DE10325225A1

DE10325225A1 - Systembedieneinheit

Info

Publication number: DE10325225A1
Application number: DE10325225A
Authority: DE
Inventors: Roland Hedrich; Joachim Dr. Wienecke; Karsten Urban
Original assignee: Leica Microsystems CMS GmbH; Vistec Semiconductor Systems GmbH
Current assignee: Leica Microsystems CMS GmbH; KLA Tencor MIE GmbH
Priority date: 2003-06-04
Filing date: 2003-06-04
Publication date: 2005-01-05
Anticipated expiration: 2023-06-05
Also published as: US20040244512A1; DE10325225B4; US7152488B2

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Systembedieneinheit (30) mit einer Säule (3), die durch mindestens zwei Träger (9, 10) an unterschiedlichen Stellen eines Systemgehäuses (14) befestigbar ist. In der bevorzugten Ausführungsform wird diese Säule seitlich am Gehäuse befestigt. Hierbei dienen die Träger zur Befestigung am Gehäuse des Systems. Weiterhin ist ein Haltebügel (4) mit der Säule (3) so verbunden, so dass eine horizontale Auslenkung des Haltebügels (4) um eine vertikale Achse möglich ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Systembedieneinheit für Inspektionsgeräte. Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf eine variable befestigbare Systembedieneinheit, die zur Steuerung von Geräten zur Wafer-Inspektion eingesetzt wird.
Die zur Wafer-Inspektion eingesetzten Systeme weisen oftmals einen integrierten Monitor und eine zugehörige Tastatur auf, die direkt in das Gehäuse integriert sind oder die durch Schubladen aus dem Gehäuse herausgezogen werden können. Insbesondere Reinräume sind oftmals von ihrer Fläche so bemessen sind, dass eine ungünstige Anordnung des Monitors und der Tastatur zu Problemen bei der Bedienung führen können.

Aus der Patentschrift US 6,520,727 ist eine Bedieneinrichtung in Form eines Monitors bekannt, die am Rahmen der Vorrichtung durch einen Haltearm befestigt ist. Der Haltearm ist schwenkbar gelagert, sodass eine horizontale Ausrichtung möglich ist, wobei der Monitor mit dem Haltearm über ein weiteres Gelenk verbunden ist.

Aus der Patentschrift US 6,510,049 ist eine Halterung für einen Monitor bekannt, die einen Fuß umfasst, der einen drehbaren Teller trägt, sodass das Display in eine Dimension gedreht werden kann. Weitere Achsen mit Gelenken sind so angeordnet, dass das Display zusätzlich noch geneigt und gedreht werden kann. Somit ist eine Ausrichtung des Displays in drei Dimensionen möglich. Der Fuß ist so ausgebildet, dass eine Wandmontage durchgeführt werden kann.

Aus der Patentschrift US 6,478,274 ist ein Monitorhalter bekannt, der an einem Tisch oder einer ähnlichen Platte befestigt werden kann. Über einen Arm, der durch eine Druckfeder unterstützt wird, erfolgt eine vertikale Ausrichtung. An einem Ende des Armes ist eine Halterung zur Befestigung an einem Tisch vorgesehen, und am anderen Ende des Armes ist eine Halterung zur Befestigung des Displays angeordnet.

Aus der Patentschrift US 6,233,139 ist ein Displayhalter bekannt, der eine durch einen Fuß gehaltene Säule aufweist. An der Säule ist eine Gleitschiene befestigt, auf der, unterstützt durch eine Feder, eine Displayhalterung geführt ist.

Aus der Patentschrift US 6,378,830 ist ein Displayhalter bekannt, der aus einem Fuß besteht, auf dem eine in horizontaler und vertikaler Richtung bewegbare Displaybefestigung angeordnet ist.

Aus der japanischen Druckschrift JP 8-66354 ist eine Vorrichtung zur Halterung eines Displays bekannt, die U-förmig ausgebildet ist. Der eine Schenkel des U ist stationär mit einem Tisch verbunden, wobei der andere Schenkel des U zwei Displays aufnimmt. Der mit dem Tisch verbundene Schenkel ist drehbar gelagert, sodass die Displays in der horizontalen Ebene ausgerichtet werden können. Weiterhin kann die Spannweite des U variiert werden, sodass eine Bewegung in der entsprechenden Dimension möglich ist.

