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Brevets

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Numéro de publicationDE102016102836 A1
Type de publicationDemande
Numéro de demandeDE201610102836
Date de publication24 août 2017
Date de dépôt18 févr. 2016
Date de priorité18 févr. 2016
Numéro de publication1610102836, 201610102836, DE 102016102836 A1, DE 102016102836A1, DE 2016/10102836 A1, DE-A1-102016102836, DE102016102836 A1, DE102016102836A1, DE1610102836, DE2016/10102836A1, DE201610102836
InventeursStefan Thurmeier
DéposantTurbodynamics Gmbh
Exporter la citationBiBTeX, EndNote, RefMan
Liens externes: DPMA (Office allemand des brevets et des marques), Espacenet
Vorrichtung zum Ausrichten von zwei Testeinheiten Apparatus for aligning two test units Langue du texte original : Allemand
DE 102016102836 A1
Résumé  Langue du texte original : Allemand
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Ausrichten von zwei Testeinheiten, wie z. The invention relates to a device for aligning two test units such. B. einer Prüfvorrichtung (Tester) und einer Handhabungsvorrichtung (Handler), eines Testsystems zum Testen von Halbleiterbauteilen. As a testing device (tester) and a handling apparatus (handler), a test system for testing semiconductor devices. Diese Ausrichtvorrichtung umfasst eine Basisplatte (4) und eine Dockingplatte (5), wobei die Basisplatte (4) und die Dockingplatte (5) mit jeweils einer Testeinheit verbindbar ausgebildet und zueinander beweglich und in ihrer relativen Position arretierbar sind. This aligning device comprises a base plate (4) and a docking plate (5), wherein the base plate (4) and the docking plate (5) each having a test unit constructed and connected movably to each other and can be locked in their relative position. Die Basisplatte weist mehrere Klemmelemente (13) auf, mit welchen die Dockingplatte (5) an die Basisplatte (4) geklemmt werden kann The base plate has a plurality of clamping elements (13) with which the docking plate (5) can be clamped to the base plate (4)
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Revendications(15)  Langue du texte original : Allemand
  1. Vorrichtung zum Ausrichten von zwei Testeinheiten, wie z. Device for aligning two test units such. B. einer Prüfvorrichtung (Tester) ( As a testing device (tester) ( 3 3 ) und einer Handhabungsvorrichtung (Handler) ( ) And a handling apparatus (handler) ( 2 2 ), eines Testsystems zum Testen von Halbleiterbauteilen, umfassend eine Basisplatte ( ), A test system for testing semiconductor devices, comprising a base plate ( 4 4 ) und eine Dockingplatte ( ) And a docking plate ( 5 5 ), wobei die Basisplatte ( ), Wherein the base plate ( 4 4 ) und die Dockingplatte ( ) And the docking plate ( 5 5 ) mit jeweils einer Testeinheit ( ) (Each having a test unit 2 2 , . 3 3 ) verbindbar ausgebildet und zueinander beweglich und in ihrer relativen Position arretierbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Basisplatte ( ) Formed and connected movably to each other and can be locked in their relative position, characterized in that the base plate ( 4 4 ) mehrere Klemmelemente ( ) A plurality of clamping elements ( 13 13 ) aufweist, mit welchen die Dockingplatte ( ) By means of which the docking plate ( 5 5 ) an die Basisplatte ( ) (To the base plate 4 4 ) geklemmt werden kann. ) Can be clamped.
  2. Vorrichtung zum Ausrichten von zwei Testeinheiten, wie z. Device for aligning two test units such. B. einer Prüfvorrichtung ( As a testing device ( 3 3 ) und einer Handhabungsvorrichtung ( ) And a handling apparatus ( 2 2 ), eines Testsystems zum Testen von Halbleiterbauteilen, insbesondere nach Anspruch 1, umfassend eine Basisplatte ( ), A test system for testing semiconductor components, in particular according to claim 1, comprising a base plate ( 4 4 ) und eine Dockingplatte ( ) And a docking plate ( 5 5 ), wobei die Basisplatte ( ), Wherein the base plate ( 4 4 ) und die Dockingplatte ( ) And the docking plate ( 5 5 ) mit jeweils einer Testeinheit ( ) (Each having a test unit 2 2 , . 3 3 ) verbindbar ausgebildet und zueinander beweglich und in ihrer relativen Position arretierbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Basisplatte ( ) Formed and connected movably to each other and can be locked in their relative position, characterized in that the base plate ( 4 4 ) eine Einschubführung zum Führender Dockingplatte ( ) An insertion guide (for guiding the docking plate 5 5 ) aufweist, wobei die Einschubführungen derart ausgebildet sind, dass die Dockingplatte ( ), Wherein the insertion guides are formed such that the docking plate ( 5 5 ) zum Austauschen derselben vollständig aus den Einschubführungen herausgezogen werden kann. ) For exchanging thereof can be completely pulled out of the insertion guides.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Basisplatte ( Device according to claim 1 or 2, characterized in that the base plate ( 4 4 ) eine Einschubführung zum losen Führen der Dockingplatte ( ) An insertion guide for loosely guiding the docking plate ( 5 5 ) aufweist. ) having.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Einschubführung ein L-förmiges Profil aufweist, wobei ein freier Schenkel des L-förmigen Profils parallel zur Basisplatte angeordnet ist und einen derartigen Abstand zur Basisplatte aufweist, dass die Dockingplatte hierin mit einem Spiel aufgenommen werden kann, das ein Verschieben der Dockingplatte relativ zur Basisplatte erlaubt. Device according to claim 2 or 3, characterized in that the insertion guide has an L-shaped profile, wherein a free leg of the L-shaped profile is arranged parallel to the base plate and has such a distance to the base plate such that the docking plate incorporated with a game can be that allows a displacement of the docking plate relative to the base plate.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Einschubführung eine parallel zur Basisplatte ( Device according to claim 4, characterized in that the insertion guide has a (parallel to the base plate 4 4 ) angeordneten Einschubleiste ( ) Arranged insertion strip ( 11 11 ) ausweist, welche am äußeren Randbereich mit der Basisplatte ( ) Identifies that at the outer edge region (with the base plate 4 4 ) fest verbunden ist und zusätzliche mit Bolzen ( ) Is fixedly connected and additional (with pin 31 31 ) benachbart zum inneren Randbereich der Einschubleisten ( ) Adjacent to the inner edge region of the push bars ( 11 11 ) mit der Basisplatte ( ) (With the base plate 4 4 ) verbunden ist und die Dockingplatte ( ) And the docking plate ( 5 5 ) jeweils im Bereich benachbart zu den Bolzen ( ) Adjacent respectively in the region (to the bolt 31 31 ) eine Ausnehmung ( ) Has a recess ( 33 33 ) aufweist, so dass die Dockingplatte ( ), So that the docking plate ( 5 5 ) ein Stück relativ zur Basisplatte ( ) A piece (relative to the base plate 4 4 ) bewegt werden kann, ohne mit den Bolzen ( ) Can be moved without (with the bolt 31 31 ) zu kollidieren. colliding).
  6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung ( Device according to one of claims 1 to 5, characterized in that the device ( 1 1 ) zumindest eine Arretiereinrichtung ( ) At least one locking means ( 23 23 ) aufweist, mit welcher die Basisplatte ( ), By which the base plate ( 4 4 ) und die Dockingplatte ( ) And the docking plate ( 5 5 ) in einer vorbestimmten Position zueinander arretierbar sind. ) Can be locked to each other in a predetermined position.
  7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Arretiereinrichtung ( Device according to claim 6, characterized in that the locking means ( 23 23 ) aus einem Arretierbolzen ( ) (Of a locking pin 24 24 ) und zumindest einem entsprechend passenden Arretierloch ( ) And at least one corresponding mating locking hole ( 25 25 ) ausgebildet ist, wobei der Arretierbolzen ( is formed), wherein the locking bolt ( 24 24 ) fest mit der Basisplatte ( ) Tight (with the base plate 4 4 ) oder der Dockingplatte ( ) Or on the docking plate ( 5 5 ) verbunden und das Arretierloch ( ) And the lock hole ( 30 30 ), in welche der Arretierbolzen ( ) Into which the locking pin ( 24 24 ) eingreifen kann, an der entsprechend anderen Platte ausgebildet ist. may intervene), is formed at the corresponding other plate.
