DE10320381B4 - Platinentestvorrichtung mit schrägstehend angetriebenen Kontaktiernadeln - Google Patents

Platinentestvorrichtung mit schrägstehend angetriebenen Kontaktiernadeln Download PDF

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Abstract

Platinentestvorrichtung (1) mit einer Einrichtung (4) zur Halterung einer bestückten oder unbestückten Platine (5) an ihrem Rand und mit wenigstens einer an eine elektrische Meßeinrichtung (17) angeschlossenen Nadel (15) zur elektrischen Kontaktierung von Kontaktflächen (21) auf der Platine (5) wobei ein Nadelantrieb (13) von wenigstens einem Halterungsantrieb (8) in einer parallel zur Platine (5) liegenden Stellebene (7) verstellbar ist und die Nadel (15) schräg zur Stellebene (7) stehend von dem Nadelantrireb (13) in Nadelrichtung verstellbar ist, wobei die Antriebe (8, 13) von einer Antriebsteuerung (10) zur räumlichen Positionie rung der Nadelspitze (18) auf eine vorgegebene Raumkoordinate steuerbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß eine Abstandmeßeinrichtung (25, 13') vorgesehen ist, die zur Messung des Abstandes zwischen der Stellebene (7) und der Platine (5, 5') an wenigstens einem Punkt und zur Abgabe von Meßwerten an die Antriebssteuerung (10) ausgebildet ist, wobei die Antriebssteuerung (10) dazu ausgebildet ist, vor dem elektrischen Kontaktiervorgang Raumkoordinaten der Kontaktflächen...

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art.
  • Solche Platinentesteinrichtungen dienen dazu, bestückte oder unbestückte Platinen mit Nadeln auf Kontaktflächen zu kontaktieren. Die Nadeln sind an eine elektrische Meßvorrichtung angeschlossen, die zwischen kontaktierten Flächen der Platine elektrische Messungen vornehmen kann, wie z. B. Widerstandsmessungen, Kapazitätsmessungen, Induktionsmessungen und dergleichen. Damit können auf unbestückten Platinen die Leiterbahnen auf Durchgang geprüft werden und bei bestückten Platinen können die bestückten Komponenten auf korrekte Verlötung, Funktion und dergleichen geprüft werden. Für die Produktionskontrolle elektronischer Geräte sind Platinentestvorrichtungen unverzichtbar.
  • Die Nadeln sind über der Platine parallel zu dieser verfahrbar, damit beliebige Kontaktflächen zur Kontaktierung angefahren werden können. Es können beliebig viele Nadeln gleichzeitig verwendet werden. Als zu kontaktierende Kontaktflächen können Flächen auf den Leiterbahnen oder auf den Komponenten verwendet werden, z. B. auf den Anschlußbeinen von IC's.
  • Bei gattungsgemäßen Platinentestvorrichtungen, wie sie in der DE 19503329 C2 oder US 5850146 A beschrieben sind, sind die Nadeln in Schrägstellung angeordnet, was den Vorteil bietet, nicht nur von oben auf die Platine, beispielsweise auf eine Leiterbahn kontaktieren zu können, sondern auch seitlich, z. B. gegen eine sehnig oder lotrecht zur Platine stehende Fläche, z. B. eine Fläche auf einem Bein eines IC's.
  • Bei der heutigen, immer weiter steigenden Integrationsdichte von Komponenten auf Platinen werden die zur Verfügung stehenden Kontaktflächen immer kleiner. Es ist eine hoch genaue Positionierung einer Nadel erforderlich, um diese sehr kleinen Flächen von z. B. unter 1 mm2 präzise treffen zu können.
  • Die anzufahrenden Kontaktflächen werden aus dem Platinenlayout berechnet und der Antriebssteuerung vorgegeben, die mit diesen Koordinaten, also mit X, Y-Koordinaten in der Ebene der Platine, die Flächen ansteuern kann. Sollen Flächen auf Komponenten angesteuert werden, also Flächen, die oberhalb der Fläche der Platine liegen, so kommt die Z-Koordinate hinzu, so daß die Flächen also als dreidimensionale Raumkoordinaten anzusteuern sind.
