DE19527957C1 - Taktiler, optoelektronischer Drucksensor - Google Patents
Taktiler, optoelektronischer DrucksensorInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen optoelektronischen Drucksensor.
Ein solcher Drucksensor besteht aus einem taktilen Teil, der
eine Druckausübung auf seine drucksensitive Fläche durch eine
Lichtintensitätsänderung beantwortet. Diese Änderung der
Lichtintensität wird über eine Lichtübertragungsstrecke auf
eine Bilderfassungseinrichtung gelenkt und aufgenommen. Eine
an die Bilderfassungseinrichtung angeschlossene Datenverarbei
tungsanlage steuert diese und liest die intensitätsrelevanten
Daten aus. Die Druckeinwirkung auf die drucksensitive Fläche
läßt sich dann darstellen, oder es können entsprechende Steu
erbefehle an angeschlossene Bedieneinrichtungen oder Empfin
dungseinrichtungen geleitet werden.
Solche Drucksensoren können für vielerlei Zwecke eingesetzt
werden. So kommen sie als Tasteinrichtung in der Robotertech
nik in Frage. Es kann eine Oberfläche mit ihnen ertastet wer
den. In der Medizin können mit solchen Sensoren Gewebepartien
oder Organe betastet werden.
Ein Druckarray wird z. B. in einer laparo
skopischen Faßzange verwendet, um die Druckdaten zu erfassen.
Der Sensor basiert auf einem halbleitenden Polymer, das bei
Beaufschlagung von äußerem Druck seinen Widerstand ändert.
Diese nur für dynamische Druckerfassung geeigneten Druckdaten
werden nach graphischer Darstellung auf einem PC-Monitor wie
der auf ein taktiles System zurückgegeben (siehe Fischer, H.
et al., "Messungen der Greifkräfte chirurgischer Zangen mit
FSRTM-Sensoren", Interner Bericht, Forschungszentrum KA, HIT,
1994). Das halbleitende Polymer hat die nachteilige Eigen
schaft, daß es bei häufiger Betätigung einer raschen Alterung
unterliegt, mit sehr hohem Kriechverhalten behaftet ist und
somit zur statischen Druckmessung ungeeignet ist, wodurch dann
der Rückschluß auf den ausgeübten Druck falsch wird.
Sehr verbreitet sind taktile kapazitive Foliensensoren. Diese
bestehen meist aus zwei gekreuzt aufeinandergelegten Kupfer
streifen, die durch ein dielektrisches Elastomer voneinander
getrennt sind und so eine Matrix aus Kondensatoren bilden
(siehe J. Seekircher et al. "Improved tactile sensors", selec
ted papers from the 2nd IFAC symposium, Pergamon 1988, p. 317-22).
Der Druck auf den Sensor wird in eine Kapazitätsänderung
transformiert. Eine solche Einrichtung ist gegen elektromagne
tische Felder sehr störanfällig, da die Signalgröße aufgrund
der sehr geringen Kapazitätsänderung von 0.6 pF bei d/d = 10%
und bei einer Schichtdicke von 30 µm sehr gering ist und somit
aufwendige Auswerteverfahren nötig sind.
In der DE 32 36 435 C2 wird ein faseroptischer Sensor be
schrieben, bei dem Licht durch ein Rohr geleitet wird, dessen
dichte Weite druckabhängig ist und die Intensität des zu einem
Lichtempfänger gelangenden Lichts bestimmt. Mit diesem Sensor
kann allerdings vom Prinzip her kein Array aus einer Schicht
aufgebaut werden.
Ein Druck-Intensitäts-Übertragungsprinzip, das den Bau takti
ler Sensoren mit kleiner Bauweise und hoher Auflösung für den
Einbau in den Finger eines Robotergreifers ermöglicht, wird in
ROBOT SENSORS Volume 2, Tactile and Non-Vision, edited by
Prof. A. Pugh, Springer-Verlag Berlin Heidelberg New York
Tokyo, 1986 in dem Beitrag "An Experimental Very High Resolu
tion Tactile Sensor Array" auf den Seiten 179 bis 188 von D.H.
Mott et al. beschrieben. Fig. 1 auf Seite 181 zeigt das Prin
zip der Umsetzung der Druck-Intensität in Licht-Intensität.
