DE10224934B4

DE10224934B4 - Apparatus and method for CVD coatings

Info

Publication number: DE10224934B4
Application number: DE2002124934
Authority: DE
Inventors: Gregor Arnold; Stephan Dr. Behle; Andreas LÜTTRINGHAUS-HENKEL; Matthias Dr. Bicker
Original assignee: Schott AG
Current assignee: Schott AG
Priority date: 2002-06-04
Filing date: 2002-06-04
Publication date: 2006-06-08
Anticipated expiration: 2022-06-05
Also published as: DE10224934A1

Abstract

Vorrichtung (1) für CVD-Beschichtungen, umfassend
– eine Transporteinrichtung (2),
– zumindest eine Beschichtungsstation (3, 31–46) zur Beschichtung von Werkstücken, wobei die zumindest eine Beschichtungsstation (31–46) mit der Transporteinrichtung (2) befördert wird,
– zumindest eine Einrichtung (19) zum Evakuieren der Beschichtungsstation und
– eine Einrichtung zur Erzeugung eines Plasmas in wenigstens einem Teilbereich der Beschichtungsstation (3, 31–46),
wobei der zumindest einen Beschichtungsstation (3, 31–46) zumindest zwei Werkstücke aufnehmbar sind, und wobei die Einrichtung zur Erzeugung eines Plasmas in wenigstens einem Teilbereich der Beschichtungsstation (3, 31–46) eine stationär angeordnete Einrichtung zur Erzeugung elektromagnetischer Wellen (25) umfasst, gekennzeichnet durch eine Einrichtung (23) zur Verbindung der Einrichtung (25) zur Erzeugung elektromagnetischer Wellen mit der zumindest einen Beschichtungsstation (3, 31–46).Device (1) for CVD coatings, comprising
A transport device (2),
At least one coating station (3, 31-46) for coating workpieces, the at least one coating station (31-46) being conveyed by the transport device (2),
- At least one means (19) for evacuating the coating station and
A device for generating a plasma in at least one partial area of the coating station (3, 31-46),
wherein the at least one coating station (3, 31-46) at least two workpieces are receivable, and wherein the means for generating a plasma in at least a portion of the coating station (3, 31-46) comprises a stationarily arranged means for generating electromagnetic waves (25). characterized by means (23) for connecting the means (25) for generating electromagnetic waves with the at least one coating station (3, 31-46).

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren für CVDBeschichtungen von Werkstücken, insbesondere eine Vorrichtung und ein Verfahren zur simultanen Beschichtung mehrerer Werkstücke.The The invention relates to a device and a method for CVD coatings of workpieces, in particular, a device and a method for simultaneous coating several workpieces.

Um die Barrierewirkungen insbesondere von Kunststoffbehältern wie etwa Kunststoffflaschen zu verbessern, können diese mit Barriereschichten versehen werden. Solche Beschichtungen können unter anderem mittels verschiedener CVD-Verfahren (CVD: "Chemical Vapor Deposition", chemische Dampfphasenabscheidung) auf den Behälterwandungen abgeschieden werden.Around the barrier effects especially of plastic containers like For example, to improve plastic bottles, these can be done with barrier layers be provided. Such coatings can inter alia by means of various CVD processes (CVD: Chemical Vapor Deposition) on the container walls be deposited.

Für Kunststoffbehälter ist dabei insbesondere das Plasma Impulse CVD Verfahren (PICVD)(gepulstes Mikrowellenplasma) als Abscheideverfahren geeignet. Gegenüber der plasmaunterstützten chemischen Dampfphasenabscheidung (PECVD), bei welcher das Plasma kontinuierlich aufrechterhalten wird, ist das PICVD-Verfahren unter anderem deshalb vorteilhaft, weil sich mit diesem Verfahren die Aufheizung der temperaturempfindlichen Kunststoffe reduzieren läßt. Außerdem wird während der Zeitphasen außerhalb der Pulse, in denen kein Plasma angeregt ist, ein Gasaustausch ermöglicht.For plastic containers is in particular the plasma impulse CVD method (PICVD) (pulsed Microwave plasma) as a deposition method. Opposite the plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD), in which the plasma is maintained continuously, the PICVD method is under Another advantageous because, with this method, the heating can reduce the temperature-sensitive plastics. In addition, will while the time phases outside the pulses, in which no plasma is excited, allows a gas exchange.

Bei Beschichtungsanlagen im Labormaßstab werden dazu die Kunststoffbehälter in eine Beschichtungsstation eingesetzt, wobei diese Station komplett mit allen technischen Einrichtungen ausgerüstet ist, welche zur Beschichtung notwendig sind. Dazu gehören unter anderem Vakuumpumpen, Gaszuführung, Sensoren und die Mikrowelleneinkopplung. Nach dem Schließen einer vakuumdichten Glocke kann der Hohlkörper innen und außen evakuiert werden und das Beschichten der Innen- und/oder Außenseite des Behälters durchgeführt werden.at Coating plants on a laboratory scale to the plastic container used in a coating station, this station complete with All technical equipment is equipped, which for coating necessary. This includes including vacuum pumps, gas supply, sensors and microwave injection. To the closing a vacuum-tight bell, the hollow body can be evacuated inside and outside Be and the coating of the inside and / or outside of the container carried out become.

Für Beschichtungen im industriellen Maßstab ist dazu eine Maschine mit entsprechend hoher Leistung erforderlich. Hierzu sind beispielsweise kontinuierlich laufende Rundläufer mit radial angeordneten, identischen Beschichtungsstationen geeignet.For coatings on an industrial scale This requires a machine with a correspondingly high output. For this purpose, for example, continuously running rotary with arranged radially, identical coating stations suitable.

Problematisch ist hierbei, wenn die abzuscheidenden Schichten lange Beschichtungszeiten erfordern. Beispielsweise können bestimmte Beschichtungen reine Beschichtungszeiten von länger als 20 Sekunden benötigen. Auch sind lange Verweilzeiten in den Beschichtungssektionen dann erforderlich, wenn die Beschichtung in mehreren Schritten erfolgen soll. Denkbar ist dazu beispielsweise, wenn vor der Beschichtung eine Aktivierung der Oberfläche von Kunststoffkörpern erfolgen soll oder wenn mehrere Schichten nacheinander aufgebracht werden müssen. In diesen Fällen ist eine kontinuierlich laufende Rundläufervorrichtung nicht mehr wirtschaftlich zu betreiben, da sie entweder entsprechend langsam laufen oder der Umfang an die Prozeßzeiten angepaßt werden muß, was sehr große und entsprechend teure Maschinen erfordert.Problematic is here if the layers to be deposited require long coating times. For example, you can certain coatings have pure coating times of longer than 20 seconds need. Also, long residence times in the coating sections are then required if the coating is done in several steps should. It is conceivable, for example, if before the coating an activation of the surface of plastic bodies should be done or if several layers applied one after the other Need to become. In these cases is no longer a continuously running rotary device operate economically, either because they are correspondingly slow run or the scope to be adapted to the process times must, what very big and correspondingly expensive machines required.

