DE102016102836A1

DE102016102836A1 - Device for aligning two test units

Info

Publication number: DE102016102836A1
Application number: DE102016102836.3A
Authority: DE
Inventors: Stefan Thurmeier
Original assignee: TURBODYNAMICS GmbH
Current assignee: TURBODYNAMICS GmbH
Priority date: 2016-02-18
Filing date: 2016-02-18
Publication date: 2017-08-24

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Ausrichten von zwei Testeinheiten, wie z. B. einer Prüfvorrichtung (Tester) und einer Handhabungsvorrichtung (Handler), eines Testsystems zum Testen von Halbleiterbauteilen. Diese Ausrichtvorrichtung umfasst eine Basisplatte (4) und eine Dockingplatte (5), wobei die Basisplatte (4) und die Dockingplatte (5) mit jeweils einer Testeinheit verbindbar ausgebildet und zueinander beweglich und in ihrer relativen Position arretierbar sind. Die Basisplatte weist mehrere Klemmelemente (13) auf, mit welchen die Dockingplatte (5) an die Basisplatte (4) geklemmt werden kannThe invention relates to a device for aligning two test units, such. A tester (tester) and a handling device (handler), a test system for testing semiconductor devices. This alignment device comprises a base plate (4) and a docking plate (5), wherein the base plate (4) and the docking plate (5) formed connectable to each one test unit and mutually movable and can be locked in their relative position. The base plate has a plurality of clamping elements (13) with which the docking plate (5) can be clamped to the base plate (4)

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Ausrichten von zwei Testeinheiten, wie zum Beispiel einer Prüfvorrichtung (Tester) und einer Handhabungsvorrichtung (Handler), eines Testsystems zum Testen von Halbleiterbauteilen.The present invention relates to an apparatus for aligning two test units, such as a tester and a handler, of a test system for testing semiconductor devices.

Eine solche Vorrichtung ist aus der DE 2002 14 629 U1 bekannt. Diese Vorrichtung weist eine testerseitige Einzelplatte zum Anbringen an einer Prüfvorrichtung und eine handlerseitige Einzelplatte zum Anbringen an einer Handhabungsvorrichtung auf. Die beiden Einzelplatten sind zueinander verschiebbar und arretierbar. Zum Arretieren ist eine Lochplatte vorgesehen, welche mehrere Löcher aufweist, so dass eine Eingriffseinrichtung in unterschiedlichen Löchern eingreifen kann, so dass die beiden Einzelplatten in unterschiedlichen relativen Positionen zueinander arretierbar sind. Eine der beiden Einzelplatten wird ortsfest an einem aus der Prüfvorrichtung und der Handhabungsvorrichtung bestehenden Testsystem angeordnet und die andere Einzelplatte ist bezüglich der ortsfesten Einzelplatte beweglich bzw. verschiebbar ausgebildet. Diese bekannte Vorrichtung ist für ein sogenanntes vertikales Testsystem vorgesehen, bei dem die Schnittstelle zwischen der Prüfvorrichtung und der Handhabungsvorrichtung in einer vertikalen Ebene liegt. Die bewegliche Einzelplatte ist deshalb mit einer Hubeinrichtung versehen, mit welcher die Einzelplatte und die daran befestigte Testeinheit angehoben bzw. abgesenkt werden kann. Gemäß der DE 2002 14 629 U1 kann die Verschiebbarkeit der Einzelplatten durch ein oder mehrere Wälz- oder Gleitlager, Kugelführungsbuchsen, Gleitführungen, Rollenführungen, Linearlager, Linearführungen, Radiallager, Luftlager oder Hydrolager bewirkt werden. Die am Markt vertriebenen Vorrichtungen weisen ausschließlich Linearführungen auf. Mit den Linearführungen zwischen den beiden Einzelplatten Kräfte senkrecht zu den Ebenen der Einzelplatten übertragen werden. Im Betrieb eines solchen Testsystems werden die zu testenden Bauelemente gegen einen Druckstempel (Plunger) gedrückt, wobei erhebliche Kräfte auftreten können. Wären die beiden Einzelplatten nicht miteinander derart befestigt, dass sie Kräfte quer zu den Ebenen übertragen können, dann würden sie im Betrieb auseinandergedrückt werden, wodurch die Positionierung des Druckstempels zu den zu testenden Bauteilen nicht gewährleistet wäre. Ein entsprechender Test der Halbleiterbauteile könnte dann nicht zuverlässig ausgeführt werden.Such a device is from the DE 2002 14 629 U1 known. This device has a tester-side single plate for attachment to a tester and a handler-side single plate for attachment to a handling device. The two individual plates are mutually displaceable and lockable. For locking a perforated plate is provided, which has a plurality of holes, so that an engagement device can engage in different holes, so that the two individual plates are locked in different relative positions to each other. One of the two individual plates is fixedly arranged on a test system consisting of the test apparatus and the handling device test system and the other single plate is designed to be movable or displaceable with respect to the stationary single plate. This known device is provided for a so-called vertical test system in which the interface between the test device and the handling device lies in a vertical plane. The movable single plate is therefore provided with a lifting device with which the single plate and the attached test unit can be raised or lowered. According to the DE 2002 14 629 U1 the displaceability of the individual plates can be effected by one or more rolling or plain bearings, ball guide bushings, sliding guides, roller guides, linear bearings, linear guides, radial bearings, air bearings or hydraulic bearings. The distributed on the market devices have only linear guides. With the linear guides between the two single plates forces are transmitted perpendicular to the planes of the single plates. During operation of such a test system, the components to be tested are pressed against a plunger (plunger), whereby considerable forces can occur. If the two individual plates were not fastened together so that they could transmit forces across the planes, then they would be forced apart during operation, whereby the positioning of the plunger would not be guaranteed to the components to be tested. A corresponding test of the semiconductor components could then not be carried out reliably.

Diese bekannte Vorrichtung mit den zwei zueinander verschieblich ausgebildeten Einzelplatten hat sich in der Praxis bewährt, da dadurch das Austauschen einer Testeinheit und Einrichten der beiden Testeinheiten zueinander wesentlich schneller als bei herkömmlichen Verbindungssystemen erfolgen kann, bei welchen eine Vielzahl von Schrauben gelöst und neu verschraubt werden müssen.This known device with the two mutually displaceable individual plates has proven itself in practice, as this replacement of a test unit and set up the two test units to each other can be done much faster than conventional connection systems in which a variety of screws must be loosened and re-screwed ,

