DE10308280A1

DE10308280A1 - Verbesserte Kalibrierung für einen Vektornetzwerkanalysator

Info

Publication number: DE10308280A1
Application number: DE10308280A
Authority: DE
Inventors: Thomas C Hill; Xiaofen Chen; Soraya J Matos; Leroy J Willmann; Kyle L Bernard; Linley F Gumm
Original assignee: Tektronix Inc
Current assignee: Tektronix Inc
Priority date: 2002-03-05
Filing date: 2003-02-26
Publication date: 2003-11-20
Also published as: US20030171886A1; JP4300253B2; US6701265B2; CN1442704A; CN100401090C; JP2003279609A

Abstract

Ein verbessertes Kalibrierungsverfahren für einen Vektornetzwerkanalysator speichert spärliche Kalibrierungsdaten, interpoliert Systemfehlerdaten aus den spärlichen Kalibrierungsdaten für jede Messung durch den Vektornetzwerkanalysator und erzeugt kalibrierte Meßdaten aus den Systemfehlerdaten und den unkorrigierten Meßdaten bei jeder Meßfrequenz. Die spärlichen Kalibrierungsdaten können durch Messen jedes N-ten Frequenzschritts über einen Kalibrierungsfrequenzbereich, der größer ist als ein festgelegter Meßfrequenzbereich, oder durch Messen jedes Frequenzschritts über den Kalibrierungsfrequenzbereich und Komprimieren der resultierenden Meßdaten erzeugt werden. Die Interpolation kann unter Verwendung eines Kurvenanpassungsalgorithmus, wie z. B. eines Parameter-Polynomkurven-Anpassungsalgorithmus, erreicht werden.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG

Die vorliegende Erfindung betrifft Vektornetzwerkanalysatoren und insbesondere ein verbessertes Kalibrierungsverfahren für einen Vektornetzwerkanalysator.
Um genaue Ergebnisse zu erhalten, kalibrieren die Benutzer von Vektornetzwerkanalysatoren die Instrumente durch Messen von drei bekannten Impedanzstandards, typischerweise einer kurzen, einer offenen und einer charakteristischen Impedanz-(Z₀)Last, für Messungen an einem Anschluß. Für Messungen an zwei Anschlüssen werden drei zusätzliche Messungen unter Verwendung von Nicht-Verbindung und Durchgangsverbindungen zwischen den Anschlüssen durchgeführt. Unter Verwendung der gemessenen Ergebnisse dieser Messungen werden die systematischen Fehler des Vektornetzwerkanalysators mathematisch korrigiert, was zu einer ausgezeichneten Meßgenauigkeit führt. Die Messungen bestehen aus vielen schrittweisen Messungen bei aufeinanderfolgenden Frequenzen, die "durchlaufen" zu werden scheinen, wenn ein Benutzer eine Vorrichtung unter Test (DUT) mißt. Jeder Meßpunkt weist "Kalibrierungs"-Daten auf, die während der Kalibrierungsroutine aufgenommen werden und die gespeichert werden und zur Korrektur dieses speziellen Meßpunkts verwendet werden.
Das Problem besteht darin, daß, obwohl der Vektornetzwerkanalysator ausgezeichnete Ergebnisse ergibt, die Kalibrierung bei jedem exakten Frequenzschritt, der bei der Messung verwendet wird, durchgeführt wird. Wenn beispielsweise ein Vektornetzwerkanalysator einen potentiellen Frequenzmeßbereich von 25 MHz bis 2500 MHz mit Frequenzschritten von 100 kHz aufweist, dann erfordert das Sammeln von Kalibrierungsdaten für jeden Frequenzschritt 3 × 24751 = 74253 Kalibrierungsmessungen ohne Durchführen von mehreren Messungen zur Rauschverringerung. Diese große Anzahl von Messungen erfordert eine ungeheure Menge an Zeit für Kalibrierungsprozeduren.
Somit wird die Kalibrierung statt dessen über einen festgelegten Meßbereich durchgeführt, wie z. B. 500,5 MHz bis 1011,5 MHz, der nur 3 × 5110 = 15330 Kalibrierungsmessungen erfordert. Jedesmal, wenn irgendein Frequenzparameter, wie z. B. Startfrequenz, Endfrequenz, Anzahl von Frequenzpunkten, Frequenzauflösung usw., von einem Benutzer verändert wird, muß der Vektornetzwerkanalysator jedoch neu kalibriert werden. Viele Benutzer benötigen keine Messungen mit extremer Genauigkeit und sie finden das erneute Kalibrieren des Vektornetzwerkanalysators jedesmal, wenn eine Frequenzvariable verändert wird, wenn auch nur geringfügig, sehr mühselig und zeitraubend. Daher hat der Benutzer die Wahl, entweder ganz ohne Kalibrierung zu arbeiten oder die Zeit und den Aufwand auf sich zu nehmen, um eine ausgezeichnete Kalibrierung zu haben.
Frühere Vektornetzwerkanalysatoren erfordern auch Niederphasenrausch- und Niederamplitudenrauschmessungen, insbesondere für die Kalibrierungsmessungen. Wenn irgendein signifikantes Rauschen vorliegt, wie es bei kostengünstiger Hardware im Vektornetzwerkanalysator der Fall sein könnte, dann werden viele Messungen durchgeführt und eine große Menge an Mittelwertbildung wird verwendet, um die Wirkung des Rauschens zu verringern, wobei ein weiterer Multiplikator zur Anzahl von Kalibrierungsmessungen, die durchgeführt werden müssen, hinzugefügt wird.
Was erforderlich ist, ist ein Vektornetzwerkanalysator, der Genauigkeit sowie leichte Bedienung bereitstellt, selbst wenn eine kostengünstige Hardware verwendet wird.

