DE19534440A1 - Contactless measurement of temperature of coloured material - Google Patents

Contactless measurement of temperature of coloured material

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    • G05D23/27—Control of temperature characterised by the use of electric means with sensing element responsive to radiation

Abstract

The method employs a white light source with an optical system through which light is directed at the coloured surface and reflected to a spectrometer, photodetector and electronic signal processor. The reflectance is compared with that of a standard sample at two known temperatures, one of which is preferably room temperature. The standardised signal is either displayed or applied in analogue or digital form to a process controller. The measurement is made in a spectral region where the material has an interband transition touching an absorption edge.

Description

Hintergrund des VerfahrensBackground of the procedure

Die Temperaturmessung ist in vielen Bereichen der Technik von großer Bedeutung, z. B. bei der Wärmebehandlung von Stählen oder der Einstellung einer definierten Viskosität bei Glä­ sern und Kunststoffen. Klassisch kann man zwischen berührender Temperaturmessung z. B. Thermometer, Thermoelement, etc. und berührungslosen Verfahren, wie sie pyrometrische Messungen darstellen, unterscheiden.Temperature measurement is of great importance in many areas of technology, e.g. B. at the heat treatment of steels or the setting of a defined viscosity at Glä sers and plastics. Classically you can choose between touching temperature measurement. B. Thermometers, thermocouples, etc. and non-contact methods such as pyrometric Represent measurements, differentiate.

Die berührungslosen Verfahren beruhen darauf, daß das Emissionsverhalten eines Körpers durch eine spektrale Intensitätsverteilung charakterisiert ist (Stefan-Bolzmann-Verteilung), die sich temperaturabhängig verschiebt (Wien′scher Verschiebungssatz)/1/. Der Nachteil von Emissionsspektren ist, daß insbesondere bei Temperaturen unter 400°C nur mit langwelliger Strahlung (λ ca. 10 µm) eine ausreichende Intensität für eine Messung vorhanden ist. Anderer­ seits müssen aber Detektoren, mit denen diese Strahlung erfaßt werden kann (z. B. HgCdTe), auf tiefe Temperaturen gekühlt werden und sie erfordern Ansprechzeiten von mehreren hun­ dert Millisekunden. Generell gilt für Pyrometer, daß der Emissionsfaktor häufig unbekannt ist und damit keine absolute Temperaturmessung möglich ist.The non-contact process is based on the emission behavior of a body is characterized by a spectral intensity distribution (Stefan-Bolzmann distribution) that shifts depending on the temperature (Wien displacement law) / 1 /. The disadvantage of Emission spectra is that especially at temperatures below 400 ° C only with long-wave Radiation (λ approx. 10 µm) is of sufficient intensity for a measurement. Other on the one hand, however, detectors with which this radiation can be detected (e.g. HgCdTe), be cooled to low temperatures and they require response times of several hun thousand milliseconds. The general rule for pyrometers is that the emission factor is often unknown and therefore no absolute temperature measurement is possible.

