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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf die spektrale Analyse mit
kombinierter, komplementärer
Filterung.
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Sie
findet eine allgemeine Anwendung in der Spektralanalyse und genauer
in der RAMAN-Spektrometrie.
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In
dem Dokument FR-A-2 681 941 hat der Anmelder schon eine Vorrichtung
für die
Spektralanalyse für
die RAMAN-Spektrometrie vorgeschlagen, welche umfaßt:
- – eine
Quelle, die geeignet ist, eine Anregungsstrahlung einer vorgegebenen
Wellenlänge
zu erzeugen;
- – einen
Platz für
eine zu untersuchende Probe;
- – Vorrichtungen
zum Führen
der Anregungsstrahlen zu einer auf dem Platz angeordnete Probe;
- – ein
Trennfilter, das geeignet ist, in eine erste Richtung ein erstes
Spektralband der Strahlung, die es empfängt, zu reflektieren, und das
in eine zweite Richtung den Rest der Strahlung, die es empfängt, durchläßt, wobei
das erste Spektralband um die Wellenlänge der Anregungsstrahlung
zentriert ist und der Rest der von dem Trennfilter durchgelassenen
Strahlung dem gewünschten
RAMAN-Spektrum entspricht;
- – Vorrichtungen
zum Auffangen der von der angeregten Probe gestreuten Strahlung
und zum Führen
derselben zu dem Trennfilter;
- – Vorrichtungen
zur Detektion und spektralen Analyse, die entlang der zweiten Richtung
angeordnet sind; und
- – Vorrichtungen
zum Auffangen des von dem Trennfilter übertragenen RAMAN-Spektrums und zum
Führen
desselben zur den Vorrichtungen zur Detektion und Analyse.
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Das
Trennfilter trennt hier die polychromatische, von der Probe gestreute
Strahlung in eine durchgelassene und eine reflektierte Strahlung.
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In
der Praxis umfaßt
die durchgelassene Strahlung das nützliche und für die zu
analysierende Probe charakteristische Spektrum. Zum Beispiel ist bei
der RAMAN-Spektrometrie das nützliche
Spektrum das sogenannte "RAMAN-" Spektrum, das aus dem
Effekt der Änderung
der Wellenlänge
resultiert, der die Streuung des Lichtes durch die Probe begleitet,
wenn diese von einer monochromatischen Anregungsstrahlung beleuchtet
wird. Im Gegensatz dazu ist die reflektierte Strahlung auf ein Spektralband
beschränkt,
das um die Wellenlänge
der Anregungsstrahlung zentriert ist, die der RAYLEIGH-Streustrahlung
ohne Änderung
der Wellenlänge
entspricht.
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Sehr
oft ist das Trennfilter von dem Typ, der ein relativ schmales Spektralband
zurückweist
(im Englischen "notch"), wie etwa die Interferenzfilter
mit mehrfachen dielektrischen Schichten, die sogenannten ASHER-Kolloidfilter
oder die holographischen Filter. Dieser Typ von Filter ist vorteilhafterweise
einfach zu handhaben und weist einen sehr hohen Durchlaßkoeffizienten
außerhalb
des Sperrbandes auf.
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Jedoch
hat diese Art von Filter den Nachteil, eine relativ geringe Steigung
der Abschneideflanken (keine steilen Ränder) und ein relativ breites
Rückweisungs-
oder Sperrband bezogen auf den zu eliminierenden Anregungsstrahl
aufzuweisen.
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Daraus
folgt, das die nützlichen
und für
die zu analysierende Probe charakteristischen Informationen, die
vom Fachmann "Strahlen
niedriger Frequenz" genannt
werden, von dem Trennfilter nicht zu den Detektions- und Analysevorrichtungen
durchgelassen werden, sondern mit der Anregungsstrahlung eliminiert
(reflektiert) werden, was einen beträchtlichen Informationsverlust
nach sich zieht.
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Eine
bekannte Lösung
besteht darin, das Trennfilter als Hochpaß oder Tiefpaß zu verwenden, der
auf die Wellenlänge
des Anregungsstrahls ausgerichtet ist. Jedoch besitzt eine solche
Lösung
den Nachteil, entweder den STOKES-Anteil oder den ANTISTOKES-Anteil des RAMAN-Spektrums
zu beseitigen.
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Eine
andere Lösung
würde darin
bestehen, ein Trennfilter des Typs mit einem engen Sperrbereich
mit einer steilen Abschneideflanke zu verwenden. Jedoch ist ein
solches Filter derzeit technisch nicht herstellbar.
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Aus
der
EP 0 535 753 ist
eine Vorrichtung für die
Spektralanalyse bekannt, die eine Lichtquelle, eine Probe, einen
Trennfilter und eine Detektions- und Spektralanalysevorrichtung,
aber keinen Sperrfilter gemäß der nachfolgend
beschrieben und beanspruchten Erfindung zeigt.
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Der
Anmelder hat sich die Aufgabe gestellt, eine Vorrichtung zur RAMAN Spektralanalyse zur Verfügung zu
stellen, die ermöglicht,
alle nützlichen
Informationen, insbesondere die Strahlen niedriger Frequenz des
RAMAN-Spektrums, zu bewahren, indem er ein nicht perfektes Trennfilter
zum Beispiel des "Notch-" Typs verwendet.
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Die
vorliegende Erfindung schlägt
zur Lösung
dieses Problems eine Vorrichtung der oben beschriebenen Art vor,
die gekennzeichnet ist durch die Tatsache, daß sie außerdem umfaßt:
- – ein Sperrfilter,
das geeignet ist, die Blockierung eines zweiten Spektralbandes mit
einer geringeren Breite als diejenige des ersten Spektralbandes
durchzuführen,
und eine steile Abschneideflanke besitzt und die Wellenlänge der
Anregungsstrahlung einschließt;
- – Vorrichtung
zum Auffangen des ersten Spektralbandes der von dem Trennfilter
reflektierten Strahlung und zum Führen derselben auf das Sperrfilter,
um aus ihm das zweite Spektralband zu entfernen; und
- – Vorrichtungen
zum Auffangen der von dem Sperrfilter herrührenden Strahlung und zum Führen derselben
auf optische Vorrichtungen, die sie in der zweiten Richtung mit
dem von dem Trennfilter durchgelassenen RAMAN-Spektrum derart kombinieren,
daß die
Detektions- und Analysevorrichtungen die derart kombinierten, komplementären Strah lungen
verarbeiten.
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Eine
solche Vorrichtung bringt den Vorteil, daß sie ein vollständiges RAMAN-Spektrum wiederherstellt,
indem sie den mittleren und hohen Frequenzteil mit dem tiefen Frequenzteil,
der normalerweise verloren geht, kombiniert und das solcherart wiederhergestellte
Spektrum zu den Detektions- und Analysevorrichtungen führt. Unter
diesen Bedingungen besitzt das analysierte RAMAN-Spektrum mehr Informationen
als in den Vorrichtungen nach dem Stand der Technik, die ein nicht
perfektes Filter des "Notch-" Typs verwendeten.
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Vorteilhafterweise
umfaßt
das Sperrfilter mit steiler Abschneideflanke einen subtraktiven
Monochromator mit zwei Streugittern und einer Reflektions/Transmissions-Lichtfalle, wobei
diese Falle zwischen den beiden Gittern angeordnet ist, um die Anregungsstrahlung
entlang des Hinwegs im optischen Pfad zur Probe durchgehen zu lassen
und die in dem ersten Spektralband enthaltene Anregungsstrahl, die von
dem Trennfilter reflektiert wurde, entlang dem Rückweg des optischen Pfads einzufangen.
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Vorteilhafterweise
erzeugt die erfindungsgemäße Vorrichtung
eine erhöhte
Transmission in dem gesamten nützlichen
Spektralband des RAMAN-Spektrums, das mit einer sehr steilen Dämpfungskurve
bei der entsprechenden Sperrwellenlänge, die dem zu eliminierenden
Anregungsstrahl entspricht, verbunden ist.
