DE10314007A1 - Piston vacuum pump for pumping gas, has sensor that detects speed of switching supply of energizing current between electrical coils by magnet arrangement - Google Patents

Piston vacuum pump for pumping gas, has sensor that detects speed of switching supply of energizing current between electrical coils by magnet arrangement Download PDF

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Abstract

A magnet arrangement (25) supplies energizing current to either of the electrical coils (L1) to drive a piston. A sensor (30) detects the speed by which the magnet arrangement switches energizing current between the electrical coils. An independent claim is also included for a method for controlling the energizing currents of a piston vacuum pump.

Description

Die Erfindung betrifft eine Kolbenvakuumpumpe mit einem linear geführten Kolben und einer den Kolben antreibenden steuerbaren Magnetanordnung, die zwei mit umschaltbaren Erregerströmen beaufschlagte, den Kolben antreibende Arbeitsspulen aufweist.The invention relates to a piston vacuum pump with a linear guided Piston and a controllable magnet arrangement driving the piston, the two with switchable excitation currents, the piston has driving work coils.

Kolbenvakuumpumpen, von denen der Oberbegriff des Patentanspruchs 1 ausgeht, sind beispielsweise beschrieben in WO 00/63556 und DE 196 34 518 A1 . Derartige Vakuumpumpen haben eine Magnetanordnung mit zwei Arbeitsspulen, die abwechselnd und gegenphasig zueinander erregt werden. Die Arbeitsspulen wirken auf einen an dem Kolben vorgesehenen Permanentmagneten, wodurch der Kolben hin- und herbewegt wird. Dabei übt der Kolben an seinen Enden eine Pumpwirkung aus. Üblicherweise wird ein derartiger Kolben nicht mit seiner Resonanzfrequenz, d.h. als Schwingkolben, betrieben. Die Resonanzfrequenz des Kolbens hängt von verschiedenen Einflussparametern ab, wie beispielsweise der Reibung zwischen Kolben und Laufbahn, dem Ansaug- und Kompressionsdruck, der gepumpten Gasart, dem temperaturabhängigen Magnetisierungszustand, der Magnetanordnung und der Kolbenmasse.Piston vacuum pumps, from which the preamble of claim 1 is based, are described for example in WO 00/63556 and DE 196 34 518 A1 , Vacuum pumps of this type have a magnet arrangement with two work coils, which are excited alternately and in phase opposition to one another. The work coils act on a permanent magnet provided on the piston, as a result of which the piston is moved back and forth. The piston has a pumping action at its ends. Typically, such a piston is not operated at its resonance frequency, ie as an oscillating piston. The resonance frequency of the piston depends on various influencing parameters, such as the friction between the piston and the raceway, the suction and compression pressure, the type of gas pumped, the temperature-dependent magnetization state, the magnet arrangement and the piston mass.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Kolbenvakuumpumpe zu schaffen, die durch dynamische Frequenzanpassung die augenblickliche Resonanzfrequenz des Kolbens selber findet und die Leistungseinkopplung so dosiert, dass der Kolben unabhängig von den jeweiligen Betriebsparametern einen gleichmäßigen Hub hat.The invention has for its object a Piston vacuum pump to create by dynamic frequency adjustment finds the instantaneous resonance frequency of the piston itself and the power input metered so that the piston is independent of has an even stroke according to the respective operating parameters.

Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß mit den im Anspruch 1 angegebenen Merkmalen. Hiernach ist ein die Kolbengeschwindigkeit erfassender Sensor vorgesehen; aus dem Sensorsignal werden die Umschaltzeitpunkte für die Erregerströme der Magnetanordnung bestimmt. Erfindungsgemäß erfolgt die Umsteuerung des Kolbens der Kolbenvakuumpumpe stets dann, wenn der Kolben in die Nähe einer Endlage gelangt ist und die Kolbengeschwindigkeit unter einen vorgegebenen Wert abgesunken ist. Die Umsteuerung wird also nicht zeitabhängig oder entsprechend einer vorgegebenen Resonanzfrequenz durchgeführt, sondern in Abhängigkeit von der Kolbengeschwindigkeit. Damit erfolgt eine selbsttätige Anpassung der Taktung der Erregerströme an die jeweilige Kolbenbelastung und die sonstigen augenblicklich herrschenden Betriebsparameter. Die Umsteuerung des Kolbens erfolgt automatisch zeitgerecht. Damit wird ein Schwingkolbenbetrieb durchgeführt, bei dem sich automatisch die Resonanzfrequenz des Kolbens einstellt. Die erfindungsgemäße Kolbenvakuumpumpe hat einen verbesserten Wirkungsgrad und auch eine geringere Belas tung der mechanischen Komponenten, wodurch sich eine erhöhte Lebensdauer ergibt.This task is solved according to the invention with the features specified in claim 1. Hereafter is the piston speed detecting sensor provided; the switching times become from the sensor signal for the excitation currents determines the magnet arrangement. According to the reversal of the Piston of the piston vacuum pump whenever the piston is in the Close to one End position has reached and the piston speed below a predetermined Value has dropped. The reversal is therefore not time-dependent or performed according to a predetermined resonance frequency, but dependent on from the piston speed. This is an automatic adjustment the timing of the excitation currents to the respective piston load and the other instantaneously prevailing operating parameters. The piston is reversed automatically on time. So a swinging piston operation is carried out at which automatically adjusts the resonance frequency of the piston. The piston vacuum pump according to the invention has an improved efficiency and also a lower load of the mechanical components, which increases the lifespan results.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass aus dem Sensorsignal ein dem Kolbenhub entsprechendes Signal gewonnen wird, das zur Bemessung der Stromstärke der Erregerströme benutzt wird. Hierbei erfolgt eine Bemessung der Erregerströme in der Weise, dass der Kolbenhub auf einen vorbestimmten Sollwert geregelt wird. Diese Regelung ist abhängig von der Kolbenbelastung. Bei hoher Kolbenlast werden die Erregerströme erhöht. Auf diese Weise kann erreicht werden, dass die Arbeitshübe belastungsabhängig in der Weise erfolgen, dass stets die gewünschte Hublänge entsteht. Dadurch werden kurze Hübe mit geringer Energieausnutzung vermieden. Ebenfalls werden zu lange Hübe, bei denen der Kolben gegen Endanschläge prallt, vermieden.According to a preferred embodiment of the The invention provides that the piston stroke from the sensor signal corresponding signal is obtained, which is used to measure the current of the excitation currents is used. The excitation currents are measured in the Way that the piston stroke is regulated to a predetermined target value becomes. This regulation is dependent from the piston load. When the piston load is high, the excitation currents are increased. On in this way it can be achieved that the working strokes are dependent on the load in such a way that the desired stroke length is always created. This will short strokes avoided with low energy utilization. Also will be too long Strokes, at those of the pistons against end stops bounces, avoided.

Das dem Kolbenhub entsprechende Signal kann aus dem der Kolbengeschwindigkeit entsprechenden Signal durch Integration gewonnen werden. Damit wird der Mittelwert des Kolbenhubes auf einfache Weise bestimmt.The signal corresponding to the piston stroke can from the signal corresponding to the piston speed by integration be won. This makes the average piston stroke simple Determined way.

Die Regelschaltung der erfindungsgemäßen Kolbenvakuumpumpe kann in sehr einfacher Weise ausgeführt werden. Es wird nur ein einziger Sensor benötigt, der vorzugsweise auf dem Induktionsprinzip beruht. Die Sensorsignale werden verarbeitet, um daraus die Umsteuerzeitpunkte für den Kolben und die Höhe der Erregerströme zu bestimmen.The control circuit of the piston vacuum pump according to the invention can be done in a very simple way. It will only be one only sensor needed which is preferably based on the induction principle. The sensor signals are processed to derive the changeover times for the piston and the height the excitation currents to determine.

Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Steuerung der Erregerströme einer Kolbenvakuumpumpe mit den Merkmalen des Anspruchs 8.The invention further relates to a Process for controlling the excitation currents of a piston vacuum pump with the features of claim 8.

Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf die Zeichnungen ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung näher erläutert.The following is with reference on the drawings, a preferred embodiment of the invention explained in more detail.

