DE1931407A1

DE1931407A1 - Mikroskopsystem mit Informations-Bausteinhilfseinrichtungen

Info

Publication number: DE1931407A1
Application number: DE19691931407
Authority: DE
Inventors: Chaban Richard J
Original assignee: MCBAIN INSTRUMENTS Inc
Current assignee: MCBAIN INSTRUMENTS Inc
Priority date: 1968-07-19
Filing date: 1969-06-20
Publication date: 1970-01-22
Also published as: US3565534A

Description

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McBain Instruments, Inc., Van Nuys, Calif. / USA

Mikroskopsystem mit Informations-Bausteinhilfseinrichtungen

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Mikroskopeinrichtung und insbesondere auf eine verbesserte Mikroskopeinriohtung mit einer Mehrzahl von Bausteinzusatz- und -hilfseinrichtungen zum Beschleunigen und Erleichtern des Zusammenbauens von Mikrobauelementen unter gleichzeitigem Betrachten der Zusammenbauinstruktionen und -informationen und des Werkstücks selbst, während die Arbeit daran fortschreitet.

Es ist in der heutigen Technik allgemeine Praxis, beim Zusammenbauen von mechanischen und elektronischen Miniaturbauelementen eine Mikroskopeinrichtung zu benutzen. Diese Praxis ist insbesondere bei der Herstellung von mechanischen Mechanismen, wie Zeitgebern, und integrierten elektronischen Baugruppen weit verbreitet. Beim Verdrahten und Zusammenbauen von integrierten Schaltungen ist es zum Beispiel notwendig, zahlreiche elektrische Verbindungen zwischen extrem kleinen Bauelementen und leitenden Bahnen herzustellen. Gemäß den früheren Techniken ist es erforderlich, daß der Bedienende eine größere schematische Darstellung betrachtet, die in geeigneter Betrachtungslage angeordnet ist, und ein geistiges Bild eines bestimmten Vorgangs überträgt, während seine Augen zum Okular des Instruments überwechseln. Während die Arbeit fortschreitet, sind häufige Wiederholungen dieses Vorgangs erforderlich, um jede an dem Werkstück auszuführende Arbeit zu prüfen und sogar doppelt zu prüfen. Trotz größter Sorgfalt ist dieses Verfahren sehr ermüdend und nervenaufreibend und Fehler sind unvermeidbar.

Manchmal ist es auch erwünscht, während Zwischenphasen des ganzen Zusammenbauens gewisse Beobachtungen und Prüfungen vor-

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zunehmen. Es kann z.B. wichtig sein, festzustellen, ob der Stromfluß oder der Spannungsabfall oder eine andere ähnliche Bedingung entsprechend den Konstruktionsvorschriften vorhanden ist. Bisher gab es noch keine geeignete und befriedigende Art und Weise, solche Tests durchzuführen.

Durch die vorliegende Erfindung wurde eine verbesserte Mikroskopeinrichtung geschaffen, mit verschiedenen Bausteinzusatz- und -hilfseinrichtungen, durch die Informationen und Instrumentenanzeigen und -werte an geeigneten Punkten einer oder beider optischer Achsen des Apparates eingeführt und durch den Bedienenden ausgewertet werden, während seine Augen auf das Hauptgesichtsfeld gerichtet sind, oder durch die eine Kameraeinrichtung dazu verwendet,werden kann, einen Zwischen- oder Endzustand des Zusammenbaus aufzunehmen. Die bei der vorliegenden Erfindung angewandten Techniken und Prinzipien sind leicht In eine abgewandelte konventionelle Mikroskopeinrichtung entweder mit einer veränderlichen oder einer festen Linsenanordnung einbaubar. Die verschiedenen Hilfs- und Zusatzeinrichtungen sind mit leicht zu betätigenden Verbindungsstücken versehen und Jede ist so ausgebildet, daß sie von dem optischen Instrumentenaufbau Gebrauch macht, und wird vorzugsweise an Punkten zwischen den Objektivlinsen und dem Okular eingeführt, und vermeidet dadurch irgendwelche Störungen der Brauchbarkeit und der Betriebsweise des Mikroskops, so daß die volle Wirksamkeit des Mikroskopgrundaufbaus erhalten bleibt. Pur gewisse Arbeiten können jedoch zusätzliche Bilder von Einlaßpunkten her in das Okular eingeführt werden, die dicht unter den Objektivlinsen liegen.

Eine der besonders nützlichen Zusatzeinrichtungen ist dazu bestimmt, Instruktionen, wie z.B. eine Zeichnung eines Teils des zu bearbeitenden Werkstücks, mit Hilfe einer Strahlenteilervorrichtung, die zwischen den Objektivlinsen und dem Vergrößerungsänderungssystem angeordnet ist, zusammen mit einem Bild

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des Werkstücks selbst auf der Strecke zu dem Okular einzuführen. Ein zweites und identisches Bild des Werkstücks kann durch parallel angeordnete Systeme in ein weiteres Okular, wie z.B. ein übliches binokulares System eingeführt werden, wodurch es dem Bedienenden möglich wird, in einem Okular eine stark vergrößerte Ansicht des Werkstücks allein und in dem anderen Okular ein identisches Bild desselben zusammen mit einer überlagerten Ansicht von geeigneten Zusammenbauinstruktionen, entweder in Symbolen, oder eine Zeichnung, die gewisse durch den Bedienenden auszuführende Arbeiten enthält, oder beides zu sehen.

Eine zweite Hilfseinrichtung kann angebracht werden, um eine weitere und andere Information durch einen Strahlenteiler einzuleiten, der über dem dem veränderlichen Linsensystem zugeordneten liegt, mit dem Ergebnis, daß letztere Information indem erwähnten ersten Okular und vorzugsweise in einem Bereich auf der einen Seite des betrachteten Objekts sichtbar ist. Es ist daher ersichtlich, daß die Einstellung der veränderlichen Linse' bewirkt, daß das Bauelement selbst gleichzeitig mit dem erwähnten ersten Teil von Instruktionen vergrößert wird, wogegen die zweite Gruppe von Instruktionen, die nur in dem anderen Okular erscheint, durch die veränderliche Einstellung nicht beeinflußt wird. Wenn die einzelnen Gruppen von Informationen auf einem Filmstreifen enthalten sind, wie es erwünscht ist, bewirken einfache miteinander in Verbindung stehende Transportmechanismen, daß durch Verwendung einer geeigneten Einstellvorrichtung der nächste Satz von Informationen gleichzeitig in die Betrachtungsstellung geschaltet wird.

Gegen eine der die Informationen liefernden Zusatzeinrichtungen kann eine weitere Hilfseinrichtung ausgetauscht werden, wie z.B. eine digitale Instrumentenanzeigevorrichtung, die das Abbilden eines Bildes der Instrumentenanzeige in eines der Okulare und damit das Anzeigen der durch ein in einen Kreis mit einem Teil des Werkstücks geschalteten Instruments gemessenen

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Meßwerte bewirkt. Die andere Informationsquelle kann dazu yer-, wendet werden, die richtige Vorschriftenangabe in dem anderen Okular abzubilden.

