin is a hollow pin, and
  • - An interior of the hollow pin is sealed before insertion into the soft glass solder by means of a pin, esp. A pencil made of graphite, and the pin is removed after cooling of the glass solder again.

Die Erfindung und deren Vorteile werden nun anhand der Figuren der Zeichnung, in denen drei Ausführungsbeispiele dargestellt sind, näher erläutert. Gleiche Elemente sind in den Figuren mit gleichen Bezugszeichen versehen.The invention and its advantages will now be explained in more detail with reference to the figures of the drawing, in which three embodiments are shown. Identical elements are provided in the figures with the same reference numerals.

1 zeigt: einen erfindungsgemäßen Absolutdrucksensor; 1 shows: an absolute pressure sensor according to the invention;

2 zeigt: einen erfindungsgemäßen Relativdrucksensor; 2 shows: a relative pressure sensor according to the invention;

3 zeigt: einen erfindungsgemäßen Differenzdrucksensor; und 3 shows: a differential pressure sensor according to the invention; and

4 zeigt: eine Explosionsdarstellung zur Veranschaulichung eines Verfahrens zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Drucksensors. 4 shows an exploded view for illustrating a method for producing a pressure sensor according to the invention.

1 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Drucksensors. Dieser umfasst eine im Messbetrieb mit einem zu messenden Druck p zu beaufschlagende metallische Messmembran 1, die sich in Abhängigkeit von dem darauf einwirkenden Druck p elastisch verformt. 1 shows an embodiment of a pressure sensor according to the invention. This comprises a metallic measuring membrane to be acted upon during measurement operation with a pressure p to be measured 1 which elastically deforms in response to the pressure p acting thereon.

Die Messmembran 1 ist auf einer topfförmigen metallischen Halbschale 3 angeordnet. Die Halbschale 3 umfasst einen Boden 5 und eine daran anschließende, vorzugsweise im Wesentlichen zylindrische, die Messmembran 1 tragende Halbschalenwand 7. Messmembran 1 und Halbschale 3 sind mittels einer druckdichten Fügung 9 miteinander verbunden. Hierzu ist ein äußerer Rand einer der Halbschale 3 zugewandten ersten Seite der Messmembran 1 mit einer dieser Seite der Messmembran 1 zugewandten ringscheibenförmigen Stirnseite der Halbschalenwand 7 druckdicht verbunden, insb. verschweißt.The measuring membrane 1 is on a cup-shaped metallic half-shell 3 arranged. The half shell 3 includes a floor 5 and a subsequent, preferably substantially cylindrical, the measuring membrane 1 supporting half-shell wall 7 , measuring membrane 1 and half shell 3 are by means of a pressure-tight joint 9 connected with each other. For this purpose, an outer edge of one of the half-shell 3 facing first side of the measuring diaphragm 1 with one of these side of the measuring diaphragm 1 facing annular disk-shaped end face of the half-shell wall 7 pressure-tight connected, especially welded.

Ein von der Messmembran 1 beabstandeter, an den Boden 5 angrenzender Teilbereich des Innenraums der Halbschale 3 ist mit einer Glasfüllung 11 ausgefüllt.One from the measuring membrane 1 spaced, to the ground 5 adjacent part of the interior of the half-shell 3 is with a glass filling 11 filled.

Unter der Messmembran 1 ist in der Halbschale 3 eine Druckkammer 13 eingeschlossen, die durch die Messmembran 1 und eine der Messmembran 1 zugewandte Stirnseite der Glasfüllung 11 begrenzt ist.Under the measuring membrane 1 is in the half shell 3 a pressure chamber 13 trapped by the measuring membrane 1 and one of the measuring membrane 1 facing end of the glass filling 11 is limited.

Der Drucksensor umfasst einen kapazitiven elektromechanischen Wandler, der dazu dient, die druckabhängige Verformung der Messmembran 1 messtechnisch zu erfassen.The pressure sensor comprises a capacitive electromechanical transducer, which serves the pressure-dependent deformation of the measuring diaphragm 1 metrologically to capture.

Der Wandler weist eine Messelektrode 15 und eine durch die metallische Messmembran 1 gebildete Gegenelektrode auf. Messelektrode 15 und Messmembran 1 bilden einen Kondensator, dessen Kapazität von der druckabhängigen Durchbiegung der Messmembran 1 abhängig ist. Die Druckmessung erfolgt zum Beispiel, indem die Kapazität dieses Kondensators mittels einer hier nicht dargestellten Kapazitätsmessschaltung bestimmt und anhand einer vorab im Rahmen eines Kalibrationsverfahrens ermittelten Kennlinie einem auf die Messmembran 1 einwirkenden zu messenden Druck p zugeordnet wird.The converter has a measuring electrode 15 and one through the metallic measuring membrane 1 formed counter electrode. measuring electrode 15 and measuring membrane 1 form a capacitor whose capacity depends on the pressure-dependent deflection the measuring membrane 1 is dependent. The pressure measurement is carried out, for example, by determining the capacitance of this capacitor by means of a capacitance measuring circuit, not shown here, and by means of a characteristic curve determined beforehand in the context of a calibration method, on the measuring diaphragm 1 is assigned to acting pressure p to be measured.

Erfindungsgemäß ist die Messelektrode 15 ein auf der der Messmembran 1 zugewandten Stirnseite der Glasfüllung 11 angeordnetes aus einem Metallblech durch Tiefziehen gefertigtes Tiefziehteil. Das Metallblech weist vorzugsweise eine Dicke kleiner gleich einem Zehntelmillimeter auf, und besteht z. B. aus einem Stahl. Tiefziehteile können in großen Stückzahlen extrem kostengünstig hergestellt werden.According to the invention, the measuring electrode 15 one on the measuring diaphragm 1 facing end face of the glass filling 11 arranged from a metal sheet made by deep drawing deep-drawn part. The metal sheet preferably has a thickness less than or equal to one tenth of a millimeter, and consists for. B. of a steel. Deep-drawn parts can be produced extremely cheaply in large quantities.