  8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Arretiereinrichtung ( Device according to claim 6 or 7, characterized in that the locking device ( 23 23 ) eine Feinjustiereinrichtungen ( ) A Feinjustiereinrichtungen ( 28 28 ) aufweist, um die Position des Arretierbolzens ( ), Comprising at (the position of the locking bolt 24 24 ) und/oder des Arretierloches ( () And / or the Arretierloches 30 30 ) in zumindest eine und vorzugsweise in zumindest zwei zueinander orthogonalen Richtungen zu verändern. ) In at least one, and preferably to change in at least two mutually orthogonal directions.
  9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass zwei Arretiereinrichtungen ( Device according to one of claims 6 to 8, characterized in that two locking means ( 23 23 ) vorgesehen sind ) Provided
  10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Klemmelemente ( Device according to one of claims 1 to 9, characterized in that the clamping elements ( 13 13 ) derart verschieblich oder drehbar angeordnet sind, dass sie beim relativen Bewegen der Dockingplatte ( ) Are arranged displaceably or pivotally that they (when relatively moving the docking plate 5 5 ) bzgl. der Basisplatte ( ) With respect to. The base plate ( 4 4 ) aus einer Klemmposition bewegbar sind, so dass sie nicht mit an der Dockingplatte befestigten Dockingelementen ( ) Are movable from a clamping position, so that they do not (with the docking plate mounted on docking elements 8 8th ) kollidieren. ) Collide.
  11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Klemmelemente ( Device according to one of claims 1 to 10, characterized in that the clamping elements ( 13 13 ) jeweils einen schwenkbar gelagerten Hebel ( ) Each comprise a pivotally mounted lever ( 14 14 ) aufweisen, der mit seinem freien Ende gegen die von der Basisplatte ( ) Which of its free end against the (from the base plate 4 4 ) abgewandten Seite der Dockingplatte ( ) Side of the docking plate facing away from ( 5 5 ) gedrückt werden kann, wobei am freien Ende des Hebels ( ) Can be pressed, in which (at the free end of the lever 14 14 ) jeweils ein Druckstempel ( ) Each comprise a plunger ( 18 18 ) vorgesehen sein kann. ) May be provided.
  12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung eine Basisplatte ( Device according to one of claims 1 to 11, characterized in that the device (a base plate 4 4 ) und zumindest zwei Dockingplatten ( ) And at least two docking plates ( 5 5 ) aufweist, wobei die Dockingplatten ( ), Wherein the docking plates ( 5 5 ) zum Verbinden mit unterschiedlichen Testeinheiten ( ) For connecting (with different test units 2 2 , . 3 3 ) ausgebildet sind. ) Are formed.
  13. Testsystem umfassend eine Prüfvorrichtung ( Test system comprising a test apparatus ( 3 3 ) und eine Handhabungsvorrichtung ( ) And a handling apparatus ( 2 2 ), gekennzeichnet durch eine Vorrichtung ( ) In (by a device 1 1 ) zum Ausrichten der Prüfvorrichtung ( ) (For aligning the testing device 3 3 ) und der Handhabungsvorrichtung ( ) And the handling device ( 2 2 ) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 12. ) According to one of claims 1 to 12th
  14. Testsystem nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Testsystem ein horizontales Testsystem ist. Test system according to claim 13, characterized in that the test system is a horizontal test system.
  15. Testsystem nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Testsystem eine Basisplatte ( Test system according to claim 13 or 14, characterized in that said test system (a base plate 4 4 ) und zumindest zwei Dockingplatten ( ) And at least two docking plates ( 5 5 ) aufweist, wobei die Dockingplatten ( ), Wherein the docking plates ( 5 5 ) zum Verbinden mit unterschiedlichen Testeinheiten ( ) For connecting (with different test units 2 2 , . 3 3 ) ausgebildet sind. ) Are formed.
Description  Langue du texte original : Allemand
  • [0001] [0001]
    Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Ausrichten von zwei Testeinheiten, wie zum Beispiel einer Prüfvorrichtung (Tester) und einer Handhabungsvorrichtung (Handler), eines Testsystems zum Testen von Halbleiterbauteilen. The present invention relates to a device for aligning two test units, such as a testing device (tester) and a handling apparatus (handler), a test system for testing semiconductor devices.
  • [0002] [0002]
    Eine solche Vorrichtung ist aus der Such a device is known from DE 2002 14 629 U1 DE 2002 14 629 U1 bekannt. known. Diese Vorrichtung weist eine testerseitige Einzelplatte zum Anbringen an einer Prüfvorrichtung und eine handlerseitige Einzelplatte zum Anbringen an einer Handhabungsvorrichtung auf. This apparatus includes a tester-side single-plate for attachment to a test apparatus and a handler sided single-plate for attachment to a handling device. Die beiden Einzelplatten sind zueinander verschiebbar und arretierbar. The two single panels are mutually displaceable and lockable. Zum Arretieren ist eine Lochplatte vorgesehen, welche mehrere Löcher aufweist, so dass eine Eingriffseinrichtung in unterschiedlichen Löchern eingreifen kann, so dass die beiden Einzelplatten in unterschiedlichen relativen Positionen zueinander arretierbar sind. For locking a perforated plate is provided which has a plurality of holes so that an engagement means can engage in different holes, so that the two individual plates are locked to each other in different relative positions. Eine der beiden Einzelplatten wird ortsfest an einem aus der Prüfvorrichtung und der Handhabungsvorrichtung bestehenden Testsystem angeordnet und die andere Einzelplatte ist bezüglich der ortsfesten Einzelplatte beweglich bzw. verschiebbar ausgebildet. One of the two individual plates is fixedly secured to an existing from the tester and the handling device test system and the other individual plate is designed to be movable or displaceable relative to the fixed single plate. Diese bekannte Vorrichtung ist für ein sogenanntes vertikales Testsystem vorgesehen, bei dem die Schnittstelle zwischen der Prüfvorrichtung und der Handhabungsvorrichtung in einer vertikalen Ebene liegt. This known device is intended for a so-called vertical test system in which the interface between the tester and the handling device is located in a vertical plane. Die bewegliche Einzelplatte ist deshalb mit einer Hubeinrichtung versehen, mit welcher die Einzelplatte und die daran befestigte Testeinheit angehoben bzw. abgesenkt werden kann. The movable single plate is therefore provided with a lifting device, with which can be raised, the single plate and the attached test unit or lowered. Gemäß der According to the DE 2002 14 629 U1 DE 2002 14 629 U1 kann die Verschiebbarkeit der Einzelplatten durch ein oder mehrere Wälz- oder Gleitlager, Kugelführungsbuchsen, Gleitführungen, Rollenführungen, Linearlager, Linearführungen, Radiallager, Luftlager oder Hydrolager bewirkt werden. , the displaceability of the individual plates by one or more roller bearings or plain bearings, ball bushings, sliding guides, roller guides, linear bearings, linear bearings, radial bearings, air bearings or hydraulic bearings can be effected. Die am Markt vertriebenen Vorrichtungen weisen ausschließlich Linearführungen auf. The sold on the market devices have exclusively on linear guides. Mit den Linearführungen zwischen den beiden Einzelplatten Kräfte senkrecht zu den Ebenen der Einzelplatten übertragen werden. With the linear guides between the two individual plates forces are transmitted perpendicular to the planes of the individual plates. Im Betrieb eines solchen Testsystems werden die zu testenden Bauelemente gegen einen Druckstempel (Plunger) gedrückt, wobei erhebliche Kräfte auftreten können. In operation of such a test system, the components to be tested are pressed against a pressure piston (plunger), where considerable forces may occur. Wären die beiden Einzelplatten nicht miteinander derart befestigt, dass sie Kräfte quer zu den Ebenen übertragen können, dann würden sie im Betrieb auseinandergedrückt werden, wodurch die Positionierung des Druckstempels zu den zu testenden Bauteilen nicht gewährleistet wäre. If the two individual plates are not fixed to each other such that they can transmit forces transverse to the planes, they would be forced apart during operation, whereby the positioning of the plunger to the tested components would not be ensured. Ein entsprechender Test der Halbleiterbauteile könnte dann nicht zuverlässig ausgeführt werden. A corresponding test of semiconductor components could then not be reliably performed.