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In
der Praxis ist das Trennfilter geeignet, sich um einen vorgegebenen
Drehwinkel zu drehen, um mit Präzision
die Wellenlänge
des Sperrbandes des Trennfilters zu verschieben und einzustellen.
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Diese
Rotation führt
zu einer Verschiebung im Raum des reflektierten Strahls, was die
Kopplung mit den oberhalb und/oder unterhalb des Trennfilters angeordneten
optischen Elementen kompliziert.
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Es
sind mechanische Systeme bekannt, die durch Ritzel die gekoppelte
Rotation mehrerer in Reihe angeordneter Filter sicherstellen. Jedoch
haben solche Systeme den Nachteil, daß sie nicht hinreichend genau
sind. Außerdem
erfordert die Verschiebung der Strahlen die Verwendung von Filtern
großer Dimensionen.
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Die
vorliegende Erfindung hat zusätzlich
zur Aufgabe, eine befriedigende Lösung für dieses Problem zu finden.
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Diese
Lösung
wird durch eine Vorrichtung des oben beschriebenen Typs erhalten,
bei der das Trennfilter geeignet ist, die von der Probe entlang
einer Einfallsrichtung, die der zweiten Richtung entspricht, herrührende Strahlung
zu empfangen und das erste Spektralband entlang der ersten Richtung auf
ein Element zu reflektieren, das geeignet ist, eine Kompensation
der Winkelabweichung des Trennfilters auszuführen, wobei die Vorrichtung
gekennzeichnet ist durch die Tatsache, daß der Mechanismus geeignet
ist, das Element zur Kompensation der Abweichung auf solche Weise
mitzuführen,
daß das Kompensationselement
sich um denselben Winkel wie das Trennfilter dreht, damit das erste
Spektralband in eine dritte vorgegebene Richtung reflektiert wird.
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In
der Praxis umfaßt
der Mechanismus wenigstens einen Winkel mit einem Winkel γ mit γ = C + 180°/2, welcher
umfaßt:
- – einen
ersten festen Schenkel, der in der Translationsrichtung durch eine Öffnung,
die in der Halterung des Trennfilters, das in der Translationsrichtung
fest montiert ist, gearbeitet ist, beweglich montiert ist, und
- – einen
zweiten festen Schenkel, der das Kompensationselement trägt,
wobei
die Spitze des Winkels gezwungen ist, sich in der Translationsrichtung
entlang einer Achse zu bewegen, die an der Winkelhalbierenden zwischen
der Einfallsrichtung und der dritten Richtung angeordnet ist.
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Weitere
Merkmale und Vorteile der Erfindung werden deutlicher im Lichte
der nachfolgenden, detaillierten Beschreibung in Verbindung mit
den beigefügten
Zeichnungen.
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1 stellt
schematisch ein RAMAN-Spektrometer mit kombinierten, komplementären Filtern nach
der vorliegenden Erfindung dar.
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2A zeigt
eine Vorrichtung zur Spektralanalyse mit kombinierten, komplementären Filtern nach
der Erfindung, bei der das Sperrfilter mit steiler Abschneideflanke
einen subtraktiven, doppelten Monochromator und eine Reflektions/Transmissions-Lichtfalle
nach der vorliegenden Erfindung umfaßt.
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2B zeigt
die Vorrichtung der 2A, bei der konkave Umlenkspiegel
durch Linsenobjektive nach der vorliegenden Erfindung ersetzt sind.
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3 ist
eine schematische Darstellung der in 1 gezeigten
Vorrichtung, die zwei in Reihe angeordnete Trennfilter verwendet,
um die kombinierten, komplementären
Filter nach der vorliegenden Erfindung darzustellen.
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4 ist
eine Vorrichtung zur Spektralanalyse mit kombinierten, komplementären Filtern
nach der Erfindung, bei der das Sperrfilter mit steiler Abschneideflanke
vom Interferenz- oder holographischen Typ ist.
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5 zeigt
die Vorrichtung der 4, die zwei in Reihe angeordnete
Trennfilter nach der vorliegenden Erfindung verwendet.
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6 stellt
schematisch eine Vorrichtung zur Spektralanalyse mit kombinierten,
komplementären Filtern
nach der Erfindung dar, bei der der Anregungsstrahl mit der Wellenlänge λ0 direkt
auf die Probe gerichtet ist, ohne durch das Trennfilter zu gehen.
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7 stellt
schematisch die in 6 gezeigte Vorrichtung zur Spektralanalyse
mit kombinierten, komplementären
Filtern nach der Erfindung dar, die zwei in Reihe angeordnete Trennfilter
verwendet.
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8 ist
eine Vorrichtung zur Spektralanalyse mit kombinierten, komplementären Filtern
nach der Erfindung, bei der das Sperrfilter mit steiler Abschneideflanke
vom Typ des reflektierenden FABRY-PEROT-Interferometers ist.
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9 stellt
schematisch die spektrale Responsekurve eines klassischen Trennfilters
des "Notch-" Typs dar, das auf
die Anregungswellenlänge λ0 zentriert
ist.
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10 stellt
die Kurve des von der Probe in der Anwesenheit eines leichten parasitären Hintergrundes
gestreuten Spektrums dar, das gleichzeitig die tiefen, mittleren
und hohen Frequenzen in den Stokes- und Anti-Stokes-Bereichen umfaßt.
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11 stellt
das von einem klassischen Trennfilter durchgelassene RAMAN-Spektrum
dar, dessen tiefe Frequenzen zwischen λ1 und λ2 abgeschnitten sind.
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12 stellt
das von einem klassischen Trennfilter reflektierte Spektrum dar.
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13 stellt
die spektrale Responsekurve eines klassischen Sperrfilters mit steiler
Abschneideflanke dar.
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14 stellt
das von einem klassischen Trennfilter reflektierte und dann entsprechend
der Erfindung von einem klassischen Sperrfilter mit steiler Abschneideflanke
gefil terte Signal dar.
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15 stellt
die erfindungsgemäße Kombination
des von einem klassischen Trennfilter durchgelassenen RAMAN-Spektrums
und des von dem Sperrfilter mit steiler Abschneideflanke herrührenden Signals
dar.
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16 stellt
die typische Responsekurve eines klassischen Sperrfilters mit steiler
Abschneideflanke des Absorptionstyps dar.
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17 stellt
schematisch die typische Responsekurve eines klassischen Sperrfilters
mit steiler Abschneideflanke des FABRY-PEROT-Interferometertyps
dar.
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18A stellt schematisch die selbstausrichtende
Vorrichtung nach der Erfindung dar, wenn die Einfallsrichtung DT2
und die Ausfallsrichtung DR3 einen beliebigen Winkel zwischen sich
bilden.
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Die 18B bis 23 stellen
schematisch die selbstausrichtende Vorrichtung nach der Erfindung
dar, wenn die Einfallsrichtung DT2 und die Ausfallsrichtung DR3
zueinander parallel sind.
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Die 24 bis 28 stellen
schematisch die selbstausrichtende Vorrichtung nach der Erfindung
dar, wenn die Einfallsrichtung DT2 und die Ausfallsrichtung DR3
senkrecht aufeinander stehen.
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In
der nachfolgenden Beschreibung ist die Spektralanalyse vom Typ des
RAMAN-Effekts. Es
ist jedoch klar, daß die
Erfindung, insbesondere die Kombination der komplementären Filterung,
eine Anwendung in jedem Gebiet der Spektralanalyse, zum Beispiel
der Emissions-, Lumineszenz-, Phosphoreszenz- oder Fluoreszenzspektroskopie
findet.
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In 1 ist
eine Vorrichtung zur Spektralanalyse dargestellt, die drehbar um
ein klassisches Trennfilter FS1, zum Beispiel ein "Notch-" Filter, das hiernach
im Detail be schrieben wird, angeordnet ist.