Aus der WO 2013/164407 A1 ist ein Modul zum Austauschen eines Testboards bzw. einer Schnittstelleneinheit in einem Testsystem zum Testen von Halbleiterbauelementen bekannt. Dieses Modul ist ähnlich wie eine Schublade ausgebildet. Dieses Modul ist in dem Bereich zwischen der Handhabungsvorrichtung und der Prüfvorrichtung angeordnet und an einem dieser beiden Testeinheiten befestigt. Werden die Handhabungsvorrichtung und die Prüfvorrichtung voneinander gelöst und ein Stück voneinander entfernt, dann kann das Testboard mit dem Schubladenmechanismus einfach aus dem Zwischenbereich zwischen der Handhabungsvorrichtung und der Prüfvorrichtung herausgezogen und durch ein anderes Testboard ausgetauscht werden. Dieses Testboard kann dann mittels des Schubladenmechanismus in den Bereich zwischen der Prüfvorrichtung und der Handhabungsvorrichtung eingeschoben und dort fixiert werden. Dieses Modul erlaubt ein sehr einfaches und schnelles Austauschen des Testboards.From the WO 2013/164407 A1 For example, a module for exchanging a test board or an interface unit in a test system for testing semiconductor components is known. This module is designed similar to a drawer. This module is located in the area between the handling device and the test apparatus and attached to one of these two test units. If the handling device and the checking device are detached from each other and removed a distance from each other, then the test board with the drawer mechanism can be simply pulled out of the intermediate area between the handling device and the checking device and replaced by another test board. This test board can then be inserted by means of the drawer mechanism in the area between the tester and the handling device and fixed there. This module allows a very simple and fast exchange of the test board.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine eingangs beschriebene Ausrichtvorrichtung derart weiterzubilden, dass sie einfacher und kostengünstiger ausgebildet ist und zudem flexibler in der Anwendung und insbesondere auch zum Testen von sehr kleinen Kontaktstrukturen geeignet ist.The invention has the object of developing an alignment device described above such that it is simpler and less expensive and also more flexible in the application and in particular for testing of very small contact structures is suitable.

Die Aufgabe wird durch eine Vorrichtung gemäß den unabhängigen Ansprüchen gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den jeweiligen Unteransprüchen angegeben.The object is achieved by a device according to the independent claims. Advantageous embodiments are specified in the respective subclaims.

Eine erfindungsgemäße Vorrichtung zum Ausrichten von zwei Testeinheiten, wie zum Beispiel einer Prüfvorrichtung (Tester) und einer Handhabungsvorrichtung (Handler), eines Testsystems zum Testen von Halbleiterbauteilen umfasst eine Basisplatte und eine Dockingplatte, wobei die Basisplatte und die Dockingplatte mit jeweils einer Testeinheit verbindbar ausgebildet und zueinander beweglich und in ihrer relativen Position arretierbar sind. Diese Vorrichtung zeichnet sich dadurch aus, dass die Basisplatte mehrere Klemmelemente aufweist, mit welchen die Dockingplatte an die Basisplatte geklemmt werden kann.A device according to the invention for aligning two test units, such as a tester (tester) and a handling device (handler), of a test system for testing semiconductor components comprises a base plate and a docking plate, wherein the base plate and the docking plate are connectable to one test unit each and movable to each other and can be locked in their relative position. This device is characterized in that the base plate has a plurality of clamping elements, with which the docking plate can be clamped to the base plate.

Durch das Vorsehen mehrerer Klemmelemente, mit welchen die Dockingplatte an die Basisplatte klemmbar ist, wird auf einfache Art und Weise eine feste Verbindung zwischen der Dockingplatte und der Basisplatte realisiert, so dass im Betrieb des Testsystems auch Kräfte quer zur Ebene der Basisplatte oder Dockingplatte übertragbar sind. Hierdurch ist es nicht notwendig, zwischen der Basisplatte und der Dockingplatte Führungen vorzusehen, welche solche Kräfte übertragen können. Im nicht arretierten Zustand kann die Dockingplatte vielmehr lose an die Basisplatte gekoppelt sein. Hierdurch ist es möglich, die Dockingplatte nicht nur in einer Ebene parallel zur Basisplatte in X- und Y-Richtung zu verschieben, sondern auch eine geringfügige relative Drehbewegung auszuführen. Dies erlaubt ein Ausrichten der Prüfvorrichtung und der Handhabungsvorrichtung auch bezüglich ihrer relativen Drehposition. Dies ist besonders vorteilhaft beim Testen von Halbleiterbauteilen mit sehr kleinen Kontaktstrukturen, da eine geringe Abweichung in der Drehposition zu Fehlkontakten führen kann.By providing a plurality of clamping elements with which the docking plate can be clamped to the base plate, a firm connection between the docking plate and the base plate is realized in a simple manner, so that during operation of the test system and forces across the plane of the base plate or docking plate are transferable , As a result, it is not necessary between the Base plate and the docking plate provide guides that can transmit such forces. In the unlocked state, the docking plate can rather be loosely coupled to the base plate. This makes it possible not only to move the docking plate in a plane parallel to the base plate in the X and Y directions, but also to perform a slight relative rotational movement. This allows alignment of the testing device and the handling device also with respect to their relative rotational position. This is particularly advantageous in the testing of semiconductor devices with very small contact structures, since a small deviation in the rotational position can lead to false contacts.

Die Basisplatte weist vorzugsweise eine Einschubführung zum Führung der Dockingplatte auf. Die Einschubführungen sind nach einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung derart ausgebildet, dass die Basisplatte vollständig aus den Einschubführungen herausgezogen werden kann. Hierdurch wird ein einfaches Austauschen der Basisplatte ermöglicht. Wird bei einem Testsystem die mit der Basisplatte verbundene Testeinheit (Prüfvorrichtung oder Handhabungsvorrichtung) ausgetauscht, dann ist es nicht notwendig, wie bei herkömmlichen Verbindungseinrichtungen, dass die entsprechenden Dockingelemente von Hand abgeschraubt und in neue Positionen versetzt werden, die für die neue Testeinheit passen, sondern die Basisplatte kann vollständig ausgetauscht werden und eine Basisplatte kann eingesetzt werden, auf welcher die Dockingelemente so angeordnet sind, dass sie zur neuen Testeinheit passen. Die Testeinheiten werden oftmals von unterschiedlichen Herstellern hergestellt, welche die mit den Dockingelementen verbindbaren Verbindungseinrichtungen unterschiedlich anordnen. Testhäuser besitzen oft derart unterschiedliche Testeinheiten. Mit der vorliegenden Erfindung können zu den jeweiligen Testeinheiten entsprechende Basisplatten vorgehalten werden, sodass die Testeinheiten zusammen mit den Basisplatten sehr schnell ausgetauscht werden können.The base plate preferably has an insertion guide for guiding the docking plate. The insertion guides are formed according to another aspect of the present invention such that the base plate can be completely pulled out of the insertion guides. This allows easy replacement of the base plate. In a test system, if the test unit (tester or manipulator) connected to the baseplate is replaced, then it is not necessary, as with conventional connectors, to unscrew the corresponding docking members by hand and place them in new positions that fit the new test unit the base plate can be completely replaced and a base plate can be used on which the docking elements are arranged to fit the new test unit. The test units are often manufactured by different manufacturers, which arrange the connection devices connectable with the docking elements differently. Test houses often have such different test units. With the present invention, corresponding base plates can be provided for the respective test units so that the test units can be exchanged very quickly together with the base plates.

Die Einschubführungen sind vorzugsweise zum losen Führung der Dockingplatte ausgebildet. Hierdurch kann die Dockingplatte auch ein Stück bzgl. der Basisplatte gedreht werden.The insertion guides are preferably designed for loose guidance of the docking plate. As a result, the docking plate can also be rotated one piece with respect to the base plate.