Eine andere. Hilfseinrichtung umfaßt die Schaffung einer Kamerahalterung in einer Linie mit einer der beiden optischen Achsen des Mikroskops. Wunschgemäß ist die Kamerahilfseinrichtung zusammen mit einem Kassettenhalter für den erläuternden Film auf einem Revolverkopf montiert. Durch Drehen des Revolverkopfes kann entweder die Kassette oder die Kamera in die Arbeitslage mit der optischen Achse gebracht werden, und der zugeordnete Strahlenteiler kann zwischen seinen verschiedenen Arbeitssteilungen hin- und herbewegt werden.

Die der vorliegenden Erfindung zugrundeliegenden Aufgaben zeigen sich beim Lesen der folgenden Beschreibung und der Ansprüche und beim Betrachten in Verbindung mit den Zeichnungen, auf die sie sich beziehen.

Es wird nunmehr auf die Zeichnungen Bezug genommen, in denen ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt ist.

Figur 1 ist ein Aufriß, teilweise im Schnitt, eines bevorzugten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Mikroskops mit zwei informierenden Hilfseinrichtungen in Arbeitsstellung;

Figur 2 ist eine bruchstückhafte Ansicht durch die untere Hälfte des optischen Mikroskopsystems;

Figur J5 ist eine Draufsicht der Revolverkopf-Hilfseinrichtung;

Figur 4 ist eine schematische Ansicht eines Teiles einer anderen Hilfseinrichtung mit einer schematischen Darstellung der Schrittsteuerung für den Filmtransportmechanismus;

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Figur 5 ist eine bruchstückhafte Ansicht einer anderen Hilfseinrichtung, teilweise im Schnitt und brauchbar zum Zuführen der digitalen Ausgabeinformation eines Instrumentes in das optische System;

Figur 5a ist eine schematische Darstellung des Bildes eines Objekts, das in jedem der Okulare sichtbar ist und das eine typische Instrumentenanzeige zeigt, wie sie in dem linken Okular des Mikroskops bei Verwendung der Hilfseinrichtung von Figur 5 beobachtet wird;

Figur 6 ist eine bruchstückhafte und teilweise schematische Ansicht einer anderen Informationszuführungshilfseinrichtung;

Figur 7 ist eine bruchstückhafte Ansicht der Revolverkopfhilfseinrichtung, wobei die Teile zur Verwendung mit der Kamera eingestellt sind;

Figur 8 ist eine bruchstückhafte Ansicht des Aufbaus, der dazu verwendet wird, den oberen Strahlenteiler zu drehen, der in Verbindung mit der Revolverkopfhilfseinrichtung verwendet wird, wobei die vollen Linien diejenige Stellung der Teile zeigen, wenn die Kamera in Gebrauch ist, und die strichpunktierten Linien diejenige Stellung zeigen, wenn der Filmstreifen in Arbeitsstellung ist; und

Figur 9 ist eine Schnittansicht längs der Linie 9 - 9 in Figur 1.

Zunächst wird insbesondere auf Figur 1 Bezug genommen, in der ein allgemein mit 10 bezeichnetes binokulares Mikroskop gezeigt ist, das in geeigneter Weise von einem nicht dargestellten Ständer gehalten wird. Es dürfte klar sein, daß verschiedene andere Arten von Mikroskopeinrichtungen wie Monoskope, Ver-

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bund-, binokulare und andere Mikroskope alle in gleicher Weise zum Gebrauch bei der Durchführung der Prinzipien der Erfindung geeignet sind, eine Tatsache, die für Fachleute der Mikroskoptechnik ersichtlich ist, wenn sie diese Beschreibung lesen. Demzufolge ist ein binokulares System als typisch und nicht in einem einschränkenden Sinn gewählt worden. Der Hauptteil 11 umschließt zwei konventionelle parallele optische Systeme mit einem linken und einem rechten Objektiv 12, 13, die am unteren Ende des Hauptgehäuses angeordnet sind und mit den konventionellen linken und rechten Zoom- oder anderswie veränderlichen Linsensystemen 14, 15 in einer Linie liegen und durch Drehen eines gemeinsamen Einstellringes 16 gleichzeitig einstellbar sind. Die optische Achse jedes Zoomsystems läuft durch ein entsprechendes Umlenkprisma 17, 18 in eines der zugeordneten Vergrößerungsokulare 20, 21.

Ein erster Baustein oder eine erste erläuternde Hilfszusatzeinrichtung 25 ist als an dem oberen Ende eines L-förmigen Rohrgehäuses 26 einstellbar gehaltert dargestellt, dessen kürzerer horizontaler Schenkel 27 sich seitlich in die Seitenwand des Gehäuses für die Objektivlinse 1> öffnet. Ein zweiter Baustein oder eine zweite Hilfszusatzeinrichtung, allgemein mit 30 bezeichnet, umfaßt ein rohrförmiges Gehäuse >1 mit einem abgesetzten unteren Ende, das so ausgebildet ist, daß es eine enge Teleskoppassung in einem 'Sockel 32 hat, und das sich in vertikaler Richtung in den oberen Teil des Hauptteils 11 öffnet, in einem Bereich, der die optische Achse der Zoomeinrichtung 14 überragt. Wie unten mehr ins Einzelne gehend erläutert wird, kann die Zusatzeinrichtung 30 und ihre rohrförmige Halterung jjl abgetrennt und durch eine andere Art Zusatzeinrichtung, wie z.B. die in Figur 5 dargestellte Zusatzeinrichtung 90, ausgetauscht werden.

Es wird nunmehr auf den Baustein 25 Bezug genommen. Es dürfte ersichtlich sein, daß wie hier gezeigt, diese Zusatzeinrichtung

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ein Gehäuse 34 umfaßt, das mit geeigneten Präzissionsteilen versehen ist zum Herstellen von Einstellungen der Übereinstimmung irgendeines darin befindlichen erläuternden Bildes mit einem anderen Bild, wie demjenigen des im Gesichtsfeld des Mikroskops angeordneten Bauteils. Wie hier gezeigt, bildet das Gehäuse 34 eine Kassette, die eine Vorratsspule 38 und eine Aufwickelspule 39 für Filmstreifen 40 umschließt, der eine Reihe von erläuternden Bilder 40 trägt, die nacheinander in das optische Instrumentensystem eingeführt werden sollen. Am oberen Ende des Gehäuses 34 ist eine Lampe 42 angeordnet, die die Wirkung hat, einen konzentrierten Lichtstrahl nach unten durch ein in der optischen Achse der Zusatzeinrichtung zentriertes Filmbild zu richten. Dieses Bild wird mit Hilfe eines Spiegels 44 durch eine Linse 45 geleitet und dann durch einen Strahlenteiler 45 nach oben entlang der Achse des Zoom-Linsensystems 1-5 gelenkt. Der Strahlenteiler 45 ist auf der Innenseite der Objektivlinse 13 angeordnet und läßt sowohl das erläuternde Bild von der Zusatzeinrichtung 25 als auch das Bild von dem bei 46 dargestellten Werkstück nach oben durch das Zoomsystem 15, durch das Teilerprisma 18 und in das rechte Okular 21.