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Die
Quelle LA erzeugt eine Anregungsstrahlung REX mit einer vorgegebenen
Wellenlänge λ0. Die Quelle
LA ist zum Beispiel ein Argonionenlaser, der einen monochromatischen
Lichtstrahl REX mit einer Wellenlänge λ0 von 488 nm oder 514,5 nm emittiert.
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Ein
Platz EMP ist vorgesehen, um eine zu analysierende Probe aufzunehmen.
Allgemein ist der Platz EMP in einer vorgegebenen Beziehung zum Objektiv
eines Mikrokops angeordnet, falls die Spektralanalyse vom Mikroprobentyp
ist. Die Anregungsstrahlung REX wird mittels optischer Vorrichtungen, die
weiter unten im Detail beschrieben werden, auf die auf dem Platz
angeordnete Probe geführt.
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Die
von der der Anregung unterworfenen Probe herrührende oder gestreute Strahlung
RD wird auf das Filter FS1 geführt.
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Wie
bekannt ist, ist das Trennfilter FS1 geeignet, auf der einen Seite
ein erstes spektrales Band TLB der Strahlung RD, die es empfängt, entlang
einer ersten Richtung DR1 zu reflektieren. Das spektrale Band TLB
schließt
die Wellenlänge
des Anregungsstrahls REX ein. Auf der anderen Seite läßt das Trennfilter
FS1 in einer zweiten Richtung DT2 den Rest RAM der Strahlung RD,
die es empfängt,
durch. Der Rest RAM der Strahlung, die es empfängt, entspricht hier dem RAMAN-Spektrum.
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Vorrichtungen
zur Detektion und Spektralanalyse MAY sind entlang der zweiten Richtung
DT2 angeordnet, um das solcherart von dem Trennfilter FS1 durchgelassene
RAMAN-Spektrum zu detektieren und zu analysieren.
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Die
Einfallsrichtung des gestreuten Strahls RD entspricht hier der Durchlaßrichtung
DT2. Diese Durchlaßrichtung
DT2 bildet einen Winkel α bezüglich der
Reflektionsrichtung DR1. Der Winkel α liegt zum Beispiel in der Größenordnung
von 7 bis 11°.
Offensichtlich sind auch andere Winkel für die Ausführung der Erfindung möglich.
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Um
die wesentlichen, von der erfindungsgemäßen Vorrichtung gebrachten
Vorteile zu verstehen, ist es wichtig, zunächst den spektralen Response
der Bestandteile der Vorrichtung zu beschreiben.
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In 10 ist
das Spektrum der von der der Anregung unterworfenen Probe gestreuten
Strahlung RD dargestellt. Die Abszisse stellt die Wellenzahl in cm–1 dar.
Die Ordinate stellt die Intensität
der gestreuten Strahlung in einer beliebigen Einheit dar.
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Der
Ursprung der Abszisse ist um die Wellenlänge λ0 des Anregungsstrahls REX zentriert.
Die gestreute Strahlung RD ist polychromatisch und umfaßt einen
Hauptstrahl RP hoher Intensität,
der RAYLEIGH-Streustrahl genannt wird und dem Streustrahl ohne Änderung
der Wellenlänge
entspricht. Die Strahlung RD umfaßt auch eine bestimmte Anzahl feiner
Strahlen der Stokes-RAMAN-Spektren ST und Anti-Stokes-RAMAN-Spektren
AST. Diese Strahlen sind symmetrisch bezüglich des Strahls RP, besitzen eine
unterschiedliche Intensität
und stellen die mit einer Änderung
der Wellenlänge
entsprechend dem RAMAN-Effekt
gestreuten Strahlen dar.
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Es
sind diese feinen, um den anregenden Hauptstrahl angeordneten Strahlen,
die die zu analysierende Probe darstellen und charakterisieren.
Die in der Nähe
des Anregungstrahls befindlichen Strahlen werden vom Fachmann Strahlen "niedriger Frequenz" BF ge nannt, während die
von dem Anregungsstrahl entfernten Strahlen Strahlen "mittlerer und hoher
Frequenz" HF genannt
werden.
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In 9 ist
der spektrale Response eines klassischen Trennfilters zum Beispiel
des "Notch"-Typs dargestellt.
Die Abszisse stellt die Wellenzahl in cm–1 dar.
Die Ordinate stellt den Durchlaß- oder
Reflektionskoeffizienten in Prozent dar.
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Der
spektrale Response des Trennfilters zeigt ein Profil einer allgemein
rechtwinkligen Form mit nicht steilen Flanken, das um die Wellenlänge λ0 zentriert
ist. Das Trennfilter weist einen hohen Reflektionskoeffizienten
für den
zu eliminierenden Strahl RP und ein relativ breites Sperrband um
diesen zu eliminierenden Strahl herum, eine nicht steile Abschneideflanke
und einen erhöhten
Durchlaßkoeffizienten
außerhalb
des Sperrbandes auf. Genauer ist das Filter mit einem maximalen
Durchlaßkoeffizienten
durchlässig
für die
Strahlen mit einer Wellenlänge
niedriger als λ1' und größer als λ1. Es dämpft und
reflektiert mit einem niedrigen Durchlaßkoeffizienten die Strahlen
mit einer Wellenlänge
niedriger als λ2
oder höher
als λ2'. Das Spektralband
wird Spektralband mit nicht steilen Flanken bezeichnet, wenn die
Steigung der Abschneideflanken (zwischen λ2 und λ1 oder zwischen λ1' und λ2') gering ist, und
die Strahlen mit einer Wellenlänge
zwischen λ2
und λ1 oder
zwischen λ1' und λ2' schrittweise abgeschwächt werden.
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Es
ist festzustellen, daß ein
solches Trennfilter einen komplementären spektralen Transmissions/Reflektions-Response
erzeugt. Die Transmissionskurve ist hier als dünner Strich dargestellt, während die
Reflektionskurve als dicker Strich dargestellt ist.
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Allgemein
wird das Filter FS1 verwendet, um den ohne Änderung der Wellenlänge gestreuten
Anregungsstrahl mit einer relativ sehr hohen Intensität zu eliminieren,
während
das RAMAN-Spektrum (die Stokes- und Anti-Stokes-Strahlen) durchgelassen wird,
um mittels der Detektions- und Analysevorrichtungen analysiert zu
werden.
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Mit
dem spektralen Response des oben beschriebenen Trennfilters werden
die Strahlen niedriger Frequenz BF nicht zu den Detektions- und
Analysevorrichtungen durchgelassen, sondern werden mit dem Anregungsstrahl
eliminiert (reflektiert), was zu einem beträchtlichen Informationsverlust
führt.
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In 11 ist
das von dem Trennfilter FS1 durchgelassene RAMAN-Spektrum dargestellt.
Dieses Spektrum RAM umfaßt
die Strahlen mit einer Wellenlänge
kleiner als λ2
und größer als λ2', die vollständig von
dem Filter FS1 durchgelassen werden. Die Strahlen mit einer Wellenlänge zwischen λ1 und λ1' werden stark abgeschwächt, da
sie von dem Filter FS1 reflektiert werden.
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Weiterhin
werden die Strahlen (hier diejenigen mit niedrigen Frequenzen),
deren Wellenlänge zwischen λ2 und λ1 einerseits
und zwischen λ1' und λ2' andererseits liegen,
schwach von dem Filter FS1 durchgelassen, da sie sich in dem Sperrbereich
des Filters befinden, wo die Steigung nicht sehr steil ist.
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In 12 ist
das Spektrum der von dem Filter FS1 reflektierten Strahlung TLB
dargestellt. Es umfaßt
ein relativ breites Band bezogen auf den zu eliminierenden Anregungsstrahl,
das den besagten Anregungsstrahl λ0
umgibt.
