DE10325225B4

DE10325225B4 - Systemgehäuse

Info

Publication number: DE10325225B4
Application number: DE10325225A
Authority: DE
Inventors: Roland Hedrich; Joachim Dr. Wienecke; Karsten Urban
Original assignee: Leica Microsystems CMS GmbH; Vistec Semiconductor Systems GmbH
Current assignee: Leica Microsystems CMS GmbH; KLA Tencor MIE GmbH
Priority date: 2003-06-04
Filing date: 2003-06-04
Publication date: 2006-11-16
Anticipated expiration: 2023-06-05
Also published as: US7152488B2; US20040244512A1; DE10325225A1

Abstract

Systemgehäuse (14), insbesondere für ein Inspektionsgerät, wobei am Systemgehäuse (14) eine Säule (3) durch mindestens zwei Träger (10, 9) an unterschiedlichen Stellen des Systemgehäuses (14) befestigt ist, und wobei an der Säule (3) ein Haltebügel (4) befestigt ist, so dass eine horizontale Auslenkung um eine vertikale Achse möglich ist, und dass mindestens eine drehbar gelagerte Befestigung (5, 6) am Haltebügel (4) zur Aufnahme eines Ein- und Ausgabemittels (1, 2) zur Steuerung des Systems vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Systemgehäuse (14) jeweils eine erste und eine zweite Außenfläche (20, 21) aufweist, und dass Befestigungspunkte (12, 13) derart am Systemgehäuse vorgesehen sind, dass die Säule (3) im Bereich des Aufeinandertreffens der ersten und der zweiten Außenfläche (20, 21) angebracht sind.

Description

Die Erfindung betrifft ein Systemgehäuse für Inspektionsgeräte entsprechend dem Oberbegriff des Anspruch. Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf eine variable am Systemgehäuse befestigbare Systembedieneinheit bestehend unter anderem aus einem Ein- und Ausgabemittel, die zur Steuerung von Geräten zur Wafer-Inspektion eingesetzt wird.
Die zur Wafer-Inspektion eingesetzten Systeme weisen oftmals einen integrierten Monitor und eine zugehörige Tastatur auf, die direkt in das Gehäuse integriert sind oder die durch Schubladen aus dem Gehäuse herausgezogen werden können. Insbesondere Reinräume sind oftmals von ihrer Fläche so bemessen, dass eine ungünstige Anordnung des Monitors und der Tastatur zu Problemen bei der Bedienung führen können.

Aus der Patentschrift US 6,520,727 B1 ist eine Bedieneinrichtung in Form eines Monitors bekannt, die am Rahmen der Vorrichtung durch einen Haltearm befestigt ist. Der Haltearm ist schwenkbar gelagert, sodass eine horizontale Ausrichtung möglich ist, wobei der Monitor mit dem Haltearm über ein weiteres Gelenk verbunden ist.

Aus der Patentschrift US 6,510,049 B2 ist eine Halterung für einen Monitor bekannt, die einen Fuß umfasst, der einen drehbaren Teller trägt, sodass das Display in eine Dimension gedreht werden kann. Weitere Achsen mit Gelenken sind so angeordnet, dass das Display zusätzlich noch geneigt und gedreht werden kann. Somit ist eine Ausrichtung des Displays in drei Dimensionen möglich. Der Fuß ist so ausgebildet, dass eine Wandmontage durchgeführt werden kann.

Aus der Patentschrift US 6,478,274 B1 ist ein Monitorhalter bekannt, der an einem Tisch oder einer ähnlichen Platte befestigt werden kann. Über einen Arm, der durch eine Druckfeder unterstützt wird, erfolgt eine vertikale Ausrichtung. An einem Ende des Armes ist eine Halterung zur Befestigung an einem Tisch vorgesehen, und am anderen Ende des Armes ist eine Halterung zur Befestigung des Displays angeordnet.