  • Wird bei Platinentestvorrichtungen anderer Art mit lotrecht zur Platine stehenden Nadeln gearbeitet, so reicht eine reine X, Y-Steuerung aus. Die Nadeln fahren stets in Z-Richtung vor und können ohne gezielte Ansteuerung eines Raum punktes so lange vorfahren bis sie Kontakt finden. Bei der gattungsgemäßen Konstruktion mit schrägstehenden Nadeln muß jedoch stets die Raumkoordinate der Kontaktfläche berechnet werden, um unter Berücksichtigung der X, Y-Stellung des Nadelantriebes und der schrägen Vorschubrichtung der Nadel die Kontaktfläche treffen zu können.
  • Hierbei ergibt sich jedoch ein im Stand der Technik bisher ungelöstes Problem. Die zuvor beschriebene Ansteuerung der Kontaktflächen mit Ermittlung von deren Raumkoordinaten aus dem Platinenlayout funktioniert nur so lange, wie die Platine ideal eben ist. Das ist jedoch nicht immer der Fall. Platinen können verbogen oder gewellt sein. Solche Verbiegungen können sich durch herstellungsbedingte oder thermisch bedingte Spannungen ergeben. Platinen können sogar unregelmäßig gewellt sein. Da die Platinen nur am Rand gehalten werden können, um den gesamten Flächenbereich zur Kontaktierung freizulassen, können Verbiegungen in der Platinentestvorrichtung nicht korrigiert werden. Insbesondere ergeben sich Verbiegungen der Platine bei deren üblicher waagerechter Halterung an gegenüberliegenden Rändern. Die Platine hängt dann je nach Materialsteifigkeit und Belastung durch. Diese Belastung kann bei Bestückung mit sehr schweren Komponenten ganz erheblich sein. Es muß stets mit Abweichungen der Platine von der ideal ebenen Form von einigen Millimetern gerechnet werden.
  • Bei bekannten gattungsgemäßen Platinentestvorrichtungen muß zum Ausgleich von Verbiegungen der Platine ein mittlerer Z-Wert der Verbiegung zugerechnet werden. Da eine Platine aber gebogen durchhängt, ändert sich die Z-Abweichung über die Fläche der Platine. Insbesondere ist dies auch bei gewellten Platinen der Fall. Hohe Kontaktiergenauigkeiten lassen sich also nicht erreichen.
  • Fährt bei bekannten Platinentestvorrichtungen die Nadel schräg auf die errech nete Raumkoordinate einer Kontaktfläche zu und liegt diese zu tief, so fährt die Nadel über die Kontaktfläche weg ins Leere. Es ergibt sich eine Fehlkontaktierung, die den Testablauf erheblich stört oder unmöglich macht. Je flacher der Schrägwinkel der Nadel ist um so störender wird dieser Effekt.
  • Aus der WO 02/08774 A1 ist eine nicht gattungsgemäße Konstruktion bekannt, bei der eine schrägstehende Sonde mit einen Höhenantrieb in Kontakt mit einem Kontaktpunkt auf eine Oberfläche gebracht wird. Zur Steuerung der Fahrgeschwindigkeit wird laufend der Höhenabstand zwischen der Sondenspitze und dem Kontaktpunkt gemessen und zwar mittels einer aufwendigen Bildauswertung, bei der die Bilder der Sondenspitze bzw. des Kontaktpunktes oder der Schatten der Sondenspitze auf der zu kontaktierenden Fläche gemessen werden. Es handelt sich dabei um eine relative Abstandsmessung.
  • Aus der US 5812409 A ist die nicht gattungsgemäße Konstruktion einer Entnahmeeinrichtung bekannt, die mit konstantem Hub aus einem Tablett Gegenstände entnimmt. Liegt das Tablett auf seinem Tisch schräg, so wird die Schräglage mit Lichtschranken gemessen und die Tischhöhe verstellt, um eine korrekte Entnahme zu ermöglichen.
  • Die JP 02130477 A zeigt eine nicht gattungsgemäße Platinentestvorrichtung, bei der eine schrägstehende Nadel nach XY-Positionierung über einer zu kontaktierenden Kontaktfläche von einem Z-Antrieb bis zur Kontaktierung abwärts gefahren wird. Nach Erkennen des Kontaktzeitpunktes wird der Z-Antrieb noch eine geringe Zusatzstrecke abwärts gefahren, um die Nadel mit vorgegebener Spannung anzupressen. Aus dem Vorschub in Z-Richtung bis zur Kontaktnahme läßt sich die Höhenlage der Kontaktfläche bestimmen. Die ermittelte Höhenlage wird bei dieser Konstruktion für den Kontaktiervorgang jedoch nicht benötigt, da die Nadel im Kontaktiervorgang nur in Z-Vorrichtung bewegt wird. Die Kenntnis aller drei Koordinaten der Kontaktfläche vor Beginn des Kontaktiervorganges ist nicht erforderlich, da die Nadel nicht in Schrägrichtung bewegt wird. Die Vorteile des schrägen Nadelantriebes sind hier nicht gegeben.