  • [0003] [0003]
    Diese bekannte Vorrichtung mit den zwei zueinander verschieblich ausgebildeten Einzelplatten hat sich in der Praxis bewährt, da dadurch das Austauschen einer Testeinheit und Einrichten der beiden Testeinheiten zueinander wesentlich schneller als bei herkömmlichen Verbindungssystemen erfolgen kann, bei welchen eine Vielzahl von Schrauben gelöst und neu verschraubt werden müssen. This known apparatus with the two mutually displaceable trained individual plates has proven itself in practice, as this can be done to each other considerably faster than in conventional connection systems, the replacement of a test unit and setting up of the two test units must be in which solved a plurality of screws and re-screw ,
  • [0004] [0004]
    Aus der From the WO 2013/164407 A1 WO 2013/164407 A1 ist ein Modul zum Austauschen eines Testboards bzw. einer Schnittstelleneinheit in einem Testsystem zum Testen von Halbleiterbauelementen bekannt. discloses a module for replacing a test board and an interface unit in a test system for testing semiconductor devices. Dieses Modul ist ähnlich wie eine Schublade ausgebildet. This module is similar to a drawer formed. Dieses Modul ist in dem Bereich zwischen der Handhabungsvorrichtung und der Prüfvorrichtung angeordnet und an einem dieser beiden Testeinheiten befestigt. This module is located in the area between the handling apparatus and the test apparatus and attached to one of these two test units. Werden die Handhabungsvorrichtung und die Prüfvorrichtung voneinander gelöst und ein Stück voneinander entfernt, dann kann das Testboard mit dem Schubladenmechanismus einfach aus dem Zwischenbereich zwischen der Handhabungsvorrichtung und der Prüfvorrichtung herausgezogen und durch ein anderes Testboard ausgetauscht werden. If the handling apparatus and the test apparatus and detached from one another a distance away from each other, then the test board can be easily pulled out with the drawer mechanism from the intermediate area between the handling device and the test device and replaced with another test board. Dieses Testboard kann dann mittels des Schubladenmechanismus in den Bereich zwischen der Prüfvorrichtung und der Handhabungsvorrichtung eingeschoben und dort fixiert werden. This test board can then be inserted by means of the drawer mechanism in the area between the tester and the handling device and fixed there. Dieses Modul erlaubt ein sehr einfaches und schnelles Austauschen des Testboards. This module allows a very simple and rapid replacement of the test board.
  • [0005] [0005]
    Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine eingangs beschriebene Ausrichtvorrichtung derart weiterzubilden, dass sie einfacher und kostengünstiger ausgebildet ist und zudem flexibler in der Anwendung und insbesondere auch zum Testen von sehr kleinen Kontaktstrukturen geeignet ist. The object of the invention is based is to develop an alignment device described at the outset in such a way that it is simple and inexpensive, and also formed of flexible useful in the application and in particular for the testing of very small contact structures.
  • [0006] [0006]
    Die Aufgabe wird durch eine Vorrichtung gemäß den unabhängigen Ansprüchen gelöst. The object is achieved by an apparatus according to the independent claims. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den jeweiligen Unteransprüchen angegeben. Advantageous embodiments are given in the respective subclaims.
  • [0007] [0007]
    Eine erfindungsgemäße Vorrichtung zum Ausrichten von zwei Testeinheiten, wie zum Beispiel einer Prüfvorrichtung (Tester) und einer Handhabungsvorrichtung (Handler), eines Testsystems zum Testen von Halbleiterbauteilen umfasst eine Basisplatte und eine Dockingplatte, wobei die Basisplatte und die Dockingplatte mit jeweils einer Testeinheit verbindbar ausgebildet und zueinander beweglich und in ihrer relativen Position arretierbar sind. An inventive device for aligning two test units, such as a testing device (tester) and a handling apparatus (handler), a test system for testing semiconductor devices comprises a base plate and a docking plate, the base plate and the docking plate formed connected to each of a test unit and are mutually movable and can be locked in their relative position. Diese Vorrichtung zeichnet sich dadurch aus, dass die Basisplatte mehrere Klemmelemente aufweist, mit welchen die Dockingplatte an die Basisplatte geklemmt werden kann. This apparatus is characterized in that the base plate has a plurality of clamping elements with which the docking plate can be clamped to the base plate.
  • [0008] [0008]
    Durch das Vorsehen mehrerer Klemmelemente, mit welchen die Dockingplatte an die Basisplatte klemmbar ist, wird auf einfache Art und Weise eine feste Verbindung zwischen der Dockingplatte und der Basisplatte realisiert, so dass im Betrieb des Testsystems auch Kräfte quer zur Ebene der Basisplatte oder Dockingplatte übertragbar sind. By providing a plurality of clamping elements with which the docking plate is clamped to the base plate, is realized a permanent connection between the docking plate and the base plate in a simple manner, so that forces are transversely transferable to the plane of the base plate or docking plate during operation of the test system , Hierdurch ist es nicht notwendig, zwischen der Basisplatte und der Dockingplatte Führungen vorzusehen, welche solche Kräfte übertragen können. Thereby, it is not necessary to provide between the base plate and the docking plate guides which can transmit such forces. Im nicht arretierten Zustand kann die Dockingplatte vielmehr lose an die Basisplatte gekoppelt sein. In the unlocked state, the docking plate rather may be loosely coupled to the base plate. Hierdurch ist es möglich, die Dockingplatte nicht nur in einer Ebene parallel zur Basisplatte in X- und Y-Richtung zu verschieben, sondern auch eine geringfügige relative Drehbewegung auszuführen. This makes it possible to move the docking plate not only in a plane parallel to the base plate in the X- and Y-directions, but also carry out a slight relative rotary movement. Dies erlaubt ein Ausrichten der Prüfvorrichtung und der Handhabungsvorrichtung auch bezüglich ihrer relativen Drehposition. This allows an alignment of the tester and the handling device also for their relative rotational position. Dies ist besonders vorteilhaft beim Testen von Halbleiterbauteilen mit sehr kleinen Kontaktstrukturen, da eine geringe Abweichung in der Drehposition zu Fehlkontakten führen kann. This is particularly advantageous in testing of semiconductor devices with very small contact structures, since a small deviation in the rotational position can lead to faulty contacts.
  • [0009] [0009]
    Die Basisplatte weist vorzugsweise eine Einschubführung zum Führung der Dockingplatte auf. The base plate preferably has an insertion guide for guiding the docking plate. Die Einschubführungen sind nach einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung derart ausgebildet, dass die Basisplatte vollständig aus den Einschubführungen herausgezogen werden kann. The slide guides are formed according to a further aspect of the present invention is such that the base plate can be completely pulled out of the insertion guides. Hierdurch wird ein einfaches Austauschen der Basisplatte ermöglicht. This allows easy replacement of the base plate. Wird bei einem Testsystem die mit der Basisplatte verbundene Testeinheit (Prüfvorrichtung oder Handhabungsvorrichtung) ausgetauscht, dann ist es nicht notwendig, wie bei herkömmlichen Verbindungseinrichtungen, dass die entsprechenden Dockingelemente von Hand abgeschraubt und in neue Positionen versetzt werden, die für die neue Testeinheit passen, sondern die Basisplatte kann vollständig ausgetauscht werden und eine Basisplatte kann eingesetzt werden, auf welcher die Dockingelemente so angeordnet sind, dass sie zur neuen Testeinheit passen. If connected to the base plate test unit (tester or handler) exchanged in a test system, it is not necessary as with conventional connection means that the corresponding docking elements are unscrewed by hand and placed in new positions that fit for the new test unit, but the base plate can be exchanged completely, and a base plate may be used, on which the docking elements are arranged so that they match the new test unit. Die Testeinheiten werden oftmals von unterschiedlichen Herstellern hergestellt, welche die mit den Dockingelementen verbindbaren Verbindungseinrichtungen unterschiedlich anordnen. The test units are often made by different manufacturers, which arrange the connectable to the docking elements connecting devices differently. Testhäuser besitzen oft derart unterschiedliche Testeinheiten. Test homes often have such different test units. Mit der vorliegenden Erfindung können zu den jeweiligen Testeinheiten entsprechende Basisplatten vorgehalten werden, sodass die Testeinheiten zusammen mit den Basisplatten sehr schnell ausgetauscht werden können. With the present invention corresponding base plates can be kept to the respective test units, so that the test units can be exchanged very rapidly along with the base plates.