Aus der japanischen Druckschrift P 2001-311498 A ist eine Halterung für ein Display bekannt, die aus einer Säule besteht, die stationär befestigt werden kann, mit einem Arm, der drehbar auf der Säule gelagert ist und der einen Displayhalter aufnimmt, der Bewegungen in weiteren Dimensionen erlaubt.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine variable und dabei ergonomische Befestigung für Überwachungs- und Steuereinheiten für unterschiedliche Arten von Systemen bereitzustellen. In der bevorzugten Ausführungsform werden die Steuereinheiten für Inspektionssysteme bereitgestellt, wie sie in der Wafer-Produktion zum Einsatz kommen.

Diese Aufgabe wird durch die Erfindungen mit den Merkmalen der unabhängigen Ansprüche gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindungen sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.

Die Aufgabe wird insbesondere gelöst durch eine Systembedieneinheit mit einer Säule, die durch mindestens zwei Träger an unterschiedlichen Stellen eines Systemgehäuses befestigbar ist. Mit einem Haltebügel, der mit der Säule (3) in Wirkverbindung steht, ist eine horizontale Auslenkung um eine vertikale Achse möglich. Ferner ist der Haltebügel mit mindestens einer um den Haltebügel drehbar gelagerten Befestigung zur Aufnahme mindestens eines Ein- und Ausgabemittels zur Steuerung des Systems ausgestattet. Mit einem Auslenkbügel, der mit der drehbar gelagerten Befestigung und der Säule derart in Wirkverbindung steht, ist bei einer Auslenkung des Haltebügels durch den Auslenkbügel ein Drehmoment und somit eine Ausrichtung des Ein- und Ausgabemittels erzeugbar ist. Die Säule ist drehbar gelagert. Die Lagerung der Säule erfolgt auf Trägern, die vorzugsweise an die Enden der Säule angeordnet sind.

Es ist besonders vorteilhaft, wenn die Säule, die Träger und der Haltebügel als Kabelkanal ausgebildet sind. Der Haltebügel ist U-förmig ausgebildet und mit der Säule an zwei Stellen fest verbunden ist. Jede am Haltebügel vorgesehene Befestigung weist eine Lagerung auf, und jeder Auslenkbügel besitzt jeweils ein Ende, das fest mit der Säule verbunden ist. Ein jeweils anderes Ende eines jeden Auslenkbügels ist mit der entsprechenden Befestigung verbunden, die jeweils ein Ein- und/oder Ausgabemittel trägt.

Durch die Drehung des Haltebügels ist eine Ausrichtung der Ein- und/oder Ausgabemittel in mindestens eine Dimension möglich. Das Ein- und Ausgabemittel ein ist Monitor und/oder eine Tastatur.

Es ist von Vorteil, wenn die Systemeinheit einem Systemgehäuse zugeordnet ist. Im Besonderen handelt es sich um Systemgehäuse von Geräten für die Wafer-Inspektion bzw. für die Inspektion von Halbleitersubstraten. Am Systemgehäuse sind zwei Befestigungspunkte vorgesehen, die so ausgebildet sind, dass eine variable Anordnung einer Systembedieneinheit möglich ist.

Das Systemgehäuse besitzt jeweils eine erste und eine zweite Außenfläche aufweist und die Befestigungspunkte sind derart am Systemgehäuse vorgesehen, dass die Säule in Bereich des Aufeinandertreffens der ersten und der zweiten Außenfläche angebracht ist.

Bei der am Systemgehäuse vorgesehenen Säule ist ein Haltebügel angebaut. Am Haltebügel ist mindestens eine drehbar gelagerte Befestigung zur Aufnahme mindestens eines Ein- und Ausgabemittels zur Steuerung des Systems vorgesehen. Zwischen der Säule und der drehbar gelagerten Befestigung ist jeweils ein Auslenkbügel derart angebracht, dass bei einer Auslenkung des Haltebügels das mindestens eine Ein- und Ausgabemittel automatisch bezüglich der ersten und der zweiten Außenfläche ausrichtbar ist.

Ein Haltebügel ist mit der Säule so verbunden, dass eine horizontale Auslenkung des Haltebügels um eine vertikale Achse möglich ist. Die Auslenkung wird entweder dadurch erreicht, dass die Säule drehbar gelagert ist oder dass der Haltebügel durch ein Drehgelenk mit der Säule verbunden ist. In der bevorzugten Ausführungsform dreht sich jedoch die Säule auf Lagern, die zwischen Trägern und Säule angeordnet sind. Die Träger schließen sich bei dieser Ausführungsform an die beiden Enden der Säule an.