Eine solche Einschubführung kann beispielsweise ein L-förmiges Profil aufweisen, wobei ein freier Schenkel des L-förmigen Profils parallel zur Basisplatte angeordnet ist und einen derartigen Abstand zur Basisplatte aufweist, dass die Dockingplatte hierin mit einem geringen Spiel aufgenommen werden kann, das ein Verschieben der Dockingplatte relativ zur Basisplatte erlaubt.Such a slide-in guide may for example have an L-shaped profile, wherein a free leg of the L-shaped profile is arranged parallel to the base plate and has a distance from the base plate, that the docking plate can be received herein with a small clearance, the shifting of the Docking plate relative to the base plate allowed.

Die Ausrichtvorrichtung weist vorzugsweise zumindest eine Arretiereinrichtung auf, mit welcher die Basisplatte und die Dockingplatte in einer vorbestimmten Position zueinander arretierbar sind. Diese Arretiervorrichtung kann aus einem Arretierbolzen und einem entsprechend passenden Arretierloch ausgebildet sein, wobei der Arretierbolzen fest mit der Basisplatte oder der Dockingplatte verbunden und das Arretierloch, in welche der Arretierbolzen eingreifen kann, an der entsprechend anderen Platte ausgebildet ist. Das Arretierloch ist eine Passausnehmung bezüglich des Arretierbolzens.The alignment device preferably has at least one locking device with which the base plate and the docking plate can be locked to one another in a predetermined position. This locking device may be formed of a locking pin and a corresponding mating locking hole, wherein the locking pin firmly connected to the base plate or the docking plate and the locking hole, in which the locking pin can engage, is formed on the corresponding other plate. The locking hole is a fitting recess with respect to the locking pin.

Vorzugsweise weist die Arretiereinrichtung Feinjustiereinrichtungen, wie zum Beispiel Mikrometerschrauben, auf, um die Position des Arretierbolzens und/oder des Arretierloches in zumindest eine und vorzugsweise in zumindest zwei zueinander orthogonalen Richtungen zu verändern. Die Feinjustiereinrichtung ist vorzugsweise zum stufenlosen Justieren der Position ausgebildet.The locking device preferably has fine adjustment devices, such as micrometer screws, in order to change the position of the locking bolt and / or the locking hole in at least one and preferably in at least two mutually orthogonal directions. The fine adjustment device is preferably designed for stepless adjustment of the position.

Die Ausrichtvorrichtung weist vorzugsweise zwei Arretiereinrichtungen auf, die vorzugsweise ein Stück voneinander beabstandet sind. Hierdurch kann die relative Position der Basisplatte und der Dockingplatte sowohl in zwei orthogonalen Richtungen (X-Richtung und Y-Richtung) als auch zu einem gewissen Betrag in Drehrichtung ausgerichtet werden.The alignment device preferably has two locking means, which are preferably spaced a distance from each other. Thereby, the relative position of the base plate and the docking plate can be aligned both in two orthogonal directions (X direction and Y direction) and to some extent in the direction of rotation.

Die Klemmelemente sind vorzugsweise derart verschieblich oder drehbar angeordnet, dass sie beim relativen Bewegen der Dockingplatte bezüglich der Basisplatte aus einer Klemmposition bewegbar sind, sodass sie nicht mit an der Dockingplatte befestigten Dockingelementen kollidieren.The clamping elements are preferably slidably or rotatably arranged so that they are movable relative to the base plate from a clamping position during relative movement of the docking plate, so that they do not collide with attached to the docking docking elements.

Die Klemmelemente können einen schwenkbar gelagerten Hebel aufweisen, der mit seinem freien Ende gegen die von der Basisplatte abgewandte Seite der Dockingplatte gedrückt werden kann. Am freien Ende des Hebels kann ein Druckstempel vorgesehen sein, der beim Drücken gegen die Dockingplatte an dieser anliegt.The clamping elements may have a pivotally mounted lever which can be pressed with its free end against the side facing away from the base plate side of the docking plate. At the free end of the lever, a plunger may be provided which abuts when pressed against the docking plate at this.

Ein erfindungsgemäßes Testsystem umfasst eine Prüfvorrichtung und eine Handhabungsvorrichtung, wobei eine Vorrichtung zum Ausrichten der Prüfvorrichtung und der Handhabungsvorrichtung gemäß den oben erläuterten Ausführungsformen zwischen der Handhabungsvorrichtung und der Prüfvorrichtung vorgesehen ist. Das Testsystem ist vorzugsweise ein horizontales Testsystem.A test system according to the invention comprises a test device and a handling device, wherein a device for aligning the test device and the handling device according to the embodiments explained above is provided between the handling device and the test device. The test system is preferably a horizontal test system.

Die erfindungsgemäße Ausrichtvorrichtung erlaubt ein schnelles Austauschen eines Testboards. Ein solches Testboard wird auch als Schnittstelleneinheit bezeichnet und ist ein etwa ebenflächiges Bauteil, das üblicherweise aus einer starren Leiterplatte ausgebildet ist. Auf dieser Leiterplatte können Kontaktstifte und in das Testboard integrierte elektrische Bauelemente vorstehen. Bei Gebrauch des Testsystems muss das Testboard in einer bestimmten Position in der Testvorrichtung oder in der Handhabungsvorrichtung des Testsystems angeordnet und befestigt sein. Soll mit dem Testsystem ein anderer Typ von Prüfling (integrierter Schaltkreis oder Wafer) getestet werden, dann muss das Testboard ausgetauscht werden. Mit der erfindungsgemäßen Ausrichtvorrichtung können unterschiedliche Testboards schnell in der für sie vorgesehen Position in der Testvorrichtung oder in der Handhabungsvorrichtung ausgerichtet und fixiert werden.The alignment device according to the invention allows a quick replacement of a test board. Such a test board is also referred to as an interface unit and is an approximately planar component, which is usually formed from a rigid printed circuit board. Contact pins and electrical components integrated into the test board can protrude on this printed circuit board. In use of the test system, the test board must be arranged and fixed in a specific position in the test device or in the handling device of the test system. If the test system is to test another type of device under test (integrated circuit or wafer), then the test board must be replaced. With the alignment device according to the invention, different test boards can be aligned and fixed quickly in the position provided for them in the test device or in the handling device.

Vorzugsweise weist ein Testsystem mit einer erfindungsgemäßen Ausrichtvorrichtung auch ein Modul zum Austauschen des Testboards auf, wie es in der WO 2013/164407 A1 beschrieben ist. Auf dieses Dokument wird deshalb vollinhaltlich Bezug genommen.Preferably, a test system with an alignment device according to the invention also has a module for replacing the test board, as shown in the WO 2013/164407 A1 is described. This document is therefore incorporated herein by reference.

Wie es oben bereits erläutert ist, erlaubt die erfindungsgemäße Ausrichtvorrichtung auch ein schnelles Austauschen einer Testeinheit, insbesondere der mit der Dockingplatte verbundenen Testeinheit, da auch die entsprechende Dockingplatte zusammen mit der Testeinheit schnell und einfach ausgetauscht werden kann.As already explained above, the alignment device according to the invention also permits rapid replacement of a test unit, in particular of the test unit connected to the docking panel, since the corresponding docking panel together with the test unit can also be exchanged quickly and easily.