Bei dem vorgeschlagenen Verfahren wird ein anderer Weg gewählt als bei den klassischen Meßverfahren. Anstelle des Emissionsspektrums wird das Reflexionsspektrum aufgenommen (siehe Patentanmeldung/2/). Sogenannte farbige Metalle wie Au, Cu, Cu-Leg. etc. weisen im sichtbaren Spektralbereich eine starke Änderung des Reflexionsvermögens in einem bestimm­ ten Spektralbereich auf, der aus dem ersten Interbandübergang im Bänderschema dieser Mate­ rialien herrührt. Andere Metalle besitzen einen derartigen Übergang erst im ultravioletten Spektralbereich/3/. Das vorgeschlagene Verfahren beruht darauf, daß durch die Erwärmung eines Metalls mit einem Interbandübergang im sichtbaren Spektralbereich sich dieser sowohl in der Höhe des Reflexionsvermögens als auch in seiner Lage charakteristisch mit der Tempe­ ratur verändert. Durch den Vergleich mit einer Standardprobe bei Raumtemperatur können diese beiden Informationen einzeln oder gemeinsam genutzt werden, um die Temperatur zu bestimmen. Zudem ändert sich auch das integrale Reflexionsvermögen über das ganze Spek­ trum, was ebenfalls zur Bestimmung der Temperatur herangezogen werden kann. Bei erfin­ dungsgemäßem Handeln ergibt sich daraus der technische Vorteil, daß bei niedrigen Temperaturen mit hoher Geschwindigkeit eine berührungslose Temperaturmessung erfolgen kann. Dies ist vorteilhaft, z. B. bei der Einstellung von Temperaturen in Fabrikationsabläufen, da umfangreiche Testreihen zur Bestimmung der optimalen Einstellparameter unterbleiben können.In the proposed method, a different path is chosen than in the classic method Measuring method. Instead of the emission spectrum, the reflection spectrum is recorded (see patent application / 2 /). So-called colored metals such as Au, Cu, Cu-Leg. etc. point in visible spectral range a strong change in reflectivity in a certain th spectral range from the first interband transition in the band diagram of this mate rialien comes from. Other metals have such a transition only in the ultraviolet Spectral range / 3 /. The proposed method is based on the fact that by heating of a metal with an interband transition in the visible spectral range in the level of reflectivity as well as its location characteristic with the tempe rature changed. By comparing it to a standard sample at room temperature these two pieces of information can be used individually or together to increase the temperature determine. In addition, the integral reflectivity changes over the entire spectrum strum, which can also be used to determine the temperature. With invent acting in accordance with the invention results in the technical advantage that at low Temperatures with high speed a non-contact temperature measurement can. This is advantageous e.g. B. when setting temperatures in production processes, since extensive series of tests to determine the optimal setting parameters are omitted can.

Schnelle, berührungslose Temperaturmessung ist in vielen Bereichen der Technik von Inter­ esse, um die Kinetik von Prozessen zu erfassen und regeln zu können. Bei erfindungsgemäßem Handeln gelingt dies durch die Verwendung von schnellen Halbleiter-Photodioden, die zum gegenwärtigen Zeitpunkt standardmäßig Intensitätsänderungen mit einer Zeitauflösung von deutlich unter 1 ns zu messen erlauben/4/.Fast, non-contact temperature measurement is part of Inter's technology eat in order to record and regulate the kinetics of processes. With the invention This can be achieved by using fast semiconductor photodiodes that are used for current time, intensity changes with a time resolution of allow to measure well below 1 ns / 4 /.

Literaturliterature

/1/Ch. Gerthsen, H. Kneser, H. Vogel: Physik, Springer Verlag, Berlin, 16. Auflage, S. 541- 547, 1992./ 1 / Ch. Gerthsen, H. Kneser, H. Vogel: Physik, Springer Verlag, Berlin, 16th edition, pp. 541- 547, 1992.

/2/Patentanmeldung P 40 15 066.6. / 2 / Patent application P 40 15 066.6.  

/3/R. Hummel: Optische Eigenschaften von Metallen und Legierungen, Springer Verlag, Berlin, 1971./ 3 / R. Hummel: Optical properties of metals and alloys, Springer Verlag, Berlin, 1971.

/4/Firmeninformation RS Components GmbH./ 4 / Company information RS Components GmbH.