Der Baustein 25 enthält, was in gleicher Weise für den Baustein 30 gilt, vorzugsweise Mittel zum Herstellen präziser feiner Ausrichteinstellungen zum genauen Orientieren und scharfen Einstellen jedes Bildes in eine gewünschte Lage in dem Okular oder in einer sich deckenden Stellung auf dem Bild des zu bearbeitenden Teiles, oder zum Kompensieren von Wölbungen des Filmes oder von Fehlern beim Einstellen der auf ihm befindlichen aufeinanderfolgenden Bilder. Zu diesem Zweck weist die Verbindung zwischen den Gehäusen 3I und 34 Einstellvorrichtungen wie jene auf, die beispielsweise in Figur 1 gezeigt sind, mit einem Fokusierungsring 32, der mit feinen Gewindegängen in Eingriff ist, die um das verstärkte obere Ende des Gehäuses 3I herum ausgebildet sind. Der Ring 32 hat einen nach innen ragenden radialen Flansch 32a, der einen engen Sitz mit einer in einem

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Kupplungsring 52c gebildeten Nut 52b hat, wobei der letztere gegen Drehung durch eine Feder 52d gehalten wird, die axial in eine Bohrung oder eine Nut 52e ragt, die ringförmig in dem oberen Ende des Gehäuses Jl gebildet ist.

Die untere Fläche des Gehäuses J>k besitzt einen viereckigen Ring 55, der einen engen Gleitsitz mit zwei parallelen Schwalbenschwanzkeitnuten 55a hat, die entlang den gegenüberliegenden Seitenkanten des Ringes 55 ausgebildet sind und mit komplementär geformten Keilen ineinandergreifen, die längs der oberen Fläche eines zweiten rechteckigen Ringes 55b verlaufen. Der letztere Ring ist in gleicher Art kreuzweise zu den Keilen und Keilnuten 55a durch zwei gleiche parallele Keile und Keilnuten 55c beweglich, die unter rechten Winkeln zu den Keilnuten 55a verlaufen und zwischen der unteren Fläche des Ringes 55 und der oberen Fläche des Ringes 56 gebildet sind. Der Ring 56 hat eine Präzissionsdrehpassung auf dem oberen Ende des Ringes 52c und kann um letzteren gedreht und in jeder gewünschten eingestellten Lage durch eine Klemmschraube 56a festgeklemmt werden, deren inneres Ende radial in eine Nut ragt, die in der äußeren Seitenwand des Ringes 52c gebildet ist.

Der Ring 55 wird in irgendeiner geeigneten Weise, die in der optischen Technik bekannt 1st, längs der Keilnut 55 leicht hin- und herverstellt, wie z.B. durch eine» Zahnstangeneinstellvorrichtung 55d, wogegen die Ringe 55* 56 längs der Keilnuten 55c durch eine Zahnstangeneinstellvorrichtung 55e einstellbar sind.

Aus dem Vorstehenden dürfte ersichtlich sein, daß der die Bilder tragende Filmstreifen 40 in der Kassette 54 leicht entlang dreier verschiedener Achsen X, Y, Z verstellt werden kann, die unter rechten Winkeln zueinander liegen, und bei Wahl des Benutzers um die Achse des Rohres J>1 gedreht werden kann, wobei die X-Achse durch die Einstellvorrichtung 55d, die Y-Achse durch die Einstellvorrichtung 55e, die Z-Achse durch den Dreh-

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ring J52 und die Theta-Einstellung duroh Lösen der Klemmschraube 56a und Drehen der Kassette J54 in irgendeiner Richtung um den Ring 320 herum eingestellt wird.

Die Transportmittel für den Film sind, wie hier gezeigt, so zu verstehen, daß sie einen manuell einstellbaren Betätigungsknopf 50 besitzen, der durch eine endlose Kette 5I oder Ähnliches mit einer Aufwickelspule JiQ verbunden ist. Die Winkelskala, die auf dem Knopf 50 angebracht ist, ist unterteilt und nummeriert, um das jeweilige auf dem Film befindliche Bild anzuzeigen, das dann mit der optischen Achse der Zusatzeinrichtung in einer Linie liegt. Ein anderer mechanischer Antrieb für den Filmtransportmechanismus ist schematisch in Figur 4 dargestellt. Danach ist das abgelegene Ende der den Knopf 50 tragenden.Antriebswelle mit einem Sperrklinkenrad 55 versehen und eine Sperrklinke 56 auf dem Anker einer Elektromagnetspule 57 befestigt. Jedesmal wenn die Elektromagnetspule durch eine fuß- oder handbetätigte Drucktaste 58 erregt ist, wird die Klinke 56 betätigt, um den Filmstreifen um einen Schritt weiterzubewegen. Wenn die Elektromagnetspule entregt ist, zieht eine Feder 59 die Klinke zurück, um sie mit dem nächsten Zahn des Klinkenrades 55 in Eingriff zu bringen.

Die zweite erwähnte Zusatzeinrichtung 30 ist so, wie sie hier gezeigt ist, eine Mehrzweckeinheit, die mit einem Revolverkopf 60 versehen ist, der in einer Halterung 61 drehbar gelagert ist, die am oberen Ende des Mikroskopgehäuses J>1 angebracht ist. Der Revolverkopf 60 trägt eine Kamera 6j> und eine Filmkassetteneinheit 64, die ähnlich konstruiert ist wie die Filmkassette für die Zusatzeinrichtung 25 und mit geeigneten Mitteln versehen ist, die zwar nicht dargestellt, aber ähnlich denjenigen sind, die oben in Verbindung mit dem Baustein 25 zum zur Deckung bringen eines Filmbildes mit jenem im Hauptgesichtsfeld des Mikroskops beschrieben wurden. Wie in Figur 1 gezeigt ist,

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ist die Kassette 64 mit der optischen Achse des Gehäuses J>1 in eine gerade Linie gebracht, und der üblicherweise darin untergebrachte Filmstreifen wird von seiner Rückseite her durch eine Lampe 65 beleuchtet. Das Filmbild wird nach unten auf einen Spiegel 69 geworfen, der in dem Hauptgehäuse zwischen den Schenkeln eines Trägers 68 fest angeordnet ist, der auf einem Drehbolzen 69 an dem Mikroskopgehäuse drehbar gelagert ist. Der Spiegel 67 lenkt das Filmbild durch eine Linse 70 auf einen Strahlenteiler Jl, der mit der optischen Achse des Zoomsystems 14 (Fig. 2) in einer Linie liegt, und dann nach oben durch ein Einblickprisma I7 und in das linke Okular 20.