  • [0010] [0010]
    Die Einschubführungen sind vorzugsweise zum losen Führung der Dockingplatte ausgebildet. The insertion guides are preferably designed to loosely guide the docking plate. Hierdurch kann die Dockingplatte auch ein Stück bzgl. der Basisplatte gedreht werden. In this way, the base plate may also regarding a piece of the docking plate. Rotated.
  • [0011] [0011]
    Eine solche Einschubführung kann beispielsweise ein L-förmiges Profil aufweisen, wobei ein freier Schenkel des L-förmigen Profils parallel zur Basisplatte angeordnet ist und einen derartigen Abstand zur Basisplatte aufweist, dass die Dockingplatte hierin mit einem geringen Spiel aufgenommen werden kann, das ein Verschieben der Dockingplatte relativ zur Basisplatte erlaubt. Such insertion guide can for example have an L-shaped profile, wherein a free leg of the L-shaped profile is arranged parallel to the base plate and has such a distance to the base plate such that the docking plate may be incorporated with a small clearance, that the displacement Docking plate allows relative to the base plate.
  • [0012] [0012]
    Die Ausrichtvorrichtung weist vorzugsweise zumindest eine Arretiereinrichtung auf, mit welcher die Basisplatte und die Dockingplatte in einer vorbestimmten Position zueinander arretierbar sind. The aligning device preferably comprises at least one locking means with which the base plate and the docking plate can be locked to each other in a predetermined position. Diese Arretiervorrichtung kann aus einem Arretierbolzen und einem entsprechend passenden Arretierloch ausgebildet sein, wobei der Arretierbolzen fest mit der Basisplatte oder der Dockingplatte verbunden und das Arretierloch, in welche der Arretierbolzen eingreifen kann, an der entsprechend anderen Platte ausgebildet ist. This locking device may be formed of a locking pin and a corresponding mating locking hole, said locking bolt is formed on the other corresponding plate fixed to the base plate or the docking plate and the lock hole into which the locking pin can engage. Das Arretierloch ist eine Passausnehmung bezüglich des Arretierbolzens. The lock hole is a fitting recess with respect to the locking pin.
  • [0013] [0013]
    Vorzugsweise weist die Arretiereinrichtung Feinjustiereinrichtungen, wie zum Beispiel Mikrometerschrauben, auf, um die Position des Arretierbolzens und/oder des Arretierloches in zumindest eine und vorzugsweise in zumindest zwei zueinander orthogonalen Richtungen zu verändern. Preferably, the locking means Feinjustiereinrichtungen such as micrometer screws on to the position of the locking bolt and / or the Arretierloches in at least one, and preferably to change in at least two mutually orthogonal directions. Die Feinjustiereinrichtung ist vorzugsweise zum stufenlosen Justieren der Position ausgebildet. The fine adjustment means is preferably designed for continuously adjusting the position.
  • [0014] [0014]
    Die Ausrichtvorrichtung weist vorzugsweise zwei Arretiereinrichtungen auf, die vorzugsweise ein Stück voneinander beabstandet sind. The aligning device preferably comprises two locking means which are preferably spaced a little from each other. Hierdurch kann die relative Position der Basisplatte und der Dockingplatte sowohl in zwei orthogonalen Richtungen (X-Richtung und Y-Richtung) als auch zu einem gewissen Betrag in Drehrichtung ausgerichtet werden. In this way, the relative position of the base plate and the docking plate can be used both in two orthogonal directions (X-direction and Y-direction) and aligned to a certain amount in the direction of rotation.
  • [0015] [0015]
    Die Klemmelemente sind vorzugsweise derart verschieblich oder drehbar angeordnet, dass sie beim relativen Bewegen der Dockingplatte bezüglich der Basisplatte aus einer Klemmposition bewegbar sind, sodass sie nicht mit an der Dockingplatte befestigten Dockingelementen kollidieren. The clamping elements are preferably arranged displaceably or rotatably to the base plate of a clamping position are movable in relative movement with respect to the docking plate so that they do not collide with the docking plate mounted on docking elements.
  • [0016] [0016]
    Die Klemmelemente können einen schwenkbar gelagerten Hebel aufweisen, der mit seinem freien Ende gegen die von der Basisplatte abgewandte Seite der Dockingplatte gedrückt werden kann. The clamping members may comprise a pivotally mounted lever, which can be pressed with its free end against the side facing away from the base plate side of the docking plate. Am freien Ende des Hebels kann ein Druckstempel vorgesehen sein, der beim Drücken gegen die Dockingplatte an dieser anliegt. At the free end of the lever, a plunger can be provided, which abuts against this on pressing against the docking plate.
  • [0017] [0017]
    Ein erfindungsgemäßes Testsystem umfasst eine Prüfvorrichtung und eine Handhabungsvorrichtung, wobei eine Vorrichtung zum Ausrichten der Prüfvorrichtung und der Handhabungsvorrichtung gemäß den oben erläuterten Ausführungsformen zwischen der Handhabungsvorrichtung und der Prüfvorrichtung vorgesehen ist. An inventive test system comprising a test apparatus and a handling apparatus, wherein a device for aligning the testing device and the handling device is provided according to the embodiments discussed above between the handling device and the tester. Das Testsystem ist vorzugsweise ein horizontales Testsystem. The test system is preferably a horizontal test system.
  • [0018] [0018]
    Die erfindungsgemäße Ausrichtvorrichtung erlaubt ein schnelles Austauschen eines Testboards. The alignment device of the invention allows a quick exchange of a test board. Ein solches Testboard wird auch als Schnittstelleneinheit bezeichnet und ist ein etwa ebenflächiges Bauteil, das üblicherweise aus einer starren Leiterplatte ausgebildet ist. Such a test board is also referred to as interface unit and is an approximately planar flat component, which is usually formed of a rigid printed circuit board. Auf dieser Leiterplatte können Kontaktstifte und in das Testboard integrierte elektrische Bauelemente vorstehen. On this circuit board pins and projecting integrated electrical components in the test board can. Bei Gebrauch des Testsystems muss das Testboard in einer bestimmten Position in der Testvorrichtung oder in der Handhabungsvorrichtung des Testsystems angeordnet und befestigt sein. In use of the test system, the test board must be arranged and fixed in a certain position in the test device, or in the handling device of the test system. Soll mit dem Testsystem ein anderer Typ von Prüfling (integrierter Schaltkreis oder Wafer) getestet werden, dann muss das Testboard ausgetauscht werden. To be tested with the test system, another type of device under test (integrated circuit chip or wafer), then the test board must be replaced. Mit der erfindungsgemäßen Ausrichtvorrichtung können unterschiedliche Testboards schnell in der für sie vorgesehen Position in der Testvorrichtung oder in der Handhabungsvorrichtung ausgerichtet und fixiert werden. The inventive aligning different test boards can be quickly aligned in the intended position for them in the test device or the handling device and fixed.
  • [0019] [0019]
    Vorzugsweise weist ein Testsystem mit einer erfindungsgemäßen Ausrichtvorrichtung auch ein Modul zum Austauschen des Testboards auf, wie es in der Preferably, a test system with an inventive alignment device also includes a module for replacing the test boards on, as in the WO 2013/164407 A1 WO 2013/164407 A1 beschrieben ist. is described. Auf dieses Dokument wird deshalb vollinhaltlich Bezug genommen. In this document, therefore, incorporated herein by reference.
  • [0020] [0020]
    Wie es oben bereits erläutert ist, erlaubt die erfindungsgemäße Ausrichtvorrichtung auch ein schnelles Austauschen einer Testeinheit, insbesondere der mit der Dockingplatte verbundenen Testeinheit, da auch die entsprechende Dockingplatte zusammen mit der Testeinheit schnell und einfach ausgetauscht werden kann. As already explained above, the alignment device according to the invention also allows quick replacement of a test unit, particularly associated with the docking plate test unit, as well as the corresponding docking plate can be replaced quickly and easily with the test unit.