AusführungsbeispieleEmbodiments Ausführungsbeispiel 1: Temperaturbestimmung von Gold im Temperaturbereich von 20°C und 320°CEmbodiment 1: Temperature determination of gold in the temperature range from 20 ° C and 320 ° C

Der Meßaufbau ist wie folgt realisiert:The measurement setup is implemented as follows:

Eine Weißlichtquelle (Xenonlampe) bestrahlt über ein Glasfaserbündel eine Goldoberfläche. Das vom Gold reflektierte Licht wird über ein zweites Glasfaserbündel einem Spektrometer zugeführt. Beide Faserbündel werden an dem gemeinsamen Ende miteinander statistisch ver­ drillt. Im Spektrometer wird das vom Gold reflektierte Licht spektral zerlegt und das Spektrum mit einer Diodenzeile aufgenommen. Diese setzt die Lichtintensität in elektrische Signale um, die über ein Interface einem Rechner übermittelt werden. Dort können die Meßdaten ange­ zeigt, gespeichert und weiterverarbeitet werden (siehe Abb. 2). Zur Normierung der Messung findet vor dem Aufheiz- und Abkühlzyklus eine Referenzmessung des Reflexions­ spektrums des Goldes bei Raumtemperatur statt, auf die alle weiteren Messungen bezogen werden.A white light source (xenon lamp) irradiates a gold surface over a glass fiber bundle. The light reflected by the gold is fed to a spectrometer via a second glass fiber bundle. Both fiber bundles are statistically twisted together at the common end. The light reflected by the gold is spectrally broken down in the spectrometer and the spectrum is recorded with a diode row. This converts the light intensity into electrical signals that are transmitted to a computer via an interface. The measurement data can be displayed, saved and processed there (see Fig. 2). To standardize the measurement, a reference measurement of the reflection spectrum of the gold at room temperature takes place before the heating and cooling cycle, to which all further measurements are based.

Die Goldprobe wird von einer Heizung erhitzt und kühlt nach dem Abschalten der Heizung wieder ab. Den Aufheiz- und Abkühlzyklus zeigt Abb. 3.The gold sample is heated by a heater and cools down again after the heater is switched off. Fig. 3 shows the heating and cooling cycle.

Abb. 4 stellt die Veränderung des Reflexionsspektrums des Goldes mit steigender Tem­ peratur dar. Die 100%-Linie ist die Normierung des Ausgangszustand vor der Aufheizung, d. h. zur Zeit t = 0 s und T = 20°C. Die Temperatur läßt sich gemäß folgender Gleichung aus den reflektierten normierten Intensitäten bei 478 nm und 522 nm berechnen: Fig. 4 shows the change in the reflection spectrum of gold with increasing temperature. The 100% line is the normalization of the initial state before heating, ie at time t = 0 s and T = 20 ° C. The temperature can be calculated from the reflected normalized intensities at 478 nm and 522 nm according to the following equation:

T[°C] = c · (I478 nm - I522 nm) + TNormierung c = Normierungskonstante.T [° C] = c * (I 478 nm - I 522 nm ) + T normalization c = standardization constant.

Ein Kriterium um die Temperatur der Goldprobe zu messen besteht darin, die Differenz der Intensitäten bei den Wellenlängen 478 nm und 522 nm zu bilden und diese über der Aufheiz- und Abkühlzeit aufzutragen. Diese beiden Wellenlängen werden betrachtet, da sie jene mit der größten Änderung in der Reflexion des Goldes in Abhängigkeit von der Temperatur sind. Auch andere Wellenlängen bzw. Wellenlängenbereiche ändern sich charakteristisch mit der Temperatur. Zudem zeigt die Wellenlänge, bei der die Intensität gleich bleibt (100% des Anfangswertes) eine Verschiebung mit der Temperatur, die ebenfalls als Kriterium zur Tem­ peraturmessung herangezogen werden kann (siehe Abb. 5).One criterion for measuring the temperature of the gold sample is to form the difference in the intensities at the wavelengths 478 nm and 522 nm and to plot this over the heating and cooling time. These two wavelengths are considered because they are the ones with the greatest change in the reflection of the gold depending on the temperature. Other wavelengths or wavelength ranges also change characteristically with the temperature. In addition, the wavelength at which the intensity remains the same (100% of the initial value) shows a shift with the temperature, which can also be used as a criterion for temperature measurement (see Fig. 5).