In einer bevorzugten Ausführungsform ist der Haltebügel U-förmig ausgebildet, so dass er an zwei Stellen mit der Säule in Verbindung steht. Am Haltebügel ist mindestens eine Befestigung zur Aufnahme eines Ein- und Ausgabemittels angeordnet. In der bevorzugten Ausführungsform handelt es sich um zwei Befestigungen, die einerseits eine Tastatur aufnehmen und andererseits einen Bildschirm. Die Befestigungen sind so ausgebildet, dass der Monitor geneigt und gekippt werden kann sowie die Tastatur entsprechend der Monitorausrichtung angeordnet werden kann. Dies wird bevorzugt durch ein Kugelgelenk erreicht, das in der Befestigung integriert ist. Alternative Gelenke sind ebenfalls denkbar. In einer weiteren möglichen Ausführungsform kann ein Touchscreen verwendet werden, sodass Tastatur und Monitor in einem Gerät integriert sind. Bei dieser Anwendung wird nur eine Befestigung benötigt.

Für die Verwendung in Reinräumen ist es von Vorteil, wenn die Kabel, die zur Verbindung von Tastatur und Monitor mit dem System verwendet werden, in Kabelkanälen geführt werden. Um dies zu erreichen, ist die Säule vorzugsweise als Kabelkanal ausgebildet, der eine Reihe von Öffnungen aufweist, um die Kabel ins Innere der Säule zu leiten. Um eine formschlüssige Verbindung mit dem Gehäuse des Systems zu erreichen, sind die Träger ebenfalls mit einem Kabelkanal versehen, der so ausgebildet ist, dass die Kabel durch die Säule in den Kabelkanal der Träger geführt werden können, von dem sie in das Innere des Gehäuses des Systems geleitet werden.

Um den Status des Systems anzuzeigen, sind Leuchten in Verlängerung der Säule angebracht, deren elektrische Zuleitungen vorzugsweise durch den Kabelkanal der Säule geführt werden.

Ein weiterer Bestandteil der vorliegenden Erfindung ist ein Systemgehäuse, insbesondere für ein Inspektionsgerät, das so ausgebildet ist, dass eine einseitige Befestigung der beschriebenen Systembedieneinheit an mindestens zwei Stellen des Gehäuses möglich ist. In der bevorzugten Ausführungsform werden entsprechende Bohrungen mit Gewinden und Kabeleinlässen an zwei Ecken des Systemgehäuses bereitgestellt. Weiterhin sind Steckverbindungen vorgesehen, die es ermöglichen, dass der Endkunde die Bedieneinheit variabel anbringt, ohne dabei funktionale Einbußen hinnehmen zu müssen.

