DE1803461A1 - Verfahren und Vorrichtung zur UEberwachung des Abstandes eines Objektives von einer Bildflaeche - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur UEberwachung des Abstandes eines Objektives von einer Bildflaeche

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DE1803461A1
DE1803461A1 DE19681803461 DE1803461A DE1803461A1 DE 1803461 A1 DE1803461 A1 DE 1803461A1 DE 19681803461 DE19681803461 DE 19681803461 DE 1803461 A DE1803461 A DE 1803461A DE 1803461 A1 DE1803461 A1 DE 1803461A1
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Stevens Guy William Willis
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Eastman Kodak Co
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Eastman Kodak Co
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    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70216Mask projection systems
    • G03F7/70341Details of immersion lithography aspects, e.g. exposure media or control of immersion liquid supply
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B3/00Focusing arrangements of general interest for cameras, projectors or printers
    • G03B3/02Focusing arrangements of general interest for cameras, projectors or printers moving lens along baseboard

Description

East-nan Kodak Company, Rocht et er, Staat New York, Vereinigte Staaten von Amerika
Verfahren und Vorrichtung tür überwachung de· Abstände« eines Objektives von einer Bildfläche
Die Erfindung besieht eich auf ein Verfahren zur ttberwaohun«? des Abstandes eines Objektives von einer Bildfläche, insbesondere einer liohte^nfindlichen Schicht bei der F.rseuTun«* eines stark verkleinerten Bildes hoher Schärfe auf dieser Sehloht, sowie eine Vorrichtung tür Durchführung dieses Verfahrens·
Bei der Herstellung ni in iatur leiert er Schaltungen, in denen Photowiderstfinde verwendet werden, ist es notwendig, Negative antufertigen, die sehr kleine und trotzdm sehr genaue Bilder enthalten. Für die Herstellung solcher Negative können Objektive stark verttröseernder Mikroskope verwendet werden, wobei das Objektiv einen Abstand von 1 cm oder weniger von derjenigen Stelle auf der photOTaphlschen FWiulslon besltst, an der daa Bild erseugt wird, Es let aber eine sehr genaue Scharfein-
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9 * »Ha
stellung des Objektiv» notwendig und m hosafc tu setnrarwlegsii din F»hl®pne wtnia die Einstellung $®t Objektivs nleht wird, fail« dft» Qberfltel© d®r ph@te»?°:i°m$u.mhm ltmiliietn
Ob«s»n.eoii« der Emulsion, dlt auf ^inmt TfA^eF aus Olae odw ·£π«η Film aufÄ#bi»Äöht £et9 deiisert Abtetait^t mmh®immä®t* wow dai ObJ«MtIt gtbraoM w#i»ifi% tdnn®R inietr wie<9«p auftr^en· Eist«
lieh· Ato«p tue}! auf etndtrtft
Imim ·■ notwÄüvtiflt teins die Sefcftrf#if»telilttK lcos»troili«Fttn en kOnn#fi·
