DE1803461A1 - Verfahren und Vorrichtung zur UEberwachung des Abstandes eines Objektives von einer Bildflaeche - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur UEberwachung des Abstandes eines Objektives von einer BildflaecheInfo
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- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70341—Details of immersion lithography aspects, e.g. exposure media or control of immersion liquid supply
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- G—PHYSICS
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- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B3/00—Focusing arrangements of general interest for cameras, projectors or printers
- G03B3/02—Focusing arrangements of general interest for cameras, projectors or printers moving lens along baseboard
Description
East-nan Kodak Company, Rocht et er, Staat New York,
Vereinigte Staaten von Amerika
Verfahren und Vorrichtung tür überwachung de·
Abstände« eines Objektives von einer Bildfläche
Die Erfindung besieht eich auf ein Verfahren zur ttberwaohun«?
des Abstandes eines Objektives von einer Bildfläche, insbesondere
einer liohte^nfindlichen Schicht bei der F.rseuTun«*
eines stark verkleinerten Bildes hoher Schärfe auf dieser Sehloht, sowie eine Vorrichtung tür Durchführung dieses Verfahrens·
Bei der Herstellung ni in iatur leiert er Schaltungen, in denen
Photowiderstfinde verwendet werden, ist es notwendig, Negative
antufertigen, die sehr kleine und trotzdm sehr genaue Bilder
enthalten. Für die Herstellung solcher Negative können Objektive
stark verttröseernder Mikroskope verwendet werden, wobei
das Objektiv einen Abstand von 1 cm oder weniger von derjenigen
Stelle auf der photOTaphlschen FWiulslon besltst, an der
daa Bild erseugt wird, Es let aber eine sehr genaue Scharfein-
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9 * »Ha
stellung des Objektiv» notwendig und m hosafc tu setnrarwlegsii
din F»hl®pne wtnia die Einstellung $®t Objektivs nleht
wird, fail« dft» Qberfltel© d®r ph@te»?°:i°m$u.mhm ltmiliietn
Ob«s»n.eoii« der Emulsion, dlt auf ^inmt TfA^eF aus Olae odw ·£π«η
Film aufÄ#bi»Äöht £et9 deiisert Abtetait^t mmh®immä®t* wow dai
ObJ«MtIt gtbraoM w#i»ifi% tdnn®R inietr wie<9«p auftr^en· Eist«
lieh· Ato«p tue}! auf etndtrtft
Imim ·■ notwÄüvtiflt teins die Sefcftrf#if»telilttK lcos»troili«Fttn en
kOnn#fi·
Der Brfirtdutig ll«jgt di<§ inf«ftt»« um @mma®$ ein Ttrfmto·!! sti
•ofttffen* dt» ·· In «infaehtp Vmiet eFl««tbfi9 dl· Setitpfcin«
■t«lltm^ «ines sieh in FQVimm ütisttfM von d$^ Bildflleh«
findenden Objdfcfcivi^i&tmtatlhen su Μμι«ιι· Di#a· Anf^Et}« let
tpf 1ήβιιηις·^β«ΙΙ dAdmirali ««lest, dass am- Sp»It iwlMlMn,um» Ob«
4«ktiv und der BildfXfieh« ®ln· tu* #Ιώ#γ ^««nielnaani mit d@w Ob»
JektlT r#latif.rtär Bild flieh« bewt^bat^n AuftPitftieffsniiiii« au»·»
tr«t«nd« und bei riehtl*.m Abstund iwieohen Objektiv ηηύ lil^«
flieh« d«n Spalt fallende Plüsei^keit sa#?®fflhyt w£pd un«S das«
dureh Abweichungen d«e Abstcnde« xwisehein) Objektiv ti»3 Blldlflfieh«
το« Sollwert bedingte Abweichungen d«f* Druck:« oder St^dmun^iTiiiv
hlltnliee in der »ifieeiTlceit ro« Sollwert abgetastet werden·
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Indtanmttn de· Abtttnd·· swisehen Objektiv end Bildfläche
«erden alto in Xnderuniten der Druok- oder Strftwinflgaverblltiiis··
tliir »lfiaelckelt uwgeiiandeU, welehe ltloht «mitttit wd la
einfaobtr Weise ansegelet «erden könntn. Ein «elfterer» trh«b·
lleh«r Yopttil 4·· «i*flndun«8ffena8s«n Verfahren· btittht darin»
date durch dia Plfitaltkalt iwitchen dam ObJtktiT und dar Bild·
flieht tin ittabfrtitr Rat» icaaohaffan wird, dar itmlndaat «alt·
gthand vtrhlnitrt, das· da· Bild auf dtr Bild f Höht Meet tr odar
klalna Fthltr trMlt, »la eit durch Staub antatatttn kOnnan·
Bai tlntr bavorsuctan AuefQhrun^eforp daβ trflndun^erteittan
Ttrfabrana Mr dl* Tarvandums tintp llohtt«pflndllohtn laeltlona·
aahieht al» Blldflloha wird aim nottlgkalt rervtndtt, dia «aaig»
atana nabtsu dtnetlb/n Baraohnungaindax wit dia Emit lon· aeh loht
baaltct« Hltrduroh %.lrd auch ein« Bttintrtohtigung dtt Blldaa
lnfolfEa Braahuns vtniltden.