Es zeigen:Show it:

1 eine schematische Schnittdarstellung der Kolbenvakuumpumpe, 1 1 shows a schematic sectional illustration of the piston vacuum pump,

2 den zeitlichen Verlauf der der Kolbengeschwindigkeit entsprechenden Spannung UV, 2 the time course of the voltage U V corresponding to the piston speed,

3 Impulsdiagramme der Erregerströme der beiden Arbeitsspulen, und 3 Pulse diagrams of the excitation currents of the two work coils, and

4 ein schematisches Blockschaltbild der Regelschaltung für die Erregerströme. 4 a schematic block diagram of the control circuit for the excitation currents.

Die in 1 dargestellte Kolbenvakuumpumpe weist ein Gehäuse 10 auf, in dem zwei koaxiale Zylinder 11,12 axial hintereinander ausgebildet sind. Ein Kolben 13, der Kolbenabschnitte 13a,13b unterschiedlichen Durchmessers hat, ist in den Zylindern 11,12 axial verschiebbar. Jeder Zylinder 11,12 weist an seinem Ende einen Einlassraum 14 bzw. 15 auf, der bei zurückgezogenem Kolben in Fluidverbindung mit einem Einlasskanal 16 bzw. 17 kommt, um Gas in den Einlassraum einzuleiten. Beim anschließenden Kolbenhub wird der Einlasskanal von dem Kolben abgesperrt und das in dem Einlassraum 14 bzw. 15 befindliche Gas wird durch ein Rückschlagventil 18,19 in einen Auslassraum 20,21 hineingedrückt. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist der Auslassraum 21 mit dem Einlasskanal 16 verbunden, so dass die beiden Kolbenabschnitte 13a und 13b hintereinander ge schaltete Verdichterstufen bilden. Die Pumpe hat einen Saugstutzen 22 und einen Auspuff 23.In the 1 Piston vacuum pump shown has a housing 10 on, in which two coaxial cylinders 11 . 12 are formed axially one behind the other. A piston 13 , the piston sections 13a . 13b has different diameters, is in the cylinders 11 . 12 axially displaceable. Every cylinder 11 . 12 has an inlet space at its end 14 respectively. 15 on, with the piston retracted in fluid communication with an inlet channel 16 respectively. 17 Comes around Introduce gas into the inlet space. During the subsequent piston stroke, the inlet channel is shut off by the piston and that in the inlet space 14 respectively. 15 located gas is through a check valve 18 . 19 into an outlet room 20 . 21 pushed. In the present embodiment, the outlet space 21 with the inlet duct 16 connected so that the two piston sections 13a and 13b form compressor stages connected in series. The pump has a suction port 22 and an exhaust 23 ,

Für den Antrieb des Kolbens 13 ist eine Magnetanordnung 25 vorgesehen, die zwei koaxiale und axial gegeneinander versetzte Arbeitsspulen L1 und L2 aufweist. Die Arbeitsspulen umgeben den Kolben 13. Jede Arbeitsspule ist von einem magnetischen Joch 26 umgeben, das einen Luftspalt bildet. An den inneren Schenkel des Jochs 26 schließt sich ein ringförmiger Permanentmagnet 27 an. Die Magnetisierungsrichtung ist achsparallel zum Kolben. Zwischen den Permanentmagneten 27 befindet sich ein Freiraum 28, in dem ein Permanentmagnet 29 bewegbar ist, der mit dem Kolben 13 verbunden ist und radial vom Kolben absteht. Der Permanentmagnet 29 ragt zwischen die Permanentmagnete 27 und wird normalerweise von beiden abgestoßen, so dass er die Mittellage einnimmt.For driving the piston 13 is a magnet arrangement 25 provided that has two coaxial and axially offset work coils L1 and L2. The work coils surround the piston 13 , Each work coil is of a magnetic yoke 26 surrounded, which forms an air gap. On the inner leg of the yoke 26 an annular permanent magnet closes 27 on. The direction of magnetization is axially parallel to the piston. Between the permanent magnets 27 there is a free space 28 in which a permanent magnet 29 is movable with the piston 13 is connected and protrudes radially from the piston. The permanent magnet 29 protrudes between the permanent magnets 27 and is usually repelled by both so that it takes up the middle position.