Die Erfindung wird nachfolgend beispielhaft näher anhand der Zeichnungen erläutert. Die Zeichnungen zeigen schematisch in:The invention will be explained in more detail by way of example with reference to the drawings. The drawings show schematically in:

1 eine Handhabungsvorrichtung in perspektivischer Ansicht ohne Prüfvorrichtung, 1 a handling device in perspective view without testing device,

2 eine Prüfvorrichtung zusammen mit einem Ausschnitt der Handhabungsvorrichtung aus 1 in perspektivischer Ansicht, wobei die Prüfvorrichtung und die Handhabungsvorrichtung mit einer erfindungsgemäßen Ausrichtvorrichtung verbunden sind, 2 a test device together with a section of the handling device 1 in a perspective view, wherein the testing device and the handling device are connected to an alignment device according to the invention,

3 eine Basisplatte und eine Dockingplatte gemäß der Ausrichtvorrichtung aus 2 in perspektivischer Ansicht mit Blickrichtung von schräg unten, 3 a base plate and a docking plate according to the alignment device 2 in perspective view, looking diagonally from below,

4 die Ausrichtvorrichtung gemäß 2 oder 3 an einer Handhabungsvorrichtung mit Blickrichtung von schräg unten in einer perspektivischen Ansicht, 4 the alignment device according to 2 or 3 on a handling device viewed from obliquely below in a perspective view,

5 eine Arretiereinrichtung der Ausrichtvorrichtung nach 2 bis 4 in perspektivischer Ansicht, 5 a locking device of the alignment device according to 2 to 4 in perspective view,

6 eine Ausrichtvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform in perspektivischer Ansicht mit Blickrichtung von schräg unten, und 6 an alignment device according to a second embodiment in a perspective view with a view obliquely from below, and

7 die Ausrichtvorrichtung aus 6 in einem Teilschnitt in perspektivischer Ansicht mit Blickrichtung von schräg unten. 7 the alignment device 6 in a partial section in perspective view with a view obliquely from below.

Eine erfindungsgemäße Vorrichtung 1 zum Ausrichten von zwei Testeinheiten 2, 3 weist eine Basisplatte 4 und eine Dockingplatte 5 auf.An inventive device 1 for aligning two test units 2 . 3 has a base plate 4 and a docking plate 5 on.

Die Vorrichtung zum Ausrichten wird im Folgenden als Ausrichtvorrichtung 1 bezeichnet und dient zum Ausrichten von zwei Testeinheiten zum Testen von Halbleiterbauteilen, wie zum Beispiel eine Handhabungsvorrichtung (Handler) 2 und einer Prüfvorrichtung (Tester) 3. Die Handhabungsvorrichtung 2 weist einen Prüfstempel (nicht dargestellt) auf, der einen Prüfling (Halbleiterbauteil) gegen entsprechende in der Prüfvorrichtung vorgesehene Kontaktelemente drückt, um mehrere Kontaktstellen des Halbleiterbauteils gleichzeitig zu kontaktieren. Der Prüfling kann ein integrierter Schaltkreis (IC) oder ein Wafer sein. Die Prüfvorrichtung 3 dient zum aufeinanderfolgenden Zuführen der Halbleiterbauteile zu einem Prüfbereich, an dem die Halbleiterbauteile mit dem Prüfstempel beaufschlagt werden. Der Prüfbereich befindet sich zwischen der Handhabungsvorrichtung 2 und der Prüfvorrichtung 3 und liegt damit etwa im Bereich der Ausrichtvorrichtung 1. Die Basisplatte 4 und die Dockingplate 5 weisen jeweils mittig eine großflächige Ausnehmung 6, 7 auf, wobei im Bereich dieser Ausnehmung 6, 7 der Prüfstempel der Handhabungsvorrichtung 2 die entsprechenden Halbleiterbauteile beaufschlagt.The alignment device will be hereinafter referred to as alignment device 1 and serves to align two test units for testing semiconductor devices, such as a handler. 2 and a tester (tester) 3 , The handling device 2 has a test stamp (not shown) which presses a device under test (semiconductor device) against corresponding contact elements provided in the test device in order to simultaneously contact a plurality of contact points of the semiconductor device. The device under test may be an integrated circuit (IC) or a wafer. The tester 3 serves for the successive feeding of the semiconductor components to a test area, to which the semiconductor components are subjected to the test stamp. The inspection area is located between the handling device 2 and the tester 3 and is thus approximately in the alignment device 1 , The base plate 4 and the docking platform 5 each have a large center recess in the middle 6 . 7 on, being in the area of this recess 6 . 7 the test stamp of the handling device 2 the corresponding semiconductor components acted upon.

Die Handhabungsvorrichtung 2, die Prüfvorrichtung 3 und die Ausrichtvorrichtung 1 bilden ein Testsystem. Da die Grenzfläche zwischen der Handhabungsvorrichtung 2 und der Prüfvorrichtung 3 horizontal angeordnet ist, wird ein solches Testsystem als horizontales Testsystem bezeichnet. Die Basisplatte 4 und die Dockingplatte 5 sind dementsprechend horizontal ausgerichtet.The handling device 2 , the tester 3 and the alignment device 1 form a test system. As the interface between the handling device 2 and the tester 3 is arranged horizontally, such a test system is called a horizontal test system. The base plate 4 and the docking plate 5 are aligned horizontally accordingly.

Im vorliegenden Ausführungsbeispiel ist die Basisplatte 4 an die Handhabungsvorrichtung 2 befestigt. Die Befestigung ist mittels Schraubbolzen ausgeführt.In the present embodiment, the base plate 4 to the handling device 2 attached. The attachment is carried out by means of bolts.

Die Dockingplatte 5 ist mit der Prüfvorrichtung 3 verbunden (2). Die Dockingplatte 5 weist hierzu Dockingelemente 8 auf, die im vorliegenden Ausführungsbeispiel als Dockingstifte 8 ausgebildet sind. Es gibt unterschiedliche Typen von Dockingelementen, mit welchen eine Prüfvorrichtung und eine Handhabungsvorrichtung lösbar, präzise und fest miteinander verbunden werden können. In der DE 102 16 003 B4 sind solche Dockingelemente beschrieben, die jeweils aus einem Dockingstift und einer Dockingausnehmung, die einen solchen Stift form- und/oder kraftschlüssig aufnehmen kann, ausgebildet.The docking plate 5 is with the tester 3 connected ( 2 ). The docking plate 5 has docking elements for this purpose 8th on, in the present embodiment as docking pins 8th are formed. There are different types of docking elements, with which a tester and a handling device can be detachably, precisely and firmly connected to each other. In the DE 102 16 003 B4 Such docking elements are described, each of a docking pin and a Dockingausnehmung that can record such a pin form and / or non-positively formed.

Im Rahmen der Erfindung ist es selbstverständlich auch möglich, eine Dockingplatte mit der Handhabungsvorrichtung und eine Basisplatte mit der Prüfvorrichtung zu verbinden oder eine Ausrichtvorrichtung mit zwei Dockingplatten auszubilden, wobei eine jede Dockingplatte Dockingelemente zum lösbaren Verbinden mit der jeweiligen Testeinheit 2, 3 aufweist. In the context of the invention, it is of course also possible to connect a docking plate with the handling device and a base plate to the test device or form an alignment with two docking plates, each docking docking elements for releasably connecting to the respective test unit 2 . 3 having.