Dl· farnar dar Erfindr/ικ tu Qrunda lla«cand· Aufgabt, tint Tor·
rletatunjK sur Durchfuhr λ n«j dt· arflndun^epanoi«s«n Varfahrana
tu »chafftn, 1st daduroTi «itlBit, da·· tint susai««an mit daa
Objektiv ralatlT sur BMdflieht btwtgbart AuslaftOffnun«, dia
Flüeeigktlt auf dl· Pilciflächt ltittt, todaas dl· VlQa*l«kalt
bti riohtlgtr Lagt .tr B! Idf Höht dtn Zwl«oh«nrawi «wleohtn
ObjektIt und Bildf iSctht fnilt, «ovl· eine alt dtm von dar
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fcttt trffillteis It·«· it« lrHvMrnnm tttntnd·
von dtm l»ti piohti«ctn A^gttnd aififefetia OfeJtfetÄ^ tuid
vophftndtatn SollwtPt tp3mianl»aT>
ft tioriehtuivaf anatttthloettn let.
«intp vop^tllhftfttn Äuaffihr-aräi?»fora wtitt
•Inen eitletMGhtl«; sun Objektiv »ngtepdntfctn und ditits
<Btn HifKPftuo Auf· Hitrdispeti kann in «inffteSitP Ittist
«tPdtnt dati dit PlOesiekeit dte Spalt sviselitn Objektiv und
Blttfltetot P>l*iebn&6B\* euer«führt wird· Dtp ting«·*«* kam dab«i
%lmn tlnaistn AittlaA auf dtp dtp Bildfllafo« fttiitlcttapttn
tottit··»· Kt lcOnatn abtP aisela wtttptst taitllset ^F«ra'S*4s* 9
dlt in «Ititbtn Abattndtn vontinaadtp mn di« Wtoi*v*&h*9 d«t Rio««»
mtmtt htfw animordiitt tind* Dit Itftst «tnatmtt AntfQlxptmttfoi"«
ttotnfant tint «eltitfwVssi^t ^ieasi^ktiteiraftfbp in dta
svitohtn ObjtfctlT und Bildfläche.
Paa Objtktiv kann auf dtp dtp Bildflioht sttstktltpttn St it« iat Ab«
ftand von ditttp einen das Objtktiv abdeoktndtn tpanspaptnttn
Ottktl aufvtiitn9 mitttla dtnetn »in Zutritt d»p 73LQaai«ktit *m
Objektiv verhindert wtpdtn kann· Ba kann abtp auoh tiat fiwitpsiona»
Xänat vtpwtndtt wtrdtn, dtrtn tint Oberflächt sit dtp VlHata*·
in BtP&hpanfc könnt· Zntek«aeeiPMipif«i·« wiPd Sop»t dafflp
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tragen, das· dl· Flüssigkeit nioht etrleohen dl· ·1ηι·1η·η Lineen
d·· Objektiv· eindringen kann·
BtI ·1η·* wegen Ihrer Einfachheit vorteilhaft«! Aueftthrunfltefoflm
wallt dl· Ans*lgeelnrlehtun<; einen Druokfflhler auf, der
In dar Flfiaalgkelt vor einem verengten Auela» da« Rln^raum··
angeordnet let·
Xa folgenden iat dl· Erfindung an Hand von auf der Zeichnung
darceatellten AuafOnrunseforman la alnealnen er Hut art.