Die Stirnseite der Glasfüllung 11 und die Messelektrode 15 sind formgleich und vorzugsweise als Membranbett ausgebildet, das die Messmembran 1 im Falle einer darauf einwirkenden Überlast abstützt. Hierzu weisen sie eine Formgebung auf, die der Biegekontur der Messmembran 1 im Falle einer darauf einwirkenden Überlast entspricht. Die Messmembran 1 kommt somit im Falle einer darauf einwirkenden Überlast auf der Messelektrode 15 und der Stirnseite der Glasfüllung 11 zur Auflage, und wird hierdurch abgestützt. Der Drucksensor ist somit überlastfest.The front of the glass filling 11 and the measuring electrode 15 are identical in shape and preferably designed as a membrane bed, which is the measuring membrane 1 is supported in the event of an overload acting on it. For this purpose, they have a shape that the bending contour of the measuring membrane 1 in the event of an overload acting on it. The measuring membrane 1 thus comes in the event of an overload acting on the measuring electrode 15 and the front of the glass filling 11 to support, and is supported by this. The pressure sensor is thus overload resistant.

Zum elektrischen Anschluss der Messelektrode 15 an eine, hier nicht dargestellte, die Kapazitätsmessschaltung umfassende Messelektronik ist ein elektrisch leitfähiger Kontaktstift 17 vorgesehen. Dieser ist mit einer von der Messmembran 1 abgewandten Unterseite der Messelektrode 15 mittels einer elektrisch leitfähigen mechanischen Verbindung verbunden, und verläuft durch die Glasfüllung 11 hindurch. Die Verbindung besteht zum Beispiel aus einem oder mehreren die Messmembran 1 mit dem Kontaktstift 17 elektrisch und mechanisch verbindenden Schweißpunkten.For electrical connection of the measuring electrode 15 to a, not shown here, the capacitance measuring circuit comprehensive measuring electronics is an electrically conductive contact pin 17 intended. This is one of the measuring membrane 1 opposite underside of the measuring electrode 15 connected by means of an electrically conductive mechanical connection, and passes through the glass filling 11 therethrough. The connection consists for example of one or more of the measuring membrane 1 with the contact pin 17 electrically and mechanically connecting welding points.

Im Boden 5 der Halbschale 3 ist eine Durchführung 19 vorgesehen, durch die der Kontaktstift 17 hindurch führt, und über die der Kontaktstift 17 elektrisch isoliert gegenüber der Halbschale 3 kontaktierbar ist. Die Durchführung 19 ist vorzugsweise eine Glasdurchführung. Hierzu weist der Boden 5 eine durchgehende Bohrung 21 auf, durch die der Kontaktstift 17 hindurch führt. Ein zwischen einer Innenwand der Bohrung 21 und dem Kontaktstift 17 bestehender ringzylindrischer Hohlraum ist mit einer Füllung 23 aus Glas ausgefüllt.In the ground 5 the half shell 3 is an implementation 19 provided by the contact pin 17 leads through, and over which the contact pin 17 electrically isolated from the half shell 3 is contactable. The implementation 19 is preferably a glass feedthrough. For this, the ground points 5 a through hole 21 on, through which the contact pin 17 leads through. One between an inner wall of the bore 21 and the contact pin 17 existing annular cylindrical cavity is with a filling 23 made of glass.

Der erfindungsgemäße Drucksensor kann – wie in 1 dargestellt – als Absolutdrucksensor ausgebildet sein, der den zu messenden Druck p absolut, gegenüber einem Vakuum misst. In dem Fall ist der Kontaktstift 17 ein massiver Stift, und die unter der Messmembran 1 eingeschlossene Druckkammer 13 ist evakuiert.The pressure sensor according to the invention can - as in 1 illustrated - be designed as absolute pressure sensor which measures the pressure to be measured p absolute, against a vacuum. In that case the contact pin is 17 a solid pin, and the one under the measuring diaphragm 1 enclosed pressure chamber 13 is evacuated.

Alternativ kann der erfindungsgemäße Drucksensor als Relativdrucksensor ausgebildet sein, der den zu messenden Druck p bezogen auf einen Referenzdruck pref, z. B. den Atmosphärendruck, misst. Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel hierzu ist in 2 dargestellt. Der in 2 dargestellte Relativdrucksensor unterscheidet sich von dem in 1 dargestellten Absolutdrucksensor dadurch, dass anstelle des massiven Kontaktstifts 17 ein als Hohlstift ausgebildeter Kontaktstift 25 vorgesehen ist, und die Messelektrode 15 eine den Innenraum der Druckkammer 13 mit dem Innenraum des Hohlstifts verbindende Ausnehmung 27 aufweist. Der als Hohlstift ausgebildete Kontaktstift 25 bildet eine Druckzufuhr, über die die der Halbschale 3 zugewandte erste Seite der Messmembran 1 mit einem Druck – hier dem Referenzdruck pref – beaufschlagbar ist. Der Referenzdruck pref wird der Druckmesskammer 13 über den zugleich den elektrischen Anschluss der Messelektrode 1 bewirkenden Kontaktstift 25 zugeführt. Eine separate mit zusätzlichem Herstellungsaufwand und zusätzlichen Herstellungskosten verbundene Referenzdruckzufuhr ist nicht erforderlich.Alternatively, the pressure sensor according to the invention may be formed as a relative pressure sensor, the pressure to be measured p relative to a reference pressure p ref , z. B. the atmospheric pressure, measures. A preferred embodiment of this is in 2 shown. The in 2 shown relative pressure sensor differs from that in 1 shown absolute pressure sensor in that instead of the solid contact pin 17 a trained as a hollow pin contact pin 25 is provided, and the measuring electrode 15 one the interior of the pressure chamber 13 with the interior of the hollow pin connecting recess 27 having. The trained as a hollow pin pin 25 forms a pressure supply over which the half shell 3 facing first side of the measuring diaphragm 1 with a pressure - here the reference pressure p ref - can be acted upon. The reference pressure p ref becomes the pressure measuring chamber 13 via the same time the electrical connection of the measuring electrode 1 causing contact pin 25 fed. A separate associated with additional manufacturing cost and additional manufacturing costs reference pressure supply is not required.