Die Basisplatte 4 ist eine steife Platte mit der zentralen, rechteckförmigen Ausnehmung 6, so dass die Basisplatte 4 zwei Längsstreben 8 und zwei Querstreben 9 ausbildet. Die Basisplatte 4 weist im Bereich der Längsstreben 8 eine Längsseitenkante 10 auf. Parallel zu den Längsstreben 8 und parallel zur Ebene der Basisplatte 4 sind streifenförmige Einschubleisten 11 angeordnet. Eine jede Einschubleiste 11 ist mit einer Seitenkante etwa fluchtend zur Längsseitenkante 10 der Längsstreben 8 der Basisplatte angeordnet. Benachbart zu den Längsseitenkanten 10 sind die Einschubleisten 11 mit Schraubbolzen 12 an den Längsstreben 9/1 befestigt, wobei zwischen den Einschubleisten 11 und den Längsstreben 9/1 jeweils Abstandsleisten 20 vorgesehen sind, die von den Schraubbolzen 12 durchgriffen werden, sodass die Einschubleisten 11 in einem vorbestimmten Abstand bezüglich zur jeweiligen Längsstrebe 9/1 angeordnet sind. Die Einschubleisten 11 erstrecken sich von diesen Schraubbolzen 12 in Richtung zum Zentrum der Basisplatte 4, so dass die Einschubleisten 11 zusammen mit den Abstandsleisten 20 eine im Querschnitt L-förmige Einschubführung ausbilden.The base plate 4 is a rigid plate with the central, rectangular recess 6 so the base plate 4 two longitudinal struts 8th and two cross struts 9 formed. The base plate 4 points in the area of the longitudinal struts 8th a long side edge 10 on. Parallel to the longitudinal struts 8th and parallel to the plane of the base plate 4 are strip-shaped Einschubleisten 11 arranged. One each insertion strip 11 is approximately aligned with a side edge to the longitudinal side edge 10 the longitudinal struts 8th the base plate arranged. Adjacent to the longitudinal side edges 10 are the Einschubleisten 11 with bolts 12 on the longitudinal struts 1.9 fastened, being between the push-in bars 11 and the longitudinal struts 1.9 each spacer strips 20 are provided by the bolts 12 be penetrated, so the push-in bars 11 at a predetermined distance relative to the respective longitudinal strut 1.9 are arranged. The Einschubleisten 11 extend from these bolts 12 towards the center of the base plate 4 so the slip-ins 11 along with the spacer strips 20 form a cross-sectionally L-shaped insertion guide.

An den Einschubleisten 11 sind jeweils zwei Klemmelemente 13 angeordnet. Die Klemmelemente 13 weisen jeweils einen Kniehebel 14 auf, der um eine parallel zur Basisplatte 4 verlaufende Schwenkachse schwenkbar an einem Lagerelement 15 gelagert ist. Der Kniehebel 14 weist ein rückwärtiges Ende auf, an dem eine Stellschraube 16 vorgesehen ist, mit welcher das rückwärtige Ende des Kniehebels 14 von der Einschubleiste 11 weggedrückt werden kann, so dass das jeweils vordere bzw. freie Ende 17 des Kniehebels 14 in Richtung zur Basisplatte 4 bewegt wird. Am freien Ende 17 ist ein Druckstempel 18 angeordnet.At the Einschubleisten 11 each are two clamping elements 13 arranged. The clamping elements 13 each have a toggle 14 on, one parallel to the base plate 4 extending pivot axis pivotally mounted on a bearing element 15 is stored. The toggle 14 has a rear end on which a set screw 16 is provided, with which the rear end of the toggle lever 14 from the slide-in bar 11 can be pushed away, so that each front or free end 17 of the toggle lever 14 towards the base plate 4 is moved. At the free end 17 is a printing stamp 18 arranged.

Das Lagerelement 15 ist in einer Schiene 19 verschieblich gelagert. Die Schiene 19 verläuft parallel zum Kniehebel 14. Hierdurch ist es möglich, den Kniehebel 14 mit seinem freien Ende 17 in unterschiedlichen Positionen zur Einschubleiste 11 anzuordnen. Im Bereich der Schiene 19 ist die Einschubleiste 11 nach außen ein Stück erweitert, um die Schiene 19 entsprechend abzustützen. Nach innen, d. h. in Richtung zur Ausnehmung 6 der Basisplatte 4 ist die Einschubleiste 11 mit einem Stützbereich 21 ausgebildet, in den sich der vordere Abschnitt der Schiene 19 erstreckt und der so das Lagerelement 15 in seiner vorderen Position abstützen kann. Das Stützelement 21 dient auch zur Versteifung der Einschubleiste 11, da diese im Bereich des Klemmelementes 13 erhebliche Kräfte aufnehmen muss.The bearing element 15 is in a rail 19 slidably mounted. The rail 19 runs parallel to the knee lever 14 , This makes it possible, the toggle lever 14 with his free end 17 in different positions to the insertion strip 11 to arrange. In the field of rail 19 is the slide-in bar 11 outward a piece extended to the rail 19 support accordingly. Inward, ie towards the recess 6 the base plate 4 is the slide-in bar 11 with a support area 21 formed, in which the front section of the rail 19 extends and so the bearing element 15 can support in its forward position. The support element 21 also serves to stiffen the insertion strip 11 because these are in the area of the clamping element 13 must absorb considerable forces.

Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind im Bereich einer jeden Längsseitenkante 10 zwei Klemmelemente 13 vorgesehen. Die Klemmelemente 13 sind ein Stück voneinander beabstandet. Im Rahmen der Erfindung können auch nur ein oder mehr als zwei Klemmelemente im Bereich einer jeden Längsseitenkante 10 angeordnet sein.In the present embodiment are in the range of each longitudinal side edge 10 two clamping elements 13 intended. The clamping elements 13 are a piece apart. In the context of the invention, only one or more than two clamping elements in the region of each longitudinal side edge 10 be arranged.

An einer vorderen Begrenzungskante 22, die entlang der vorderen Querstrebe 9/2 der Basisplatte 4 verläuft, sind zwei Arretiereinrichtungen 23 angeordnet.At a front boundary edge 22 along the front crossbar 9.2 the base plate 4 runs are two locking devices 23 arranged.