Die Kassette 64 ist dazu bestimmt, einen Filmstreifen aufzunehmen, der erläuterndes Material enthält und dazu vorgesehen ist, von einer Vorratsspule 66 zu einer Aufwickelspule 66 in eine Linie mit der optischen Achse der Zusatzeinrichtung 30 bewegt zu werden. Wunschgemäß sollte der Transport des Filmstreifens in der Einheit 64 mit dem Transport des Filmstreifens 40 in der Kassette 54 koordiniert und synchronisiert werden. Dies wird erfindungsgemäß mit Hilfe eines flexiblen Kabelantriebs 68 err reicht, dessen eines Ende mit einem Ende der Welle verbunden ist, die den Knopf 50 der Einheit 25 trägt, und dessen anderes Ende in irgend einer geeigneten Weise lösbar mit der Aufwickelspule 66 der Informationseinheit 64 verbunden ist. Wenn es jedoch erwünscht ist, die beiden Filmstreifen unabhängig voneinander zu transportieren, wird das obere Ende der Welle 68 von seiner herausziehbaren Verbindung mit der Aufwiekelspule 66 gelöst und letztere von Hand betätigt.

Es ist selbstverständlich, daß die auf dem Filmstreifen 40 erscheinenden Bilder vorzugsweise im gleichen Maßstab gezeichnet sind wie die Elemente des Werkstücks 46 unter der Objektivlinse. Demzufolge können das reelle Bild und das erläuternde Bild von dem Film 40 direkt einander überlagert werden, während sie

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im Okular 21 betrachtet werden, wogegen der Bedienende in dem Okular 20 nur das Bild des Werkstücks selbst sieht.

Weil der Strahlenteiler 71 für die von der Filmeinheit 64 gelieferte Information oberhalb des zugeordneten Zoomlinsensystems 14 angeordnet ist, wird diese Zusatzinformation nur durch dasjenige optische System vergrößert, das sich zwischen dem Strahlenteiler 71 und dem Auge des Bedienenden befindet, und wird nicht durch das Einstellen des Zoom-Einstellringes 16 beeinflußt.

Wenn die Einheit 30 um die Befestigungsspindel 60 für den Revolverkopf gedreht wird bis die Kamera 63 mit dem Gehäuse ^l fluchtet, dann kommt der Arm 75* der sich mit der Spindel 60 dreht, mit dem Kontakt 76 in Eingriff und schließt einen Kreis über eine Elektromagnetspule 77 (Figur 7), die fest am Hauptrahmen des Mikroskops angebracht ist. Wie aus Figur 7 zu entnehmen ist, ist der .Anker der Elektromagnetspule 77 durch ein Verbindungsglied 80 mit einem Träger 68 verbunden, der einen Linsenhalter 78 und eine Zerstreuungslinse 8l trägt. Die Linse 81 ist nur in Verbindung mit der Filmbehältereinheit 64 und nicht in Verbindung mit der Kamera erforderlich. Dementsprechend ist die Linse 81 in dem Träger 68 befestigt und wird nach rechts aus dem optischen Strahlengang der Kameralinse bewegt, wenn letztere in ihre Arbeitsstellung gedreht wird. Wenn der Revolverkopf gedreht wird, um die Kamera aus ihrer Arbeitsstellung zu drehen, trennen die Kontakte 75* 76 den Erregungskreis für die Elektromagnetspule 77 auf und gestatten dadurch, daß eine (nicht dargestellte) Feder den Linsenhalter 78 entgegen dem Uhrzeigersinn in seine andere Lage innerhalb des Gehäuses 83 schwenkt und dadurch die Zerstreuungslinse 81 in ihre Arbeitsstellung relativ zu der Filmeinheit 64 und dem stationären Spiegel 67 zurückführt. In dieser letzteren Stellung wird das Bild von der Filmeinheit 64 in den aufwärts gerichteten Strahlenteiler 71 und dann in das Okular gelenkt.

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Unter Bezugnahme auf Figur 8 wird darauf hingewiesen, daß der Träger 68, der den Linsenhalter 78 trägt, einen Arm 85 besitzt, der eine Verbindung 86, 87 mit totem Gang besitzt, mit einer · Drehzapfenbefestigung für den Strahlenteiler 71. Die Anordnung ist derart, daß sobald sich der Linsenhalter 78 und der ihn tragende Träger 68 um den angedeuteten relativ kleinen Bogen bewegen, der Strahlenteiler Jl um 90° um eine horizontale Achse durch den Strahlenteiler und zwischen seinen beiden in den Figuren 1 und 8 entsprechend dargestellten ArbeitsStellungen gedreht wird. In der in Figur 1 gezeigten Stellung des Strahlenteilers wird ein Bild von der Filmeinheit 64 nach oben in das Okular 20 gelenkt, wogegen dann, wenn der Strahlenteiler in die in Figur 8 gezeigte Stellung gedreht ist, ein Bild des Werkstückes 46 oder eines anderen unter den Objektivlinsen 12, IJ angeordneten Objektes nach aufwärts durch das Zoomlinsensystem und dann durch den Strahlenteiler 71 seitlich und nach oben in die Kameralinse projiziert wird. Der die Einrichtung benutzende Bediener kann das Objekt durch das Okular 21 betrachten und die Kamera sieht in gleicher Weise das Objekt mit Hilfe der Objektivlinse 12, des Zoomlinsensystems 14, des Strahlenteilers 71» des reflektierenden Spiegels 67 und des Linsensystems 78. Die Stellung des letzteren kann durch die einstellbare Anschlagschraube 79 eingestellt werden, die in der Seitenwand des rohrförmigen Gehäuses J>1 (Figur l) angebracht ist.