Die Arbeitsspulen L1 und L2 werden von gegenphasig gepulsten Erregerströmen erregt. Dadurch wird beispielsweise das Magnetfeld des linken Permanentmagneten 27 durch die Erregerspule L1 verstärkt und das Magnetfeld des rechten Permanentmagneten 27 wird durch die Erregerspule L2 geschwächt. Der Kolben 13 bewegt sich dann gemäß 1 nach rechts. Anschließend werden die Erregerspulen L1 und L2 umgepolt, so dass der Kolben sich nach links bewegt.The work coils L1 and L2 are excited by excitation currents pulsed in opposite phases. As a result, for example, the magnetic field of the left permanent magnet 27 amplified by the excitation coil L1 and the magnetic field of the right permanent magnet 27 is weakened by the excitation coil L2. The piston 13 then moves according to 1 to the right. The excitation coils L1 and L2 are then reversed so that the piston moves to the left.

In der Mitte zwischen den Erregerspulen L1 und L2 befindet sich ein Sensor 30 in Form einer Sensorspule, die in einem Spalt zwischen den beiden gegeneinander stoßenden Jochen 26 angeordnet ist. Der Sensor 30 umgibt den Freiraum 28 koaxial. Er ist dem Magnetfeld des Permanentmagneten 29 ausgesetzt. In dem Sensor 30 wird eine Spannung erzeugt, die der Geschwindigkeit des Magneten 29 proportional ist. Daher liefert der Sensor 30 ein geschwindigkeitsabhängiges Sensorsignal.A sensor is located in the middle between the excitation coils L1 and L2 30 in the form of a sensor coil, which is in a gap between the two yokes butting against each other 26 is arranged. The sensor 30 surrounds the free space 28 coaxial. It is the magnetic field of the permanent magnet 29 exposed. In the sensor 30 a voltage is generated that corresponds to the speed of the magnet 29 is proportional. Therefore the sensor delivers 30 a speed-dependent sensor signal.

In 2 ist das Sensorsignal UV über der Zeit t dargestellt. Dabei werden annähernd gleiche Signaleverläufe während des Vorhubes HV und des Rückhubes HR des Kolbens erzeugt. Die Mittellage des Kolbens ist jeweils mit M bezeichnet. Der Vorhub HV und der Rückhub HR ergeben zusammen eine volle Periode der Kolbenschwingung. In der Mittellage M des Kolbens ergibt sich jeweils zwischen zwei Maximalwerten ein Nulldurchgang. Die Spannung UV des Sensors ist generell proportional zur Kolbengeschwindigkeit, jedoch mit Ausnahme der Bereiche in der Nähe der Mittellage M.In 2 the sensor signal U V is shown over time t. Almost the same waveforms are generated during the forward stroke H V and the return stroke H R of the piston. The center position of the piston is designated by M. The forward stroke H V and the return stroke H R together result in a full period of piston oscillation. In the middle position M of the piston there is a zero crossing between two maximum values. The voltage U V of the sensor is generally proportional to the piston speed, but with the exception of the areas near the center position M.

An den Endpunkten E der Kolbenbewegung erfolgt die Umsteuerung der Erregerspulen schon vor dem Erreichen der Endlage. Daher ergibt sich dort eine kurze linear erscheinende Flanke.At the end points E of the piston movement the reversal of the excitation coils before the end position is reached. Therefore there is a short linear edge.

3 zeigt den zeitlichen Verlauf der Erregerströme I in den beiden Arbeitsspulen L1 und L2. Die Erregerströme sind gegenphasig zueinander. Sie bestehen aus Rechteckimpulsen. 3 shows the time course of the excitation currents I in the two work coils L1 and L2. The excitation currents are in phase opposition to one another. They consist of rectangular pulses.