Aus der Patentschrift US 6,233,139 B1 ist ein Displayhalter bekannt, der eine durch einen Fuß gehaltene Säule aufweist. An der Säule ist eine Gleitschiene befestigt, auf der, unterstützt durch eine Feder, eine Displayhalterung geführt ist.

Aus der Patentschrift US 6,378,830 ist ein Displayhalter bekannt, der aus einem Fuß besteht, auf dem eine in horizontaler und vertikaler Richtung bewegbare Displaybefestigung angeordnet ist.

Aus der japanischen Druckschrift JP 080 663 54 A ist eine Vorrichtung zur Halterung eines Displays bekannt, die U-förmig ausgebildet ist. Der eine Schenkel des U ist stationär mit einem Tisch verbunden, wobei der andere Schenkel des U zwei Displays aufnimmt. Der mit dem Tisch verbundene Schenkel ist drehbar gelagert, sodass die Displays in der horizontalen Ebene ausgerichtet werden können. Weiterhin kann die Spannweite des U variiert werden, sodass eine Bewegung in der entsprechenden Dimension möglich ist.

Aus der japanischen Druckschrift P 2001-311498 A ist eine Halterung für ein Display bekannt, die aus einer Säule besteht, die stationär befestigt werden kann, mit einem Arm, der drehbar auf der Säule gelagert ist und der einen Displayhalter aufnimmt, der Bewegungen in weiteren Dimensionen erlaubt.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Systemgehäuse bereitzustellen, das eine variable und dabei ergonomische Anordnung von Ein- und Ausgabemittel für ein Inspektionsgerät ermöglicht. In der bevorzugten Ausführungsform wird die Systembedieneinheit, bestehend unter anderem aus einem Ein- und Ausgabemittel, für Inspektionssysteme bereitgestellt, wie sie in der Wafer-Produktion zum Einsatz kommen.

Diese Aufgabe wird durch die Erfindung mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung noch Anspruch 1 sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.

Die Aufgabe wird insbesondere gelöst durch eine Systembedieneinheit mit einer Säule, die durch mindestens zwei Träger an unterschiedlichen Stellen des Systemgehäuses befestigbar ist. Mit einem Haltebügel, der mit der Säule in Wirkverbindung steht, ist eine horizontale Auslenkung um eine vertikale Achse möglich. Ferner ist der Haltebügel mit mindestens einer um den Haltebügel drehbar gelagerten Befestigung zur Aufnahme mindestens eines Ein- und Ausgabemittels zur Steuerung des Systems ausgestattet. Das Systemgehäuse besitzt jeweils eine erste und eine zweite Außenfläche und die Befestigungspunkte sind derart am Systemgehäuse vorgesehen, dass die Säule in Bereich des Aufeinandertreffens der ersten und der zweiten Außenfläche angebracht ist.

Die Anordnung der Ein- und Ausgabemittel bei maximaler Schwenkung des Haltebügels ist entsprechend Anspruch 2 derart, dass die Ein- und Ausgabemittel zu der ersten und/oder zweiten Außenfläche parallel sind.

Die Säule ist drehbar gelagert (Anspruch 3). Die Lagerung der Säule erfolgt entsprechend Anspruch 4 auf Trägern, die vorzugsweise an den jeweils gegenüberliegenden Enden der Säule angeordnet sind.

Es ist besonders vorteilhaft, wenn die Säule, die Träger und der Haltebügel als Kabelkanal ausgebildet sind (Anspruch 5). Für die Verwendung in Reinräumen ist es von Vorteil, wenn die Kabel, die zur Verbindung von Tastatur und Monitor mit dem System verwendet werden, in Kabelkanälen geführt werden. Um dies zu erreichen, ist die Säule vorzugsweise als Kabelkanal ausgebildet, der eine Reihe von Öffnungen aufweist, um die Kabel ins Innere der Säule zu leiten. Um eine formschlüssige Verbindung mit dem Gehäuse des Systems zu erreichen, sind die Träger ebenfalls mit einem Kabelkanal versehen, der so ausgebildet ist, dass die Kabel durch die Säule in den Kabelkanal der Träger geführt werden können, von dem sie in das Innere des Gehäuses des Systems geleitet werden.