KURZE ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Folglich stellt die vorliegende Erfindung ein verbessertes Kalibrierungsverfahren für einen Vektornetzwerkanalysator bereit, der spärliche Kalibrierungsdaten über den Frequenzbereich des Vektornetzwerkanalysators oder zumindest einen größeren Bereich als einen festgelegten Meßfrequenzbereich erfaßt. Die spärlichen Kalibrierungsdaten können durch Messen von jedem N-ten Frequenzschritt des Vektornetzwerkanalysators oder durch Messen von jedem Frequenzschritt des Vektornetzwerkanalysators und Komprimieren der Ergebnisse erhalten werden. Dann wird für jede Meßfrequenz des Vektornetzwerkanalysators ein Korrekturwert aus den spärlichen Kalibrierungsdaten zweckmäßig interpoliert, um Kalibrierungsfehlerdaten vorzusehen. Die Kalibrierungsfehlerdaten werden dann verwendet, um die Meßdaten zu korrigieren, um ein genaues Ergebnis bereitzustellen.
Die Aufgaben, Vorteile und weitere neue Merkmale der vorliegenden Erfindung sind aus der folgenden ausführlichen Beschreibung ersichtlich, wenn sie in Verbindung mit den beigefügten Ansprüchen und der angehängten Zeichnung gelesen wird.

KURZBESCHREIBUNG DER VERSCHIEDENEN ANSICHTEN DER ZEICHNUNG

Fig. 1 ist eine einfache Blockdiagrammansicht eines Vektornetzwerkanalysators mit einer verbesserten Kalibrierung gemäß der vorliegenden Erfindung.
Fig. 2 ist eine Ablaufdiagrammansicht eines Meßprozesses unter Verwendung eines spärlichen Kalibrierungsdatensatzes gemäß der vorliegenden Erfindung.

AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG

Mit Bezug auf Fig. 1 ist ein Vektornetzwerkanalysator 10 in seiner einfachsten Form mit einer internen Signalquelle 12, einer Echodämpfungsbrücke 14, einem Empfänger 16 und einem Steuerprozessor 18 dargestellt. Eine Kalibrierungsimpedanz 20 wird selektiv an einen Testanschluß 22 der Echodämpfungsbrücke 14 während der Kalibrierung angelegt. Die Kalibrierungsimpedanz 20 umfaßt im allgemeinen eine offene, eine kurze und eine charakteristische Bezugsimpedanz. Für jede Bezugsimpedanz wird ein Satz von Kalibrierungsmessungen als Reaktion auf ein Vorwärtswegsignal von der internen Signalquelle 12 gespeichert, dessen Reflexion vom Testanschluß vom Empfänger 16 als Echodaten verarbeitet wird, um die Kalibrierungsmeßdaten in Form von komplexen (I, Q) Reflexionskoeffizienten zu erzeugen. Dann wird der Vektornetzwerkanalysator 10 mit einer Vorrichtung oder einem System unter Test für Messungen gekoppelt, um Reflexionskoeffizienten für eine solche Vorrichtung oder ein solches System zu erhalten. Die gemessenen Reflexionskoeffizienten werden durch die gespeicherten Kalibrierungsreflexionskoeffizienten für die entsprechenden Frequenzen korrigiert, wie es auf dem Fachgebiet gut bekannt ist, um korrigierte Meßreflexionskoeffizienten für die Vorrichtung oder das System unter Test zu erzeugen. (Siehe "Principles of Microwave Calibration" von G. A. Bryant, Peter Peregrinons Ltd im Namen der Institution of Electrical Engineers, Rev. Ed. 1993, Seiten 40-41).
Es ist während der Kalibrierung möglich, Echodaten - Amplitude und Phase - für jede von mehreren Bezugsimpedanzen, wie z. B. kurze, offene und charakteristische Impedanz, bei jedem Frequenzpunkt, auf den der Vektornetzwerkanalysator 10 abgestimmt werden kann, wie z. B. Schritte von 100 kHz über einen Bereich von 25 MHz bis 2500 MHz, aufzunehmen und aufzuzeichnen. Dies führt zu einer massiven Menge von im Vektornetzwerkanalysator 10 zu speichernden Kalibrierungsdaten, wie vorstehend angegeben, und erfordert große Mengen an Zeit, um die Daten zu sammeln. Der Vorteil des nachstehend offenbarten verbesserten Kalibrierungsverfahrens ist die Verwendung von spärlichen Kalibrierungsdaten über den gesamten abstimmbaren Bereich oder zumindest einen größeren Bereich als für einen speziellen Satz von Messungen des Vektornetzwerkanalysators 10 erwünscht, d. h. die Menge an erforderlichen gespeicherten Daten wird verringert und die Zeit, die zur Kalibrierung erforderlich ist, wird signifikant verringert, während dennoch ausgezeichnete Messergebnisse bereitgestellt werden. Dies kann durch entweder einfach Messen von weniger Frequenzpunkten während der Kalibrierung, wie z. B. jeden N-ten Frequenzschritt (Schritte von 5 MHz beispielsweise für 3 × 496 = 1488 Kalibrierungsdatenpunkte), oder durch Komprimieren der Kalibrierungsdaten von Messungen bei jedem der Vektornetzwerkanalysator-Frequenzpunkte unter Verwendung von gut bekannten Verfahren - was für sich langsamen ändernde Daten besonders wirksam ist - bewerkstelligt werden.
Interpolationsverfahren können dann verwendet werden, um aus den spärlichen Kalibrierungsdaten die detaillierten Kalibrierungsdaten wiederherzustellen, die erforderlich sind, um die Messergebnisse für irgendeinen gegebenen Meßfrequenzschritt zu korrigieren, wobei das verwendete Interpolationsverfahren mit dem Verfahren zum Erfassen der spärlichen Kalibrierungsdaten konsistent ist. Dies verringert die Menge an Kalibrierungsdaten, die gespeichert werden muß, und daher die Zeit, wenn eine "Kalibrierung" durchgeführt wird, erheblich. Bedeutender wird Zeit gespart, nicht nur aufgrund der verringerten Daten, sondern aufgrund der erheblich verringerten Abstimm- und Einschwingzeiten, da viel weniger Frequenzpunkte erforderlich sind. Eines von vielen solchen Interpolationsverfahren ist eine auf einem Polynommodell basierende Interpolation und eine Abschätzung der kleinsten Quadrate zum Wiederherstellen von genaueren Kalibrierungsdaten, wie nachstehend genauer beschrieben.