Alternativ kann der erfindungsgemäße Drucksensor als Differenzdrucksensor ausgebildet sein, der eine Druckdifferenz Δp zwischen einem ersten Druck p1 und einem zweiten Druck p2 misst. Ein Ausführungsbeispiel hierzu ist in 3 dargestellt. Der Differenzdrucksensor unterscheidet sich von dem in 2 dargestellten Relativdrucksensor dadurch, dass auf der zweiten Seite der Messmembran 1 eine zweite metallische Halbschale 3 vorgesehen ist, die identisch zu der mit der ersten Seite der Messmembran 1 verbundenen Halbschale 3 ist. Die der Messmembran 1 zugewandte Stirnseite der zweiten Halbschale 3 ist mit einem äußeren Rand der zweiten Seite der Messmembran 1 mittels einer druckdichten Fügung 9 verbunden, insb. verschweißt. In der zweiten Halbschale 3 ist eine Glasfüllung 11 und eine mit einem vorzugsweise als Hohlstift ausgebildeten Kontaktstift 25 verbundene zweite Messelektrode 15 vorgesehen. Der Kontaktstift 25 ist auch hier durch eine Durchführung 19 im Boden 5 der zweiten Halbschale 3 elektrisch isoliert gegenüber der zweiten Halbschale 3 kontaktierbar. Glasfüllung 11, Kontaktstift 25, Messelektrode 15 und Durchführung 19 der zweiten Halbschale 3 sind identisch zu den entsprechenden in der ersten Halbschale 3 vorgesehenen Elementen, so dass der Differenzdrucksensor bezogen auf die Messmembran 1 insgesamt symmetrisch aufgebaut ist.Alternatively, the pressure sensor according to the invention may be designed as a differential pressure sensor which measures a pressure difference Δp between a first pressure p 1 and a second pressure p 2 . An embodiment of this is in 3 shown. The differential pressure sensor differs from that in 2 represented relative pressure sensor characterized in that on the second side of the measuring diaphragm 1 a second metallic half shell 3 is provided, which is identical to that with the first side of the measuring diaphragm 1 connected half shell 3 is. The measuring membrane 1 facing end side of the second half-shell 3 is with an outer edge of the second side of the measuring diaphragm 1 by means of a pressure-tight joint 9 connected, especially welded. In the second half shell 3 is a glass filling 11 and one with a preferably designed as a hollow pin contact pin 25 connected second measuring electrode 15 intended. The contact pin 25 is also here through an implementation 19 in the ground 5 the second half shell 3 electrically isolated from the second half shell 3 contactable. glass panel 11 , Contact pin 25 , Measuring electrode 15 and implementation 19 the second half shell 3 are identical to the corresponding ones in the first half shell 3 provided elements, so that the differential pressure sensor relative to the measuring diaphragm 1 is constructed symmetrically overall.

Die Kontaktstifte 25 sind auch hier vorzugsweise als Hohlstifte ausgebildeten, die zugleich als Druckzufuhr dienen, über die im Messbetrieb die erste Seite der Messmembran 1 mit dem ersten Druck p1 und die zweite Seite der Messmembran 1 mit dem zweiten Druck p2 beaufschlagt wird. Dabei werden der erste und der zweite Druck p1, p2 jeweils über den Innenraum des jeweiligen Hohlstifts und die Ausnehmung 27 in der jeweiligen Messelektrode 15 der jeweiligen Druckkammer 13 zugeführt.The contact pins 25 are here also preferably formed as hollow pins, which also serve as a pressure supply, on the measuring operation in the first side of the measuring membrane 1 with the first pressure p 1 and the second side of the measuring diaphragm 1 with the second pressure p 2 is applied. In this case, the first and the second pressure p 1 , p 2 respectively over the interior of the respective hollow pin and the recess 27 in the respective measuring electrode 15 the respective pressure chamber 13 fed.

Die erfindungsgemäßen Drucksensoren weisen den Vorteil auf, dass sie auf einfache Weise kostengünstig herstellbar sind. Dabei werden die Messelektroden 1 als Tiefziehteil vorgefertigt, und jeweils mit dem gewünschten Kontaktstifttyp über eine elektrisch leitfähige mechanische Verbindung, insb. mittels einer oder mehrerer Punktschweißungen, zu einem Modul verbunden. Zur Herstellung von Absolutdrucksensoren werden hierzu massive Kontaktstifte 17, zur Herstellung von Relativ- oder Differenzdrucksensoren vorzugsweise als Hohlstift ausgebildete Kontaktstifte 25 eingesetzt.The pressure sensors according to the invention have the advantage that they can be produced inexpensively in a simple manner. Thereby the measuring electrodes become 1 prefabricated as a deep-drawn part, and each connected to the desired type of contact pin via an electrically conductive mechanical connection, esp. By means of one or more spot welds, to form a module. For the production of absolute pressure sensors this massive contact pins 17 , For the production of relative or differential pressure sensors preferably designed as a hollow pin contact pins 25 used.

Die Halbschalen 3 werden vorzugsweise genau wie die Module in großen Stückzahlen und damit kostengünstig vorgefertigt.The half-shells 3 are preferably prefabricated just like the modules in large numbers and therefore cost.