Der taktile Teil besteht aus einer durchsichtigen Akryl-
Platte, auf die, durch ein Luftkissen getrennt, eine Folie in
Form einer nachgiebigen Membran gelegt ist. In die Akryl-
Platte wird seitlich Licht eingestrahlt, das im unbelasteten
Zustand durch die Platte geht, an den Seitenwänden reflektiert
wird und an der gegenüberliegenden Stirnseite austritt. Wird
die Membran jedoch durch äußere Druckeinwirkung an irgend ei
ner Stelle auf die Akryl-Platte gedrückt, dann kommt es dort
zu einer diffusen Reflexion aufgrund der dort geänderten Ver
hältnisse im Brechungsindex und Licht strahlt von dort aus
durch die Seitenwände.
Das Bild des vom taktilen Sensor diffus reflektierten Lichts
wird über optische Einrichtung auf die Eintrittsfläche eines
CD-Chips mit vorgeschalteter Optik gelenkt und in einer ange
schlossenen Datenverarbeitungsanlage zur Darstellung der Vi
deosignale/-bilder oder zur Erzeugung von Steuersignalen für
den Robotergreifer weiterverarbeitet. Des weiteren wird die
CCD-Camera von der Datenverarbeitungsanlage gesteuert und be
trieben. Es werden ausschließlich Videobilder erzeugt mit
einer notwendigerweise vorgeschalteten Linsenoptik.
Eine Aussage über die aufgebrachte Kraft kann mit diesem
System nicht gemacht werden.
Die mit CCD-Chips in der Regel erzeugten Video-Bilder müssen
in diesem Zusammenhang hinterher durch aufwendige Bilderken
nungsverfahren ausgewertet werden, da wegen der beispielsweise
486 923 Pixel riesige Datenmengen vorliegen. Bei Verwendung
von PC-Auswerteeinheiten können riesige Datenmengen, wie sie
beim Verschieben in seriellen Schnittstellen vorkommen, zwar
abgearbeitet werden. Durch die bei der CCIR-Norm (internatio
nale Fernsehnorm) verwendete Hardware erfolgt keinerlei Daten
reduktion. Bei späterer Auswertung muß dies durch aufwendige
Software-Programme erfolgen. Das Gesamtsystem ist als Video-
Einheit schnell, jedoch erfordert die Datenauswertung zwischen
der Intensitätsmessung der Lichtverteilung auf dem CCD-Chip
sehr viel Zeit. Standard CCD-Auswertungen liefern nur visuelle
Bilder ohne Zuordnung des auf dem Sensor aufgebrachten Drucks
bzw. der Lichtintensität als Spannungssignal. Sie dienen in
der Regel zur visuellen Erkennung von Gegenständen (Texturen,
Umrandungen).
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, statische als auch
dynamische Druckverteilungen an Körpern oder Gegenständen mit
hoher Auflösung auf kleiner Fläche absolut und dynamisch zu
messen. Hierzu soll ein Drucksensor entwickelt werden. Mit ihm
soll das "Fingerspitzengefühl" graphisch auf einem Monitor
dargestellt werden können. Ebenso soll ein solcher Sensor zur
Ansteuerung von Aktoren geeignet sein.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen optoelektroni
schen Drucksensor gemäß den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.
Im Anspruch 2 sind verschiedene vorteilhafte Bauformen für die
Lichtübertragungsstrecke gekennzeichnet. Anspruch 3 kennzeich
net eine bauliche Schutzmaßnahme, die optoelektronische
Schnittstelle von äußeren Einflüssen abschottet.
Die beiden Ansprüche 4 und 5 kennzeichnen Bauformen des opto
elektronischen Sensors, die für die eine oder andere Ein
satzart zweckmäßig ist.
Um die Datenflut beim Kommunizieren mit dem CCD-Chip optimal
und zeitsparend zu beherrschen, wurde ein darauf abgestimmtes
Signal- und Datenverarbeitungssystem eingesetzt, das im An
spruch 6 gekennzeichnet ist.
Anspruch 7 kennzeichnet eine ganz spezifisch zugeschnittene
Hardware-Konfiguration, mit der der CCD-Chip getaktet wird.