Um den Status des Systems anzuzeigen, sind entsprechend Anspruch 6 Leuchten in Verlängerung der Säule angebracht, deren elektrische Zuleitungen vorzugsweise durch den Kabelkanal der Säule geführt werden.

In einer bevorzugten Ausführungsform entsprechend Anspruch 7 ist der Haltebügel U-förmig ausgebildet, so dass er an zwei Stellen mit der Säule in Verbindung steht. Am Haltebügel ist mindestens eine Befestigung zur Aufnahme eines Ein- und Ausgabemittels angeordnet. In der bevorzugten Ausführungsform handelt es sich um zwei Befestigungen, die einerseits eine Tastatur aufnehmen und andererseits einen Bildschirm. Die Befestigungen sind so ausgebildet, dass der Monitor geneigt und gekippt werden kann sowie die Tastatur entsprechend der Monitorausrichtung angeordnet werden kann. Dies wird bevorzugt durch ein Kugelgelenk erreicht, das in der Befestigung integriert ist. Alternative Gelenke sind ebenfalls denkbar. In einer weiteren möglichen Ausführungsform kann ein Touchscreen verwendet werden, sodass Tastatur und Monitor in einem Gerät integriert sind. Bei dieser Anwendung wird nur eine Befestigung benötigt.

Das Ein- und Ausgabemittel ist ein Monitor und/oder eine Tastatur (Anspruch 8)

Unabhängig von der Auslenkung des Haltebügels soll immer eine Ausrichtung der Ein- und Ausgabemittel in Richtung eines Benutzers möglich sein (Anspruch 9).

Im Besonderen handelt es sich um Systemgehäuse von Geräten für die Wafer-Inspektion bzw. für die Inspektion von Halbleitersubstraten.

Ein weiterer Bestandteil der vorliegenden Erfindung ist ein Systemgehäuse, insbesondere für ein Inspektionsgerät, das so ausgebildet ist, dass eine einseitige Befestigung der beschriebenen Systembedieneinheit an mindestens zwei Stellen des Gehäuses möglich ist. In der bevorzugten Ausführungsform werden entsprechende Bohrungen mit Gewinden und Kabeleinlässen an zwei Ecken des Systemgehäuses bereitgestellt. Weiterhin sind Steckverbindungen vorgesehen, die es ermöglichen, dass der Endkunde die Bedieneinheit variabel anbringt, ohne dabei funktionale Einbußen hinnehmen zu müssen.