Nachfolgend wird in jede metallische Halbschale 3 eine vorgegebene Menge Glaslot 29 derart eingebracht, dass die Bohrung 21 im Boden 5 der jeweiligen Halbschale 3 und einen Teilbereich des Innenraums der jeweiligen Halbschale 3 vollständig mit Glaslot 29 befüllt ist. Dieser Zustand ist in der das Herstellungsverfahren veranschaulichenden Explosionsdarstellung in 4 dargestellt. Die vorgegebene Menge ist mindestens gleich, vorzugsweise geringfügig größer als die insgesamt für die Glasfüllung 11 und die Füllung 23 der Glasdurchführung 19 benötigte Menge.Below is in each metallic half shell 3 a predetermined amount of glass solder 29 inserted so that the bore 21 in the ground 5 the respective half shell 3 and a portion of the interior of the respective half-shell 3 completely with glass solder 29 is filled. This state is in the exploded view illustrating the manufacturing method in FIG 4 shown. The predetermined amount is at least equal, preferably slightly larger than the total for the glass filling 11 and the filling 23 the glass passage 19 required quantity.

Anschließend wird das eingebrachte Glaslot 29 in der Halbschale 3 auf eine über dem Erweichungspunkt und unterhalb des Schmelzpunkts liegende Verarbeitungstemperatur erwärmt, bei der das Glaslot 29 eine weiche, unter Druck verformbare Masse bildet. Anschließend wird die Messelektrode 15 zusammen mit dem damit verbundenen Kontaktstift 17 bzw. 25 in das weiche Glaslot 29 eingesetzt. Hierzu wird vorzugsweise ein Stempel 31 verwendet, durch den die Messelektrode 15 in der in 4 durch Pfeile dargestellten Richtung auf das weiche Glaslot 29 gedrückt wird. Dabei durchdringt der Kontaktstift 17 bzw. 25 das Glaslot 29 zumindest soweit, dass dessen freies Ende nach dem Eindrücken mittig durch die Bohrung 21 hindurch verläuft. Der Stempel 31 besteht vorzugsweise aus Graphit oder einem anderen Werkstoff, der mit Glas keine Verbindung eingeht. Der Stempel 31 weist auf dessen Stirnseite einen Bereich 33 auf, dessen Größe und Formgebung der Größe und der Formgebung der Messelektrode 15 entspricht. Hierdurch wird die Messelektrode 15 beim Einsetzen in das Glaslot 29 flächig abgestützt, und ist somit vor Verformungen geschützt. Aufgrund des beim Einsetzen von der Messelektrode 15 auf das Glaslot 29 ausgeübten Drucks passt sich das weiche Glaslot 29 an die Formgebung der Messelektrode 15 an, und erhält auf diese Weise die der Biegekontur der Messmembran 1 im Falle einer darauf einwirkenden Überlast entsprechende Formgebung. Während des Eindrückens kann überschüssiges Glaslot 29 durch die Bohrung 21 im Boden 5 der Halbschale 3 austreten.Subsequently, the introduced glass solder 29 in the half shell 3 heated to above the softening point and below the melting point processing temperature at which the glass solder 29 forming a soft, compressible mass. Subsequently, the measuring electrode 15 together with the associated contact pin 17 respectively. 25 in the soft glass solder 29 used. For this purpose, preferably a stamp 31 used by the measuring electrode 15 in the in 4 indicated by arrows on the soft glass solder 29 is pressed. The contact pin penetrates 17 respectively. 25 the glass solder 29 at least so far that its free end after pressing centrally through the hole 21 passes through. The Stamp 31 is preferably made of graphite or other material that does not bond with glass. The Stamp 31 has on its front side an area 33 the size and shape of the size and shape of the measuring electrode 15 equivalent. This will cause the measuring electrode 15 when inserting into the glass solder 29 flat supported, and is thus protected from deformation. Due to the insertion of the measuring electrode 15 on the glass solder 29 applied pressure, the soft glass solder fits 29 to the shape of the measuring electrode 15 on, and receives in this way the bending contour of the measuring diaphragm 1 in the case of an overload acting on it appropriate shaping. During the depression can excess glass solder 29 through the hole 21 in the ground 5 the half shell 3 escape.

Das nach dem Einsetzen von Messelektrode 15 und Kontaktstift 17 bzw. 25 wieder erkaltete Glaslot 29 bildet die Glasfüllung 11 und die Füllung 23 der Glasdurchführung 19.The after insertion of measuring electrode 15 and contact pin 17 respectively. 25 again cooled glass solder 29 forms the glass filling 11 and the filling 23 the glass passage 19 ,

Vorzugsweise weisen die Halbschalen 3 eine im fertig gestellten Drucksensor von der Messmembran 1 beabstandte, die Glasfüllung 11 außenseitlich umschließende, und bündig mit der Glasfüllung 11 abschließende Absatzfläche 35 auf, und der Stempel 31 ist mit einem den messelektrodenförmigen Bereich 33 außenseitlich umgebenden äußeren Rand 37 ausgestattet. Die Messelektrode 15 wird mittels des Stempels 31 so weit in das weiche Glaslot 29 hinein gedrückt, dass der Rand 37 des Stempels 31 auf der Absatzfläche 35 aufliegt. Die Absatzfläche 35 bildet somit einen definierten Anschlag für den Stempel 31. Hierdurch wird erreicht, dass die Messelektrode 15 im fertig gestellten Drucksensor einen definierten und reproduzierbar herstellbaren Abstand zur Messmembran 1 aufweist.Preferably, the half shells 3 one in the finished pressure sensor from the measuring diaphragm 1 spaced, the glass filling 11 enclosing on the outside, and flush with the glass filling 11 final sales area 35 on, and the stamp 31 is with a measuring electrode shaped area 33 outside surrounding outer edge 37 fitted. The measuring electrode 15 is by means of the stamp 31 so far into the soft glass solder 29 pressed into it, that the edge 37 of the stamp 31 on the sales area 35 rests. The sales area 35 thus forms a defined stop for the stamp 31 , This ensures that the measuring electrode 15 in the finished pressure sensor a defined and reproducible manufacturable distance to the measuring diaphragm 1 having.