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Allgemein
arbeitet das Trennfilter FS1 mittels Interferenzen mehrfacher Ordnung.
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Es
wird ausgewählt
aus der Gruppe der "Notch-" Filter mit halbdurchlässigen Spiegeln,
der Interferenzreflektionsfilter, der kolloiden Filter des sogenannten
ASHER-Typs, der Filter mit mehrfachen dielektrischen Schichten,
der Filter des LIPPMAN-Typs mit Indexgitter oder des holographischen Typs.
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Im
folgenden wird wieder auf 1 Bezug genommen.
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Erfindungsgemäß ist ein
Sperrfilter FCB vorgesehen, das hiernach in größerem Detail beschrieben wird
und das geeignet ist, in dem von dem Trennfilter TLB reflektierten
Signal ein zweites Frequenzband zurückzuhalten, das schmaler ist
als das erste Frequenzband und steile Kanten oder steile Abschneideflanken
ET besitzt und die Wellenlänge
des Anregungsstrahls REX umgibt.
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Genauer
wird das erste Spektralband der von dem Filter FS1 reflektierten
Strahlung zunächst auf
das Sperrfilter FCB geführt.
Dann sind Auffangvorrichtungen vorgesehen, um das von dem Sperrfilter
FCB gefilterte Signal LBO aufzufangen und es mittels optischer Kombinationsvorrichtungen
mit dem Spektrum RAM entlang der Durchlaßrichtung DT2 zu kombinieren.
Die optischen Kombinationsvorrichtungen reflektieren das Signal
LBO exakt in die zweite Durchlaßrichtung
DT2, was ermöglicht,
es komplementär
mit dem von dem Trennfilter durchgelassenen Spektrum RAM zu kombinieren.
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Wie
in 1 gezeigt, umfassen die optischen Kombinationsvorrichtungen
das Trennfilter FS1 und einen Spiegel M2, die so zueinander angeordnet
sind, daß sie
ohne Verluste das Signal LBO entlang der Richtung DT2 schicken.
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Die
komplementäre
Kombination der Signale LBO und RAM entsprechend der vorliegenden
Erfindung wird besser mittels der nachfolgend beschriebenen Spektralantworten
verstanden.
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In 13 ist
die typische Spektralantwort eines klassischen Sperrfilters gezeigt,
das in der Lage ist, ein schmales Band ET mit steilen Kanten, die auch
steile Abschneideflanken bezeichnet werden, zu sperren. Die Transmission
ist für
Wellenlängen zwischen λ3 und λ3' im wesentlichen
null. Das schmale Band ET ist um eine Wellenlänge λ0 zentriert, die der Wellenlänge RP des
Anregungsstrahls REX entspricht. Für die Strahlen zwischen λ4 und λ3 auf der
einen Seite und die Strahlen zwischen λ3' und λ4' auf der anderen
Seite besitzt das Sperrfilter zum Beispiel einen Durchlaßkoeffizienten
von mehr als 50%.
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In 14 ist
das Spektrum der von dem Trennfilter FS1 reflektierten und von dem
Sperrfilter FCB entsprechend der Erfindung gefilterten Strahlung
dargestellt. Es ist angebracht zu bemerken, daß das Signal LBO hier einem
Spektralband entspricht, das das schmale Band ET, das heißt den Anregungsstrahl
mit der Wellenlänge λ0 nicht umfaßt (B LBO
= TLB – ET).
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In 15 ist
das aus der Kombination des von dem Filter FS1 durchgelassenen Signals
RAM mit dem von dem Sperrfilter FCB herrührenden Signal LBO resultierende
Spektrum dargestellt.
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Es
ist festzustellen, daß das
zusammengesetzte Spektrum LBO + RAM alle nützlichen und für die zu
analysierende Probe charakteristischen Informationen umfaßt. Bezüglich der
gestreuten Strahlung RD umfaßt
es vorteilhafterweise alle Informationen außer dem Anregungsstrahl mit
sehr hoher Intensität,
der die Detektion und die Analyse behindert.
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Somit
sind die Analysevorrichtungen mit einem solchen zusammengesetzten
Signal in der Lage, bislang verlorengegangene Information zu erhalten.
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In 2A umfaßt das Sperrfilter
FCB einen subtraktiven Doppelmonochromator mit zwei Streugittern
und einer Reflektions-/Transmissions-Lichtfalle, die zwischen den
beiden Gittern angeordnet ist, so wie es in der Patentanmeldung
FR-A-2 681 941, die unter dem Namen des vorliegenden Anmelders eingereicht
wurde, beschrieben ist. Die Beschreibung dieser Anmeldung soll in
der vorliegenden Anmeldung mit umfaßt sein.
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Kurz
gesagt, erzeugt die Lichtquelle LA den Anregungsstrahl REX. Optische
Vorrichtungen L0 bündeln
den Anregungsstrahl REX auf die Durchlaßoberfläche T10 einer Transmissions-/Reflektions-Lichtfalle
PG10, die diesen Anregungsstrahl REX zu einer ersten Streustufe
R10 durchläßt. Allgemein
umfaßt
das optische System die zu analysierende Probe, die auf dem Platz
EMP angeordnet ist, eine Linse, wie zum Beispiel ein Mikroskopobjektiv
L1, einen Umlenkspiegel M1, eine weitere Linse L2, einen Eingangsspalt
FE, einen konkaven Sammelspiegel M10, ein Streugitter R10 und einen
weiteren konkaven Spiegel M20.
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In
der Hinrichtung des optischen Pfades (also entlang der durch den
Pfeil F1 angezeigten Richtung) geht der monochromatische Anregungsstrahl REX
durch die Durchlaßoberfläche T10,
wird von dem Spiegel M20 auf das Streugitter R10 reflektiert, das
ihn auf den Spiegel M10 streut, um dann über den Eingangsspalt FE, die
Linse L2, den Spiegel M1, das Trennfilter FS1 und das Objektiv zur
Probe geführt
zu werden.
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In
der Rückrichtung
des optischen Pfades (also entlang der durch den Pfeil F2 angezeigten Richtung)
wird der Strahl RD, der von der durch den Anregungsstrahl REX angeregten
Probe herrührt, auf
das Trennfilter FS1 geführt,
welches das spektrale Band TLB über
den Spiegel M1 auf das erste, hiervor beschriebene Streugitter R10
reflektiert. Das Streugitter R10 streut die polychromatischen Strahlen,
die das Signal TLB bilden. Diese letzteren werden durch den Spiegel
M20 gebündelt,
um ein gestreutes spektrales Bild auf der den Reflektionsoberflächen T30
und T20 gemeinsamen Ebene zu bilden. Die Durchlaßoberfläche T10 spielt also die Rolle
einer Lichtfalle für
den in dem Signal TLB enthaltenen Anregungsstrahl, indem sie ihn
durch die Oberfläche T10
hindurchgehen läßt, während die
reflektierenden Oberflächen
T20 und T30 den solcherart von dem Anregungsstrahl REX befreiten
Strahl LBO auf den konkaven Spiegel M30 reflektieren. Dann führt der Spiegel
M30 den Strahl LBO zu einem zweiten Streugitter R20, einem weiteren
konkaven Spiegel, einem Ausgangsspalt FS und einer Linse L3. Die
Streugitter R10 und R20 sind hier in einer subtraktiven Konfiguration
angeordnet, das heißt,
daß die
von dem Gitter R10 gestreuten und von den reflektierenden Oberflächen T20
und T30 reflektierten Strahlen in einem einzigen Bild ohne Dispersion
auf dem Ausgangsspalt FS zusammengesetzt werden.
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Die
optischen Kombinationsvorrichtungen sind vorgesehen, um das von
dem optischen Aufbau bestehend aus dem doppelten Monochromator R10/20
und der Lichtfalle PG10 gefilterte Signal LBO aufzufangen und zu
führen.