  • [0021] [0021]
    Die Erfindung wird nachfolgend beispielhaft näher anhand der Zeichnungen erläutert. The invention is illustrated by way of example with reference to the drawings. Die Zeichnungen zeigen schematisch in: The drawings show schematically in:
  • [0022] [0022]
    1 1 eine Handhabungsvorrichtung in perspektivischer Ansicht ohne Prüfvorrichtung, a handling device in a perspective view without testing device
  • [0023] [0023]
    2 2 eine Prüfvorrichtung zusammen mit einem Ausschnitt der Handhabungsvorrichtung aus a test device together with a section of the handling device from 1 1 in perspektivischer Ansicht, wobei die Prüfvorrichtung und die Handhabungsvorrichtung mit einer erfindungsgemäßen Ausrichtvorrichtung verbunden sind, in perspective view, wherein the tester and the handling device according to the invention are connected to an alignment device,
  • [0024] [0024]
    3 3 eine Basisplatte und eine Dockingplatte gemäß der Ausrichtvorrichtung aus a base plate and a docking plate of the alignment of 2 2 in perspektivischer Ansicht mit Blickrichtung von schräg unten, in a perspective view seen obliquely from below,
  • [0025] [0025]
    4 4 die Ausrichtvorrichtung gemäß the alignment device according to 2 2 oder or 3 3 an einer Handhabungsvorrichtung mit Blickrichtung von schräg unten in einer perspektivischen Ansicht, to a handling device with a view obliquely from below in a perspective view;
  • [0026] [0026]
    5 5 eine Arretiereinrichtung der Ausrichtvorrichtung nach a locking means of the alignment device according to 2 2 bis to 4 4 in perspektivischer Ansicht, in perspective view,
  • [0027] [0027]
    6 6 eine Ausrichtvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform in perspektivischer Ansicht mit Blickrichtung von schräg unten, und An alignment device according to a second embodiment in a perspective view seen obliquely from below, and
  • [0028] [0028]
    7 7 die Ausrichtvorrichtung aus the alignment of 6 6 in einem Teilschnitt in perspektivischer Ansicht mit Blickrichtung von schräg unten. in a partial section perspective view seen obliquely from below.
  • [0029] [0029]
    Eine erfindungsgemäße Vorrichtung A device according to the invention 1 1 zum Ausrichten von zwei Testeinheiten for aligning two test units 2 2 , . 3 3 weist eine Basisplatte comprises a base plate 4 4 und eine Dockingplatte and a docking plate 5 5 auf. on.
  • [0030] [0030]
    Die Vorrichtung zum Ausrichten wird im Folgenden als Ausrichtvorrichtung The alignment device is hereinafter referred to as alignment 1 1 bezeichnet und dient zum Ausrichten von zwei Testeinheiten zum Testen von Halbleiterbauteilen, wie zum Beispiel eine Handhabungsvorrichtung (Handler) refers to and is used for aligning two test units for testing semiconductor devices, such as a handling device (Handler) 2 2 und einer Prüfvorrichtung (Tester) and a testing device (tester) 3 3 . , Die Handhabungsvorrichtung The handling device 2 2 weist einen Prüfstempel (nicht dargestellt) auf, der einen Prüfling (Halbleiterbauteil) gegen entsprechende in der Prüfvorrichtung vorgesehene Kontaktelemente drückt, um mehrere Kontaktstellen des Halbleiterbauteils gleichzeitig zu kontaktieren. comprises a dolly (not shown) for pushing a test specimen (semiconductor device) against corresponding test apparatus is provided in the contact elements to a plurality of contact points of the semiconductor device to contact simultaneously. Der Prüfling kann ein integrierter Schaltkreis (IC) oder ein Wafer sein. The specimen may be an integrated circuit (IC) or a wafer. Die Prüfvorrichtung the tester 3 3 dient zum aufeinanderfolgenden Zuführen der Halbleiterbauteile zu einem Prüfbereich, an dem die Halbleiterbauteile mit dem Prüfstempel beaufschlagt werden. is used for successively feeding the semiconductor components to a test area on which the semiconductor devices are subjected to the test plunger. Der Prüfbereich befindet sich zwischen der Handhabungsvorrichtung The test area is located between the handling device 2 2 und der Prüfvorrichtung and the tester 3 3 und liegt damit etwa im Bereich der Ausrichtvorrichtung and is thus approximately in the region of the alignment device 1 1 . , Die Basisplatte The base plate 4 4 und die Dockingplate and the docking Plate 5 5 weisen jeweils mittig eine großflächige Ausnehmung each have centrally a large-area recess 6 6 , . 7 7 auf, wobei im Bereich dieser Ausnehmung , wherein in the region of this recess 6 6 , . 7 7 der Prüfstempel der Handhabungsvorrichtung the certification stamp of the handling device 2 2 die entsprechenden Halbleiterbauteile beaufschlagt. the respective semiconductor devices applied.
  • [0031] [0031]
    Die Handhabungsvorrichtung The handling device 2 2 , die Prüfvorrichtung , The tester 3 3 und die Ausrichtvorrichtung and the alignment 1 1 bilden ein Testsystem. form a test system. Da die Grenzfläche zwischen der Handhabungsvorrichtung Since the interface between the handling apparatus 2 2 und der Prüfvorrichtung and the tester 3 3 horizontal angeordnet ist, wird ein solches Testsystem als horizontales Testsystem bezeichnet. is arranged horizontally, such a test system is referred to as a horizontal test system. Die Basisplatte The base plate 4 4 und die Dockingplatte and the docking plate 5 5 sind dementsprechend horizontal ausgerichtet. are correspondingly aligned horizontal.
  • [0032] [0032]
    Im vorliegenden Ausführungsbeispiel ist die Basisplatte In the present embodiment, the base plate 4 4 an die Handhabungsvorrichtung the handling device 2 2 befestigt. attached. Die Befestigung ist mittels Schraubbolzen ausgeführt. The fastening is carried out by means of bolts.
  • [0033] [0033]
    Die Dockingplatte The docking plate 5 5 ist mit der Prüfvorrichtung is connected to the test apparatus 3 3 verbunden ( connected ( 2 2 ). ). Die Dockingplatte The docking plate 5 5 weist hierzu Dockingelemente this has docking elements 8 8th auf, die im vorliegenden Ausführungsbeispiel als Dockingstifte , which in the present embodiment as a docking pins 8 8th ausgebildet sind. are formed. Es gibt unterschiedliche Typen von Dockingelementen, mit welchen eine Prüfvorrichtung und eine Handhabungsvorrichtung lösbar, präzise und fest miteinander verbunden werden können. There are different types of docking elements with which a test device and a handling device solvable, accurate and can be firmly connected. In der In the DE 102 16 003 B4 DE 102 16 003 B4 sind solche Dockingelemente beschrieben, die jeweils aus einem Dockingstift und einer Dockingausnehmung, die einen solchen Stift form- und/oder kraftschlüssig aufnehmen kann, ausgebildet. Such docking elements are described, which can each accommodate a pin and a docking Dockingausnehmung that form- such a pin and / or non-positively formed.
  • [0034] [0034]
    Im Rahmen der Erfindung ist es selbstverständlich auch möglich, eine Dockingplatte mit der Handhabungsvorrichtung und eine Basisplatte mit der Prüfvorrichtung zu verbinden oder eine Ausrichtvorrichtung mit zwei Dockingplatten auszubilden, wobei eine jede Dockingplatte Dockingelemente zum lösbaren Verbinden mit der jeweiligen Testeinheit In the present invention it is of course also possible to connect a docking plate of the handling device and a base plate with the test apparatus or to form an alignment device with two docking plates, wherein each docking plate docking elements for releasable connection to the respective test unit 2 2 , . 3 3 aufweist. having.