  • Diese bekannten Konstruktionen lassen sich für die vorbeschriebene Problematik des gattungsgemäßen Standes der Technik nicht verwenden.
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine gattungsgemäße Platinentestvorrichtung mit von Verbiegungen der Platinen unabhängiger Kontaktiergenauigkeit auszubilden.
  • Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen des Gegenstands des Anspruchs 1 gelöst.
  • Die Unteransprüche geben besondere Ausführungsarten der Erfindung an.
  • Erfindungsgemäß wird vor dem Kontaktiervorgang der Abstand der Platine zur Stellebene gemessen. Hängt die Platine durch, so wird dies ermittelt und die anzufahrende Raumkoordinate der Kontaktfläche entsprechend korrigiert. Damit lassen sich auch sehr kleine Kontaktflächen genau treffen. Da die Durchhängetiefe der Platine gemessen wird, wird die Treffgenauigkeit unabhängig von eventueller Verbiegung der Platine.
  • Es können beliebige Abstandsmessvorrichtungen verwendet werden, z. B. mechanische Fühleinrichtungen, optische oder akustische Abstandsmeßeinrichtungen. Z. B. können die auf diesem Gebiet üblichen Lasertriangulationsmeßeinrichtungen verwendet werden. Vorzugsweise sind jedoch die Merkmale des Anspruchs 2 vorgesehen. Auf diese Weise können die Nadelantriebe nach Umsteuerung auf lotrechte Stellung der Nadel als Abstandsmeßeinrichtung verwendet werden. Aus dem Fahrweg der Nadel aus einer bekannten Nullstellung heraus bis zur Kontaktierung, die über die Meßeinrichtung ermittelbar ist, läßt sich die Höhenlage der Platine ermitteln. Eine gesonderte Abstandsmeßeinrichtung kann hierbei entfallen, so daß die Konstruktion vereinfacht wird.
  • Vorteilhaft sind die Merkmale des Anspruchs 3 vorgesehen. Dabei reicht eine einzige Messung, vorzugsweise in der Platinenmitte. Aus der bekannten Biegekurve läßt sich dann für alle Punkte, also alle zu kontaktierenden Kontaktflächen die exakte Höhenlage errechnen.
  • Alternativ kann gemäß Anspruch 4 an mehrere Punkten der Platine der Abstand gemessen werden und daraus durch Interpolation das Abstandsprofil der Platine für alle Punkte ermittelt werden. Hiermit können auch unregelmäßig verbogene (gewellte) Platinen genau vermessen werden.
  • Die Abstandsmessung der Platine muß vor der Kontaktierung erfolgen, da der Abstands-Meßwert Voraussetzung für genaue Kontaktierung ist. Vorzugsweise sind dabei die Merkmale des Anspruchs 5 vorgesehen. Vor Beginn der elektrischen Messung wird die Abstandsbestimmung durchgeführt und daraus die Biegeform der Platine ermittelt. Mit diesem Ergebnis können nachfolgend alle elektrischen Messungen, also alle Kontaktierungen von Kontaktflächen korrekt durchgeführt werden.
  • Vorteilhaft sind die Merkmale des Anspruchs 6 vorgesehen. Wenn während der elektrischen Messung Abstandsmessungen vorgenommen werden, so können auch Änderungen der Durchbiegung einer Platine während der Messung berücksichtigt werden.
  • In der Zeichnung ist in einer einzigen 1 die Erfindung beispielsweise und schematisch in Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Platinentestvorrichtung dargestellt.
  • 1 zeigt in Seitenansicht eine Platinentestvorrichtung 1, die mit zwei lotrechten Säulen 2 auf eine Fläche beispielsweise der dargestellten Tischplatte 3 aufgestellt ist. Mit zwei Aufnahmen 4 trägt die Platinentestvorrichtung 1 in genauer Positionierung eine Platine 5, die nach beendetem Testdurchlauf gegen die nächste zu testende Platine wechselbar ist. Die Platine 5 wird auf den Aufnahmen 4 an gegenüberliegenden Rändern gehalten, damit ihre Flächenbereiche zum Testen frei zugänglich sind. Im dargestellten Ausführungsfall wird die Platine nur von oben getestet. Es kann jedoch in nicht dargestellter Weise die Platinentestvorrichtung 1 auch so ausgebildet sein, daß sie zusätzlich auch von unten testet.