In den Figuren 5 und 5a ist eine Zusatzeinrichtung 90 gezeigt, die einen rohrförmigen Körper 9I besitzt, der mit einem verjüngten Ende 92 versehen ist, das so dimensioniert ist, das es anstelle der Zusatzeinrichtung JO eng in den Stutzen 32 des Mikroskopkörpers paßt. Die Zusatzeinrichtung 90 besitzt eine oder mehrere digitale oder Symbol-Anzeigeröhren 94, die in einem Sockel 95 gehalten sind und von denen jede zwei elektrische Leitungen 96 besitzt, die zu der (nicht dargestellten) Instrumentenausrüstung laufen, die in einen Kreis, mit Teilen der elektrischen Schaltung geschaltet werden kann, die einen Teil

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des- Werkstücks 46 bilden, das mit Unterstützung des Mikroskops montiert oder bearbeitet wird. Die Miniaturanzeigeröhren 94 sind von einer Art, die für Fachleute des Miniaturinstrumentengebietes gut bekannt ist, und jede ist dafür vorgesehen, einen bestimmten Digitalwert anzuzeigen, der durch ein mit dem Werkstück verbundenes zugeordnetes Meßinstrument gemessen wird. Das Bild dieser Röhren wird nach unten durch das Gehäuse 91 und durch die Zerstreuungslinse 98 übertragen und durch einen Spiegel 99 durch die Linse 100 in den Strahlenteiler ¹Jl und von dort aus in das okular 20 gelenkt. Die Lampen 94 sind vorzugsweise so angeordnet, daß ihre Bilder in einem Bereich des Okulars erscheinen, der nicht durch die Bildelemente des Werkstücks belegt ist. Somit zeigt der linke Kreis in Figur 5a, der die Ansicht darstellt, die in dem Okular 20 erscheint, daß die Instrumentenanzeige "547" ist.

Es wird nunmehr der Betrieb der dargestellten Mikroskopeinrichtung in einem typischen von ihren zahlreichen Anwendungsfällen beschrieben, nämlich zum Vervollständigen elektrischer Verbindungen zwischen Elementen eines Subminiatur- oder integrierten elektronischen Bauteils 46. Die Schaltelemente, die auf der Oberseite der Isolierplatte freiliegen, nehmen nur einen sehr kleinen Bereich direkt unter der optischen Achse des Mikroskops 10 ein. Vor dem Anordnen oder Befestigen eines Bauteils 46 auf dem Objektträger des Instruments wird die Zusatzeinrichtung J>K mit Film 40 geladen, der ein oder mehrere Bilder von Bauteilen 46 in verschiedenen Fertigstellungsstufen enthält und gewöhnlich nur ein Stück von dem Bauteil und einige der Verbindungen zeigt, die durch den Bedienenden fertiggestellt werden sollen.

Das Mikroskop wird am schnellsten eingestellt, indem das erste erläuternde Bild auf dem Film 40 in die richtige Betrachtungsstellung im Gesichtsfeld des Okulars 21 gebracht wird. Es sei z.B. angenommen, daß der Kreis 21-b in Figur 1 die Ansicht des ersten Bildes auf dem Film 40 darstellt. Dieses Bild enthält

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eine Darstellung eines Teils der Schaltungskomponenten, die die ungleich geformten Streifen im Kreis 21-b enthalten. Verschiedene dieser Streifen sind durch gerade Linien 120, 121 verbunden, die die elektrischen Verbindungen darstellen, die durch den Bedienenden zu ergänzen sind. Nachdem das Bild in dem Okular richtig zentriert worden ist, wie es im Kreis 21-b angedeutet ist, stellt der Bedienende das tatsächliche Werkstück 46 in dem Gesichtsfeld ein, bis der© entsprechende Teil des Werkstücks 46 in dem Okular 21 genau mit dem Bild von. dem Film übereinanderliegt, ein Zustand, der im Kreis 21-b dargestellt ist. Die verschiedenen und entsprechenden Einstellvorrichtungen 32, 35-d und j55-e können ebenfalls, falls es notwendig oder zweckmäßig ist, beim genauen und scharfen Überlagern des Ergänzungs- oder Informationsbildes mit dem Bild des Bauteils' 46 eingestellt werden. Das Okular 20 liefert dem Bedienenden eine klare Ansicht des Werkstücks, ohne irgendwelche elektrische Verbindungen, die die integrierten Schaltelemente verbinden. Mit anderen Worten, das Okular 20 liefert dem Bedienenden eine klare und direkte Ansicht des Werkstücks oder ein Hauptbild, wogegen das Okular 21 eine entsprechende Ansicht des Werkstücks zusammen mit einem überlagerten Film- oder Ergänzungsbild der gleichen Schaltelemente zusammen mit der Lage der elektrischen Verbindungen liefert, die auf dem Werkstück zu löten sind. Es sei außerdem darauf hingewiesen, daß dann, wenn das erläuternde Filmbild nicht vorhanden ist, der Bedienende eine identische Ansicht des Werkstücks hat, ein Zustand, der in den Kreisen 20-a, 20-b dargestellt ist.

In Verbindung mit den beiden Kreisen 20-c, 21-c wird darauf hingewiesen, daß in beiden Kreisen gewisse gekrümmte Linien vorhanden sind. Diese Linien stellen elektrische Verbindungen dar, nachdem ein Ende mit einem Schaltelement an einem Punkt verbunden worden ist, der durch das.im Kreis 21-c erscheinende erläuternde Bild angegeben wurde. Nachdem ein Ende jeder Verbindung fertiggestellt worden ist, fährt der Bedienende fort,

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das andere Ende an einer Stelle festzumachen, die mit den Instruktionen übereinstimmt, die durch das erläuternde Bild geliefert werden, das in dem rechten Okular erscheint. Nachdem die Verbindungen fertiggestellt worden sind, werden sie sich im allgemeinen mit dem Instruktionsbild decken, das in dem rechten Okular erscheint, und die in den beiden Okularen zu beobachtenden Ansichten sollten sich decken, ein Zustand, der in den Kreisen 20-d, 21-d angedeutet ist. Wenn der Bedienende wünscht,, das Gesehene zu vergrößern oder das' Bild des Werkstücks zu irgendeiner Zeit zu verkleinern, dann verstellt er lediglich den Zoomlinseneinsteilring 16 in entsprechender Richtung. Das instruierende Bild sowie dasjenige des Werkstücks werden im gleichen Maßstab vergrößert, weil beide Bilder durch die gleichen optischen Zoomlinsensysteme 14, 15 laufen.

Nachdem die Verbindungen in einem Teil eines Werkstücks fertiggestellt worden sind, wird die Drucktaste 58 des Filmtransportmechanismus (Figur 4) kurzzeitig geschlossen, um das nächste erläuternde Bild in seine Stellung zu bringen und es hinsichtlich seiner X-, Y-, Z- oder Thetaachse auszurichten, falls nötig, bis ein Bild eines entsprechenden Teiles seiner Schaltung sich genau mit dem neuen Gegenstandsbild deckt, wenn der Bedienende fortfährt, den Filminstruktionen beim Fertigstellen der nächsten Gruppe von elektrischen Verbindungen zu folgen. Wenn es erwünscht ist, und insbesondere in komplexeren Anordnungen, können die verschiedenen elektrischen Verbindungen auf dem erläuternden Film unterschiedliche Farben haben, um die Erkennung der verschiedenen Verbindungen zu erleichtern und dem Bedienenden, zu helfen, zwischen den verschiedenen Verbindungen und der Reihenfolge zu unterscheiden, in der sie vorzugsweise hergestellt werden.