einer er a tan Auafnhrunajafor« ohne weit el lohe
Oarlte,
Oarlte,
. 2 einen Sohnitt ir«iaIA FU. ι duroh dl· Länjcaaehaa
einer iwaitan AuafQhrunp;efor^t
fQhrungeforn Kamifi Flg. 1 mit eu«?ehörisen Oeriten.
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Bin Mikroskopj da· für die Ersetzung tine» sehr kleinen, aber
tthr genauen Bildes auf der Oberfläche einer phofcographisehen
Emulsion, die sioh auf einem plattenförmigen Träger befindet,
vorgesehen 1st, wobei das erseugte Bild für die Fabrikation
der Teile miniaturisierter Schaltungen Verwendung findet, be·
•itit eine Objektivlinse 1 der in Mikroskopen üblicher Art,
dl· Jedoch in einem rohrförmigen Gehäuse 2'gehalt·« wird, das
fleh Ober dl· Frontfliehe einer Frontlinse 3 hinaus er«treckt·
Das vorder· End· d·· Genius·« 2 ist flüsigkeit «licht mittels
einer ebenen Glasplatte 5 verschlossen· !wischen der dlasplatt·
5 und der front Uns· 3 lat dtshalb ein Luftspalt H vorhanden·
Xs Ausfdhrun^sbelspiel erweitert sloh das GehSus« 2 konisch
im Bereich ε wischen der Frontlinse 3 und der Qlaspaltte 5.
Dl· Linsen des Objektivs und ein im folgenden beschriebener
Ringraun kfanen sehr nahe an diejenige Stell· herangebracht
werden, ander das Bild su entwerfen 1st«
Bin lusseres Oehiuse 6 ist gleichachsig su der Objektirlinse
1 sowl· dem Qehluse 2 angeordnet und mit letstcrem verbunden·
Das,lufter· Qebiuee 6 bildet susanraen mit dem Qehtuse 2 einen
Ringraum 7 und eretreokt sloh bis in die Ebene der Glasplatte 5 oder etwas darQber hinaus· Due äußere Oehäuse $ ist mit einen
Einlaflstutzen 8 und mit einem Anschlugstutsen 9 versehen, wobei
leteterer sum Ansohlue eines OruckfQhlers in Worm eines
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-τ-
hJtase 2 umgebenden AualaA nit dr*i Auslaftöffnungen 11, dl·
ie gleichen Abstanden un die Olasplatte 5 htm» auf der Vorder-MIt·
d·· lueeren deniuses 6 vor«5*eeh«n lind und einen v«r*
•Bgt«n Auilaftqu«rechnitt für tin· in den Ringraum 7 «ing·-
!•it*t· Fldasl^k·!
Ein FlütiiflcktiteTorrotebehaiter 12 ist Mit d«m Blnlafistutsen
8 v*rbund«nt wob·! Sorge dafür getragen ist, dass die Flflaai?»