  • Parallel zur Platine 5 bzw. der durch die Aufnahmen 4 vorgegebenen Fläche ist von den Säulen 2 im Abstand über der Platine 5 eine Stellplatte 6 gehalten. An deren Unterseite, der Stellebene 7, ist ein Halterungsantrieb 8 vorgesehen, der in Richtung des Pfeiles, also in Richtung der Stellebene 7 und somit parallel zur Platine 5 verfahrbar ist und dazu von einer Antriebssteuerung 10 über eine Leitung 9 gesteuert wird. Vorzugsweise ist der Halterungsantrieb 8 in X- und Y-Richtung in der Stellebene 7 verfahrbar um alle Flächenpunkte anfahren zu können.
  • Der Halterungsantrieb 8 trägt einen Winkelantrieb 11, der über eine Leitung 12 von der Antriebssteuerung 10 steuerbar ist zur Winkelverstellung eines Nadelantriebes 13, der wiederum über eine Leitung 14 von der Antriebsteuerung 10 steuerbar ist.
  • Der Nadelantrieb 13 ist zum Vorschub einer Nadel 15 in Nadelrichtung ausgebildet. Die Nadel 15 ist über eine Leitung 16 an eine Meßeinrichtung 17 angeschlossen, die elektrische Messungen an von der Nadelspitze 18 kontaktierten Stellen der Platine 5 ausführen kann.
  • Wie dargestellt, können die Antriebssteuerung 10 und die Meßeinrichtung 17 Teil eines Computersystems 19 sein. Als Beispiel, zur vereinfachten zeichnerischen Darstellung, ist die Platine 5 mit nur einer Komponente 20 bestückt, die eine schrägstehende Kontaktfläche 21 aufweist. Diese Kontaktfläche 21 soll mit der Nadelspitze 18 kontaktiert werden, um eine elektrische Messung durchzuführen. Dazu ist die Platine 5 auch an anderer Stelle kontaktiert, beispielsweise von den Aufnahmen 4 an Massepunkten auf der Unterseite der Platine 5. Üblicherweise erfolgt die zweite Kontaktierung jedoch ebenso wie die dargestellte Kontaktie rung auf einer anderen, nicht dargestellten Kontaktfläche auf der Oberseite der Platine 5 mit einer weiteren Nadel, die mit entsprechenden Einrichtungen 8, 11, 13 unabhängig von der in der 1 dargestellten Nadel verfahrbar und positionierbar ist.
  • Aus den Konstruktionsdaten der Platine 5, also dem Platinenlayout, ist die genaue Lage der Kontaktfläche 21 bekannt. Auch ihre Winkellage ist daraus bekannt. Diese Daten liegen der Antriebssteuerung 10 vor und diese kann entsprechend den Halterungsantrieb 8, den Winkelantrieb 11 und den Nadelantrieb 13 derart steuern, daß die Raumkoordinate des Mittelpunktes der Kontaktfläche 21 beim Vortrieb der Nadel 15 in Nadelrichtung angefahren wird. Bei der dargestellten Ausführungsform mit Winkelantrieb 11 läßt sich der Schrägwinkel der Nadel so einrichten, daß die Kontaktfläche 21 möglichst senkrecht kontaktiert wird.
  • Die in 1 mit ausgezogenen Linien dargestellte Platine 5 hängt unter ihrem eigenen Gewicht zwischen den Aufnahmen 4 durch. Dies ist in 1 zur Verdeutlichung stark übertrieben dargestellt. Würde die Platine nicht durchhängen, weil sie beispielsweise aus erheblich steiferem Material gefertigt wäre oder mit leichteren Komponenten bestückt wäre, so wäre sie im Idealzustand völlig eben, wie anhand der gestrichelt dargestellten Platine 5' ersichtlich. Wird in der mit ausgezogenen Linien dargestellten Stellung des Nadelantriebes 13 die Nadel vorgefahren, so trifft sie nicht die Kontaktfläche 21' auf der ebenen Platine 5', wie die Figur deutlich zeigt. Die Raumkoordinaten der Kontaktfläche 21' sind ganz andere. Der Nadelantrieb müßte durch Verstellen des Halterungsantriebes 8 in die gestrichen dargestellten Stellung gebracht werden. Es könnte auch der Winkelantrieb 11 entsprechend verstellt werden.