Um die Maschinenleistung zu erhöhen, können auch gleichzeitig mehrere Werkstücke beschichtet werden. Derartig ausgenbildete Anlagen sind beispielsweise aus der DE 195 03 718 A1 , DE 44 07 909 A1 , US 5849366 und WO 00/58631 A1 bekannt. Allerdings steigt bei den bekannten Anlagen mit der Anzahl der Beschichtungsplätze auch der apparative Aufwand erheblich.In order to increase the machine performance, several workpieces can be coated at the same time. Such ausgegenbildete plants are for example from the DE 195 03 718 A1 . DE 44 07 909 A1 . US 5849366 and WO 00/58631 A1. However, in the known systems with the number of coating stations and the equipment required increases considerably.

Die Erfindung hat sich daher die Aufgabe gestellt, das CVD-Beschichten auch für lange Prozeßzeiten wirtschaftlicher zu machen.The The invention therefore has the task of CVD coating as well for long processing times make it more economical.

Diese Aufgabe wird bereits in überraschend einfacher Weise durch eine Vorrichtung für CVD-Beschichtungen von Werkstücken gemäß Anspruch 1, sowie ein Verfahren zum CVD-Beschichten von Werkstücken gemäß Anspruch 17 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen sind Gegenstand der jeweiligen Unteransprüche.These Task is already in a surprisingly simple Way through a device for CVD coatings of workpieces according to claim 1, and a method for CVD coating of workpieces according to claim 17 solved. Advantageous developments are the subject of the respective subclaims.

Demgemäß umfaßt eine erfindungsgemäße Vorrichtung für CVD-Beschichtungen eine Transporteinrichtung, zumindest eine Beschichtungsstation zur Beschichtung von Werkstücken, zumindest eine Einrichtung zum Evakuieren und eine Einrichtung zur Erzeugung eines Plasmas in wenigstens einem Teilbereich der Beschichtungsstation, wobei in der zumindest einen Beschichtungsstation wenigstens zwei Werkstücke aufnehmbar sind.Accordingly, a inventive device for CVD coatings one Transport device, at least one coating station for coating of workpieces, at least one device for evacuating and one device for generating a plasma in at least a portion of the coating station, wherein at least two workpieces can be received in the at least one coating station are.

Dadurch, daß die Beschichtungsstation gleichzeitig mehrere Werkstücke aufnehmen kann, können bei gleichbleibendem Durchsatz die Prozeßzeiten um einen Faktor erhöht werden, welcher der Anzahl der in der Beschichtungsstation aufnehmbaren Werkstücke entspricht. Auf diese Weise wird es erreicht, daß die Vorrichtung in ihren Abmessungen klein gehalten werden kann und dennoch lange Beschichtungszeiten bei gleichzeitig hohem Durchsatz realisiert werden können.Thereby, that the Coating station can accommodate several workpieces simultaneously, can at constant throughput, the process times are increased by a factor, which the number of workpieces receivable in the coating station corresponds. In this way it is achieved that the device in their Dimensions can be kept small and yet long coating times can be realized at the same time high throughput.

Erfindungsgemäß ist ferner vorgesehen, dass die zumindest eine Beschichtungsstation mit der Transporteinrichtung befördert wird.The invention is further provided that the at least one coating station with the Transported transport device becomes.

Bevorzugt umfaßt die Einrichtung zur Erzeugung eines Plasmas in wenigstens einem Teilbereich der Beschichtungsstation eine Einrichtung zur Erzeugung eines gepulsten Plasmas. Durch einer solche Einrichtung wird die PICVD-Beschichtung der Werkstücke mit den oben aufgeführten Vorteilen ermöglicht.Preferably, the means for generating a plasma in at least a portion of the coating station comprises means for generating a pulsed plasma. By such Device is the PICVD coating of the workpieces with the advantages listed above possible.

Die Aufnahme mehrerer Werkstücke kann in einfacher Weise dadurch bewerkstelligt werden, daß diese auf zumindest einem Halter angeordnet werden, welche in der zumindest einen Beschichtungsstation aufnehmbar ist. Dabei können die Werkstücke sowohl in einer Ebene, als auch in einer räumlichen Anordnung in mehreren Ebenen gestapelt werden.The Recording of several workpieces can be accomplished in a simple manner that this be arranged on at least one holder, which in the at least a coating station is receivable. The can Workpieces both in one plane, as well as in a spatial arrangement in several Layers are stacked.

Vorteilhaft kann die Vorrichtung ferner so ausgestaltet sein, daß die Transporteinrichtung die Beschichtungsstation nacheinander von zumindest einer Zuführposition zu zumindest einer Pumpposition, zumindest einer Beschichtungsposition und zumindest einer Entladeposition befördert. Insbesondere kann dabei die Vorrichtung zumindest vier Beschichtungsstationen aufweisen, welche so auf der Transporteinrichtung angeordnet sind, daß sich jeweils eine der Beschichtungsstationen in der Zuführposition, der Evakuierungsposition und der Entladeposition befindet, wenn sich eine der Beschichtungsstationen in der Beschichtungsposition befindet. Auf diese Weise wird es ermöglicht, daß jede der Beschichtungsstationen an einem Schritt des Prozeßablaufes beteiligt ist und so der Prozeßablauf zeitlich optimiert wird.Advantageous the device can also be designed so that the transport device the coating station successively from at least one feed position to at least one pumping position, at least one coating position and at least one unloading position. In particular, it can the device has at least four coating stations, which are arranged on the transport device, that in each case one of the coating stations in the feed position, the evacuation position and the unloading position is when one of the coating stations located in the coating position. That way it will be possible that each the coating stations at a step of the process flow is involved and so is the process flow is optimized in time.

Der Prozeßablauf kann auch dadurch optimiert werden, daß die Transporteinrichtung während des Beschichtens die Transportgeschwindigkeit verlangsamt. Insbesondere ist es dabei vorteilhaft, wenn die Transporteinrichtung während des Beschichtens anhält. Durch die damit bewirkte Abkehr von einem kontinuierlichen Produktionsprozeß wird so eine bessere zeitliche Ausnutzung der im allgemeinen unterschiedlich langen Phasen des Produktionsprozesses erreicht.Of the process flow can also be optimized by the fact that the transport device during the Coating slows down the transport speed. Especially it is advantageous if the transport device during the Coating stops. By thus turning away from a continuous production process is so a better temporal utilization of the generally different long phases of the production process.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung umfaßt die Transporteinrichtung eine Rundläufervorrichtung. Diese lassen sich besonders kompakt und mit vergleichsweise einfacher Mechanik herstellen. Es ist jedoch auch möglich, ein Langläufersystem zu verwenden, welches beispielsweise den Vorteil eines freien Zugangs zu den Beschichtungsstationen von zwei gegenüberliegenden Seiten her bietet.According to one preferred embodiment of Invention the transport device a rotary device. Leave these very compact and with comparatively simple mechanics produce. However, it is also possible a cross-country skiing system to use, for example, the advantage of free access offers to the coating stations from two opposite sides ago.