Selbst die integrale Reflexion über das gesamte gemessene Spektralgebiet von 300 nm bis 720 nm ändert sich proportional zur Temperatur (siehe Abb. 6).Even the integral reflection over the entire measured spectral range from 300 nm to 720 nm changes in proportion to the temperature (see Fig. 6).

Ausführungsbeispiel 2: Schnelle TemperaturmessungEmbodiment 2: Fast temperature measurement

Der prinzipielle Aufbau gleicht dem im ersten Anwendungsbeispiel dargestellten. Jedoch sind zur schnellen Temperaturmessung andere Komponenten notwendig.The basic structure is the same as that shown in the first application example. However are other components required for quick temperature measurement.

Statt der Meßprobe aus massiven Gold wurde eine nur ca. 0,1 µm dünne Goldschicht verwen­ det, wobei auch noch dünnere Schichten eine Temperaturmessung ermöglichen. Als Licht­ quelle diente wiederum ein Weißlichtquelle. Auch eine stabilisierte Leuchtdiode (LED), die den gewünschten Spektralbereich abdeckt, kann benutzt werden. Die wellenlängenabhängige Aufspaltung des reflektierten Spektrum wurde durch ein Glasprisma realisiert, und anstatt einer Photodiodenzeile genügten zwei schnelle Halbleiterdioden mit Anstiegszeiten von 500 ps (siehe Abb. 7). Die Justage der Photodioden erfolgte durch Verwendung von monochromatischem Licht der gewünschten Wellenlängen.Instead of the measurement sample made of solid gold, a gold layer of only approx. 0.1 µm was used, although even thinner layers enable temperature measurement. A white light source was again used as the light source. A stabilized light emitting diode (LED) covering the desired spectral range can also be used. The wavelength-dependent splitting of the reflected spectrum was realized by a glass prism, and instead of one row of photodiodes, two fast semiconductor diodes with rise times of 500 ps were sufficient (see Fig. 7). The photodiodes were adjusted using monochromatic light of the desired wavelengths.

Die Auswertung der Photodiodensignale übernahm ein Differenzverstärker, wobei ein Nullab­ gleich des Differenzsignals auf die Raumtemperatur durchgeführt wurde. Das Differenzsignal erhöht sich nun proportional zur Temperaturerhöhung.The evaluation of the photodiode signals was carried out by a differential amplifier, with a zero equal to the difference signal to room temperature. The difference signal now increases in proportion to the temperature increase.

Ausführungsbeispiel 3: Temperaturmessung des Goldballs beim Thermosonic-Dünn­ drahtbonden von HalbleiterbauelementenEmbodiment 3: Temperature measurement of the gold ball in thermosonic thin wire bonding of semiconductor devices

Der unter Anwendungsbeispiel 2 beschriebene Aufbau erfuhr eine Erweiterung, um für die Temperaturmessung von Bonddrähten verwendbar zu sein. Ziel der Untersuchungen war die Erfassung und Regelung der Temperatur des Goldballs beim Thermosonic-Drahtbonden von Halbleiterchips.The structure described in application example 2 was expanded to include the Temperature measurement of bond wires to be used. The aim of the investigations was the Detection and control of the temperature of the gold ball during Thermosonic wire bonding from Semiconductor chips.

Am gemeinsamen Ende der beiden Lichtleiter befindet sich nun eine Kollimatoroptik mit anschließender Fokussierung auf die aufgeschmolzene Goldkugel. Durch eine intensive UV- Lichtquelle wurde die Goldkugel erhitzt und on-line die Temperatur mit dem vorgeschlagenen Verfahren gemessen (siehe Abb. 8). Durch die Erwärmung des Balls auf mehrere hun­ dert Grad kann auf eine Heizung des Chips bzw. Leadframes verzichtet werden.At the common end of the two light guides there is now a collimator lens with subsequent focusing on the melted gold ball. The gold ball was heated by an intensive UV light source and the temperature was measured online using the proposed method (see Fig. 8). By heating the ball to several hundred degrees, heating of the chip or lead frame is unnecessary.

