DE10348027A1

DE10348027A1 - Testsonde mit variabler Impedanz

Info

Publication number: DE10348027A1
Application number: DE10348027A
Authority: DE
Inventors: Sachin Navin Roseville Chheda; Robert William Granite Bay Dobbs; Andrew Roseville Barr
Original assignee: Hewlett Packard Development Co LP
Current assignee: Hewlett Packard Development Co LP
Priority date: 2003-02-20
Filing date: 2003-10-15
Publication date: 2004-10-28
Also published as: US6970001B2; JP2004251908A; US20040164748A1

Abstract

Eine Testsonde mit einer variablen Impedanz der vorliegenden Erfindung weist einen ersten Signalleiter, einen ersten Massereferenzleiter und ein erstes dielektrisches Element auf, das zwischen dem ersten Signalleiter und dem ersten Massereferenzleiter angeordnet ist. Das dielektrische Element ist konfiguriert, um eine Impedanz des ersten Signalleiters relativ zum Massereferenzleiter selektiv zu variieren.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich allgemein auf ein Testen von Attributen eines elektrischen Signals und spezieller auf Testsonden, die zum Testen von Attributen eines elektrischen Signals verwendet werden.

Der Entwurf und die Herstellung eines elektrischen Schaltungsaufbaus setzt ein Testen verschiedener Attribute eines Signals voraus, das durch den Schaltungsaufbau getragen wird. Diese Signalattribute umfassen Parameter, wie z. B. eine Bitfehlerrate, eine Taktschwankung, ein Jitter etc., sowie andere bekannte Parameter, die einem elektrischen Schaltungsaufbau zugeordnet sind. Das Testen dieser Signalattribute ist sowohl bei einer herkömmlichen Signalisierung als auch bei einer Differenzsignalisierung von Bedeutung.

Die Differenzsignalisierung unterscheidet sich von der herkömmlichen Signalisierung dahingehend, daß ein Differenzsignal die Differenz bei Signalwerten zwischen zwei Entitäten ist. Eine LVDS (LVDS = Low Voltage Differential Signaling = Niederspannungs-Differenzsignalisierung) ist nur eine Implementierung der Differenzsignalisierung und weist einen Datenschnittstellenstandard auf, der für eine Hochgeschwindigkeitsübertragung von Binärdaten über Kupferdrähte und/oder Leiterbahnen einer gedruckten Schaltungsplatine verwendet wird. Die Niederspannungs-Differenzsignalisierung umfaßt die Verwendung eines Zweidrahtsystems für eine Datenübertragung bei niedriger Leistung, niedrigem Rauschen und niedriger Amplitude. Die Niederspannungs-Differenzsignalisierung wird typischerweise in einer Punkt-zu-Punkt-Schnittstelle physikalischer Schichten, wie z. B. Komponente-Zu-Komponenten-Verbindungen über Leiterbahnen einer gedruckten Schaltungsplatine angewendet. Andere Beispiele einer Differenzsignalisierung umfassen eine HVDS (HVDS = High Voltage Differential Signaling = Hochspan nungs-Differenzsignalisierung). Die Differenzsignalisierung scheint für ein Beschleunigen der Datenübertragung vielversprechend. Bei der Differenzsignalisierung muß jedoch noch mehr auf enge Toleranzen bei der Impedanz von Übertragungsleitungen einer Differenzsignalisierungs-Schnittstelle, wie z. B. Leiterbahnen einer gedruckten Schaltungsplatine, die ein Differenzpaar von Übertragungsleitungen bilden, geachtet werden.

Ob Forscher eine herkömmliche Signalisierung oder eine Differenzsignalisierung testen, würde sich der Entwurf und die Herstellung von Schnittstellen einer physikalischen Schicht und leitfähigen Elementen in einem elektrischen Schaltungsaufbau-Layout mit einem exakteren Signaltesten dementsprechend verbessern.

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung und ein Verfahren für ein exakteres Signaltesten zu schaffen.

Diese Aufgabe wird durch eine Testsonde mit variabler Impedanz gemäß den Ansprüchen 1, 9 oder 11 und ein Verfahren gemäß den Ansprüchen 14 oder 17 gelöst.

Ein Aspekt der vorliegenden Erfindung sieht eine Testsonde mit variabler Impedanz vor, die einen ersten Signalleiter, einen ersten Massereferenzleiter und ein erstes dielektrisches Element aufweist, das zwischen dem ersten Signalleiter und dem ersten Massereferenzleiter angeordnet ist. Das dielektrische Element ist konfiguriert, um eine Impedanz des ersten Signalleiters relativ zum Massereferenzleiter zu variieren.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachstehend Bezug nehmend auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
1 ein Diagramm eines Testsondensystems gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung,
2 eine perspektivische Ansicht einer Testsonde gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung,
3 eine Schnittansicht von 2, die entlang der Linien 3-3 erstellt wurde,
4 eine perspektivische Ansicht einer Testsonde gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung,
5 eine Schnittansicht von 4, die entlang der Linien 5-5 erstellt wurde,
6 eine perspektivische Ansicht einer Testsonde gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung,
7 eine Schnittansicht von 6, die entlang der Linien 7-7 erstellt wurde,
8 eine perspektivische Ansicht einer Testsonde gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung,
9 eine Schnittansicht von 8, die entlang der Linien 9-9 erstellt wurde.
In der nachstehenden ausführlichen Beschreibung der bevorzugten Ausführungsbeispiele wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die einen Teil derselben bilden, und in denen mittels einer Darstellung spezifischer Ausführungsbeispiele gezeigt sind, in denen die Erfindung praktiziert werden kann. Es wird darauf hingewiesen, daß andere Ausführungsbeispiele verwendet und strukturelle oder logi sche Veränderungen vorgenommen werden können, ohne vom Schutzbereich der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Die nachstehende ausführliche Beschreibung ist daher nicht als Einschränkung zu verstehen, und der Schutzbereich der vorliegenden Erfindung ist durch die angehängten Ansprüche definiert.
Ein Ausführungsbeispiel einer Testsonde der vorliegenden Erfindung bezieht sich auf ein Verbessern der Genauigkeit des Testens von Signalattributen eines elektrischen Schaltungsaufbaus und ermöglicht ein selektives Variieren einer Impedanz der Testsonde, um mit einer Impedanz eines leitfähigen Zielelements übereinzustimmen. Ein Ausführungsbeispiel einer Testsonde der vorliegenden Erfindung ist in einer einzelendigen Anordnung für ein herkömmliches Signaltesten implementiert und in einer Differenzanordnung für ein Differenzsignaltesten implementiert.