Die Arretiereinrichtungen 23 weisen jeweils einen Arretierbolzen 24 auf, der federbeaufschlagt ist. Der Arretierbolzen 24 ist verschieblich in einem Grundkörper 25 gelagert. Der Arretierbolzen 24 ist senkrecht zur Ebene der Basisplatte 4 angeordnet. Der Arretierbolzen 24 weist ein freies Ende auf, mit welchem er am Grundkörper 25 nach unten in Richtung zur Einschubleiste 11 vorsteht. Am gegenüberliegenden Ende ist der Arretierbolzen 24 mit einem Griff 26 versehen, an welchem der Arretierbolzen 24 entgegen der Federwirkung ein Stück aus dem Grundkörper 25 gezogen werden kann. Der Grundkörper 25 ist schwimmend in einer Grundplatte 27 gelagert, welche an der Basisplatte 4 befestigt ist. Der Grundkörper 25 ist an zwei Feinjustiereinrichtungen 28 gekoppelt, welche im vorliegenden Ausführungsbeispiel Mikrometerschrauben sind. Die Feinjustiereinrichtungen 28 sind zueinander orthogonal ausgerichtet, so dass der Grundkörper 25 in zwei orthogonalen Richtungen in der Ebene der Basisplatte 4 justierbar ist. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind die Feinjustiereinrichtungen 28 in X- und Y-Richtung, also senkrecht zueinander, ausgerichtet. Hierdurch kann der Arretierbolzen 24 mit der Feinjustiereinrichtung 28 in der Ebene der Basisplatte 4 justiert werden.The locking devices 23 each have a locking pin 24 on which is spring loaded. The locking bolt 24 is displaceable in a body 25 stored. The locking bolt 24 is perpendicular to the plane of the base plate 4 arranged. The locking bolt 24 has a free end, with which he on the main body 25 down towards the slot 11 protrudes. At the opposite end is the locking bolt 24 with a handle 26 provided on which the locking bolt 24 against the spring action a piece from the body 25 can be pulled. The main body 25 is floating in a base plate 27 stored, which on the base plate 4 is attached. The main body 25 is at two fine adjustment devices 28 coupled, which are micrometer screws in the present embodiment. The fine adjustment devices 28 are aligned orthogonal to each other, so that the main body 25 in two orthogonal directions in the plane of the base plate 4 is adjustable. In the present embodiment, the fine adjustment devices 28 in the X and Y directions, ie perpendicular to each other, aligned. As a result, the locking bolt 24 with the fine adjustment device 28 in the plane of the base plate 4 to be adjusted.

Die Arretiereinrichtungen 23 sind vorzugsweise möglichst weit voneinander beabstandet an der Basisplatte 4 angeordnet.The locking devices 23 are preferably as far apart from each other on the base plate 4 arranged.

Die Dockingplatte 5 ist in der Draufsicht rechteckförmig ausgebildet und besitzt eine Größe, so dass sie in die durch die Einschubleisten 11 und Abstandsleisten 12 ausgebildeten Einschubführungen der Basisplatte 4 mit Spiel passt. Die Dockingplatte kann somit frei innerhalb der Einschubführungen verschoben werden. In vertikaler Richtung beträgt das Spiel im vorliegenden Ausführungsbeispiel etwa 0,5 bis 1 mm. Die Dockingplatte 5 kann in Einschubrichtung 29 in die Einschubführungen eingeschoben werden. Die Dockingplatte 5 weist quer zur Einschubrichtung 29 auch ein Spiel auf, das im Bereich von 0,5 cm bis 3 cm liegt, so dass die Dockingplatte 5 ein Stück quer zur Basisplatte 4 verschieblich und lose in den Einschubführungen gelagert ist. Die Dockingplatte 5 kann auch vollständig aus den Einschubführungen heraus gezogen werden.The docking plate 5 is rectangular in plan view and has a size so that they pass through the insertion strips 11 and spacer strips 12 trained insertion guides of the base plate 4 fits with game. The docking plate can thus be moved freely within the insertion guides. In the vertical direction, the game in the present embodiment is about 0.5 to 1 mm. The docking plate 5 can in the insertion direction 29 be inserted into the slot guides. The docking plate 5 points transversely to the direction of insertion 29 also a game in the range of 0.5 cm to 3 cm, leaving the docking plate 5 a piece across the base plate 4 slidably and loosely mounted in the insertion guides. The docking plate 5 can also be pulled out completely from the slide-in guides.

Die Dockingplatte 5 weist mehrere Arretierlöcher 30 auf, die an den vorderen Eckbereichen der Dockingplatte 5 angeordnet sind. Die Arretierlöcher 30 sind in einem vorbestimmten, nicht notwendigerweise regelmäßigen Muster angeordnet. In ein jedes der Arretierlöcher 30 kann einer der Arretierbolzen 24 zum Arretieren der Position der Dockingplatte 5 bezüglich der Basisplatte 4 eingreifen. Mittels der Feinjustiereinrichtungen 28 kann eine Feinjustage der Position der Dockingplatte 5 bezüglich der Basisplatte 4 erfolgen. Da die Dockingplatte 5 mit einer Testeinheit (hier: Prüfvorrichtung) und die Basisplatte 4 mit der anderen Testeinheit (hier: Handhabungsvorrichtung) verbunden sind, werden durch die Feinjustage auch die Position der Handhabungsvorrichtung bezüglich der Prüfvorrichtung exakt eingestellt bzw. justiert. Da die Dockingplatte 5 lose in den Einschubführungen der Basisplatte geführt ist, ist es auch möglich, in einem gewissen Drehbereich von etwa 0,5 bis 2° die Drehstellung der Dockingplatte bezüglich der Basisplatte zu verändern.The docking plate 5 has several locking holes 30 on that at the front corner areas of the docking plate 5 are arranged. The locking holes 30 are arranged in a predetermined, not necessarily regular pattern. In each of the locking holes 30 can be one of the locking bolts 24 for locking the position of the docking plate 5 with respect to the base plate 4 intervention. By means of the fine adjustment devices 28 can be a fine adjustment of the position of the docking plate 5 with respect to the base plate 4 respectively. Because the docking plate 5 with a test unit (here: test device) and the base plate 4 are connected to the other test unit (here: handling device), the position of the handling device with respect to the test device are adjusted or adjusted exactly by the fine adjustment. Because the docking plate 5 Loosely guided in the insertion guides of the base plate, it is also possible to change in a certain range of rotation of about 0.5 to 2 °, the rotational position of the docking plate with respect to the base plate.

Mittels der Klemmelemente wird die Dockingplatte 5 an die Basisplatte 4 geklemmt, die Klemmelemente 13 sind vorzugsweise in der Nähe der Dockingelemente 8 der Dockingplatte 5 angeordnet. Da an diesen Dockingelementen die schwere Testeinheit hängt, besteht die Gefahr, dass die Dockingplatte aufgrund des Gewichtes der Testeinheit verzogen wird. Einem solchen Verzug wird mittels der Klemmelemente 13 entgegengewirkt. Hierdurch wird sichergestellt, dass die Ausrichtung der zwei Testeinheiten exakt beibehalten wird und es zu keinen Fehlkontaktierungen kommen kann. Weiterhin bewirken die Klemmelemente 13, dass beim Testvorgang, bei welchem der Prüfstempel mit erheblicher Kraft gegen die zu testenden Halbleiterbauteile gedrückt wird, die Dockingplatte 5 nicht in Vertikalrichtung von der Basisplatte 4 abgehoben wird, wodurch es auch zu Fehlkontaktierungen kommen könnte.By means of the clamping elements is the docking plate 5 to the base plate 4 clamped, the clamping elements 13 are preferably near the docking elements 8th the docking plate 5 arranged. Since the heavy test unit hangs on these docking elements, there is a risk that the docking plate will warp due to the weight of the test unit. Such a delay is by means of the clamping elements 13 counteracted. This ensures that the alignment of the two test units is maintained exactly and that no faulty contacts can occur. Furthermore, the clamping elements effect 13 in that in the test process, in which the test stamp is pressed with considerable force against the semiconductor components to be tested, the docking plate 5 not in the vertical direction of the base plate 4 is lifted, which could also lead to faulty contacts.