Im Folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert, die in den Figuren schematisch dargestellt sind. Gleiche Bezugsziffern in den einzelnen Figuren bezeichnen dabei gleiche Elemente. Im Einzelnen zeigt:
1 eine perspektivische Ansicht der Rückseite der Systembedieneinheit, die nicht an einem Systemgehäuse befestigt ist;
2 eine perspektivische Ansicht der Vorderseite der Systembedieneinheit, die nicht an einem Systemgehäuse befestigt ist;
3 eine perspektivische Ansicht der Systembedieneinheit, die an einem Systemgehäuse befestigt ist; und
4 eine perspektivische Ansicht der Systembedieneinheit, die in einer alternativen Weise ausgerichtet ist.
Im Rahmen der Erfindung sind zahlreiche Abwandlungen und Weiterbildungen der beschriebenen Ausführungsbeispiele verwirklichbar.
Die 1 und 2 zeigen die Systembedieneinheit ohne eine konkrete Befestigung an einem Systemgehäuse. An einer Säule 3 ist ein Haltebügel 4 befestigt, der U-förmig ausgebildet ist. Die beiden Enden des Haltebügels 4 sind mit der Säule 3 verschraubt. In einer alternativen Ausführungsform können zwischen der Säule 3 und dem Bügel 4 ein oder mehrere Gelenke angeordnet sein, die eine Auslenkung in horizontaler Ebene erlauben. Die Säule 3 ist kastenförmig ausgebildet und weist eine zu öffnende Seite auf, sodass ein Zugriff auf die Kabel, die innerhalb der Säule 3 verlegt sind, möglich ist. Durch diese Ausbildung ist es möglich, dass die Säule 3 als Kabelkanal 15 verwendet werden kann.
An den beiden Enden der Säule 3 sind Gelenke angeordnet, die einerseits mit dem Endbereich der Säule 3 verbunden sind und andererseits mit Trägern 9, 10.
Die Träger 9, 10 sind so ausgebildet, dass sie zur Befestigung am Systemgehäuse 14 verwendet werden können, wie aus den 3 und 4 ersichtlich ist. Hierfür sind entsprechende Bohrungen in den Boden- und Deckenplatten des Systemgehäuses 14 vorgesehen. Die so ausgebildeten Befestigungspunkte 12, 13 weisen weiterhin Bohrungen auf, durch die die Kabel ins Innere des Systemgehäuses 14 geleitet werden können.
In dem hier dargestellten Ausführungsbeispiel sind als ein Ein- und Ausgabemittel ein Monitor 1 und eine Tastatur 2 über Befestigungen 5, 6 mit der Säule 3 verbunden. In einer bevorzugten Ausführungsform weisen diese Befestigungen 5, 6 ebenfalls Gelenke oder eine Lagerung auf, um eine Ausrichtung des Monitors 1 oder der Tastatur 2 in weitere Dimensionen zu erlauben. Von den Befestigungen 5, 6 erstrecken sich Auslenkbügel 7, 8 zur Säule 3. Jeder der Auslenkbügel 7, 8 weist jeweils ein Ende 7a, 8a auf, das fest mit der Säule 3 verbunden ist. Jeweils ein anderes Ende 7b, 8b eines jeden Auslenkbügels 7, 8 ist mit der entsprechenden Befestigung 5, 6 verbunden, die jeweils ein Ein- und/oder Ausgabemittel 1, 2 trägt.
Am oberen Ende der Säule 3 ist weiterhin eine Leuchte 11 befestigt, die im vorliegenden Fall aus mehreren Segmenten besteht, die durch unterschiedliche Farbgebung verschiedene Betriebszustände des zu bedienenden Systems darstellen kann.
3 und 4 zeigt jeweils eine perspektivische Ansicht des Systemgehäuses 14, wobei das Ein- und Ausgabemittel 1, 2 an zwei verschiedenen Positionen angeordnet ist. Die Systembedieneinheit 30, die das Ein- und Ausgabemittel 1, 2 trägt, ist über mindestens zwei Befestigungspunkte 12, 13 mit dem Systemgehäuse 14 verbunden. Die Befestigungspunkte 12, 13 sind derart ausgebildet, dass eine variable Anordnung einer Systembedieneinheit 30 möglich ist.
Das Systemgehäuse 14 besitzt mindestens eine erste und eine zweite Außenfläche 20, 21, wobei die Anordnung der Ein- und Ausgabemittel 1, 2 bei maximaler Schwenkung mit dem Haltebügel 4 derart ist, dass die aufweist, und dass die Befestigungspunkte 12, 13 derart am Systemgehäuse 14 vorgesehen sind, dass die Ein- und Ausgabemittel 1, 2 parallel zu der ersten oder eine zweiten Außenfläche 20, 21 sind. Die Ein- und Ausgabemittel 1, 2 sind entweder unmittelbar vor der ersten oder der zweiten Außenfläche 20, 21 anordenbar, so dass ein Benutzer entweder vor der ersten oder der zweiten Außenfläche 20, 21 stehend, das System über die Ein- und Ausgabemittel 1, 2 bedienen kann. In Bereich des Aufeinandertreffens der ersten und der zweiten Außenfläche 20, 21 ist die Säule 3 angebracht sind.
Wie bereits erwähnt ist am Systemgehäuse 14 die Säule 3 an entsprechenden Stellen vorgesehen. Der Haltebügel 4 ist z.B. mit der Säule 3 verschraubt. Am Haltebügel 4 ist mindestens eine drehbar gelagerte Befestigung 5, 6 zur Aufnahme eines Ein- und Ausgabemittels 1, 2 zur Steuerung des Systems vorgesehen. Zwischen der Säule 3 und der drehbar gelagerten Befestigung 5, 6 ist jeweils ein Auslenkbügel 7, 8 derart angebracht, dass bei einer Auslenkung des Haltebügels 4, die Ein- und Ausgabemittels 1, 2 entsprechend zu der ersten und/oder der zweiten Außenfläche 20, 21 des Systemgehäuses 14 ausrichtbar sind. Es ist selbstverständlich, dass die hier dargestellte erste und zweite Außenfläche 20, 21 nicht als Beschränkung aufgefasst werden kann. Die Anordnung der Systembedieneinheit 30, kann an zwei anderen, geeigneten Außenflächen des Systemgehäuses erfolgen.