Ein Ausführungsbeispiel einer einzelendigen Anordnung der Testsonde umfaßt einen einzelnen Testsignalleiter und eine Massereferenz, wobei ein variables dielektrisches Element zwischen dem Signalleiter und der Massereferenz zum Variieren einer Impedanz der einzelendigen Testsonde angeordnet ist. Ein Ausführungsbeispiel einer Differenzanordnung der Testsonde umfaßt zwei Testsignalleiter, die jeweils von ihrem eigenen Massereferenzleiter beabstandet sind. Bei einem Ausführungsbeispiel ist ein variables dielektrisches Element zwischen den Testsignalleitern und zwischen jedem Signalleiter und seinem Massereferenzleiter angeordnet.
Beispielhafte Implementierungen eines variablen dielektrische Elements von diesen Testsonden umfassen eine aufpumpbare Dielektrisches-Fluid-Kammer, die ein selektives Variieren einer Beabstandung zwischen den jeweiligen Signalleitern und Massereferenzleitern ermöglicht, um dadurch eine Impedanz zwischen diesen jeweiligen Leitern selektiv zu variieren. Durch diese selektive Einstellung der individuellen Impedanz zwischen den jeweiligen Signalleitern und Massereferenzleitern wird die Gesamtimpedanz der Testsonde auf einen gewünschten Pegel eingestellt. Bei einem Ausführungsbeispiel ist die Impedanz der Testsonde eingestellt, um im wesentlichen mit der Impedanz von leitfähigen Zielelementen übereinzustimmen, obwohl die Impedanz der Testsonde optional auf eine beliebige Impedanz einstellbar ist, die für den Zweck des Signaltestens als geeignet. erachtet wird.
Wie in 1 gezeigt ist, wird ein Ausführungsbeispiel eines Testsondensystems 10 einer variablen Impedanz der vorliegenden Erfindung zum Testen von Integritätsattributen eines Differenzsignals von einzelnen Signalen, die auf einzelnen leitfähigen Elementen getragen werden, und/oder Differenzsignalen, die auf Differenzsignalelementen auf einer Schnittstelle 12 einer physikalischen Schicht, wie z. B. einer gedruckten Schaltungsplatine 13, getragen werden, verwendet. Das Sondensystem 10 umfaßt einen Sondenkörper 20, eine Sondenüberwachungseinrichtung 22, ein Fluidreservoir 24, eine Fluidpumpe 26 und Testleitungen 28, 30, die sich vom Sondenkörper 20 erstrecken.
Die Testleitungen 28, 30 sind vorgesehen, um ein Testsignal von einem Sondensystem 10 auf ein leitfähiges Zielelement, wie z. B. die Elemente 56, anzulegen. Die Testleitungen 28 und 30 sind beide beim Testen einer Differenzsignalisierung vorgesehen. Jedoch wird nur eine der Testleitungen 28, 30 beim Testen einer herkömmlichen Signalisierung eines einzelnen leitfähigen Zielelements verwendet, wie nachstehend in Verbindung mit 6–9 ausführlicher beschrieben wird.
Bei einem Ausführungsbeispiel sind das Reservoir 24 und der Sondenkörper 20 zumindest teilweise mit dem dielektrischen Fluid 31 befüllt. Die Fluidleitung 27 verbindet das Fluidreservoir 24 und die Fluidpumpe 26 mit dem Sondenkörper 20, während die elektrischen Leitungen 23, 25 eine elektrische Kommunikation zwischen der Sondenüberwachungseinrich tung 22 und dem Sondenkörper 20 einrichten. Die Fluidpumpe 26 ist ebenfalls in elektrischer Kommunikation mit einer Sondenüberwachungseinrichtung 22 über eine elektrische Verknüpfung 49, um der Fluidvolumensteuerung 44 der Sondenüberwachungseinrichtung 22 zu ermöglichen, den Betrieb der Fluidpumpe 26 zu regulieren.
Die Sondenüberwachungseinrichtung 22 umfaßt eine Anzeige 40, Multisteuerungen 42 und eine Fluidvolumensteuerung 44 mit einer Kammersteuerung 46 und einer Volumeneinstelleinrichtung 48. Die Fluidpumpe 26 steuert in Kooperation mit der Fluidvolumensteuerung 44 der Sondenüberwachungseinrichtung 22 das Volumen des dielektrischen Fluids innerhalb des Sondenkörpers 22 zum Steuern der Differenzimpedanz des Sondensystems 10 zwischen den Testleitungen 28, 30. Die Struktur des Sondenkörpers 20 und die Verwendung des dielektrischen Fluids 31 im Sondenkörper 20 wird in Verbindung mit 2 und 3 ausführlicher beschrieben. Dementsprechend drückt die Fluidpumpe 26 unter Verwendung der Volumeneinstelleinrichtung 48 zusätzliches Fluid vom Fluidreservoir 24 in den Sondenkörper 20 oder zieht Fluid vom Sondenkörper 20 zur Speicherung in das Fluidreservoir 24, um das Volumen des dielektrischen Fluids jeweils in den Kammern 70, 72 und 74 zu erhöhen. Die Kammersteuerung 46 ermöglicht ein Leiten einer Steuerung eines Fluidvolumens in spezifischen Kammern (z. B. Kammer 1, Kammer 2, Kammer 3) des Sondenkörpers 20 über einen Verteiler, der zwischen der Pumpe 26 und dem Sondenkörper 20 angeordnet ist, wie in Verbindung mit 2 und 3 ausführlicher dargestellt ist.
Die Multisteuerungen 42 ermöglichen die Steuerung des Messens und des Anwendens der Spannungen, des Stroms und der Impedanz durch die Testleitungen 28, 30.
Die Schnittstelle 12 einer physikalischen Schicht (wie z. B. die gedruckte Schaltungsplatine 13) umfaßt eine DS-Schnittstelle 50 (DS = Differenz Signaling = Differenzsignalisierung), die ein erstes logisches Element 52, ein zweites logisches Element 54 und Übertragungsleitungen 56 umfaßt, die das erste logische Element 52 und das zweite logische Element 54 verbinden. Die Übertragungsleitungen 56 sind vorzugsweise Kupferdrähte und/oder Leiterbahnen einer gedruckten Schaltungsplatine und liefern lediglich ein Beispiel eines leitfähigen Zielelements, auf das ein Testsignal durch das Sondensystem 10 durch die Testleitungen 28, 30 angelegt werden kann. Bei dem von der LVDS-Schnittstelle 50 gezeigten Beispiel weist das erste logische Element 52 einen LVDS-Treiber auf, der ein TTL/CMOS-Signal in ein Niederspannungs-Differenzsignal umwandelt, das mit einer hohen Geschwindigkeit über die Übertragungsleitungen 56 zu einem zweiten logischen Element 54 wandert, wie z. B. einem LVDS-Empfänger, der dann das Differenzsignal wieder in ein TTL/CMOS-Signal übersetzt.