Kalibrierungen mit unterschiedlichem Genauigkeitsniveau können auch verwendet werden: Die "Werkkalibrierung", die ein halbpermanent gespeicherter Satz von Kalibrierungsdaten ist, der während der Herstellung des Vektornetzwerkanalysators erzeugt wird; und die "Benutzerkalibrierung", die entweder für jede Verwendung durchgeführt wird oder von einer kürzlich durchgeführten Kalibrierung am Einsatzort gespeichert wird. Jede Kalibrierung von Meßergebnissen kann interpolierte Daten verwenden, die aus spärlichen Kalibrierungsmessungen erzeugt werden. Die Werkkalibrierung stellt eine vernünftige Genauigkeit bereit, während die Benutzerkalibrierung eine gute bis ausgezeichnete Genauigkeit bereitstellt.
Wie in Fig. 2 gezeigt, umfaßt der Meßprozeß einen Meßfrequenz-Einstellschritt 24, in dem die Meßparameter festgelegt werden, wie z. B. Startfrequenz, Endfrequenz und Frequenzschritt. Diese Meßparameter werden in einen Interpolationsschritt 26 wie z. B. einem Kurvenanpassungsalgorithmus zusammen mit den spärlichen Kalibrierungsdaten eingegeben, die die gesamte Frequenzspanne des Instruments abdecken können und die zumindest den Frequenzbereich umfassen, der durch die Meßparameter festgelegt wird, um einen detaillierten Kalibrierungsdatensatz für den Meßfrequenzbereich zu erzeugen. Die Meßparameter werden auch in einen Meßschritt 28 eingegeben, in dem Messungen einer Vorrichtung oder eines Systems unter Test erhalten werden, um unkorrigierte Meßkoeffizienten zu erzeugen. Der detaillierte Kalibrierungsdatensatz aus dem Interpolationsschritt 26 wird in einen Systemfehlermodellschritt 30 eingegeben, wie auf dem Fachgebiet gut bekannt ist, um einen detaillierten Systemfehlersatz zu erzeugen. Der detaillierte Systemfehlersatz und die unkorrigierten Meßkoeffizienten werden in einen Korrekturprozessorschritt 32 eingegeben, wie auf dem Fachgebiet gut bekannt ist, um korrigierte Meßkoeffizienten bereitzustellen.
Alternativ kann der Interpolationsschritt 26' bis nach dem Systemmodellfehlerschritt 30' verlagert werden, in welchem Fall der Systemmodellfehlerschritt einen spärlichen Systemfehlersatz bereitstellt, auf den der Kurvenanpassungsalgorithmus angewendet wird, um den detaillierten Systemfehlersatz zur Eingabe in den Korrekturprozessorschritt 32 zu erhalten.
Für Messungen an zwei Anschlüssen, wie z. B. zwischen dem Testanschluß und dem Übertragungsanschluß, weist der spärliche Kalibrierungsdatensatz sechs Kalibrierungsmessergebnisse im Gegensatz zu drei Kalibrierungsmessergebnissen für die Messung an einem Anschluß auf.
Die Verwendung von interpolierten detaillierten Kalibrierungsdaten aus spärlichen Kalibrierungsdaten ermöglicht, daß eine beliebige Kalibrierung, die von einem Benutzer durchgeführt wird, automatisch erweitert wird, um einen größeren Frequenzbereich abzudecken als den unmittelbar benötigten, und den gesamten Bereich des Vektornetzwerkanalysators 10 umfassen kann, wie vorstehend angegeben. Wenn nach dieser Kalibrierung der Benutzer irgendeinen der Meßparameter ändert, benötigt der Vektornetzwerkanalysator 10 keine Neukalibrierung, so daß er in einem kalibrierten Zustand gehalten wird, wenn die Frequenzeinstellungen geändert werden. Dies versieht den Benutzer mit einem Vektornetzwerkanalysator 10, der eine Kalibrierung weitaus weniger häufig benötigt, wenn er am Einsatzort verwendet wird.
Wenn eine kostengünstige Meßhardware für den Vektornetzwerkanalysator 10 verwendet wird, erzeugt das nachstehend beschriebene Kurvenanpassungsverfahren für die Interpolation genaue Ergebnisse, selbst wenn signifikante zufällige Fehler aufgrund von rauschbehafteten Kalibrierungsmessungen vorliegen. Es wurde gezeigt, daß die resultierende Kalibrierung von zufälligen Fehlern so frei ist, als ob viele Messungen an jedem Frequenzpunkt durchgeführt und gemittelt worden wären. Diese Verbesserung wird immer noch erreicht, selbst wenn die "ungemittelten rauschbehafteten Kalibrierungs"-Daten, die verglichen werden, an allen möglichen Frequenzpunkten anstatt nur den spärlichen Frequenzpunkten aufgenommen werden und komprimiert werden, um die spärlichen Kalibrierungsdaten zu erhalten. Die resultierenden Messungen, die von einem Benutzer durchgeführt werden, enthalten immer noch das in den Messungen vorliegende Rauschen, aber die Ergebnisse werden durch rauschbehaftete Kalibrierungsdaten nicht weiter beeinträchtigt.
Ein Parameter-Polynomkurven-Anpassungsschema kann für die Interpolation von spärlichen Datenpunkten verwendet werden, wie vorstehend angegeben. Es wird angenommen, daß die Daten dem Polynommodel