Eine nachlassende physikalische Eigenschaft wie bei halblei
tenden Polymeren ist bei Elastomeren, EL′s und Lichtwellenlei
tern nicht zu erwarten. Durch die geringe Anzahl von Meßdaten,
die der Mikroprozessor über die serielle Schnittstelle zur
Verfügung stellt, kann im unbelasteten Zustand des taktilen
Sensors die Vorkalibrierung (Referenzmessung) erfolgen. Hierzu
wird das von der elektrolumineszenten Folie erzeugte Licht,
das noch an der andern Seite des perforierten Gummikörpers
austritt, in seiner Intensität gemessen. Damit kann eigentlich
nach jeder vollständigen Entlastung des perforierten Körpers
eine Leerlaufkalibrierung erfolgen, d. h. höchste Abstrahlung
an der Lichtaustrittsfläche wird der Nullbelastung des elasto
meren, zylindrischen Körpers gleichgesetzt. Ein senkrecht aus
geübter Druck auf die mit der elektrolumineszenten Folie abge
deckten Seite verkleinert die lichten Querschnitte der Boh
rungen bis hin zum vollen Verschluß, womit dann die oberste,
quantitativ erfaßbare Druckbelastung auf den Elastomer er
reicht wäre. Der Meßbereich kann erweitert oder verringert
werden, indem ein Elastomer mit entsprechendem Elastizitätsmo
dul ausgewählt wird.
Der Vorteil mit dem Signal- und Datenverarbeitungssystem ge
genüber der üblichen Auswertung von CCD-Chips liegt in aber
ganz enormen Datenreduzierung des steuernden und treibenden
Mikroprozessors um den Faktor 817 × 596 = 486 923 Pixel/64 digi
tale Meßwerte nach Zusammenfassung aber entsprechenden Zeilen.
Die Zahlenangaben betreffen hier einen ganz bestimmten CCD-
Typ. Für andere Anwendungen kann ein anderer CCD-Typ mit mehr
oder weniger Pixel auf der lichtempfindlichen Eintrittsfläche
interessant sein. Das wird erreicht: einerseits durch die Da
tenreduktion über das Konzept der Zeilenintegration und ande
rerseits durch die softwaremäßige Zusammenfassung der Meßwerte
zu 64 Clustern durch einen schnellen Rechenalgorithmus im Mi
kroprozessor. Würde immer nur ein Halbbild ausgelesen werden,
könnte eine weitere Datenreduzierung um den Faktor 2 erfolgen.
Der entscheidende Vorteil liegt aber in der Zeit, man benötigt
dann nur noch die Hälfte davon.
Das liegt daran, daß im Unterschied zur Video-Auswertung von
CCD-Chips keine optische Objekterkennung stattfindet, sondern
nur eine Aussage über einen örtlichen verteilten Druck durch
entsprechend örtlich verteilte Lichtintensität gemacht werden
soll. Es sind also nur bestimmte Pixel, nämlich die lichtbe
schienen von Interesse, die stets dunkelbleibenden interessie
ren nicht. Zudem ist durch dieses Meßverfahren ein sonst übli
ches, zusätzliches Linsensystem als Vorschaltoptik nicht mehr
notwendig und kann daher entfallen.
Die so gewonnenen Daten können zur Darstellung auf einem Moni
tor in Form eines Druckgebirges verwendet werden oder zur An
steuerung eines taktilen Arrays, das das Druckprofil auf die
Fingerspitzen des Bedieners überträgt. Mit diesem optoelektro
nischen Drucksensor bekommt der Betreiber sein Gefühl wieder
zurück, obwohl er den Gegenstand nicht unmittelbar betastet.
Der erfindungsgemäß aufgebaute taktile Sensor des optoelektro
mischen Sensors hat den Vorteil in seiner Lichteinstrahlung
durch die flexible, elektrolumineszente Folie. Das zu beta
stende Objekt kann durch etwaige Schattenbildung das Meßergeb
nis nicht beeinflussen. Insgesamt ist der optoelektronische
Drucksensor durch seinen Aufbau gegen äußere Verschmutzung
lückenlos abgeschirmt.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung
schematisch dargestellt und wird im folgenden näher beschrie
ben. Es zeigt:
Fig. 1 den taktilen Sensor,
Fig. 2 den taktilen Sensor in eine Zange eingebaut,
Fig. 3 optoelektronische Schnittstelle,
Fig. 4 Blockschaltbild zur Signal- und Datenverarbeitung.