  • [0035] [0035]
    Die Basisplatte The base plate 4 4 ist eine steife Platte mit der zentralen, rechteckförmigen Ausnehmung is a rigid plate with the central rectangular recess 6 6 , so dass die Basisplatte So that the base plate 4 4 zwei Längsstreben two longitudinal struts 8 8th und zwei Querstreben and two crossbars 9 9 ausbildet. formed. Die Basisplatte The base plate 4 4 weist im Bereich der Längsstreben has in the region of the longitudinal struts 8 8th eine Längsseitenkante a longitudinal side edge 10 10 auf. on. Parallel zu den Längsstreben Parallel to the longitudinal struts 8 8th und parallel zur Ebene der Basisplatte and parallel to the plane of the base plate 4 4 sind streifenförmige Einschubleisten are strip-shaped rack rails 11 11 angeordnet. arranged. Eine jede Einschubleiste Each shelf level 11 11 ist mit einer Seitenkante etwa fluchtend zur Längsseitenkante is connected to a lateral edge approximately aligned to the longitudinal side edge 10 10 der Längsstreben the longitudinal struts 8 8th der Basisplatte angeordnet. the base plate. Benachbart zu den Längsseitenkanten Adjacent to the longitudinal side edges 10 10 sind die Einschubleisten are the push-in strips 11 11 mit Schraubbolzen with bolts 12 12 an den Längsstreben to the longitudinal struts 9/1 1.9 befestigt, wobei zwischen den Einschubleisten attached, wherein between the push-in strips 11 11 und den Längsstreben and the longitudinal struts 9/1 1.9 jeweils Abstandsleisten each spacer strips 20 20 vorgesehen sind, die von den Schraubbolzen are provided, the bolts of the 12 12 durchgriffen werden, sodass die Einschubleisten are penetrated so that the push-in strips 11 11 in einem vorbestimmten Abstand bezüglich zur jeweiligen Längsstrebe at a predetermined distance with respect to the respective longitudinal strut 9/1 1.9 angeordnet sind. are arranged. Die Einschubleisten The push-in strips 11 11 erstrecken sich von diesen Schraubbolzen extending from these bolts 12 12 in Richtung zum Zentrum der Basisplatte toward the center of the base plate 4 4 , so dass die Einschubleisten So that the push-in strips 11 11 zusammen mit den Abstandsleisten together with the spacer strips 20 20 eine im Querschnitt L-förmige Einschubführung ausbilden. a cross-sectionally L-shaped guide slot formed.
  • [0036] [0036]
    An den Einschubleisten The push-in strips 11 11 sind jeweils zwei Klemmelemente in each case two clamping elements 13 13 angeordnet. arranged. Die Klemmelemente The clamping elements 13 13 weisen jeweils einen Kniehebel each include a toggle lever 14 14 auf, der um eine parallel zur Basisplatte on which a parallel to the base plate 4 4 verlaufende Schwenkachse schwenkbar an einem Lagerelement extending pivot axis on a bearing element 15 15 gelagert ist. is mounted. Der Kniehebel The toggle 14 14 weist ein rückwärtiges Ende auf, an dem eine Stellschraube has a rear end on which a set screw 16 16 vorgesehen ist, mit welcher das rückwärtige Ende des Kniehebels is provided, with which the rear end of the toggle lever 14 14 von der Einschubleiste by the insertion strip 11 11 weggedrückt werden kann, so dass das jeweils vordere bzw. freie Ende can be pushed away, so that the respective front or free end 17 17 des Kniehebels the toggle lever 14 14 in Richtung zur Basisplatte in the direction of the base plate 4 4 bewegt wird. is moved. Am freien Ende At the free end 17 17 ist ein Druckstempel is a plunger 18 18 angeordnet. arranged.
  • [0037] [0037]
    Das Lagerelement The bearing element 15 15 ist in einer Schiene is in a rail 19 19 verschieblich gelagert. displaceably mounted. Die Schiene The rail 19 19 verläuft parallel zum Kniehebel extends parallel to the toggle lever 14 14 . , Hierdurch ist es möglich, den Kniehebel This makes it possible to toggle 14 14 mit seinem freien Ende with its free end 17 17 in unterschiedlichen Positionen zur Einschubleiste in different positions to the insertion bar 11 11 anzuordnen. to arrange. Im Bereich der Schiene In the area of rail 19 19 ist die Einschubleiste is the insertion strip 11 11 nach außen ein Stück erweitert, um die Schiene outwardly expanding a piece to the rail 19 19 entsprechend abzustützen. support accordingly. Nach innen, dh in Richtung zur Ausnehmung Inwards, ie towards the recess 6 6 der Basisplatte the base plate 4 4 ist die Einschubleiste is the insertion strip 11 11 mit einem Stützbereich with a support area 21 21 ausgebildet, in den sich der vordere Abschnitt der Schiene formed in the front portion of the rail 19 19 erstreckt und der so das Lagerelement extends and so the bearing element 15 15 in seiner vorderen Position abstützen kann. can be supported in its forward position. Das Stützelement The support element 21 21 dient auch zur Versteifung der Einschubleiste also serves to stiffen the slide bar 11 11 , da diese im Bereich des Klemmelementes As this in the area of the clamping element 13 13 erhebliche Kräfte aufnehmen muss. must absorb considerable forces.
  • [0038] [0038]
    Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind im Bereich einer jeden Längsseitenkante In the present embodiment, in the region of each longitudinal side edge 10 10 zwei Klemmelemente two clamping elements 13 13 vorgesehen. intended. Die Klemmelemente The clamping elements 13 13 sind ein Stück voneinander beabstandet. are a piece spaced apart. Im Rahmen der Erfindung können auch nur ein oder mehr als zwei Klemmelemente im Bereich einer jeden Längsseitenkante As part of the invention, only one or more than two clamping elements in the region of each longitudinal side edge 10 10 angeordnet sein. be disposed.
  • [0039] [0039]
    An einer vorderen Begrenzungskante On a front boundary edge 22 22 , die entlang der vorderen Querstrebe Along the front transverse strut 9/2 9.2 der Basisplatte the base plate 4 4 verläuft, sind zwei Arretiereinrichtungen runs, two locking devices 23 23 angeordnet. arranged.
  • [0040] [0040]
    Die Arretiereinrichtungen the locking devices 23 23 weisen jeweils einen Arretierbolzen each have a locking pin 24 24 auf, der federbeaufschlagt ist. , which is spring-loaded. Der Arretierbolzen the locking pin 24 24 ist verschieblich in einem Grundkörper is displaceable in a basic body 25 25 gelagert. stored. Der Arretierbolzen the locking pin 24 24 ist senkrecht zur Ebene der Basisplatte is perpendicular to the plane of the base plate 4 4 angeordnet. arranged. Der Arretierbolzen the locking pin 24 24 weist ein freies Ende auf, mit welchem er am Grundkörper has a free end with which it on the base body 25 25 nach unten in Richtung zur Einschubleiste downward in the direction of the insertion strip 11 11 vorsteht. protrudes. Am gegenüberliegenden Ende ist der Arretierbolzen At the opposite end is the locking pin 24 24 mit einem Griff with a handle 26 26 versehen, an welchem der Arretierbolzen provided, at which the locking pin 24 24 entgegen der Federwirkung ein Stück aus dem Grundkörper against the spring action, a piece of the base body 25 25 gezogen werden kann. can be drawn. Der Grundkörper The basic body 25 25 ist schwimmend in einer Grundplatte is floating in a base plate 27 27 gelagert, welche an der Basisplatte stored, which on the base plate 4 4 befestigt ist. is attached. Der Grundkörper The basic body 25 25 ist an zwei Feinjustiereinrichtungen is connected to two Feinjustiereinrichtungen 28 28 gekoppelt, welche im vorliegenden Ausführungsbeispiel Mikrometerschrauben sind. coupled, which are micrometers in the present embodiment. Die Feinjustiereinrichtungen the Feinjustiereinrichtungen 28 28 sind zueinander orthogonal ausgerichtet, so dass der Grundkörper are aligned orthogonal, so that the base body 25 25 in zwei orthogonalen Richtungen in der Ebene der Basisplatte in two orthogonal directions in the plane of the base plate 4 4 justierbar ist. is adjustable. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind die Feinjustiereinrichtungen In the present embodiment, the Feinjustiereinrichtungen 28 28 in X- und Y-Richtung, also senkrecht zueinander, ausgerichtet. in the X- and Y-direction, ie perpendicular to each other, aligned. Hierdurch kann der Arretierbolzen This allows the locking pin 24 24 mit der Feinjustiereinrichtung with fine adjustment 28 28 in der Ebene der Basisplatte in the plane of the base plate 4 4 justiert werden. be adjusted.
  • [0041] [0041]
    Die Arretiereinrichtungen the locking devices 23 23 sind vorzugsweise möglichst weit voneinander beabstandet an der Basisplatte are preferably as far as possible apart from each other on the base plate 4 4 angeordnet. arranged.