In einfacher Weise läßt sich ein Plasma in wenigstens einem Teilbereich. der Beschichtungsstation mittels einer Einrichtung zur Erzeugung elektromagnetischer Wellen erzeugen. Insbesondere ist dabei die Erzeugung von Mikrowellen von Vorteil, welche sich leicht durch Hohlleiter transportieren lassen und hohe Energiedichten übertragen können.In easy way can be a plasma in at least one subarea. the coating station by means for generating electromagnetic waves produce. In particular, the generation of microwaves from Advantage, which can be easily transported through waveguides and transmit high energy densities can.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist ferner eine Einrichtung zur Verbindung der Einrichtung zur Erzeugung elektromagnetischer Wellen mit der zumindest einen Beschichtungsstation auf. Dadurch wird es möglich gemacht, daß die Einrichtung zur Erzeugung elektromagnetischer Wellen nicht mit den Beschichtungsstationen mitgeführt werden muß. Vielmehr kann eine solche Einrichtung die Verbindung der Einrichtung zur Erzeugung elektromagnetischer Wellen mit der zumindest einen Beschichtungsstation erst beim Erreichen eine s bestimmten Beschichtungsbereiches herstellen.The inventive device further comprises means for connecting the device to Generation of electromagnetic waves with the at least one coating station on. This will make it possible made that the Device for generating electromagnetic waves not with the coating stations carried must become. Much more Such a device can connect the device to the device Generation of electromagnetic waves with the at least one coating station only when reaching a certain coating area produce.

Insbesondere ist es für einen einfachen Aufbau der Vorrichtung von Vorteil, wenn die Einrichtung zur Erzeugung elektromagnetischer Wellen stationär angeordnet ist. Damit wird ein Mitführen der Einrichtung mit der zumindest einen Beschichtungsstation vermieden. Insbesondere wird damit erreicht, daß nicht jede Beschichtungsstation eine eigene Plasmaerzeugungseinrichtung benötigt, welche auf der Transporteinrichtung mitgeführt werden muß und so den apparativen Aufwand für eine Vorrichtung zum CVD-Beschichten enorm erhöht.Especially is it for a simple structure of the device advantageous when the device for Generation of electromagnetic waves is stationary. This will be a carry the device with the at least one coating station avoided. In particular, it is achieved that not every coating station requires its own plasma generating device, which on the transport device carried must and must so the equipment expense for a device for CVD coating increased enormously.

Damit der für die Plasmabeschichtung notwendige Enddruck schneller erreicht werden kann, sind zumindest zwei, besser mehrere Pumpvorrichtungen, beziehungsweise Pumpstufen von Vorteil. Die Pumpstufen können dazu für verschiedene Druckbereiche optimiert werden. Ein sequentielles Zu- und Abschalten der Pumpstufen ermöglicht dann ein schnelles Erreichen des Enddrucks mit im Vergleich zu einer einzelnen Pumpstufe deutlich reduzierten Pumpleistung.In order to the for the plasma coating necessary final pressure can be reached faster can at least two, better several pumping devices, respectively Pump stages of advantage. The pumping stages can do this for different pressure ranges be optimized. A sequential switching on and off of the pumping stages allows then a rapid achievement of the final pressure with compared to a single pumping stage significantly reduced pump power.

Außerdem umfaßt die erfindungsgemäße Vorrichtung noch eine Einrichtung zum sequentiellen Verbinden der zumindest einen Beschichtungsstation mit den zumindest zwei Pumpstufen. Diese kann beispielsweise die Verbindung mit der Beschichtungsstation bei bestimmten Positionen der Transporteinrichtung herstellen, etwa an vorgesehenen Drehpositionen bei einer Rundläufer-Transporteinrichtung.In addition, the device according to the invention comprises a device for sequentially connecting the at least a coating station with the at least two pumping stages. These For example, the connection with the coating station produce at certain positions of the transport device, such as at intended rotational positions in a rotary transport device.

Um die Werkstücke während der Evakuierung und Beschichtung sicher zu fixieren, kann die erfindungsgemäße Vorrichtung außerdem vorteilhaft Befestigungseinrichtungen für die zumindest zwei Werkstücke aufweisen. Insbesondere können die Befestigungseinrichtungen auch Aufnahmen für hohlkörperförmige Werkstücke, insbesondere für Flaschen umfassen.Around the workpieces while to securely fix the evacuation and coating, the device of the invention Furthermore advantageously have fastening devices for the at least two workpieces. In particular, you can the fastening devices and receptacles for hollow body-shaped workpieces, in particular for bottles include.

Vorteilhaft ist für alle Ausführungsformen der Erfindung außerdem eine Einrichtung zum Einlassen von Prozeßgasen. Diese kann für die Beschichtung von Hohlkörpern wie Kunststoffflaschen oder Glasflaschen auch so ausgebildet sein, daß die Prozeßgase in den Hohlkörper eingelassen werden. Ist der Hohlkörper in einer abdichtenden Aufnahme fixiert, so können auf diese Weise im Innen- und Außenbereich des Hohlkörpers unterschiedliche Gaszusammensetzungen erzeugt werden. Damit lassen sich auf den Innen- und Außenwandungen der Hohlkörper unterschiedliche Schichten herstellen oder etwa reine Innen- oder Außenbeschichtungen erzielen, wenn die Gaszusammensetzungen derart gewählt werden, daß nur im Innen- oder Außenbereich durch Einwirkung elektromagnetischer Strahlung ein Plasma erzeugt wird.It is also advantageous for all embodiments of the invention, a device for introducing process gases. This can also be designed for the coating of hollow bodies such as plastic bottles or glass bottles so that the process gases are admitted into the hollow body. If the hollow body is fixed in a sealing receptacle, then can be generated in this way in the interior and exterior of the hollow body different gas compositions. This can be on the inner and outer walls of the hollow body produce different layers or achieve about pure inner or outer coatings when the gas compositions are chosen such that only in the indoor or outdoor area by the action of electromagnetic radiation, a plasma is generated.

Im Rahmen der Erfindung liegt es auch, ein Verfahren zum CVD-Beschichten von Werkstücken anzugeben, mit welchen auch bei langen Prozesszeiten eine wirtschaftliche Beschichtung realisiert werden kann. Das Verfahren zum CVD-Beschichten von Werkstücken, welches insbesondere mit einer erfindungsgemäßen Vorrichtung ausgeführt werden kann umfasst die Schritte:

– Einführen von zumindest zwei Werkstücken in eine Beschichtungsstation,
– Evakuieren,
– Befördern der zumindest zwei Werkstücke mit einer Transporteinrichtung,
– Erzeugen eines Plasmas in zumindest einem Teilbereich der Beschichtungsstation,
– Belüften, und
– Ausführen der Werkstücke.

It is also within the scope of the invention to specify a method for CVD coating of workpieces with which an economic coating can be realized even with long process times. The method for CVD coating of workpieces, which can be carried out in particular with a device according to the invention, comprises the steps:

Inserting at least two workpieces into a coating station,
- evacuate,
Conveying the at least two workpieces with a transport device,
Generating a plasma in at least one partial area of the coating station,
- aerate, and
- Execution of the workpieces.