Der im folgenden beschriebene Drucksensor ist für den Einsatz
in der minimal invasiven Chirurgie konzipiert und soll am Ende
einer endoskopisch eingesetzten, laparoskopischen Faßzange zur
palpatorischen Untersuchung von Gewebe eingebaut werden. Der
Chirurg kann sein Fingerspitzengefühl beim Verwenden der heu
tigen Greifzange nicht mehr einsetzen, weil taktile Empfin
dungen über den mechanischen Aufbau der Instrumente nicht em
pfindlich genug übertragen werden. Er versucht deswegen unter
bewußt, über die Rezeptoren der Gelenke und Muskeln Informa
tion über das zu untersuchende Gewebe zu bekommen. Das sind
aber dann mehr oder weniger Lageempfindungen. Zudem erfolgt
eine visuelle Kontrolle. Hierbei drückt er das Gewebe bis es
weißlich wird und liegt somit immer am oberen Grenzbereich.
Mit einem optoelektronischen Sensor, dessen taktiler Teil in
das Maulteil eines zangenförmigen Instruments eingebaut ist,
wird eine reproduzierbare und kalibrierte Meßeinheit zur di
rekten Messung von statischen und dynamischen Druckprofilen
auf sehr kleiner Fläche bereitgestellt. Darüber hinaus ist mit
diesem Drucksensor Absolutdruckmessung jederzeit möglich.
Das distale Ende einer Faßzange für den endoskopischen Ge
brauch ist in der Regel im Durchmesser nicht größer als 10 mm.
Fig. 1 zeigt die schematische Darstellung des taktilen, opto
elektronischen Sensors, Fig. 2 den Einbau desselben in die
Faßzange, deren bewegliches Maulteil 10 für paralleles Greifen
konstruiert ist, und zwar so, daß auf den taktilen Teil nur
senkrecht in Richtung der Bohrungen 2 gedrückt werden kann.
Kraftbegrenzung im Griff der Zange sorgt für eine Vorkalibrie
rung durch stets gleichmäßiges und definiertes Zusammendrücken
der Maulteile.
Der taktile Teil besteht aus dem zylinderförmigen, lichtun
durchlässigen Elastomer (Silikonkautschuk) 1 mit der symmetri
schen Anordnung von 64 Bohrungen 2. Die Bohrungen 2 sind
gleich und haben je eine lichte Weite von 0,35 mm. Die Boh
rungen 2 sind Kolimatorbohrungen, die nur senkrechten Licht
durchgang erlauben. In den Fig. 1 und 2 sind der Übersicht
halber nur wenige Bohrungen 2 angedeutet.
Auf der oberen Seite (Fig. 1) des Elastomers 1 liegt die fle
xible, elektrolumineszente Folie 3 unmittelbar auf. Sie ist
0.17 mm dick und liegt mitsamt dem freien Ende des Elastomers 1
unter der weichen Umhüllung 9 aus ebenfalls Silikonkautschuk.
Die elektrischen Anschlüsse an der Folie 3 sind nicht einge
zeichnet. Bei Anlegen einer Spannung leuchtet die Folie die
Bohrungen 2 aus und strahlt durch diese hindurch in die unmit
telbar an der andern Seite des Elastomers 1 anliegenden Licht
wellenleiter 4. An jeder Bohrung 2 endet ein Lichtwellenleiter
4, der mindestens den Querschnitt der Bohrung 2, höchstens
aber 0.5 mm hat. Die Lichtwellenleiterenden sind in dem Hal
tekörper 5 unverrückbar gefaßt und werden an den Elastomer 1
gedrückt, so daß die Lichteinkopplung unmittelbar erfolgt.
Wird der Elastomer 1 nicht gedrückt, behalten die Bohrungen 2
ihre größte lichte Weite. Es wird dann die höchste Lichtinten
sität in die Lichtwellenleiter 4 eingekoppelt. Wird er in vor
gesehener Richtung gedrückt - nicht seitlich oder schräg, da
dann die Bohrungen 2 gekrümmt werden - nimmt der Durchmesser
der Bohrungen 2 ab und es wird das an den Bohrungen 2 austre
tende Licht in seiner Intensität geringer. Der Elastomer 1 ist
in dem Schaft 6 so gefaßt, daß er nicht nach außen in radialer
Richtung ausweichen kann, also wird die Volumenänderung auf
Kosten der lichten Weite der Bohrungen 2 kompensiert. Die
Druckeinwirkung kann quantitativ nur solange erfaßt werden,
bis der völlige optische Verschluß der Bohrungen 2 durch die
Druckeinwirkung einsetzt.