Claims

Systemgehäuse (14), insbesondere für ein Inspektionsgerät, wobei am Systemgehäuse (14) eine Säule (3) durch mindestens zwei Träger (10, 9) an unterschiedlichen Stellen des Systemgehäuses (14) befestigt ist, und wobei an der Säule (3) ein Haltebügel (4) befestigt ist, so dass eine horizontale Auslenkung um eine vertikale Achse möglich ist, und dass mindestens eine drehbar gelagerte Befestigung (5, 6) am Haltebügel (4) zur Aufnahme eines Ein- und Ausgabemittels (1, 2) zur Steuerung des Systems vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Systemgehäuse (14) jeweils eine erste und eine zweite Außenfläche (20, 21) aufweist, und dass Befestigungspunkte (12, 13) derart am Systemgehäuse vorgesehen sind, dass die Säule (3) im Bereich des Aufeinandertreffens der ersten und der zweiten Außenfläche (20, 21) angebracht sind.
Systemgehäuse (14) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Anordnung der Ein- und Ausgabemittel (1, 2) bei maximaler Schwenkung derart ist, dass die Ein- und Ausgabemittel (1, 2) zu der ersten und/oder der zweiten Außenfläche (20, 21) parallel sind.
Systemgehäuse (14) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Säule (3) drehbar gelagert ist.
Systemgehäuse (14) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Säule (3) auf den Trägern (10, 9) drehbar gelagert ist, die sich vorzugsweise jeweils an gegenüberliegenden Enden der Säule (3) anschließen.
Systemgehäuse (14) nach einem der Ansprüche bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Säule (3), die Träger (10, 9) und der Haltebügel (4) als Kabelkanal (15) ausgebildet sind.
Systemgehäuse (14) nach einem der Ansprüche bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Leuchte (11) vorgesehen ist, die vorzugsweise in Verlängerung der Säule (3) angeordnet ist.
Systemgehäuse (14) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Haltebügel (4) U-förmig ausgebildet ist und mit der Säule (3) an zwei Stellen fest verbunden ist, und dass das Ein- und Ausgabemittel ein Monitor (1) und/oder eine Tastatur (2) ist.
Systemgehäuse (14) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Ein- und Ausgabemittel ein Monitor (1) und/oder eine Tastatur (2) ist.
Systemgehäuse (14) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass unabhängig von der Auslenkung des Haltebügels (4) immer eine Ausrichtung der Ein- und Ausgabemittel (1, 2) in Richtung eines Benutzers möglich ist.