Die Knoten 58 stellen exemplarische Positionen entlang der leitfähigen Zielelemente 56 der Schnittstelle 12 einer physikalischen Schicht dar, bei der die Testleitungen 28, 30 des Sondensystems 10 aufgebracht werden können, wie z. B. die Eingaben des ersten logischen Elements 54. Außerdem ist die Verwendung des Sondensystems 10 nicht nur auf die Verwendung mit einer gedruckten Schaltungsplatine beschränkt, sondern erstreckt sich auf andere Differenzsignalisierungs-Komponente-Zu-Komponenteanordnungen und Schaltungsaufbauanordnungen einer herkömmlichen Signalisierung (wie in Verbindung mit 6–9 beschrieben wurde).
2 ist eine perspektivische Ansicht eines Ausführungsbeispiels eines Sondenkörpers 20 des Sondensystems 10. Wie in 2 gezeigt ist, weist der Sondenkörper 20 einen Verteiler 60, eine leitfähige Maschenhülse 62 und eine äußere Isolatorabdeckung 64 auf. Der Sondenkörper 20 weist auch eine erste, zweite und dritte aufpumpbare Kammer 70, 72 bzw. 74 auf. Zunächst werden die Signalleiter 80 und 82 auf gegenüberliegenden Seiten der ersten aufpumpbaren Kammer 70 angeordnet, die zwischen den Leitern 80 und 82 sandwichartig angeordnet ist. Die Leiter 90 und 92 sind auf einer äußeren Oberfläche der zweiten Kammer 72 und der dritten Kammer 74 angeordnet.
Die Leiter 80 und 82 sind elektrisch leitfähige Signalelemente, und die Leiter 90 und 92 sind elektrisch leitfähige Platten mit Leitern 90 und 92, die vorgesehen sind, um als eine Massereferenz für den Sondenkörper 20 zu dienen, während die Leiter 80 und 82 vorgesehen sind, um ein erstes bzw. zweites Testsignal an die und von den Testleitungen 28, 30 zu tragen.
Der Verteiler 60 richtet zusammen mit der Fluidleitung 27 eine Fluidkommunikation zwischen der Pumpe 26 und dem Sondenkörper 20 ein und wird nachstehend in Verbindung mit 3 ausführlicher beschrieben. Die leitfähige Maschenhülse 62 ist vorzugsweise ein erweiterbares, allgemein zylindrisch geformtes, leitfähiges Maschennetz zur Eingriffnahme mit einem Sondenkörper 20 mit einem kompakten erweiterbaren Paßsitz. Die Maschenhülse 62 ist vorzugsweise mit einer Massereferenz verbunden und dient zum Schutz des Sondenkörpers 20 vor einer Interferenz. Die Isolierabdeckung 64 ist optional sowohl als eine elektrische als auch mechanische Schutzabdeckung vorgesehen.
3 ist eine Schnittansicht von 2 und stellt eine innere Struktur von einem Ausführungsbeispiel des Sondenkörpers 20, der den Verteiler 60 umfaßt, dar. Jede Kammer 70, 72 und 74 ist mit einem dielektrischen Fluid 31 befüllt und umfaßt optional eine Mehrzahl von Ablenkblechen 152 zum Regulieren einer Fluidverteilung durch jede Kammer. Die Kammern 70, 72, 74 sind vorzugsweise aus einer aufpumpbaren Blase gebildet und weisen ein elastisches oder viscoelastisches Material auf, das sich ansprechend auf einen jeweiligen Anstieg und eine Abnahme des Volumens des dielektrischen Fluids 31 in der Blase ausdehnt und zusammenzieht. Die Ablenkbleche 152 erstrecken sich durch jede der Kammern 70, 72, 74 zum Sicherstellen eines ordnungsgemäßen Flusses und einer ordnungsgemäßen Verteilung des dielektrischen Fluids 31 in den Kammern 70, 72, 74.
Der Verteiler 60 weist einen Fluiddurchgang 100, einen ersten Port 102, einen zweiten Port 104, einen dritten Port 106 und Ventile 110 auf. Die Fluidleitung 27 ist in Fluidkommunikation mit den Kammern 70, 72, 74 über die Ports 102–106 und den Fluiddurchlaß 100. Die Ventile 110 werden durch eine Fluidvolumensteuerung 44 der Sondenüberwachungseinrichtung 22 über elektrische Leitungen 23 elektrisch gesteuert und weisen eine Öffnung einer variablen Größe sowie vollständig offene und geschlossene Positionen zum Regulieren eines Fluidflusses durch den ersten Port 102, den zweiten Port 104, und den dritten Port 106 in die jeweiligen Kammern 70, 72 und 74 auf. Dementsprechend ist der Verteiler 60 in Kooperation mit der Pumpe konfiguriert, um einen Fluß eines dielektrischen Fluids in und aus einer oder mehreren der Kammern 70, 72 und 74 selektiv zu ermöglichen.
3 zeigt auch eine Entfernungsmessung D, die die Entfernung zwischen den Testsignalleitern 80 und 82 darstellt, und eine Entfernungsmessung H, die die Entfernung zwischen dem ersten Testsignalleiter 80 und einem Massereferenzleiter 92 und die Entfernung zwischen dem zweiten Testsignalleiter 82 und dem Massereferenzleiter 90 darstellt. Ein erstes Testsignal, das auf dem ersten Testsignalleiter 80 getragen wird, wird durch die Bezeichnung S1 entlang dem Leiter 80 dargestellt, während das zweite Testsignal, das auf dem zweiten Testsignalleiter 82 getragen wird, durch die Bezeichnung S2 entlang dem Leiter 82 dargestellt wird. Das erste Testsignal S1 erstreckt sich von der Sondenüberwachungseinrichtung 22 durch den Sondenkörper zur Testleitung 28, während das zweite Testsignal S2 sich von der Sondenüberwachungseinrichtung 22 durch den Sondenkörper 20 zur Testleitung 30 erstreckt. Die Massereferenzleiter 90 und 92 sind mit einer Massereferenz, die durch die benach barten Leiter 90, 92 mit der Bezeichnung GND1 und GND2 dargestellt ist, elektrisch verbunden.