  • [0042] [0042]
    Die Dockingplatte The docking plate 5 5 ist in der Draufsicht rechteckförmig ausgebildet und besitzt eine Größe, so dass sie in die durch die Einschubleisten is rectangular in plan view and has a size so that they are represented by the push-in strips 11 11 und Abstandsleisten and spacer strips 12 12 ausgebildeten Einschubführungen der Basisplatte formed insertion guides of the base plate 4 4 mit Spiel passt. fits with play. Die Dockingplatte kann somit frei innerhalb der Einschubführungen verschoben werden. The docking plate can thus be moved freely within the insertion guides. In vertikaler Richtung beträgt das Spiel im vorliegenden Ausführungsbeispiel etwa 0,5 bis 1 mm. In the vertical direction the game in the present embodiment is about 0.5 to 1 mm. Die Dockingplatte The docking plate 5 5 kann in Einschubrichtung can in the insertion direction 29 29 in die Einschubführungen eingeschoben werden. are inserted in the insertion guides. Die Dockingplatte The docking plate 5 5 weist quer zur Einschubrichtung has transversely to the direction 29 29 auch ein Spiel auf, das im Bereich von 0,5 cm bis 3 cm liegt, so dass die Dockingplatte a game to which is in the range of 0.5 cm to 3 cm, so that the docking plate 5 5 ein Stück quer zur Basisplatte a piece transverse to the base plate 4 4 verschieblich und lose in den Einschubführungen gelagert ist. is mounted displaceably and loose in the insertion guides. Die Dockingplatte The docking plate 5 5 kann auch vollständig aus den Einschubführungen heraus gezogen werden. can also be completely pulled out of the drawer slides out.
  • [0043] [0043]
    Die Dockingplatte The docking plate 5 5 weist mehrere Arretierlöcher includes a plurality of locking holes 30 30 auf, die an den vorderen Eckbereichen der Dockingplatte , which at the front corner regions of the docking plate 5 5 angeordnet sind. are arranged. Die Arretierlöcher the locking holes 30 30 sind in einem vorbestimmten, nicht notwendigerweise regelmäßigen Muster angeordnet. are arranged in a predetermined, not necessarily regular pattern. In ein jedes der Arretierlöcher In each of the locking holes 30 30 kann einer der Arretierbolzen may be one of locking pin 24 24 zum Arretieren der Position der Dockingplatte for locking the position of the docking plate 5 5 bezüglich der Basisplatte with respect to the base plate 4 4 eingreifen. intervention. Mittels der Feinjustiereinrichtungen By means of the Feinjustiereinrichtungen 28 28 kann eine Feinjustage der Position der Dockingplatte may be a fine adjustment of the position of the docking plate 5 5 bezüglich der Basisplatte with respect to the base plate 4 4 erfolgen. respectively. Da die Dockingplatte Since the docking plate 5 5 mit einer Testeinheit (hier: Prüfvorrichtung) und die Basisplatte with a test unit (here: Tester) and the base plate 4 4 mit der anderen Testeinheit (hier: Handhabungsvorrichtung) verbunden sind, werden durch die Feinjustage auch die Position der Handhabungsvorrichtung bezüglich der Prüfvorrichtung exakt eingestellt bzw. justiert. with the other test unit (here: handling apparatus) are connected, also the position of the handling device with respect to the testing device be accurately adjusted or adjusted by the fine adjustment. Da die Dockingplatte Since the docking plate 5 5 lose in den Einschubführungen der Basisplatte geführt ist, ist es auch möglich, in einem gewissen Drehbereich von etwa 0,5 bis 2° die Drehstellung der Dockingplatte bezüglich der Basisplatte zu verändern. is loosely guided in the insertion guides of the base plate, it is also possible, within a certain rotation range of approximately 0.5 to 2 °, the rotational position of the docking plate to change relative to the base plate.
  • [0044] [0044]
    Mittels der Klemmelemente wird die Dockingplatte By means of the clamping elements is the docking plate 5 5 an die Basisplatte to the base plate 4 4 geklemmt, die Klemmelemente clamped, the clamping elements 13 13 sind vorzugsweise in der Nähe der Dockingelemente are preferably in the vicinity of the docking elements 8 8th der Dockingplatte the docking plate 5 5 angeordnet. arranged. Da an diesen Dockingelementen die schwere Testeinheit hängt, besteht die Gefahr, dass die Dockingplatte aufgrund des Gewichtes der Testeinheit verzogen wird. Because of these elements depends docking severe test unit, there is a risk that the docking plate is warped due to the weight of the test unit. Einem solchen Verzug wird mittels der Klemmelemente Such a delay by means of the clamping elements 13 13 entgegengewirkt. counteracted. Hierdurch wird sichergestellt, dass die Ausrichtung der zwei Testeinheiten exakt beibehalten wird und es zu keinen Fehlkontaktierungen kommen kann. This ensures that the alignment of the two test units is accurately maintained and there may not be any faulty contacts is ensured. Weiterhin bewirken die Klemmelemente Furthermore, cause the clamping members 13 13 , dass beim Testvorgang, bei welchem der Prüfstempel mit erheblicher Kraft gegen die zu testenden Halbleiterbauteile gedrückt wird, die Dockingplatte That the test operation in which the test plunger is pressed with considerable force against the tested semiconductor devices, the docking plate 5 5 nicht in Vertikalrichtung von der Basisplatte not in the vertical direction from the base plate 4 4 abgehoben wird, wodurch es auch zu Fehlkontaktierungen kommen könnte. is lifted, so it could also lead to faulty contacts.
  • [0045] [0045]
    Eine Prüfvorrichtung a test apparatus 3 3 lässt sich beim Prüfsystem gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel einfach austauschen, indem die Verbindung zur Dockingplatte is simple to replace in the test system according to the present embodiment, by the connection to the docking plate 5 5 mittels der entsprechenden Dockingelemente gelöst wird, die Prüfvorrichtung mittels eines Manipulators (nicht dargestellt) gehandhabt wird, der an Manipulatorzapfen is achieved by means of the respective docking members, the test apparatus by means of a manipulator (not shown) is handled, the manipulator pin to 35 35 der Prüfvorrichtung angreift, eine andere Prüfvorrichtung the tester attacks, another tester 3 3 mittels eines weiteren Manipulators angedockt wird, wobei gleichzeitig die Dockingplatte is docked by means of a further manipulator, at the same time the docking plate 5 5 mit der entsprechenden Prüfvorrichtung ausgetauscht werden kann. can be replaced with the corresponding test apparatus.
  • [0046] [0046]
    Es kann auch lediglich ein Testboard ausgetauscht werden, um einen anderen Typ von Halbleiterbauteilen zu testen, und dann die gleiche Prüfvorrichtung wieder an die Dockingplatte It can also only a test board to be replaced in order to test a different type of semiconductor devices, and then the same tester back to the docking plate 5 5 angedockt wird. is docked.
  • [0047] [0047]
    Grundsätzlich wird vor dem Andocken der Prüfvorrichtung Basically, before docking the tester 3 3 an die Dockingplatte to the docking plate 5 5 die Dockingplatte the docking plate 5 5 bezüglich der Basisplatte with respect to the base plate 4 4 ausgerichtet. aligned. Die Klemmelemente The clamping elements 13 13 und die Arretiereinrichtungen and the locking means 13 13 sind bereits oder werden gelöst. are or dissolved. Die Dockingplatte The docking plate 5 5 wird in die gewünschte Position bezüglich der Basisplatte is in the desired position with respect to the base plate 4 4 verschoben, wobei zunächst die Arretiereinrichtungen shifted, said first locking means 23 23 durch Einführen der Arretierbolzen by inserting the locking pin 24 24 in die entsprechenden Arretierlöcher into the corresponding locking holes 30 30 arretiert werden. be locked. Hierdurch wird die Position der Dockingplatte This makes the position of the docking plate 5 5 bezüglich der Basisplatte festgelegt. fixed with respect to the base plate. Dann werden die Klemmelemente Then the clamping elements 13 13 festgeklemmt, um die Dockingplatte clamped to the docking plate 5 5 an die Basisplatte to the base plate 4 4 zu klemmen. to clamp. Danach kann die Prüfvorrichtung After that, the test apparatus 3 3 an die Dockingplatte to the docking plate 5 5 angedockt werden und befindet sich in der gewünschten Position bezüglich der Handhabungsvorrichtung. be docked and is in the desired position relative to the handling device.