Der Brfirtdutig ll«jgt di<§ inf«ftt»« um @mma®$ ein Ttrfmto·!! sti •ofttffen* dt» ·· In «infaehtp Vmiet eFl««tbfi9 dl· Setitpfcin« ■t«lltm^ «ines sieh in FQVimm ütisttfM von d$^ Bildflleh« findenden Objdfcfcivi^i&tmtatlhen su Μμι«ιι· Di#a· Anf^Et}« let tpf 1ήβιιηις·^β«ΙΙ dAdmirali ««lest, dass am- Sp»It iwlMlMn,um» Ob« 4«ktiv und der BildfXfieh« ®ln· tu* #Ιώ#γ ^««nielnaani mit d@w Ob» JektlT r#latif.rtär Bild flieh« bewt^bat^n AuftPitftieffsniiiii« au»·» tr«t«nd« und bei riehtl*.m Abstund iwieohen Objektiv ηηύ lil^« flieh« d«n Spalt fallende Plüsei^keit sa#?®fflhyt w£pd un«S das« dureh Abweichungen d«e Abstcnde« xwisehein) Objektiv ti»3 Blldlflfieh« το« Sollwert bedingte Abweichungen d«f* Druck:« oder St^dmun^iTiiiv
hlltnliee in der »ifieeiTlceit ro« Sollwert abgetastet werden·
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Indtanmttn de· Abtttnd·· swisehen Objektiv end Bildfläche «erden alto in Xnderuniten der Druok- oder Strftwinflgaverblltiiis·· tliir »lfiaelckelt uwgeiiandeU, welehe ltloht «mitttit wd la einfaobtr Weise ansegelet «erden könntn. Ein «elfterer» trh«b· lleh«r Yopttil 4·· «i*flndun«8ffena8s«n Verfahren· btittht darin» date durch dia Plfitaltkalt iwitchen dam ObJtktiT und dar Bild· flieht tin ittabfrtitr Rat» icaaohaffan wird, dar itmlndaat «alt· gthand vtrhlnitrt, das· da· Bild auf dtr Bild f Höht Meet tr odar klalna Fthltr trMlt, »la eit durch Staub antatatttn kOnnan·
Bai tlntr bavorsuctan AuefQhrun^eforp daβ trflndun^erteittan Ttrfabrana Mr dl* Tarvandums tintp llohtt«pflndllohtn laeltlona· aahieht al» Blldflloha wird aim nottlgkalt rervtndtt, dia «aaig» atana nabtsu dtnetlb/n Baraohnungaindax wit dia Emit lon· aeh loht baaltct« Hltrduroh %.lrd auch ein« Bttintrtohtigung dtt Blldaa lnfolfEa Braahuns vtniltden.
Dl· farnar dar Erfindr/ικ tu Qrunda lla«cand· Aufgabt, tint Tor· rletatunjK sur Durchfuhr λ n«j dt· arflndun^epanoi«s«n Varfahrana tu »chafftn, 1st daduroTi «itlBit, da·· tint susai««an mit daa Objektiv ralatlT sur BMdflieht btwtgbart AuslaftOffnun«, dia Flüeeigktlt auf dl· Pilciflächt ltittt, todaas dl· VlQa*l«kalt bti riohtlgtr Lagt .tr B! Idf Höht dtn Zwl«oh«nrawi «wleohtn ObjektIt und Bildf iSctht fnilt, «ovl· eine alt dtm von dar
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fcttt trffillteis It·«· it« lrHvMrnnm tttntnd·
Vttrfttatftitn aind* ad AtP «in· Abwiehmf« dtp Dnsik· ©Ä«? StrftnungevtPhftltiiieet dtp ana dtp taelgßüffntms kownindtn
von dtm l»ti piohti«ctn A^gttnd aififefetia OfeJtfetÄ^ tuid vophftndtatn SollwtPt tp3mianl»aT> ft tioriehtuivaf anatttthloettn let.
«intp vop^tllhftfttn Äuaffihr-aräi?»fora wtitt •Inen eitletMGhtl«; sun Objektiv »ngtepdntfctn und ditits <Btn HifKPftuo Auf· Hitrdispeti kann in «inffteSitP Ittist «tPdtnt dati dit PlOesiekeit dte Spalt sviselitn Objektiv und Blttfltetot P>l*iebn&6B\* euer«führt wird· Dtp ting«·*«* kam dab«i %lmn tlnaistn AittlaA auf dtp dtp Bildfllafo« fttiitlcttapttn tottit··»· Kt lcOnatn abtP aisela wtttptst taitllset ^F«ra'S*4s* 9
dlt in «Ititbtn Abattndtn vontinaadtp mn di« Wtoi*v*&h*9 d«t Rio««» mtmtt htfw animordiitt tind* Dit Itftst «tnatmtt AntfQlxptmttfoi"« ttotnfant tint «eltitfwVssi^t ^ieasi^ktiteiraftfbp in dta svitohtn ObjtfctlT und Bildfläche.