Die Leiter 80, 82, 90 und 92 sind vorzugsweise aus einem Material gefertigt, das Eigenschaften aufweist, die ein Erreichen des Impedanzbereichs der leitfähigen Zielelemente 56 (z. B. Übertragungsleitungen) der Schnittstelle 12 einer physikalischen Schicht, die getestet werden soll, ermöglichen. Die Leiter 80, 82, 90 und 92 sind z. B. vorzugsweise aus Kupfer gefertigt, obwohl sie jeweils aus einem anderen leitfähigen Material gefertigt sein können, wie z. B. einer Legierung, die im wesentlichen mit den Legierungen identisch ist, die zum Erstellen der Bahnen (z.B. Übertragungsleitungen) auf einer gedruckten Schaltungsplatine 13 verwendet werden. Das dielektrische Fluid 150 ist ein nicht entflammbares dielektrisches Fluid, wie z. B. Flutec, das bekannte Impedanzcharakteristika und dielektrische Charakteristika aufweist. Das dielektrische Fluid Flutec ist von der Firma F2 Chemicals Ltd (eine Tochtergesellschaft der Asahi Glass Company Ltd, Mitsubishi Corporation and Miteni SpA) in Großbritannien erhältlich.
Der Sondenkörper 20 wird durch Befestigen der Leiter 80 und 82 auf den gegenüberliegenden Seiten der Kammer 70 mit einem nicht leitfähigen Haftmittel konstruiert. Diese Anordnung wird dann in einen Zwischenraum zwischen den Kammern 72 und 74 mit den Leitern 90, 92, die an einer äußeren freigelegten Oberfläche der Kammern 72 und 74 haftend angelegt werden, eingeführt.
Die Impedanz des Sondenkörpers 20 basiert auf einer Vielfalt an Faktoren – einer Separationsentfernung zwischen den zwei Signalleitern 80 und 82, einer Separationsentfernung zwischen den zwei Signalleitern und den Massereferenzebenen 90 und 92, einer Breite der Signalleiter 80 und 82, einer Dicke der Signalleiter 80 und 82, dem Material, das für die Signalleiter und das verwendete dielektrische Fluid 31 verwendet wird. Eine ausführlichere Beschreibung der Fakto ren, die die Impedanz beeinflussen, ist in High-Speed Digital System Design von Hall, Hall und McCall (ISBN 0-471-36090-2) vorgesehen. Zusätzlich beeinflußt die geometrische räumliche Beziehung zwischen den Signalleitern 80 und 82 ebenfalls die Impedanz der Sonde 20, wie z. B. ob ein Körper von Leitern 80, 82 allgemein einander zugewandt sind, wie in 2–3, (d. h. die Signalleiter 80, 82 sind breitseitig gekoppelt) oder ob eine Kante von Signalleitern allgemein einander zugewandt sind, wie nachstehend in Verbindung mit 4–5 beschrieben wird (d. h. die Signalleiter 160 und 162 sind kantengekoppelt).
Unter Verwendung all dieser Impedanzparameter wird die Impedanz der Sonde 20 durch die Sondenüberwachungseinrichtung 22 berechnet und über Multisteuerungen 42 und die Anzeige 40 der Sondenüberwachungseinrichtung 22 während der Einstellung der Impedanz der Sonde 20 und während des Testens von leitfähigen Zielelementen überwacht.
Dementsprechend kann ein Operator durch Variieren des Volumens des dielektrischen Fluids 31 in den Kammern 72 und 74 (über die Pumpe 26 und die Sondenüberwachungseinrichtung 22) die Entfernungen H variieren, wodurch die Impedanz der Signalleiter 80 und 82 relativ zu einer Massereferenz an den Leitern 90 und 92 selektiv modifiziert wird. Zusätzlich kann ein Operator durch Variieren des Volumens des Fluids 31 in der Kammer 70 eine Distanz D variieren, wodurch ein weiteres Verfahren zum Modifizieren der Differenzimpedanz für die Signalleiter 80, 82 geschaffen wird.
Während der Verwendung, wie in 1 gezeigt ist, werden die Testleitungen 28 und 30 des Sondensystems 10 bei einem Differenzpaar von DS-Knoten 58 plaziert, wie z. B. dem Ende eines Paars von leitfähigen Zielelementen 56, wie z. B. die LVDS-Übertragungsleitungen zum Testen von unterschiedlichen Signalintegritätsattributen des Differenzpaars von leitfähigen Zielelementen 56. Vor, während oder nach dieser Messung stellt der Operator den Raum zwischen den Testsig nalleitern 80 und 82 und/oder den Raum zwischen jedem Testsignalleiter 80, 82 und seinem jeweiligen Masseleiter 90, 92 ein, um eine Zielimpedanz des Sondensystems 10 (und zwischen den Leitungen 28, 30) zu erreichen, die an die Impedanz zwischen den leitfähigen Zielelementen 56 (z. B. den Übertragungsleitungen), die an den Zielknoten 58 gemessen wird, möglichst eng angepaßt ist.
Das Einstellen der Impedanz des Sondensystems 10 erfolgt durch eine Fluidvolumensteuerung 44 der Sondenüberwachungseinrichtung 22, die dem Operator ermöglicht, das Volumen des dielektrischen Fluids 31 in den Kammern 70, 72 und 74 zu ändern. Unter Verwendung der Kammerauswähleinrichtung 46 der Fluidvolumensteuerung 44 wählt der Operator eine oder mehrere Kammern 70, 72, 74 (die in der Kammerauswähleinrichtung als die Kammern 1, 2 und 3 dargestellt sind) zur Einstellung aus und verwendet dann die Volumeneinstelleinrichtung 48, um das Volumen des Fluids 31 über die Pumpe 26 in der ausgewählten Kammer (z. B. Kammer 70, 72, 74) zu senken oder zu erhöhen. Ein Befehl der Volumeneinstelleinrichtung 48 zum Erhöhen oder Senken eines Fluidvolumens in einer Kammer (z. B. einer Kammer 70) bewirkt, daß ein Ventil 110 eines entsprechenden Ports (z.B. des Ports 104 des Verteilers 60) sich öffnet, um zu ermöglichen, daß mehr Fluid in diese Kammer geschoben wird oder von dieser Kammer durch die Pumpe 26 herausgezogen wird. Wenn die gewünschte Menge des Fluids in der Kammer, die eingestellt wird, erreicht worden ist, dann bewirkt die Fluidvolumensteuerung 44, daß sich das Ventil 110 des entsprechenden Ports schließt. Die Ventile 110 können auch den Grad des Öffnens des Ventils variabel steuern, der durch die Fluidvolumensteuerung 44 gesteuert wird, um die Flußverwaltung während des Aufpumpens und des Abpumpens in jeder Kammer zu unterstützen.
Während einer beliebigen Einstellung des Fluidvolumens von einer der Kammern 70, 72 und 74 wird die Impedanz der Signalleiter 80, 82 relativ zueinander und/oder relativ zu ihren jeweiligen Massereferenzleitern 90, 92 auf der Anzeige 40 angezeigt, so daß der Operator das Fluidvolumen einstellen kann, bis der gewünschte Impedanzpegel für den gesamten Sondenkörper 20 erreicht worden ist und ebenfalls auf der Anzeige 40 angezeigt wird.