Durch das Erzeugen eines Plasmas in zumindest einem Teilbereich kommt es zu chemischen Reaktionen der Bestandteile des Prozeßgases, welches das Plasma bildet. Die Produkte der Reaktionen im Plasma werden dann auf den an das Plasma angrenzenden Flächen der Werkstücke als Beschichtung abgeschieden.By the generation of a plasma comes in at least a partial area it to chemical reactions of the constituents of the process gas, which forms the plasma. Products of reactions in plasma are then on the plasma adjacent surfaces of the workpieces deposited as a coating.

Durch das Behandeln mehrerer Werkstücke in einer gemeinsamen Beschichtungsstation, in welcher das Plasma erzeugt wird, läßt sich entsprechend der Anzahl gemeinsam behandelter, beziehungsweise beschichteter Werkstücke die Prozeßzeit verlängern, ohne den Durchsatz zu verringern. Um den Vorteil einer Beschichtung in einer gemeinsamen Beschichungsstation auszunutzen, umfaßt außerdem der Schritt des Erzeugens eines Plasmas in zumindest einem Teilbereich vorteilhaft den Schritt des gemeinsamen CVD-Beschichtens zumindest zweier Werkstücke.By treating several workpieces in a common coating station in which the plasma is generated becomes, lets itself according to the number of co-treated or coated workpieces the process time extend, without reducing throughput. To the advantage of a coating exploiting in a common Beschichtungsstation also includes the Step of generating a plasma in at least one subregion Advantageously, the step of jointly CVD coating at least two workpieces.

Weiterhin wird die zumindest eine Beschichtungsstation mit der Transporteinrichtung befördert. Auf diese Weise werden beispielsweise die Werkstücke zusammen mit der Beschichtungsstation, in welcher die Werkstücke aufgenommen sind, weitertransportiert und verschiedene Behandlungsschritte können so während der Bewegung der Transporteinrichtung vorgenommen werden.Farther becomes the at least one coating station with the transport device promoted. On in this way, for example, the workpieces together with the coating station, in which the workpieces are taken on, further transported and various treatment steps can so while the movement of the transport device are made.

Besonders vorteilhaft ist eine Ausgestaltung des Verfahrens, bei welchem der Schritt des Erzeugens eines Plasmas in zumindest einem Teilbereich der Beschichtungsstation den Schritt des Erzeugens eines gepulsten Plasmas umfaßt. Durch ein gepulstes Plasma können unter anderem im Puls hohe Leistungen im Plasma umgesetzt und die zeitlich gemittelte Leistung gleichzeitig niedrig gehalten werden.Especially an embodiment of the method is advantageous in which the Step of generating a plasma in at least a portion of the Coating station, the step of generating a pulsed plasma includes. Through a pulsed plasma can Among other things in the pulse high achievements converted in the plasma and the time-averaged performance are kept low at the same time.

Das Anordnen der Werkstücke auf Haltern, welche in die Beschichtungsstation eingeführt werden, ist besonders vorteilhaft für das erfindungsgemäße Verfahren, da dieser Schritt außerhalb der Beschichtungsvorrichtung durchgeführt werden kann, wodurch Raum für entsprechende Vorrichtungen, wie beispielsweise Robotergreifarme zur Verfügung gestellt werden kann.The Arranging the workpieces on holders, which are introduced into the coating station, is particularly advantageous for the method according to the invention, because this step outside the coating apparatus can be carried out, thereby creating space for corresponding Devices, such as robot gripping arms provided can be.

Eine besonders günstige Raumausnutzung kann erzielt werden, wenn die Werkstücke in der Beschichtungsstation auf zumindest zwei Ebenen angeordnet sind. Dies kann beispielsweise durch eine entsprechende Anordnung auf einem Halter bewerkstelligt werden.A especially cheap Space utilization can be achieved when the workpieces in the Coating station are arranged on at least two levels. This can, for example, by an appropriate arrangement a holder be accomplished.

Außerdem kann mit Vorteil der Schritt des Beförderns der Beschichtungsstation mit einer Transporteinrichtung die Schritte des Beförderns von einer Zuführposition zu einer Evakuierungsposition, einer Beschichtungsposition und einer Entladeposition umfassen.In addition, can with advantage the step of advancing the coating station with a transport device the steps of carrying from a feed position to an evacuation position, a coating position and a Entladeposition include.

Um den Ablauf des Verfahrens zeitlich weiter zu optimieren, kann weiterhin der Schritt des Beförderns der Beschichtungsstation mit einer Transporteinrichtung den Schritt des Verlangsamens der Transportgeschwindigkeit während des Beschichtens, insbesondere den Schritt des Anhaltens während des Beschichtens umfassen.Around To further optimize the course of the procedure in time can continue the step of advancing the coating station with a transport device the step slowing the transport speed during coating, in particular the step of stopping while coating.

Vorzugsweise umfasst ferner der Schritt des Erzeugens eines Plasmas in zumindest einem Teilbereich der Beschichtungsstation den Schritt des Erzeugens elektromagnetischer Wellen, insbesondere des Erzeugens von Mikrowellen. Vorteilhaft kann ferner der Schritt des Erzeugens eines Plasmas den Schritt des Einlassens eines Prozessgases umfassen.Preferably further comprises the step of generating a plasma in at least a portion of the coating station the step of generating electromagnetic waves, in particular the generation of microwaves. Advantageously, the step of generating a plasma may also be advantageous comprise the step of introducing a process gas.

Erfindungsgemäß umfasst das Verfahren außerdem den Schritt des Verbindens einer Einrichtung zur Erzeugung elektromagnetischer Wellen mit der zumindest einen Beschichtungsstation. Auf diese Weise können die elektromagnetischen Wellen mit einer stationären Einrichtung erzeugt werden, während sich die Transporteinrichtung mit der Beschichtungsstation daran vorbeibewegen kann und dabei mit der Einrichtung zur Erzeugung elektromagnetischer Wellen verbunden wird.According to the invention the procedure as well the step of connecting a device for generating electromagnetic Waves with the at least one coating station. In this way can the electromagnetic waves are generated with a stationary device, while the transport device with the coating station on it can pass by and with the device for generating electromagnetic Waves is connected.

Um schnell den erforderlichen Enddruck beim Evakuieren zu erreichen, kann der Schritt des Evakuierens zusätzlich den Schritt des sequentiellen Evakuierens mit zumindest zwei Pumpstufen umfassen.To quickly reach the required final pressure During evacuation, the step of evacuation may additionally comprise the step of sequentially evacuating with at least two pump stages.