  • [0048] [0048]
    Der Wechsel bzw. die Umstellung des Testboards und/oder der Prüfvorrichtung kann ohne Werkzeug innerhalb weniger Minuten ausgeführt werden. The change or conversion of the test boards and / or the testing device can be carried out without tools within a few minutes. Durch das freie Verschieben der Dockingplatte By the free displacement of the docking plate 5 5 bzw. der Basisplatte and base plate 4 4 kann schnell eine andere Relativposition zwischen Dockingplatte can quickly another relative position between docking plate 5 5 und Basisplatte and base plate 4 4 eingenommen werden, wobei die Prüfvorrichtung und die Handhabungsvorrichtung auch etwas bezüglich ihrer Drehposition zueinander ausgerichtet werden können. be taken, wherein the tester and the handling device also something can be aligned with respect to its rotational position to each other.
  • [0049] [0049]
    Beim oben erläuterten Ausführungsbeispiel ist die Prüfvorrichtung an der Dockingplatte befestigt. At the embodiment explained above, the test apparatus is mounted on the docking plate. Es sind auch Testsysteme bekannt, bei welchen es zweckmäßig ist die Handhabungsvorrichtung an der Dockingplatte zu befestigen. There are also known test systems in which it is appropriate to fix the handling device on the docking plate.
  • [0050] [0050]
    Nachfolgend wird eine zweite Ausführungsform der erfindungsgemäßen Ausrichtvorrichtung Next, a second embodiment of the alignment device according to the invention 1 1 anhand der based on 6 6 und and 7 7 erläutert. explained. Diese Ausführungsform entspricht im Wesentlichen der oben erläuterten Ausführungsform, weshalb gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet werden und nicht nochmals erläutert werden. This embodiment essentially corresponds to the embodiment explained above, and therefore like parts are designated by like reference numerals and will not be explained again.
  • [0051] [0051]
    Die zweite Ausführungsform unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform dadurch, dass die Einschubleisten The second embodiment differs from the first embodiment in that the push-in strips 11 11 nicht nur mit Schraubbolzen not only with bolts 12 12 am äußeren Randbereich mit der Basisplatte on the outer edge area of the base plate 4 4 verschraubt sind, sondern es sind auch zusätzliche Schraubbolzen are screwed, but there are also additional bolts 31 31 benachbart zum inneren Randbereich der Einschubleisten adjacent to the inner edge region of the push-in strips 11 11 angeordnet. arranged. Die Schraubbolzen the bolts 31 31 sind jeweils von rohrförmigen Abstandselementen are each of tubular spacer elements 32 32 umschlossen, welche die Einschubleiste enclosed which the insertion strip 11 11 und die Basisplatte and base plate 4 4 auf Abstand halten. keep at a distance. Bei dieser Ausführungsform ist die Steifigkeit der Einschubleiste In this embodiment, the rigidity of the insertion strip is 11 11 bezüglich der Basisplatte with respect to the base plate 4 4 wesentlich größer. much greater.
  • [0052] [0052]
    Damit die Dockingplatte So the docking plate 5 5 nicht mit den zusätzlichen Schraubbolzen not with additional bolts 31 31 am inneren Randbereich der Einschubleisten at the inner edge region of the push-in strips 11 11 kollidiert, weist die Dockingplatte collides, the docking plate 5 5 jeweils im Bereich benachbart zu den Schraubbolzen in each case in the region adjacent to the bolt 31 31 eine zum Rand hin offene Ausnehmung an open towards the edge recess 33 33 auf, so dass die Dockingplatte , so that the docking plate 5 5 ein Stück relativ zur Basisplatte a piece relative to the base plate 4 4 bewegt werden kann, ohne mit den Schraubbolzen can be moved without using the bolt 31 31 zu kollidieren. colliding. Die Dockingplatte The docking plate 5 5 besitzt eine Länge, die kürzer als der Abstand der Schraubbolzen has a length which is shorter than the distance of the bolts 31 31 zwischen den beiden Einschubleisten between the two push-in strips 11 11 ist, so dass die Dockingplatte is such that the docking plate 5 5 in einer zentrischen Position aus den mittels der Einschubleisten in a central position from the means of the push-in strips 11 11 ausgebildeten Einschubführungen vollständig heraus gezogen werden kann. formed insertion guides may be completely pulled out.
  • [0053] [0053]
    Bei der oben erläuterten ersten Ausführungsform sind die Kniehebel In the above first embodiment, the knee levers are 14 14 in Längsrichtung verschieblich angeordnet. displaceably arranged in the longitudinal direction. Hierdurch können die Kniehebel ein Stück nach außen bewegt werden, was manchmal notwendig ist, da beim Bewegen der Dockingplatte Thereby, the toggle lever can be moved a little to the outside, which is sometimes necessary because when moving the docking plate 5 5 relativ zur Basisplatte relative to the base plate 4 4 ansonsten an der Dockingplatte otherwise on the docking plate 5 5 befestigte Dockingelemente fortified docking elements 8 8th mit den Kniehebeln with the toggles 14 14 kollidieren könnten. could conflict. Bei der zweiten Ausführungsform sind die Kniehebel In the second embodiment, the knee levers are 14 14 nicht verschieblich, sondern drehbar angeordnet. not displaceably but rotatably mounted. Die Kniehebel The toggle 14 14 der zweiten Ausführungsform ( the second embodiment ( 6 6 , . 7 7 ) sind schwenkbar an einem Lagerelement ) Are pivotally mounted on a bearing element 34 34 befestigt, das um eine Drehachse drehbar an der Einschubleiste attached, which about a rotation axis mounted on the slide bar 11 11 befestigt ist, wobei die Drehachse senkrecht zur Einschubleiste is attached, wherein the rotation axis perpendicular to the insertion strip 11 11 steht. stands. Durch Drehen bzw. Wegschwenken der Kniehebel By rotating or pivoting the toggle 14 14 kann verhindert werden, dass diese mit den Dockingelementen can prevent this with the docking elements 8 8th der Dockingplatte the docking plate 5 5 beim Bewegen derselben kollidieren. on moving them collide.
  • Bezugszeichenliste LIST OF REFERENCE NUMBERS
  • 1 1
    Ausrichtvorrichtung alignment
    2 2
    Handhabungsvorrichtung (Handler) Handling apparatus (handler)
    3 3
    Prüfvorrichtung (Tester) Tester (Tester)
    4 4
    Basisplatte baseplate
    5 5
    Dockingplatte Docking plate
    6 6
    Ausnehmung recess
    7 7
    Ausnehmung recess
    8 8th
    Dockingelement docking element
    9/1 1.9
    Längsstrebe longitudinal strut
    9/2 9.2
    Querstrebe crossmember
    10 10
    Längsseitenkante Longitudinal side edge
    11 11
    Einschubleiste insertion strip
    12 12
    Schraubbolzen bolts
    13 13
    Klemmelement clamping element
    14 14
    Kniehebel toggle
    15 15
    Lagerelement bearing element
    16 16
    Stellschraube screw
    17 17
    freies Ende free end
    18 18
    Druckstempel plunger
    19 19
    Schiene rail
    20 20
    Abstandsleiste spacer bar
    21 21
    Stützbereich support area
    22 22
    vordere Begrenzungskante front boundary edge
    23 23
    Arretiereinrichtung locking
    24 24
    Arretierbolzen locking pin
    25 25
    Grundkörper body
    26 26
    Griff Handle
    27 27
    Grundplatte baseplate
    28 28
    Feinjustiereinrichtung fine adjustment
    29 29
    Einschubrichtung insertion direction
    30 30
    Arretierloch locking hole
    31 31
    Schraubbolzen bolts
    32 32
    Abstandselement spacer
    33 33
    Ausnehmung recess
    34 34
    Lagerelement bearing element
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDED IN THE DESCRIPTION
  • [0054] [0054]
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  • Zitierte Patentliteratur Cited patent literature
  • [0055] [0055]
    • DE 200214629 U1 [0002, 0002] DE 200214629 U1 [0002, 0002]
    • WO 2013/164407 A1 [0004, 0019] WO 2013/164407 A1 [0004, 0019]
    • DE 10216003 B4 [0033] DE 10216003 B4 [0033]
Citations de brevets
Brevet cité Date de dépôt Date de publication Déposant Titre
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Classifications
Classification internationaleG01R31/28
Événements juridiques
DateCodeÉvénementDescription
7 oct. 2016R163Identified publications notified
8 mai 2017R082Change of representative
Representative=s name: PATRONUS IP PATENT- & RECHTSANWAELTE BERNHARD , DE