Wie in 4 gezeigt ist, wird auch ein Ausführungsbeispiel einer Testsonde 150 der vorliegenden Erfindung für ein Testen von Signalattributen eines Paars von leitfähigen Zielelementen, das die Differenzsignale trägt, geschaffen.
Die Testsonde 150 weist Massereferenzleiter 90 und 92 sowie erste und zweite dielektrische Fluidkammern 72 und 74 auf, die im wesentlichen die gleichen Merkmale und Attribute aufweisen, die in Verbindung mit den 1–3 beschrieben sind. Die Sonde 150 weist auch den ersten Signalleiter 160, den zweiten Signalleiter 162 und den Verteiler 170 auf. Die Signalleiter 160 und 162 weisen Enden 164, innere Seitenkanten 166, äußere Seitenkanten 168 und einen Körper 169 auf. Der erste Signalleiter 160 und der zweite Signalleiter 162 sind zwischen der ersten dielektrischen Kammer 72 und der zweiten dielektrischen Kammer 74 sandwichartig angeordnet und sind mit ihren Längsachsen allgemein parallel zueinander und zu ihren Seitenkanten 166 in einer gekoppelten Anordnung ausgerichtet. Der erste Signalleiter 160 und 162 sind ebenfalls allgemein parallel zu einer Längsachse der Massereferenzleiter 90, 92 und den Kammern 72, 74 ausgerichtet. Wie in 4 gezeigt ist, sind die inneren Seitenkanten 166 der Signalleiter 160 und 162 der Sonde 150 (für eine Kantenkopplung) allgemein einander zugewandt und sind voneinander um eine feststehende Entfernung D beabstandet.
5 ist eine Schnittansicht der Sonde 150, die in 4 gezeigt ist, die entlang der Linien 5-5 erstellt wurde. Wie in 5 gezeigt ist, umfaßt der Verteiler 170 einen Fluiddurchlaß 200, einen ersten Port 202, einen zweiten Port 206 und Ventile 210. Die Fluidleitung 27 ist in einer Fluidkommunikation mit den Kammern 72 und 74 über die Ports 202, 206 und den Fluiddurchlaß 200. Die Ventile 210 sind durch die Fluidvolumensteuerung 44 der Sondenüberwachungseinrichtung 22 (1) über die elektrischen Leitungen 23 elektrisch gesteuert und weisen eine Öffnung einer variablen Größe auf sowie Völlig-Offen- und Geschlossen-Positionen zum Regulieren des Fluidflusses durch den ersten Port 202, den zweiten Port 206 in die jeweiligen Kammern 72 und 74. Bei allen anderen Ansichten trägt der Verteiler 170 im wesentlichen die gleichen Attribute und Merkmale wie der Verteiler 60, der in Verbindung mit 1–3 beschrieben wurde.
Die Sonde 150 weist eine Differenzimpedanz auf, die durch die Anordnung der Signalleiter 160, 162 relativ zu dem Paar von Massereferenzleitern 90 und 92 variiert wird. Diese Impedanz wird durch Variieren der Beabstandung H zwischen den Signalleitern 160, 162 relativ zu jedem Massereferenzleiter 90 und 92 selektiv variiert. Das Einstellen der Beabstandung H wird durch Variieren des Volumens eines dielektrischen Fluids in der Kammer 72 bzw. Kammer 74 über den Verteiler 170 (und die dazugehörige Pumpe 26, das Reservoir 24, eine Sondenüberwachungseinrichtung 22 etc., wie in 1 zu sehen ist) erreicht. Trotz dieser Veränderung in der Beabstandung H bleibt die Entfernung D zwischen den Signalleitern 160, 162 fest. Die Impedanz der Testsonde 150 wird dadurch selektiv modifiziert, um sich einer Impedanz der leitfähigen Zielelemente 56 (1) zum Verbessern eines exakten Testens von Signalattributen durch die leitfähigen Zielelemente 56 zu nähern.
Jede der Testsonden 20 oder 150 der vorliegenden Erfindung kann zum Testen von Signalattributen in einem Differenzsignalschaltungsaufbau verwendet werden. Aufgrund der unterschiedlichen Anordnungen von jeder der Testsonden, wobei die Testsonde 20 breitseitig gekoppelte Signalleiter und die Testsonde 150 kantengekoppelte Signalleiter aufweist, verwenden diese Testsonden 20, 150 eine andere Berechnung, um zu ihren jeweiligen Impedanzen zu gelangen.
Bei einer alternativen Anordnung wird eine einzelendige Testsonde der vorliegenden Erfindung für ein Testen einer herkömmlichen Signalisierung in einzelnen leitfähigen Zielelementen geschaffen, wie z. B. zum Testen von Speicherelementen, die Adreßinformationen und Daten halten. Die Schnittstelle 12 einer physikalischen Schicht (1) kann beispielsweise Logikelemente tragen, die für ein herkömmliches Signalisieren mit leitfähigen Zielelementen, die einzelne Signale tragen, angeordnet sind. Dementsprechend kann man unter Verwendung von einer der Testsonden 230 oder 250 der vorliegenden Erfindung, die nachstehend beschrieben wird, Signalattribute, die durch ein einzelnes leitfähiges Zielelement 56 getragen werden, testen.
Wie in 6–7 gezeigt ist, sieht ein Ausführungsbeispiel einer Testsonde 230 der vorliegenden Erfindung eine einzelendige Sonde vor, die durch einen Sondenkörper 20 vom System 10 ersetzt werden kann. Die Testsonde 230 weist Massereferenzleiter 90, 92 sowie erste und zweite dielektrische Fluidkammern 72 und 74 auf. Zusätzlich umfaßt die Sonde 230 einen einzelnen Signalleiter 232, der zwischen der ersten dielektrischen Fluidkammer 72 und der zweiten dielektrischen Fluidkammer 74 angeordnet ist. Der einzelne Signalleiter 232 ist mit einer der Testleitungen 28 oder 30 von System 10 verbunden, um eine einzelendige Testsonde zu erzeugen. Der Verteiler 170 weist im wesentlichen die gleichen Attribute und Merkmale wie der Verteiler 170 von 4–5 auf und kooperiert mit den Kammern 72 und 74 zum Variieren des Volumens des dielektrischen Fluids in diesen Kammern.