Um eine Innenbeschichtung hohlkörperförmiger Werkstücke, wie insbesondere von Flaschen zu bewerkstelligen, ist es günstig, auch den Hohlraum zu evakuieren, welcher von den hohlkörperförmigen Werkstücken umschlossen wird. Bei der Beschichtung von Flaschen wird also gemäß dieser vorteilhaften Weiterbildung beispielsweise das Flascheninnere evakuiert. Für die Beschichtung solcher Werkstücke ist es weiterhin günstig, wenn der Schritt des Einlassens eines Prozessgases den Schritt des Einlassens eines Prozessgases in den Hohlraum hohlkörperförmiger Werkstücke umfaßt.Around an inner coating hollow body-shaped workpieces, such as in particular of bottles, it is convenient, too To evacuate the cavity, which enclosed by the hollow body-shaped workpieces becomes. When coating bottles is so according to this advantageous development evacuated, for example, the bottle interior. For the Coating of such workpieces is it still cheap when the step of introducing a process gas includes the step of introducing a process gas into the cavity hollow body-shaped workpieces comprises.

Die Erfindung wird nachfolgend beispielhaft anhand von bevorzugten Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher beschrieben. Gleiche Bezugszeichen in den Zeichnungen kennzeichnen dabei gleiche oder ähnliche Teile.The The invention will be described below by way of example with reference to preferred embodiments with reference to the attached Drawings described in more detail. The same reference numerals in the drawings indicate the same or similar parts.

Dabei zeigen:there demonstrate:

1 eine schematische Aufsicht auf eine erste Ausführungsform der Erfindung mit Rundläufer-Transporteinrichtung, 1 a schematic plan view of a first embodiment of the invention with rotary transport device,

2 eine schematische Aufsicht auf eine zweite Ausführungsform der Erfindung mit Rundläufer-Transporteinrichtung, und 2 a schematic plan view of a second embodiment of the invention with rotary transport device, and

3 eine schematische Aufsicht auf eine dritte Ausführungsform der Erfindung mit Rundläufer-Transporteinrichtung. 3 a schematic plan view of a third embodiment of the invention with rotary transport device.

In 1 ist eine schematische Aufsicht auf eine erste Ausführungsform der im ganzen mit 1 bezeichneten erfindungsgemäßen Vorrichtung für CVD-Beschichtungen dargestellt. Die Vorrichtung 1 umfaßt in dieser Ausführungsform eine Transporteinrichtung 2 in der Form eines Rundläufers. Auf dem Rundläufer 2 sind vier Beschichtungsstationen 31, 32, 33, 34 befestigt.In 1 is a schematic plan view of a first embodiment of the whole with 1 designated device according to the invention for CVD coatings. The device 1 in this embodiment comprises a transport device 2 in the shape of a rotary. On the rotary 2 are four coating stations 31 . 32 . 33 . 34 attached.

Die zu beschichtenden Werkstücke werden auf Haltern in Form von Paletten 51, 52, 53, 54 angeordnet, welche den Beschichtungsstationen 31–34 zugeführt werden.The workpieces to be coated are mounted on holders in the form of pallets 51 . 52 . 53 . 54 arranged, which the coating stations 31 - 34 be supplied.

Die Werkstücke werden auf den Paletten dabei in geeigneten Befestigungseinrichtungen oder Aufnahmen 7 befestigt. Das Anordnen der Werkstücke auf den Paletten, sowie das Herunternehmen von den Paletten kann dabei beispielsweise von Robotergreifarmen durchgeführt werden. Bei der in 1 gezeigten Ausführungsform der Vorrichtung 1 befinden sich jeweils 16 Aufnahmen 7 auf einer Palette. Entsprechend können in einer Beschichtungsstation jeweils 16 Werkstücke gleichzeitig beschichtet werden.The workpieces are on the pallets in suitable fasteners or recordings 7 attached. The arrangement of the workpieces on the pallets, as well as the taking of the pallets can be carried out, for example, by robotic arms. At the in 1 shown embodiment of the device 1 there are 16 shots each 7 on a pallet. Accordingly, 16 workpieces can be coated simultaneously in a coating station.

Das Zuführen der auf einer der Paletten 51–54 befestigten Werkstücke zu einer Beschichtungsstation 31–34 geschieht, wenn sich die Beschichtungsstation auf der Transporteinrichtung 2 in einer Zuführposition 9 befindet. Die Zuführposition entspricht einem bestimmten Drehwinkel oder Drehwinkelbereich des Rundläufers.Feeding the on one of the pallets 51 - 54 attached workpieces to a coating station 31 - 34 happens when the coating station on the transport device 2 in a feed position 9 located. The feed position corresponds to a specific rotation angle or rotation angle range of the rotary traveler.

Befindet sich eine der Beschichtungsstationen, in 1 die Beschichtungsstation 31 in der Zuführposition, so befindet sich jeweils eine der weiteren Beschichtungsstationen 32, 33, 34 in einer Evakuierungsposition 11, einer Beschichtungsposition 13 und einer Entladeposition 15.Is one of the coating stations, in 1 the coating station 31 in the feed position, so there is in each case one of the other coating stations 32 . 33 . 34 in an evacuation position 11 , a coating position 13 and a discharge position 15 ,

Ist die Palette der Beschichtungsstation 31 zugeführt, so kann diese geschlossen werden und die Beschichtungsstationen werden auf der Transporteinrichtung 2 weiterbefördert, bis sich die Beschichtungsstation 31 an der Pumpposition 11 befindet. In dem in 1 gezeigten Zustand der Vorrichtung befindet sich die Beschichtungsstation 32 mit der darin aufgenommenen Palette 52 in der Pumpposition. In dieser Position wird mittels einer geeigneten Einrichtung eine Verbindung der Beschichtungsstation 32 mit einer Einrichtung 19 zum Evakuieren hergestellt. Die Verbindungseinrichtung umfasst in dieser Ausführungsform Vakuumleitungen 17. Die Einrichtung zum Evakuieren kann beispielsweise Kombinationen von verschiedenartigen Pumpen umfassen, welche von der Verbindungseinrichtung sequentiell zugeschaltet werden, um für den momentan in der Beschichtungsstation 32 herrschenden Druck eine optimale Pumpleistung bereitstellen zu können. Die Einrichtung 19 zum Evakuieren kann auch anders als in 1 gezeigt, im Innenbereich 21 des Rundläufers angeordnet sein, um einen möglichst platzsparenden Aufbau der Vorrichtung 1 zu realisieren.Is the pallet of the coating station 31 fed, it can be closed and the coating stations are on the transport device 2 forwarded until the coating station 31 at the pumping position 11 located. In the in 1 shown state of the device is the coating station 32 with the included pallet 52 in the pumping position. In this position, by means of a suitable device, a connection of the coating station 32 with a device 19 made for evacuation. The connection device comprises vacuum lines in this embodiment 17 , The means for evacuating may, for example, comprise combinations of different types of pumps, which are sequentially switched on by the connection means, for the momentarily in the coating station 32 prevailing pressure to provide optimum pumping power. The device 19 to evacuate can also be different than in 1 shown inside 21 be arranged of the rotary, in order to save space as possible construction of the device 1 to realize.