Claims (12)

1. Verfahren und Vorrichtung zur schnellen und berührungslosen Temperaturbestimmung, insbe­ sondere bei Temperaturen unter 400°C, dadurch gekennzeichnet, daß zur Temperaturmessung eine Vorrichtung, bestehend aus einer Lichtquelle, einem optischen System, einer farbigen Oberfläche, vorzugsweise einer Metalloberfläche, einer Einheit zur optischen Aufspaltung von Licht, einem optischen Detektor und einer Einheit zur elektrischen Auswertung (siehe Abb. 1) verwendet wird und zur Temperaturbestimmung die Tempe­ raturabhängigkeit des Reflexionsvermögens eines Stoffes, vorzugsweise eines Metalls, vor­ zugsweise Gold, oder eines Films eines Metalls oder anderen Stoffs mit einer Absorptionskante im sichtbaren, nahultravioletten oder nahinfraroten Spektralbereich genutzt wird, wobei durch Vergleich mit dem Reflexionsvermögen einer Eichprobe bei zwei bekann­ ten Temperaturen, von denen eine vorzugsweise die Raumtemperatur ist, eine Normierung erfolgt.1. The method and device for quick and non-contact temperature determination, in particular at temperatures below 400 ° C, characterized in that for temperature measurement, a device consisting of a light source, an optical system, a colored surface, preferably a metal surface, a unit for optical Splitting light, an optical detector and a unit for electrical evaluation (see Fig. 1) is used and for temperature determination, the temperature dependence of the reflectivity of a substance, preferably a metal, preferably gold, or a film of a metal or other substance with a Absorption edge in the visible, near-ultraviolet or near-infrared spectral range is used, normalization being carried out by comparison with the reflectivity of a calibration sample at two known temperatures, one of which is preferably room temperature. 2. Verfahren und Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das normierte Signal entweder einem Anzeigegerät oder in analoger oder digitaler Form direkt einem Regler zugeführt wird.2. The method and device according to claim 1, characterized in that the standardized signal either directly from a display device or in analog or digital form is fed to a controller. 3. Verfahren und Vorrichtung nach einem Anspruch 1 oder 2 dadurch gekennzeichnet, daß die Messung des Reflexionsvermögens in dem Spektralbereich erfolgt, bei dem der Stoff einen Interbandübergang aufweist, der zu einer Absorptionskante im Reflexionsspektrum rührt.3. The method and device according to claim 1 or 2, characterized in that the reflectivity is measured in the spectral range in which the substance has a Interband transition that leads to an absorption edge in the reflection spectrum. 4. Verfahren und Vorrichtung nach einem oder mehreren Ansprüchen 1-3, dadurch gekennzeich­ net, daß von einer auf das zu messende Objekt aufgebrachten Goldoberfläche das Reflexionsvermögen zwischen λ = 400 nm und λ = 600 nm, vorzugsweise bei λ = 478 nm und λ = 522 nm, aufge­ nommen und die Temperatur gemäß der Gleichung T = c · (I478 nm - I522 nm) aus den reflek­ tierten Intensitäten des zu untersuchenden Objekts und einer Vergleichsprobe bei Raumtemperatur ermittelt wird.4. The method and device according to one or more of claims 1-3, characterized in that the reflectivity of λ = 400 nm and λ = 600 nm, preferably at λ = 478 nm and λ = from a gold surface applied to the object to be measured 522 nm, recorded and the temperature is determined according to the equation T = c · (I 478 nm - I 522 nm ) from the reflected intensities of the object to be examined and a comparison sample at room temperature. 5. Verfahren und Vorrichtung nach einem oder mehreren Ansprüchen 1-3 dadurch gekennzeich­ net, daß von einer auf das zu messende Objekt aufgebrachten Goldoberfläche das Reflexionsvermögen zwischen λ = 400 nm und λ = 600 nm, vorzugsweise zwischen λ = 486 nm und λ = 496 nm, aufgenommen und die Temperatur aus der Verschiebung der Absorptionskante des zu untersu­ chenden Objekts und einer Vergleichsprobe bei Raumtemperatur ermittelt wird. 5. The method and device according to one or more claims 1-3 characterized net that the reflectivity of a gold surface applied to the object to be measured between λ = 400 nm and λ = 600 nm, preferably between λ = 486 nm and λ = 496 nm, recorded and the temperature from the displacement of the absorption edge of the to be examined suitable object and a comparison sample at room temperature.   