Die Testsonde 230 weist eine Impedanz auf, die durch die Anordnung des Signalleiters 232 relativ zu dem Paar von Massereferenzleitern 90 und 92 beeinflußt wird. Andere Parameter, die diese Impedanz beeinflussen, bleiben beste hen, wie z. B. andere geometrische Beziehungen und Materialien, die vorstehend in Verbindung mit 1–3 beschrieben wurden. Diese Impedanz wird durch Variieren der Beabstandung H zwischen dem Signalleiter 232 und den Massereferenzleitern 90 und 92 selektiv variiert, was durch Variieren des Volumens des dielektrischen Fluids in der Kammer 72 bzw. der Kammer 74 über den Verteiler 270 (und die dazugehörige Pumpe 26, das Reservoir 24, die Sondenüberwachungseinrichtung 22 etc., die in 1 gezeigt sind) erreicht wird. Die Impedanz der Testsonde 230 wird dadurch selektiv modifiziert, um sich einer Impedanz eines leitfähigen Zielelements zum Verbessern eines exakten Testens der Signalattribute durch das leitfähige Zielelement zu nähern (d. h. im wesentlichen mit derselben übereinzustimmen). Alternativ wird die Impedanz der Testsonde 230 nach Wunsch auf einem beliebigen Pegel modifiziert, der zum Testen eines Signalattributs geeignet ist.
Wie in 8–9 gezeigt ist, sieht ein Ausführungsbeispiel einer Testsonde 250 der vorliegenden Erfindung auch eine einzelendige Testsonde mit einer variablen Impedanz vor. Die Testsonde 250 kann auch durch den Sondenkörper 20 in 1 des Sondensystems 10 ersetzt werden und weist einen Massereferenzleiter 92, eine erste dielektrische Fluidkammer 72 und einen Signalleiter 252 auf.
Der Verteiler 270 weist einen Fluiddurchlaß 300, einen Port 302 und ein Ventil 310 auf. Die Fluidleitung 27 ist in Fluidkommunikation mit der Kammer 72 über die Ports 302 und den Fluiddurchlaß 300. Das Ventil 310 wird durch die Fluidvolumensteuerung 44 der Sondenüberwachungseinrichtung 22 (1) über elektrische Leitungen 23 elektrisch gesteuert und weist eine Öffnung einer variablen Größe auf sowie Völlig-Offen- und Geschlossen-Positionen zum Regulieren des Fluidflusses durch den Port 302 in die Kammer 72. Bei allen anderen Ansichten trägt der Verteiler 270 im wesentlichen die gleichen Attribute und Merkmale wie der Verteiler 60, der in Verbindung mit 1–3 beschrieben wurde.
Die Sonde 250 weist eine Impedanz auf, die durch die Anordnung des Signalleiters 252 relativ zum Paar von einem Massereferenzleiter 92 beeinflußt wird. Andere Parameter, die diese Impedanz beeinflussen, bleiben bestehen, wie z.B. andere geometrische Beziehungen und Materialien, die zuvor in Verbindung mit 1–3 beschrieben wurden. Diese Impedanz wird durch Variieren der Beabstandung H zwischen dem Signalleiter 252 und dem Massereferenzleiter 92 durch Variieren des Volumens des dielektrischen Fluids in der Kammer 72 über den Verteiler 270 (und die dazugehörige Pumpe 26, das Reservoir 24, die Überwachungseinrichtung 22 etc., wie in 1 zu sehen ist) selektiv variiert. Die Impedanz der Testsonde 250 wird dadurch selektiv modifiziert, um sich einer Impedanz eines leitfähigen Zielelements zum Verbessern eines exakten Testens der Signalattribute durch das leitfähige Zielelement zu nähern (z. B. um an dieselbe im wesentlichen angepaßt zu sein). Alternativ wird die Impedanz der Testsonde 250 auf Wunsch auf einen beliebigen Pegel modifiziert, der zum Testen eines Signalattributs geeignet ist.
Schließlich können verschiedene Modifizierungen an der Testsonde der vorliegenden Erfindung vorgenommen werden. Eine Differenzsonde 20, 250 kann beispielsweise optional als eine einzelendige Sonde durch Kollabieren von einem ihrer Signalleiter 80, 82 gegeneinander oder durch Kollabieren von einem der Signalleiter 80, 82 gegen ihren jeweiligen Massereferenzleiter 90, 92, Berechnen der Impedanz der Sonde und dann Anlegen von nur einer der Testleitungen 28 oder 30 als eine einzelendige Sonde verwendet werden. Ein Testsondensystem der vorliegenden Erfindung kann ein selektives Variieren einer Impedanz der Testsonde ermöglichen, um an eine Impedanz eines leitfähigen Zielelements im wesentlichen angepaßt zu sein, um ein Testen nach unterschiedlichen Signalattributen eines leitfähigen Elements zu verbessern. Die Testsonde der vorliegenden Erfindung kann sowohl einzelendige angeordnete Sonden für ein herkömmli ches Signaltesten sowie doppelendige angeordnete Sonden für ein Differenzsignaltesten umfassen.
Obgleich spezifische Ausführungsbeispiele hierin zu Beschreibungszwecken des bevorzugten Ausführungsbeispiels dargestellt und beschrieben worden sind, werden Fachleute darauf hingewiesen, daß viele verschiedene alternative und/oder entsprechende Implementierungen die spezifischen Ausführungsbeispiele, die gezeigt und beschrieben wurden, ersetzen können, ohne vom Schutzbereich der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Fachleute im Gebiet der Chemie, Mechanik, Elektromechanik, Elektrotechnik und Informatik werden ohne weiteres erkennen, daß die vorliegende Erfindung in vielen verschiedenen Ausführungsbeispielen implementiert sein kann. Diese Anmeldung soll beliebige Anpassungen oder Variationen der bevorzugten Ausführungsbeispiele, die hierin erörtert wurden, abdecken. Daher wird insbesondere die Absicht verfolgt, daß diese Erfindung nur durch die Ansprüche und die Entsprechungen derselben begrenzt sein soll.

Claims

Testsonde (20, 150, 230, 250) mit einer variablen Impedanz, die folgende Merkmale aufweist: einen ersten Signalleiter (80, 160, 232, 252) und einen ersten Massereferenzleiter (90, 92); und ein erstes dielektrisches Element (70, 72, 74), das zwischen dem ersten Signalleiter (80) und dem ersten Massereferenzleiter (90) angeordnet ist und konfiguriert ist, um eine Impedanz des ersten Signalleiters relativ zu dem ersten Massereferenzleiter (92) zu variieren.
Testsonde (20, 150, 230, 250) gemäß Anspruch 1, bei der das erste dielektrische Element folgende Merkmale aufweist: eine erste dielektrische Fluidkammer (70, 72, 74), die zwischen dem ersten Signalleiter und dem ersten Massereferenzleiter angeordnet ist und konfiguriert ist, um ein dielektrisches Fluid (31) zu halten und für ein Aufpumpen und Abpumpen mit dem dielektrischen Fluid konfiguriert ist, um eine variable Impedanz des ersten Signalleiters relativ zu dem ersten Massereferenzleiter (90) durch Variieren des Volumens des dielektrischen Fluids in der ersten Kammer und dadurch Variieren einer Entfernung zwischen dem ersten Signalleiter und dem Massereferenzleiter zu erzeugen.