  • Aus dieser Erläuterung ergibt sich, daß sich für unterschiedlich gebogene, bzw. durchhängende Platinen 5, 5' unterschiedliche Raumkoordinaten für Kontaktflächen ergeben. Die aus dem Platinenlayout bekannten Koordinaten beziehen sich auf den ebenen Idealzustand der Platine, der in 1 gestrichelt mit 5' dargestellt ist.
  • Platinen können unterschiedlich durchhängen. Dabei ergibt sich, wie die Platine 5 in 1 zeigt, in der Mitte eine stärkere Höhenabweichung als an den Rändern. Platinen können unter Umständen auch gewellt sein.
  • Um dies zu korrigieren sieht die Erfindung eine Abstandsmeßeinrichtung 25 vor, die im Ausführungsbeispiel in der Stellebene 7 verfahrbar angeordnet ist und beispielsweise mit einem optischen oder akustischen Strahl 26 den Abstand der Platine 5 von der Stellebene 7 ermittelt. Die Abstandsmeßeinrichtung 25 kann über die gesamte Fläche der Platine 5 verfahren werden und an vielen Stellen Abtandsmessungen vornehmen. Diese werden der Antriebssteuerung 10 über die Leitung 27 gemeldet und ermöglichen dieser durch Interpolation der Meßwerte die Berechnung der exakten Höhenlage aller Punkte der Platine 5. Somit kann auch die genaue Höhenlage der Kontaktfläche 21 bzw. der Kontaktfläche 21' ermittelt werden, so daß je nach Durchbiegung diese Kontaktfläche entweder in der Stellung 21 oder in der Stellung 21' korrekt angefahren werden kann. Dies gilt auch für alle weiteren, nicht dargestellten, auf der Platine 5 anzufahrenden Kontaktflächen.
  • Es kann auch in nicht dargestellter Weise mit einer fest angeordneten Abstandsmeßeinrichtung in der Mitte der Platine mit einem Strahl 26' die Durchbiegung der Platine 5 gemessen werden. Mit der aus der Baustatik bekannten Durchbiegekurve einer Platte kann sodann für jeden Punkt der Platine 5 die Höhenabweichung ermittelt werden.
  • In einer anderen Ausführung kann unter Weglassen der Abstandsmeßeinrichtung 25 der Nadelantrieb 13 als Abstandsmeßeinrichtung verwendet werden. Er wird dazu mit dem Winkelantrieb 11 in die lotrechte Stellung 13' gebracht, und zwar über einer kontaktierbaren Stelle der Platine 5, beispielsweise über der Kontaktfläche 21, 21'. Nun wird die Nadel aus einer Ruhestellung mit bekannter Höhenlage so lange abwärts gefahren bis die Meßeinrichtung 17 Kontakt feststellt. Aus der Fahrgeschwindigkeit und der Fahrzeit der Nadel läßt sich in der Antriebsteuerung 10 der Fahrweg ermitteln und somit die Höhenlage der Kontaktfläche 21 bzw. 21'. Bei Verwendung eines Schrittmotors für den Nadelantrieb 13 können z. B. auf einfache Weise die Schritte gezählt werden. Durch Verfahren des Halterungantriebes 8 in der Stellebene 7 lassen sich beliebig viele Abstandsmessungen an unterschiedlichen Punkten der Platine 5 vornehmen, so daß z. B. auch bei unregelmäßiger Verformung das genaue Höhenprofil vermessen werden kann.
  • Die geschilderte Abstandsmessung der Platine 5, zur Ermittlung deren genauer Höhenlage läßt sich vorzugsweise zu Beginn eines Testvorganges nach Auflegen der Platine vornehmen. Es wird in einer der genannten Ausführungsformen das Höhenprofil der Platine bestimmt und die Antriebsteuerung 10 kann aus den bekannten Orten der anzufahrenden Kontaktflächen, die sich aus dem Platinenlayout ergeben und aus dem gemessenen Höhenprofil der Platine für alle Kontaktflächen die exakten Raumkoordinaten bestimmen, um die Kontaktflächen exakt mit der schrägstehenden Nadel 15 anfahren zu können. Anschließend wird mit der elektrischen Messung, also dem Kontaktieren der Kontaktflächen zur Bestimmung der ordentlichen Funktion der Platine 5 begonnen.