Bei der Herstellung von Drucksensoren mit als Hohlstift ausgebildeten Kontaktstiften 25, werden die Innenräume der Hohlstifte vor dem Einsetzten in das weiche Glaslot 29 verschlossen, um ein Eindringen von Glaslot 29 in den Innenraum zu verhindern. Hierzu wird vorzugsweise ein Stift 39 in den Innenraum des Kontaktstifts 25 eingesetzt, der nach dem Erkalten des Glaslots 29 wieder entfernt wird. Hierzu besteht der Stift 39 aus Graphit oder einem anderen mit dem Metall des Kontaktstifts 25 keine Verbindung eingehenden Material.In the manufacture of pressure sensors designed as a hollow pin contact pins 25 , the interiors of the hollow pins are before insertion into the soft glass solder 29 sealed to prevent penetration of glass solder 29 to prevent the interior. For this purpose, preferably a pin 39 in the interior of the contact pin 25 used after cooling the glass solder 29 is removed again. For this purpose, there is the pen 39 graphite or another with the metal of the contact pin 25 no connection incoming material.

Das erfindungsgemäße Verfahren bietet den Vorteil, dass sowohl die Glasfüllung 11 als auch die Einglasung des Kontaktstifts 17 bzw. 25 in einem einzigen Arbeitsgang erzeugt werden. In diesem Arbeitsgang wird zugleich auch die das Membranbett bildende, vorzugsweise der Biegekontur der Messmembran 1 entsprechende Formgebung der der Messmembran 1 zugewandten Stirnfläche der Glasfüllung 11 erzeugt.The inventive method has the advantage that both the glass filling 11 as well as the glazing of the contact pin 17 respectively. 25 be generated in a single operation. In this operation, at the same time also the membrane bed forming, preferably the bending contour of the measuring membrane 1 corresponding shaping of the measuring membrane 1 facing end face of the glass filling 11 generated.

Bezugszeichenliste LIST OF REFERENCE NUMBERS

11
Messmembranmeasuring membrane
33
Halbschalehalf shell
55
Bodenground
77
HalbschalenwandHalf shell wall
99
Fügungcoincidence
1111
Glasfüllungglass panel
1313
Druckkammerpressure chamber
1515
Messelektrodemeasuring electrode
1717
Kontaktstiftpin
1919
Durchführungexecution
2121
Bohrungdrilling
2323
Füllung aus GlasFilling of glass
2525
Kontaktstiftpin
2727
Ausnehmungrecess
2929
Glaslotglass solder
3131
Stempelstamp
3333
BereichArea
3535
Absatzflächeshoulder surface
3737
Randedge
3939
Stiftpen

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list of the documents listed by the applicant has been generated automatically and is included solely for the better information of the reader. The list is not part of the German patent or utility model application. The DPMA assumes no liability for any errors or omissions.

Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • US 3618390 [0007] US 3618390 [0007]

Claims (13)