loiit im Rlttftrawa 7 «it «in·« konstanten Druck aus dett Vorrat ibehllter
12 su*efahrt wird« Zu diesem Zwecke ist eine nleht
dargestellt· Prftsielonspumpe vorgesehen. Eine Pumpe 13 dient
der ROokfOhrung der 71Ossifl:kelt sum Vorratsbehälter 12, nachdem sie fiber die Oberfläche einer Emulsionsschicht 15 gestr0«t
und in einem Trog 1* gesammelt norden ist·
Om das Bild des su kopierenden, nleht dargestellten Gegenstandes
auf der Oberfläche der Emulsionsschicht 15, die auf einen Trtgerfllm 16 aufgebracht ist» su erteilen, wird die ObJektivlinte
1 YerhältnismSaai«?: nahe an die Bnulsionssohicht 15
herangebracht· In derjenigen Position, in der das Objektiv scharf eingestellt 1st, 1st nur noch ein geringer Spalt striseheri
der Oberfläche der Emulsions schicht 15 und der (Ilasplatte sowie der sich an diese ansohllessenden Stirnfläche des lußeren
Qehftuses 6 mit den Au «la Hoffnungen 11 vorhanden· Der Austritt
der Flüssigkeit aus dem Riu«rairn 7 wird daher durch die Oröfte
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dee Spalt·» beeinflußt» Wenn die Zufuhr en Flüssigkeit voa
Iförrfttetoehlltsiir 12 in den Ringraum 7 koiiftaiit gehalt®!* WiM9
tat urne Drwste im ftingraum 7 oberhalb der Ausla»öffnungen 11
abhängig von der Qröße des Spaltet« ibweietaangen am rm
Manometer 10 angtaeigten Druckes von dem Sollwert ist daher
eine Anseige für Abwelohungon der Spaltgrdene vom Sollwert«
Die Bedienungsperson wird duroh die Aneeig'e des Manometers darauf aufmerkSAra gemftoht, dass das Objektiv wieder scharf eingestellt werden muß· Die Flüssigkeitβ die aus dem Hingr&tim 7
ausströmt uitä, wie Fi?. 1 xelgt, den Spalt ausfüllt» ergibt
tine itAUbfreie Zone swieolien dem Objektiv und der
Oberflflohe der Enulsionssohleht 13· Die Flüssigkeit wird in
die Vorratskamer 12 cur Wiederverwendung surQekgebraoht. Sie
kann, wenn dies erforderlieh ist, gefiltert werden» ehe sie in
Ringraum 7 surOokgepumpt wird«
Die lieht empfind! lohe Enmlsionssohieiat 13 wird
etlndlieh wie CltDLloh beliehtet und auoh die Entwicklung er·»
folgt in ttblieher Weise· Das Manometer wird eweetafisslger·
weite so angeordnet, dass es von der Bedienungeperson gut eu
sehen ists wflhrend die llshtempflndlishe Emulslonssohloht 15
gegen den Zutritt von Fremdlloht geechotat werden muß·
Es sind verschiedene Arten von Flüssigkeiten verwendbar· Natürlich darf die verwendete Flüssigkeit dl© Emulelon nicht
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störend beeinflussen, also beispielsweise dl· Emulsion nicht
aufquellen lasten« Besondere vorteilhaft ist jedoch die Verwendung
einer Flüssigkeitp die nahesu denselben Brechungsindex, also 1,5 bis 1,55, wie die Emulsion besitzt, die normalerweise
aus Gelatine besteht· Daher ist im Ausfdhrungsbeispiel
als Flüssigkeit XyIeη vorgesehen· Die Lichtstrahlen erreichen
dann die Emulsion durch ein Medium hinduroh, das optisch «it
der Beuleion homogen ist· Eine Verschlechterung des Bildet
durch eine unterschiedlich« Brechung ist dadurch vermieden·
Die in Fig· 2 dargestellte «weite Ausführunseform unterscheidet
sieh von derjenigen genfifi Flg# 1 dadurch, dass die Objektiv·
linse 20 eine lattersionslinse ist· Eine Glasplatte um Schutte
det Objektives itt hler nicht erforderlieh· Das Objektivgebiuse
21 1st an seine« vorderen Ende flüssigkeit»dicht Mittels einer
Xaaerslonsllnse 22 verschlossen, deren Vorderseite «it der
aus den Rlngraisi in den Spalt strömenden Flüssigkeit in BerOhran*
kommt. Za übrigen 1st dletet Ausführunpjsbeispiel In
derselben Weite ausgebildet wie dasjenige ?emtfi Pin. 1, sodass
sieh eine Erläuterung weiterer Einselhelten
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Claims (1)
1. Vez>fahr«n zur Oberwao hung des Abstand®* ein®» Objektivs
▼on einer Bildfläche, insbesondere einer liehtempfind«