6. Verfahren und Vorrichtung nach einem oder mehreren Ansprüchen 1-3 dadurch gekennzeich­ net, daß von einer auf das zu messende Objekt aufgebrachten Goldoberfläche das integrale Reflexions­ vermögen vom nahultravioletten bis zum nahinfraroten Spektralbereich aufgenommen wird, vorzugsweise zwischen λ = 300 nm und λ = 720 nm, und die Temperatur aus der reflektierten integralen Intensität, gemäß der Gleichung T = c · I300-720 nm, der zu untersuchenden Probe und einer Vergleichsprobe bei Raumtemperatur ermittelt wird.6. The method and device according to one or more of claims 1-3, characterized in that the integral reflection capacity from a near-ultraviolet to the near-infrared spectral range is recorded from a gold surface applied to the object to be measured, preferably between λ = 300 nm and λ = 720 nm, and the temperature from the reflected integral intensity, according to the equation T = c · I 300-720 nm , of the sample to be examined and a comparison sample at room temperature. 7. Verfahren und Vorrichtung nach den Ansprüchen 4 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß beide in den Ansprüchen beschriebenen Meßkriterien zur Temperaturbestimmung herangezo­ gen werden.7. The method and device according to claims 4 and 5, characterized in that both measurement criteria described in the claims used for temperature determination be. 8. Verfahren und Vorrichtung nach den Ansprüchen 4 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß beide in den Ansprüchen beschriebenen Meßkriterien zur Temperaturbestimmung herangezo­ gen werden.8. The method and device according to claims 4 and 6, characterized in that both measurement criteria described in the claims used for temperature determination be. 9. Verfahren und Vorrichtung nach den Ansprüchen 5 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß beide in den Ansprüchen beschriebenen Meßkriterien zur Temperaturbestimmung herangezo­ gen werden.9. The method and device according to claims 5 and 6, characterized in that both measurement criteria described in the claims used for temperature determination be. 10. Verfahren und Vorrichtung nach den Ansprüchen 4, 5 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß alle drei in den Ansprüchen beschriebenen Meßkriterien zur Temperaturbestimmung herange­ zogen werden.10. The method and device according to claims 4, 5 and 6, characterized in that use all three measurement criteria described in the claims for temperature determination be drawn. 11. Verfahren und Vorrichtung nach einem oder mehreren Ansprüchen 1-10, dadurch gekennzeich­ net, daß als Beleuchtungsquellen eine Lichtquelle mit bekanntem Emissionsspektrum, vorzugsweise eine Leuchtdiode oder eine Laserstrahlquelle zur Beleuchtung verwendet wird und direkt das reflektierte Signal auf das Emissionsspektrum der Lichtquelle normiert und zur Temperaturbe­ stimmung verwendet wird.11. The method and device according to one or more claims 1-10, characterized net that a light source with a known emission spectrum, preferably as illumination sources a light emitting diode or a laser beam source is used for lighting and directly that reflected signal normalized to the emission spectrum of the light source and temperature mood is used. 12. Verfahren und Vorrichtung nach einem oder mehreren Ansprüchen 1-11, dadurch gekennzeich­ net, daß sie an einem Drahtbonder appliziert werden, um die Temperatur während des Abflammvor­ gangs, des Abkühlens des Drahtes bzw. Drahtballs, vorzugsweise aus Gold, und seiner mögli­ chen erneuten Erwärmung zu messen und zu regeln.12. The method and device according to one or more claims 1-11, characterized net that they are applied to a wire bonder to check the temperature during the flame gangs, the cooling of the wire or wire ball, preferably made of gold, and its poss to measure and regulate renewed heating.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CZ301240B6 (en) * 2004-01-27 2009-12-16 Technická univerzita v Liberci Method for contactless measuring surface temperature and/or emissivity of objects and apparatus for making the same