Paa Objtktiv kann auf dtp dtp Bildflioht sttstktltpttn St it« iat Ab« ftand von ditttp einen das Objtktiv abdeoktndtn tpanspaptnttn Ottktl aufvtiitn9 mitttla dtnetn »in Zutritt d»p 73LQaai«ktit *m Objektiv verhindert wtpdtn kann· Ba kann abtp auoh tiat fiwitpsiona» Xänat vtpwtndtt wtrdtn, dtrtn tint Oberflächt sit dtp VlHata*· in BtP&hpanfc könnt· Zntek«aeeiPMipif«i·« wiPd Sop»t dafflp
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tragen, das· dl· Flüssigkeit nioht etrleohen dl· ·1ηι·1η·η Lineen d·· Objektiv· eindringen kann·
BtI ·1η·* wegen Ihrer Einfachheit vorteilhaft«! Aueftthrunfltefoflm wallt dl· Ans*lgeelnrlehtun<; einen Druokfflhler auf, der In dar Flfiaalgkelt vor einem verengten Auela» da« Rln^raum·· angeordnet let·
Xa folgenden iat dl· Erfindung an Hand von auf der Zeichnung darceatellten AuafOnrunseforman la alnealnen er Hut art.
Flg. 1 einen »ohematieoh dar^eaMlten Läner.nohnitt
einer er a tan Auafnhrunajafor« ohne weit el lohe
Oarlte,
. 2 einen Sohnitt ir«iaIA FU. ι duroh dl· Länjcaaehaa einer iwaitan AuafQhrunp;efor^t
Flg. 3 eine aoheieatiwh darf?eatellte Ansieht dar Aue·
fQhrungeforn Kamifi Flg. 1 mit eu«?ehörisen Oeriten.
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Bin Mikroskopj da· für die Ersetzung tine» sehr kleinen, aber tthr genauen Bildes auf der Oberfläche einer phofcographisehen Emulsion, die sioh auf einem plattenförmigen Träger befindet, vorgesehen 1st, wobei das erseugte Bild für die Fabrikation der Teile miniaturisierter Schaltungen Verwendung findet, be· •itit eine Objektivlinse 1 der in Mikroskopen üblicher Art, dl· Jedoch in einem rohrförmigen Gehäuse 2'gehalt·« wird, das fleh Ober dl· Frontfliehe einer Frontlinse 3 hinaus er«treckt· Das vorder· End· d·· Genius·« 2 ist flüsigkeit «licht mittels einer ebenen Glasplatte 5 verschlossen· !wischen der dlasplatt· 5 und der front Uns· 3 lat dtshalb ein Luftspalt H vorhanden· Xs Ausfdhrun^sbelspiel erweitert sloh das GehSus« 2 konisch im Bereich ε wischen der Frontlinse 3 und der Qlaspaltte 5. Dl· Linsen des Objektivs und ein im folgenden beschriebener Ringraun kfanen sehr nahe an diejenige Stell· herangebracht werden, ander das Bild su entwerfen 1st«
Bin lusseres Oehiuse 6 ist gleichachsig su der Objektirlinse 1 sowl· dem Qehluse 2 angeordnet und mit letstcrem verbunden· Das,lufter· Qebiuee 6 bildet susanraen mit dem Qehtuse 2 einen Ringraum 7 und eretreokt sloh bis in die Ebene der Glasplatte 5 oder etwas darQber hinaus· Due äußere Oehäuse $ ist mit einen Einlaflstutzen 8 und mit einem Anschlugstutsen 9 versehen, wobei leteterer sum Ansohlue eines OruckfQhlers in Worm eines
Manometers 10 dient* Όη.η Süßere lehSuse 6 bildet einen das
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-τ-
hJtase 2 umgebenden AualaA nit dr*i Auslaftöffnungen 11, dl· ie gleichen Abstanden un die Olasplatte 5 htm» auf der Vorder-MIt· d·· lueeren deniuses 6 vor«5*eeh«n lind und einen v«r* •Bgt«n Auilaftqu«rechnitt für tin· in den Ringraum 7 «ing·- !•it*t· Fldasl^k·!