Diese optischen Kombinationsvorrichtungen umfassen einen Spiegel
M2, der das Signal LBO entlang einer Richtung DR1 auf das Trennfilter
FS1 führt,
die mit der Durchlaßrichtung
DT2 einen Winkel α bildet.
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Das
Trennfilter FS1 reflektiert also das Signal LBO exakt in die zweite
Durchlaßrichtung
DT2, was die komplementäre
Kombination mit dem von dem Trennfilter durchgelassenen Spektrum
RAM ermöglicht.
Die Analysevorrichtungen MAY analysieren schließlich über eine Linse L4 die derart
kombinierten Strahlen LBO und RAM.
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Zum
Beispiel können
die Detektions- und Analysevorrichtungen MAY ein RAMAN-Spektrometer
mit FOURIER-Transformation umfassen.
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Es
ist festzustellen, daß die
unter Bezugnahme auf die 2A beschriebene
Vorrichtung die Leistungen eines RAMAN-Spektrometers mit FOURIER-Transformation
in dem Maße
erheblich steigert, in dem sie den Zugriff auf die gesamte, für die RAMAN-Spektrometrie notwendige
spektrale Breite einschließlich
des Bereichs der Strahlen mit niedrigen Frequenzen erlaubt, die
bislang mit einem klassischen Trennfilter des "Notch-" Typs nicht zugänglich waren.
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Es
ist gleichfalls festzustellen, daß die zwischen den beiden Streugittern
R10 und R20 des doppelten Monochromators angeordnete Lichtfalle
PG10 eine komplementäre
Rolle spielt, indem sie in der Hinrichtung des optischen Pfads den
Anregungsstrahl zur Probe durchläßt, während sie
in der Rückrichtung
des optischen Pfads den in dem Trennfilter reflektierten Signal
TLB enthaltenen Anregungsstrahl einfängt.
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Als
Variante (2B) kann der optische Aufbau
R10/R20/PG10 mit Linsen anstelle der konkaven Umlenkspiegel, die
den Nachteil eines großen Raumverbrauchs
haben, ausgeführt
sein.
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Kurz
gesagt, erzeugt die Lichtquelle LA den Anregungsstrahl REX. Optische
Vorrichtungen L0 bündeln
den Anregungsstrahl REX nahe der schrägen Kante eines Spiegels MB,
der hier die Rolle eines Lippenspalts spielt. Die Linse läßt diesen
Anregungsstrahl REX zu einer ersten Streustufe R10 durch. Allgemein
umfaßt
das optische System die zu analysierende Probe, die auf dem Platz
EMP angeordnet ist, eine Linse L1, wie zum Beispiel ein Mikropkopobjektiv,
einen Umlenkspiegel M1, eine weitere Linse L2, einen Eingangsspalt
FE, zwei weitere Umlenkspiegel MR2 und MR1, eine Linse L10 und ein Streugitter
R10.
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In
der Hinrichtung des optischen Pfades (also entlang der durch den
Pfeil F1 angezeigten Richtung) wird der Anregungsstrahl REX durch
die Vorrichtungen L0 und L12 als paralleler Strahl auf das Streugitter
R10 gebündelt,
das ihn auf den Spiegel MR1 streut, um dann über die Linse L10, den Spiegel MR2,
den Eingangsspalt FE, die Linse L2, den Spiegel M1, das Trennfilter
FS1 und die Linse L1 zur Probe geführt zu werden.
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In
der Rückrichtung
des optischen Pfades (also entlang der durch den Pfeil F2 angezeigten Richtung)
wird der Strahl RD, der von der durch den Anregungsstrahl REX angeregten
Probe herrührt, auf
das Trennfilter FS1 geführt,
welches das erste spektrale Band TLB über den Spiegel M1 auf die
erste, hiervor beschriebene Streustufe reflektiert. Das Streugitter
R10 streut die polychromatischen Strahlen, die das Signal TLB bilden.
Diese Strahlen werden von der Linse L12 gebündelt, um ein gestreutes spektrales
Bild in der Brennebene der Lichtfalle in der Form einer schrägen Kante
zu bilden. Diese Lichtfalle läßt den Anregungsstrahl
REX hindurchgehen, während
die reflektierende Oberfläche
des abgeschrägten
Spiegels MB den solcherart von dem Anregungsstrahl REX befreiten
Strahl LBO auf eine zweite Streustufe mit einer Linse L13, einem
zweiten Streugitter R20, einer weiteren Linse L14, einem weiteren Umlenkspiegel
R20 und einem Ausgangsspalt FS reflektiert.
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Offensichtlich
sind die Streugitter R10 und R20 in Drehrichtung einstellbar montiert,
um mit Präzision
die Position des Spektralbildes bezüglich des abgeschrägten Spiegels
so einstellen zu können, daß ein spektrales
Abschneiden in der Nähe
der Anregungswellenlänge
möglich
ist.
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Die
optischen Kombinationsvorrichtungen M2 und L16 sind vorgesehen,
um das von dem optischen Aufbau bestehend aus dem doppelten Monochromator
R10/20 und der Lichtfalle MB gefilterte Signal LBO aufzufangen und
es entlang einer Richtung DR1, die einen Winkel α mit der Richtung DT2 bildet, zum
Trennfilter FS1 zu führen.
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Das
Trennfilter FS1 reflektiert also das Signal LBO in die zweite Durchlaßrichtung
DT2, was die komplementäre
Kombination mit dem von dem Trennfilter durchgelassenen Spektrum
RAM ermöglicht.
Die Analysevorrichtungen MAY analysieren schließlich vorteilhafterweise über eine
Linse L4 die derart kombinierten Strahlen LBO und RAM.
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Es
ist festzustellen, daß die
unter Bezugnahme auf die 2B beschriebene
Vorrichtung ebenfalls die Leistungen eines RAMAN-Spektrometers mit FOURIER-Transformation
oder des Dispersionstyps mit Ein- oder Mehrkanaldetektion erheblich
steigert.
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In 3 ist
der optische Pfad des Signals LBO leicht modifiziert im Vergleich
zu dem unter Bezugnahme auf die 1, 2A und 2B beschriebenen
optischen Pfad. In diesem Falle umfassen die optischen Strahlkombinationsvorrichtungen zusätzlich ein
zwei tes Trennfilter FS2, das auf geeignete Weise unterhalb des Spiegels
M2 angeordnet ist, um das Signal LBO entlang der Richtung DT2 zu reflektieren,
damit es mit dem von dem Filter FS1 durchgelassenen Signal RAM kombiniert
wird.
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In 4 ist
das Sperrfilter mit steiler Abschneideflanke vom Typ eines FABRY-PEROT-Interferometers.
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Der
klassische Nachteil dieser Art von Filter ist die Existenz einer
großen
Zahl schmaler Durchlaßbänder, die
bezogen auf die Wellenzahl äquidistant
sind und sich in dem von dem RAMAN-Spektrum überdeckten Bereich befinden. Überraschenderweise
verschwindet dieser Nachteil in der erfindungsgemäßen Vorrichtung,
die eines dieser engen Bänder mit
dem Anregungsstrahl im Inneren des Sperrbandes des Trennfilters
zusammenfallen läßt und die oben
beschriebenen, komplementären,
kombinierten Filterungen durchführt.
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Das
Filter FCB ist in dem Pfad des Anregungsstrahls (in der durch den
Pfeil F1 gegebenen Richtung) angeordnet. Zunächst reflektiert es entlang einer
geeigneten Richtung den Anregungsstrahl REX auf einen Spiegel M13,
damit er über
den Spiegel M1 auf das Trennfilter FS1 geführt wird.
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In
der anderen optischen Richtung (also in der durch den Pfeil F2 gegebenen
Richtung) erhält das
Sperrfilter das das von dem Trennfilter FS1 reflektierte Spektralband
TLB darstellende Signal über die
Spiegel M1 und M13. Das Sperrfilter FCB eliminiert dann durch Reflexion
den Anregungsstrahl REX und läßt das Signal
LBO zu den Spiegeln M14 und M2 durch, um ihn schließlich über das
Filter FS1 zu den Detektionsvorrichtungen MAY zu führen.