Eine Prüfvorrichtung 3 lässt sich beim Prüfsystem gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel einfach austauschen, indem die Verbindung zur Dockingplatte 5 mittels der entsprechenden Dockingelemente gelöst wird, die Prüfvorrichtung mittels eines Manipulators (nicht dargestellt) gehandhabt wird, der an Manipulatorzapfen 35 der Prüfvorrichtung angreift, eine andere Prüfvorrichtung 3 mittels eines weiteren Manipulators angedockt wird, wobei gleichzeitig die Dockingplatte 5 mit der entsprechenden Prüfvorrichtung ausgetauscht werden kann.A tester 3 can be easily exchanged in the test system according to the present embodiment by the connection to the docking plate 5 is solved by means of the corresponding docking elements, the test device by means of a manipulator (not shown) is handled, the manipulator pin 35 the tester attacks, another tester 3 is docked by means of another manipulator, at the same time the docking plate 5 can be replaced with the appropriate tester.

Es kann auch lediglich ein Testboard ausgetauscht werden, um einen anderen Typ von Halbleiterbauteilen zu testen, und dann die gleiche Prüfvorrichtung wieder an die Dockingplatte 5 angedockt wird.Also, only one test board can be replaced to test another type of semiconductor device and then the same tester back to the docking board 5 is docked.

Grundsätzlich wird vor dem Andocken der Prüfvorrichtung 3 an die Dockingplatte 5 die Dockingplatte 5 bezüglich der Basisplatte 4 ausgerichtet. Die Klemmelemente 13 und die Arretiereinrichtungen 13 sind bereits oder werden gelöst. Die Dockingplatte 5 wird in die gewünschte Position bezüglich der Basisplatte 4 verschoben, wobei zunächst die Arretiereinrichtungen 23 durch Einführen der Arretierbolzen 24 in die entsprechenden Arretierlöcher 30 arretiert werden. Hierdurch wird die Position der Dockingplatte 5 bezüglich der Basisplatte festgelegt. Dann werden die Klemmelemente 13 festgeklemmt, um die Dockingplatte 5 an die Basisplatte 4 zu klemmen. Danach kann die Prüfvorrichtung 3 an die Dockingplatte 5 angedockt werden und befindet sich in der gewünschten Position bezüglich der Handhabungsvorrichtung.Basically, before docking the tester 3 to the docking plate 5 the docking plate 5 with respect to the base plate 4 aligned. The clamping elements 13 and the locking devices 13 are already or will be solved. The docking plate 5 will be in the desired position with respect to the base plate 4 moved, with first the locking devices 23 by inserting the locking bolts 24 in the corresponding locking holes 30 be arrested. This will change the position of the docking plate 5 fixed with respect to the base plate. Then the clamping elements 13 clamped to the docking plate 5 to the base plate 4 to pinch. After that, the tester 3 to the docking plate 5 be docked and is in the desired position with respect to the handling device.

Der Wechsel bzw. die Umstellung des Testboards und/oder der Prüfvorrichtung kann ohne Werkzeug innerhalb weniger Minuten ausgeführt werden. Durch das freie Verschieben der Dockingplatte 5 bzw. der Basisplatte 4 kann schnell eine andere Relativposition zwischen Dockingplatte 5 und Basisplatte 4 eingenommen werden, wobei die Prüfvorrichtung und die Handhabungsvorrichtung auch etwas bezüglich ihrer Drehposition zueinander ausgerichtet werden können.The change or conversion of the test board and / or the test device can be performed without tools within a few minutes. By the free shifting of the docking plate 5 or the base plate 4 can quickly another relative position between docking plate 5 and base plate 4 be taken, the tester and the handling device can also be aligned with respect to their rotational position to each other.

Beim oben erläuterten Ausführungsbeispiel ist die Prüfvorrichtung an der Dockingplatte befestigt. Es sind auch Testsysteme bekannt, bei welchen es zweckmäßig ist die Handhabungsvorrichtung an der Dockingplatte zu befestigen.In the embodiment described above, the test device is attached to the docking plate. Test systems are also known in which it is expedient to attach the handling device to the docking plate.

Nachfolgend wird eine zweite Ausführungsform der erfindungsgemäßen Ausrichtvorrichtung 1 anhand der 6 und 7 erläutert. Diese Ausführungsform entspricht im Wesentlichen der oben erläuterten Ausführungsform, weshalb gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet werden und nicht nochmals erläutert werden.Hereinafter, a second embodiment of the alignment device according to the invention 1 based on 6 and 7 explained. This embodiment substantially corresponds to the embodiment explained above, for which reason the same parts are designated by the same reference numerals and will not be explained again.

Die zweite Ausführungsform unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform dadurch, dass die Einschubleisten 11 nicht nur mit Schraubbolzen 12 am äußeren Randbereich mit der Basisplatte 4 verschraubt sind, sondern es sind auch zusätzliche Schraubbolzen 31 benachbart zum inneren Randbereich der Einschubleisten 11 angeordnet. Die Schraubbolzen 31 sind jeweils von rohrförmigen Abstandselementen 32 umschlossen, welche die Einschubleiste 11 und die Basisplatte 4 auf Abstand halten. Bei dieser Ausführungsform ist die Steifigkeit der Einschubleiste 11 bezüglich der Basisplatte 4 wesentlich größer.The second embodiment differs from the first embodiment in that the insertion strips 11 not only with bolts 12 at the outer edge area with the base plate 4 are bolted, but there are also additional bolts 31 adjacent to the inner edge of the Einschubleisten 11 arranged. The bolts 31 are each of tubular spacers 32 enclosed, which the insertion strip 11 and the base plate 4 keep at a distance. In this embodiment, the rigidity of the insertion strip 11 with respect to the base plate 4 much bigger.

Damit die Dockingplatte 5 nicht mit den zusätzlichen Schraubbolzen 31 am inneren Randbereich der Einschubleisten 11 kollidiert, weist die Dockingplatte 5 jeweils im Bereich benachbart zu den Schraubbolzen 31 eine zum Rand hin offene Ausnehmung 33 auf, so dass die Dockingplatte 5 ein Stück relativ zur Basisplatte 4 bewegt werden kann, ohne mit den Schraubbolzen 31 zu kollidieren. Die Dockingplatte 5 besitzt eine Länge, die kürzer als der Abstand der Schraubbolzen 31 zwischen den beiden Einschubleisten 11 ist, so dass die Dockingplatte 5 in einer zentrischen Position aus den mittels der Einschubleisten 11 ausgebildeten Einschubführungen vollständig heraus gezogen werden kann.So the docking plate 5 not with the additional bolts 31 at the inner edge of the Einschubleisten 11 collides, points the docking plate 5 each in the area adjacent to the bolts 31 a recess open towards the edge 33 on, leaving the docking plate 5 a piece relative to the base plate 4 can be moved without using the bolts 31 to collide. The docking plate 5 has a length that is shorter than the distance between the bolts 31 between the two Einschubleisten 11 is, so the docking plate 5 in a centric position from the means of insertion strips 11 trained insertion guides can be pulled out completely.