Hohen Schicht bei der Erzeugung eines stark verkleinerten
Bildes hoher Schärfe auf dieser Schicht, dadurch gekenn« t lohnet , dass dem Spalt «wischen dem Objektiv und
der Bildfläche eine aus einer ^enteins&n mit dem Objektiv
relativ *ur Bildfläche bewegbaren Auetritteöffnunr? austretende
unä bei richtigem Abstand zwischen Objektiv
und Bildfläche den Spalt fallende Flüssigkeit zugeführt wird und dass durch Abweichungen des Abstandes zwlvehen Objtctlv und Bildfläche vom Sollwert bedingte
Abweichungen der Druck- oder Strömun^sverh<nisse
in der "lüsslgkeit vom Sollwert abgetastet werden·
2· Verfahren nach Anspruch I9 dadurch gekennzeichnet, dass
bei einer lichtempfindlichen Schicht als Bildfläche ein·
Flüssigkeit verwendet wird, die wenigstens nahezu den* selben Brechungsindex wie die lichtempfindliche Schicht
besitzt·
3· Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens gemäß
Anspruch 1 oder 2 an einem optischen Instrument mit einem Objektiv# das ium Projizieren eines Bildes auf
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- li -
•int Bildfläche, insbesondere «in· photograph! saht
Sehloht, nah« dieser Schiebt ansuordntn 1st, dadurch
gtktnnstlchntt, da» tint susamntn mit dem Objektiv
(1 bii *) rtUtIv cur Blldflftoht (15) btwtsbart Aus-IaAOf
fnun* dit Flüssigkeit, we loht dtn Zwiscbtnrau*
»wischen Objektiv ( 1 bis 4 ) und Bildfläche (15) füllt,
auf dlt Bildfläche (15) leitet, sowie tint mit dtm von
dtr Plüsslgktlt trfüllttn Raun in Vtrbindun«? stthtndt
Vtrblndungsltitung (9) vorgesehen sind, an die tint
Abweichungen der Druck- oder StrOnnungsvtrhftltnlsst dtr
aus dtr Auelaftöffnung kommtndtn Plüesifiiktit von dtM
btl riohti^tm Abstand »wischen Objektiv und Bildflicht
vor hand tnen Sollwert tr kannbar nachende A neigevorrichtung
(10) angeschlossen 1st.
4· Voi Pichtun^ nach Anspruch 3, dadurch cstktnnitlchntt,
dass dit AuslaRöffnung tlntn •UtiehaoheiT sum Objtktlv
(1 bis 4) angeordneten und dieses umgebenden Ringraun
(7) aufwtlst/
5« Vorrichtung: nach Anspruch H9 dadurch «(tktnnstlohntt,
dass der Rlmraum tinen einslgtn Aus la R auf dtr dtr
Bildflacht sugtkthrttn Stitt besitrt.
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. 12
δ. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder H9 dadurch gekenn
!•lehnet» dass der Ringraum (7) mehrere in
Abständen voneinander· ura sslne Längsachse herum
QX^d nut α Auslässe (H)
7· Vorrichtung r.-e.ah einem des* Ansprüche 3 bis ββ dadurch
gekönnselciiKsfc, da ge a'if aw dar Bild fläche (15) zuf?ekehrtm
S®!te ä®s Objektivs Im Abstand von dl to era ein
das Objektiv abdeak^ndmr transparenter Deckel (5) an^e»
ordnet ist·
8· Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 6» dadurch
gekennsslehnet, dass die der Bildfläche benachbarte Linse (22) des Objektivs eint Intmer&lonslinse ist»
deren eine Oberfläche mit der Flüssigkeit in Berührung
kommt»
9, Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 8, gekenn·
zeichnet durch eine die Flüssigkeit dem lUngraum mit
konstantem Druck suführend® Fördervorriahtun«·
10» Vorrichtung nach ein@m der Anspreche 3 bis 9, dadurch
■ gekennzeichnete dass di* Anzeigeeinrichtung (10) einen
Druokföhl«r eufartist 8 der in der Flflaslgkelt vor «inem
verengen Auslaß (11) des Rlnsrauras (7) anf$eoz»dnefc ist·
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Family
ID=10446525
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19681803461 Pending DE1803461A1 (de) | 1967-10-20 | 1968-10-16 | Verfahren und Vorrichtung zur UEberwachung des Abstandes eines Objektives von einer Bildflaeche |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
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CH (1) | CH493861A (de) |
DE (1) | DE1803461A1 (de) |
FR (1) | FR1587123A (de) |
GB (1) | GB1242527A (de) |
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