Fig. 3 zeigt schematisch, wie die Lichtwellenleiter 4 auf dem
CCD-Chip 7 enden. Hierzu sind diese Enden wiederum in dem Hal
tekörper 8 gefaßt und liegen damit unmittelbar auf der Licht
eintrittfläche des CCD-Chips 7 an. Wesentlich dabei ist ledig
lich, daß die Lichteintrittsfläche des Bündels 12 aus Licht
leitern 4 ähnlich der Lichtaustrittsfläche ist und die Enden
entsprechend verteilt sind, da dann erst eine örtliche Zuord
nung der Lichtintensität zum einwirkenden Druck hergestellt
werden kann. Gegen Fremdeinflüsse ist diese optoelektronische
Schnittstelle durch ein hermetisch abschließendes Gehäuse 13
abgeschottet. Das Bündel 12 ist flexibel, so daß die optoelek
tronische Schnittstelle in Form des CCD-Chip von der Zange
fern gehalten werden kann.
Der CCD-Chip wird modifiziert betrieben (nicht nach
CCIR=intern. Fernsehnorm), wie in Fig. 4 blockmäßig schematisch darge
stellt. Das für diesen Einsatz entwickelte Auswerteverfahren
betrifft im wesentlichen die Datenreduzierung und die Verar
beitungsgeschwindigkeit der vom CCD-Chip 7 ausgelesenen Si
gnale.
Das Zentrum der Auswertung stellt der Mikrocontroller dar, der
eine maximale Pixel-Frequenz von 250 kHz zum Ansteuern des CCD-
Chips 7 ermöglicht. Der gesamte Zeitablaut ist softwaremäßig
gesteuert und damit hier noch sehr flexibel gestaltet. Die
Taktimpulse werden durch die externe Treiberstute 15 im Pegel
umgesetzt.
Die im CCD-Chip 7 erzeugten Ladungsmengen werden in einer
nachfolgenden FET-Spannungsstufe in Spannungssignale umgewan
delt. Diese stark temperaturabhängigen Sensorsignale werden
dann durch das CDS-System 16 im Analogzweig stabilisiert. Es
handelt sich dabei um versetzt getaktete, schnelle Sample &
Hold-Glieder, die in Verbindung mit einem nachgeschalteten
Differenzverstärker Störkomponenten ausfiltern. Die jetzt
stabilisierte Signalspannung gelangt in den Integrator 17, der
die einzelnen Signalspannungen aller Pixel aus einer Zeile des
CCD-Chip 7 aufsummiert.
Der A/D-Wandler 18 tastet achtmal pro Zeile 19 ab. Durch ein
fache Differenzbildung ergeben sich die Werte, die der einge
speisten Lichtmenge durch die acht Lichtwellenleiter 4 pro
Zeile 19 entsprechen. Damit ist eine Datenreduktion von 817
Pixel-Signalen auf lediglich acht Summen-Signale pro Zeile er
folgt.
Werden jetzt noch alle Zeilen 19 zusammengefaßt, die durch
ihre Anordnung im vertikalen Beleuchtungsfeld eines Lichtwel
lenleiters 4 liegen, erhält man nach Auslesen des kompletten
Sensors mit seinen 486 923 Bildpunkten nur die 64 einzelnen
Meßwerte, die den flächenmäßig integrierten Lichtmengen der 64
Sensorelemente entsprechen.