Bei gewissen Anordnungsvorgängen muß der Bedienende elektrische Werte gewisser hergestellter Verbindungen prüfen, bevor er mit

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anderen fortfährt. In diesem Fall wird die in Figur 5 gezeigte Zusatzeinrichtung 90 in die Fassung J>2. des Mikroskops eingesteckt, und die Leitungsdrähte 96 für die digitalen Anzeigeröh» ren werden mit einem passenden Meßinstrument verbunden, das durch den Bedienenden betätigbare Spitzen für die Kontaktgabe mit entsprechenden Teilen des Werkstücks besitzt, während dieses durch die Okulare 20, 21 betrachtet wird. Der durch das Meßinstrument abgetastete Wert wird dazu benutzt, die Anzeigeröhren zu betätigen, und Bilder dieser Werte werden zu dem Strahlenteiler 71 und dann in das Okular 20 geleitet und durch den Bedienenden betrachtet, der außerdem beobachten kann, ob die Spitzen tatsächlich mit den richtigen Elementen der Schaltung in Kontakt sind. Die durch die Anzeigeröhren 94 in dem Kreis 20-e, Figur 5A, dargestellte Anzeige ist 5^7. Wenn dies der richtige Wert ist, fährt der Bedienende mit den anderen Verbindungen fort. Wenn es nicht der richtige Wert ist, ist das Werkstück nicht brauchbar und wird zurückgewiesen.

In gewissen Fällen kann eine Aufnahme der tatsächlich hergestellten Verbindungen als Dokument für den Nachweis einer richtigen Anordnung erwünscht sein. In diesem Fall dreht der Bedienende vor dem Fortfahren mit anderen Verbindungen die Einheit 30 um 18O°, so daß die Linse der Kamera in einer Linie mit der Achse des Rohres j51 liegt. Wenn die Kamera in diese Stellung schwenkt, berührt der Arm 75 den Kontakt 76 und schließt einen elektrischen Kreis zu dem Elektromagneten 77. Die Erregung dieser Elektromagnetspule bewirkt, daß der Elektromagnetanker 77* den Träger 68, der die Linsenanordnung 78 trägt, in eine Linie mit der Kameralinse schwenkt. Gleichzeitig wird die Zerstreuungslinse 81 aus ihrer Lage verschoben und der Strahlenteiler 71 um 90° entgegen dem Uhrzeigersinn gedreht, so daß ein Bild des Werkstücks 46 durch den Strahlenteiler auf den Spiegel 67 und dann in die Kameralinse gelenkt wird. Nachdem eine Aufnahme gemacht worden ist, kann die Kamera in ihre, andere Lage zurückgedreht werden, wobei der Kreis durch den Elektromagneten 77

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entregt wird und damit erlaubt, daß eine zugeordnete, nicht dargestellte, Feder die Linsenhalterung 78 in ihre zurückgezogene Lage im Gehäuse 83 zurückbringt, und außerdem der Strahlenteiler 71 in die in Figur 1 gezeigte Lage zurückgebracht wird».

Die Filminformation, die durch die Zusatzeinrichtung 64 geliefert wird, wenn sie sich in der in Figur 1 gezeigten Lage befindet, ist geeignet, gedruckte oder andere Instruktionen in der gleichen Weise wie die Informationen von der Zusatzeinrichtung 25 in das Okular 20 zu leiten. Diese Instruktionen laufen nicht durch die Zoomlinsenanordnung 14 und werden demzufolge durch das Einstellen des Zoomlinseneinstellrings 16 nicht vergrößert oder verkleinert. Die so zugeführte Information verkörpert gewöhnlich nicht ein Duplikat eines Teils des·Werkstückbildes. Aus diesem Grunde ist es nicht notwendig, das Bild des Werkstücks mit jenem des erläuternden Materials aus der Zusatzeinrichtung 64 zur Deckung zu bringen. Es ist jedoch erwünscht, daß die durch die Zusatzeinrichtung 64 gelieferten Ergänzungsinstruktionen mit einem damit in Verbindung stehenden Bild auf dem Film 40 koordiniert wird. Dieses Ziel wird durch Verwendung der flexiblen Welle 68 und des elektromagnetisch betätigten Schaltklinkengetriebes 55, 56 erzielt, die zusammenwirken, um den Streifen in der Einheit 64 gleichzeitig mit dem Filmstreifen 40 zu transportieren.

Die Zusatzeinrichtung 110, Figur 6, ist im allgemeinen der Zusatzeinrichtung 25 ähnlich, ausgenommen, daß sie mit einem tatsächlichen Probestück oder einer auf einem undurchsichtigen Streifen aufgedruckten Information verwendbar ist, der durch geeignete Mittel in der Ebene der Oberfläche transportiert wird. Wenn diese Art von undurchsichtiger Information verwendet wird, erfordert das nach unten weisende Bild eine geeignete Beleuchtung, wie z.B. jene, die durch die Lampen II5 geliefert wird. Die Strahlen von dem Bild laufen nach unten durch eine

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Zerstreuungslinse 114, auf einen Spiegel 115 und dann zu einem Strahlenteiler, der wie oben in Verbindung mit Figur 1 beschrieben angeordnet ist. Obgleich nicht dargestellt, ist es selbstverständlich, daß die erläuternden Bilder schrittweise von Vorratsrollen transportiert werden können, die jenen entsprechen, die in Verbindung mit der Zusatzeinrichtung 25 beschrieben wurden.

Obgleich die spezielle Mikroskopbetrachtungs- und -anordnungseinrichtung, die hier dargestellt und im Detail erläutert wurde, völlig geeignet ist, die Aufgaben zu erfüllen und die oben ψ angegebenen Vorteile zu erbringen, ist es selbstverständlich, daß sie für die vorliegenden bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung lediglich erläuternd ist und keine anderen als die in den folgenden Patentansprüchen angegebenen Einschränkungen auf die hier gezeigten Konstruktions- oder Ausführungsdetails beabsichtigt sind.

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Claims

Patentansprüche

Verfahren zum Behandeln und Bearbeiten von mit dem unbewaffneten Auge nicht leicht sichtbaren Miniaturbauelementen, gekennzeichnet durch das Anordnen eines zu bearbeitenden Bauelements in dem Gesichtsfeld einer Objektivlinsenanordnung einer Mikroskopeinrichtung, die leistungsfähige optische Vergrößerungsbauteile einschließlich einer Okulareinrichtung enthält, durch das Einführen eines Ergänzungsbildes in die Mikroskopeinrichtung von einer Seite der -optischen Achse der Einrichtung her, die zwischen dem Gesichtsfeld und der Okulareinrichtung verläuft, und durch das Einstellen der Ebene des Ergänzungsbildes, um das Ergänzungsbild scharf zu stellen und mit dem Bild des zu bearbeitenden Bauelements genau zur Deckung zu bringen, während die beiden Bilder dem Betrachter in den Okulareinrichtungen der Mikroskopeinrichtung erscheinen.