Drucksensor, mit – einer mit einem Druck beaufschlagbaren und druckabhängig elastisch verformbaren metallischen Messmembran (1), – einer metallischen Halbschale (3), die eine mit einem äußeren Rand einer ersten Seite der Messmembran (1) verbundene, der Messmembran (1) zugewandte Stirnseite aufweist, – einer unter der Messmembran (1) in der Halbschale (3) eingeschlossenen Druckkammer (5), – einer in der Halbschale (3) angeordneten, von der Messmembran (1) beabstandeten Glasfüllung (11), und – einem kapazitiven elektromechanischen Wandler zur messtechnischen Erfassung einer druckabhängigen Verformung der Messmembran (1), mit einer auf der Glasfüllung (11) angeordneten Messelektrode (15) und einer durch die metallische Messmembran (1) gebildete Gegenelektrode, der dadurch gekennzeichnet ist, dass – die Messelektrode (15) ein auf einer der Messmembran (1) zugewandten Stirnseite der Glasfüllung (11) angeordnetes Tiefziehteil ist.Pressure sensor, with - a pressure-sensitive and pressure-dependent elastically deformable metallic measuring diaphragm ( 1 ), - a metallic half shell ( 3 ), one with an outer edge of a first side of the measuring diaphragm ( 1 ), the measuring membrane ( 1 ) facing end face, - one under the measuring diaphragm ( 1 ) in the half shell ( 3 ) enclosed pressure chamber ( 5 ), - one in the half shell ( 3 ), from the measuring membrane ( 1 ) spaced glass filling ( 11 ), and - a capacitive electromechanical transducer for metrological detection of a pressure-dependent deformation of the measuring diaphragm ( 1 ), with one on the glass filling ( 11 ) arranged measuring electrode ( 15 ) and one through the metallic measuring membrane ( 1 ) formed counter electrode, which is characterized in that - the measuring electrode ( 15 ) on one of the measuring membrane ( 1 ) facing end face of the glass filling ( 11 ) arranged deep-drawn part is. Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Messelektrode (15) und die der Messmembran (1) zugewandte Stirnseite der Glasfüllung (11) zur Abstützung der Messmembran (1) im Falle einer darauf einwirkenden Überlast eine Formgebung aufweisen, die einer Biegekontur der Messmembran (1) im Falle der darauf einwirkenden Überlast entspricht.Pressure sensor according to claim 1, characterized in that the measuring electrode ( 15 ) and the measuring membrane ( 1 ) facing end of the glass filling ( 11 ) for supporting the measuring membrane ( 1 ) have, in the case of an overload acting thereon, a shaping which corresponds to a bending contour of the measuring diaphragm ( 1 ) in the case of the overload acting thereon. Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass – ein elektrisch leitfähiger Kontaktstift (17, 25) vorgesehen ist, – der Kontaktstift (17, 25) mit einer von der Messmembran (1) abgewandten Unterseite der Messelektrode (15) mittels einer elektrisch leitfähigen mechanischen Verbindung, insb. mittels Schweißpunkten, verbunden ist, – der Kontaktstift (17, 25) durch die Glasfüllung (11) hindurch verläuft, und – in einem von der Messmembran (1) abgewandten Boden (5) der Halbschale (3) eine Durchführung (19), insb. eine Glasdurchführung, vorgesehen ist, durch die hindurch der Kontaktstift (17, 25) verläuft und elektrisch isoliert gegenüber der Halbschale (3) kontaktierbar ist.Pressure sensor according to claim 1, characterized in that - an electrically conductive contact pin ( 17 . 25 ), - the contact pin ( 17 . 25 ) with one of the measuring membrane ( 1 ) facing away from the underside of the measuring electrode ( 15 ) is connected by means of an electrically conductive mechanical connection, esp. By means of welding points, - the contact pin ( 17 . 25 ) through the glass filling ( 11 ), and - in one of the measuring membrane ( 1 ) facing away from the ground ( 5 ) of the half shell ( 3 ) an implementation ( 19 ), esp. A glass feedthrough is provided, through which the contact pin ( 17 . 25 ) and electrically isolated from the half-shell ( 3 ) is contactable. Drucksensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass – der Kontaktstift (25) ein Hohlstift ist, und – die Messelektrode (15) eine die Druckkammer (5) mit einem Innenraum des Hohlstifts verbindende Ausnehmung (27) aufweist.Pressure sensor according to claim 3, characterized in that - the contact pin ( 25 ) is a hollow pin, and - the measuring electrode ( 15 ) a pressure chamber ( 5 ) with an interior of the hollow pin connecting recess ( 27 ) having. Drucksensor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Hohlstift eine Druckzufuhr bildet, über die die der Halbschale (3) zugewandten Seite der Messmembran (1) mit einem Druck beaufschlagbar ist.Pressure sensor according to claim 4, characterized in that the hollow pin forms a pressure supply, via which the half-shell ( 3 ) facing side of the measuring membrane ( 1 ) can be acted upon with a pressure. Drucksensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der äußere Rand der Messmembran (1) mit einer der Messmembran (1) zugewandten Stirnseite der Halbschale (3) mittels einer druckdichten Fügung (9), insb. einer Schweißung, verbunden ist.Pressure sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the outer edge of the measuring diaphragm ( 1 ) with one of the measuring membrane ( 1 ) facing end side of the half-shell ( 3 ) by means of a pressure-tight joint ( 9 ), esp. A weld, is connected. Drucksensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass er als Differenzdrucksensor ausgebildet ist, indem – eine mit einem äußeren Rand einer zweiten Seite der Messmembran (1) verbundene zweite Halbschale (3) vorgesehen ist, die identisch zu der mit der ersten Seite der Messmembran (1) verbundenen Halbschale (3) ist, – in der zweiten Halbschale (3) eine zweite Glasfüllung (11) angeordnet ist, die identisch zu der Glasfüllung (11) der mit der ersten Seite der Messmembran (1) verbundenen Halbschale (3) ist, und – auf der der Messmembran (1) zugewandten Stirnseite der zweiten Halbschale (3) eine zweite Messelektrode (15) angeordnet ist, die identisch zu der in der mit der ersten Seite der Messmembran (1) verbundenen Halbschale (3) angeordneten Messelektrode (15) ist.Pressure sensor according to one of the preceding claims, characterized in that it is designed as a differential pressure sensor by - one with an outer edge of a second side of the measuring diaphragm ( 1 ) connected second half-shell ( 3 ) identical to that with the first side of the measuring diaphragm ( 1 ) connected half shell ( 3 ), - in the second half-shell ( 3 ) a second glass filling ( 11 ), which are identical to the glass filling ( 11 ) with the first side of the measuring membrane ( 1 ) connected half shell ( 3 ), and - on the measuring membrane ( 1 ) facing end side of the second half-shell ( 3 ) a second measuring electrode ( 15 ) identical to that in the first side of the measuring membrane ( 1 ) connected half shell ( 3 ) arranged measuring electrode ( 15 ). Drucksensor gemäß Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die von der Messmembran (1) abgewandten Unterseiten der beiden Messelektroden (15) jeweils mit einem elektrisch leitfähigen Kontaktstift (25) verbunden sind, – der durch die Glasfüllung (11) der jeweiligen Halbschale (3) hindurch verläuft, – der über eine in einem von der Messmembran (1) abgewandten Boden (5) der jeweiligen Halbschale (3) angeordnete Durchführung (19) elektrisch isoliert gegenüber der jeweiligen Halbschale (3) kontaktierbar ist, – der als Hohlstift ausgebildet ist, – dessen Innenraum über eine Ausnehmung (27) in der mit dem jeweiligen Kontaktstift (25) verbundenen Messelektrode (15) mit der an die jeweilige Messelektrode (15) angrenzenden Druckkammer (13) verbundenen ist, und – über den die dem jeweiligen Kontaktstift (25) zugewandte Seite der Messmembran (1) mit einem Druck (p1, p2) beaufschlagbar ist.Pressure sensor according to claim 7, characterized in that the of the measuring membrane ( 1 ) facing away undersides of the two measuring electrodes ( 15 ) each with an electrically conductive contact pin ( 25 ), - through the glass filling ( 11 ) of the respective half shell ( 3 ) passes through, - via a in one of the measuring membrane ( 1 ) facing away from the ground ( 5 ) of the respective half shell ( 3 ) ( 19 ) electrically isolated from the respective half-shell ( 3 ) is contactable, - is formed as a hollow pin, - whose interior via a recess ( 27 ) in the with the respective contact pin ( 25 ) connected measuring electrode ( 15 ) with the to the respective measuring electrode ( 15 ) adjacent pressure chamber ( 13 ), and - via which the respective contact pin ( 25 ) facing side of the measuring membrane ( 1 ) With a pressure (p 1 , p 2 ) can be acted upon. Verfahren zur Herstellung eines Drucksensor gemäß einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass – die eine Bohrung (21) in deren Boden (5) aufweisende Halbschale (3) gefertigt wird, – die Messelektrode (15) durch Tiefziehen aus einem Metallblech als Tiefziehteil gefertigt wird, – der Kontaktstift (17, 25), insb. mittels einer oder mehrerer Punktschweißungen, mit der Messelektrode (15) verbunden wird, – eine vorgegebene Menge Glaslot (29) derart in die Halbschale (3) eingebracht wird, dass die Bohrung (21) im Boden (5) der Halbschale (3) und ein Teilbereich des Innenraums der Halbschale (3) mit Glaslot (29) befüllt sind, – das eingebrachte Glaslot (29) in der Halbschale (3) auf eine über einem Erweichungspunkt und unterhalb eines Schmelzpunkts des Glaslots (29) liegende Verarbeitungstemperatur erwärmt wird, bei der das Glaslot (29) eine weiche und unter Druck verformbare Masse bildet, – die Messelektrode (15) zusammen mit dem damit verbundenen Kontaktstift (17, 25) in das weiche Glaslot (29) eingesetzt wird, und – sich das Glaslot (29) aufgrund des dabei von der Messmembran (15) auf das Glaslot (29) ausgeübten Drucks an eine Formgebung der Messelektrode (15) anpasst.Method for producing a pressure sensor according to one of the preceding claims, characterized in that - the one bore ( 21 ) in their soil ( 5 ) having half shell ( 3 ) is manufactured, - the measuring electrode ( 15 ) is made by deep drawing from a metal sheet as a deep-drawn part, - the contact pin ( 17 . 25 ), in particular by means of one or more spot welds, with the measuring electrode ( 15 ), - a predetermined amount of glass solder ( 29 ) into the half-shell ( 3 ) is introduced, that the bore ( 21 ) in the ground ( 5 ) of the half shell ( 3 ) and a portion of the interior of the half-shell ( 3 ) with glass solder ( 29 ), - the introduced glass solder ( 29 ) in the half shell ( 3 ) to above a softening point and below a melting point of the glass solder ( 29 ) is heated at which the glass solder ( 29 ) forms a soft and compressible mass, - the measuring electrode ( 15 ) together with the associated contact pin ( 17 . 25 ) into the soft glass solder ( 29 ), and - the glass solder ( 29 ) due to the fact of the measuring membrane ( 15 ) on the glass solder ( 29 ) applied pressure to a shape of the measuring electrode ( 15 ) adapts. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass – die Messelektrode (15) beim Einsetzen mittels eines Stempels (31), insb. eines Stempels (31) aus Graphit, auf das weiche Glaslot (29) gedrückt wird, und – der Stempel (31) auf dessen Stirnseite einen Bereich (33) aufweist, dessen Größe und Formgebung der Größe und der Formgebung der Messelektrode (15) entspricht.Method according to claim 9, characterized in that - the measuring electrode ( 15 ) when inserted by means of a punch ( 31 ), in particular a stamp ( 31 ) of graphite, on the soft glass solder ( 29 ), and - the stamp ( 31 ) on its front side an area ( 33 ), the size and shape of the size and shape of the measuring electrode ( 15 ) corresponds. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass überschüssiges Glaslot (29) beim Einsetzen der Messmembran (15) und des damit verbundenen Kontaktstifts (17, 25) durch die Bohrung (21) im Boden (5) der Halbschale (3) austritt.Process according to claim 9, characterized in that excess glass solder ( 29 ) when inserting the measuring membrane ( 15 ) and the associated contact pin ( 17 . 25 ) through the hole ( 21 ) in the ground ( 5 ) of the half shell ( 3 ) exit. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass – die Halbschale (3) eine Absatzfläche (31) aufweist, und – die Messelektrode (15) mittels des Stempels (31) so weit in das weiche Glaslot (29) gedrückt wird, dass ein äußerer Rand (37) des Stempels (31) auf der Absatzfläche (35) aufliegt.Method according to claim 9, characterized in that - the half-shell ( 3 ) a sales area ( 31 ), and - the measuring electrode ( 15 ) by means of the stamp ( 31 ) so far into the soft glass solder ( 29 ) is pressed, that an outer edge ( 37 ) of the stamp ( 31 ) on the sales area ( 35 ) rests. Verfahren nach Anspruch 9, 10, 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass – der Kontaktstift (25) ein Hohlstift ist, und – ein Innenraum des Hohlstifts vor dem Einsetzten in das weiche Glaslot (29) mittels eines Stifts (39), insb. eines Stifts (39) aus Graphit, verschlossen wird, und der Stift (39) nach dem Erkalten des Glaslots (29) wieder entfernt wird.Method according to claim 9, 10, 11 or 12, characterized in that - the contact pin ( 25 ) is a hollow pin, and - an interior of the hollow pin before insertion into the soft glass solder ( 29 ) by means of a pencil ( 39 ), esp. of a pen ( 39 ) of graphite, is closed, and the pen ( 39 ) after cooling the glass solder ( 29 ) is removed again.
DE102014102973.9A 2014-03-06 2014-03-06 pressure sensor Withdrawn DE102014102973A1 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014102973.9A DE102014102973A1 (en) 2014-03-06 2014-03-06 pressure sensor
PCT/EP2015/053675 WO2015132089A1 (en) 2014-03-06 2015-02-23 Pressure sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014102973.9A DE102014102973A1 (en) 2014-03-06 2014-03-06 pressure sensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102014102973A1 true DE102014102973A1 (en) 2015-09-10