Nach der Evakuierung der Beschichtungsstation wird die Transporteinrichtung weiterbewegt, bis sich die Beschichtungsstation in der Beschichtungsposition 13 befindet. In der Beschichtungsposition 13 wird eine Einrichtung 25 zur Erzeugung von Mikrowellen mit der Beschichtungsstation verbunden. Beispielsweise kann dies mittels geeigneter Hohlleiter 23 geschehen, wobei in 1 nur ein einzelner Hohlleiter gezeigt ist. Günstig ist es auch für alle hier beschriebenen Ausführunsformen, wenn die Beschichtungsstationen mit mehreren Hohlleitern 23, etwa ein Hohlleiter pro Werkstück angeschlossen werden, um eine gleichmäßige Verteilung der Strahlung in der Beschichtungsstation herzustellen.After evacuation of the coating station, the transport device is moved on until the coating station is in the coating position 13 located. In the coating position 13 becomes a facility 25 connected to the coating station for generating microwaves. For example, this can be done by means of suitable waveguides 23 happen, being in 1 only a single waveguide is shown. It is also favorable for all embodiments described here if the coating stations have a plurality of waveguides 23 , about one waveguide per workpiece can be connected to a uniform distribution of the beam production in the coating station.

In der Beschichtungsposition 13 wird außerdem das für die Beschichtung geeignete Prozessgas in die Beschichtungsstation eingelassen und mit einer Pumpvorrichtung 194 auf den notwendigen Prozessdruck eingestellt. Die mittels einer Zuleitung 17 mit der sich jeweils in der Beschichtungsposition 13 befindenden Beschichtungsstation verbundene Pumpvorrichtung 194 kann außerdem die Prozeßgase abpumpen, welche über eine nicht gezeigte Einrichtung während des Beschichtens zugeführt werden, so daß während des Beschichtens ein Gasaustausch ermöglicht wird. Mittels der von der Einrichtung 25 in die Beschichtungsstation eingestrahlten Mikrowellen wird dann im Inneren der Beschichtungsstation ein Plasma erzeugt, wodurch sich durch die im Plasma in Gang gesetzten chemischen Reaktionen eine CVD-Schicht auf den im Bereich des Plasmas befindlichen Flächen der Werkstücke bildet.In the coating position 13 In addition, the process gas suitable for the coating is introduced into the coating station and with a pumping device 194 adjusted to the necessary process pressure. The by means of a supply line 17 with each in the coating position 13 associated pumping station 194 In addition, the process gases can be pumped off, which are supplied via a device, not shown, during the coating, so that a gas exchange is made possible during the coating. By means of the device 25 In the coating station irradiated microwaves plasma is then generated in the interior of the coating station, which is formed by the plasma-initiated chemical reactions, a CVD layer on the located in the area of the plasma surfaces of the workpieces.

Insbesondere kann auch das Gas bei hohlkörperförmigen Werkstücken wie Kunststoffflaschen in das Innere des Hohlkörpers eingelassen werden. Dazu sind Aufnahmen 7 der Paletten so eingerichtet, dass sie mit dem darauf befestigten Werkstück einen abgeschlossenen Hohlraum schaffen, welcher teilweise von den Innenwandungen der hohlkörperförmigen Werkstücken begrenzt wird. In diesen Hohlraum wird dann das Prozessgas eingelassen. Werden die Mikrowellen eingestrahlt, so kommt es dann im Inneren der Werkstücke, beziehungsweise in den jeweils mit Aufnahme 7 und Werkstück gebildeten Hohlräumen zur Plasmabildung und Schichtabscheidung. Auf diese Weise kann eine Innenbeschichtung von hohlkörperförmigen Werkstücken vorgenommen werden. Wird das Prozessgas nur in die Hohlräume eingeleitet, so bildet sich außerhalb der Hohlräume kein Plasma aus, wenn der Druck durch das Evakuieren zu niedrig ist. Alternativ können mit der Einrichtung 19 auch nur die gebildeten Hohlräume evakuiert werden, so dass sich die übrigen Teile der Beschichtungsstation unter Normaldruck befinden. Aufgrund der hohen Gasdichte und der damit verbundenen kleinen freien Weglänge der Gasmoleküle kommt es auch in diesem Fall nicht zur Plasmabildung in diesen Teilen der Beschichtungsstation.In particular, the gas can be embedded in hollow body workpieces such as plastic bottles in the interior of the hollow body. These are shots 7 the pallets arranged so that they create a closed cavity with the workpiece mounted thereon, which is partially bounded by the inner walls of the hollow body-shaped workpieces. In this cavity, the process gas is then admitted. If the microwaves are irradiated, then it comes then inside the workpieces, or in each case with recording 7 and workpiece formed cavities for plasma formation and layer deposition. In this way, an inner coating of hollow body-shaped workpieces can be made. If the process gas is introduced only into the cavities, no plasma forms outside the cavities, if the pressure due to the evacuation is too low. Alternatively, with the device 19 also only the cavities formed are evacuated, so that the remaining parts of the coating station are under normal pressure. Due to the high gas density and the associated small free path of the gas molecules, it is not in this case to plasma formation in these parts of the coating station.

Weiterhin können bei hohlkörperförmigen Werkstücken auch verschiedene Prozessgase in die Hohlräume und die übrigen Bereiche in der Beschichtungsstation eingeleitet werden. Auf diese Weise können die Innen- und Außenwandungen der Werkstücke mit verschiedenenartigen Schichten versehen werden. Beispielsweise können Kunststoffflaschen zweckmäßig eine Innenbeschichtung mit einer Diffusionsbarriere und eine Außenbeschichtung mit einer UV-Schutzschicht erhalten.Farther can with hollow-body-shaped workpieces too different process gases into the cavities and the remaining areas be initiated in the coating station. In this way, the Interior and exterior walls the workpieces be provided with various layers. For example can Plastic bottles appropriate one Inner coating with a diffusion barrier and an outer coating obtained with a UV protective layer.

Nach abgeschlossenem Beschichtungsvorgang wird die Beschichtungsstation dann mit der Transporteinrichtung weiter zu einer Entladeposition 15 transportiert, wo mittels einer geeigneten Vorrichtung die Palette mit den beschichteten Werkstücken entnommen wird.After completion of the coating process, the coating station then continues with the transport device to an unloading position 15 transported, where the pallet with the coated workpieces is removed by means of a suitable device.

Während des gesamten Prozessablaufs kann sich die Transporteinrichtung kontinuierlich bewegen. Vorteilhaft ist aber, wenn die Transporteinrichtung während des Beschichtungsvorgangs anhält, so dass bei einer stationären Einrichtung 25 zur Erzeugung von Mikrowellen die Holleiter 23 nicht bewegt werden brauchen. Auch das Verbinden mit der Einrichtung 19 zum Evakuieren und das Abpumpen lassen sich bei ruhender Transporteinrichtung einfach bewerkstelligen.During the entire process, the transport device can move continuously. It is advantageous, however, if the transport device stops during the coating process, so that in a stationary device 25 for the production of microwaves the Holleiter 23 do not need to be moved. Also connecting to the device 19 for evacuation and pumping can be done easily at dormant transport device.

Im folgenden wird auf 2 Bezug genommen, in welcher schematisch eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 dargestellt ist.The following will be on 2 Reference is made, in which schematically another embodiment of the device according to the invention 1 is shown.