P(x) = a₀ + a₁x + a₂x² + . . . + a_kx^k

folgen für N Beobachtungspunkte {P(x₁) P(x₂) . . . P(x_N)} = P

P = DA

wobei D der Satz von Datenpunkten {(1 x₁ . . . x₁ ^k) (1 x₂ . . . x₂ ^k) . . . (1 x_N . . . x_N ^k) ist und A der Satz von Koeffizienten {a₀ a₁ . . . a_k} ist. Typischerweise gilt k = 3 und N = (k + 1) + 2k. Die Lösung der kleinsten Quadrate des Polynommodells ist

A = (D'D)^-1D'P
Für gleichmäßig beabstandete Berechnungsdaten {x₁ x₂ . . . x_N), wobei x_m = m, gilt

D = {(1 1 . . . 1^k) (1 2 . . . 2^k) . . . (1 N . . . N^k)}
Daher kann R = (D'D)^-1D' vorberechnet werden und der Polynomvektor A ist einfach

A = RP
Der abgeleitete Polynomparametervektor A eignet sich am besten zum Berechnen von interpolierten Daten im Bereich [X_{1 + k} x_{1 + 2k}], wobei X_{1 + k} und X_{1 + 2k} Frequenzindizes der spärlichen Kalibrierungsdatenpunkte sind. Um der Datenänderung eng zu folgen, wird der Vektor A alle (k + 1) Interpolationseinheiten aktualisiert. Beliebige Daten bei der Frequenz y, wobei X_{1 + k} # y # x_{1 + 2k}, können berechnet werden als

x = (y - x₁)/U + 1, wobei U = x_{i + 1} - x_iP(x) = [1 x x² . . . x^k]A
Somit stellt die vorliegende Erfindung eine verbesserte Kalibrierung für einen Vektornetzwerkanalysator bereit durch Erfassen von spärlichen Kalibrierungsdaten über einen breiten Frequenzbereich, der vom Vektornetzwerkanalysator abgedeckt wird, durch Durchführen von Messungen über einen kleineren festgelegten Meßfrequenzbereich, durch Interpolieren von detaillierten Systemfehlerdaten aus den spärlichen Kalibrierungsdaten für jede Meßfrequenz und durch Korrigieren der Messungen mit den entsprechenden detaillierten Systemfehlerdaten.

Claims

1. Verbessertes Verfahren zum Kalibrieren eines Vektornetzwerkanalysators der Art, die Messungen über einen vom Benutzer festgelegten Meßfrequenzbereich, der kleiner ist als ein gesamter Frequenzbereich für den Vektornetzwerkanalysator, in diskreten Frequenzschritten durchführt und die Messungen unter Verwendung von Kalibrierungsdaten korrigiert, die aus Bezugsimpedanzen erzeugt werden, mit den folgenden Schritten:
Speichern von spärlichen Kalibrierungsdaten über einen Kalibrierungsfrequenzbereich des Vektornetzwerkanalysators als Kalibrierungsdaten, wobei der Kalibrierungsfrequenzbereich größer ist als der vom Benutzer festgelegte Meßfrequenzbereich;
für jede Messung durch den Vektornetzwerkanalysator Interpolieren von detaillierten Systemfehlerdaten aus den spärlichen Kalibrierungsdaten; und
Verwenden der detaillierten Systemfehlerdaten, um jede Messung zu korrigieren, um kalibrierte Messungen vorzusehen.

2. Verbessertes Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Speicherschritt den Schritt des Erfassens von Messungen, die aus den Bezugsimpedanzen erzeugt werden, bei jedem N-ten diskreten Frequenzschritt des Vektornetzwerkanalysators über den Kalibrierungsfrequenzbereich als spärliche Kalibrierungsdaten umfaßt.

3. Verbessertes Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Speicherschritt die folgenden Schritte umfaßt:
Erfassen von Kalibrierungsdaten für jeden diskreten Frequenzschritt des Vektornetzwerkanalysators innerhalb des Kalibrierungsfrequenzbereichs; und
Komprimieren der Kalibrierungsdaten, um die spärlichen Kalibrierungsdaten zu erzeugen.

4. Verbessertes Verfahren nach den Ansprüchen 1, 2 oder 3, wobei der Interpolationsschritt die folgenden Schritte umfaßt:
Anwenden eines Kurvenanpassungsalgorithmus auf die spärlichen Kalibrierungsdaten, um detaillierte Kalibrierungsdaten für jede Meßfrequenz zu erhalten; und
Erzeugen der detaillierten Systemfehlerdaten aus den detaillierten Kalibrierungsdaten.