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In
der 5 ist eine weitere Variante der spektralen Analysevorrichtung
mit kombinierter, komplementärer
Filterung nach der vorliegenden Erfindung dargestellt. Diese unterscheidet
sich von der in 4 gezeigten Vorrichtung durch
die Tatsache, daß die
optischen Kombinationsvorrichtungen dieses Mal einen Aufbau M2/FS2
anstelle des Auf baus M2/FS1 umfassen, wobei das Element FS2 ein
Trennfilter ähnlich
dem Trennfilter FS1 ist. Der Aufbau M2/FS2 ist solcherart aufgebaut,
daß er
das Signal LBO entlang der Richtung DT2 auf die Detektionsvorrichtungen
MAY lenkt.
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Es
ist festzustellen, daß eine
unterschiedliche Winkeleinstellung für die Trennfilter FS1 und FS2 eine
größere Optimierungsmöglichkeit
für die
Abschneideflanke in der Nähe
der zu eliminierenden Anregungswelle bietet.
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In 6 ist
der optische Pfad der Anregungsstrahlung REX im Vergleich zu den
hiervor beschriebenen Vorrichtungen etwas modifiziert. Hier beleuchtet
der Anregungsstrahl REX die an der Stelle EMP angeordnete Probe über Fokussierungsvorrichtungen
FOC1, ohne durch das Trennfilter FS1 zu gehen. Diese Anordnung,
zum Beispiel unter einem Winkel von 90° bezüglich der optischen Sammelachse,
ist vorteilhaft für
die Beseitigung von spiegelnden Reflexen auf der Probe und ermöglicht,
die Intensität des
Anregungsstrahls zu erhöhen.
Diese Anordnung ist nur möglich,
wenn der vordere Abstand des Objektivs FOC2 größer als einige Millimeter ist.
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Das
Objektiv FOC2 ist hier zwischen dem Platz EMP und dem Filter FS1
angeordnet, um einen Strahl der gestreuten Strahlung RD mit geringer Strahlöffnung auf
das Filter durchzulassen. Was den Rest angeht, sind die optischen
Pfade ähnlich
denen der zuvor beschriebenen Vorrichtungen. Das Sperrfilter ist
zum Beispiel ein Filter des Absorptionstyps, dessen spektraler Response
unter Bezugnahme auf 16 beschrieben ist.
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Wie
in 16 gezeigt, eliminiert das Absorptionsfilter ein
schmales Band mit einer steilen Abschneideflanke, das um die Wellenlänge λ0 zentriert ist
(geringer Transmissionskoeffizient) ebenso wie weitere Bänder BL,
die bezüglich λ0 verschoben sind. Überraschenderweise
ist dies nicht störend, wenn
sich diese weiteren Bänder
außerhalb
des Sperrbandes des Trennfilters FS1 befinden. Daraus folgt, daß die Kombination
der komplementären
Filterungen die Gesamtheit des RAMAN-Spektrums wiederherstellt.
Das Filter FCB ist zum Beispiel ein Ioddampf-Absorptionsfilter.
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In 7 ist
die spektrale Analysevorrichtung mit kombinierter, komplementärer Filterung,
die unter Bezugnahme auf 6 beschrieben wurde, zusätzlich mit
der Variante des zweiten Trennfilters FS2, das entsprechend der 3 angeordnet
ist, gezeigt.
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In 8 ist
eine weitere Variante der Vorrichtung nach der vorliegenden Erfindung
dargestellt, bei der das Sperrfilter vom Interferometertyp ist mit
einer unter Bezugnahme auf 17 beschriebenen
Spektralantwort.
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Wie
in 17 gezeigt, zeigt das Interferometerfilter des
FABRY-PEROT-Typs eine große
Anzahl schmaler Transmissionsspitzen, die bezüglich der Wellenzahl äquidistant
sind. Bei einer einzigen dieser Spitzen ist die maximale Transmissionsdämpfung um die
Wellenzahl der zu eliminierenden Anregungsstrahlung zentriert.
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Das
hiervor beschriebene Trennfilter kann um eine Drehachse drehbar
angeordnet sein, so daß der
Winkel α,
den die Einfallsrichtung DT2 bezüglich der
Reflektionsrichtung DR1 bildet, geändert werden kann, um die Wellenlänge des
Sperrbandes des Trennfilters auswählen zu können. Jedoch zieht diese Rotation
eine Verschiebung im Raum des reflektierten Signals nach sich, was
die Kopplung der optischen Elemente, die oberhalb oder unterhalb
des Filters FS1 angeordnet sind, verkomplizieren kann.
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Die
vorliegende Erfindung schlägt
eine Lösung
für dieses
Problem vor. Diese Lösung
wird erhalten, indem man entweder im Eingangsstrahl RD oder im Ausgangsstrahl
TLB ein Abweichungskompensationselement M1 anordnet, das geeignet
ist, durch einen mit der Rotation des Trennfilters FS1 verbundenen
Mechanismus solcherart mitgeführt
zu werden, daß es
sich um denselben Winkel dreht wie das Trennfilter, um das erste
Spektralband TLB in eine dritte vorgegebene Richtung DR3 zu reflektieren.
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In
der Praxis ist das Abweichungskompensationselement ein ebener Spiegel,
der dank des Mechanismus nach der vorliegenden Erfindung, wenn das
sich Trennfilter FS1 um einen vorgegebenen Winkel dreht, eine Rotation
in derselben Ebene ausführt.
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Genauer
stellt der Mechanismus die Verschiebung des Einfallspunkts des Strahls
TLB auf dem Abweichungskompensationselement M1 entlang der Ausgangsachse
DR3 sicher.
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Der
Mechanismus zum Winkelausgleich oder zur Selbstausrichtung der Ausgangs- und Eingangsstrahlen
kann mittels mehrerer Anordnungen ausgeführt werden. In der nachfolgenden
Beschreibung sind diese Anordnungen gelenkig um einen Trägerwinkel
ange bracht, der auf einem seiner Schenkel das Trennfilter und auf
dem anderen seiner Schenkel das Kompensationselement trägt. Jedoch können auch
andere Anordnungen geeignet sein.
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Wie
in 18A gezeigt, sind die Eingangsstrahlen RD und
die Ausgangsstrahlen TLB entlang beliebiger Richtungen DT2 und DR3
angeordnet, die untereinander einen Winkel C bilden.
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Der
Mechanismus zur Winkelkompensation oder zur Selbstausrichtung nach
der vorliegenden Erfindung umfaßt
einen Winkel mit einem Winkel γ, wobei γ = (180 +
C)°/2. Der
Winkel besitzt einerseits einen ersten festen Schenkel 504,
der in der Translationsrichtung durch eine Öffnung gleitend montiert ist, die
in der Halterung des Trennfilters FS1 gearbeitet ist, und andererseits
einen zweiten festen Schenkel 520, der das Kompensationselement
M1 trägt.
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Der
Scheitel 525 des Winkels ist so angeordnet, daß er sich
entlang einer Achse 530 in Translationsrichtung bewegt,
welche an einer Winkelhalbierende zwischen der Einfallsrichtung
DT2 und der dritten Richtung DR3 angeordnet ist.
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Der
erste steife Schenkel verbleibt während der Rotation des Trennfilters
um die Achse 506 senkrecht zum Trennfilter FS1.
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Die
in Verbindung mit den 18B bis 23 beschriebenen
optischen Aufbauten betreffen eine Vorrichtung, in der die Einfallsrichtung
DT2 und die Ausgangsrichtung DR3 zueinander parallel sind.