4 zeigt ein Blockschaltbild der Regelschaltung für die Magnetanordnung 25. 4 shows a block diagram of the control circuit for the magnet arrangement 25 ,

Das Signal des Sensors 30 wird einem Wandler 40 zugeführt, der ein der Kolbengeschwindigkeit v entsprechendes Spannungssignal UV liefert. Der Spannungsverlauf am Ausgang des Filters 41 entspricht 2.The signal from the sensor 30 becomes a converter 40 supplied, which delivers a voltage signal U V corresponding to the piston speed v. The voltage curve at the output of the filter 41 corresponds to 2 ,

Die vom Filter 41 gelieferte Spannung UV wird einem Vergleicher 42 zugeführt und mit einem Umschalt-Sollwert US verglichen. Der Umschalt-Sollwert kann Null sein oder ein relativ kleiner Span nungswert, der die vorzeitige Umschaltung vor Erreichen der Endstellung des Kolbens angibt. Der Vergleicher 42 liefert bei Gleichheit seiner Eingangssignale ein Ausgangssignal, welches einem Zweipunktregler 43 zugeführt wird. Der Zweipunktregler 43 liefert die Umsteuersignale für die Erregerströme der Arbeitsspulen L1 und L2 an eine Stromerzeugerschaltung 44. Die Funktion f (t) stellt die Zeitfunktion der Umschaltung dar.The one from the filter 41 delivered voltage U V becomes a comparator 42 supplied and compared with a switching setpoint U S. The changeover setpoint can be zero or a relatively small voltage value, which indicates the early changeover before the piston reaches the end position. The comparator 42 provides an output signal which is equal to a two-point controller if its input signals are identical 43 is fed. The two-point controller 43 delivers the changeover signals for the excitation currents of the work coils L1 and L2 to a current generator circuit 44 , The function f (t) represents the time function of the switchover.

Die Amplitude der Erregerströme I wird einem anderen Eingang der Stromerzeugerschaltung 44 zugeführt. Zur Bildung der Amplitudensignale wird das Ausgangssignal des Filters 41 einem Integrator 45 zugeführt, der aus dem geschwindigkeitsabhängigen Signal durch Integration einen Mittelwert des Kolbenhubes KH bildet. Dieser Mittelwert des Kolbenhubes wird mit einem Sollwert KHS des Kolbenhubes verglichen. Die Signale KH und KHS werden einem Vergleicher 46 zugeführt, der ein Differenzsignal erzeugt. Dieses Differenzsignal wird in ein Amplitudensignal des Erregerstromes I in einem Wandler 47 umgewandelt. Die Stromerzeugungsschaltung 44 erzeugt aus der Frequenz f und dem Amplitudensignal die Erregerströme I (t) der Arbeitsspulen.The amplitude of the excitation currents I becomes another input of the current generator circuit 44 fed. The output signal of the filter is used to form the amplitude signals 41 an integrator 45 supplied from the speed-dependent signal by integration a mean value of the piston stroke KH forms. This mean value of the piston stroke is compared with a target value KH S of the piston stroke. The signals KH and KH S become a comparator 46 supplied, which generates a difference signal. This difference signal is converted into an amplitude signal of the excitation current I in a converter 47 converted. The power generation circuit 44 generates the excitation currents I (t) of the work coils from the frequency f and the amplitude signal.

Während das vorstehend beschriebene Ausführungsbeispiel eine Schaltung aus diskreten Bauteilen aufweist, kann zur Verarbeitung der Sensorsignale auch ein Computer benutzt werden, der die betreffenden Funktionen mit entsprechender Software ausführt. Die Verarbeitung der Sensorsignale und die Regelung für I (t) können auch digital über einen Mikrocontroller und eine entsprechende Software erfolgen.While the embodiment described above has a circuit of discrete components, can be used for processing the sensor signals can also be used on a computer that the concerned Functions with appropriate software. The processing of the sensor signals and the scheme for I (t) can also digitally via a microcontroller and appropriate software.