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3108153A1 (en) * 1980-03-04 1982-01-07 Nippon Steel Corp., Tokyo METHOD AND DEVICE FOR MEASURING THE SURFACE TEMPERATURE AND THE EMISSION CAPACITY OF HEATED MATERIAL
DE3246552A1 (en) * 1982-12-16 1984-06-20 Helmut Dipl.-Ing. 5000 Köln Kolz Method and arrangement for generating a SIGMA -independent temperature signal by means of two optical bandpass pyrometers and an additional light source
US4919542A (en) * 1988-04-27 1990-04-24 Ag Processing Technologies, Inc. Emissivity correction apparatus and method
JPH02116727A (en) * 1988-10-27 1990-05-01 Chino Corp Optical fiber temperature sensor
US4961646A (en) * 1988-02-02 1990-10-09 Gretag Aktiengesellschaft Manual device for the detection of optical reflection properties
WO1992012405A1 (en) * 1991-01-08 1992-07-23 Interuniversitair Micro Elektronica Centrum Vzw Method and device for measuring the temperature of an object and heating method
US5255070A (en) * 1989-07-20 1993-10-19 Pollak Fred H Method for determining interface properties of semiconductor materials by photoreflectance
US5364187A (en) * 1993-03-08 1994-11-15 Micron Semiconductor, Inc. System for repeatable temperature measurement using surface reflectivity
US5388909A (en) * 1993-09-16 1995-02-14 Johnson; Shane R. Optical apparatus and method for measuring temperature of a substrate material with a temperature dependent band gap

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3108153A1 (en) * 1980-03-04 1982-01-07 Nippon Steel Corp., Tokyo METHOD AND DEVICE FOR MEASURING THE SURFACE TEMPERATURE AND THE EMISSION CAPACITY OF HEATED MATERIAL
DE3246552A1 (en) * 1982-12-16 1984-06-20 Helmut Dipl.-Ing. 5000 Köln Kolz Method and arrangement for generating a SIGMA -independent temperature signal by means of two optical bandpass pyrometers and an additional light source
US4961646A (en) * 1988-02-02 1990-10-09 Gretag Aktiengesellschaft Manual device for the detection of optical reflection properties
US4919542A (en) * 1988-04-27 1990-04-24 Ag Processing Technologies, Inc. Emissivity correction apparatus and method
JPH02116727A (en) * 1988-10-27 1990-05-01 Chino Corp Optical fiber temperature sensor
US5255070A (en) * 1989-07-20 1993-10-19 Pollak Fred H Method for determining interface properties of semiconductor materials by photoreflectance
WO1992012405A1 (en) * 1991-01-08 1992-07-23 Interuniversitair Micro Elektronica Centrum Vzw Method and device for measuring the temperature of an object and heating method
US5364187A (en) * 1993-03-08 1994-11-15 Micron Semiconductor, Inc. System for repeatable temperature measurement using surface reflectivity
US5388909A (en) * 1993-09-16 1995-02-14 Johnson; Shane R. Optical apparatus and method for measuring temperature of a substrate material with a temperature dependent band gap

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Instruments & Control Systems, May 1964, S.87-89 *
JP 1-124726 A.,In: Patents Abstracts of Japan, P-919,Aug. 16,1989,Vol.13,No.368 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CZ301240B6 (en) * 2004-01-27 2009-12-16 Technická univerzita v Liberci Method for contactless measuring surface temperature and/or emissivity of objects and apparatus for making the same

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