Family

ID=52629529

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102014102973.9A Withdrawn DE102014102973A1 (en) 2014-03-06 2014-03-06 pressure sensor

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE102014102973A1 (en)
WO (1) WO2015132089A1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016109645A1 (en) * 2016-05-25 2017-11-30 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Pressure sensor element and capacitive pressure sensor
JP7021020B2 (en) * 2018-07-24 2022-02-16 アズビル株式会社 Pressure sensor chip

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3618390A (en) 1969-10-27 1971-11-09 Rosemount Eng Co Ltd Differential pressure transducer
US3793885A (en) * 1972-09-05 1974-02-26 Rosemount Inc Diaphrgam construction for differential pressure transducer
US4086815A (en) * 1975-07-24 1978-05-02 Fuji Electric Co., Ltd. Device for use in sensing pressures
DE2801658A1 (en) * 1977-01-17 1978-07-20 Rosemount Inc CAPACITIVE PRESSURE SENSOR
DE102005023021A1 (en) * 2005-05-17 2006-11-30 Labom Meß- und Regeltechnik GmbH Pressure e.g. hydrostatic pressure, agent for juice production, has membrane whose inner area receives two resting positions, where agent is filled with preset fluid so that membrane surface is provided between axial resting positions
DE102007061990A1 (en) * 2007-12-21 2009-07-16 Ifm Electronic Gmbh Rotable display device i.e. manometer, for displaying measured pressure values of flowable fluid, has transparent windshield for forming body with housing for enclosing inlay that is supported rotatably in housing
US8429978B2 (en) * 2010-03-30 2013-04-30 Rosemount Inc. Resonant frequency based pressure sensor

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS542783A (en) * 1977-06-09 1979-01-10 Fuji Electric Co Ltd Production of pressure or differential pressure measuring apparatus
JPS59174730A (en) * 1983-03-24 1984-10-03 Shimadzu Corp Differential pressure detecting device
JP2004069555A (en) * 2002-08-07 2004-03-04 Omron Corp Pressure sensor and manufacturing method thereof

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3618390A (en) 1969-10-27 1971-11-09 Rosemount Eng Co Ltd Differential pressure transducer
US3793885A (en) * 1972-09-05 1974-02-26 Rosemount Inc Diaphrgam construction for differential pressure transducer
US4086815A (en) * 1975-07-24 1978-05-02 Fuji Electric Co., Ltd. Device for use in sensing pressures
DE2801658A1 (en) * 1977-01-17 1978-07-20 Rosemount Inc CAPACITIVE PRESSURE SENSOR
DE102005023021A1 (en) * 2005-05-17 2006-11-30 Labom Meß- und Regeltechnik GmbH Pressure e.g. hydrostatic pressure, agent for juice production, has membrane whose inner area receives two resting positions, where agent is filled with preset fluid so that membrane surface is provided between axial resting positions
DE102007061990A1 (en) * 2007-12-21 2009-07-16 Ifm Electronic Gmbh Rotable display device i.e. manometer, for displaying measured pressure values of flowable fluid, has transparent windshield for forming body with housing for enclosing inlay that is supported rotatably in housing
US8429978B2 (en) * 2010-03-30 2013-04-30 Rosemount Inc. Resonant frequency based pressure sensor

Also Published As

Publication number Publication date
WO2015132089A1 (en) 2015-09-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1269135B1 (en) Pressure sensor module
DE2237535C2 (en) Pressure transducer
EP2097727B1 (en) Method for embossing a separating membrane of a pressure transmitter
EP0421394B1 (en) Differential pressure measuring device
WO2002033372A1 (en) Pressure measuring cell
WO2019174858A1 (en) Differential pressure sensor for determining a differential pressure magnitude
EP3080571A1 (en) Pressure sensor
DE102004048367B4 (en) Method for filling a pressure measuring transducer
WO2016102121A1 (en) Differential pressure sensor and differential pressure measurement transducer having such a differential pressure sensor
DE102014102973A1 (en) pressure sensor
DE102018108744A1 (en) Method for producing a pressure sensor
WO2016087148A1 (en) Pressure-measuring cell
WO2011113643A1 (en) Hydraulic pressure transmitter, pressure transducer having such a pressure transmitter and method for producing same
DE102015206470A1 (en) Apparatus for determining a pressure and method of making the same
DE10313738A1 (en) Capacitive micro-mechanical sensor for detecting pressure, has separately processed components with semiconductor material, electrodes and a steel membrane
EP3304019B1 (en) Pressure sensor with active brazing
DE102014108099A1 (en) pressure sensor
WO2019115111A1 (en) Modular kit for producing pressure sensors
DE102010000915A1 (en) Capacitive ceramic pressure sensor i.e. absolute pressure sensor, for container opening to measure absolute pressure on measuring membrane, has electrode and counter electrode between which space is formed and smaller than joint thickness
DE102016109645A1 (en) Pressure sensor element and capacitive pressure sensor
DE102008043567A1 (en) Pressure sensor e.g. absolute pressure sensor, for industrial measurement technique, has metal pin inserted into cylindrical opening and comprising pin end, which lies opposite to closing head and is alignably locked with end of opening
EP2784461B1 (en) Pressure measurement cell for detecting the pressure of a medium adjoining the measurement cell
WO2021094231A1 (en) Modular assembly for a pressure gage for measuring the pressure of a process medium
DE102011075822B4 (en) Device for capacitive pressure determination
EP1325295A1 (en) Pressure measuring cell

Legal Events

Date Code Title Description
R163 Identified publications notified
R081 Change of applicant/patentee

Owner name: ENDRESS+HAUSER SE+CO. KG, DE

Free format text: FORMER OWNER: ENDRESS + HAUSER GMBH + CO. KG, 79689 MAULBURG, DE

R082 Change of representative

Representative=s name: ANDRES, ANGELIKA, DIPL.-PHYS., DE

R005 Application deemed withdrawn due to failure to request examination