  • Abstandsmessungen können jedoch auch während der elektrischen Messung der Platine vorgenommen werden. Wird die berührungsfrei arbeitende Abstands meßeinrichtung 25 verwendet, so kann diese beispielsweise laufend während des Testbetriebs Abstandsmessungen vornehmen. Damit kann die genaue Höhenlage der Platine während des Betriebes überwacht werden, um gegebenenfalls die Raumkoordinaten zu korrigieren. Das kann beispielsweise erforderlich sein, wenn sehr viele Nadeln gleichzeitig von oben die Platine 5 kontaktieren und sie mit ihrer Kontaktierkraft zusätzlich nach unten biegen.
  • Ist, wie bereits erwähnt, eine Kontaktierung der Platine von unten vorgesehen, wobei der in 1 oberhalb der Platine 5 vorgesehene Aufbau gespiegelt unter ihr vorzusehen wäre, so können entsprechend die Raumkoordinaten mittels Abstandsmessung korrigiert werden, um Durchbiegungen auszugleichen. Das gleiche gilt für Platinentestvorrichtungen, die eine beidseitig bestückte Platine gleichzeitig von oben und von unten kontaktieren.

Claims (6)

  1. Platinentestvorrichtung (1) mit einer Einrichtung (4) zur Halterung einer bestückten oder unbestückten Platine (5) an ihrem Rand und mit wenigstens einer an eine elektrische Meßeinrichtung (17) angeschlossenen Nadel (15) zur elektrischen Kontaktierung von Kontaktflächen (21) auf der Platine (5) wobei ein Nadelantrieb (13) von wenigstens einem Halterungsantrieb (8) in einer parallel zur Platine (5) liegenden Stellebene (7) verstellbar ist und die Nadel (15) schräg zur Stellebene (7) stehend von dem Nadelantrireb (13) in Nadelrichtung verstellbar ist, wobei die Antriebe (8, 13) von einer Antriebsteuerung (10) zur räumlichen Positionie rung der Nadelspitze (18) auf eine vorgegebene Raumkoordinate steuerbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß eine Abstandmeßeinrichtung (25, 13') vorgesehen ist, die zur Messung des Abstandes zwischen der Stellebene (7) und der Platine (5, 5') an wenigstens einem Punkt und zur Abgabe von Meßwerten an die Antriebssteuerung (10) ausgebildet ist, wobei die Antriebssteuerung (10) dazu ausgebildet ist, vor dem elektrischen Kontaktiervorgang Raumkoordinaten der Kontaktflächen (21, 21') unter Berücksichtigung der Abstands-Meßwerte zu korrigieren.
  2. Platinentestvorrichtung nach Anspruch 1, mit in seinem Schrägwinkel verstellbarem Nadelantrieb (13), dadurch gekennzeichnet, daß der Nadelantrieb (13) die Abstandsmeßeinrichtung ausbildet, wobei er zur Abstandsmessung in einen Schrägwinkel bringbar ist, bei dem die Nadel (15) zur Stellebene (7) senkrecht steht, und wobei die Antriebssteuerung (10) in Verbindung mit der Meßeinrichtung (17) zur Berechnung des Abstands-Meßwertes aus dem Nadelvortrieb aus einer Ruhestellung heraus bis zur Kontaktierung ausgebildet ist.
  3. Platinentestvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Platinentestvorrichtung (1) zur Messung eines Abstands-Meßwertes und zur Errechnung der Abstände aller Punkte der Platine (5, 5') aus diesem Abstands-Meßwert mittels der aus der Baustatik bekannten Durchbiegekurve einer Platte ausgebildet ist.
  4. Platinentestvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Platinentestvorrichtung (1) zur Messung des Abstandes an mehreren Punkten der Platine (5, 5') und zur Errechnung eines Abstandsprofils der Platine (5, 5') aus diesen Messungen ausgebildet ist.
  5. Platinentestvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebssteuerung (10) und die Meßeinrichtung (17) zur Durchführung der Abstandsmessung vor Beginn der elektrischen Messung ausgebildet sind.
  6. Platinentestvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebssteuerung (10) und die Meßeinrichtung (17) zur Durchführung der Abstandsmessung während der elektrischen Messung ausgebildet sind.
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