Bezugszeichenliste
1 zylindrischer Körper, gummiartiger Körper, Elastomer
2 Bohrung
3 elektrolumineszente Leuchtfolie
4 Lichtwellenleiter, Lichtleitfaser
5 Haltekörper
6 Rohr, Schaft
7 Bilderfassungseinrichtung, CCD-Chip
8 Haltekörper
9 Umhüllung, Kappe
10 bewegliches Maulteil
11 Zugstange
12 Lichtzuführung, Bündel, Lichtübertragungsstrecke
13 Gehäuse
14 Mikrocontroller, Mikroprozessor, PC
15 Treiberstufe
16 CDS-Sytem
17 Integrator
18 A/D-Wandler
19 Zeile
2 Bohrung
3 elektrolumineszente Leuchtfolie
4 Lichtwellenleiter, Lichtleitfaser
5 Haltekörper
6 Rohr, Schaft
7 Bilderfassungseinrichtung, CCD-Chip
8 Haltekörper
9 Umhüllung, Kappe
10 bewegliches Maulteil
11 Zugstange
12 Lichtzuführung, Bündel, Lichtübertragungsstrecke
13 Gehäuse
14 Mikrocontroller, Mikroprozessor, PC
15 Treiberstufe
16 CDS-Sytem
17 Integrator
18 A/D-Wandler
19 Zeile
Claims (7)
1. Taktiler, optoelektronischer Drucksensor mit einem licht
durchlässigen, zylindrischen Körper (1), der aus einem Ela
stomer besteht, mehrere, axial verlaufende Bohrungen (2)
aufweist, und dessen erste Stirnwandung mit einer elektro
lumineszenten Leuchtfolie (3), die Licht in die Bohrungen
(2) richtet, sowie mit einer weichen Kappe (9) versehen
ist, über welche der Körper (1) in seiner axialen Rich
tung druckbeaufschlagbar ist,
mit einem sich in der axialen Richtung an die weiche Kappe
(9) anschließenden, den Körper (1) radial festummantelnden,
sich über die zweite Stirnwandung hinaus erstreckenden Rohr
(6) und mit einem, die zweite Stirnwandung in der axialen
Richtung festlegenden Haltekörper (5), über den das die
Bohrungen (2) verlassende Licht einer Bilderfassungsein
richtung über eine Lichtzuführung (12) zuführbar ist.
2. Drucksensor nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
das die Bohrungen (2) verlassende Licht über eine Stablin
senoptik oder ein Bildleitfaserbündel oder ein Lichtleitfa
serbündel, wobei beim letzteren jede Faser mindestens den
Durchmesser der Bohrung (2) hat, der Bilderfassungseinrich
tung zugeführt wird und die Bilderfassungseinrichtung
ein CCD-Chip (7) ist.
3. Drucksensor nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die durch die Lichtzuführung (12) und den CCD-Chip (7)
gebildete optoelektronische Schnittstelle
zum Schutz
gegen Fremdlicht und Umwelteinflüsse mit einem lichtundurchlässigen
Gehäuse (13) umgeben ist.
4. Drucksensor nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, daß
ein Teil der
Lichtzuführung (12) im Rohr (6) derart gefaßt ist, daß sich ein
Druckstabsensor ergibt.
5. Drucksensor nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, daß das Rohr (6) durch den Schaft
eines medizinischen Zangen
instruments gebildet ist, dessen Druckempfindlichkeit
in Richtung der Schaftachse liegt, daß ein
bewegliches Maulteil (10) mit einer Auflagefläche, die parallel
zur druckbeaufschlagbaren Fläche
der weichen Kappe (9) verläuft, vorgesehen ist, und daß die
Auflagefläche auf die Kappe zu- und von der Kappe wegbewegt werden
kann, so daß dazwischenliegendes Gewebe betastbar ist.
6. Drucksensor nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet, daß
eine Datenverarbeitungsanlage, die eine correlated
double Sampling (CDS-) Stufe (16), einen nachfolgenden Integrator
(17), einen A/D-Wandler (18) sowie einen Mikro
prozessor (14) aufweist, die in dem CCD-Chip (7) vorhandenen,
ortsabhängigen, lichtintensitätsproportionalen,
elektrischen Signale zu
einer Druckprofildarstellung verarbeitet, und daß der Mikroprozessor
(14) über eine Treiberstufe (15) den CCD-Chip (7) mit
vorgegebener Frequenz taktet.
7. Drucksensor nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Treiberstufe (15) aus einer angepaßten Hardware-Konfi
guration in ASIC-Technik (Application Specific Integrated
Circuit) oder FPGA-Technik (Field Programmable Gate Array)
besteht.
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D1 | Grant (no unexamined application published) patent law 81 | ||
8380 | Miscellaneous part iii |
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