Sonde (20, 150, 230, 250) gemäß Anspruch 2, die ferner folgende Merkmale aufweist: ein Fluidreservoir (24), das zum Halten des dielektrischen Fluids konfiguriert ist; eine Pumpe (26) in Fluidkommunikation mit dem Fluidreservoir und die konfiguriert ist, um ein Volumen des dielektrischen Fluids (31) in der dielektrischen Fluidkammer der Sonde zu steuern; und einen Verteiler (60, 170, 270) in Fluidkommunikation mit der Pumpe und der Sonde, der zwischen denselben angeordnet ist und zum selektiven Ermöglichen eines Flusses des dielektrischen Fluids (31) in und aus der ersten Kammer konfiguriert ist.
Sonde (20, 150, 230, 250) gemäß Anspruch 3, die ferner eine Sondenüberwachungseinrichtung aufweist, die folgende Merkmale aufweist: eine Fluidvolumensteuerung (44) mit einer Volumeneinstelleinrichtung (48), die zum Steuern, durch die Pumpe und den Verteiler, eines Anstiegs oder einer Abnahme des Volumens des dielektrischen Fluids in der ersten Kammer konfiguriert ist.
Sonde (20, 150, 230, 250) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, bei der die Sonde ferner folgende Merkmale aufweist: einen zweiten Massereferenzleiter (92); ein zweites dielektrisches Element (72, 74), das zwischen dem ersten Signalleiter (232) und dem zweiten Massereferenzleiter (92) angeordnet ist, wobei das zweite dielektrische Element (74) konfiguriert ist, um sein Volumen zu variieren, um eine Entfernung und eine Impedanz zwischen dem ersten Signalleiter (232) und dem zweiten Massereferenzleiter (92) zu variieren, und wobei das erste und das zweite dielektrische Element (72, 74) auf gegenüberliegenden Seiten des ersten Signalleiters (232) angeordnet sind.
Sonde (20) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Impedanzsonde (20) folgende Merkmale aufweist: einen zweiten Signalleiter (82); einen zweiten Massereferenzleiter (92); ein zweites dielektrisches Element (74), das zwischen dem zweiten Signalleiter (82) und dem zweiten Massereferenzleiter (92) angeordnet ist, wobei das zweite dielektrische Element (74) konfiguriert ist, um sein Volumen zu variieren, um eine Entfernung zwischen dem ersten Signalleiter (80) und dem zweiten Massereferenzleiter (92) zu variieren, um dadurch eine Impedanz des zweiten Signalleiters (82) relativ zu dem ersten und dem zweiten Massereferenzleiter zu variieren; und ein drittes dielektrisches Element (70), das zwischen dem ersten Signalleiter (80) und dem zweiten Signalleiter (82) angeordnet ist, wobei das dritte dielektrische Element (70) konfiguriert ist, um sein Volumen zu variieren, um eine Entfernung zwischen dem ersten Signalleiter (80) und dem zweiten Signalleiter (82) zu variieren, um dadurch eine Differenzimpedanz des ersten und des zweiten Signalleiters (80, 82) relativ zu dem ersten und dem zweiten Massereferenzleiter (90, 92) zu variieren.
Sonde (20) gemäß Anspruch 6, bei der eine Längsachse des ersten und des zweiten Signalleiters (80, 82) allgemein parallel zu einer Längsachse des ersten und des zweiten Masseleiters (90, 92) ist und ein Körper des ersten Signalleiters (80) allgemein einem Körper des zweiten Signalleiters (82) zugewandt ist,
Sonde (20) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, bei der die Impedanzsonde folgende Merkmale aufweist: einen zweiten Signalleiter (82), der entlang des ersten Signalleiters (80) angeordnet ist, wobei sich der erste und der zweite Signalleiter im wesentlichen in der gleichen Ebene erstrecken, wobei eine Seitenkante des ersten Signalleiters allgemein einer Seitenkante des zweiten Signalleiters zugewandt ist, und wobei eine Längsachse des ersten und des zweiten Signalleiters allgemein parallel zu einer Längsachse des ersten und des zweiten Masseleiters ist; einen zweiten Massereferenzleiter (92); und ein zweites dielektrisches Element (74), das zwischen dem zweiten Massereferenzleiter (92) und dem ersten und dem zweiten Signalleiter angeordnet ist, wobei das zweite dielektrische Element konfiguriert ist, um sein Volumen zu variieren, um eine Entfernung zwischen dem ersten und dem zweiten Signalleiter (80, 82) relativ zu dem zweiten Massereferenzleiter zu variieren, um dadurch eine Differenzimpedanz des ersten und des zweiten Signalleiters relativ zu dem ersten und dem zweiten Massereferenzleiter (90, 92) zu variieren.
Testsonde, die folgende Merkmale aufweist: einen ersten Leiter, der zum Tragen eines ersten Abschnitts eines Differenzsignals konfiguriert ist; einen zweiten Leiter, der zum Tragen eines zweiten Abschnitts eines Differenzsignals konfiguriert ist; eine erste variable dielektrische Kammer, die zwischen dem ersten Leiter und dem zweiten Leiter angeordnet ist und zum Halten eines variablen Volumens eines dielektrischen Fluids konfiguriert ist; einen dritten Massereferenzleiter, der vom ersten Leiter beabstandet ist; eine zweite variable dielektrische Kammer, die zwischen dem ersten Leiter und dem dritten Massereferenzleiter angeordnet ist und zum Halten eines variablen Volumens des dielektrischen Fluids konfiguriert ist, um die Entfernung zwischen dem ersten Leiter und dem dritten Massereferenzleiter zu variieren; einen vierten Massereferenzleiter, der vom zweiten Leiter beabstandet ist; eine dritte variable dielektrische Kammer, die zwischen dem zweiten Leiter und dem vierten Massereferenzleiter angeordnet ist und zum Halten eines variablen Volumens eines dielektrischen Fluids konfiguriert ist, um die Entfernung zwischen dem zweiten Leiter und dem vierten Massereferenzleiter zu variieren; und wobei das Variieren des Volumens von einer oder mehreren der ersten, zweiten und dritten Kammer in einem Variieren der Differenzimpedanz des ersten Leiters und des zweiten Leiters relativ zu dem dritten und vierten Massereferenzleiter resultiert.