Bei der oben erläuterten ersten Ausführungsform sind die Kniehebel 14 in Längsrichtung verschieblich angeordnet. Hierdurch können die Kniehebel ein Stück nach außen bewegt werden, was manchmal notwendig ist, da beim Bewegen der Dockingplatte 5 relativ zur Basisplatte 4 ansonsten an der Dockingplatte 5 befestigte Dockingelemente 8 mit den Kniehebeln 14 kollidieren könnten. Bei der zweiten Ausführungsform sind die Kniehebel 14 nicht verschieblich, sondern drehbar angeordnet. Die Kniehebel 14 der zweiten Ausführungsform (6, 7) sind schwenkbar an einem Lagerelement 34 befestigt, das um eine Drehachse drehbar an der Einschubleiste 11 befestigt ist, wobei die Drehachse senkrecht zur Einschubleiste 11 steht. Durch Drehen bzw. Wegschwenken der Kniehebel 14 kann verhindert werden, dass diese mit den Dockingelementen 8 der Dockingplatte 5 beim Bewegen derselben kollidieren.In the first embodiment explained above, the toggles are 14 slidably arranged in the longitudinal direction. This allows the toggle levers to be moved outward a bit, which is sometimes necessary when moving the docking plate 5 relative to the base plate 4 otherwise on the docking plate 5 attached docking elements 8th with the knee levers 14 could collide. In the second embodiment, the toggles are 14 not displaceable, but rotatably arranged. The toggle 14 the second embodiment ( 6 . 7 ) are pivotable on a bearing element 34 attached, which is rotatable about an axis of rotation on the insertion strip 11 is attached, wherein the axis of rotation perpendicular to the insertion strip 11 stands. By turning or swinging away the toggle lever 14 This can be prevented with the docking elements 8th the docking plate 5 collide when moving them.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11: Ausrichtvorrichtungalignment
22: Handhabungsvorrichtung (Handler)Handling device (handler)
33: Prüfvorrichtung (Tester)Tester (Tester)
44: Basisplattebaseplate
55: DockingplatteDocking plate
66: Ausnehmungrecess
77: Ausnehmungrecess
88th: Dockingelementdocking element
9/11.9: Längsstrebelongitudinal strut
9/29.2: Querstrebecrossmember
1010: LängsseitenkanteLongitudinal side edge
1111: Einschubleisteinsertion strip
1212: Schraubbolzenbolts
1313: Klemmelementclamping element
1414: Kniehebeltoggle
1515: Lagerelementbearing element
1616: Stellschraubescrew
1717: freies Endefree end
1818: Druckstempelplunger
1919: Schienerail
2020: Abstandsleistespacer bar
2121: Stützbereichsupport area
2222: vordere Begrenzungskantefront boundary edge
2323: Arretiereinrichtunglocking
2424: Arretierbolzenlocking pin
2525: Grundkörperbody
2626: GriffHandle
2727: Grundplattebaseplate
2828: Feinjustiereinrichtungfine adjustment
2929: Einschubrichtunginsertion direction
3030: Arretierlochlocking hole
3131: Schraubbolzenbolts
3232: Abstandselementspacer
3333: Ausnehmungrecess
3434: Lagerelementbearing element

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

DE 200214629 U1 [0002, 0002]
WO 2013/164407 A1 [0004, 0019]
DE 10216003 B4 [0033]

Claims

Device for aligning two test units, such. B. a tester (tester) ( 3 ) and a handling device (handler) ( 2 ), a test system for testing semiconductor devices, comprising a base plate ( 4 ) and a docking plate ( 5 ), the base plate ( 4 ) and the docking plate ( 5 ) each with a test unit ( 2 . 3 ) are connectable and mutually movable and can be locked in their relative position, characterized in that the base plate ( 4 ) a plurality of clamping elements ( 13 ), with which the docking plate ( 5 ) to the base plate ( 4 ) can be clamped.

Device for aligning two test units, such. B. a test device ( 3 ) and a handling device ( 2 ), a test system for testing semiconductor devices, in particular according to claim 1, comprising a base plate ( 4 ) and a docking plate ( 5 ), the base plate ( 4 ) and the docking plate ( 5 ) each with a test unit ( 2 . 3 ) are connectable and mutually movable and can be locked in their relative position, characterized in that the base plate ( 4 ) an insertion guide to the leading docking plate ( 5 ), wherein the insertion guides are formed such that the docking plate ( 5 ) can be completely withdrawn from the drawer guides to replace them.

Device according to claim 1 or 2, characterized in that the base plate ( 4 ) an insertion guide for the loose guidance of the docking plate ( 5 ) having.

Apparatus according to claim 2 or 3, characterized in that the insertion guide has an L-shaped profile, wherein a free leg of the L-shaped profile is arranged parallel to the base plate and has a distance from the base plate, that the docking plate herein received with a game can be, which allows a displacement of the docking plate relative to the base plate.

Apparatus according to claim 4, characterized in that the insertion guide a parallel to the base plate ( 4 ) arranged insertion strip ( 11 ), which at the outer edge region with the base plate ( 4 ) and additional with bolts ( 31 ) adjacent to the inner edge area of the slide-in strips ( 11 ) with the base plate ( 4 ) and the docking plate ( 5 ) each in the area adjacent to the bolt ( 31 ) a recess ( 33 ), so that the docking plate ( 5 ) a piece relative to the base plate ( 4 ) can be moved without the bolts ( 31 ) to collide.

Device according to one of claims 1 to 5, characterized in that the device ( 1 ) at least one locking device ( 23 ), with which the base plate ( 4 ) and the docking plate ( 5 ) are locked in a predetermined position to each other.

Apparatus according to claim 6, characterized in that the locking device ( 23 ) from a locking bolt ( 24 ) and at least one correspondingly matching locking hole ( 25 ) is formed, wherein the locking bolt ( 24 ) fixed to the base plate ( 4 ) or the docking plate ( 5 ) and the locking hole ( 30 ), in which the locking bolt ( 24 ) can engage, is formed on the corresponding other plate.

Apparatus according to claim 6 or 7, characterized in that the locking device ( 23 ) a fine adjustment device ( 28 ) to the position of the locking bolt ( 24 ) and / or the locking hole ( 30 ) in at least one and preferably in at least two mutually orthogonal directions.

Device according to one of claims 6 to 8, characterized in that two locking devices ( 23 ) are provided

Device according to one of claims 1 to 9, characterized in that the clamping elements ( 13 ) are arranged displaceably or rotatably so that they move relative to the docking plate ( 5 ) with respect to the base plate ( 4 ) are movable from a clamping position, so that they are not attached to the docking docking elements ( 8th ) collide.

Device according to one of claims 1 to 10, characterized in that the clamping elements ( 13 ) each have a pivotally mounted lever ( 14 ) with its free end against that of the base plate ( 4 ) facing away from the docking plate ( 5 ) can be pressed, wherein at the free end of the lever ( 14 ) in each case a plunger ( 18 ) can be provided.

Device according to one of claims 1 to 11, characterized in that the device comprises a base plate ( 4 ) and at least two docking plates ( 5 ), wherein the docking plates ( 5 ) for connecting to different test units ( 2 . 3 ) are formed.

Test system comprising a test device ( 3 ) and a handling device ( 2 ), characterized by a device ( 1 ) to align the test device ( 3 ) and the handling device ( 2 ) according to any one of claims 1 to 12.

Test system according to claim 13, characterized in that the test system is a horizontal test system.

Test system according to claim 13 or 14, characterized in that the test system comprises a base plate ( 4 ) and at least two docking plates ( 5 ), wherein the docking plates ( 5 ) for connecting to different test units ( 2 . 3 ) are formed.