5. Verbessertes Verfahren nach Anspruch 4, wobei der Kalibrierungsfrequenzbereich gleich dem gesamten Frequenzbereich ist.

6. Verbessertes Verfahren nach Anspruch 4, wobei der Kurvenanpassungsalgorithmus ein Parameter-Polynomkurven- Anpassungsalgorithmus ist.

7. Verbessertes Verfahren nach den Ansprüchen 1, 2 oder 3, wobei der Interpolationsschritt die folgenden Schritte umfaßt:
Erzeugen von spärlichen Systemfehlerdaten aus den spärlichen Kalibrierungsdaten; und
Anwenden eines Kurvenanpassungsalgorithmus auf die spärlichen Systemfehlerdaten, um die detaillierten Systemfehlerdaten zu erhalten.

8. Verbessertes Verfahren zum Kalibrieren eines Vektornetzwerkanalysators der Art, die Messungen über einen vom Benutzer festgelegten Meßfrequenzbereich, der kleiner ist als ein gesamter Frequenzbereich für den Vektornetzwerkanalysator, in diskreten Frequenzschritten durchführt und die Messungen unter Verwendung von Kalibrierungsdaten korrigiert, die aus Bezugsimpedanzen erzeugt werden, mit den folgenden Schritten:
Speichern eines anfänglichen Satzes von spärlichen Kalibrierungsdaten über den gesamten Frequenzbereich als Kalibrierungsdaten;
Speichern eines verfeinerten Satzes von spärlichen Kalibrierungsdaten über einen Kalibrierungsfrequenzbereich als Kalibrierungsdaten, wobei der Kalibrierungsfrequenzbereich größer ist als der vom Benutzer festgelegte Meßfrequenzbereich, aber kleiner als der gesamte Frequenzbereich;
für jede Messung durch den Vektoranalysator Interpolieren von detaillierten Systemfehlerdaten aus einem ausgewählten des anfänglichen Satzes von spärlichen Kalibrierungsdaten und des verfeinerten Satzes von spärlichen Kalibrierungsdaten; und
Verwenden der detaillierten Systemfehlerdaten, um jede Messung zu korrigieren, um kalibrierte Messungen bereitzustellen.

9. Verbessertes Verfahren nach Anspruch 8, wobei die Speicherschritte jeweils den Schritt des Erfassens von Messungen, die aus den Bezugsimpedanzen erzeugt werden, bei jedem N-ten diskreten Frequenzschritt des Vektornetzwerkanalysators über den gesamten Frequenzbereich für den anfänglichen Satz von spärlichen Kalibrierungsdaten und über den Kalibrierungsfrequenzbereich für den verfeinerten Satz von spärlichen Kalibrierungsdaten umfassen.

10. Verbessertes Verfahren nach Anspruch 8, wobei die Speicherschritte jeweils die folgenden Schritte umfassen:
Erfassen von Kalibrierungsdaten für jeden diskreten Frequenzschritt des Vektornetzwerkanalysators innerhalb des gesamten Frequenzbereichs für den anfänglichen Satz von spärlichen Kalibrierungsdaten und innerhalb des Kalibrierungsfrequenzbereichs für den verfeinerten Satz von spärlichen Kalibrierungsdaten; und
Komprimieren der Kalibrierungsdaten, um die spärlichen Kalibrierungsdaten zu erzeugen.

11. Verbessertes Verfahren nach den Ansprüchen 8, 9 oder 10, wobei der Interpolationsschritt die folgenden Schritte umfaßt:
Anwenden eines Kurvenanpassungsalgorithmus auf die ausgewählten der spärlichen Kalibrierungsdaten, um detaillierte Kalibrierungsdaten für jede Meßfrequenz zu erhalten; und
Erzeugen der detaillierten Systemfehlerdaten aus den detaillierten Kalibrierungsdaten.

12. Verbessertes Verfahren nach Anspruch 11, wobei der Kurvenanpassungsalgorithmus ein Parameter-Polynomkurven- Anpassungsalgorithmus ist.

13. Verbessertes Verfahren nach den Ansprüchen 8, 9 oder 10, wobei der Interpolationsschritt die folgenden Schritte umfaßt:
Erzeugen von spärlichen Systemfehlerdaten aus den ausgewählten der spärlichen Kalibrierungsdaten; und
Anwenden eines Kurvenanpassungsalgorithmus auf die spärlichen Systemfehlerdaten, um die detaillierten Systemfehlerdaten zu erhalten.