2.) Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch das Hintereinanderanordnen einer Mehrzahl von Ergänzungsbildern und das aufeinanderfolgende Einführen der Ergänzungsbilder in die Okulareinrichtung in genau ausgerichteter und orientierter lage relativ zu einem Bild des zu bearbeitenden Bauelements.

3.) Verfahren nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch das Anordnen der Ergänzungsbilder in engem Abstand voneinander längs einer Reihe und durch periodisches Schalten der einzelnen Bilder in eine Lage zum Betrachten durch die Okulareinrichtung.

4.) Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, gekennzeichnet durch das Einführen der Ergänzungsbilder nach aufwärts entlang der optischen Hauptachse der Mikroskopeinrichtung an einem Punkt zwischen der Objektivlinsenanordnung und der Okulareinrichtung.

5.) Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet durch das Einführen einer zusätzlichen Ergänzungsinformation nach aufwärts in die Okulareinrichtung entlang der optischen

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Hauptachse der Mikroskopeinrichtung von einer zweiten und unabhängigen Ergänzungsinformationsquelle aus einschließlich Instruktionen, die für den Bedienenden nützlich und in der Oku-· lareinrichtung sichtbar sind, ohne das sie dem Bedienenden die Ansicht des Bauelements und eines Bildes der erwähnten ersten Ergänzungsinformation stören.

6.) Verfahren nach Anspruch 5* gekennzeichnet durch das Anordnen einer Folge von miteinander in Beziehung stehenden Bildern von Ergänzungsinformationen in einer Reihe in jeder der unabhängigen Quellen derselben zum gleichzeitigen Einführen nach aufwärts in die Okulareinrichtung längs der optischen Hauptach-" se der Mikroskopeinrichtung, und durch gleichzeitiges Schalten der miteinander in Beziehung stehenden Paare der Ergänzungsinformationsbilder in eine Lage zum Betrachten durch die Okulareinrichtung.

, 7·) Verfahren nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch das Vorsehen einer Mehrzahl von Okulareinrichtungen und durch das Projizieren der miteinander in Beziehung stehenden Ergänzungsinformationsbilder in verschiedene dieser Okulareinrichtungen zusammen mit Duplikatbildern des zu behandelnden Bauelements.

8.) Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, gekennzeichnet durch die Verwendung der Okulareinrichtung zum Beobachten der Betätigung von Meßinstrumentenspitzen, während diese Spitzen auf Teilen des behandelten Bauelements in die richtige Lage gebracht -werden, um daran eine gewünschte Messung durchzuführen, und durch das Einführen eines Bildes der angezeigten Werte des Meßinstruments in die Okulareinrichtung längs der optischen Achse der Mikroskopeinrichtung zum Betrachten durch den' Bedienenden, während gleichzeitig das Bauelement und die Meßinstrumentenspitzen durch die Okulareinrichtung beobachtet werden.

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9.) .Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, gekennzeichnet durch das Überlagern eines dem Miniaturbauelement entsprechenden Bildes mit dem Bild des Bauelementes selbst, während es durch das eine Okular betrachtet wird, zusammen mit einer Weisung von Änderungen, die daran durch den Bedienenden auszuführen sind, und durch das Benutzen der überlagerten Bilder als Anleitung für den Bedienenden beim Ausführen eines Arbeitsvorgangs und als Prüfung, wenn der Vorgang richtig durchgeführt worden ist.

10.) Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, gekennzeichnet durch die Verwendung einer Kameraeinrichtung zur Herstellung eines photographischen Bildes des Bauelementes, während das erste Okular weiter zur Verwendung durch den Bedienenden beim Betrachten des photographierten Bauelements verfügbar bleibt.

11.) Mikroskopiergerät zur Verwendung beim Herstellen, Anordnen und Behandeln von Miniaturbauelementen, mit einem Gehäuse, das eine Objektivlinsenanordnung (l~5, 14) und eine Okulareinrichtung (20, 21) an den entgegengesetzten Enden der optischen Hauptachse desselben umschließt, gekennzeichnet durch eine von der optischen Hauptachse abgesetzte Einrichtung (26) zum Aufnehmen einer Ergänzungsinformation, mit einer optischen Einrichtung (44, 45) zum Einführen eines Bildes der Ergänzungsinformation nach aufwärts in die Okulareinrichtung (21) längs der optischen Hauptachse des Gerätes für die Betrachtung durch einen Bedienenden zusammen mit einer Ansicht des behandelten und in dem Gesichtsfeld der Objektivlinsenanordnung angeordneten Bauelements (46).

12.) Gerät nach Anspruch 11, gekennzeichnet durch eine Einrichtung (;52, 55) zum genauen Ausrichten und Scharfstellen eines Bildes der Ergänzungsinformation in dem Okular (21) in einer gewünschten Lage relativ zu einem Bild des behandelten Bauelements (46).

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13.) Gerät nach Anspruch 11 oder 12, gekennzeichnet durch eine Vorrichtung (34, J>8_S 39) zum Aufnehmen und Schalten aufeinanderfolgender Ergänzungsinformationsbilder in die Okulareinrichtung .

14.) Gerät nach Anspruch 11, 12 oder 13 gekennzeichnet durch eine Vorrichtung (30) zum Aufnehmen einer zweiten Quelle von Ergänzungsinformationen und durch eine Einrichtung zum Einführen eines Informationsbildes davon nach aufwärts in die Okulareinrichtung entlang der optischen Hauptachse zum Betrachten in einem Bereich, der eine Ansicht eines Bildes der erwähnten er- W sten Ergänzungsinformation nicht behindert.

15.) Gerät nach Anspruch 14, gekennzeichnet durch eine Vorrichtung (68) zum Koordinieren"des Schaltens von miteinander in Beziehung stehenden Paaren von Bildern der ersten und zweiten Quelle von Ergänzungsinformationen in die Lage zum Betrachten durch die Okulareinrichtung, wodurch entsprechende Paare dieser Bilder in die Betrachtungslage transportiert werden.

16.) Gerät nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Ergänzungsinformation eng nebeneinander auf einem gemeinsamen Trägermedium (4o) angeordnet ist.

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17.) Gerät nach einem der Ansprüche 11 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung für die Ergänzungsinformation eine Einrichtung (90) zum Einführen von Bildern von Instrumentenanzeigewerten in die OkulareinriGhtung enthält, wodurch ein Bedienender, der das Bauelement (46) betrachtet, das in dem Gesichtsfeld des Gerätes behandelt wird, den angezeigten Wert (547) eines Instrumentes beobachten kann, das bei dem Behandlungsvorgang verwendet wird.