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Erfindungsgemäß umfaßt der Mechanismus einen
Winkel 10 mit einem Winkel von 90° (mit C gleich 0°). Der Winkel
besitzt einen ersten Schenkel 12, der in der Translationsrichtung
durch eine Öffnungen
gleitend montiert ist, die in der Halterung des Trennfilters FS1
gearbeitet ist.
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Das
Kompensationselement M1 ist auf dem zweiten festen Schenkel 20 des
Winkels 10 montiert. Die reflektierende Oberfläche des
reflektierenden Elements ist parallel zum zweiten Schenkel und senkrecht
zur Ebene P1, die durch die Geraden DT2 und DR3 aufgespannt wird.
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Der
Scheitel S1 des Winkels ist an einem Gelenk 21 montiert,
dessen Rotationsachse senkrecht zur Ebene P1 ist. Der Scheitel S1
des Winkels ist so angeordnet, daß er sich auf einer Schiene 25 entlang
einer geradlinigen Translation 22 bewegt, deren Achse im
halben Abstand zwischen der Einfallsrichtung DT2 und der dritten
Reflektionsrichtung DR3 angeordnet ist. Diese Achse 22 ist
parallel zu der Einfallsrichtung DT2 und der Reflektionsrichtung
DR3 und liegt in einer Ebene parallel zu derjenigen des Winkels.
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Der
erste feste Schenkel bleibt senkrecht zum Trennfilter FS1 während der
Rotation desselben um die Achse 14, die senkrecht zur Ebene
des Winkels und zur durch die Geraden DT2 und DR3 aufgespannten
Ebene P1 ist. Diese Drehachse 14 nimmt eine feste, vorgegebene
Position ein.
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Es
ist festzustellen, daß die
Schenkel des Winkels mit dem auf das Trennfilter FS1 reflektierten Strahl
ein rechtwinkliges Dreieck bilden, dessen Scheitelwinkel gleich α/2, also
konstant gleich der Hälfte
des Winkels α zwischen
dem Einfallsstrahl RD und dem reflektierten Strahl TLB ist.
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Erfindungsgemäß sind die
ersten und zweiten Schenkel 12 und 20 des Winkels
in Antwort auf eine Drehung des Filters FS1 um einen vorgegebenen
Winkel (Übergang
von FS1 zu FS1' oder
von α zu α') in der Lage, in
Translationsrichtung derart bewegt zu werden (Übergang von 10 zu 10'), daß das reflektierende
Element M1 sich um den besagten Winkel dreht (Übergang von M1 zu M1'), um das erste Spektralband
TLB zu erhalten und es in die dritte vorgegebene Reflektionsrichtung
DR3 zu reflektieren.
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Vorteilhafterweise
sind Vorrichtungen zum Steuern der Bewegung in Translationsrichtung und/oder
in Rotationsrichtung MD geeignet, die Bewegung der beweglichen Elemente
der Vorrichtung zu steuern, um die Rotation des Kompensationselements
M1 um einen Winkel zu erreichen, der dem des Trennfilters entspricht.
Diese Steuerungsvorrichtungen MC sind zum Beispiel ein Mikromotor.
Diese Steuerungsvorrichtungen stellen die Selbstausrichtung der
Vorrichtung in Abhängigkeit
von Änderungen
der Anregungswellenlänge
oder in Abhängigkeit von Änderungen
der Eigenschaften des Filters FS1 her. Dieses Filter FS1 kann vorteilhafterweise
austauschbar sein, um das System an verschiedene Anregungen anzupassen.
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In 18B breitet sich die gestreute Strahlung RD von
links entlang der Richtung DT2 aus, um über die Elemente FS1 und M1
entlang der Richtung DR3 nach rechts reflektiert zu werden.
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In 19 unterscheidet
sich der optische Aufbau von dem unter Bezugnahme auf 18 beschriebenen durch die Tatsache, daß der dem
gestreuten Strahl RD entsprechen de Strahl sich von rechts ausbreitet,
um auf das Trennfilter FS1 geführt zu
werden. Das Signal TLB wird entlang der Richtung DR1 auf das Kompensationselement
M1 reflektiert, das das Signal TLB entlang der Richtung DR3 nach rechts
reflektiert. Wie unter Bezugnahme auf die 18B beschrieben,
bleibt der zweite feste Schenkel während der Translationsbewegung
des Winkelscheitels parallel zum Kompensationselement M1.
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In 22 kommt
die gestreute Strahlung RD von links entlang der Richtung DT2. Das
Signal TLB wird über
den Spiegel M1 gleichfalls nach links entlang der Richtung DR3 geführt. Der
zweite feste Schenkel 20 verbleibt hier während der
Translationsbewegung des Winkelscheitels S1 senkrecht zum Kompensationselement
M1.
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In 23 kommt
die gestreute Strahlung RD von rechts, um entlang der Richtung DT2
auf das Filter FS1 geführt
zu werden. Das Signal TLB wird von den Elementen FS1 und M1 reflektiert,
um nach links entlang der Richtung DR3 geführt zu werden.
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In 20 ist
eine Ausführungsform
des Winkels 10 gezeigt, die unter Bezugnahme auf die 18B, 19, 22 und 23 beschrieben wurde.
In dieser Ausführungsform
ist der erste Schenkel 12 geeignet, in einer ersten Schiene 15 entlang
der ersten Translationsachse 16 bewegt zu werden, während das
Filter FS1 in der Translationsrichtung fest bleibt. Die Schiene 15 ist
in der Nähe
des Trennfilters FS1 angeordnet. Der Scheitel S1 des Winkels ist
geeignet, auf einer zweiten Schiene 25 entlang der zweiten
Translationsachse 22 bewegt zu werden. Die Schiene ist
um ein Gelenk 21 drehbar.
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Als
Variante ist entsprechend der 21 der erste
Schenkel 12 geeignet, in einer weiteren Schiene 17 entlang
der ersten Translationsachse bewegt zu werden. In dieser Konfiguration
ist die Schiene 17 um den Scheitel S1 gelenkig gelagert.
-
Dank
der erfindungsgemäßen Aufbauten sind
die Eingangsstrahlen RD und die Ausgangsstrahlen TLB im Raum fest
und bleiben mit den anderen Elementen des optischen Systems ausgerichtet, wenn
das Durchlaßband
des Trennfilters geändert wird.
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Es
sei festzustellen, daß dieses
Prinzip auch auf eine Anordnung von mehreren Filtern ausgedehnt
werden kann, die in Reihe entlang dem optischen Pfad auf solche
Weise angeordnet sind, daß sie
die Charakteristiken des Spektralfilters verbessern.
-
Offensichtlich
muß man,
wenn man eine Anordnung wünscht,
in der der Ausgangsstrahl TLB nicht parallel zur Eingangsachse RD
ist, zum Beispiel einen festen Zusatzspiegel (nicht dargestellt)
in dem Pfad des Ausgangsstrahls TLB verwenden.
-
Der
Mechanismus der Winkelkompensation und der Selbstausrichtung der
Strahlen findet auch Anwendung in einer Vorrichtung, in der die
Richtungen DT2 und DR3 aufeinander senkrecht stehen.
-
Unter
dieser Bedingung umfaßt
der erfindungsgemäße Mechanismus
einen Winkel 100 mit einem Winkel γ von genau 135° (24)
(mit C gleich 90°).
-
Entsprechend
einem ersten Ausführungsbeispiel,
in dem die Rotationsachse des Filters FS1 in der Translationsrichtung
fest ist, erfährt
nur der Kompensationsspiegel M1 eine Translationsbewegung und dreht
sich gleichzeitig um einen Winkel α, der gleich der Drehung des
Filters FS1 ist.
-
In
der Praxis umfaßt
der Winkel 100 einen ersten festen Schenkel 104,
auf dem das Trennfilter FS1 drehbar um eine Drehachse 106 montiert
ist, die in der zu diesem Winkel senkrecht liegenden Ebene liegt.