Ein FlütiiflcktiteTorrotebehaiter 12 ist Mit d«m Blnlafistutsen 8 v*rbund«nt wob·! Sorge dafür getragen ist, dass die Flflaai?» loiit im Rlttftrawa 7 «it «in·« konstanten Druck aus dett Vorrat ibehllter 12 su*efahrt wird« Zu diesem Zwecke ist eine nleht dargestellt· Prftsielonspumpe vorgesehen. Eine Pumpe 13 dient der ROokfOhrung der 71Ossifl:kelt sum Vorratsbehälter 12, nachdem sie fiber die Oberfläche einer Emulsionsschicht 15 gestr0«t und in einem Trog 1* gesammelt norden ist·
Om das Bild des su kopierenden, nleht dargestellten Gegenstandes auf der Oberfläche der Emulsionsschicht 15, die auf einen Trtgerfllm 16 aufgebracht ist» su erteilen, wird die ObJektivlinte 1 YerhältnismSaai«?: nahe an die Bnulsionssohicht 15 herangebracht· In derjenigen Position, in der das Objektiv scharf eingestellt 1st, 1st nur noch ein geringer Spalt striseheri der Oberfläche der Emulsions schicht 15 und der (Ilasplatte sowie der sich an diese ansohllessenden Stirnfläche des lußeren Qehftuses 6 mit den Au «la Hoffnungen 11 vorhanden· Der Austritt der Flüssigkeit aus dem Riu«rairn 7 wird daher durch die Oröfte
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dee Spalt·» beeinflußt» Wenn die Zufuhr en Flüssigkeit voa Iförrfttetoehlltsiir 12 in den Ringraum 7 koiiftaiit gehalt®!* WiM9 tat urne Drwste im ftingraum 7 oberhalb der Ausla»öffnungen 11 abhängig von der Qröße des Spaltet« ibweietaangen am rm Manometer 10 angtaeigten Druckes von dem Sollwert ist daher eine Anseige für Abwelohungon der Spaltgrdene vom Sollwert« Die Bedienungsperson wird duroh die Aneeig'e des Manometers darauf aufmerkSAra gemftoht, dass das Objektiv wieder scharf eingestellt werden muß· Die Flüssigkeitβ die aus dem Hingr&tim 7 ausströmt uitä, wie Fi?. 1 xelgt, den Spalt ausfüllt» ergibt tine itAUbfreie Zone swieolien dem Objektiv und der Oberflflohe der Enulsionssohleht 13· Die Flüssigkeit wird in die Vorratskamer 12 cur Wiederverwendung surQekgebraoht. Sie kann, wenn dies erforderlieh ist, gefiltert werden» ehe sie in Ringraum 7 surOokgepumpt wird«
Die lieht empfind! lohe Enmlsionssohieiat 13 wird etlndlieh wie CltDLloh beliehtet und auoh die Entwicklung er·» folgt in ttblieher Weise· Das Manometer wird eweetafisslger· weite so angeordnet, dass es von der Bedienungeperson gut eu sehen ists wflhrend die llshtempflndlishe Emulslonssohloht 15 gegen den Zutritt von Fremdlloht geechotat werden muß·
Es sind verschiedene Arten von Flüssigkeiten verwendbar· Natürlich darf die verwendete Flüssigkeit dl© Emulelon nicht
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störend beeinflussen, also beispielsweise dl· Emulsion nicht aufquellen lasten« Besondere vorteilhaft ist jedoch die Verwendung einer Flüssigkeitp die nahesu denselben Brechungsindex, also 1,5 bis 1,55, wie die Emulsion besitzt, die normalerweise aus Gelatine besteht· Daher ist im Ausfdhrungsbeispiel als Flüssigkeit XyIeη vorgesehen· Die Lichtstrahlen erreichen dann die Emulsion durch ein Medium hinduroh, das optisch «it der Beuleion homogen ist· Eine Verschlechterung des Bildet durch eine unterschiedlich« Brechung ist dadurch vermieden·
Die in Fig· 2 dargestellte «weite Ausführunseform unterscheidet sieh von derjenigen genfifi Flg# 1 dadurch, dass die Objektiv· linse 20 eine lattersionslinse ist· Eine Glasplatte um Schutte det Objektives itt hler nicht erforderlieh· Das Objektivgebiuse 21 1st an seine« vorderen Ende flüssigkeit»dicht Mittels einer Xaaerslonsllnse 22 verschlossen, deren Vorderseite «it der aus den Rlngraisi in den Spalt strömenden Flüssigkeit in BerOhran* kommt. Za übrigen 1st dletet Ausführunpjsbeispiel In derselben Weite ausgebildet wie dasjenige ?emtfi Pin. 1, sodass sieh eine Erläuterung weiterer Einselhelten