Claims (9)

Kolbenvakuumpumpe mit einem linear geführten Kolben (13) und einer den Kolben antreibenden steuerbaren Magnetanordnung (25), die zwei mit umschaltbaren Erregerströmen beaufschlagte den Kolben antreibende Arbeitsspulen (L1,L2) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass ein die Kolbengeschwindigkeit (v) erfassender Sensor (30) vorgesehen ist und dass aus dem Sensorsignal die Umschaltzeitpunkte für die Erregerströme der Magnetanordnung (25) bestimmt werden.Piston vacuum pump with a linearly guided piston ( 13 ) and a controllable magnet arrangement driving the piston ( 25 ), which has two working coils (L1, L2) which act on the piston with switchable excitation currents, characterized in that a piston piston speed (v) sensor ( 30 ) is provided and that the switching times for the excitation currents of the magnet arrangement ( 25 ) can be determined. Kolbenvakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass aus dem Sensorsignal ein dem Kolbenhub entsprechendes Signal (KH) gewonnen wird, das zur Bemessung der Stromstärke (I) der Erregerströme benutzt wird.Piston vacuum pump according to claim 1, characterized in that from the sensor signal a signal corresponding to the piston stroke ( KH ) is obtained, which is used to measure the current strength (I) of the excitation currents. Kolbenvakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensor (30) zwischen den Arbeitsspulen (L1,L2) angeordnet ist und auf einen mit den Arbeitsspulen magnetisch gekoppelten Permanentmagneten (29) des Kolbens (13) reagiert.Piston vacuum pump according to claim 1 or 2, characterized in that the sensor ( 30 ) is arranged between the work coils (L1, L2) and on a permanent magnet magnetically coupled to the work coils ( 29 ) of the piston ( 13 ) reacts. Kolbenvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1–3, dadurch gekennzeichnet, dass ein Vergleicher (42) vorgesehen ist, der ein der Kolbengeschwindigkeit entsprechendes Signal (UV) mit einem voreingestellten Sollwert (US) vergleicht und bei Erreichen des Sollwertes den Umschaltzeitpunkt bestimmt.Piston vacuum pump according to one of claims 1-3, characterized in that a comparator ( 42 ) is provided, which compares a signal (U V ) corresponding to the piston speed with a preset target value (U S ) and determines the switching time when the target value is reached. Kolbenvakuumpumpe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass aus einem der Kolbengeschwindigkeit entsprechenden Signal (UV) durch Integration das dem Kolbenhub entsprechende Signal (KH) gewonnen wird.Piston vacuum pump according to claim 2, characterized in that from a signal corresponding to the piston speed (U V ) by integration, the signal corresponding to the piston stroke ( KH ) is won. Kolbenvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1–5, dadurch gekennzeichnet, dass ein Vergleicher (46) vorgesehen ist, der ein dem Kolbenhub entsprechendes Signal (KH) mit einem einem Soll-Kolbenhub entsprechenden Signal (KHS) vergleicht und die Differenz an einen Umsetzer (47) zur Bemessung der Erregerströme (I) liefert.Piston vacuum pump according to one of claims 1-5, characterized in that a comparator ( 46 ) is provided, which has a signal corresponding to the piston stroke ( KH ) with a signal (KH S ) corresponding to a target piston stroke and the difference to a converter ( 47 ) for dimensioning the excitation currents (I). Kolbenvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1–6, dadurch gekennzeichnet, dass der Kolben (13) ein Doppelkolben ist, der mit jedem seiner Enden einen Einlassraum (14,15) begrenzt.Piston vacuum pump according to one of claims 1-6, characterized in that the piston ( 13 ) is a double piston with an inlet space at each end ( 14 . 15 ) limited. Verfahren zur Steuerung der Erregerströme einer Kolbenvakuumpumpe, bei welchem ein der Kolbengeschwindigkeit entsprechendes Signal (UV) erzeugt und daraus in der Nähe der Nulldurchgänge die Umschaltzeitpunkte der Erregerströme bestimmt werden.Method for controlling the excitation currents of a piston vacuum pump, in which a signal (U V ) corresponding to the piston speed is generated and from this the switching times of the excitation currents are determined in the vicinity of the zero crossings. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass aus dem der Kolbengeschwindigkeit entsprechenden Signal (UV) durch Integration ein dem Kolbenhub entsprechendes Signal (KH) gewonnen und zur Berechnung der Stromstärke (I) der Erregerströme benutzt wird.A method according to claim 8, characterized in that from the signal corresponding to the piston speed (U V ) by integration a signal corresponding to the piston stroke ( KH ) obtained and used to calculate the current strength (I) of the excitation currents.
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