Diese Ausführungsform der Vorrichtung 1 für CVD-Beschichtungen umfasst acht Beschichtungsstationen 31–38. Die Halter in Form von Paletten 51–58 sind für die Aufnahme von jeweils acht Werkstücken geeignet. Im Gegensatz zu der anhand von 1 veranschaulichten Ausführungsform werden die Beschichtungsstationen 31–38 mit der Transporteinrichtung nacheinander mehreren Evakuierungspositionen und Beschichtungspositionen zugeführt. Der Blockpfeil gibt dabei den Drehsinn des Rundläufers an.This embodiment of the device 1 for CVD coatings includes eight coating stations 31 - 38 , The holders in the form of pallets 51 - 58 are suitable for holding eight workpieces each. In contrast to the basis of 1 illustrated embodiment, the coating stations 31 - 38 with the transport device successively fed to several evacuation positions and coating positions. The block arrow indicates the direction of rotation of the rotary.

In dem in 2 gezeigten Zustand befindet sich die Beschichtungsstation 32 in einer ersten Evakuierungsposition, die Beschichtungsstation 33 in einer zweiten und die Beschichtungsstation 34 in einer dritten Evakuierungsposition.In the in 2 the state shown is the coating station 32 in a first evacuation position, the coating station 33 in a second and the coating station 34 in a third evacuation position.

Die Einrichtung zum Evakuieren der Beschichtungsstationen umfasst dabei in dieser Ausführungsform der Erfindung für jede der Evakuierungspositionen Pumpvorrichtungen 191, 192 und 193, mit denen jeweils eine Beschichtungsstation verbunden wird, die sich in einer dieser Positionen befindet.The device for evacuating the coating stations in this embodiment of the invention comprises pumping devices for each of the evacuation positions 191 . 192 and 193 to which a coating station, which is located in one of these positions, is connected in each case.

Die Beschichtungsstationen werden so schrittweise auf bestimmte Vakuumdrücke evakuiert. Die Pumpvorrichtungen können dabei vorzugsweise für unterschiedliche Druckbereiche optimiert sein, um auch mit geringerer Pumpleistung ein effektives Evakuieren der Beschichtungsstationen zu erreichen.The Coating stations are gradually evacuated to specific vacuum pressures. The Pumping devices can preferably for be optimized to different pressure ranges, even with lesser Pumping an effective evacuation of the coating stations to reach.

Weiterhin unterscheidet sich die in 2 gezeigte Ausführungsform von der in 1 dargestellten Variante dahingehend, dass auch die CVD-Beschichtung an mehreren Positionen durchgeführt wird. Bei dem in 2 gezeigten Zustand der Vorrichtung befindet sich die Beschichtungsstation 35 in einer ersten, die Beschichtungsstation 36 in einer zweiten und die Beschichtungsstation 37 in einer dritten Beschichtungsposition. In jeder dieser Positionen werden die Beschichtungsstationen über Hohlleiter 23 mit einer Einrichtung 25 zur Erzeugung von Mikrowellen verbunden. Die über die Hohlleiter 23 in die Beschichtungsstationen geleiteten Mikrowellen erzeugen dann in den Bereichen, in denen sich das Prozessgas befindet, ein Plasma, woraufhin die im Plasma entstehenden Reaktionsprodukte auf den mit dem Plasma in Kontakt stehenden Flächen der Werkstücke abgeschieden werden. Wie die in 1 gezeigte Vorrichtung kann auch diese Variante dafür ausgelegt sein, eine Innenbeschichtung hohlkörperförmiger Werkstücke, wie beispielsweise Kunststoffflaschen zu bewirken. Es können auch verschiedene Prozessgase in den einzelnen Positionen zugeführt werden, so dass dort jeweils verschiedene Beschichtungen aufgebracht werden. Um einen Gasaustausch während der Beschichtung zu ermöglichen, sind die Beschichtungsstationen, die sich jeweils an den Beschichtungspositionen befinden, über Zuleitungen 17 an eine weitere Pumpvorrichtung 194 angeschlossen.Furthermore, the different in 2 shown embodiment of the in 1 shown variant in that the CVD coating is carried out at several positions. At the in 2 shown state of the Vor direction is the coating station 35 in a first, the coating station 36 in a second and the coating station 37 in a third coating position. In each of these positions the coating stations become waveguides 23 with a device 25 connected to the generation of microwaves. The over the waveguide 23 Microwaves conducted into the coating stations then generate a plasma in the areas in which the process gas is present, whereupon the reaction products formed in the plasma are deposited on the areas of the workpieces in contact with the plasma. Like the in 1 As shown, this variant can also be designed to produce an inner coating of hollow body-shaped workpieces, such as plastic bottles. It is also possible to supply different process gases in the individual positions, so that different coatings are applied there, respectively. To allow gas exchange during coating, the coating stations, each located at the coating positions, are via leads 17 to another pumping device 194 connected.

Das Zuführen und Herausnehmen der Paletten kann wie bei der in 1 gezeigten Ausführungsform durchgeführt werden. Bei der in 2 gezeigten Stellung der Vorrichtung 1 befindet sich die Beschichtungsstation 31 in der Zuführposition und die Beschichtungsstation 38 in der Entladeposition.The feeding and removing of the pallets can be done like in the 1 shown embodiment. At the in 2 shown position of the device 1 is the coating station 31 in the feed position and the coating station 38 in the unloading position.

Im folgenden wird auf 3 Bezug genommen, in welcher eine weitere Ausführungsform der Erfindung dargestellt ist. Diese Ausführungsform umfasst 16 Beschichtungsstationen 31-45, welche ähnlich zu den anhand der 1 und 2 dargestellten Ausführungsformen Halter in Form von Paletten 51–64 aufnehmen. Die Paletten 51–64 weisen Aufnahmen 7 für jeweils vier Werkstücke auf. Wie in der in 2 gezeigten Ausführungsform werden die Beschichtungsstationen mit drei Vakuumpumpstufen 191, 192, 193 evakuiert. Dabei sind zwei Evakuierungspositionen, bei denen sich in der dargestellten Stellung der Vorrichtung 1 die Beschichtungsstationen 35 und 36 befinden, der letzten Pumpstufe 193 zugeordnet. Damit sind die Beschichtungsstationen mit der letzten Pumpstufe jeweils doppelt so lange verbunden, wie mit den beiden anderen Pumpstufen. Dies ist vorteilhaft, da das Saugvermögen von Vakuumpumpen bei sinkendem Druck nachlässt.The following will be on 3 Reference is made, in which a further embodiment of the invention is shown. This embodiment comprises 16 coating stations 31 - 45 which are similar to those based on the 1 and 2 illustrated embodiments holder in the form of pallets 51 - 64 take up. The pallets 51 - 64 have shots 7 for every four workpieces. As in the 2 In the embodiment shown, the coating stations have three vacuum pump stages 191 . 192 . 193 evacuated. There are two evacuation positions, in which in the illustrated position of the device 1 the coating stations 35 and 36 located, the last pumping stage 193 assigned. Thus, the coating stations are connected to the last pump stage each twice as long as with the other two pumping stages. This is advantageous because the pumping speed of vacuum pumps decreases with decreasing pressure.