Sonde gemäß Anspruch 9, die ferner folgende Merkmale aufweist: ein Fluidreservoir, das zum Halten des dielektrischen Fluids konfiguriert ist; eine Pumpe in Fluidkommunikation mit dem Fluidreservoir und der ersten, zweiten und dritten dielektrischen Fluidkammer und die zum Erhöhen und Senken eines Volumens eines dielektrischen Fluids in der ersten, zweiten und dritten dielektrischen Fluidkammer der Sonde konfiguriert ist; einen Verteiler in Fluidkommunikation mit der Pumpe und der Sonde, der zwischen denselben angeordnet ist und für ein selektives Ermöglichen eines Flusses eines dielektrischen Fluids zwischen der Pumpe und jeweils der ersten, zweiten und dritten Kammer konfiguriert ist; eine Fluidvolumensteuerung in elektrischer Kommunikation und Fluidkommunikation mit der Pumpe und die eine Volumeneinstelleinrichtung aufweist, die zum Steuern, durch die Pumpe und den Verteiler, eines Anstiegs und einer Abnahme des Volumens des dielektrischen Fluids in jeder der ersten, zweiten und dritten Kammer konfiguriert ist; und einen Kammerselektor in elektrischer Kommunikation mit dem Verteiler und der konfiguriert ist zum Steuern des Verteilers, um zu bewirken, daß eine oder mehrere der ersten, zweiten und dritten dielektrischen Fluidkammern einen Anstieg oder eine Abnahme des dielektrischen Fluids empfangen.
Testsonde, die folgende Merkmale aufweist: eine Einrichtung zum Tragen eines ersten Testsignals relativ zu einer Massereferenz; und eine Einrichtung zum Variieren einer Impedanz des ersten Testsignals relativ zu der Massereferenz.
Testsonde gemäß Anspruch 11, die ferner folgende Merkmale aufweist: eine Einrichtung zum Tragen eines zweiten Testsignals relativ zur Massereferenz; und eine Einrichtung zum Variieren der Impedanz des ersten Testsignals und des zweiten Testsignals relativ zur Massereferenz.
Testsonde gemäß Anspruch 11 oder 12, bei der die Einrichtung zum Variieren eine erste aufpumpbare Blase aufweist und die Einrichtung zum Tragen einen ersten Signalleiter und einen ersten Massereferenzleiter aufweist, und die Blase zwischen dem ersten Signalleiter und dem ersten Massereferenzleiter angeordnet ist, und die Blase zum Halten eines variabel gesteuerten Volumens eines elektrischen Fluids konfiguriert ist.
Verfahren zum Testen von Signalintegritätsattributen in einem leitfähigen Zielelement, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: variables Steuern einer Impedanz einer Sonde zwischen einem Testsignalleiter der Sonde und einem Massereferenzleiter der Sonde, um an eine Impedanz des leitfähigen Zielelements im wesentlichen anzupassen, und Anlegen eines Testsignals von der Sonde an das leitfähige Zielelement.
Verfahren gemäß Anspruch 14, das ferner folgende Schritte aufweist: Bereitstellen eines leitfähigen Zielelements, das ein Paar von leitfähigen Elementen umfaßt; Bereitstellen des ersten Testsignalleiters der Sonde und des Massereferenzleiters als ein erster Testsignalleiter, der von einem ersten Massereferenzleiter beabstandet ist, und ein zweiter Testsignalleiter, der von einem zweiten Massereferenzleiter beabstandet ist, wobei der erste Testsignalleiter vom zweiten Signalleiter beabstandet ist; und variables Steuern der Impedanz der Sonde, um an eine Impedanz zwischen dem Paar von leitfähigen Zielelementen im wesentlichen anzupassen.
Verfahren gemäß Anspruch 15, bei dem das Erzeugen der zweiten Differenzimpedanz folgende Schritte aufweist: Variieren des Abstands zwischen den Signalleitern durch Steuern, mit einer Pumpe, eines Volumens eines dielektrischen Fluids in einer ersten aufpumpbaren Kammer, die zwischen den beabstandeten Signalleitern angeordnet ist; und Variieren des Abstands zwischen jedem Signalleiter und seinem jeweiligen Massereferenzleiter durch Steuern, mit einer Pumpe, eines Volumens eines dielektrischen Fluids in jeder eines Paars von zweiten aufpumpbaren Kammern, wobei jede der zweiten Kammern zwischen einem der beabstandeten Signalleiter und seinem Masseleiter angeordnet ist.
Verfahren zum Testen von Signalattributen, die auf einem Differenzpaar des ersten und zweiten leitfähigen Elements getragen werden, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: Liefern einer ersten Signaltestleitung eines ersten Signalleiters und Liefern einer zweiten Signaltestleitung eines zweiten Signalleiters mit einer Impedanz des ersten und des zweiten Signalleiters relativ zu einer Massereferenz; Anlegen der ersten Signaltestleitung an ein erstes leitfähiges Differenzsignalelement und Anlegen der zweiten Signaltestleitung an ein zweites leitfähiges Differenzsignalelement; Messen eines Signalattributs, das durch das Differenzpaar des ersten und des zweiten leitfähigen Elements aufgewiesen wird; und selektives Variieren der Impedanz der Sonde durch selektives Variieren der Impedanz des ersten Signalleiters und des zweiten Signalleiters relativ zu der Massereferenz.
Verfahren gemäß Anspruch 17, bei dem das selektive Variieren der Impedanz des ersten Signalleiters und des zweiten Signalleiters jeweils folgende Schritte aufweist: Anordnen einer ersten Kammer, die mit einem dielektrischen Fluid befüllt ist, zwischen dem ersten Signalsondenleiter und der Massereferenz; Modifizieren, mit einer Pumpe, eines Volumens des dielektrischen Fluids, das in der ersten Kammer enthalten ist, um eine Entfernung zwischen dem ersten Signalsondenleiter und der Massereferenz alternativ zu erhöhen oder zu senken; und Anordnen einer zweiten Kammer, die mit einem dielektrischen Fluid befüllt ist, zwischen dem zweiten Signalsondenleiter und der Massereferenz; und Modifizieren, mit der Pumpe, eines Volumens des dielektrischen Fluids, das in der zweiten Kammer enthalten ist, um eine Entfernung zwischen dem zweiten Signalsondenleiter und der Massereferenz alternativ zu erhöhen oder zu senken.
Verfahren gemäß Anspruch 18, bei dem das selektive Variieren der Impedanz des ersten Signalleiters und des zweiten Signalleiters folgende Schritte aufweist: Anordnen einer dritten Kammer, die mit einem dielektrischen Fluid befüllt ist, zwischen dem ersten Signalsondenleiter und dem zweiten Signalsondenleiter; und Modifizieren, mit einer Pumpe, eines Volumens des dielektrischen Fluids, das in der dritten Kammer enthalten ist, um eine Entfernung zwischen dem ersten Signalsondenleiter und dem zweiten Signalsondenleiter alternativ zu erhöhen oder zu senken.