18.) Binokulares Mikroskopiergerät zur Verwendung bei der Durchführung von Vergleichen und beim Herstellen von Miniatur-

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bauelementen, mit zwei optischen Systemen, die nebeneinander angeordnet sind und separate Doppelokulare und separate Objektivlinsen umfaßt, gekennzeichnet durch eine Strahlenteilereinrichtung (45), die in einer der optischen Achsen in unmittelbarer Nähe, jedoch innerhalb einer der Objektivlinsen (ljS) angeordnet ist und bewirkt, daß ein Bild von einer Ergänzungsinformationsbildquelle.(25) auf einer Seite der optischen Achse aufwärts in das zugeordnete Okular (21) geleitet wird, und durch eine Vorrichtung (34) zum Einführen des Bildes von der Ergänzungsinformationsquelle auf den Strahlenteiler (45), zum Weiterleiten (26, 44) durch den Strahlenteiler (45) zu dem zugehörigen Okular (21) und zum Betrachten zusammen mit dem Bild eines auf die Mitte unter den Doppelobjektivlinsen eingestellten Gegenstands (46), wodurch der Bedienende den Gegenstand allein durhh das eine Okular (20) und den Gegenstand zusammen mit dem Ergänzungsbild durch das andere Okular (21) betrachten kann.

19.) Gerät nach Anspruch 18, gekennzeichnet durch eine Einrichtung (26), die fest mit dem Gerät verbunden ist und eine optische Einrichtung (44, 45) enthält, die seitlich von der optischen Achse befestigt ist und damit an einem Punkt zwischen der Objektivlinse (13) und dem einen Okular (21) in optischer Verbindung steht und entlang der das Ergänzungsbild über die Strahlenteilereinrichtung (45) zu dem einen Okular (21) übertragen wird.

20.) Gerät nach Anspruch I9* dadurch gekennzeichnet, daß die feste mit dem Gerät verbundene Einrichtung (26) zum Einführen eines Ergänzungsbildes in die optische Achse eine Einstellvorrichtung (j55) zum Auswechseln einer Ergänzungsbildquelle gegen eine andere Ergänzungsbildquelle enthält.

21.) Gerät nach Anspruch I9, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (25) zum Einführen eines Ergänzungsbildes in die

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optische Achse über die Strahlenteilereinrichtung (45) eine Serie von in einer Reihe angeordneten Ergänzungsbildern enthält und Mittel (38, 39) zum Transportieren der Bilder einzeln in , die Betrachtungsstellung des einen Okulars (21) umfaßt.

22.) Gerät nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Ergänzungsbilder auf einem streiferiförmigen (40) Material befinden.

25.) Gerät nach Anspruch 21 oder 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel (38, 39) zum Transportieren der Ergänzungsbilder k eine manuell betätigbare Einstellvorrichtung (50, 52) zum Transportieren der Bilder in Schritten bestimmter Länge enthalten,

24.) Gerät nach einem der Ansprüche 18 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Doppelsystem eine regulierbare Einrichtung (16) zum Verändern der Vergrößerung des betrachteten Objektes gleichzeitig mit dem Ergänzungsbild und im exakt gleichen Maßstab enthält.

25.) Gerät nach einem der Ansprüche 18 bis 24, gekennzeichnet durch eine fest damit verbundene Vorrichtung (30, Jl), die eine zweite Strahlenteilereinrichtung (71) umfaßt, die betätigbar ist, um ein zweites Ergänzungsbild in eine der optischen Achsen des Gerätes an einem Punkt zwischen den Objektivlinsen und den Okularen einzuführen.

26.) Gerät nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß jedes der Ergänzungsbilder auf einem Streifen (40.) enthalten ist, auf dem eine Vielzahl von in entsprechender Weise zu den aufeinanderfolgenden Bildern auf dem anderen Streifen in Beziehung stehenden Bildern angeordnet ist.

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27.) Gerät nach Anspruch 26, gekennzeichnet durch eine Vorrichtung (68) zum gleichzeitigen Transportieren von miteinander in Beziehung stehenden Paaren von Bildern auf den beiden Streifen in Stellungen zum Einführen in eine entsprechende von den gleichen Strahlenteilereinrichtungen.

28.) Gerät nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (68) zum gleichzeitigen Transportieren eine magnetisch betätigbare Einrichtung (55, 56, 57, 58, 59) enthält.

29.) Gerät nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, daß die Transportvorrichtung ein flexibles Kabel (68) umfaßt, das zwischen den beiden Filmstreifen verläuft.

30.) Gerät nach einem der Ansprüche 27 bis 29, dadurch gekennzeichnet, daß jede der Strahlenteilereinrichtungen in einer separaten Achse der beiden'optischen Hauptachsen des Gerätes angeordnet ist.

51.) Gerät nach einem der Ansprüche 25 bis 30, gekennzeichnet durch eine Kameraeinrichtung (63) mit einer Linse, die mit einer der Achsen einer der Ergänzungsbildeinrichtungen (30) ausrichtbar ist, zur Verwendung bei der Herstellung einer Filmaufnahme des in dem Gesichtsfeld des Mikroskopiergerätes angeordneten Objektes (46).

32.) Gerät nach Anspruch 31, gekennzeichnet durch Mittel (68, 69, 81, 85, 86), die betätigbar sind, wenn die Kamera in die Arbeitslage bewegt wird, um die zugeordnete Strahlenteilereinrichtung (7I) zu verschieben und das Licht des betrachteten Objektes (46) von dem einen Okular (21) in die Linse der Kameraeinrichtung (63) zu lenken und das in dem Hauptgesichtsfeld des Gerätes angeordnete Objekt (46) durch das andere Okular (20) weiter sichtbar bleiben zu lassen»

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33.) Gerät nach Anspruch 31 oder 32., gekennzeichnet durch eine Revolvereinrichtung (60) zum drehbaren Haltern der Kameraeinrichtung (63) für die Bewegung zwischen einer ersten und einer zweiten· Stellung, wobei die Linse der Kameraeinrichtung (63) in der ersten Stellung mit einem zugeordneten Strahlenteiler (71) ausgerichtet und betätigbar ist, um Licht von dem betrachteten Objekt (46) auf den Film in der Kameraeinrichtung (63) zu übertragen, und wobei die Kameraeinrichtung (63) in der zweiten Drehstellung auf der einen Seite des Lichtübertragungsweges angeordnet ist.

fc 34.))Gerät nach Anspruch 33* dadurch gekennzeichnet, daß in der zweiten Stellung der Kameraeinrichtung (63) die zweite Ergänzüngsbildeinriehtung (64) fluchtet, um eines zweites Ergänzungsbild zu einem zugeordneten Okular (21) zu übertragen.

35·) Gerät nach einem der Ansprüche 29 bis 34, gekennzeichnet durch eine Vorrichtung (3I, 32), die dazu vorgesehen ist, wahlweise die Kameraeinrichtung (63)·und eine Informationsbildeinrlchtuhg (64) aufzunehmen, die für den Bedienenden beim Betrachten eines Gegenstandes in dem Gesichtsfeld des Gerätes nützlich ist.

L e e r s e i t e