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Claims (1)

- ίο - Patentansprüche t
1. Vez>fahr«n zur Oberwao hung des Abstand®* ein®» Objektivs ▼on einer Bildfläche, insbesondere einer liehtempfind« Hohen Schicht bei der Erzeugung eines stark verkleinerten Bildes hoher Schärfe auf dieser Schicht, dadurch gekenn« t lohnet , dass dem Spalt «wischen dem Objektiv und der Bildfläche eine aus einer ^enteins&n mit dem Objektiv relativ *ur Bildfläche bewegbaren Auetritteöffnunr? austretende unä bei richtigem Abstand zwischen Objektiv und Bildfläche den Spalt fallende Flüssigkeit zugeführt wird und dass durch Abweichungen des Abstandes zwlvehen Objtctlv und Bildfläche vom Sollwert bedingte Abweichungen der Druck- oder Strömun^sverh&ltnisse in der "lüsslgkeit vom Sollwert abgetastet werden·
2· Verfahren nach Anspruch I9 dadurch gekennzeichnet, dass bei einer lichtempfindlichen Schicht als Bildfläche ein· Flüssigkeit verwendet wird, die wenigstens nahezu den* selben Brechungsindex wie die lichtempfindliche Schicht besitzt·
3· Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens gemäß Anspruch 1 oder 2 an einem optischen Instrument mit einem Objektiv# das ium Projizieren eines Bildes auf
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- li -
•int Bildfläche, insbesondere «in· photograph! saht Sehloht, nah« dieser Schiebt ansuordntn 1st, dadurch gtktnnstlchntt, da» tint susamntn mit dem Objektiv (1 bii *) rtUtIv cur Blldflftoht (15) btwtsbart Aus-IaAOf fnun* dit Flüssigkeit, we loht dtn Zwiscbtnrau* »wischen Objektiv ( 1 bis 4 ) und Bildfläche (15) füllt, auf dlt Bildfläche (15) leitet, sowie tint mit dtm von dtr Plüsslgktlt trfüllttn Raun in Vtrbindun«? stthtndt Vtrblndungsltitung (9) vorgesehen sind, an die tint Abweichungen der Druck- oder StrOnnungsvtrhftltnlsst dtr aus dtr Auelaftöffnung kommtndtn Plüesifiiktit von dtM btl riohti^tm Abstand »wischen Objektiv und Bildflicht vor hand tnen Sollwert tr kannbar nachende A neigevorrichtung (10) angeschlossen 1st.
4· Voi Pichtun^ nach Anspruch 3, dadurch cstktnnitlchntt, dass dit AuslaRöffnung tlntn •UtiehaoheiT sum Objtktlv (1 bis 4) angeordneten und dieses umgebenden Ringraun (7) aufwtlst/
5« Vorrichtung: nach Anspruch H9 dadurch «(tktnnstlohntt, dass der Rlmraum tinen einslgtn Aus la R auf dtr dtr Bildflacht sugtkthrttn Stitt besitrt.
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. 12
δ. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder H9 dadurch gekenn !•lehnet» dass der Ringraum (7) mehrere in Abständen voneinander· ura sslne Längsachse herum QX^d nut α Auslässe (H)
7· Vorrichtung r.-e.ah einem des* Ansprüche 3 bis ββ dadurch gekönnselciiKsfc, da ge a'if aw dar Bild fläche (15) zuf?ekehrtm S®!te ä®s Objektivs Im Abstand von dl to era ein das Objektiv abdeak^ndmr transparenter Deckel (5) an^e» ordnet ist·
8· Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 6» dadurch gekennsslehnet, dass die der Bildfläche benachbarte Linse (22) des Objektivs eint Intmer&lonslinse ist» deren eine Oberfläche mit der Flüssigkeit in Berührung kommt»
9, Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 8, gekenn· zeichnet durch eine die Flüssigkeit dem lUngraum mit konstantem Druck suführend® Fördervorriahtun«·
10» Vorrichtung nach ein@m der Anspreche 3 bis 9, dadurch ■ gekennzeichnete dass di* Anzeigeeinrichtung (10) einen Druokföhl«r eufartist 8 der in der Flflaslgkelt vor «inem verengen Auslaß (11) des Rlnsrauras (7) anf$eoz»dnefc ist· 909821/0^71-
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