Die Beschichtung wird in zwei Stufen durchgeführt, wobei der ersten Stufe zwei Beschichtungspositionen und der zweiten Stufe vier Beschichtungspositionen zugeordnet sind. Dazu werden die Beschichtungsstationen wieder mit Hohlleitern 23 verbunden, die an Einrichtungen zur Erzeugung von Mikrowellen 251, beziehungsweise 252 angeschlossen sind. Die Hohlleiter können bei Wechsel der Beschichtungsposition neu verbunden oder auch mitgeführt werden, um eine Unterbrechung bei der CVD-Beschichtung zu vermeiden.The coating is carried out in two stages, the first stage being assigned two coating positions and the second stage four coating positions. For this purpose, the coating stations are again using waveguides 23 connected to facilities for generating microwaves 251 , respectively 252 are connected. The waveguides can be reconnected when changing the coating position or be carried along to avoid interruption in the CVD coating.

11: Vorrichtung für CVD-Beschichtungencontraption for CVD coatings
22: Transporteinrichtungtransport means
2121: Innenbereich der Transporteinrichtunginterior the transport device
31–4631-46: Beschichtungsstationencoating stations
51–6551-65: Palettenpallets
77: Aufnahmen für WerkstückeRecordings for workpieces
99: Zuführpositionfeeding
1111: Pumppositionpumping position
1313: Beschichtungspositioncoating position
1515: Entladepositionunloading
1717: Vakuumleitungvacuum line
1919: Einrichtung zum EvakuierenFacility to evacuate
191–194191-194: Pumpvorrichtungenpumping devices
2323: Hohlleiterwaveguide
25, 251, 25225 251, 252: Einrichtung zur Erzeugung von MikrowellenFacility for generating microwaves

Claims

Contraption ( 1 ) for CVD coatings, comprising - a transport device ( 2 ), - at least one coating station ( 3 . 31 - 46 ) for coating workpieces, wherein the at least one coating station ( 31 - 46 ) with the transport device ( 2 ), - at least one body ( 19 ) for evacuating the coating station and - a device for generating a plasma in at least a partial area of the coating station ( 3 . 31 - 46 ), wherein the at least one coating station ( 3 . 31 - 46 ) at least two workpieces are receivable, and wherein the means for generating a plasma in at least a portion of the coating station ( 3 . 31 - 46 ) a stationary device for generating electromagnetic waves ( 25 ), characterized by a device ( 23 ) to connect the institution ( 25 ) for generating electromagnetic waves with the at least one coating station ( 3 . 31 - 46 ).

Apparatus according to claim 1, characterized in that the transport device ( 2 ) the coating station ( 31 - 46 ) successively from at least one feed position ( 9 ) to at least one evacuation position ( 11 ), at least one coating position ( 13 ) and at least one unloading position ( 15 ).

Apparatus according to claim 1 or 2, gekenn characterized by at least four coating stations ( 31 - 34 ), which on the transport device ( 2 ) are arranged, that in each case one of the coating stations ( 31 - 34 ) in the at least one feed position ( 9 ), which has at least one evacuation position ( 11 ) and the at least one unloading position ( 15 ) when one of the coating stations ( 31 - 34 ) in the at least one coating position ( 13 ) is located.

Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that that the Means for generating a plasma means for generating a pulsed plasma.

Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the workpieces on at least one holder ( 51 - 65 ), which in the at least one coating station ( 3 . 31 - 46 ) is receivable.

Device according to one of claims 1 to 5, characterized that the workpieces arranged in the coating station on at least two levels are.

Device according to one of claims 1 to 6, characterized in that the transport device ( 2 ) comprises a rotary device.

Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the transport device ( 2 ) comprises a cross-country device.

Device according to one of the preceding claims, wherein the device for generating electromagnetic waves comprises a device ( 25 ) for generating microwaves.

Device according to one of claims 1 to 9, characterized in that the device ( 19 ) for evacuating at least two pumping devices ( 191 . 192 . 193 ).

Device according to one of the preceding claims, characterized by a device for sequentially connecting the at least one coating station ( 3 . 31 - 46 ) with the at least two pumping devices ( 191 . 192 . 193 ).

Device according to one of claims 1 to 11, characterized by a device for introducing process gases.

Device according to one of claims 1 to 12, characterized by fastening means for the at least two workpieces.

Apparatus according to claim 13, wherein the attachment means are receptacles ( 7 ) for hollow workpieces, in particular bottles ( 4 ).

Device according to claim 14, characterized in that the device ( 19 ) comprises for evacuating means for evacuating the cavity of the workpieces.

Apparatus according to claim 19 or 15, characterized by a device for introducing process gas into the cavity the workpieces.

Method for CVD coating of workpieces with a device for CVD coatings, in particular according to one of Claims 1 to 16, characterized by the steps: - introduction of at least two workpieces into a coating station ( 3 . 31 - 46 ), - evacuating the at least one coating station, - conveying the at least one coating station ( 31 - 46 ) with a transport device ( 2 ), - connecting a stationary device ( 25 ) for generating electromagnetic waves with the at least one coating station ( 31 - 46 ), - generating a plasma in at least a portion of the coating station ( 31 - 46 ), - aerating, and - carrying out workpieces.

A method according to claim 17, characterized in that the step of generating a plasma in at least a portion of the coating station ( 31 - 46 ) comprises the step of generating a pulsed plasma.

Method according to claim 17 or 18, characterized that the Step of generating a plasma in at least a portion of the Step of the common CVD coating comprises at least two workpieces.

Method according to one of claims 17 to 19, wherein the step of introducing at least two workpieces into the at least one coating station ( 31 - 46 ) the step of inserting a holder ( 51 - 65 ), on which the workpieces are arranged.

A method according to any one of claims 17 to 20, wherein the step of conveying the coating station ( 31 - 46 ) with a transport device ( 2 ) the steps of conveying from a feed position ( 9 ) to an evacuation position ( 11 ), a coating position ( 13 ) and an unloading position ( 15 ).

Method according to one of Claims 17 to 21, characterized in that the step of conveying the coating station ( 31 - 46 ) with a transport device ( 2 ) the step of Verlangsa The speed of transport during coating, in particular the step of stopping during the coating comprises.

Method according to one of Claims 17 to 22, characterized that the Step of generating a plasma, the step of generating electromagnetic Waves, in particular of generating microwaves includes.

Method according to one of claims 17 to 23, characterized in that the step of evacuating comprises the step of sequentially evacuating with at least two pump stages ( 191 . 192 . 193 ).

Method according to one of Claims 17 to 24, characterized that the step of evacuation is the step of evacuating the Cavity of hollow workpieces, especially of bottles.

Method according to one of claims 17 to 25, characterized in that the step of generating a plasma includes the step of introducing a Process gas includes.

The method of claim 26, wherein the step of Inleting a process gas, the step of introducing a process gas in the cavity hollow body-shaped workpieces comprises.