Im Folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert, die in den Figuren schematisch dargestellt sind. Gleiche Bezugsziffern in den einzelnen Figuren bezeichnen dabei gleiche Elemente. Im Einzelnen zeigt:
1 eine perspektivische Ansicht der Rückseite der Systembedieneinheit, die nicht an einem Systemgehäuse befestigt ist;
2 eine perspektivische Ansicht der Vorderseite der Systembedieneinheit, die nicht an einem Systemgehäuse befestigt ist;
3 eine perspektivische Ansicht der Systembedieneinheit, die an einem Systemgehäuse befestigt ist; und
4 eine perspektivische Ansicht der Systembedieneinheit, die in einer alternativen Weise ausgerichtet ist.
Im Rahmen der Erfindung sind zahlreiche Abwandlungen und Weiterbildungen der beschriebenen Ausführungsbeispiele verwirklichbar.
Die 1 und 2 zeigen die erfindungsgemäße Bedieneinheit ohne eine konkrete Befestigung an einem Systemgehäuse. An einer Säule 3 ist ein Haltebügel 4 befestigt, der U-förmig ausgebildet ist. Die beiden Enden des Haltebügels 4 sind mit der Säule 3 verschraubt. In einer alternativen Ausführungsform können zwischen der Säule und dem Bügel ein oder mehrere Gelenke angeordnet sein, die eine Auslenkung in horizontaler Ebene erlauben. Die Säule ist kastenförmig ausgebildet und weist eine zu öffnende Seite auf, sodass ein Zugriff auf die Kabel, die innerhalb der Säule verlegt sind, möglich ist. Durch diese Ausbildung ist es möglich, dass die Säule 3 als Kabelkanal 15 verwendet werden kann.
An den beiden Enden der Säule sind Gelenke angeordnet, die einerseits mit dem Endbereich der Säule 3 verbunden sind und andererseits mit Trägern 9, 10.
Die Träger 9, 10 sind so ausgebildet, dass sie zur Befestigung am Systemgehäuse 14 verwendet werden können, wie aus den 3 und 4 ersichtlich ist. Hierfür sind entsprechende Bohrungen in den Boden- und Deckenplatten des Systemgehäuses 14 vorgesehen. Die so ausgebildeten Befestigungspunkte 12, 13 weisen weiterhin Bohrungen auf, durch die die Kabel ins Innere des Systemgehäuses 14 geleitet werden können.
In dem hier dargestellten Ausführungsbeispiel sind als ein Ein- und Ausgabemittel ein Monitor 1 und eine Tastatur 2 sind über Befestigungen 5, 6 mit der Säule 3 verbunden. In einer bevorzugten Ausführungsform weisen diese Befestigungen 5, 6 ebenfalls Gelenke oder eine Lagerung auf, um eine Ausrichtung des Monitors 1 oder der Tastatur 2 in weitere Dimensionen zu erlauben. Von den Befestigungen 5, 6 erstrecken sich Auslenkbügel 7, 8 zur Säule 3. Jeder der Auslenkbügel 7, 8 weist jeweils ein Ende 7a, 8a aufweist, das fest mit der Säule 3 verbunden Jeweils ein anderes Ende 7b, 8b eines jeden Auslenkbügels 7, 8 ist mit der entsprechenden Befestigung 5, 6 verbunden, die jeweils ein Ein- und/oder Ausgabemittel 1, 2 trägt.
Am oberen Ende der Säule ist weiterhin eine Leuchte 11 befestigt, die im vorliegenden Fall aus mehreren Segmenten besteht, die durch unterschiedliche Farbgebung verschiedene Betriebszustände des zu bedienenden Systems darstellen kann.
3 und 4 zeigt jeweils eine perspektivische Ansicht des Systemgehäuses 14, wobei das Ein- und Ausgabemittel 1, 2 an zwei verschiedenen Positionen angeordnet ist. Die Systembedieneinheit, die das Ein- und Ausgabemittel 1, 2 trägt ist über mindestens zwei Befestigungspunkte 12, 13 mit dem Systemgehäuse 14 verbunden. Die Befestigungspunkte 12, 13 sind derart ausgebildet, dass eine variable Anordnung einer Systembedieneinheit möglich ist.
Das Systemgehäuse 14 besitzt mindestens eine erste und eine zweite Außenfläche 20, 21, wobei die Anordnung der Ein- und Ausgabemittel 1, 2 bei maximaler Schwenkung mit dem Haltebügel 4 derart ist, dass die aufweist, und dass die Befestigungspunkte 12, 13 derart am Systemgehäuse vorgesehen sind, dass die Ein- und Ausgabemittel 1, 2 parallel zu der ersten oder eine zweiten Außenfläche 20, 21 sind. Die Ein- und Ausgabemittel 1, 2 sind entweder unmittelbar vor der ersten oder der zweiten Außenfläche 20, 21 anordenbar, so dass ein Benutzer entweder vor der ersten oder der zweiten Außenfläche 20, 21 stehend, das System über die Ein- und Ausgabemittel 1, 2 bedienen kann. In Bereich des Aufeinandertreffens der ersten und der zweiten Außenfläche 20, 21 ist die Säule 3 angebracht sind.
Wie bereits erwähnt ist am Systemgehäuse 14 die Säule 3 an entsprechenden Stellen vorgesehen. Der Haltebügel 4 ist z.B. mit der Säule 3 verschraubt. Am Haltebügel 4 ist mindestens eine drehbar gelagerte Befestigung 5, 6 zur Aufnahme eines Ein- und Ausgabemittels 1, 2 zur Steuerung des Systems vorgesehen. Zwischen der Säule 3 und der drehbar gelagerten Befestigung 5, 6 ist jeweils ein Auslenkbügel 7, 8 derart angebracht, dass bei einer Auslenkung des Haltebügels 4, die Ein- und Ausgabemittels 1, 2 entsprechend zu der ersten und/oder der zweiten Außenfläche 20, 21 des Systemgehäuses 14 ausrichtbar sind. Es ist selbstverständlich, dass die hier dargestellte erste und zweite Außenfläche 20, 21 nicht als Beschränkung aufgefasst werden kann. Die Anordnung der Systembedieneinheit 30, kann an zwei anderen, geeigneten Außenflächen des Systemgehäuses erfolgen.