Der erste Schenkel 104 ist durch eine Öffnung, die in dem Träger des
Filters FS1 gearbeitet ist, gleitend montiert, so daß der erste
Schenkel 104 während
der Translationsbewegung des Winkelscheitels senkrecht zur Ebene
des Filters FS1 bleibt.
-
Der
Winkel 100 umfaßt
außerdem
einen zweiten festen Schenkel 120, der gleitend durch die Öffnung,
die in den Träger
des Kompensationselements M1 gearbeitet ist, montiert ist, so daß der zweite
Schenkel senkrecht zur Ebene des Kompensationselements M1 bleibt.
-
Der
Schenkel S2 des Winkels 100 ist mit einem Gelenk 121 verbunden,
dessen Drehachse senkrecht zur von den Geraden DT2 und DR3 aufgespannten
Ebene ist. Das Gelenk 121 ist entlang einer vorgegebenen
Translationsachse 130, die um 45° zur Einfallsrichtung DT2 und
zur dritten Reflektionsrichtung DR3 angeordnet ist und in einer
zur Ebene des Winkels parallelen Ebene liegt, gleitend montiert.
-
In
Antwort auf eine Rotation des ersten Filters FS1 um einen vorgegebenen
Winkel α ist
der Scheitel S2 des Winkels geeignet, in Translationsrichtung derart
bewegt zu werden, daß sich
das Kompensationselement M1 um den besagten Winkel dreht, um das
erste Spektralband TLB zu empfangen und es in die dritte vorgegebene
Reflektionsrichtung DR3 zu reflektieren.
-
In
der Praxis wird die Translationsachse des zweiten Schenkels auf
einer Schiene entlang der Richtung DR3 geführt.
-
Es
sei festzustellen, daß in
dieser Konfiguration der Spiegel M1 nicht mehr parallel zum Filter
FS1 ist, sondern von einem festen Arm mitgenommen wird, so daß der Winkel
gleich 135° ist.
Der Winkel zwischen der Geraden DT2 und der Achse 130 bleibt hier
konstant gleich 45°.
-
In 24 kommt
der von der Probe gestreute Strahl RD von links, um entlang der
Richtung DT2 auf das Filter FS1 geführt zu werden. Das Trennfilter FS1
trennt den Strahl RD in zwei Strahlen, wovon der erste RAM entlang
der Richtung DT2 geführt
wird und der zweite dem Signal des Spektralbandes TLB entspricht
und entlang der Richtung DR1 auf den ebenen Spiegel M1 reflektiert
wird. Dieser reflektiert das Spektralband TLB entlang der Richtung
DR3, die senkrecht zur Richtung DT2 ist.
-
In 24 wird
das Signal TLB nach oben entlang der Richtung DR3 gelenkt. In einer
Variante (25) ist die Konfiguration so
ausgeführt,
daß das Signal
TLB entlang der Richtung DR3 nach unten geführt wird. Hier ist der Spiegel
M1 parallel zum zweiten Schenkel 120 befestigt und weist
kein Gelenk und keine Schiene auf. Die Ausmaße der reflektierenden Oberflächen des
Filters FS1 und des Spiegels M1 sind geeignet, die Selbstausrichtung
der Eingangsstrahlen RD und der Ausgangsstrahlen TLB entsprechend
der Erfindung zu ermöglichen.
-
Zum
Beispiel sind die Ausmaße
der reflektierenden Oberflächen
in der Größenordnung
von 20 bis 30 mm für
kommerzielle Elemente.
-
In 26 ist
eine weitere Variante dargestellt, in der das Signal RD von rechts
kommt im Gegensatz zu den 24 und 25,
wo es von links kommt.
-
Für den Rest
ist die in 26 dargestellte Konfiguration ähnlich der
in Verbindung mit 24 beschriebenen.
-
In 27 kommt
das gestreute Signal RD von der rechten Seite, um entlang der Richtung
DR3 nach unten geführt
zu werden.
-
In 28 ist
eine weitere Variante dargestellt, in der das Trennfilter FS1 sich
dreht und eine Translationsbewegung erfährt. Gleichfalls dreht sich der
Kompensationsspiegel M1 und erfährt
ebenfalls eine Translationsbewegung.
-
In
dieser Konfiguration umfaßt
die Selbstausrichtungsvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung
vier Schenkel B1 bis B4 ein- und derselben konstanten Länge, um
einen Rhombus LOS mit vier Scheiteln S3, S4, S5 und S6 zu bilden.
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Der
Scheitel S3 der Schenkel B1 und B2 trägt das Trennfilter FS1. Es
dreht sich um eine Rotationsachse R1, die in einer Ebene senkrecht
zu der der Schenkel B1 und B2 liegt.
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Der
Scheitel S6 der Schenkel B4 und B1 trägt den Spiegel M1. Er dreht
sich um eine Rotationsachse R2, die in einer Ebene senkrecht zu
der der Schenkel B4 und B1 liegt.
-
Der
Scheitel S4 der Schenkel B2 und B3 trägt eine Schiene G2, die geeignet
ist, den Scheitel S4 in Translationsrichtung entlang einer Diagonalen D1
des Rhombus LOS zu führen.
-
Der
Scheitel S5 der Schenkel B3 und B4 trägt eine Schiene G1, die geeignet
ist, den Scheitel S5 in Translationsrichtung entlang einer anderen
Diagonalen D2 des Rhombus LOS zu führen.
-
Der
Schenkel B2 ist in Translationsrichtung gleitend entlang einer Achse
A1 parallel zur Richtung DT2 montiert.
-
Der
Schenkel B4 ist in Translationsrichtung gleitend entlang einer Achse
A2 parallel zur Richtung DR3 montiert.
-
Es
ist eine bekannte Eigenschaft des Rhombus, daß die Diagonalen aufeinander
senkrecht bleiben, wenn man die Winkel an den Scheitelpunkten ändert.
-
Durch
gleichzeitige Verschiebung der beiden Schienen G1 und G2 in Antwort
auf eine Rotation des Filters FS1 um einen vorgegebenen Winkel,
dreht sich das Kompensationselement M1 um den gleichen Winkel, um
das erste spektrale Band TLB zu empfangen und es in die dritte vorgegebenen
Reflektionsrichtung DR3 zu reflektieren.
-
In
einer Variante, in der der Rhombus durch ein Parallelogramm ersetzt
wird, besteht die Diagonale, die eine konstante Länge besitzt,
aus einem sich drehenden Arm. Die Drehungen des Spiegels M1 und
des Filters FS1 werden zum Beispiel durch Drücken von geradlinigen Armen,
die auf zylindrischen Rollen gleiten und von Federn (nicht dargestellt)
in Andruckpositionen gehalten werden, erzeugt.
-
Es
sei festzustellen, daß die
hiervor beschrieben Selbstausrichtungsvorrichtungen verschiedene
Anwendungen finden, zum Beispiel in der Röntgenstrahlspektrometrie, wenn
die Elemente M1 und FS1 durch Kristallflächen gleicher Eigenschaften ersetzt
werden. Diese Selbstausrichtungsvorrichtungen ermöglichen
auch optische Messungen unter einem veränderlichem Einfallswinkel auf
eine Probe, die sich auf der Höhe
des Filters FS1 befindet, ohne daß die Strahlen bewegt und ohne
daß die
Polarisationsrichtungen verändert
werden müssen.
-
Diese
Selbstausrichtungsvorrichtungen können auch eine Anwendung in
Monochromatoren mit Beugungsgittern finden, in denen die beiden
Gitter die Elemente M1 und FS1 ersetzen, die sich fest um denselben
Winkel drehen. Die Kollimatorachse und die Ausgangsachse sind dann
fest.
-
Schließlich können diese
Selbstausrichtungsvorrichtungen eine Anwendung in allen Arten von
interferometrischen Systemen finden, die einen variablen Einfallswinkel
benötigen,
zum Beispiel in Interferometern des FABRY-PEROT-Typs.