1: Monitor
2: Tastatur
3: Säule
4: Haltebügel
5: Befestigung Monitor
6: Befestigung Tastatur
7: Auslenkbügel Monitor
7a: Ende des Auslenkbügels an der Säule
7b: anderes Ende des Auslenkbügels
8: Auslenkbügel Tastatur
8a: Ende des Auslenkbügels an der Säule
8b: anderes Ende des Auslenkbügels
9: Träger
10: Träger
11: Leuchte
12: Befestigungspunkt
13: Befestigungspunkt
14: Systemgehäuse
15: Kabelkanal
20: Außenfläche
21: Außenfläche
30: Systembedieneinheit

Claims

Systembedieneinheit (30), insbesondere für Inspektionsgeräte, – mit einer Säule (3), die durch mindestens zwei Träger (10, 9) an unterschiedlichen Stellen eines Systemgehäuses (14) befestigbar ist, – mit einem Haltebügel (4), der mit der Säule (3) so in Wirkverbindung steht, dass eine horizontale Auslenkung um eine vertikale Achse möglich ist, – mit mindestens einer um den Haltebügel (4) drehbar gelagerten Befestigung (5, 6) zur Aufnahme eines Ein- und Ausgabemittels (1, 2) zur Steuerung des Systems, – mit einem Auslenkbügel (7, 8), der mit der drehbar gelagerten Befestigung (5, 6) und der Säule (3) derart in Wirkverbindung steht, dass bei einer Auslenkung des Haltebügels (4), durch den Auslenkbügel (7, 8) ein Drehmoment und somit eine Ausrichtung des Ein- und Ausgabemittels (1, 2) erzeugbar ist.
Systembedieneinheit (30) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Säule (3) drehbar gelagert ist.
Systembedieneinheit (30) nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Säule (3) auf den Trägern (10, 9) drehbar gelagert ist, die sich vorzugsweise jeweils an gegenüberliegenden Enden der Säule (3) anschließen.
Systembedieneinheit (30) nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Säule (3), die Träger (10, 9) und der Haltebügel (4) als Kabelkanal (15) ausgebildet ist.
Systembedieneinheit (30) nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch mindestens eine Leuchte (11) vorgesehen ist, die vorzugsweise in Verlängerung der Säule (3) angeordnet ist.
Systembedieneinheit (30) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Haltebügel (4) U-förmig ausgebildet ist und mit der Säule (3) an zwei Stellen fest verbunden ist.
Systembedieneinheit (30) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die jede am Haltebügel (4) vorgesehene Befestigung (5, 6) eine Lagerung aufweist, und dass jeder Auslenkbügel (7, 8) jeweils ein Ende (7a, 8a) aufweist, das fest mit der Säule (3) verbunden ist und jeweils ein anderes Ende (7b, 8b) eines jeden Auslenkbügels (7, 8) ist mit der entsprechenden Befestigung (5, 6) verbunden, die jeweils ein Ein- und/oder Ausgabemittel (1, 2) trägt.
Systembedieneinheit (30) nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass durch die Drehung des Haltebügels (4) eine Ausrichtung der Ein- und/oder Ausgabemittel (1, 2) in mindestens eine Dimension ermöglicht ist.
Systembedieneinheit (30) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Ein- und Ausgabemittel ein Monitor (1) und/oder eine Tastatur (2) ist.
Systemgehäuse (14), insbesondere für ein Inspektionsgerät, gekennzeichnet durch mindestens zwei Befestigungpunkte (12, 13), die so ausgebildet sind, dass eine variable Anordnung einer Systembedieneinheit (30) nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche möglich ist.
Systemgehäuse (14) nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Systemgehäuse jeweils einer erste und eine zweite Außenfläche (20, 21) aufweist, und dass die Befestigungspunkte (12, 13) derart am Systemgehäuse vorgesehen sind, dass die Säule (3) in Bereich des Aufeinandertreffens der ersten und der zweiten Außenfläche (20, 21) angebracht sind.
Systemgehäuse (14) nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass an der Säule (3) ein Haltebügel (4) angebaut ist, und dass am Haltebügel (4) mindestens eine drehbar gelagerte Befestigung (5, 6) zur Aufnahme eines Ein- und Ausgabemittels (1, 2) zur Steuerung des Systems vorgesehen ist, und dass zwischen der Säule (3) und der drehbar gelagerten Befestigung jeweils ein Auslenkbügel (7, 8) derart angebracht ist, dass bei einer Auslenkung des Haltebügels (4), die Ein- und Ausgabemittel (1, 2) automatisch bezüglich der ersten und der zweiten Außenfläche (20, 21) ausrichtbar sind.
Systemgehäuse (14) nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass unabhängig von der Auslenkung des Haltebügels (4) immer eine Ausrichtung der Ein- und Ausgabemittel (1, 2) in Richtung eines Benutzers möglich ist.